JPH0242354B2 - - Google Patents
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- JPH0242354B2 JPH0242354B2 JP59080419A JP8041984A JPH0242354B2 JP H0242354 B2 JPH0242354 B2 JP H0242354B2 JP 59080419 A JP59080419 A JP 59080419A JP 8041984 A JP8041984 A JP 8041984A JP H0242354 B2 JPH0242354 B2 JP H0242354B2
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、微小開口よりインク液を噴射させ、
被記録物に文字、図形、画像等を記録するインク
ジエツトヘツドのノズル製造方法に関するもので
ある。
被記録物に文字、図形、画像等を記録するインク
ジエツトヘツドのノズル製造方法に関するもので
ある。
従来例の構成とその問題点
近年、カラープリンタやコンピユータの端末機
器として、インクジエツト記録装置が利用される
ようになつてきた。
器として、インクジエツト記録装置が利用される
ようになつてきた。
第1図は、特開昭57−131569号公報に示された
インクノズルの断面図を示す。1はインクノズル
板、2はノズル端部、3は噴射オリフイスであ
る。第1図のように、ノズル端部2にリング状の
凸状部が設けられた構成であると、ノズル端部2
が一定形状であり、鋭利な端縁を有するため、イ
ンク液滴を噴射させた後のノズル端部2へのぬれ
によるインク液の残存は少なくなり、表面張力に
より引き合う力の側方指向力は極く僅かとなり、
またすべての側方指向力は等しくなるため、イン
ク液滴が噴射オリフイス3の軸線方向に噴射され
るという効果があることが知られている。
インクノズルの断面図を示す。1はインクノズル
板、2はノズル端部、3は噴射オリフイスであ
る。第1図のように、ノズル端部2にリング状の
凸状部が設けられた構成であると、ノズル端部2
が一定形状であり、鋭利な端縁を有するため、イ
ンク液滴を噴射させた後のノズル端部2へのぬれ
によるインク液の残存は少なくなり、表面張力に
より引き合う力の側方指向力は極く僅かとなり、
またすべての側方指向力は等しくなるため、イン
ク液滴が噴射オリフイス3の軸線方向に噴射され
るという効果があることが知られている。
この構成のインクノズルがどのようにして製造
されるかは前記公報には示されておらず不明であ
るが、感光性樹脂を使う場合には第2図に示す方
法が知られている。
されるかは前記公報には示されておらず不明であ
るが、感光性樹脂を使う場合には第2図に示す方
法が知られている。
第2図のaは、感光性樹脂16の上に露光マス
ク17を重ねて露光しているところである。イン
ク吐出口20に相当するマスクパターン18とそ
の周辺に網目状マスクパターン19があり、パタ
ーン18の部分は光を透過しないので、パターン
18で覆われている領域の感光性樹脂16は露光
されない。また網目状パターン19によつて覆わ
れている領域の感光性樹脂16は完全にはマスク
されていないので若干露光された状態になる。こ
れに加えて、パターン18の周縁は、環状に露光
される。露光された部分の感光性樹脂16は重合
反応を起して硬化し、溶剤不溶性になる。
ク17を重ねて露光しているところである。イン
ク吐出口20に相当するマスクパターン18とそ
の周辺に網目状マスクパターン19があり、パタ
ーン18の部分は光を透過しないので、パターン
18で覆われている領域の感光性樹脂16は露光
されない。また網目状パターン19によつて覆わ
れている領域の感光性樹脂16は完全にはマスク
されていないので若干露光された状態になる。こ
れに加えて、パターン18の周縁は、環状に露光
される。露光された部分の感光性樹脂16は重合
反応を起して硬化し、溶剤不溶性になる。
第2図aの状態で露光後溶剤で現像処理する
と、マスク18で覆われていた部分は溶剤で溶解
され、第2図bに示すようにインク吐出口20が
穿孔される。網目状マスクパターン19で覆われ
ている部分は溶剤に対する溶解度が低下し、第2
図bに示すようにインク吐出口20を穿孔するに
要する時間での現像処理では感光性樹脂16の板
厚の途中までの溶解がなされる。一方マスク18
の周辺のリング状部は露光が十分行なわれ、その
部分は溶剤に不溶であるため第2図bに示すよう
にインク吐出口20の周辺に凸状部が形成される
