JP2004509327A - 使用済み核燃料または放射性材料のための貯蔵設備 - Google Patents

Abstract

本発明は、貯蔵設備に関するものであって、−床（２）と天井（３）と側壁（４，５）とを有したチャンバ（１）と、−使用済み核燃料または放射性材料を受領するための受領手段（６）であるとともに、冷却用ガス状流体の循環を許容し得るようにしてチャンバ内に配置されている、複数の受領手段（６）と、−チャンバ（１）内へと冷却用ガス状流体を導入することができる導入手段（２４）と、−受領手段（６）にわたって冷却用ガス状流体が循環した後に冷却用ガス状流体をチャンバ（１）の外部へと排気することができる排気手段（２５）と、−受領手段（６）にわたって冷却用ガス状流体が循環する際に冷却用ガス状流体に対して優先的な循環方向をもたらし得るよう、冷却用ガス状流体を整流化し得る整流化手段（８，９，１９）と、を具備している。

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、使用済み核燃料または様々なタイプの放射性材料のための媒体または長期貯蔵に関するものである。より詳細には、本発明は、核分裂反応（放射性崩壊）によって放出される残留熱が自然対流や混合流や強制流によって除去されるとともにそのような使用済み核燃料や様々なタイプの放射性材料を収容しているいくつかのサブシステム（シャフトや、パッケージや、容器、と称される）が同一チャンバ内にまたは同一キャビティ内にセットされているような、放射性材料のための貯蔵設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
使用済み核燃料のための貯蔵設備は、以下の一般的原則に従って、存在している。使用済み核燃料または放射性材料を収容している通常は金属製とされる複数のサブシステム（例えば、このような設備における『シャフト』）は、チャンバ内において規則的パターンでもって配置されている。このチャンバは、水平方向を向いた床と天井とを有している。複数のサブシステムの配置は、通常は、例えば正方形や三角形といった規則的『レイアウト』に従って行われる。フィルタや侵入防止グリッドや様々な機能を有した他のいくつかのデバイスを備えることができるような空気取込回路が、外部からチャンバ内へと、空気を取り込む。このようにして取り込まれた空気は、サブシステムと接触することによって加熱され、自然対流や混合対流によって上昇し、また、空気の全体的な移動によって吸引される。吸引を助長するための煙突やあるいは他の機能を行うための換気装置や他のデバイスを備えることができる空気導出回路は、チャンバから空気を吸引して（好ましくは、一般に、天井近辺には高温の空気が存在していることにより、天井近辺からの空気を吸引して）、吸引した空気を外部へと放出する。
【０００３】
このような設備は、満足のいく態様で動作することができる。しかしながら、いくつかの不便な点が存在する。チャンバ内の空気流が、乱流的であり、様々な方向を向くものであり、非常に複雑であり、予測困難なものである。チャンバの天井が水平であることにより、高温空気は、空気出口から最も遠い領域において天井の下方に滞る傾向がある。計算により、設備の最高温度ポイントが、天井近傍のうちの、空気導出領域から遠いところであることが示された。これは、出口からの空気の導出に際して、空気が、天井下方の高温空気層の厚さ勾配によって生成される浮力によってしか導出されないことによる。
【０００４】
複数のサブシステムが設置されている場合には、空気に関する優先的な通路が、熱を発生しているサブシステム一切経由することのない最小抵抗領域に形成される。高温サブシステムを避けたこの空気は、設備の性能を低下させる。それは、そのような空気が空気取込回路および空気導出回路に『充満』することとなり、サブシステムの冷却に寄与しないからである。この充満により、煙突内の空気温度が低下することとなり（それにより、流通駆動源をなす吸引力が弱くなり）、望ましくない過負荷が発生し、そのため、空気取込回路および空気導出回路を過度に大きなものとせざるを得なくなり、高価となってしまう。
