JPH0242354B2 - - Google Patents
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- JPH0242354B2 JPH0242354B2 JP59080419A JP8041984A JPH0242354B2 JP H0242354 B2 JPH0242354 B2 JP H0242354B2 JP 59080419 A JP59080419 A JP 59080419A JP 8041984 A JP8041984 A JP 8041984A JP H0242354 B2 JPH0242354 B2 JP H0242354B2
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、微小開口よりインク液を噴射させ、
被記録物に文字、図形、画像等を記録するインク
ジエツトヘツドのノズル製造方法に関するもので
ある。
被記録物に文字、図形、画像等を記録するインク
ジエツトヘツドのノズル製造方法に関するもので
ある。
従来例の構成とその問題点
近年、カラープリンタやコンピユータの端末機
器として、インクジエツト記録装置が利用される
ようになつてきた。
器として、インクジエツト記録装置が利用される
ようになつてきた。
第１図は、特開昭57−131569号公報に示された
インクノズルの断面図を示す。１はインクノズル
板、２はノズル端部、３は噴射オリフイスであ
る。第１図のように、ノズル端部２にリング状の
凸状部が設けられた構成であると、ノズル端部２
が一定形状であり、鋭利な端縁を有するため、イ
ンク液滴を噴射させた後のノズル端部２へのぬれ
によるインク液の残存は少なくなり、表面張力に
より引き合う力の側方指向力は極く僅かとなり、
またすべての側方指向力は等しくなるため、イン
ク液滴が噴射オリフイス３の軸線方向に噴射され
るという効果があることが知られている。
インクノズルの断面図を示す。１はインクノズル
板、２はノズル端部、３は噴射オリフイスであ
る。第１図のように、ノズル端部２にリング状の
凸状部が設けられた構成であると、ノズル端部２
が一定形状であり、鋭利な端縁を有するため、イ
ンク液滴を噴射させた後のノズル端部２へのぬれ
によるインク液の残存は少なくなり、表面張力に
より引き合う力の側方指向力は極く僅かとなり、
またすべての側方指向力は等しくなるため、イン
ク液滴が噴射オリフイス３の軸線方向に噴射され
るという効果があることが知られている。
この構成のインクノズルがどのようにして製造
されるかは前記公報には示されておらず不明であ
るが、感光性樹脂を使う場合には第２図に示す方
法が知られている。
されるかは前記公報には示されておらず不明であ
るが、感光性樹脂を使う場合には第２図に示す方
法が知られている。
第２図のａは、感光性樹脂１６の上に露光マス
ク１７を重ねて露光しているところである。イン
ク吐出口２０に相当するマスクパターン１８とそ
の周辺に網目状マスクパターン１９があり、パタ
ーン１８の部分は光を透過しないので、パターン
１８で覆われている領域の感光性樹脂１６は露光
されない。また網目状パターン１９によつて覆わ
れている領域の感光性樹脂１６は完全にはマスク
されていないので若干露光された状態になる。こ
れに加えて、パターン１８の周縁は、環状に露光
される。露光された部分の感光性樹脂１６は重合
反応を起して硬化し、溶剤不溶性になる。
ク１７を重ねて露光しているところである。イン
ク吐出口２０に相当するマスクパターン１８とそ
の周辺に網目状マスクパターン１９があり、パタ
ーン１８の部分は光を透過しないので、パターン
１８で覆われている領域の感光性樹脂１６は露光
されない。また網目状パターン１９によつて覆わ
れている領域の感光性樹脂１６は完全にはマスク
されていないので若干露光された状態になる。こ
れに加えて、パターン１８の周縁は、環状に露光
される。露光された部分の感光性樹脂１６は重合
反応を起して硬化し、溶剤不溶性になる。
第２図ａの状態で露光後溶剤で現像処理する
と、マスク１８で覆われていた部分は溶剤で溶解
され、第２図ｂに示すようにインク吐出口２０が
穿孔される。網目状マスクパターン１９で覆われ
ている部分は溶剤に対する溶解度が低下し、第２
図ｂに示すようにインク吐出口２０を穿孔するに
要する時間での現像処理では感光性樹脂１６の板
厚の途中までの溶解がなされる。一方マスク１８
の周辺のリング状部は露光が十分行なわれ、その
部分は溶剤に不溶であるため第２図ｂに示すよう
にインク吐出口２０の周辺に凸状部が形成される
ことになる。最後にインク吐出口２０の凸状部が
