JP2004309505A - 光半導体素子収納用パッケージおよび光半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】円柱状のレンズに歪みが生じるのを防止して、光半導体素子から発光した光信号を光ファイバに効率よく集光させ、光信号の伝送効率に優れたものとすること。
【解決手段】光半導体素子収納用パッケージは、上側主面の中央部に光半導体素子8を載置するための載置部5aを上面に有する基台5が接合された基体1と、この基体1の上側主面の外周部に基台5を囲繞するように接合され、側部に光ファイバ6を挿通し固定するための貫通孔2aが形成された枠体2と、側周面に金属層4aが形成されているとともに、基台5の上面の載置部5aと貫通孔2aとの間の部位に一端面が貫通孔2aに対向するとともに他端面が載置部5aに向くように金属層4aがロウ付けされている円柱状のレンズ4とを具備している。
【選択図】 図1
【解決手段】光半導体素子収納用パッケージは、上側主面の中央部に光半導体素子8を載置するための載置部5aを上面に有する基台5が接合された基体1と、この基体1の上側主面の外周部に基台5を囲繞するように接合され、側部に光ファイバ6を挿通し固定するための貫通孔2aが形成された枠体2と、側周面に金属層4aが形成されているとともに、基台5の上面の載置部5aと貫通孔2aとの間の部位に一端面が貫通孔2aに対向するとともに他端面が載置部5aに向くように金属層4aがロウ付けされている円柱状のレンズ4とを具備している。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信分野等に用いられ、光半導体素子を収納するための光半導体素子収納用パッケージおよび光半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の光通信分野等で用いられ高い周波数で作動する半導体レーザ(LD)等の光半導体素子を気密封止して収容するための光半導体素子収納用パッケージ(以下、単にパッケージともいう)の例を図3に断面図で示す。同図において、21は基体、22は枠体、24は円柱状のレンズ、25は基台、26は光ファイバ、28は光半導体素子である。
【0003】
基体21は、鉄(Fe)−ニッケル(Ni)−コバルト(Co)合金,銅(Cu)−タングステン(W)合金等の金属やアルミナ(Al2O3)質焼結体,窒化アルミニウム(AlN)質焼結体,ムライト(3Al2O3・2SiO2)質焼結体等のセラミックスから成り、その上側主面の中央部には、LD,PD等の光半導体素子28が載置される載置部25aを上面に有するFe−Ni−Co合金等の金属製の基台25が載置固定される。
【0004】
基体21の上側主面の外周部には、基台25を囲繞するようにして接合され、一側部に光信号の入出力部となる貫通孔22aを有する、Fe−Ni−Co合金等の金属やAl2O3質焼結体,AlN質焼結体,3Al2O3・2SiO2質焼結体等のセラミックスから成る枠体22が接合され立設されている。
【0005】
また、基台25は、上面の載置部25aと貫通孔22aとの間の部位に光半導体素子28から発光する光信号を集光するための円柱状のレンズ24を保持するための貫通孔を有する垂直部が設けられている。
【0006】
円柱状のレンズ24はガラス等からなり、基台25の垂直部の貫通孔に挿通され半田等で固定されている。
【0007】
このようなパッケージの載置部25aに光半導体素子28を載置固定し、あるいは、載置部25aにAl2O3質焼結体等のセラミックスから成る絶縁基板27を介して光半導体素子28を載置固定し、枠体22の上面にFe−Ni−Co合金等の金属から成る蓋体23をシームウエルド法等の溶接法やロウ付け法等で取着することによって基体21、枠体22および蓋体23から構成される容器内部に光半導体素子28を収容し気密に封止し、そして、光ファイバ26を、その一端が貫通孔22aに挿通し、枠体22の一側部に固定することによって、製品としての光半導体装置となる(例えば、下記の特許文献1参照)。
【0008】
この光半導体装置は、外部電気回路から供給される電気信号によって光半導体素子28に光を励起させ、この光をレンズ24で集光させて光ファイバ26に透過させ、そして、光ファイバ26を介して外部に伝送することによって高速光通信等に使用される。
【0009】
【特許文献1】
特開平5−136517号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のパッケージにおいて、レンズ24を半田等によって金属製の基台25の垂直部(側壁部)の貫通孔内面に接合すると、レンズ24は円柱状の細長い部材であるため基台25との熱膨張差による熱応力が大きく加わり易く、レンズ24に歪みが生じたり、レンズ24にクラック等の破損が生じる場合があった。その結果、光半導体素子28から発光した光信号を光ファイバ26に集光させることができなくなって光ファイバ26と光半導体素子28との光結合効率を低下させ、光信号を外部に効率よく伝送できなくなるという問題点があった。
【0011】
従って、本発明は上記問題点に鑑み完成されたものであり、その目的は、円柱状のレンズに歪みが生じるのを防止して、光半導体素子から発光した光信号を光ファイバに効率よく集光させ、光信号の伝送効率に優れた光半導体素子収納用パッケージを提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、上側主面の中央部に光半導体素子を載置するための載置部を上面に有する基台が接合された基体と、該基体の前記上側主面の外周部に前記基台を囲繞するように接合され、側部に光ファイバを挿通し固定するための貫通孔が形成された枠体と、側周面に金属層が形成されているとともに、前記基台の上面の前記載置部と前記貫通孔との間の部位に一端面が前記貫通孔に対向するとともに他端面が前記載置部に向くように前記金属層がロウ付けされている円柱状のレンズとを具備していることを特徴とする。
