JPH09216365A - 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
液体噴射記録ヘッド及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH09216365A JPH09216365A JP8026596A JP2659696A JPH09216365A JP H09216365 A JPH09216365 A JP H09216365A JP 8026596 A JP8026596 A JP 8026596A JP 2659696 A JP2659696 A JP 2659696A JP H09216365 A JPH09216365 A JP H09216365A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- recording head
- jet recording
- liquid jet
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インク等の液体の吐出の安定性を長期間にわ
たって保持できるようにする。 【解決手段】 ノズルパターンの固体層が設けられた基
板１上を、硬化型の疎水性ノズル形成材料６で被覆して
これを硬化させ、その後に、前記ノズルパターンの固体
層を除去することにより液体噴射用ノズル７を形成し、
かつそのノズル７内に液体吐出エネルギー発生部２を設
けた液体噴射記録ヘッドであって、前記基板１のうちの
前記ノズル７の吐出口の周面部９を形成する部位を、前
記疎水性ノズル形成材料６で形成し、前記吐出口の周面
部９を実質的に同一材料で形成したことを特徴とするも
のである。
たって保持できるようにする。 【解決手段】 ノズルパターンの固体層が設けられた基
板１上を、硬化型の疎水性ノズル形成材料６で被覆して
これを硬化させ、その後に、前記ノズルパターンの固体
層を除去することにより液体噴射用ノズル７を形成し、
かつそのノズル７内に液体吐出エネルギー発生部２を設
けた液体噴射記録ヘッドであって、前記基板１のうちの
前記ノズル７の吐出口の周面部９を形成する部位を、前
記疎水性ノズル形成材料６で形成し、前記吐出口の周面
部９を実質的に同一材料で形成したことを特徴とするも
のである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェット記録
方式に用いる記録小滴を発生させるための液体噴射記録
ヘッド及びその製造方法に関するものである。
方式に用いる記録小滴を発生させるための液体噴射記録
ヘッド及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録方式（液体噴射記録
方式）に適用される液体噴射記録ヘッドは、一般に微細
なインクの吐出口とインク流路（以下、ノズルとい
う。）及びこの流路の一部に設けられる液体吐出エネル
ギー発生部とを備えている。従来のこのような液体噴射
記録ヘッドを作成する方法としては、次のような方法が
知られている。以下に、これを図１１によって説明す
る。
方式）に適用される液体噴射記録ヘッドは、一般に微細
なインクの吐出口とインク流路（以下、ノズルとい
う。）及びこの流路の一部に設けられる液体吐出エネル
ギー発生部とを備えている。従来のこのような液体噴射
記録ヘッドを作成する方法としては、次のような方法が
知られている。以下に、これを図１１によって説明す
る。
【０００３】まず、基板１３上に感光性樹脂層（ポジ型
フォトレジスト）１４を形成し（図１１（ａ））、これ
をマスク１５を介して露光し（図１１（ｂ））、現像処
理を施して感光性樹脂層をパターニングして基板１３上
に固体層（レジストパターン）１６を形成する（図１１
（ｃ））。次に、パターニングされた固体層１６の上を
硬化型の疎水性ノズル形成材料１７で被覆し（図１１
（ｄ））、これを硬化させる（図１１（ｅ））。しかる
のち、パターニングされた固体層１６を、含ハロゲン炭
化水素，ケトン，エステル，アルコール等の有機溶媒あ
るいは水酸化ナトリウム，水酸化カリウム等のアルカリ
水溶液を用いて溶解除去し、ノズル１８を形成する（図
１１（ｆ））。
フォトレジスト）１４を形成し（図１１（ａ））、これ
をマスク１５を介して露光し（図１１（ｂ））、現像処
理を施して感光性樹脂層をパターニングして基板１３上
に固体層（レジストパターン）１６を形成する（図１１
（ｃ））。次に、パターニングされた固体層１６の上を
硬化型の疎水性ノズル形成材料１７で被覆し（図１１
（ｄ））、これを硬化させる（図１１（ｅ））。しかる
のち、パターニングされた固体層１６を、含ハロゲン炭
化水素，ケトン，エステル，アルコール等の有機溶媒あ
るいは水酸化ナトリウム，水酸化カリウム等のアルカリ
水溶液を用いて溶解除去し、ノズル１８を形成する（図
１１（ｆ））。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな方法によって作成される液体噴射記録ヘッドは、ノ
