JP2004344879A - 側方射出型液滴エゼクタ及び側方射出型液滴エゼクタを製造する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 円形ノズルを有する流体噴射装置を製造するため、チャネルを基板に形成し、フォトレジストのような犠牲材料をチャネルの中に堆積して、流体チャネルのための型及び流体リザーバを形成し、次に、流体噴射装置の残りを該基板上の該犠牲材料の上方に形成する。流体ヒータ構造及び流体フィルタそのものは、製造工程中に形成できる。流体噴射装置は、ノズル開口部の後ろの流体チャンバに配置されたヒータ素子を包含でき、ヒータ素子の幾何学的形状は、平坦にも、半円筒形にも、完全な円筒形にもでき、チャネルの内側に配置することができる。内側流体経路は、犠牲材料により汚染物質から保護されたまま残る。
【選択図】 図1
Description
210:基板
215:第1の永久層
216:第2の永久層
230:ヒータ素子
240:永久層
250:チャネル
255:ノズル開口部
260:流体供給リザーバ
270:流体抵抗層
275:流体入口
278:フィルタ
Claims (2)
- 流体噴射装置のための流路を形成する方法であって、
少なくとも1つのチャネルを基板に形成し、
第1の永久材料層を前記基板及び前記チャネル上に又はこれらを覆うように堆積し、
犠牲材料を前記第1の永久材料層及び前記少なくとも1つのチャネル上に又はこれらを覆うように堆積し、
複数のチャネル構造及び該複数のチャネル構造に接続された少なくとも1つの流体リザーバ構造を形成するように前記犠牲層をパターニングし、
第2の永久材料層を前記パターニングされた犠牲材料及び前記第1の永久材料層上に又はこれらを覆うように堆積し、
流体抵抗層を前記第2の永久材料層を覆うように堆積し、
前記流体抵抗層において、前記少なくとも1つの流体リザーバ構造を覆うように配置され且つ前記第2の永久材料層を少なくとも部分的に貫通する、少なくとも1つの流体入口を、形成し、
少なくとも1つの穴を前記第2の永久材料層において、前記少なくとも1つの流体入口の境界内に形成して、
前記犠牲材料を除去して、前記少なくとも1つの流体入口に流体接続された少なくとも1つの流体リザーバ構造と、該少なくとも1つの流体リザーバに流体接続された複数の流体チャネルを形成する、
ことからなる方法。 - 各々が基板の外面で終端する複数のチャネルが形成された基板と、
前記基板及び前記複数のチャネル上に又はこれらを覆うように形成された第1の永久材料層と、
前記第1の永久材料層上に又はこれを覆うように形成された第2の永久材料層とを包含し、
前記第1及び第2の永久材料層が、前記基板に形成された複数のチャネルに対する複数の流体噴射チャネルと、該複数の流体噴射チャネルに流体接続する少なくとも1つの流体リザーバとを定める形状に形成されており、
前記複数の流体噴射チャネル及び少なくとも1つの流体リザーバを包み込む流体抵抗層が、少なくとも第2の永久材料上に又はこれを覆うように形成され、
少なくとも1つの流体入口が、前記少なくとも1つの流体リザーバまで下方に延びるように前記流体抵抗層に形成され、
前記少なくとも1つの流体入口が、前記第2の永久層を貫通して前記少なくとも1つの流体入口を前記少なくとも1つの流体リザーバに流体接続する、少なくとも1つの穴を包含する、
ことを特徴とする流体噴射ヘッド。
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