形成された面の反対側の面からインク吐出口２０
の形状を円錐状に切削することにより第１図のよ
うな構成のヘツドノズルが得られる。現像処理が
完了後加熱または紫外線照射により感光性樹脂は
硬化される。
と、マスク１８で覆われていた部分は溶剤で溶解
され、第２図ｂに示すようにインク吐出口２０が
穿孔される。網目状マスクパターン１９で覆われ
ている部分は溶剤に対する溶解度が低下し、第２
図ｂに示すようにインク吐出口２０を穿孔するに
要する時間での現像処理では感光性樹脂１６の板
厚の途中までの溶解がなされる。一方マスク１８
の周辺のリング状部は露光が十分行なわれ、その
部分は溶剤に不溶であるため第２図ｂに示すよう
にインク吐出口２０の周辺に凸状部が形成される
ことになる。最後にインク吐出口２０の凸状部が
形成された面の反対側の面からインク吐出口２０
の形状を円錐状に切削することにより第１図のよ
うな構成のヘツドノズルが得られる。現像処理が
完了後加熱または紫外線照射により感光性樹脂は
硬化される。
ところが、以上の方法では、インク吐出口２０
の直径D2や、凸状部の端面の直径D3等の寸法精
度は良いのであるが、感光性樹脂１６は、有機物
質であるために、インクに、特に油性インクに溶
かされて膨潤したり、また剛性がないために第４
図ｂのΔBの寸法が20μmであるような微細な形状
であると変形してしまう問題があつた。
の直径D2や、凸状部の端面の直径D3等の寸法精
度は良いのであるが、感光性樹脂１６は、有機物
質であるために、インクに、特に油性インクに溶
かされて膨潤したり、また剛性がないために第４
図ｂのΔBの寸法が20μmであるような微細な形状
であると変形してしまう問題があつた。
発明の目的
本発明は、以上のような問題点を解消し、寸法
精度が良く、剛性があり、比抵抗が高く、耐イン
ク性にすぐれたインクジエツト記録ヘツドのノズ
ル製造方法を提供することを目的としている。
精度が良く、剛性があり、比抵抗が高く、耐イン
ク性にすぐれたインクジエツト記録ヘツドのノズ
ル製造方法を提供することを目的としている。
発明の構成
本発明は感光性ガラス板にノズル孔を形成すべ
き位置の周囲部のリング状のパターンを除いて露
光し、現像後片面をハーフエツチングしてリング
状の凸状部を形成し、前記ハーフエツチングされ
た面を耐エツチング液性材料でマスキングし、前
記ハーフエツチングされた面とは反対側の面のノ
ズル孔に対応する部分以外を耐エツチング液性材
料でマスキングし、この面側よりエツチングして
前記感光性ガラス板に貫通孔を形成し、この貫通
孔をオリフイスとしたインクジエツト記録ヘツド
のノズル製造方法である。
き位置の周囲部のリング状のパターンを除いて露
光し、現像後片面をハーフエツチングしてリング
状の凸状部を形成し、前記ハーフエツチングされ
た面を耐エツチング液性材料でマスキングし、前
記ハーフエツチングされた面とは反対側の面のノ
ズル孔に対応する部分以外を耐エツチング液性材
料でマスキングし、この面側よりエツチングして
前記感光性ガラス板に貫通孔を形成し、この貫通
孔をオリフイスとしたインクジエツト記録ヘツド
のノズル製造方法である。
実施例の説明
第３図は本発明により製造されるインクノズル
板を使用して好適なインクジエツト記録装置の一
例を示す。第３図において、絶縁性のノズル板４
には空気吐出口５が穿孔されており、このノズル
板４と平行してノズル板６が配置されており、か
つノズル板６には空気吐出口５に対向してインク
吐出口２７が穿孔されている。インク吐出口７に
は空気吐出口５方向に延びる凸状部が設けられて
いる。ノズル板４とノズル板６により形成される
空気層８には周辺から空気流が送られ、空気吐出
口５より流出する。信号源９はノズル板４の表面
でかつ空気吐出口５の周辺に設けられた電極１０
とインク吐出口７内のインクとの間に電位差が生
じるように、電極１０およびインク吐出口７に連
通した導電性のインク供給管１１に電気的に接続
されている。インク液滴は、空気流と静電力とに
より噴射される。第３図のように、インク吐出口
７に空気吐出口５方向に延びる凸状部が設けられ
た構成であると、空気流は、突出したインク吐出
口７の影響でより急激に曲げられ、インク吐出口
７の近傍には空気流の死水域が発生し、この死水
域では空気流の圧力勾配がほとんどなく、したが
つてインク吐出口７でインクメニスカスが若干変
動してもインクが噴出することがなく、インクの
メニスカスの安定性が高まる。
板を使用して好適なインクジエツト記録装置の一
例を示す。第３図において、絶縁性のノズル板４
には空気吐出口５が穿孔されており、このノズル
板４と平行してノズル板６が配置されており、か