ことになる。最後にインク吐出口20の凸状部が
形成された面の反対側の面からインク吐出口20
の形状を円錐状に切削することにより第1図のよ
うな構成のヘツドノズルが得られる。現像処理が
完了後加熱または紫外線照射により感光性樹脂は
硬化される。
と、マスク18で覆われていた部分は溶剤で溶解
され、第2図bに示すようにインク吐出口20が
穿孔される。網目状マスクパターン19で覆われ
ている部分は溶剤に対する溶解度が低下し、第2
図bに示すようにインク吐出口20を穿孔するに
要する時間での現像処理では感光性樹脂16の板
厚の途中までの溶解がなされる。一方マスク18
の周辺のリング状部は露光が十分行なわれ、その
部分は溶剤に不溶であるため第2図bに示すよう
にインク吐出口20の周辺に凸状部が形成される
ことになる。最後にインク吐出口20の凸状部が
形成された面の反対側の面からインク吐出口20
の形状を円錐状に切削することにより第1図のよ
うな構成のヘツドノズルが得られる。現像処理が
完了後加熱または紫外線照射により感光性樹脂は
硬化される。
ところが、以上の方法では、インク吐出口20
の直径D2や、凸状部の端面の直径D3等の寸法精
度は良いのであるが、感光性樹脂16は、有機物
質であるために、インクに、特に油性インクに溶
かされて膨潤したり、また剛性がないために第4
図bのΔBの寸法が20μmであるような微細な形状
であると変形してしまう問題があつた。
の直径D2や、凸状部の端面の直径D3等の寸法精
度は良いのであるが、感光性樹脂16は、有機物
質であるために、インクに、特に油性インクに溶
かされて膨潤したり、また剛性がないために第4
図bのΔBの寸法が20μmであるような微細な形状
であると変形してしまう問題があつた。
発明の目的
本発明は、以上のような問題点を解消し、寸法
精度が良く、剛性があり、比抵抗が高く、耐イン
ク性にすぐれたインクジエツト記録ヘツドのノズ
ル製造方法を提供することを目的としている。
精度が良く、剛性があり、比抵抗が高く、耐イン
ク性にすぐれたインクジエツト記録ヘツドのノズ
ル製造方法を提供することを目的としている。
発明の構成
本発明は感光性ガラス板にノズル孔を形成すべ
き位置の周囲部のリング状のパターンを除いて露
光し、現像後片面をハーフエツチングしてリング
状の凸状部を形成し、前記ハーフエツチングされ
た面を耐エツチング液性材料でマスキングし、前
記ハーフエツチングされた面とは反対側の面のノ
ズル孔に対応する部分以外を耐エツチング液性材
料でマスキングし、この面側よりエツチングして
前記感光性ガラス板に貫通孔を形成し、この貫通
孔をオリフイスとしたインクジエツト記録ヘツド
のノズル製造方法である。
き位置の周囲部のリング状のパターンを除いて露
光し、現像後片面をハーフエツチングしてリング
状の凸状部を形成し、前記ハーフエツチングされ
た面を耐エツチング液性材料でマスキングし、前
記ハーフエツチングされた面とは反対側の面のノ
ズル孔に対応する部分以外を耐エツチング液性材
料でマスキングし、この面側よりエツチングして
前記感光性ガラス板に貫通孔を形成し、この貫通
孔をオリフイスとしたインクジエツト記録ヘツド
のノズル製造方法である。
実施例の説明
第3図は本発明により製造されるインクノズル
板を使用して好適なインクジエツト記録装置の一
例を示す。第3図において、絶縁性のノズル板4
には空気吐出口5が穿孔されており、このノズル
板4と平行してノズル板6が配置されており、か
つノズル板6には空気吐出口5に対向してインク
吐出口27が穿孔されている。インク吐出口7に
は空気吐出口5方向に延びる凸状部が設けられて
いる。ノズル板4とノズル板6により形成される
空気層8には周辺から空気流が送られ、空気吐出
口5より流出する。信号源9はノズル板4の表面
でかつ空気吐出口5の周辺に設けられた電極10
とインク吐出口7内のインクとの間に電位差が生
じるように、電極10およびインク吐出口7に連
通した導電性のインク供給管11に電気的に接続
されている。インク液滴は、空気流と静電力とに
より噴射される。第3図のように、インク吐出口
7に空気吐出口5方向に延びる凸状部が設けられ
た構成であると、空気流は、突出したインク吐出
口7の影響でより急激に曲げられ、インク吐出口
7の近傍には空気流の死水域が発生し、この死水
域では空気流の圧力勾配がほとんどなく、したが
つてインク吐出口7でインクメニスカスが若干変
動してもインクが噴出することがなく、インクの
メニスカスの安定性が高まる。
板を使用して好適なインクジエツト記録装置の一
例を示す。第3図において、絶縁性のノズル板4
には空気吐出口5が穿孔されており、このノズル