【0013】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、側周面に金属層が形成されているとともに、基台の上面の載置部と貫通孔との間の部位に一端面が貫通孔に対向するとともに他端面が載置部に向くように金属層がロウ付けされている円柱状のレンズを具備することにより、円柱状のレンズを側周面の全面ではなく一部分だけで基台に接合することができるため、レンズと基台との熱膨張差によってレンズに応力が加わるのを有効に抑制することができる。また、レンズと基台とがロウ材を介して接合されているため、応力をロウ材によって有効に吸収することができる。その結果、レンズに歪みやクラックが生じるのを有効に抑制することができ、光ファイバと光半導体素子との光結合効率を向上させ、光信号を外部に効率よく伝送することができる。
【0014】
本発明の光半導体素子収納用パッケージにおいて、好ましくは、前記金属層は、前記レンズの側周面の全面に形成されたチタンまたはクロムから成る第一の金属層と、前記基台との接合部の前記第一の金属層の表面に形成された白金または金から成る第二の金属層とから成ることを特徴とする。
【0015】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、金属層がレンズの側周面の全面に形成されたチタンまたはクロムから成る第一の金属層と、基台との接合部の第一の金属層の表面に形成された白金または金から成る第二の金属層とから成ることから、ガラス等から成るレンズに強固に被着できるとともにレンズ内を透過する光を高い光反射率で反射できるチタンまたはクロムから成る第一の金属層によって、レンズ内で効率よく反射させることにより光がレンズの側周面から外部へもれるのを有効に抑制し、光信号の損失を効果的に小さくすることができる。また、レンズと基台との接合部において第一の金属層の表面に白金または金から成る第二の金属層を形成することによりレンズとロウ材との接着性を非常に強固にすることができ、レンズと基台との接合面積を小さくしてレンズと基台との熱膨張差によって生じる応力をより小さくすることができる。
【0016】
本発明の光半導体素子収納用パッケージにおいて、好ましくは、前記基台は上面に前記レンズの前記一端面の縁部に接する突出部が設けられていることを特徴とする。
【0017】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、基台の上面に、レンズの貫通孔側の一端面の縁部に接する突出部が設けられていることにより、突出部を基準としてレンズの貫通孔側の一端面を精度よく位置合わせでき、光半導体素子からレンズを介して光ファイバに向けて集光する光信号の焦点を確実に光ファイバの先端に位置合わせすることができる。その結果、光半導体素子と光ファイバとの光結合効率を非常に良好なものとすることができる。
【0018】
本発明の光半導体装置は、上記本発明の光半導体素子収納用パッケージと、前記枠体の前記貫通孔に挿通されて固定された光ファイバと、前記載置部に載置固定されるとともに前記レンズを介して前記光ファイバに光学的に結合された光半導体素子と、前記枠体の上面に取着された蓋体とを具備していることを特徴とする。
【0019】
本発明の光半導体装置は、上記の構成により、上記本発明の光半導体素子収納用パッケージを用いた光信号伝送性およびレンズの接合の信頼性に優れたものとなる。
【0020】
【発明の実施の形態】
本発明の光半導体素子収納用パッケージについて以下に詳細に説明する。図1は本発明のパッケージについて実施の形態の例を示す断面図であり、1は基体、2は枠体、4は円柱状のレンズ、5は基台、6は光ファイバ、8は光半導体素子である。また、図2は本発明のパッケージにおける基台5およびレンズ4の拡大側面図である。
【0021】
本発明のパッケージは、図1に示すように、上側主面の中央部に光半導体素子8を載置するための載置部5aを上面に有する基台5が接合された基体1と、この基体1の上側主面の外周部に基台5を囲繞するように接合され、側部に光ファイバ6を挿通し固定するための貫通孔2aが形成された枠体2と、側周面に金属層4aが形成されているとともに、基台5の上面の載置部5aと貫通孔2aとの間の部位に一端面が貫通孔2aに対向するとともに他端面が載置部5aに向くように金属層4aがロウ付けされている円柱状のレンズ4とを具備している。
【0022】
本発明の基体1は、Fe−Ni−Co合金やCu−W合金等の金属、またはAl2O3質焼結体,AlN質焼結体,3Al2O3・2SiO2質焼結体等のセラミックスから成る。金属から成る場合、そのインゴットに圧延加工や打ち抜き加工等の従来周知の金属加工法を施すことによって所定形状に製作される。また、基体1が例えばAl2O3質焼結体から成る場合以下のようにして作製される。Al2O3,酸化珪素(SiO2),酸化カルシウム(CaO),酸化マグネシウム(MgO)等の原料粉末に適当な有機バインダや可塑剤,分散剤,溶剤等を添加混合して泥漿状となす。これを従来周知のドクターブレード法でシート状となすことによって複数枚のセラミックグリーンシートを得る。しかる後、これらのセラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施し、積層した後、還元雰囲気中で約1600℃の温度で焼成することによって製作される。
【0023】
基体1の上側主面には、LD,PD等の光半導体素子8が載置される載置部5aを上面に有する基台5が接合されており、載置部5aには光半導体素子8が直接、または、Al2O3質焼結体等のセラミックス等の絶縁体から成る絶縁基板7を介して載置固定される。
【0024】