ズル１８の吐出口の周面部が異種材料、すなわち、疎水
性ノズル形成材料１７と基板１３で構成されるため、イ
ンクに対する漏れ性が場所によって異なり、インクの吐
出（噴射）が不安定になることがあった。
うな方法によって作成される液体噴射記録ヘッドは、ノ
ズル１８の吐出口の周面部が異種材料、すなわち、疎水
性ノズル形成材料１７と基板１３で構成されるため、イ
ンクに対する漏れ性が場所によって異なり、インクの吐
出（噴射）が不安定になることがあった。
【０００５】インクの吐出精度を向上させるには、吐出
口の周面部に撥インク剤等を塗布すればよいが、塗布膜
が薄いため、耐久性が十分でなかった。また撥水処理
は、記録ヘッド製造後に行うため、吐出口内に撥水剤が
入って目詰まり等を起こすことがあった。これを避ける
ために、転写等により撥インク剤を転写しようとする
と、バリ等が発生することがあった。
口の周面部に撥インク剤等を塗布すればよいが、塗布膜
が薄いため、耐久性が十分でなかった。また撥水処理
は、記録ヘッド製造後に行うため、吐出口内に撥水剤が
入って目詰まり等を起こすことがあった。これを避ける
ために、転写等により撥インク剤を転写しようとする
と、バリ等が発生することがあった。
【０００６】本発明は、このような従来の問題点を解決
するためになされたもので、液体の吐出が安定し、かつ
耐久性のある液体噴射記録ヘッド及びその製造方法を提
供することを目的とする。
するためになされたもので、液体の吐出が安定し、かつ
耐久性のある液体噴射記録ヘッド及びその製造方法を提
供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明が提供する液体噴
射記録ヘッドは、ノズルパターンの固体層が設けられた
基板上を、硬化型の疎水性ノズル形成材料で被覆してこ
れを硬化させ、その後に、前記ノズルパターンの固体層
を除去することにより液体噴射用ノズルを形成し、かつ
そのノズル内に液体吐出エネルギー発生部を設けた液体
噴射記録ヘッドであって、前記基板のうちの前記ノズル
の吐出口の周面部を形成する部位を、前記疎水性ノズル
形成材料で形成し、前記吐出口の周面部を実質的に同一
材料で形成したことを特徴とするものである。
射記録ヘッドは、ノズルパターンの固体層が設けられた
基板上を、硬化型の疎水性ノズル形成材料で被覆してこ
れを硬化させ、その後に、前記ノズルパターンの固体層
を除去することにより液体噴射用ノズルを形成し、かつ
そのノズル内に液体吐出エネルギー発生部を設けた液体
噴射記録ヘッドであって、前記基板のうちの前記ノズル
の吐出口の周面部を形成する部位を、前記疎水性ノズル
形成材料で形成し、前記吐出口の周面部を実質的に同一
材料で形成したことを特徴とするものである。
【０００８】また、発明が提供する液体噴射記録ヘッド
の製造方法は、ノズルパターンの固体層が設けられた基
板上を、硬化型の疎水性ノズル形成材料で被覆してこれ
を硬化させ、その後に、ノズルパターンの固体層を除去
することにより液体噴射用ノズルを形成する液体噴射記
録ヘッドの製造方法であって、前記基板のうちの前記ノ
ズルの吐出口の周面部を形成する部位を、あらかじめ前
記疎水性ノズル形成材料で形成し、前記吐出口の周面部
を実質的に同一材料で形成することを特徴とするもので
ある。
の製造方法は、ノズルパターンの固体層が設けられた基
板上を、硬化型の疎水性ノズル形成材料で被覆してこれ
を硬化させ、その後に、ノズルパターンの固体層を除去
することにより液体噴射用ノズルを形成する液体噴射記
録ヘッドの製造方法であって、前記基板のうちの前記ノ
ズルの吐出口の周面部を形成する部位を、あらかじめ前
記疎水性ノズル形成材料で形成し、前記吐出口の周面部
を実質的に同一材料で形成することを特徴とするもので
ある。
【０００９】ここにいう液体噴射記録ヘッドとしては、
前記液体吐出エネルギー発生部に熱エネルギーを発生す
る電気熱変換体を使用したもの、及びノズルの吐出口を
複数個有するフルラインタイプのものを含む。
前記液体吐出エネルギー発生部に熱エネルギーを発生す
る電気熱変換体を使用したもの、及びノズルの吐出口を
複数個有するフルラインタイプのものを含む。
【００１０】
【作用】本発明によれば、ノズルの吐出口の周面部が実
質的に同一材料で形成されるので、液体に対する漏れ性
が均一になり、液体の吐出が安定するとともに、この安
定性を長期間にわたって保持することができる。
質的に同一材料で形成されるので、液体に対する漏れ性
が均一になり、液体の吐出が安定するとともに、この安
定性を長期間にわたって保持することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、イ
ンクジェット記録ヘッドを例にして説明する。同ヘッド
は、次の手順で作成した。これを工程順に説明する。
ンクジェット記録ヘッドを例にして説明する。同ヘッド
は、次の手順で作成した。これを工程順に説明する。
【００１２】（１）図１に示すように、Ｓｉ基板１上に
吐出口エネルギー発生部となる電気熱変換体２を形成し
た。