板4と平行してノズル板6が配置されており、か
つノズル板6には空気吐出口5に対向してインク
吐出口27が穿孔されている。インク吐出口7に
は空気吐出口5方向に延びる凸状部が設けられて
いる。ノズル板4とノズル板6により形成される
空気層8には周辺から空気流が送られ、空気吐出
口5より流出する。信号源9はノズル板4の表面
でかつ空気吐出口5の周辺に設けられた電極10
とインク吐出口7内のインクとの間に電位差が生
じるように、電極10およびインク吐出口7に連
通した導電性のインク供給管11に電気的に接続
されている。インク液滴は、空気流と静電力とに
より噴射される。第3図のように、インク吐出口
7に空気吐出口5方向に延びる凸状部が設けられ
た構成であると、空気流は、突出したインク吐出
口7の影響でより急激に曲げられ、インク吐出口
7の近傍には空気流の死水域が発生し、この死水
域では空気流の圧力勾配がほとんどなく、したが
つてインク吐出口7でインクメニスカスが若干変
動してもインクが噴出することがなく、インクの
メニスカスの安定性が高まる。
第4図は第3図に示したノズル板にインク吐出
口を形成したインクノズルの製造工程を示す。第
4図aにおいて、21は感光性ガラスでたとえば
CeO2およびAg2Oを含むSiO2−Al2O3−Li2O3系
ガラスであり、その上に露光マスク22を配置し
て、波長280〜350nmの紫外光をあてて露
光を行なう。露光マスク22においてリング状の
部分22aは光を遮断し、その他の部分22bは
光を透過する。第5図bは第5図aの光の照射後
の様子を示し、光があたつた部分21bは、 Ce3++Ag++hν→Ce4++Ag0 なる反応がおこり、これに第1次熱処理を施し、
Agの金属コロイドを発生させ、さらに第2次熱
処理により、この金属コロイドが核になつて
Li2O−SiO2結晶が発生する。このような熱処理
現像により得られるLi2O−SiO2結晶はきわめて
酸に溶解しやすい。したがつて光があたつた部分
21bは、弗酸水溶液によつて容易にエツチング
することができる。光があたらなかつた部分21
aは結晶化していない部分である。エツチングす
る前に第4図aで露光マスク22が重ねられた面
とは反対側の感光性ガラス21の片面に、耐エツ
チング液材料として耐弗酸性材料層23でマスキ
ングする。この場合エレクトロンワツクス(宗電
子工業(株)製)を用い、感光性ガラス21を70℃の
温度に上げてエレクトロンワツクスを塗布してい
る。
口を形成したインクノズルの製造工程を示す。第
4図aにおいて、21は感光性ガラスでたとえば
CeO2およびAg2Oを含むSiO2−Al2O3−Li2O3系
ガラスであり、その上に露光マスク22を配置し
て、波長280〜350nmの紫外光をあてて露
光を行なう。露光マスク22においてリング状の
部分22aは光を遮断し、その他の部分22bは
光を透過する。第5図bは第5図aの光の照射後
の様子を示し、光があたつた部分21bは、 Ce3++Ag++hν→Ce4++Ag0 なる反応がおこり、これに第1次熱処理を施し、
Agの金属コロイドを発生させ、さらに第2次熱
処理により、この金属コロイドが核になつて
Li2O−SiO2結晶が発生する。このような熱処理
現像により得られるLi2O−SiO2結晶はきわめて
酸に溶解しやすい。したがつて光があたつた部分
21bは、弗酸水溶液によつて容易にエツチング
することができる。光があたらなかつた部分21
aは結晶化していない部分である。エツチングす
る前に第4図aで露光マスク22が重ねられた面
とは反対側の感光性ガラス21の片面に、耐エツ
チング液材料として耐弗酸性材料層23でマスキ
ングする。この場合エレクトロンワツクス(宗電
子工業(株)製)を用い、感光性ガラス21を70℃の
温度に上げてエレクトロンワツクスを塗布してい
る。
次に第4図cに示すように感光ガラス21のマ
スキングした面に反対側を、弗酸水溶液により所
定の深さにエツチングする。そののち、耐弗酸材
料層23を剥離する。これはエレクトロンワツク
スをトリクロルエチレンの超音波洗浄により剥離
することにより行なわれる。次に第5図dに示す
ように感光性ガラス21のエツチングされた面と
は反対側すなわち耐弗酸性材料層23を剥離した
面に、耐エツチング液材料のフオトレジスト24
をコーテイングし、その上に感光性ガラス21の
リング状部21aに対応する位置に光しやへい部
25aを有する露光マスク25を配置して紫外光
による露光、現像、定着を施して第4図eのよう
にフオトレジスト24で、感光性ガラス21にマ
スキングする。このパターンは、リング状部21