また、基体1の上側主面の外周部には、基台5を囲繞するようにして接合されるとともに側部に光ファイバ6を挿通し固定するための貫通孔2aを有する枠体2が立設されている。この枠体2は、基体1とともにその内側(内部空間)に光半導体素子8を収容する空所を形成する。枠体2は平面視形状が長方形状の枠状体であり、基体1と同様にFe−Ni−Co合金やCu−W合金等の金属、またはAl2O3質焼結体,AlN質焼結体,3Al2O3・2SiO2質焼結体等のセラミックスから成り、基体1と一体成形される、または基体1に銀(Ag)ロウ等のロウ材でロウ付けされる、またはシーム溶接法等の溶接法により接合されることによって、基体1の上側主面の外周部に接合される。
【0025】
基台5は、Fe−Ni−Co合金やCu−W合金等の金属、Al2O3質焼結体,AlN質焼結体,3Al2O3・2SiO2質焼結体等のセラミックスから成り、光半導体素子8が搭載されるとともに、上面の載置部5aと貫通孔2aとの間の部位に光半導体素子8から発光する光信号を集光するための円柱状のレンズ4が載置されている。この基台5は、基体1の上側主面にAgロウ等のロウ材によって接合される、または基体1と一体に形成される。
【0026】
レンズ4は、ガラスやプラスチック等の透光性部材から成る円柱状のものであり、図2のように、外周部に金属層4aが形成されており、金属層4aが基台5にロウ付けされる。これにより、円柱状のレンズ4を側周面の全面ではなく一部分だけで基台5に接合することができるため、レンズ4と基台5との熱膨張差によってレンズ4に応力が加わるのを有効に抑制することができる。また、レンズ4と基台5とがロウ材を介して接合されているため、応力をロウ材によって有効に吸収することができる。その結果、レンズ4に歪みやクラックが生じるのを有効に抑制することができ、光ファイバ6と光半導体素子8との光結合効率を向上させ、光信号を外部に効率よく伝送することができる。
【0027】
また、レンズ4の端面の光信号透過部は、光学研磨が施されているとともに、透過する光信号の波長に合わせて材料、厚さが適宜選択された多層の誘電体層から成る反射防止層が形成されていてもよい。
【0028】
金属層4aは、レンズ4の側周面の一部または全面に形成されており、この金属層4aと基台5とがロウ材を介して接合される。この金属層4aとロウ材との密着面は、レンズ4の軸方向の長さL2がレンズ4の長さL1より短くされているのがよい。この構成により、レンズ4と基台5との接合面積が小さくなり、これらの熱膨張差による熱応力がレンズ4に加わるのを有効に抑制し、脆くて破損し易いレンズ4にクラックや欠け等の破損が生ずるのを有効に抑制することができる。
【0029】
また、より好ましくは、L2はL1に対し0.25×L1≦L2≦0.75×L1であるのがよい。この構成により、レンズ4に基台5との熱膨張差による熱応力が加わり難くなってレンズ4に歪みやクラック、欠け等が生ずるのをより有効に抑制することができ、その結果、光半導体素子8から発光した光信号を光ファイバ6によってより確実に集光させることができる。L2<0.25×L1であると、レンズ4と基台5との接合面積が小さくなりすぎてレンズ4の基台5との接合強度が小さくなり易く、レンズ4を長期にわたって確実に固定することが困難となる。L2>0.75×L1であると、レンズ4と基台5との接合面積が大きくなりすぎてレンズ4に生じる歪みが大きくなり易く、光半導体素子8から発光した光信号を集光させることが困難になる。
【0030】
さらに、L2がL1より短い場合、金属層4aとロウ材との密着面はレンズ4の軸方向の中央部にあるのがよい。これにより、歪やクラック、欠け等が生じ易いレンズ4の端部にレンズ4と基台5との熱膨張差による応力が加わるのを有効に抑制し、光半導体素子8と光ファイバ6との光結合効率を良好に維持することができる。
【0031】
金属層4aは、例えば、蒸着やめっき等によりレンズ4の側周面に形成される。金属層4aは一層だけでなく、二層以上であってもよい。
【0032】
好ましくは、金属層4aは、レンズ4の側周面の全面に形成されたチタン(Ti)またはクロム(Cr)から成る第一の金属層と、基台5との接合部の第一の金属層の表面に形成された白金(Pt)または金(Au)から成る第二の金属層とから成るのがよい。これにより、ガラス等から成るレンズ4に強固に被着できるとともにレンズ4内を透過する光を高い光反射率で反射できるチタンまたはクロムから成る第一の金属層によって、レンズ4内で効率よく反射させることにより光がレンズ4の側周面から外部へもれるのを有効に抑制し、光信号の損失を効果的に小さくすることができる。また、レンズ4と基台5との接合部において、第一の金属層の表面にPtまたはAuから成る第二の金属層を形成することによりレンズ4とロウ材との接着性を非常に強固にすることができ、レンズ4と基台5との接合面積を小さくしてレンズ4と基台5との熱膨張差によって生じる応力をより小さくすることができる。
【0033】
上記の第二の金属層は、レンズ4の側周面全面や全周にわたって帯状に形成されていてもよいが、基台5との接合部のみに形成されていることが好ましい。これにより、ロウ材がレンズ4の側周面に濡れ広がるのを有効に抑制でき、ロウ材とレンズ4との接触面積を小さくして応力がレンズ4に加わるのを有効に抑制することができる。
【0034】
また好ましくは、基台5は上面に、レンズ4の貫通孔2a側の一端面の縁部に接する突出部5bが設けられているのがよい。
【0035】
この構成により、突出部5bを基準としてレンズ4の貫通孔2a側の一端面を精度よく位置合わせでき、光半導体素子8からレンズ4を介して光ファイバ6に向けて集光する光信号の焦点を確実に光ファイバ6の先端に位置合わせすることができる。その結果、光半導体素子8と光ファイバ6との光結合効率を非常に良好なものとすることができる。
【0036】