【０００５】
外部空気からの短期的熱流入（季節的条件や日中条件やある種の天候条件に基づいて数分間にわたる短期的熱流入）は、空気取込回路の壁や他のデバイスによる熱慣性によって濾過される。空気取込回路よりも高温の空気が到達したときには、外部とチャンバに対する取込との間における空気温度差を減少させる。この温度差減少の結果、チャンバ内に流入する空気の相対湿度が上昇する。この相対湿度上昇は、サブシステムの低温部分をなす金属構造上におけるおよび他の表面上における凝集を助長する。この凝集は、サブシステムの低温部分をなす金属構造上におけるおよび他の表面上における腐食や劣化のリスクを増大させる。このような腐食や劣化は、設備の寿命を制限することとなる。この現象は、流通系の構造が非常に複雑であってそのため信頼性良くかつ定量的に予測することが困難であることにより、特に不利である。
【０００６】
サブシステムが鉛直方向に配置されているあるいはサブシステムが全体的に鉛直方向的構成を有している場合に、このサブシステムがパワーを放出するものであるときには、自然対流および混合対流の熱的境界層が、進展して、天井にまで上昇し、天井のところを這うことが起こり得る。よって、天井の下面が加熱されて、空気流全体の混合温度よりも高温となる。シャフトに由来するこの熱放射は、また、付加的な加熱を引き起こす。それは、表面の放射率が大きい場合に顕著である。これら現象の一方または双方により、あるいは、それら２つの現象の組合せにより、天井の温度が過度に高温となることがあり得る。そのため、劣化を防止するための特別で高価な予防措置が必要となってしまう。
【０００７】
よって、以下に要約するような上記欠点を克服しなければならないという課題が存在している。
−チャンバ内の流れを定量的に予測することの信頼性が低いこと。
−天井近傍のうち、空気出口から遠い部分において、設備が高温となること。
−空気の一部がサブシステムを無用に回避して、空気取込回路および空気導出回路に充満すること。
−外部空気からの熱流入が、凝集を誘起することが起こり得り、それによって、非常に予測不可能な態様でもって、腐食や劣化というリスクが発生すること。
−天井の下方においてあるいは天井近傍において鉛直方向に配置されているあるいは全体的に鉛直方向とされているサブシステムに起因する熱境界層が、天井下方の表面層を加熱して、空気流全体の混合温度よりも高温とすることが起こり得ること。
【０００８】
これら欠点の影響を低減することは、設備の主要機能（放出されるパワーの排出、電離放射に関する生物学的保護、長期安定性、核燃料の搬出入の容易さ、設備の観察可能性およびメンテナンス可能性、等）と、以下に要約するようなこのタイプの設備の利点と、の間における妥協をもたらすものであってはならない。
−動作の単純さおよび耐久性。
−受動性。すなわち、連続的な観測を行わなくとも、適切な動作を行うこと。
−動作の安定性。
−実存の設備において培ってきた実績。
−長期にわたっての適切な動作：機械的可動部材が存在しないこと、非常に単純な物理的原理の使用、等。
−設備の運転、および、新規の使用済み核燃料または放射性材料の廃棄が容易であること。
【０００９】
このタイプの設備は、放射性材料を意図している。特別な規制を満足するためには、しかも、大衆に対して許容されるためには、熱音響的振舞いを信頼性高く計算可能でなければならない。よって、主要な制約は、計算による評価可能性が、信頼性がありかつ予測可能性を有していることを証明できるかどうかである。この制約は、特に設備の熱音響的動作の複雑性を記述できるかどうかに依存しており、システムがわずかの複雑さを含んでいるものであったとしても、また、熱的性能のわずかな低下が存在したにしても、より構造化されており予測可能な流れをもたらすような手段の追求を促進する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
貯蔵設備のチャンバ内における熱音響的計算の予測品質を改良するために、本発明においては、空気循環に関しての優先的方向性を付与することによって、複数のサブシステムの近傍の流れを自発的に整流化すべきであることを提案する。この優先的方向性は、部材構成の周辺における空気の熱音響流のモデル化を可能とし、それにより、計算結果を、定量的にさらに信頼性の高いものとすることができる。