aの内径と外径の間に露光マスク25の光しやへ
い部25aに対応し得られるフオトレジスト24
の円形状のパターンが入る大きさになつており、
またほぼ同心円状となるように位置合わせされて
いる。ここではネガタイプのフオトレジスト24
を用いているため、露光マスク25の25aは光
を遮断する部分、25bは光を透過する部分とな
つている。なお、エツチング時間が長いためにフ
オトレジスト24がもたない場合は、マスキング
材として例えば金や白金等をフオトエツチング工
程により作成して用いてもよく、また第4図bで
耐弗酸材料層23として金や白金を用いた場合、
第4図cでエツチングした後剥離することなくそ
のまま前記の方法によりパターンを形成して、フ
オトレジスト24の代わりに用いてもよい。この
他耐弗酸性のある材料であれば、種々の方法によ
りパターンを形成しフオトレジスト24の代わり
に用いてよい。
スキングした面に反対側を、弗酸水溶液により所
定の深さにエツチングする。そののち、耐弗酸材
料層23を剥離する。これはエレクトロンワツク
スをトリクロルエチレンの超音波洗浄により剥離
することにより行なわれる。次に第5図dに示す
ように感光性ガラス21のエツチングされた面と
は反対側すなわち耐弗酸性材料層23を剥離した
面に、耐エツチング液材料のフオトレジスト24
をコーテイングし、その上に感光性ガラス21の
リング状部21aに対応する位置に光しやへい部
25aを有する露光マスク25を配置して紫外光
による露光、現像、定着を施して第4図eのよう
にフオトレジスト24で、感光性ガラス21にマ
スキングする。このパターンは、リング状部21
aの内径と外径の間に露光マスク25の光しやへ
い部25aに対応し得られるフオトレジスト24
の円形状のパターンが入る大きさになつており、
またほぼ同心円状となるように位置合わせされて
いる。ここではネガタイプのフオトレジスト24
を用いているため、露光マスク25の25aは光
を遮断する部分、25bは光を透過する部分とな
つている。なお、エツチング時間が長いためにフ
オトレジスト24がもたない場合は、マスキング
材として例えば金や白金等をフオトエツチング工
程により作成して用いてもよく、また第4図bで
耐弗酸材料層23として金や白金を用いた場合、
第4図cでエツチングした後剥離することなくそ
のまま前記の方法によりパターンを形成して、フ
オトレジスト24の代わりに用いてもよい。この
他耐弗酸性のある材料であれば、種々の方法によ
りパターンを形成しフオトレジスト24の代わり
に用いてよい。
つぎに第4図fに示すようにcでエツチングさ
れた面を耐弗酸材料層26でマスキングする。こ
こでは前出のエレクトロンワツクスを用いてい
る。第4図gにおいては、図のようにマスキング
されていない部分のある前記エツチング面の反対
側を弗酸水溶液により再度エツチングし、一度目
のエツチング面に二度目のエツチング面が完全に
連通するまで行なう。この結果、リング状部21
a内に貫通孔27が形成される。エツチング後、
第4図hに示すように耐弗酸性材料層26のエレ
クトロンワツクスはトリクロルエチレンで剥離
し、フオトレジスト24はプラズマ剥離で除去す
ることにより、リング状の凸状部を有するノズル
を形成できた。なお、感光性ガラス板21の剛
性、耐酸性、耐熱性等をさらに良くしたい場合に
は、第4図iに示すように全体に再び紫外線を照
射し、第3次熱処理を施すことにより、Li2O・
2SiO2結晶を発生させるとよい。
れた面を耐弗酸材料層26でマスキングする。こ
こでは前出のエレクトロンワツクスを用いてい
る。第4図gにおいては、図のようにマスキング
されていない部分のある前記エツチング面の反対
側を弗酸水溶液により再度エツチングし、一度目
のエツチング面に二度目のエツチング面が完全に
連通するまで行なう。この結果、リング状部21
a内に貫通孔27が形成される。エツチング後、
第4図hに示すように耐弗酸性材料層26のエレ
クトロンワツクスはトリクロルエチレンで剥離
し、フオトレジスト24はプラズマ剥離で除去す
ることにより、リング状の凸状部を有するノズル
を形成できた。なお、感光性ガラス板21の剛
性、耐酸性、耐熱性等をさらに良くしたい場合に
は、第4図iに示すように全体に再び紫外線を照
射し、第3次熱処理を施すことにより、Li2O・
2SiO2結晶を発生させるとよい。
第5図は、前記の製造方法により形成したノズ
ルの断面図である。21は感光性ガラスであり、
一度目のエツチングで凸状部21′と噴射オリフ
イスの前部28を形成している。そしてそのエツ
チング面およびもう片面をマスキングしてから、