また、基台5がFe−Ni−Co合金やCu−W合金等の金属から成る場合、従来周知の金属加工法によって突出部5bが設けられる。この場合、図4に示すように基台5の上面に突出部5bに沿って溝部5cを設けるのがよい。これにより、突出部5bの付け根に削り残しが生じることを完全に防止できる。即ち、金属加工法により突出部5bを形成すると、基台5の上面と突出部5bの側面との間に削り残しが生じ易くなって基台5の上面と突出部5bの側面とを直角にするのが困難になり、レンズ4を突出部5bに接触させてレンズ4を精度よく位置合わせし難くなるため、溝部5cを形成することで削り残しを防止して基台5の上面と突出部5bの側面とを直角にすることができる。その結果、レンズ4の位置を正確に合わせることができ、光半導体素子8と光ファイバ6との光結合効率をさらに良好なものとすることができる。
【0037】
このようなパッケージの載置部5aに光半導体素子8を直接、あるいは、絶縁基板7を介して載置固定し、光半導体素子8の電極とパッケージの内外を導通する導電体(図示せず)とを電気的に接続し、しかる後、枠体2の上面にFe−Ni−Co合金等の金属から成る蓋体3をシームウエルド法等の溶接法やロウ付け法等で取着することによって基体1、枠体2および蓋体3から構成される容器内部に光半導体素子8を収容して気密に封止し、そして、光ファイバ6を、その一端を貫通孔2aに挿通し、Au−錫(Sn)半田,鉛(Pb)−Sn半田等で半田付けすることにより貫通孔2aに接合固定されることによって、製品としての光半導体装置を作製することができる。
【0038】
この光半導体装置は、外部電気回路から供給される電気信号によって光半導体素子8に光を励起させ、この光をレンズ4で集光させて光ファイバ6に透過させ、そして、光ファイバ6を介して外部に伝送することによって高速光通信等に使用される。
【0039】
なお、本発明は以上の実施の形態の例に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を施すことは何等差し支えない。
【0040】
【発明の効果】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、上側主面の中央部に光半導体素子を載置するための載置部を上面に有する基台が接合された基体と、この基体の上側主面の外周部に基台を囲繞するように接合され、側部に光ファイバを挿通し固定するための貫通孔が形成された枠体と、側周面に金属層が形成されているとともに、基台の上面の載置部と貫通孔との間の部位に一端面が貫通孔に対向するとともに他端面が載置部に向くように金属層がロウ付けされている円柱状のレンズとを具備していることにより、円柱状のレンズを側周面の全面ではなく一部分だけで基台に接合することができるため、レンズと基台との熱膨張差によってレンズに応力が加わるのを有効に抑制することができる。また、レンズと基台とがロウ材を介して接合されているため、応力をロウ材によって有効に吸収することができる。その結果、レンズに歪みやクラックが生じるのを有効に抑制することができ、光ファイバと光半導体素子との光結合効率を向上させ、光信号を外部に効率よく伝送することができる。
【0041】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、金属層がレンズの側周面の全面に形成されたチタンまたはクロムから成る第一の金属層と、基台との接合部の第一の金属層の表面に形成された白金または金から成る第二の金属層とから成ることから、ガラス等から成るレンズに強固に被着できるとともにレンズ内を透過する光を高い光反射率で反射できるチタンまたはクロムから成る第一の金属層によって、レンズ内で効率よく反射させることにより光がレンズの側周面から外部へもれるのを有効に抑制し、光信号の損失を効果的に小さくすることができる。また、レンズと基台との接合部において第一の金属層の表面に白金または金から成る第二の金属層を形成することによりレンズとロウ材との接着性を非常に強固にすることができ、レンズと基台との接合面積を小さくしてレンズと基台との熱膨張差によって生じる応力をより小さくすることができる。
【0042】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、基台の上面に、レンズの貫通孔側の一端面の縁部に接する突出部が設けられていることにより、突出部を基準としてレンズの貫通孔側の一端面を精度よく位置合わせでき、光半導体素子からレンズを介して光ファイバに向けて集光する光信号の焦点を確実に光ファイバの先端に位置合わせすることができる。その結果、光半導体素子と光ファイバとの光結合効率を非常に良好なものとすることができる。
【0043】
本発明の光半導体装置は、上記本発明の光半導体素子収納用パッケージと、枠体の貫通孔に挿通されて固定された光ファイバと、載置部に載置固定されるとともにレンズを介して光ファイバに光学的に結合された光半導体素子と、枠体の上面に取着された蓋体とを具備していることにより、上記本発明の光半導体素子収納用パッケージを用いた光信号伝送性およびレンズの接合の信頼性に優れたものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光半導体素子収納用パッケージについて実施の形態の例を示す断面図である。
【図2】図1の光半導体素子収納用パッケージにおけるレンズおよび基台を示す要部拡大側面図である。
【図3】従来の光半導体素子収納用パッケージの例を示す断面図である。
【図4】本発明の光半導体素子収納用パッケージについて実施の形態の他の例を示す要部拡大側面図である。
【符号の説明】
1:基体
2:枠体
2a:貫通孔
3:蓋体
4:レンズ
4a:金属層
5:基台
5a:載置部
5b:突出部
6:光ファイバ
8:光半導体素子