【００１１】
本発明の目的は、使用済み核燃料または放射性材料のための貯蔵設備であって、
−床と天井と側壁とを有したチャンバと、
−使用済み核燃料または放射性材料を受領するための受領手段であるとともに、冷却用ガス状流体の循環を許容し得るようにしてチャンバ内に配置されている、複数の受領手段と、
−チャンバ内へと冷却用ガス状流体を導入することができる導入手段と、
−受領手段にわたって冷却用ガス状流体が循環した後に冷却用ガス状流体をチャンバの外部へと排気することができる排気手段と、
−受領手段にわたって冷却用ガス状流体が循環する際に冷却用ガス状流体に対して優先的な循環方向をもたらし得るよう、冷却用ガス状流体を整流化し得る整流化手段と、
を具備してなる設備において、
整流化手段が、
−冷却用ガス状流体の循環を可能とし得るよう受領手段との間にスペースを形成するようにして受領手段を包囲しているスリーブであるとともに、冷却用ガス状流体の循環を保証するための入口開口と出口開口とを有しているスリーブと、
−スリーブどうしを連結する隔壁であるとともに、冷却用ガス状流体に対する優先的循環方向に沿って配置されている隔壁と、
を備えていることを特徴とする設備である。
【００１２】
有利には、チャンバの側壁に対して隣接している受領手段は、冷却用ガス状流体がバイパス流を形成することを防止し得るよう、側壁に対してできる限り近接して配置される。これは、側壁と隣接受領手段（すなわち、隣接サブシステム）との間の距離を最小化するようにして側壁に直面した規則的レイアウトでもって複数の受領手段（すなわち、複数のサブシステム）を配置することによって、得ることができる。
【００１３】
スリーブは、また、放射スクリーンを構成することができる。
【００１４】
スリーブどうしを連結しているとともに、冷却用ガス状流体の循環に関する優先的循環方向に対応する方向に沿って配置されている側壁の存在により、冷却用ガス状流体の整流化がさらに改良される。
【００１５】
冷却用ガス状流体を整流化し得る整流化手段は、さらに、チャンバの少なくとも１つの側壁と、この側壁に隣接しているスリーブと、を連結する隔壁を備えることができる。このような隔壁は、冷却用ガス状流体の循環に関する優先的循環方向に対応する方向に沿って配置される。これにより、冷却用ガス状流体の整流化がさらに改良される。
【００１６】
貯蔵設備は、さらに、冷却用ガス状流体を整流化し得る補助的手段を具備することができ、この補助的手段は、チャンバの少なくとも１つの側壁と、１つまたは複数のスリーブと、の間に位置しているとともに、冷却用ガス状流体に対する優先的循環方向に対応する方向に沿って配置される。補助的手段は、複数のサブシステムが例えば三角形レイアウトといったような特別のレイアウトに従って配置されているときには、バイパス流を低減することができる。
【００１７】
好ましくは、ガス状流体の排気手段が天井のところにあるいは天井の近傍に配置されている場合に、天井が、傾斜しているとともに、排気手段が、チャンバの最上部分に位置している。これにより、天井近傍のうちの、ガス状流体の出口領域から遠いところにおけるガス状流体の最大温度が低下する。天井の傾斜角度は、水平方向に対して１０°〜２０°とすることができる。好ましくは、この傾斜角度は、１５°とされる。この傾斜により、浮力の効果によって高温ガスを容易に排出することができ、そのような領域における高温ガスの蓄積を防止することができ、よって、高温スポットの形成を防止することができる。
【００１８】
チャンバには、さらに、排気手段へと向かう向きに上り傾斜した傾斜床を設けることができる。このことは、熱音響的振舞いをさらに改良する。この手段の利点は、ガス状流体の通路断面積を、出口よりも取込口において大きくすることができることである。よって、様々なサブシステムに対して、より一定のガス流を供給することができ、複数のサブシステムの全体に対して、より均一な冷却用ガス流の提供を確保することができる。
