JP2004322007A - 炭酸ガススノー噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上記の目的を達成するために本発明は、炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置において、ガス源、及び炭酸ガス源から噴射するガスの噴射口が炭酸ガススノー噴射孔を中心に配し、前記の炭酸ガススノー噴射ノズルの外側にガスの噴出孔を配した同軸状のノズルを用いたことを特徴とし、また、ガスと炭酸ガススノーを先の被洗浄物に噴射するガス噴射ノズルが少なくとも2つ以上連結されていることを特徴として課題を解決する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術の分野】
本発明は、炭酸ガススノーを用いた圧電振動子や光学部品、及びそれらを搭載したマスクやトレーといった被洗浄物の洗浄用の炭酸ガススノー噴射装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の洗浄用の炭酸ガススノー噴射装置は、ひとつの炭酸ガススノー噴射口を具備した単ノズルとなっており、この単ノズルまたは被洗浄物を水平、及び垂直方向に移動する移動装置の上に載置して被洗浄物をひとつずつ単ノズルから噴出する炭酸ガススノーによって洗浄することが一般的であった。
【0003】
【特許文献1】
特願平11−368487
【0004】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年圧電振動子や光学部品といった部品は搭載して使用される機器の小型化に伴い、極めて急激なその容器形状の外形サイズの小型化、及び低背化の市場からの要求があり、その結果としてアルミナセラミックなどの材質から成るそれら圧電振動子、及び光学部品といった部品を搭載する基板や容器壁の厚さも極力薄くなっており、囲まれた容器のサイズも小さく、かつ薄くなっているのが現状である。
【0006】
したがって、ひとつのマスクやトレー上に搭載される、前記の圧電振動子や光学部品の数量も増加しており、洗浄工程で扱われる被洗浄物の数量も急激に増えているのが現状である。
【0007】
そのため、従来の被洗浄物をひとつずつ単ノズルから噴出する炭酸ガススノーによって洗浄する炭酸ガススノー洗浄用の単ノズルの炭酸ガススノー噴射装置では、洗浄の効率が悪いという問題があった。
【0008】
また、従来は多数の被洗浄物をひとつずつ単ノズルから噴出する炭酸ガススノーによって洗浄するため、垂直、及び水平方向に移動する移動装置の設定が複雑になり、その結果として被洗浄物の洗浄コストが高くなるといった問題があった。
【0009】
本発明は、このような技術的背景のもとでなされたものである。
したがって、本発明の目的は、先述の問題を解決する洗浄用の炭酸ガススノー噴射装置を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置において、
ガス源、及び炭酸ガス源から噴射するガスの噴射口が炭酸ガススノー噴射孔を中心に配し、前記の炭酸ガススノー噴射ノズルの外側に先のガスの噴射孔を配した同軸状のノズルを用いたことを特徴とする。
【0011】
また、前記ガスと炭酸ガススノーを被洗浄物に噴射するガス噴射ノズルが少なくとも2つ以上連結されていることを特徴とする。
【0012】
【本発明の実施の形態】
以下、添付の図面に従がってこの発明の実施例を説明する。なお各図において、同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【0013】
図1は本発明の炭酸ガススノーを用いて被洗浄物1を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置2の概略の側面から見た模式図である。ボンベなどに収容されたガス源3、及び炭酸ガス源4と本発明の炭酸ガススノー噴射装置2とはガス源3の噴射圧などを制御する制御装置を通して繋がっている。本発明は図3のガス噴射ノズル9を少なくとも二つ以上連結したものであり、本実施例では図1に図示するようにガス噴射ノズル9は横方向に4つ並列に連結されている。
【0014】
それぞれのガス噴射ノズル9の中心には炭酸ガススノー噴射孔5が位置して、その外側にはガスの噴出孔6がある。また、互いに連結された夫々のガス噴射ノズル9の中心の間隔は2mmから15mmで、この間隔がガス噴射ノズル9を横方向に4つ連結した場合、被洗浄物を効率良く、点状ではなく面状に洗浄できマスク11上に載置された被洗浄物1を洗浄できる。
【0015】
また、図1、及び図2の本実施例のようにガス噴射ノズル9を横方向に4つ連結すると、ひとつの噴射ノズル9で洗浄する際に生じてしまう噴射ガスの巻き込みが発生しないといった効果を奏する。
【0016】
図3は本発明の炭酸ガススノー噴射装置2を構成するひとつのガス噴射ノズル9の概略の側面図である。中心に位置する直径10ミリメートルほどの炭酸ガススノー噴射孔5の外側には、本実施例ではアシストガスである窒素(N2)ガスの噴出孔6がある。炭酸ガススノーよりも温度の高い窒素(N2)ガスで炭酸ガススノーを囲むように、その外側から噴射することにより炭酸ガススノーを被洗浄物1に誘導して吹き付け、また被洗浄物1に結露を起こさないといった効果を奏する。また、噴射ノズル9内での凍結、つまり、結露を防止するのにも良い。
【0017】
本発明の炭酸ガススノー噴射装置2のガス噴射口6と被洗浄物1との距離は50ミリメートル程度とすると、一度吹き飛ばし除去した被洗浄物1上の汚れが再び洗浄面に戻ってしまうといった噴射ガスの巻き込みの現象もなく効率的に洗浄できる。
【0018】