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信分野等に用いられ、光半導体素子を収納するための光半導体素子収納用パッケージおよび光半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の光通信分野等で用いられ高い周波数で作動する半導体レーザ(LD)等の光半導体素子を気密封止して収容するための光半導体素子収納用パッケージ(以下、単にパッケージともいう)の例を図3に断面図で示す。同図において、21は基体、22は枠体、24は円柱状のレンズ、25は基台、26は光ファイバ、28は光半導体素子である。
【0003】
基体21は、鉄(Fe)−ニッケル(Ni)−コバルト(Co)合金,銅(Cu)−タングステン(W)合金等の金属やアルミナ(Al2O3)質焼結体,窒化アルミニウム(AlN)質焼結体,ムライト(3Al2O3・2SiO2)質焼結体等のセラミックスから成り、その上側主面の中央部には、LD,PD等の光半導体素子28が載置される載置部25aを上面に有するFe−Ni−Co合金等の金属製の基台25が載置固定される。
【0004】
基体21の上側主面の外周部には、基台25を囲繞するようにして接合され、一側部に光信号の入出力部となる貫通孔22aを有する、Fe−Ni−Co合金等の金属やAl2O3質焼結体,AlN質焼結体,3Al2O3・2SiO2質焼結体等のセラミックスから成る枠体22が接合され立設されている。
【0005】
また、基台25は、上面の載置部25aと貫通孔22aとの間の部位に光半導体素子28から発光する光信号を集光するための円柱状のレンズ24を保持するための貫通孔を有する垂直部が設けられている。
【0006】
円柱状のレンズ24はガラス等からなり、基台25の垂直部の貫通孔に挿通され半田等で固定されている。
【0007】
このようなパッケージの載置部25aに光半導体素子28を載置固定し、あるいは、載置部25aにAl2O3質焼結体等のセラミックスから成る絶縁基板27を介して光半導体素子28を載置固定し、枠体22の上面にFe−Ni−Co合金等の金属から成る蓋体23をシームウエルド法等の溶接法やロウ付け法等で取着することによって基体21、枠体22および蓋体23から構成される容器内部に光半導体素子28を収容し気密に封止し、そして、光ファイバ26を、その一端が貫通孔22aに挿通し、枠体22の一側部に固定することによって、製品としての光半導体装置となる(例えば、下記の特許文献1参照)。
【0008】
この光半導体装置は、外部電気回路から供給される電気信号によって光半導体素子28に光を励起させ、この光をレンズ24で集光させて光ファイバ26に透過させ、そして、光ファイバ26を介して外部に伝送することによって高速光通信等に使用される。
【0009】
【特許文献1】
特開平5−136517号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のパッケージにおいて、レンズ24を半田等によって金属製の基台25の垂直部(側壁部)の貫通孔内面に接合すると、レンズ24は円柱状の細長い部材であるため基台25との熱膨張差による熱応力が大きく加わり易く、レンズ24に歪みが生じたり、レンズ24にクラック等の破損が生じる場合があった。その結果、光半導体素子28から発光した光信号を光ファイバ26に集光させることができなくなって光ファイバ26と光半導体素子28との光結合効率を低下させ、光信号を外部に効率よく伝送できなくなるという問題点があった。
【0011】
従って、本発明は上記問題点に鑑み完成されたものであり、その目的は、円柱状のレンズに歪みが生じるのを防止して、光半導体素子から発光した光信号を光ファイバに効率よく集光させ、光信号の伝送効率に優れた光半導体素子収納用パッケージを提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、上側主面の中央部に光半導体素子を載置するための載置部を上面に有する基台が接合された基体と、該基体の前記上側主面の外周部に前記基台を囲繞するように接合され、側部に光ファイバを挿通し固定するための貫通孔が形成された枠体と、側周面に金属層が形成されているとともに、前記基台の上面の前記載置部と前記貫通孔との間の部位に一端面が前記貫通孔に対向するとともに他端面が前記載置部に向くように前記金属層がロウ付けされている円柱状のレンズとを具備していることを特徴とする。
【0013】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、側周面に金属層が形成されているとともに、基台の上面の載置部と貫通孔との間の部位に一端面が貫通孔に対向するとともに他端面が載置部に向くように金属層がロウ付けされている円柱状のレンズを具備することにより、円柱状のレンズを側周面の全面ではなく一部分だけで基台に接合することができるため、レンズと基台との熱膨張差によってレンズに応力が加わるのを有効に抑制することができる。また、レンズと基台とがロウ材を介して接合されているため、応力をロウ材によって有効に吸収することができる。その結果、レンズに歪みやクラックが生じるのを有効に抑制することができ、光ファイバと光半導体素子との光結合効率を向上させ、光信号を外部に効率よく伝送することができる。
【0014】
本発明の光半導体素子収納用パッケージにおいて、好ましくは、前記金属層は、前記レンズの側周面の全面に形成されたチタンまたはクロムから成る第一の金属層と、前記基台との接合部の前記第一の金属層の表面に形成された白金または金から成る第二の金属層とから成ることを特徴とする。
【0015】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、金属層がレンズの側周面の全面に形成されたチタンまたはクロムから成る第一の金属層と、基台との接合部の第一の金属層の表面に形成された白金または金から成る第二の金属層とから成ることから、ガラス等から成るレンズに強固に被着できるとともにレンズ内を透過する光を高い光反射率で反射できるチタンまたはクロムから成る第一の金属層によって、レンズ内で効率よく反射させることにより光がレンズの側周面から外部へもれるのを有効に抑制し、光信号の損失を効果的に小さくすることができる。また、レンズと基台との接合部において第一の金属層の表面に白金または金から成る第二の金属層を形成することによりレンズとロウ材との接着性を非常に強固にすることができ、レンズと基台との接合面積を小さくしてレンズと基台との熱膨張差によって生じる応力をより小さくすることができる。
