JP2004342908A - 半導体装置の製造方法及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】スパイクの発生を抑え、信頼性の高い半導体装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板1上にゲート4を形成する工程と、シリコン基板1の所定位置に拡散層2、3を形成する工程と、ゲートの側壁5を形成する工程と、拡散層2、3及びゲート4上にサリサイドメタル層6を形成する工程と、全面に層間絶縁膜7を形成する工程と、層間絶縁膜7に、ゲート4とシリコン基板1に接続するコンタクトホールを形成する工程と、コンタクトホールにバリアメタル層8aを形成する工程と、バリアメタル層8a上に金属層8bを形成する工程を具備し、ゲート側壁5を形成する工程の前に、全面にGeイオンを注入する工程を備える。
【選択図】 図1
【解決手段】シリコン基板1上にゲート4を形成する工程と、シリコン基板1の所定位置に拡散層2、3を形成する工程と、ゲートの側壁5を形成する工程と、拡散層2、3及びゲート4上にサリサイドメタル層6を形成する工程と、全面に層間絶縁膜7を形成する工程と、層間絶縁膜7に、ゲート4とシリコン基板1に接続するコンタクトホールを形成する工程と、コンタクトホールにバリアメタル層8aを形成する工程と、バリアメタル層8a上に金属層8bを形成する工程を具備し、ゲート側壁5を形成する工程の前に、全面にGeイオンを注入する工程を備える。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シェアドコンタクトを有する半導体装置の製造方法及び半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えばCMOSパターンにおいて、従来ゲートと基板に電流を供給するコンタクトは個々に設けられていたが、近年、メモリー素子の微細化に伴い、ゲート幅の狭小化とともに、シェアドコンタクト(Sheard Contact)の開発が進められている。このシェアドコンタクトは、ゲートと基板に同一のコンタクトで電流を供給できるパターンであり、コンタクトを別個に設ける必要がないので、素子の微細化において大きなメリットを有している。
【0003】
このようなシェアドコンタクトを有するCMOSの構造を図4に示す。図に示すように、シリコン基板1にはソース、ドレイン領域2、3が形成されており、これらの領域の間上にゲート絶縁膜4a、ゲート電極4bからなるゲート4が形成され、ゲート4の側壁には酸化膜5a、SiN層5bからなるゲート側壁5が形成されている。ソース、ドレイン領域2、3及びゲート4上には、サリサイドメタル層6が形成されており、サリサイドメタル層上には、層間絶縁膜7としてバリアSiN層7a、BPSG層7bが順次形成されている。そして、ソース領域2とゲートに接続するバリアメタル層8a、金属層8bからなるシェアドコンタクト8が形成されている。
【0004】
このようなCMOSは以下のように形成される。先ず、図5(a)に示すように、素子分離したシリコン基板1上に酸化膜、ポリシリコン膜を形成、パターニングし、ゲート絶縁膜4a、ゲート電極4bからなるゲート4を形成後、シリコン基板の所定領域に浅いソース、ドレイン領域2’、3’を形成し、全面に酸化膜5aを形成する。次いで、図5(b)に示すように、ゲート側壁を構成するSiN層(スペーサSiN層5b)を形成し、表面の酸化膜を除去した後、ソース、ドレイン領域2、3及びゲート上にサリサイドメタル層6を形成する。
【0005】
次いで図5(c)に示すように、全面に層間絶縁膜7としてSiN層(バリアSiN層7a)、BPSG層7bを順次形成し、ソース領域2とゲートに接続するコンタクトホール9を形成、その内壁にバリアメタル層8aを形成する。さらに、バリアメタル層8a上に金属層8bを埋め込み、シェアドコンタクト8を形成し、図4に示すようなCMOSを構成する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、コンタクトホールを形成する際、図6(a)に拡大図を示すように、BPSG層7b、バリアSiN層7aを順次エッチングするが、同時にスペーサSiN層5bもエッチングされ、ゲート側壁5が後退してしまう。そして、後退した部分のSi基板1が露出してしまう(露出部分10)。そして、図6(b)に示すように、コンタクトホール9の内壁にバリアメタル層8aを形成する際のスパッタ工程時にSiの細線効果により、基板のSiとバリアメタルのTiが異常反応を起こしてしまい、基板掘れ(スパイク11)が発生していた。さらに、このようなスパイクにより、電流が基板へ流れ込み、リーク不良を発生するという問題があった。
【0007】