【００１９】
貯蔵設備は、さらに、チャンバ内を循環し終わった冷却用ガス状流体の一部をリサイクルし得るようあるいはチャンバに対して熱接触し終わった冷却用ガス状流体の一部をリサイクルし得るよう、冷却用ガス状流体のための分岐回路（あるいは、分岐ライン）を具備することができる。リサイクルされた冷却用ガス状流体のこの一部は、排気手段と連通した排気煙突へと、排気することができる。よって、腐食や劣化というリスクを引き起こし得るようなかつ予測困難であるようなガス状流体（例えば空気）の短期的熱流入を回避することができる。貯蔵チャンバへと流入するガスの温度を上昇させこれにより相対湿度を低下させ得るよう、貯蔵チャンバから導出されかつ再加熱されたガス状流体の一部が、好ましくは貯蔵チャンバのできるだけ近傍において、取込回路へと再導入される。
【００２０】
分岐回路内にあるいは排気手段内に、冷却用ガス状流体のリサイクル量を制御するために、負荷損失に関しての調節可能部材を設けることができる。
【００２１】
受領手段に関連して熱放射プレートを設けることができ、これらプレートは、天井の表面における熱境界層を破壊し得るよう、天井の近傍に配置される。これにより、天井の下方においてあるいは天井近傍において鉛直方向に配置されているあるいは全体的に鉛直方向とされているサブシステムに起因する熱境界層が天井下方の表面層を加熱して空気流全体の混合温度よりも高温とすることを、回避することができる。実際、このようなプレートは、二重の機能を果たす。熱境界層を破壊することにより、ガス状流体の混合を引き起こしてガス状流体の温度を低下させる。プレートは、さらに、放射スクリーンとしても機能し、受領手段から放出される熱放射から天井を少なくとも部分的に保護する。
【００２２】
【発明の実施の形態】
添付図面を参照しつつ本発明を何ら限定するものではなく単なる例示としての以下の説明を読むことにより、本発明がより明瞭に理解され、本発明の他の利点や特徴点が、明瞭となるであろう。
【００２３】
図１は、本発明による使用済み核燃料または放射性材料のための貯蔵設備を示す鉛直方向断面図である。
【００２４】
本発明による貯蔵設備は、図示の例においては埋設されたチャンバ（１）を備えている。このチャンバ（１）は、床（２）と、天井（３）と、複数の側壁と、を有している。図１においては、複数の側壁のうち、２つの側壁（４，５）だけが示されている。チャンバ（１）の内部には、複数の受領手段すなわちシャフト（６）が配置されている。
【００２５】
シャフト（６）は、図１の例においては、チャンバ（１）の上方に位置した搬出入チャンバ（１０）の床（１１）から懸架されたチューブ状部材とされている。各シャフト（６）の足部分は、図示しない中間介在ダンパを介することによって、緩衝器（７）内において移動することができる。使用済み核燃料または放射性材料は、当業者には公知のコンディショニングプロセスに従って、搬出入チャンバ（１０）からシャフト内へと配置される。
【００２６】
各シャフト（６）は、シャフトの加熱部分において、スリーブ（８）によって包囲されている。スリーブ（８）は、放射スクリーンや煙突や流れの整流化といったような様々な機能を有している。スリーブ（８）は、シャフトの適切な冷却を可能とするだけの十分な環状スペースをシャフトと対応スリーブとの間に形成するようにして、シャフト（６）を包囲している。例示するならば、９０ｃｍ直径のシャフトに対しては、対応スリーブの直径は、１４０ｃｍとすることができる。
【００２７】
隔壁（９）が、スリーブ（８）どうしを互いに連結している。隔壁は、直接的な熱的役割は果たさないものの、冷却用ガス状流体の流れを整流化することを補助するとともに、全体的に横方向流を防止することを補助する。符号（１９）によって示すような他の隔壁は、側壁（例えば側壁（５））の近くに配置されたスリーブ（８）を対応側壁に対して連結しており、流れを整流化するとともに、横方向流の形成を防止している。スリーブ（８）は、図示しない支持体によって床（２）上に載置されている。そのような支持体は、冷却用ガス状流体の循環を阻害するものではない。隔壁（９，１９）の存在は、また、全体としてスリーブの安定性向上をもたらす。