【0016】
本発明の光半導体素子収納用パッケージにおいて、好ましくは、前記基台は上面に前記レンズの前記一端面の縁部に接する突出部が設けられていることを特徴とする。
【0017】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、基台の上面に、レンズの貫通孔側の一端面の縁部に接する突出部が設けられていることにより、突出部を基準としてレンズの貫通孔側の一端面を精度よく位置合わせでき、光半導体素子からレンズを介して光ファイバに向けて集光する光信号の焦点を確実に光ファイバの先端に位置合わせすることができる。その結果、光半導体素子と光ファイバとの光結合効率を非常に良好なものとすることができる。
【0018】
本発明の光半導体装置は、上記本発明の光半導体素子収納用パッケージと、前記枠体の前記貫通孔に挿通されて固定された光ファイバと、前記載置部に載置固定されるとともに前記レンズを介して前記光ファイバに光学的に結合された光半導体素子と、前記枠体の上面に取着された蓋体とを具備していることを特徴とする。
【0019】
本発明の光半導体装置は、上記の構成により、上記本発明の光半導体素子収納用パッケージを用いた光信号伝送性およびレンズの接合の信頼性に優れたものとなる。
【0020】
【発明の実施の形態】
本発明の光半導体素子収納用パッケージについて以下に詳細に説明する。図1は本発明のパッケージについて実施の形態の例を示す断面図であり、1は基体、2は枠体、4は円柱状のレンズ、5は基台、6は光ファイバ、8は光半導体素子である。また、図2は本発明のパッケージにおける基台5およびレンズ4の拡大側面図である。
【0021】
本発明のパッケージは、図1に示すように、上側主面の中央部に光半導体素子8を載置するための載置部5aを上面に有する基台5が接合された基体1と、この基体1の上側主面の外周部に基台5を囲繞するように接合され、側部に光ファイバ6を挿通し固定するための貫通孔2aが形成された枠体2と、側周面に金属層4aが形成されているとともに、基台5の上面の載置部5aと貫通孔2aとの間の部位に一端面が貫通孔2aに対向するとともに他端面が載置部5aに向くように金属層4aがロウ付けされている円柱状のレンズ4とを具備している。
【0022】
本発明の基体1は、Fe−Ni−Co合金やCu−W合金等の金属、またはAl2O3質焼結体,AlN質焼結体,3Al2O3・2SiO2質焼結体等のセラミックスから成る。金属から成る場合、そのインゴットに圧延加工や打ち抜き加工等の従来周知の金属加工法を施すことによって所定形状に製作される。また、基体1が例えばAl2O3質焼結体から成る場合以下のようにして作製される。Al2O3,酸化珪素(SiO2),酸化カルシウム(CaO),酸化マグネシウム(MgO)等の原料粉末に適当な有機バインダや可塑剤,分散剤,溶剤等を添加混合して泥漿状となす。これを従来周知のドクターブレード法でシート状となすことによって複数枚のセラミックグリーンシートを得る。しかる後、これらのセラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施し、積層した後、還元雰囲気中で約1600℃の温度で焼成することによって製作される。
【0023】
基体1の上側主面には、LD,PD等の光半導体素子8が載置される載置部5aを上面に有する基台5が接合されており、載置部5aには光半導体素子8が直接、または、Al2O3質焼結体等のセラミックス等の絶縁体から成る絶縁基板7を介して載置固定される。
【0024】
また、基体1の上側主面の外周部には、基台5を囲繞するようにして接合されるとともに側部に光ファイバ6を挿通し固定するための貫通孔2aを有する枠体2が立設されている。この枠体2は、基体1とともにその内側(内部空間)に光半導体素子8を収容する空所を形成する。枠体2は平面視形状が長方形状の枠状体であり、基体1と同様にFe−Ni−Co合金やCu−W合金等の金属、またはAl2O3質焼結体,AlN質焼結体,3Al2O3・2SiO2質焼結体等のセラミックスから成り、基体1と一体成形される、または基体1に銀(Ag)ロウ等のロウ材でロウ付けされる、またはシーム溶接法等の溶接法により接合されることによって、基体1の上側主面の外周部に接合される。
【0025】
基台5は、Fe−Ni−Co合金やCu−W合金等の金属、Al2O3質焼結体,AlN質焼結体,3Al2O3・2SiO2質焼結体等のセラミックスから成り、光半導体素子8が搭載されるとともに、上面の載置部5aと貫通孔2aとの間の部位に光半導体素子8から発光する光信号を集光するための円柱状のレンズ4が載置されている。この基台5は、基体1の上側主面にAgロウ等のロウ材によって接合される、または基体1と一体に形成される。
【0026】
レンズ4は、ガラスやプラスチック等の透光性部材から成る円柱状のものであり、図2のように、外周部に金属層4aが形成されており、金属層4aが基台5にロウ付けされる。これにより、円柱状のレンズ4を側周面の全面ではなく一部分だけで基台5に接合することができるため、レンズ4と基台5との熱膨張差によってレンズ4に応力が加わるのを有効に抑制することができる。また、レンズ4と基台5とがロウ材を介して接合されているため、応力をロウ材によって有効に吸収することができる。その結果、レンズ4に歪みやクラックが生じるのを有効に抑制することができ、光ファイバ6と光半導体素子8との光結合効率を向上させ、光信号を外部に効率よく伝送することができる。