吐出口エネルギー発生部となる電気熱変換体２を形成し
た。
【００１３】（２）図２に示すように、Ｓｉ基板１の裏
面にエッチングによって加工する溝３（後述）を作る部
分１ａを残してＳｉＯ2 の膜３ｂを設け、表面の前記部
分１ａに対する部分にＳｉＯ2 の膜３ａを設けた。
面にエッチングによって加工する溝３（後述）を作る部
分１ａを残してＳｉＯ2 の膜３ｂを設け、表面の前記部
分１ａに対する部分にＳｉＯ2 の膜３ａを設けた。
【００１４】（３）裏面からＡＰＷ（アミン−ピロカテ
コール−水）等の異方性エッチング液で、表面に液が回
らないように、エッチングを行って、図３に示すよう
に、溝３を作り、膜３ａのみを残した。
コール−水）等の異方性エッチング液で、表面に液が回
らないように、エッチングを行って、図３に示すよう
に、溝３を作り、膜３ａのみを残した。
【００１５】（４）溝３部分に表１の樹脂組成からなる
撥インク性硬化材料（疎水性ノズル形成材料）４を、図
４に示すように、塗布し、８ＪのＵＶ光を照射して、こ
れを硬化させた。
撥インク性硬化材料（疎水性ノズル形成材料）４を、図
４に示すように、塗布し、８ＪのＵＶ光を照射して、こ
れを硬化させた。
【００１６】
【表１】
【００１７】（５）Ｓｉ基板１上に、図５に示すよう
に、ポジ型フォトレジストによりノズルパターンの固体
層５を形成した。
に、ポジ型フォトレジストによりノズルパターンの固体
層５を形成した。
【００１８】（６）この固体層５が設けられたＳｉ基板
１上を、図６に示すように、表１の樹脂組成からなる撥
インク性の硬化型の疎水性ノズル形成材料６で被覆し、
この材料を８ＪのＵＶ光を照射して硬化させた。
１上を、図６に示すように、表１の樹脂組成からなる撥
インク性の硬化型の疎水性ノズル形成材料６で被覆し、
この材料を８ＪのＵＶ光を照射して硬化させた。
【００１９】（７）図７に示すように、図５のＢ−Ｂ線
で切断後、図８に示すように、ノズルパターンの固体層
５を除去した。
で切断後、図８に示すように、ノズルパターンの固体層
５を除去した。
【００２０】（８）固体層５を除去したあとに形成され
たノズル７の内部に、図９に示すように、薬品処理，紫
外線処理，グラフト重合処理，コロナ放電処理，グロー
放電処理，プラズマ放電処理等などにより親水化して親
水層１０を設けた。ついで、上記処理したものに、硬化
を増すために、１３０℃で２時間の熱処理を施した。
たノズル７の内部に、図９に示すように、薬品処理，紫
外線処理，グラフト重合処理，コロナ放電処理，グロー
放電処理，プラズマ放電処理等などにより親水化して親
水層１０を設けた。ついで、上記処理したものに、硬化
を増すために、１３０℃で２時間の熱処理を施した。
【００２１】図１０は、このようにして完成したインク
ジェット記録ヘッドを模式的に示した斜視図である。図
中、８はインク供給口、９は吐出口の周面部である。
ジェット記録ヘッドを模式的に示した斜視図である。図
中、８はインク供給口、９は吐出口の周面部である。
【００２２】比較のために、従来の方法（図１１）によ
り、次の手順で、図１０に示すインクジェット記録ヘッ
ドと同形の記録ヘッドを作成した。
り、次の手順で、図１０に示すインクジェット記録ヘッ
ドと同形の記録ヘッドを作成した。
【００２３】まず、基板上にポジ型フォトレジストを形
成し、これをマスクを介して露光し、現像処理を施して
感光性樹脂層をパターニングし、基板上に固体層（レジ
ストパターン）を形成した。次に、パターニングされた
固体層の上を、表２の樹脂組成の硬化型の疎水性ノズル
形成材料１７で被覆し、これを８ＪのＵＶ光を照射し硬
化させた。しかるのち、パターニングされた固体層を、
水酸化ナトリウムを用いて除去し、ノズルを形成した。
次いで、吐出口の周面部に転写により表１の樹脂組成の
撥インク性の硬化型の材料を塗布し、この塗布面に８Ｊ
のＵＶ光を照射した後、１３０℃で２時間の熱処理を施
した。
成し、これをマスクを介して露光し、現像処理を施して
感光性樹脂層をパターニングし、基板上に固体層（レジ
ストパターン）を形成した。次に、パターニングされた
固体層の上を、表２の樹脂組成の硬化型の疎水性ノズル
形成材料１７で被覆し、これを８ＪのＵＶ光を照射し硬
化させた。しかるのち、パターニングされた固体層を、
水酸化ナトリウムを用いて除去し、ノズルを形成した。
次いで、吐出口の周面部に転写により表１の樹脂組成の
撥インク性の硬化型の材料を塗布し、この塗布面に８Ｊ
のＵＶ光を照射した後、１３０℃で２時間の熱処理を施
した。
【００２４】
【表２】
【００２５】このようにして作成したインクジェット記
録ヘッドにより、純水／グリセリン／ダイレクトブラッ
ク１５４（水溶性黒色染料）＝６５／３０／５（重量
部）から成るインクジェットインクを用いて記録を行っ
た。
録ヘッドにより、純水／グリセリン／ダイレクトブラッ
ク１５４（水溶性黒色染料）＝６５／３０／５（重量
部）から成るインクジェットインクを用いて記録を行っ
た。
【００２６】その結果、本発明の方法で作成されたイン
クジェット記録ヘッドでは、長期耐久印字テストにおい