【００２８】
図１に示す貯蔵設備は、空冷されている。冷却用空気は、空気導入口（２０）を通して導入され、グリッド（２１）および静電フィルタ（２２）を通過し、コンジット（２３）を通して案内され、チャンバ（１）の取込口（２４）へと到達する。有利には、取込口は、チャンバ（１）の最下部に配置されている。同様にして、空気出口（２５）は、有利には、チャンバ（１）の最上部に配置されている。空気出口は、排気煙突（２６）に対して連通している。空気導入口（２４）と空気出口（２５）との間においては、冷却用空気は、スリーブ（８）および隔壁（９，１９）によって、鉛直方向のチャネルに沿って流れる。
【００２９】
図１は、床（２）と天井（３）とが傾斜していて、空気循環が容易とされていることを示している。床（２）と天井（３）とは、空気出口（２５）に向けて上り傾斜とされている。
【００３０】
天井（３）は、シート状金属から形成することができる。天井（３）の近傍においては、熱境界層は、放射スクリーンとしても機能するプレート（１５）によって、破壊される。有利には、これらプレート（１５）は、プレートの両面が冷却用流体と接触しこれにより両面間にわたって熱交換が起こり得るよう、天井から数ｃｍ下方に配置することができる。
【００３１】
図１に示す設備は、さらに、分岐空気回路を備えている。この付加的空気回路は、自然対流によって天井（３）と搬出入チャンバ（１０）の床（１１）との間へと空気を案内する第１鉛直方向ダクト（３１）を有している。再加熱された空気は、その後、第２鉛直方向ダクト（３２）内を循環し、水平方向ダクト（３３）を通って、ダクト（２３）へと戻る。分岐空気回路は、生温い空気を、チャンバ（１）の取込口へと戻す。これにより、取込口のところにおける空気温度がわずかに上昇し、凝集というリスクが低減される。他の可能な実施形態においては、煙突の出口から直接的に空気を抽出する。
【００３２】
この空気再循環は、取込口のところにおける空気温度を、典型的には数℃という程度といったように、緩やかに（あるいは、控えめに、適度に、中程度に、程々に）上昇させるものでなければならない。空気再循環の比率は、フルパワーにおいては小さいものでなければならず、パワーが減少したときには、ゼロパワーにおいて１００％という比率となるようにして、増大しなければならない。この条件を満足させるためには、分岐回路内に、あるいは、空気導出回路内に、あるいは、これら２つの回路内に、調節可能な負荷損失部材を設けることを想定する必要がある。このような部材の調節は、新たなパワーが貯蔵されることを考慮して、核材料の各搬出入の後に行うことができる。あるいは、貯蔵されているパワーがかなり減少した後に（通常の放射減衰の後に）行うことができる。後者の場合には、２つの調節操作の間に、数年から数十年という期間が存在する。
【００３３】
図２は、図１において鉛直方向断面図で図示されていた設備の一部を、横向きの（水平方向の）断面図で示したものである。規則的な三角形配置に従って配置されたシャフト（６）と、スリーブ（８）と、スリーブどうしの間に位置した隔壁（９）と、側壁（５）に対する連結のための隔壁（１９）と、を見ることができる。スリーブ（８）によって包囲されているシャフト（６）は、バイパス流（回避した流れ）を防止するために、側壁に対してできるだけ近接して配置されている。スリーブの半分（長さ方向における半分）と等価であるような部材（１６）すなわち『マネキン』が、側壁（５）に当接して存在しており、隔壁（１７）を介して最も近くのスリーブに対して連結されている。この構成は、空気流の整流化（層状化）を可能とし、側壁（５）に対して近接配置されたシャフトが同じタイプの流れを受領することを可能とし、バイパス流の形成を防止する。
【００３４】
図３は、使用済み核燃料または放射性材料のための他の貯蔵設備の一部を、上方から見た横向きの（水平方向の）断面図である。この貯蔵設備は、シャフトの形状において、上記貯蔵設備と相違している。この変形例におけるシャフト（４１）は、正方形の横断面を有している。シャフトを包囲しているスリーブ（４２）も、また、正方形の横断面とされている。スリーブどうしは、隔壁（４３）によって互いに連結されている。