【0027】
また、レンズ4の端面の光信号透過部は、光学研磨が施されているとともに、透過する光信号の波長に合わせて材料、厚さが適宜選択された多層の誘電体層から成る反射防止層が形成されていてもよい。
【0028】
金属層4aは、レンズ4の側周面の一部または全面に形成されており、この金属層4aと基台5とがロウ材を介して接合される。この金属層4aとロウ材との密着面は、レンズ4の軸方向の長さL2がレンズ4の長さL1より短くされているのがよい。この構成により、レンズ4と基台5との接合面積が小さくなり、これらの熱膨張差による熱応力がレンズ4に加わるのを有効に抑制し、脆くて破損し易いレンズ4にクラックや欠け等の破損が生ずるのを有効に抑制することができる。
【0029】
また、より好ましくは、L2はL1に対し0.25×L1≦L2≦0.75×L1であるのがよい。この構成により、レンズ4に基台5との熱膨張差による熱応力が加わり難くなってレンズ4に歪みやクラック、欠け等が生ずるのをより有効に抑制することができ、その結果、光半導体素子8から発光した光信号を光ファイバ6によってより確実に集光させることができる。L2<0.25×L1であると、レンズ4と基台5との接合面積が小さくなりすぎてレンズ4の基台5との接合強度が小さくなり易く、レンズ4を長期にわたって確実に固定することが困難となる。L2>0.75×L1であると、レンズ4と基台5との接合面積が大きくなりすぎてレンズ4に生じる歪みが大きくなり易く、光半導体素子8から発光した光信号を集光させることが困難になる。
【0030】
さらに、L2がL1より短い場合、金属層4aとロウ材との密着面はレンズ4の軸方向の中央部にあるのがよい。これにより、歪やクラック、欠け等が生じ易いレンズ4の端部にレンズ4と基台5との熱膨張差による応力が加わるのを有効に抑制し、光半導体素子8と光ファイバ6との光結合効率を良好に維持することができる。
【0031】
金属層4aは、例えば、蒸着やめっき等によりレンズ4の側周面に形成される。金属層4aは一層だけでなく、二層以上であってもよい。
【0032】
好ましくは、金属層4aは、レンズ4の側周面の全面に形成されたチタン(Ti)またはクロム(Cr)から成る第一の金属層と、基台5との接合部の第一の金属層の表面に形成された白金(Pt)または金(Au)から成る第二の金属層とから成るのがよい。これにより、ガラス等から成るレンズ4に強固に被着できるとともにレンズ4内を透過する光を高い光反射率で反射できるチタンまたはクロムから成る第一の金属層によって、レンズ4内で効率よく反射させることにより光がレンズ4の側周面から外部へもれるのを有効に抑制し、光信号の損失を効果的に小さくすることができる。また、レンズ4と基台5との接合部において、第一の金属層の表面にPtまたはAuから成る第二の金属層を形成することによりレンズ4とロウ材との接着性を非常に強固にすることができ、レンズ4と基台5との接合面積を小さくしてレンズ4と基台5との熱膨張差によって生じる応力をより小さくすることができる。
【0033】
上記の第二の金属層は、レンズ4の側周面全面や全周にわたって帯状に形成されていてもよいが、基台5との接合部のみに形成されていることが好ましい。これにより、ロウ材がレンズ4の側周面に濡れ広がるのを有効に抑制でき、ロウ材とレンズ4との接触面積を小さくして応力がレンズ4に加わるのを有効に抑制することができる。
【0034】
また好ましくは、基台5は上面に、レンズ4の貫通孔2a側の一端面の縁部に接する突出部5bが設けられているのがよい。
【0035】
この構成により、突出部5bを基準としてレンズ4の貫通孔2a側の一端面を精度よく位置合わせでき、光半導体素子8からレンズ4を介して光ファイバ6に向けて集光する光信号の焦点を確実に光ファイバ6の先端に位置合わせすることができる。その結果、光半導体素子8と光ファイバ6との光結合効率を非常に良好なものとすることができる。
【0036】
また、基台5がFe−Ni−Co合金やCu−W合金等の金属から成る場合、従来周知の金属加工法によって突出部5bが設けられる。この場合、図4に示すように基台5の上面に突出部5bに沿って溝部5cを設けるのがよい。これにより、突出部5bの付け根に削り残しが生じることを完全に防止できる。即ち、金属加工法により突出部5bを形成すると、基台5の上面と突出部5bの側面との間に削り残しが生じ易くなって基台5の上面と突出部5bの側面とを直角にするのが困難になり、レンズ4を突出部5bに接触させてレンズ4を精度よく位置合わせし難くなるため、溝部5cを形成することで削り残しを防止して基台5の上面と突出部5bの側面とを直角にすることができる。その結果、レンズ4の位置を正確に合わせることができ、光半導体素子8と光ファイバ6との光結合効率をさらに良好なものとすることができる。
【0037】
このようなパッケージの載置部5aに光半導体素子8を直接、あるいは、絶縁基板7を介して載置固定し、光半導体素子8の電極とパッケージの内外を導通する導電体(図示せず)とを電気的に接続し、しかる後、枠体2の上面にFe−Ni−Co合金等の金属から成る蓋体3をシームウエルド法等の溶接法やロウ付け法等で取着することによって基体1、枠体2および蓋体3から構成される容器内部に光半導体素子8を収容して気密に封止し、そして、光ファイバ6を、その一端を貫通孔2aに挿通し、Au−錫(Sn)半田,鉛(Pb)−Sn半田等で半田付けすることにより貫通孔2aに接合固定されることによって、製品としての光半導体装置を作製することができる。
【0038】
この光半導体装置は、外部電気回路から供給される電気信号によって光半導体素子8に光を励起させ、この光をレンズ4で集光させて光ファイバ6に透過させ、そして、光ファイバ6を介して外部に伝送することによって高速光通信等に使用される。
【0039】
なお、本発明は以上の実施の形態の例に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を施すことは何等差し支えない。