そこで、本発明は、従来の欠点を取り除き、スパイクの発生を抑え、信頼性の高い半導体装置の製造方法及び半導体装置を提供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置の製造方法は、シリコン基板上にゲートを形成する工程と、シリコン基板の所定位置に拡散層を形成する工程と、ゲートの側壁を形成する工程と、拡散層及びゲート上にサリサイドメタル層を形成する工程と、全面に層間絶縁膜を形成する工程と、層間絶縁膜に、ゲートとシリコン基板に接続するコンタクトホールを形成する工程と、コンタクトホールにバリアメタル層を形成する工程と、バリアメタル層上に金属層を形成する工程を具備し、ゲート側壁を形成する工程の前に、全面にGeイオンを注入する工程を備えることを特徴とするものである。
【0009】
また、本発明の半導体装置の製造方法においては、層間絶縁膜及びゲート側壁は、SiN層を備えることを特徴としている。
【0010】
さらに、本発明の半導体装置は、拡散層を形成したシリコン基板上にゲートと、ゲート側壁を有し、拡散層及びゲートの第1領域上に形成されるサリサイドメタル層と、拡散層及びゲートの第2領域上に形成されるバリアメタル層、金属層からなるコンタクトと、コンタクトを除く全面に形成される層間絶縁膜を備え、少なくともコンタクトの形成されるシリコン基板表面近傍領域に、Geが注入されていることを特徴とするものである。
【0011】
また、本発明の半導体装置においては、層間絶縁膜及びゲート側壁は、SiN層を備えることを特徴としている。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施形態について、図を参照して説明する。
【0013】
図1に本発明に係る半導体装置の構造を示す。図に示すように、シリコン基板1にはソース領域2、ドレイン領域3が形成されており、これらの領域の間上にゲート絶縁膜4a、ポリシリコンからなるゲート電極4bから構成されるゲート4が形成されている。ここで、表面近傍領域には、Geが注入されている。尚、図中の(Ge+)は実際の存在状態を示すものではない。そして、ゲート側壁5として酸化膜5a、スペーサSiN層5bが形成されており、ソース領域2、ドレイン領域3及びゲート4上には、サリサイドメタル層6が形成されている。サリサイドメタル層6上には層間絶縁膜7としてバリアSiN層7a、BPSG層7bが順次形成されており、ソース領域2、ゲート4に接続するように、バリアメタル層8a、金属層8bからなるシェアドコンタクト8が形成され、上層(図示せず)と接続されている。
【0014】
このようなCMOSは以下のように形成される。先ず、図2(a)に示すように、素子分離したシリコン基板1上の全面に酸化膜4a、ポリシリコン膜4bを形成、パターニングし、ゲート4を形成後、シリコン基板1の所定領域に、N型トランジスタにはAs+、P+をP型トランジスタにはB+、BF2 +などを注入して、浅いソース領域2’、ドレイン領域3’を形成し、全面に酸化膜5aを形成する。次いで、図2(b)に示すように、加速電圧:5〜30keV、ドーズ量:1.0E+14〜1.0E+16cm−2で、全面にGeを注入し、SH処理(硫酸と過酸化水素水によるWet処理)により表面処理を行う。そして、図2(c)に示すように、SiN層を全面に形成した後、等方性エッチングを行い、自己整合的にゲート側壁にスペーサSiN層5bを形成し、露出した酸化膜5aを除去した後、さらにN型、P型のイオン種を注入し、夫々ソース領域2、ドレイン領域3を形成する。
【0015】
次いで、図3(a)に示すように、全面にCo膜を形成し、熱処理でCoSi2を成長させ、Wet処理にて未反応Coを除去することにより、ソース、ドレイン領域2、3及びゲート4上にサリサイドメタル層6を形成する。そして図3(b)に示すように、全面に層間絶縁膜7として、SiN層(バリアSiN層7a)、BPSG層7bを順次形成した後、所定パターンのコンタクトホール9を形成する。さらに、図3(c)に示すように、コンタクトホール9内壁に、Tiからなるバリアメタル層8aを形成する。そして、金属層8bを埋め込みシェアドコンタクト8を形成し、図1に示すような半導体装置を構成する。
【0016】
このようにして形成された半導体装置において、シリコン基板表層部にGeが存在しているため、シリコン基板1のSiとバリアメタル層8aのTiの異常反応によるスパイクの発生が抑えられ、リーク不良などの不具合の発生を抑制することができる。
【0017】
【発明の効果】
本発明によれば、スパイクの発生を抑え、信頼性の高い半導体装置とその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置を示す図。
【図2】本発明の半導体装置の製造方法を示す図。
【図3】本発明の半導体装置の製造方法を示す図。
【図4】従来の半導体装置を示す図。
【図5】従来の半導体装置の製造方法を示す図。
【図6】従来の半導体装置の問題を示す拡大図。
【符号の説明】
1 シリコン基板
2、2’ ソース領域
3、3’ ドレイン領域
4 ゲート
4a ゲート絶縁膜
4b ゲート電極