て印字の乱れが見られなかった。しかし、従来の方法で
作成したものについては、撥インク剤が薄いため、長期
印字テストを行うと、磨耗のために撥インク剤がなくな
ってしまったり、はがれてしまい、印字の乱れが確認で
きた。
クジェット記録ヘッドでは、長期耐久印字テストにおい
て印字の乱れが見られなかった。しかし、従来の方法で
作成したものについては、撥インク剤が薄いため、長期
印字テストを行うと、磨耗のために撥インク剤がなくな
ってしまったり、はがれてしまい、印字の乱れが確認で
きた。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
上述のような構成としたので、液体の吐出の安定性を長
期間にわたって保持することができる。
上述のような構成としたので、液体の吐出の安定性を長
期間にわたって保持することができる。
【図１】 本発明の実施の形態にかかるインクジェット
記録ヘッドの製造工程の一工程を示す斜視図
記録ヘッドの製造工程の一工程を示す斜視図
【図２】 上記製造工程の一工程を示す図で、同図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
【図３】 上記製造工程の一工程を示す図で、同図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
【図４】 上記製造工程の一工程を示す図で、同図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
【図５】 上記製造工程の一工程を示す図で、同図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ断面
図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ断面
図
【図６】 上記製造工程の一工程を示す正面図
【図７】 上記製造工程の一工程を示す正面図
【図８】 上記製造工程の一工程を示す正面図
【図９】 上記製造工程の一工程を示す断面図
【図１０】 上記製造工程により製造されたインクジェ
ット記録ヘッドの斜視図
ット記録ヘッドの斜視図
【図１１】 従来の液体噴射記録ヘッドの製造工程を示
す図
す図
１ Ｓｉ基板 ２ 電気熱変換体 ３ 溝 ３ａ ＳｉＯ2 の膜 ３ｂ ＳｉＯ2 の膜 ４ 撥インク性硬化材料（疎水性ノズル形成材料） ５ ノズルパターンの固体層 ６ 疎水性ノズル形成材料 ７ ノズル ８ インク供給口 ９ 吐出口の周面部 １０ 親水層
Claims (4)
- 【請求項１】 ノズルパターンの固体層が設けられた基
板上を、硬化型の疎水性ノズル形成材料で被覆してこれ
を硬化させ、その後に、前記ノズルパターンの固体層を
除去することにより液体噴射用ノズルを形成し、かつそ
のノズル内に液体吐出エネルギー発生部を設けた液体噴
射記録ヘッドであって、前記基板のうちの前記ノズルの
吐出口の周面部を形成する部位を、前記疎水性ノズル形
成材料で形成し、前記吐出口の周面部を実質的に同一材
料で形成したことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記液体吐出エネルギー発生部が、熱エ
ネルギーを発生する電気熱変換体であることを特徴とす
る請求項１に記載の液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記ノズルの吐出口が、記録媒体の記録
領域にわたって複数個設けられているフルラインタイプ
のものであることを特徴とする請求項１に記載の液体噴
射記録ヘッド。 - 【請求項４】 ノズルパターンの固体層が設けられた基
板上を、硬化型の疎水性ノズル形成材料で被覆してこれ
を硬化させ、その後に、ノズルパターンの固体層を除去
することにより液体噴射用ノズルを形成する液体噴射記
録ヘッドの製造方法であって、前記基板のうちの前記ノ
ズルの吐出口の周面部を形成する部位を、あらかじめ前
記疎水性ノズル形成材料で形成し、前記吐出口の周面部
を実質的に同一材料で形成することを特徴とする液体噴
射記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8026596A JPH09216365A (ja) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8026596A JPH09216365A (ja) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09216365A true JPH09216365A (ja) | 1997-08-19 |
Family
ID=12197922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8026596A Withdrawn JPH09216365A (ja) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09216365A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004344879A (ja) * | 2003-05-19 | 2004-12-09 | Xerox Corp | 側方射出型液滴エゼクタ及び側方射出型液滴エゼクタを製造する方法 |