今度は反対側から二度目のエツチングで噴射オリ
フイスの後部29を形成している。感光性ガラス
21の結晶質部分と非晶質部分のエツチング率は
約20:1と差があるが、深さが長くて穴径の小さ
い寸法形状の場合、エツチング時間が長くなるた
めサイドエツチングが大きくなり、寸法精度が悪
くなることがある。しかし本発明の製造方法で
は、噴射オリフイスを2度に分けて両側からエツ
チングするので、凸状部21′の周縁40の直径
D5はφ100μm、噴射オリフイスの先端の直径D4
はφ40μm、前部28の深さは35μm、後部29の
深さは130μmの寸法のときに、一度目のエツチ
ング時間が短く、サイドエツチングが小さいため
に、特に重要な寸法である噴射オリフイスの先端
の直径D4と凸状部21′の周縁40の直径D5のバ
ラツキの寸法精度を、±2μmにおさえることがで
きた。またΔCの寸法は30μmと小さいのである
が、感光性ガラス21に剛性があるために、変形
しないノズルができた。さらに、感光性ガラスは
耐インク性にもすぐれており膨潤等のおそれもな
く、かつ比抵抗が高く絶縁物であるので、前記説
明した空気流と静電力を用いたインジエクト記録
ヘツドにこのノズル板を用いた場合、静電力がイ
ンクに集中するために良好な吐出特性が得られ
た。そしてまた露光マスクのリング状パターンが
そのまま感光性ガラス板に露光、現像により転写
されるので、噴射オリフイスと凸状部の周縁の同
心度及び噴射オリフイスの真直度の良いノズル板
が製造できた。なお以上の実施例では、リング状
の凸状部において、製造方法を説明したが、リン
グ状とは限らず、四角、三角等何れの形状でも形
成可能である。
ルの断面図である。21は感光性ガラスであり、
一度目のエツチングで凸状部21′と噴射オリフ
イスの前部28を形成している。そしてそのエツ
チング面およびもう片面をマスキングしてから、
今度は反対側から二度目のエツチングで噴射オリ
フイスの後部29を形成している。感光性ガラス
21の結晶質部分と非晶質部分のエツチング率は
約20:1と差があるが、深さが長くて穴径の小さ
い寸法形状の場合、エツチング時間が長くなるた
めサイドエツチングが大きくなり、寸法精度が悪
くなることがある。しかし本発明の製造方法で
は、噴射オリフイスを2度に分けて両側からエツ
チングするので、凸状部21′の周縁40の直径
D5はφ100μm、噴射オリフイスの先端の直径D4
はφ40μm、前部28の深さは35μm、後部29の
深さは130μmの寸法のときに、一度目のエツチ
ング時間が短く、サイドエツチングが小さいため
に、特に重要な寸法である噴射オリフイスの先端
の直径D4と凸状部21′の周縁40の直径D5のバ
ラツキの寸法精度を、±2μmにおさえることがで
きた。またΔCの寸法は30μmと小さいのである
が、感光性ガラス21に剛性があるために、変形
しないノズルができた。さらに、感光性ガラスは
耐インク性にもすぐれており膨潤等のおそれもな
く、かつ比抵抗が高く絶縁物であるので、前記説
明した空気流と静電力を用いたインジエクト記録
ヘツドにこのノズル板を用いた場合、静電力がイ
ンクに集中するために良好な吐出特性が得られ
た。そしてまた露光マスクのリング状パターンが
そのまま感光性ガラス板に露光、現像により転写
されるので、噴射オリフイスと凸状部の周縁の同
心度及び噴射オリフイスの真直度の良いノズル板
が製造できた。なお以上の実施例では、リング状
の凸状部において、製造方法を説明したが、リン
グ状とは限らず、四角、三角等何れの形状でも形
成可能である。
発明の効果
以上詳細な説明のごとく、本発明は感光性ガラ
ス板にノズル孔を形成すべき位置の周囲部のリン
グ状のパターンを除いて露光する第1の工程と、
前記露光された感光性ガラス板を熱処理現像する
第2の工程と、前記感光性ガラス板の片面をハー
フエツチングしてリング状の凸状部を形成する第
3の工程と、前記ハーフエツチングされた面を耐
エツチング液性材料でマスキングする第4の工程
と、前記ハーフエツチングされた面とは反対側の
面のノズル孔に対応する部分以外を耐エツチング
液性材料でマスキングする第5の工程と、第5の
工程でマスキングされない部分をエツチングして
前記感光性ガラス板に貫通孔を形成する第6の工
程とを含むインクジエツト記録ヘツドノズル製造
方法で、寸法精度の良い、剛性のある、比抵抗の
高い、耐インク性に優れたノズルが作製でき、そ
の結果、特性のバラツキが少なく、耐久性にすぐ
れたインクジエツト記録ヘツドを得ることができ
る。特に第3図に示した空気流の急激な曲りによ
り生ずる圧力勾配中にノズル口周囲に凸状部を有