5 ゲート側壁
5a 酸化膜
5b スペーサSiN層
6 サリサイドメタル層
7 層間絶縁膜
7a バリアSiN層
7b BPSG層
8 シェアドコンタクト
8a バリアメタル層
8b 金属層
9 コンタクトホール
10 露出部分
11 スパイク
【発明の属する技術分野】
本発明は、シェアドコンタクトを有する半導体装置の製造方法及び半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えばCMOSパターンにおいて、従来ゲートと基板に電流を供給するコンタクトは個々に設けられていたが、近年、メモリー素子の微細化に伴い、ゲート幅の狭小化とともに、シェアドコンタクト(Sheard Contact)の開発が進められている。このシェアドコンタクトは、ゲートと基板に同一のコンタクトで電流を供給できるパターンであり、コンタクトを別個に設ける必要がないので、素子の微細化において大きなメリットを有している。
【0003】
このようなシェアドコンタクトを有するCMOSの構造を図4に示す。図に示すように、シリコン基板1にはソース、ドレイン領域2、3が形成されており、これらの領域の間上にゲート絶縁膜4a、ゲート電極4bからなるゲート4が形成され、ゲート4の側壁には酸化膜5a、SiN層5bからなるゲート側壁5が形成されている。ソース、ドレイン領域2、3及びゲート4上には、サリサイドメタル層6が形成されており、サリサイドメタル層上には、層間絶縁膜7としてバリアSiN層7a、BPSG層7bが順次形成されている。そして、ソース領域2とゲートに接続するバリアメタル層8a、金属層8bからなるシェアドコンタクト8が形成されている。
【0004】
このようなCMOSは以下のように形成される。先ず、図5(a)に示すように、素子分離したシリコン基板1上に酸化膜、ポリシリコン膜を形成、パターニングし、ゲート絶縁膜4a、ゲート電極4bからなるゲート4を形成後、シリコン基板の所定領域に浅いソース、ドレイン領域2’、3’を形成し、全面に酸化膜5aを形成する。次いで、図5(b)に示すように、ゲート側壁を構成するSiN層(スペーサSiN層5b)を形成し、表面の酸化膜を除去した後、ソース、ドレイン領域2、3及びゲート上にサリサイドメタル層6を形成する。
【0005】
次いで図5(c)に示すように、全面に層間絶縁膜7としてSiN層(バリアSiN層7a)、BPSG層7bを順次形成し、ソース領域2とゲートに接続するコンタクトホール9を形成、その内壁にバリアメタル層8aを形成する。さらに、バリアメタル層8a上に金属層8bを埋め込み、シェアドコンタクト8を形成し、図4に示すようなCMOSを構成する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、コンタクトホールを形成する際、図6(a)に拡大図を示すように、BPSG層7b、バリアSiN層7aを順次エッチングするが、同時にスペーサSiN層5bもエッチングされ、ゲート側壁5が後退してしまう。そして、後退した部分のSi基板1が露出してしまう(露出部分10)。そして、図6(b)に示すように、コンタクトホール9の内壁にバリアメタル層8aを形成する際のスパッタ工程時にSiの細線効果により、基板のSiとバリアメタルのTiが異常反応を起こしてしまい、基板掘れ(スパイク11)が発生していた。さらに、このようなスパイクにより、電流が基板へ流れ込み、リーク不良を発生するという問題があった。
【0007】
そこで、本発明は、従来の欠点を取り除き、スパイクの発生を抑え、信頼性の高い半導体装置の製造方法及び半導体装置を提供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置の製造方法は、シリコン基板上にゲートを形成する工程と、シリコン基板の所定位置に拡散層を形成する工程と、ゲートの側壁を形成する工程と、拡散層及びゲート上にサリサイドメタル層を形成する工程と、全面に層間絶縁膜を形成する工程と、層間絶縁膜に、ゲートとシリコン基板に接続するコンタクトホールを形成する工程と、コンタクトホールにバリアメタル層を形成する工程と、バリアメタル層上に金属層を形成する工程を具備し、ゲート側壁を形成する工程の前に、全面にGeイオンを注入する工程を備えることを特徴とするものである。
【0009】
また、本発明の半導体装置の製造方法においては、層間絶縁膜及びゲート側壁は、SiN層を備えることを特徴としている。
【0010】
さらに、本発明の半導体装置は、拡散層を形成したシリコン基板上にゲートと、ゲート側壁を有し、拡散層及びゲートの第1領域上に形成されるサリサイドメタル層と、拡散層及びゲートの第2領域上に形成されるバリアメタル層、金属層からなるコンタクトと、コンタクトを除く全面に形成される層間絶縁膜を備え、少なくともコンタクトの形成されるシリコン基板表面近傍領域に、Geが注入されていることを特徴とするものである。
【0011】