-
1996
- 1996-02-14 JP JP8026596A patent/JPH09216365A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004344879A (ja) * | 2003-05-19 | 2004-12-09 | Xerox Corp | 側方射出型液滴エゼクタ及び側方射出型液滴エゼクタを製造する方法 |
| JP4606772B2 (ja) * | 2003-05-19 | 2011-01-05 | ゼロックス コーポレイション | 側方射出型液滴エゼクタ及び側方射出型液滴エゼクタを製造する方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3245193B2 (ja) | インクジェットプリンタの印字ヘッド | |
| US7282243B2 (en) | Pattern forming method and method of manufacturing ink jet recording head | |
| JP4280574B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
| US8870345B2 (en) | Method of making superoleophobic re-entrant resist structures | |
| JP4298414B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
| JP2003127399A (ja) | インクジェット記録ヘッドの作成方法及びインクジェット記録ヘッド | |
| JP3524258B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP4374811B2 (ja) | インクジェットプリンタ用ノズルプレートの製造方法 | |
| JP2008100514A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JP3095795B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドおよび該ヘッドの製造方法 | |
| JPH09216365A (ja) | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JP2012091405A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH04216952A (ja) | 液体噴射記録ヘッド、その製造方法、及び液体噴射記録ヘッドを備えた記録装置 | |
| JP3652022B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| US6684504B2 (en) | Method of manufacturing an imageable support matrix for printhead nozzle plates | |
| JPH09216366A (ja) | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0242354B2 (ja) | ||
| JPH04216951A (ja) | 液体噴射記録ヘッド、その製造方法、及び液体噴射記録ヘッドを備えた記録装置 | |
| JP3610215B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH09109400A (ja) | 噴射ノズルの製造方法 | |
| JPH08258275A (ja) | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 | |
| JPH09201968A (ja) | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JP3123573B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JP2001010062A (ja) | 液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル加工方法および液体噴射記録ヘッドの製造方法 | |
| JP2831485B2 (ja) | 液体噴射記録ヘッド、その製造方法、及び液体噴射記録ヘッドを備えた記録装置。 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030506 |