【００３５】
シャフト（４１）のこの構成は、規則的な正方形配置に従ってシャフトを配置することを可能とし、これにより、シャフトを側壁（５０）に対してできるだけ近接して延在させることができ、バイパス流（回避した流れ）を防止することができる。スリーブの全体を、容器（４４）によって囲むことができる。容器（４４）は、隣接するスリーブに対して、隔壁（４５）によって連結されている。これにより、長さの層状化（あるいは、整流化）をもたらすことができる。
【００３６】
矢印（５１）は、グラウンドレベル（床面高さ）における空気流を示している。この空気流は、複数のスリーブと複数の隔壁とからなるネットワーク内を、底部から貫通する。矢印（５２）は、複数のスリーブと複数の隔壁とからなるネットワークから出てくることによって天井の下方へと到達し、さらに、符号（５３）によって示されている空気出口に向けて移動する空気流を示している。
【００３７】
よって、本発明においては、流れのより良好な層状化（あるいは、より良好な整流化）を得ることができ、設備を記述する計算の信頼性を向上させることができる。このことは、適正な動作を保証し得ることの実証や証明手順の実証が、より容易であることを意味している。よって、大衆に対する受容性も向上する。
【００３８】
本発明においては、貯蔵の最大温度を低減することができる。特に、側壁に関しての最大温度を、および、特に天井に関しての最大温度を、低減することができる。
【００３９】
本発明においては、また、シャフト回りにおける望ましくないバイパス流を低減することができる。よって、一様な冷却および効率的な冷却を保証しつつも、空気取込回路および空気導出回路のサイズを経済的なものとすることができる。
【００４０】
本発明においては、また、設備の低温部材上に対しての外部空気の凝集による湿度に起因する水分量を低減することができる。
【００４１】
貯蔵チャンバの天井の表面温度を低下させることができることにより、天井の構成や天井の製造や天井の品質や天井の検定を、単純化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による使用済み核燃料または放射性材料のための貯蔵設備を示す鉛直方向断面図である。
【図２】図１の使用済み核燃料または放射性材料のための貯蔵設備の一部に関しての水平方向断面図である。
【図３】本発明による他の使用済み核燃料または放射性材料のための貯蔵設備の一部に関しての水平方向断面図である。
【符号の説明】
１　チャンバ
２　床
３　天井
４　側壁
５　側壁
６　シャフト（受領手段）
８　スリーブ（整流化手段）
９　隔壁（整流化手段）
１５　熱放射プレート
１６　スリーブの半分と等価な部材、マネキン（補助的手段）
１７　隔壁
１９　隔壁（整流化手段）
２４　取込口、空気導入口（導入手段）
２５　空気出口（排気手段）
２６　排気煙突
３１　第１鉛直方向ダクト（分岐回路）
３２　第２鉛直方向ダクト（分岐回路）
３３　水平方向ダクト（分岐回路）
４１　シャフト（受領手段）
４２　スリーブ（整流化手段）
４３　隔壁
５０　側壁

Claims (13)

1. 使用済み核燃料または放射性材料のための貯蔵設備であって、
   −床（２）と天井（３）と側壁（４，５）とを有したチャンバ（１）と、
   −使用済み核燃料または放射性材料を受領するための受領手段（６）であるとともに、冷却用ガス状流体の循環を許容し得るようにして前記チャンバ内に配置されている、複数の受領手段（６）と、
   −前記チャンバ（１）内へと冷却用ガス状流体を導入することができる導入手段（２４）と、
   −前記受領手段（６）にわたって前記冷却用ガス状流体が循環した後に前記冷却用ガス状流体を前記チャンバ（１）の外部へと排気することができる排気手段（２５）と、
   −前記受領手段（６）にわたって前記冷却用ガス状流体が循環する際に前記冷却用ガス状流体に対して優先的な循環方向をもたらし得るよう、前記冷却用ガス状流体を整流化し得る整流化手段（８，９，１９）と、