また、本発明の半導体装置においては、層間絶縁膜及びゲート側壁は、SiN層を備えることを特徴としている。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施形態について、図を参照して説明する。
【0013】
図1に本発明に係る半導体装置の構造を示す。図に示すように、シリコン基板1にはソース領域2、ドレイン領域3が形成されており、これらの領域の間上にゲート絶縁膜4a、ポリシリコンからなるゲート電極4bから構成されるゲート4が形成されている。ここで、表面近傍領域には、Geが注入されている。尚、図中の(Ge+)は実際の存在状態を示すものではない。そして、ゲート側壁5として酸化膜5a、スペーサSiN層5bが形成されており、ソース領域2、ドレイン領域3及びゲート4上には、サリサイドメタル層6が形成されている。サリサイドメタル層6上には層間絶縁膜7としてバリアSiN層7a、BPSG層7bが順次形成されており、ソース領域2、ゲート4に接続するように、バリアメタル層8a、金属層8bからなるシェアドコンタクト8が形成され、上層(図示せず)と接続されている。
【0014】
このようなCMOSは以下のように形成される。先ず、図2(a)に示すように、素子分離したシリコン基板1上の全面に酸化膜4a、ポリシリコン膜4bを形成、パターニングし、ゲート4を形成後、シリコン基板1の所定領域に、N型トランジスタにはAs+、P+をP型トランジスタにはB+、BF2 +などを注入して、浅いソース領域2’、ドレイン領域3’を形成し、全面に酸化膜5aを形成する。次いで、図2(b)に示すように、加速電圧:5〜30keV、ドーズ量:1.0E+14〜1.0E+16cm−2で、全面にGeを注入し、SH処理(硫酸と過酸化水素水によるWet処理)により表面処理を行う。そして、図2(c)に示すように、SiN層を全面に形成した後、等方性エッチングを行い、自己整合的にゲート側壁にスペーサSiN層5bを形成し、露出した酸化膜5aを除去した後、さらにN型、P型のイオン種を注入し、夫々ソース領域2、ドレイン領域3を形成する。
【0015】
次いで、図3(a)に示すように、全面にCo膜を形成し、熱処理でCoSi2を成長させ、Wet処理にて未反応Coを除去することにより、ソース、ドレイン領域2、3及びゲート4上にサリサイドメタル層6を形成する。そして図3(b)に示すように、全面に層間絶縁膜7として、SiN層(バリアSiN層7a)、BPSG層7bを順次形成した後、所定パターンのコンタクトホール9を形成する。さらに、図3(c)に示すように、コンタクトホール9内壁に、Tiからなるバリアメタル層8aを形成する。そして、金属層8bを埋め込みシェアドコンタクト8を形成し、図1に示すような半導体装置を構成する。
【0016】
このようにして形成された半導体装置において、シリコン基板表層部にGeが存在しているため、シリコン基板1のSiとバリアメタル層8aのTiの異常反応によるスパイクの発生が抑えられ、リーク不良などの不具合の発生を抑制することができる。
【0017】
【発明の効果】
本発明によれば、スパイクの発生を抑え、信頼性の高い半導体装置とその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置を示す図。
【図2】本発明の半導体装置の製造方法を示す図。
【図3】本発明の半導体装置の製造方法を示す図。
【図4】従来の半導体装置を示す図。
【図5】従来の半導体装置の製造方法を示す図。
【図6】従来の半導体装置の問題を示す拡大図。
【符号の説明】
1 シリコン基板
2、2’ ソース領域
3、3’ ドレイン領域
4 ゲート
4a ゲート絶縁膜
4b ゲート電極
5 ゲート側壁
5a 酸化膜
5b スペーサSiN層
6 サリサイドメタル層
7 層間絶縁膜
7a バリアSiN層
7b BPSG層
8 シェアドコンタクト
8a バリアメタル層
8b 金属層
9 コンタクトホール
10 露出部分
11 スパイク
Claims (4)
- シリコン基板上にゲートを形成する工程と、
前記シリコン基板の所定位置に拡散層を形成する工程と、
前記ゲートの側壁を形成する工程と、
前記拡散層及び前記ゲート上にサリサイドメタル層を形成する工程と、
全面に層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜に、前記ゲートと前記シリコン基板に接続するコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールにバリアメタル層を形成する工程と、
前記バリアメタル層上に金属層を形成する工程を具備し、
前記ゲート側壁を形成する工程の前に、全面にGeイオンを注入する工程を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記層間絶縁膜及び前記ゲート側壁は、SiN層を備えることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 拡散層を形成したシリコン基板上に、ゲートと、ゲート側壁を有し、