図2は本発明の炭酸ガススノー噴射装置2を斜め上からみた斜視図である。炭酸ガススノー噴射装置2と制御装置のあいだは自在に動くパイプ10で繋がっている。なお、図1、及び図2ではガス噴射ノズル9を横方向に4つ連結しているが、鉛直方向からみて横方向ではなく円弧やコの字を描くように連結した場合においても、本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。また、連結したガス噴射口の被洗浄物に対する高さが全て同じではなく、横方向から見て円弧や段差をもっている場合においても、本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。
【0019】
図4は従来の単ノズルを用いた、マスク11に設置された圧電部品を炭酸ガススノー噴射により洗浄する様子を示す概略の模式図である。なお、本実施例では洗浄用の噴射装置について述べたが、洗浄に限らずガスの噴射装置に使用することができ、これも本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。
【0020】
【発明の効果】
本発明の炭酸ガススノー噴射装置によれば、ひとつのノズルが連結されて多孔であるためにひとつの動作で面への吹き付けが可能となり、この層流の流れの働きのために一度吹き飛ばし除去した被洗浄物上の汚れが再び洗浄面に戻ってしまうといった噴射ガスの巻き込みの現象もなく効率的に洗浄でき、洗浄のコストを大幅に削減できるといった効果を奏する。
【0021】
ガスを用いて被洗浄物を洗浄するために、一例を挙げればチリ状の微粒子を含んだ洗浄する部分に付着する微細物をガスで弾き飛ばしながら洗浄し、ガスが液体とはならず気体であるために、洗浄しながら吸引するだけで先のチリ状の微粒子を含んだ微細物を除去できる。
【0022】
本発明によれば5μmよりもさらに小さな1μm以下のチリ状の微粒子を含んだ洗浄する部分に付着する微細物を効率的に、汚れの被洗浄物への再付着を防止しながら除去する効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置の概略の側面から見た模式図である。
【図2】本発明の炭酸ガススノー噴射装置を斜め上からみた斜視図である。
【図3】本発明の炭酸ガススノー噴射装置を構成するひとつの炭酸ガススノー噴射ノズルの概略の側面図である。
【図4】従来の単ノズルを用いて、マスクに設置された圧電部品を炭酸ガススノー噴射により洗浄する様子を示す概略の模式図である。
【符号の説明】
1 被洗浄物
2 炭酸ガススノー噴射装置
3 ガス源
4 炭酸ガス源
5 炭酸ガススノー噴射孔
6 ガス噴射孔
7 ガス
8 炭酸ガススノー
9 ガス噴射ノズル
10 パイプ
11 マスク
12 ダクト
Claims (2)
- 炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置において、ガス源、及び炭酸ガス源から噴射するガスの噴射口が炭酸ガススノー噴射孔を中心に配し、該炭酸ガススノー噴射ノズルの外側に該ガスの噴出孔を配した同軸状のノズルを用いたことを特徴とする炭酸ガススノー噴射装置。
- ガスと炭酸ガススノーを該被洗浄物に噴射するガス噴射ノズルが少なくとも2つ以上連結されていることを特徴とする請求項1に記載の炭酸ガススノー噴射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003122944A JP2004322007A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | 炭酸ガススノー噴射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003122944A JP2004322007A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | 炭酸ガススノー噴射装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004322007A true JP2004322007A (ja) | 2004-11-18 |
Family
ID=33500969
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003122944A Pending JP2004322007A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | 炭酸ガススノー噴射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2004322007A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015518415A (ja) * | 2012-03-30 | 2015-07-02 | デュール システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 塗装設備用ドライアイス洗浄手段 |
-
2003
- 2003-04-25 JP JP2003122944A patent/JP2004322007A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015518415A (ja) * | 2012-03-30 | 2015-07-02 | デュール システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 塗装設備用ドライアイス洗浄手段 |
US10279453B2 (en) | 2012-03-30 | 2019-05-07 | Durr Systems Gmbh | Dry-ice cleaning in a painting installation |
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