つノズル板６には空気吐出口５に対向してインク
吐出口２７が穿孔されている。インク吐出口７に
は空気吐出口５方向に延びる凸状部が設けられて
いる。ノズル板４とノズル板６により形成される
空気層８には周辺から空気流が送られ、空気吐出
口５より流出する。信号源９はノズル板４の表面
でかつ空気吐出口５の周辺に設けられた電極１０
とインク吐出口７内のインクとの間に電位差が生
じるように、電極１０およびインク吐出口７に連
通した導電性のインク供給管１１に電気的に接続
されている。インク液滴は、空気流と静電力とに
より噴射される。第３図のように、インク吐出口
７に空気吐出口５方向に延びる凸状部が設けられ
た構成であると、空気流は、突出したインク吐出
口７の影響でより急激に曲げられ、インク吐出口
７の近傍には空気流の死水域が発生し、この死水
域では空気流の圧力勾配がほとんどなく、したが
つてインク吐出口７でインクメニスカスが若干変
動してもインクが噴出することがなく、インクの
メニスカスの安定性が高まる。
第４図は第３図に示したノズル板にインク吐出
口を形成したインクノズルの製造工程を示す。第
４図ａにおいて、２１は感光性ガラスでたとえば
CeO2およびAg2Oを含むSiO2−Al2O3−Li2O3系
ガラスであり、その上に露光マスク２２を配置し
て、波長２８０〜３５０ｎｍの紫外光をあてて露
光を行なう。露光マスク２２においてリング状の
部分２２ａは光を遮断し、その他の部分２２ｂは
光を透過する。第５図ｂは第５図ａの光の照射後
の様子を示し、光があたつた部分２１ｂは、 Ce3+＋Ag+＋hν→Ce4+＋Ag0 なる反応がおこり、これに第１次熱処理を施し、
Agの金属コロイドを発生させ、さらに第２次熱
処理により、この金属コロイドが核になつて
Li2O−SiO2結晶が発生する。このような熱処理
現像により得られるLi2O−SiO2結晶はきわめて
酸に溶解しやすい。したがつて光があたつた部分
２１ｂは、弗酸水溶液によつて容易にエツチング
することができる。光があたらなかつた部分２１
ａは結晶化していない部分である。エツチングす
る前に第４図ａで露光マスク２２が重ねられた面
とは反対側の感光性ガラス２１の片面に、耐エツ
チング液材料として耐弗酸性材料層２３でマスキ
ングする。この場合エレクトロンワツクス（宗電
子工業(株)製）を用い、感光性ガラス２１を70℃の
温度に上げてエレクトロンワツクスを塗布してい
る。
口を形成したインクノズルの製造工程を示す。第
４図ａにおいて、２１は感光性ガラスでたとえば
CeO2およびAg2Oを含むSiO2−Al2O3−Li2O3系
ガラスであり、その上に露光マスク２２を配置し
て、波長２８０〜３５０ｎｍの紫外光をあてて露
光を行なう。露光マスク２２においてリング状の
部分２２ａは光を遮断し、その他の部分２２ｂは
光を透過する。第５図ｂは第５図ａの光の照射後
の様子を示し、光があたつた部分２１ｂは、 Ce3+＋Ag+＋hν→Ce4+＋Ag0 なる反応がおこり、これに第１次熱処理を施し、
Agの金属コロイドを発生させ、さらに第２次熱
処理により、この金属コロイドが核になつて
Li2O−SiO2結晶が発生する。このような熱処理
現像により得られるLi2O−SiO2結晶はきわめて
酸に溶解しやすい。したがつて光があたつた部分
２１ｂは、弗酸水溶液によつて容易にエツチング
することができる。光があたらなかつた部分２１
ａは結晶化していない部分である。エツチングす
る前に第４図ａで露光マスク２２が重ねられた面
とは反対側の感光性ガラス２１の片面に、耐エツ
チング液材料として耐弗酸性材料層２３でマスキ
ングする。この場合エレクトロンワツクス（宗電
子工業(株)製）を用い、感光性ガラス２１を70℃の
温度に上げてエレクトロンワツクスを塗布してい
る。
次に第４図ｃに示すように感光ガラス２１のマ
スキングした面に反対側を、弗酸水溶液により所
定の深さにエツチングする。そののち、耐弗酸材
料層２３を剥離する。これはエレクトロンワツク
スをトリクロルエチレンの超音波洗浄により剥離
することにより行なわれる。次に第５図ｄに示す
ように感光性ガラス２１のエツチングされた面と
は反対側すなわち耐弗酸性材料層２３を剥離した
面に、耐エツチング液材料のフオトレジスト２４
をコーテイングし、その上に感光性ガラス２１の
リング状部２１ａに対応する位置に光しやへい部
２５ａを有する露光マスク２５を配置して紫外光
による露光、現像、定着を施して第４図ｅのよう
にフオトレジスト２４で、感光性ガラス２１にマ
スキングする。このパターンは、リング状部２１
ａの内径と外径の間に露光マスク２５の光しやへ