するインクノズルを配置し、静電力と空気流とに
よりインクを吐出させるインクジエツト記録装置
用のインクノズルを高精度で容易に作成すること
ができる。
ス板にノズル孔を形成すべき位置の周囲部のリン
グ状のパターンを除いて露光する第1の工程と、
前記露光された感光性ガラス板を熱処理現像する
第2の工程と、前記感光性ガラス板の片面をハー
フエツチングしてリング状の凸状部を形成する第
3の工程と、前記ハーフエツチングされた面を耐
エツチング液性材料でマスキングする第4の工程
と、前記ハーフエツチングされた面とは反対側の
面のノズル孔に対応する部分以外を耐エツチング
液性材料でマスキングする第5の工程と、第5の
工程でマスキングされない部分をエツチングして
前記感光性ガラス板に貫通孔を形成する第6の工
程とを含むインクジエツト記録ヘツドノズル製造
方法で、寸法精度の良い、剛性のある、比抵抗の
高い、耐インク性に優れたノズルが作製でき、そ
の結果、特性のバラツキが少なく、耐久性にすぐ
れたインクジエツト記録ヘツドを得ることができ
る。特に第3図に示した空気流の急激な曲りによ
り生ずる圧力勾配中にノズル口周囲に凸状部を有
するインクノズルを配置し、静電力と空気流とに
よりインクを吐出させるインクジエツト記録装置
用のインクノズルを高精度で容易に作成すること
ができる。
第1図は従来のインクジエツト記録ヘツドのノ
ズル部の一例を示す断面図、第2図は従来のイン
クノズルの製造方法を説明するための工程図、第
3図は本発明の適用されるインクジエツト記録装
置の一例を示す断面図、第4図は本発明によるノ
ズル製造方法の実施例を示す工程図、第5図は本
発明により得られたインクジエツト記録ヘツドノ
ズルの拡大断面図である。 21,31……感光性ガラス、22,25,3
0,34……露光マスク、23,26,32,3
5……耐弗酸性材料層、24,33……フオトレ
ジスト。
ズル部の一例を示す断面図、第2図は従来のイン
クノズルの製造方法を説明するための工程図、第
3図は本発明の適用されるインクジエツト記録装
置の一例を示す断面図、第4図は本発明によるノ
ズル製造方法の実施例を示す工程図、第5図は本
発明により得られたインクジエツト記録ヘツドノ
ズルの拡大断面図である。 21,31……感光性ガラス、22,25,3
0,34……露光マスク、23,26,32,3
5……耐弗酸性材料層、24,33……フオトレ
ジスト。
Claims (1)
- 1 感光性ガラス板にノズル孔を形成すべき位置
の周囲部のリング状のパターンを除いて露光する
第1の工程と、前記露光された感光性ガラス板を
熱処理現像する第2の工程と、前記感光性ガラス
板の片面をハーフエツチングしてリング状の凸状
部を形成する第3の工程と、前記ハーフエツチン
グされた面を耐エツチング液性材料でマスキング
する第4の工程と、前記ハーフエツチングされた
面とは反対側の面のノズル孔に対応する部分以外
を耐エツチング液性材料でマスキングする第5の
工程と、第5の工程でマスキングされない部分を
エツチングして前記感光性ガラス板に貫通孔を形
成する第6の工程とを含むことを特徴とするイン
クジエツト記録ヘツドのノズル製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8041984A JPS60224555A (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | インクジエツト記録ヘツドのノズル製造方法 |
US06/781,058 US4728392A (en) | 1984-04-20 | 1985-09-27 | Ink jet printer and method for fabricating a nozzle member |
US07/074,306 US4801955A (en) | 1984-04-20 | 1987-07-15 | Ink jet printer |
US07/074,305 US4801954A (en) | 1984-04-20 | 1987-07-15 | Ink jet printer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8041984A JPS60224555A (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | インクジエツト記録ヘツドのノズル製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60224555A JPS60224555A (ja) | 1985-11-08 |