前記拡散層及び前記ゲートの第1領域上に形成されるサリサイドメタル層と、
前記拡散層及び前記ゲートの第2領域上に形成されるバリアメタル層、金属層からなるコンタクトと、
前記コンタクトを除く全面に形成される層間絶縁膜を備え、
少なくとも前記コンタクトの形成される前記シリコン基板表面近傍領域に、Geが注入されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記層間絶縁膜及び前記ゲート側壁は、SiN層を備えることを特徴とする請求項3記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003139081A JP2004342908A (ja) | 2003-05-16 | 2003-05-16 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003139081A JP2004342908A (ja) | 2003-05-16 | 2003-05-16 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004342908A true JP2004342908A (ja) | 2004-12-02 |
Family
ID=33528273
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003139081A Pending JP2004342908A (ja) | 2003-05-16 | 2003-05-16 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005136351A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2007189166A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Fujitsu Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2008124489A (ja) * | 2007-12-28 | 2008-05-29 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2010171166A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Sony Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2003
- 2003-05-16 JP JP2003139081A patent/JP2004342908A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005136351A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
US7321151B2 (en) | 2003-10-31 | 2008-01-22 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and method of fabricating the same |
US7585739B2 (en) | 2003-10-31 | 2009-09-08 | Fujitsu Microelectronics Limited | Semiconductor device and method of fabricating the same |
US7663187B2 (en) | 2003-10-31 | 2010-02-16 | Fujitsu Microelectronics Limited | Semiconductor device and method of fabricating the same |
JP2007189166A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Fujitsu Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2008124489A (ja) * | 2007-12-28 | 2008-05-29 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2010171166A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Sony Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
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