い部２５ａに対応し得られるフオトレジスト２４
の円形状のパターンが入る大きさになつており、
またほぼ同心円状となるように位置合わせされて
いる。ここではネガタイプのフオトレジスト２４
を用いているため、露光マスク２５の２５ａは光
を遮断する部分、２５ｂは光を透過する部分とな
つている。なお、エツチング時間が長いためにフ
オトレジスト２４がもたない場合は、マスキング
材として例えば金や白金等をフオトエツチング工
程により作成して用いてもよく、また第４図ｂで
耐弗酸材料層２３として金や白金を用いた場合、
第４図ｃでエツチングした後剥離することなくそ
のまま前記の方法によりパターンを形成して、フ
オトレジスト２４の代わりに用いてもよい。この
他耐弗酸性のある材料であれば、種々の方法によ
りパターンを形成しフオトレジスト２４の代わり
に用いてよい。
スキングした面に反対側を、弗酸水溶液により所
定の深さにエツチングする。そののち、耐弗酸材
料層２３を剥離する。これはエレクトロンワツク
スをトリクロルエチレンの超音波洗浄により剥離
することにより行なわれる。次に第５図ｄに示す
ように感光性ガラス２１のエツチングされた面と
は反対側すなわち耐弗酸性材料層２３を剥離した
面に、耐エツチング液材料のフオトレジスト２４
をコーテイングし、その上に感光性ガラス２１の
リング状部２１ａに対応する位置に光しやへい部
２５ａを有する露光マスク２５を配置して紫外光
による露光、現像、定着を施して第４図ｅのよう
にフオトレジスト２４で、感光性ガラス２１にマ
スキングする。このパターンは、リング状部２１
ａの内径と外径の間に露光マスク２５の光しやへ
い部２５ａに対応し得られるフオトレジスト２４
の円形状のパターンが入る大きさになつており、
またほぼ同心円状となるように位置合わせされて
いる。ここではネガタイプのフオトレジスト２４
を用いているため、露光マスク２５の２５ａは光
を遮断する部分、２５ｂは光を透過する部分とな
つている。なお、エツチング時間が長いためにフ
オトレジスト２４がもたない場合は、マスキング
材として例えば金や白金等をフオトエツチング工
程により作成して用いてもよく、また第４図ｂで
耐弗酸材料層２３として金や白金を用いた場合、
第４図ｃでエツチングした後剥離することなくそ
のまま前記の方法によりパターンを形成して、フ
オトレジスト２４の代わりに用いてもよい。この
他耐弗酸性のある材料であれば、種々の方法によ
りパターンを形成しフオトレジスト２４の代わり
に用いてよい。
つぎに第４図ｆに示すようにｃでエツチングさ
れた面を耐弗酸材料層２６でマスキングする。こ
こでは前出のエレクトロンワツクスを用いてい
る。第４図ｇにおいては、図のようにマスキング
されていない部分のある前記エツチング面の反対
側を弗酸水溶液により再度エツチングし、一度目
のエツチング面に二度目のエツチング面が完全に
連通するまで行なう。この結果、リング状部２１
ａ内に貫通孔２７が形成される。エツチング後、
第４図ｈに示すように耐弗酸性材料層２６のエレ
クトロンワツクスはトリクロルエチレンで剥離
し、フオトレジスト２４はプラズマ剥離で除去す
ることにより、リング状の凸状部を有するノズル
を形成できた。なお、感光性ガラス板２１の剛
性、耐酸性、耐熱性等をさらに良くしたい場合に
は、第４図ｉに示すように全体に再び紫外線を照
射し、第３次熱処理を施すことにより、Li2O・
2SiO2結晶を発生させるとよい。
れた面を耐弗酸材料層２６でマスキングする。こ
こでは前出のエレクトロンワツクスを用いてい
る。第４図ｇにおいては、図のようにマスキング
されていない部分のある前記エツチング面の反対
側を弗酸水溶液により再度エツチングし、一度目
のエツチング面に二度目のエツチング面が完全に
連通するまで行なう。この結果、リング状部２１
ａ内に貫通孔２７が形成される。エツチング後、
第４図ｈに示すように耐弗酸性材料層２６のエレ
クトロンワツクスはトリクロルエチレンで剥離
し、フオトレジスト２４はプラズマ剥離で除去す
ることにより、リング状の凸状部を有するノズル
を形成できた。なお、感光性ガラス板２１の剛
性、耐酸性、耐熱性等をさらに良くしたい場合に
は、第４図ｉに示すように全体に再び紫外線を照
射し、第３次熱処理を施すことにより、Li2O・
2SiO2結晶を発生させるとよい。
第５図は、前記の製造方法により形成したノズ
ルの断面図である。２１は感光性ガラスであり、
一度目のエツチングで凸状部２１′と噴射オリフ
イスの前部２８を形成している。そしてそのエツ
チング面およびもう片面をマスキングしてから、
今度は反対側から二度目のエツチングで噴射オリ
フイスの後部２９を形成している。感光性ガラス