JPH0242354B2 true JPH0242354B2 (ja) | 1990-09-21 |
Family
ID=13717770
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8041984A Granted JPS60224555A (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | インクジエツト記録ヘツドのノズル製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60224555A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5895313A (en) * | 1995-03-29 | 1999-04-20 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for manufacture of ink jet nozzle |
WO2022009656A1 (ja) | 2020-07-09 | 2022-01-13 | 住友金属鉱山株式会社 | 有価金属を回収する方法 |
WO2022009742A1 (ja) | 2020-07-09 | 2022-01-13 | 住友金属鉱山株式会社 | 有価金属を回収する方法 |
WO2022009657A1 (ja) | 2020-07-09 | 2022-01-13 | 住友金属鉱山株式会社 | 有価金属を回収する方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4635480B2 (ja) * | 2004-06-14 | 2011-02-23 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5549275A (en) * | 1978-10-06 | 1980-04-09 | Fuji Xerox Co Ltd | Multi-nozzle orifice plate |
JPS57205166A (en) * | 1981-03-19 | 1982-12-16 | Xerox Corp | Manufacture of opening board for ink jet type printer |
JPS58112755A (ja) * | 1981-12-25 | 1983-07-05 | Nec Corp | インクズエツト記録ヘツド用ノズルおよびその製造方法 |
-
1984
- 1984-04-20 JP JP8041984A patent/JPS60224555A/ja active Granted
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5549275A (en) * | 1978-10-06 | 1980-04-09 | Fuji Xerox Co Ltd | Multi-nozzle orifice plate |
JPS57205166A (en) * | 1981-03-19 | 1982-12-16 | Xerox Corp | Manufacture of opening board for ink jet type printer |
JPS58112755A (ja) * | 1981-12-25 | 1983-07-05 | Nec Corp | インクズエツト記録ヘツド用ノズルおよびその製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5895313A (en) * | 1995-03-29 | 1999-04-20 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for manufacture of ink jet nozzle |
WO2022009656A1 (ja) | 2020-07-09 | 2022-01-13 | 住友金属鉱山株式会社 | 有価金属を回収する方法 |
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---|---|
JPS60224555A (ja) | 1985-11-08 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
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