   を具備してなる設備において、
   前記整流化手段が、
   −前記冷却用ガス状流体の循環を可能とし得るよう前記受領手段（６）との間にスペースを形成するようにして前記受領手段（６）を包囲しているスリーブ（８）であるとともに、前記冷却用ガス状流体の循環を保証するための入口開口と出口開口とを有しているスリーブ（８）と、
   −前記スリーブ（８）どうしを連結する隔壁（９）であるとともに、前記冷却用ガス状流体に対する前記優先的循環方向に沿って配置されている隔壁（９）と、
   を備えていることを特徴とする設備。
2. 請求項１記載の設備において、
   前記チャンバ（１）の前記側壁（５）に対して隣接している前記受領手段（６）が、前記冷却用ガス状流体がバイパス流を形成することを防止し得るよう、前記側壁に対してできる限り近接して配置されていることを特徴とする設備。
3. 請求項１記載の設備において、
   前記スリーブ（８）が、放射スクリーンを構成していることを特徴とする設備。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の設備において、
   前記整流化手段が、前記チャンバ（１）の少なくとも１つの側壁（５）と、当該側壁に対して隣接している前記スリーブ（８）と、を連結する隔壁（１９）を備え、
   該側壁（１９）が、前記冷却用ガス状流体に対する前記優先的循環方向に対応する方向に沿って配置されていることを特徴とする設備。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の設備において、
   さらに、前記冷却用ガス状流体を整流化し得る補助的手段（１６）を具備し、
   該補助的手段（１６）が、前記チャンバ（１）の少なくとも１つの側壁（５）と、１つまたは複数の前記スリーブ（８）と、の間に位置しているとともに、前記冷却用ガス状流体に対する前記優先的循環方向に対応する方向に沿って配置されていることを特徴とする設備。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の設備において、
   前記排気手段（２５）が、前記天井（３）のところにあるいは前記天井（３）の近傍に配置され、
   前記天井が、傾斜しているとともに、前記排気手段（２５）が、前記チャンバの最上部分に位置していることを特徴とする設備。
7. 請求項６記載の設備において、
   前記天井（３）が、水平方向に対して１０°〜２０°という角度でもって傾斜していることを特徴とする設備。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の設備において、
   前記チャンバ（１）が、前記排気手段（２５）へと向かう向きに上り傾斜した傾斜床（２）を備えていることを特徴とする設備。
9. 請求項１〜８のいずれか１項に記載の設備において、
   さらに、前記チャンバ（１）内を循環し終わった前記冷却用ガス状流体の一部をリサイクルし得るようあるいは前記チャンバに対して熱接触し終わった前記冷却用ガス状流体の一部をリサイクルし得るよう、前記冷却用ガス状流体のための分岐回路（３１，３２，３３）を具備していることを特徴とする設備。
10. 請求項９記載の設備において、
    さらに、リサイクルされた前記冷却用ガス状流体の前記一部が、前記排気手段（２５）と連通した排気煙突（２６）へと、排気されることを特徴とする設備。
11. 請求項９または１０記載の設備において、
    前記分岐回路内にあるいは前記排気手段内に、前記冷却用ガス状流体のリサイクル量を制御するための調節可能負荷損失部材が設けられていることを特徴とする設備。
12. 請求項１〜１１のいずれか１項に記載の設備において、
    前記受領手段（６）に関連して熱放射プレート（１５）が設けられ、
    該プレート（１５）が、前記天井（３）の表面における熱境界層を破壊し得るよう、前記天井（３）の近傍に配置されていることを特徴とする設備。
13. 請求項１〜１２のいずれか１項に記載の設備において、
    前記冷却用ガス状流体が、空気とされていることを特徴とする設備。