２１の結晶質部分と非晶質部分のエツチング率は
約20：１と差があるが、深さが長くて穴径の小さ
い寸法形状の場合、エツチング時間が長くなるた
めサイドエツチングが大きくなり、寸法精度が悪
くなることがある。しかし本発明の製造方法で
は、噴射オリフイスを２度に分けて両側からエツ
チングするので、凸状部２１′の周縁４０の直径
D5はφ100μｍ、噴射オリフイスの先端の直径D4
はφ40μｍ、前部２８の深さは35μｍ、後部２９の
深さは130μｍの寸法のときに、一度目のエツチ
ング時間が短く、サイドエツチングが小さいため
に、特に重要な寸法である噴射オリフイスの先端
の直径D4と凸状部２１′の周縁４０の直径D5のバ
ラツキの寸法精度を、±2μｍにおさえることがで
きた。またΔCの寸法は30μｍと小さいのである
が、感光性ガラス２１に剛性があるために、変形
しないノズルができた。さらに、感光性ガラスは
耐インク性にもすぐれており膨潤等のおそれもな
く、かつ比抵抗が高く絶縁物であるので、前記説
明した空気流と静電力を用いたインジエクト記録
ヘツドにこのノズル板を用いた場合、静電力がイ
ンクに集中するために良好な吐出特性が得られ
た。そしてまた露光マスクのリング状パターンが
そのまま感光性ガラス板に露光、現像により転写
されるので、噴射オリフイスと凸状部の周縁の同
心度及び噴射オリフイスの真直度の良いノズル板
が製造できた。なお以上の実施例では、リング状
の凸状部において、製造方法を説明したが、リン
グ状とは限らず、四角、三角等何れの形状でも形
成可能である。
ルの断面図である。２１は感光性ガラスであり、
一度目のエツチングで凸状部２１′と噴射オリフ
イスの前部２８を形成している。そしてそのエツ
チング面およびもう片面をマスキングしてから、
今度は反対側から二度目のエツチングで噴射オリ
フイスの後部２９を形成している。感光性ガラス
２１の結晶質部分と非晶質部分のエツチング率は
約20：１と差があるが、深さが長くて穴径の小さ
い寸法形状の場合、エツチング時間が長くなるた
めサイドエツチングが大きくなり、寸法精度が悪
くなることがある。しかし本発明の製造方法で
は、噴射オリフイスを２度に分けて両側からエツ
チングするので、凸状部２１′の周縁４０の直径
D5はφ100μｍ、噴射オリフイスの先端の直径D4
はφ40μｍ、前部２８の深さは35μｍ、後部２９の
深さは130μｍの寸法のときに、一度目のエツチ
ング時間が短く、サイドエツチングが小さいため
に、特に重要な寸法である噴射オリフイスの先端
の直径D4と凸状部２１′の周縁４０の直径D5のバ
ラツキの寸法精度を、±2μｍにおさえることがで
きた。またΔCの寸法は30μｍと小さいのである
が、感光性ガラス２１に剛性があるために、変形
しないノズルができた。さらに、感光性ガラスは
耐インク性にもすぐれており膨潤等のおそれもな
く、かつ比抵抗が高く絶縁物であるので、前記説
明した空気流と静電力を用いたインジエクト記録
ヘツドにこのノズル板を用いた場合、静電力がイ
ンクに集中するために良好な吐出特性が得られ
た。そしてまた露光マスクのリング状パターンが
そのまま感光性ガラス板に露光、現像により転写
されるので、噴射オリフイスと凸状部の周縁の同
心度及び噴射オリフイスの真直度の良いノズル板
が製造できた。なお以上の実施例では、リング状
の凸状部において、製造方法を説明したが、リン
グ状とは限らず、四角、三角等何れの形状でも形
成可能である。
発明の効果
以上詳細な説明のごとく、本発明は感光性ガラ
ス板にノズル孔を形成すべき位置の周囲部のリン
グ状のパターンを除いて露光する第１の工程と、
前記露光された感光性ガラス板を熱処理現像する
第２の工程と、前記感光性ガラス板の片面をハー
フエツチングしてリング状の凸状部を形成する第
３の工程と、前記ハーフエツチングされた面を耐
エツチング液性材料でマスキングする第４の工程
と、前記ハーフエツチングされた面とは反対側の
面のノズル孔に対応する部分以外を耐エツチング
液性材料でマスキングする第５の工程と、第５の
工程でマスキングされない部分をエツチングして
前記感光性ガラス板に貫通孔を形成する第６の工
程とを含むインクジエツト記録ヘツドノズル製造
方法で、寸法精度の良い、剛性のある、比抵抗の
高い、耐インク性に優れたノズルが作製でき、そ
の結果、特性のバラツキが少なく、耐久性にすぐ
れたインクジエツト記録ヘツドを得ることができ
る。特に第３図に示した空気流の急激な曲りによ
り生ずる圧力勾配中にノズル口周囲に凸状部を有
するインクノズルを配置し、静電力と空気流とに
よりインクを吐出させるインクジエツト記録装置