【0040】
【発明の効果】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、上側主面の中央部に光半導体素子を載置するための載置部を上面に有する基台が接合された基体と、この基体の上側主面の外周部に基台を囲繞するように接合され、側部に光ファイバを挿通し固定するための貫通孔が形成された枠体と、側周面に金属層が形成されているとともに、基台の上面の載置部と貫通孔との間の部位に一端面が貫通孔に対向するとともに他端面が載置部に向くように金属層がロウ付けされている円柱状のレンズとを具備していることにより、円柱状のレンズを側周面の全面ではなく一部分だけで基台に接合することができるため、レンズと基台との熱膨張差によってレンズに応力が加わるのを有効に抑制することができる。また、レンズと基台とがロウ材を介して接合されているため、応力をロウ材によって有効に吸収することができる。その結果、レンズに歪みやクラックが生じるのを有効に抑制することができ、光ファイバと光半導体素子との光結合効率を向上させ、光信号を外部に効率よく伝送することができる。
【0041】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、金属層がレンズの側周面の全面に形成されたチタンまたはクロムから成る第一の金属層と、基台との接合部の第一の金属層の表面に形成された白金または金から成る第二の金属層とから成ることから、ガラス等から成るレンズに強固に被着できるとともにレンズ内を透過する光を高い光反射率で反射できるチタンまたはクロムから成る第一の金属層によって、レンズ内で効率よく反射させることにより光がレンズの側周面から外部へもれるのを有効に抑制し、光信号の損失を効果的に小さくすることができる。また、レンズと基台との接合部において第一の金属層の表面に白金または金から成る第二の金属層を形成することによりレンズとロウ材との接着性を非常に強固にすることができ、レンズと基台との接合面積を小さくしてレンズと基台との熱膨張差によって生じる応力をより小さくすることができる。
【0042】
本発明の光半導体素子収納用パッケージは、基台の上面に、レンズの貫通孔側の一端面の縁部に接する突出部が設けられていることにより、突出部を基準としてレンズの貫通孔側の一端面を精度よく位置合わせでき、光半導体素子からレンズを介して光ファイバに向けて集光する光信号の焦点を確実に光ファイバの先端に位置合わせすることができる。その結果、光半導体素子と光ファイバとの光結合効率を非常に良好なものとすることができる。
【0043】
本発明の光半導体装置は、上記本発明の光半導体素子収納用パッケージと、枠体の貫通孔に挿通されて固定された光ファイバと、載置部に載置固定されるとともにレンズを介して光ファイバに光学的に結合された光半導体素子と、枠体の上面に取着された蓋体とを具備していることにより、上記本発明の光半導体素子収納用パッケージを用いた光信号伝送性およびレンズの接合の信頼性に優れたものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光半導体素子収納用パッケージについて実施の形態の例を示す断面図である。
【図2】図1の光半導体素子収納用パッケージにおけるレンズおよび基台を示す要部拡大側面図である。
【図3】従来の光半導体素子収納用パッケージの例を示す断面図である。
【図4】本発明の光半導体素子収納用パッケージについて実施の形態の他の例を示す要部拡大側面図である。
【符号の説明】
1:基体
2:枠体
2a:貫通孔
3:蓋体
4:レンズ
4a:金属層
5:基台
5a:載置部
5b:突出部
6:光ファイバ
8:光半導体素子
Claims (4)
- 上側主面の中央部に光半導体素子を載置するための載置部を上面に有する基台が接合された基体と、該基体の前記上側主面の外周部に前記基台を囲繞するように接合され、側部に光ファイバを挿通し固定するための貫通孔が形成された枠体と、側周面に金属層が形成されているとともに、前記基台の上面の前記載置部と前記貫通孔との間の部位に一端面が前記貫通孔に対向するとともに他端面が前記載置部に向くように前記金属層がロウ付けされている円柱状のレンズとを具備していることを特徴とする光半導体素子収納用パッケージ。
- 前記金属層は、前記レンズの側周面の全面に形成されたチタンまたはクロムから成る第一の金属層と、前記基台との接合部の前記第一の金属層の表面に形成された白金または金から成る第二の金属層とから成ることを特徴とする請求項1記載の光半導体素子収納用パッケージ。
- 前記基台は、上面に前記レンズの前記一端面の縁部に接する突出部が設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の光半導体素子収納用パッケージ。
- 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の光半導体素子収納用パッケージと、前記枠体の前記貫通孔に挿通されて固定された光ファイバと、前記載置部に載置固定されるとともに前記レンズを介して前記光ファイバに光学的に結合された光半導体素子と、前記枠体の上面に取着された蓋体とを具備していることを特徴とする光半導体装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN110391586A (zh) * | 2018-04-17 | 2019-10-29 | 住友电工光电子器件创新株式会社 | 发射器组件 |
-
2003
- 2003-03-12 JP JP2003067246A patent/JP2004309505A/ja not_active Withdrawn
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