用のインクノズルを高精度で容易に作成すること
ができる。
ス板にノズル孔を形成すべき位置の周囲部のリン
グ状のパターンを除いて露光する第１の工程と、
前記露光された感光性ガラス板を熱処理現像する
第２の工程と、前記感光性ガラス板の片面をハー
フエツチングしてリング状の凸状部を形成する第
３の工程と、前記ハーフエツチングされた面を耐
エツチング液性材料でマスキングする第４の工程
と、前記ハーフエツチングされた面とは反対側の
面のノズル孔に対応する部分以外を耐エツチング
液性材料でマスキングする第５の工程と、第５の
工程でマスキングされない部分をエツチングして
前記感光性ガラス板に貫通孔を形成する第６の工
程とを含むインクジエツト記録ヘツドノズル製造
方法で、寸法精度の良い、剛性のある、比抵抗の
高い、耐インク性に優れたノズルが作製でき、そ
の結果、特性のバラツキが少なく、耐久性にすぐ
れたインクジエツト記録ヘツドを得ることができ
る。特に第３図に示した空気流の急激な曲りによ
り生ずる圧力勾配中にノズル口周囲に凸状部を有
するインクノズルを配置し、静電力と空気流とに
よりインクを吐出させるインクジエツト記録装置
用のインクノズルを高精度で容易に作成すること
ができる。
第１図は従来のインクジエツト記録ヘツドのノ
ズル部の一例を示す断面図、第２図は従来のイン
クノズルの製造方法を説明するための工程図、第
３図は本発明の適用されるインクジエツト記録装
置の一例を示す断面図、第４図は本発明によるノ
ズル製造方法の実施例を示す工程図、第５図は本
発明により得られたインクジエツト記録ヘツドノ
ズルの拡大断面図である。 ２１，３１……感光性ガラス、２２，２５，３
０，３４……露光マスク、２３，２６，３２，３
５……耐弗酸性材料層、２４，３３……フオトレ
ジスト。
ズル部の一例を示す断面図、第２図は従来のイン
クノズルの製造方法を説明するための工程図、第
３図は本発明の適用されるインクジエツト記録装
置の一例を示す断面図、第４図は本発明によるノ
ズル製造方法の実施例を示す工程図、第５図は本
発明により得られたインクジエツト記録ヘツドノ
ズルの拡大断面図である。 ２１，３１……感光性ガラス、２２，２５，３
０，３４……露光マスク、２３，２６，３２，３
５……耐弗酸性材料層、２４，３３……フオトレ
ジスト。
Claims (1)
- １ 感光性ガラス板にノズル孔を形成すべき位置
の周囲部のリング状のパターンを除いて露光する
第１の工程と、前記露光された感光性ガラス板を
熱処理現像する第２の工程と、前記感光性ガラス
板の片面をハーフエツチングしてリング状の凸状
部を形成する第３の工程と、前記ハーフエツチン
グされた面を耐エツチング液性材料でマスキング
する第４の工程と、前記ハーフエツチングされた
面とは反対側の面のノズル孔に対応する部分以外
を耐エツチング液性材料でマスキングする第５の
工程と、第５の工程でマスキングされない部分を
エツチングして前記感光性ガラス板に貫通孔を形
成する第６の工程とを含むことを特徴とするイン
クジエツト記録ヘツドのノズル製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8041984A JPS60224555A (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | インクジエツト記録ヘツドのノズル製造方法 |
| US06/781,058 US4728392A (en) | 1984-04-20 | 1985-09-27 | Ink jet printer and method for fabricating a nozzle member |
| US07/074,306 US4801955A (en) | 1984-04-20 | 1987-07-15 | Ink jet printer |
| US07/074,305 US4801954A (en) | 1984-04-20 | 1987-07-15 | Ink jet printer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8041984A JPS60224555A (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | インクジエツト記録ヘツドのノズル製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60224555A JPS60224555A (ja) | 1985-11-08 |
| JPH0242354B2 true JPH0242354B2 (ja) | 1990-09-21 |
Family
ID=13717770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8041984A Granted JPS60224555A (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | インクジエツト記録ヘツドのノズル製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60224555A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5895313A (en) * | 1995-03-29 | 1999-04-20 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for manufacture of ink jet nozzle |
| WO2022009656A1 (ja) | 2020-07-09 | 2022-01-13 | 住友金属鉱山株式会社 | 有価金属を回収する方法 |
| WO2022009742A1 (ja) | 2020-07-09 | 2022-01-13 | 住友金属鉱山株式会社 | 有価金属を回収する方法 |
| WO2022009657A1 (ja) | 2020-07-09 | 2022-01-13 | 住友金属鉱山株式会社 | 有価金属を回収する方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4635480B2 (ja) * | 2004-06-14 | 2011-02-23 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5549275A (en) * | 1978-10-06 | 1980-04-09 | Fuji Xerox Co Ltd | Multi-nozzle orifice plate |
| JPS57205166A (en) * | 1981-03-19 | 1982-12-16 | Xerox Corp | Manufacture of opening board for ink jet type printer |
| JPS58112755A (ja) * | 1981-12-25 | 1983-07-05 | Nec Corp | インクズエツト記録ヘツド用ノズルおよびその製造方法 |
-
1984
- 1984-04-20 JP JP8041984A patent/JPS60224555A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5549275A (en) * | 1978-10-06 | 1980-04-09 | Fuji Xerox Co Ltd | Multi-nozzle orifice plate |
| JPS57205166A (en) * | 1981-03-19 | 1982-12-16 | Xerox Corp | Manufacture of opening board for ink jet type printer |
| JPS58112755A (ja) * | 1981-12-25 | 1983-07-05 | Nec Corp | インクズエツト記録ヘツド用ノズルおよびその製造方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5895313A (en) * | 1995-03-29 | 1999-04-20 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for manufacture of ink jet nozzle |
| WO2022009656A1 (ja) | 2020-07-09 | 2022-01-13 | 住友金属鉱山株式会社 | 有価金属を回収する方法 |
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| WO2022009657A1 (ja) | 2020-07-09 | 2022-01-13 | 住友金属鉱山株式会社 | 有価金属を回収する方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60224555A (ja) | 1985-11-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |