JP2004307122A - テープ搬送装置、テープ処理装置、テープ搬送方法及びテープ処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】テープ送りの安定を図り、テープへの損傷を防止することができるテープ搬送装置を提供する。
【解決手段】テープ供給部１０１と、テープの送り方向及びその逆方向に自在な速度で移動してテープ供給部１０１から供給されたテープ１７を順次テープ送り方向に搬送することが可能となっているステージ７と、テープ供給部１０１から供給されたテープ１７をステージ７に固定する手段と、ステージ７を通ってきたテープ１７を収容するテープ収容部１０５と、テープ供給部１０１及びテープ収容部１０５とステージ７との間にそれぞれ設けられてテープ１７を支持する、テープ走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能な第１及び第２のガイドローラ５、１０とを有する。
【選択図】 図１
【解決手段】テープ供給部１０１と、テープの送り方向及びその逆方向に自在な速度で移動してテープ供給部１０１から供給されたテープ１７を順次テープ送り方向に搬送することが可能となっているステージ７と、テープ供給部１０１から供給されたテープ１７をステージ７に固定する手段と、ステージ７を通ってきたテープ１７を収容するテープ収容部１０５と、テープ供給部１０１及びテープ収容部１０５とステージ７との間にそれぞれ設けられてテープ１７を支持する、テープ走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能な第１及び第２のガイドローラ５、１０とを有する。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テープ搬送装置、テープ処理装置、テープ搬送方法及びテープ処理方法に関し、より詳しくは、テープ上の部材又はテープ材料自体を検査、或いは加工など処理する装置に備えられたテープ搬送装置、テープ処理装置、テープ搬送方法及びテープ処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
テープ搬送装置は、テープ上の部材又はテープ状の材料自体を加工、或いは検査など処理する装置で採用されている。その処理装置として、例えば、素材テープ上に金属薄膜の配線パターンを形成する露光装置、テープ上の部材又はテープ状の材料自体に微細なビアを形成するレーザ加工装置、ＴＡＢテープのリード上にＩＣチップのバンプをボンディングするテープボンディング装置、或いはテープ上の部材又はテープ状の材料自体に対して各工程での加工状態を観察するための表面検査装置などがある。
【０００３】
図６は、そのような従来のテープ搬送装置を示す模式図である。
【０００４】
そのテープ搬送／処理装置は、図６に示すように、テープ供給リール３２及びスペーサリール３１を備えたテープ供給部３０１と、搬送ローラ３３ａ、３３ｂを備えたテープ供給側送り機構３０２と、ステージ３４及び処理ヘッド３５を備えた処理部３０３と、搬送ローラ３６ａ、３６ｂを備えたテープ収容側送り機構３０４と、テープ収容リール３７及びスペーサリール３８を備えたテープ収容部３０５とから構成されている。テープ供給リール３２により送り出されたテープ４０はモータに連結された搬送ローラ３３ａ、３３ｂ、３６ａ、３６ｂによってステージ３４上に搬送され、位置決めされた後に、ステージ３４上に固定される。
【０００５】
加工装置の場合、ステージ３４の上方に加工ヘッドやボンディングヘッドが配置され、加工ヘッドから照射されるレーザビームやボンディングヘッドによりテープ上の部材又はテープ状の材料自体に対して加工が行なわれる。また、検査装置の場合は、ステージ３４の上方に対物レンズが配置され、テープ上の部材又はテープ状の材料自体に対して検査が行なわれる。加工及び検査の両方を含めて処理ヘッド３５と総称している。
【０００６】
処理ヘッド３５は一定場所に固定されたものや、Ｘ及びＹ方向のうち少なくとも１軸方向に移動可能となっているものがある。一方、ステージ３４は、テープ４０の一つの被処理領域の加工ができるように、一つの被処理領域内でＸ及びＹ方向のうち少なくとも１軸方向に移動できるようになっている。また、処理位置のずれを防止するためステージ３４にテープ４０を固定できるようになっており、また、光学系の焦点深度の影響による加工ムラを防止するため、テープ４０の保持面は高精度に平面加工されている。
【０００７】
テープ上の部材又はテープ状の材料自体に対する処理は、ステージ３４の移動、または処理ヘッド３５の移動、または両方の移動により処理場所が位置合わせされる。
【０００８】
テープ上の部材又はテープ状の材料自体に対して予め決められた一定の範囲の処理が終了した後、テープ４０は搬送ローラ３３ａ、３３ｂ、３６ａ、３６ｂによって次の被処理範囲がステージ３４上にくるように搬送される。同時に、処理が終了したテープ４０は、順次テープ収容リール３７により巻き取られる。なお、テープ供給リール３２と搬送ローラ３３ａ、３３ｂの間、またはテープ収容リール３７と搬送ローラ３６ａ、３６ｂの間には、図に示すようなテープループ部が設けられている。ループ量を検出するループセンサ３９ａ、３９ｂによりループ下限が一定位置になるように供給リール３２と収納リール３７の回転制御が行なわれる。これにより、テープ４０の送出或いは巻取りが行なわれる。
【０００９】
搬送ローラ３３ａ、３３ｂ、３６ａ、３６ｂは以下の方式によって種々の機構を有する。テープ４０の幅方向の両端部に予め形成されたパーフォレーション穴に搬送ローラ３３ａ、３３ｂ、３６ａ、３６ｂの突起などを挿入させ、駆動力をかけて搬送するスプロケット搬送と呼ばれる方式、テープを上下方からモータに連結された回転ローラによって挟み込んで搬送するニップローラ搬送と呼ばれる方式、テープ上下方に配置された部品平面部でテープを挟み込み、ボールネジ機構などにより一定距離テープを断続的に引っ張って搬送するグリップフィード搬送と呼ばれる方式などがある。
【００１０】
スペーサリール３１、３８はテープ表面の保護テープ４１の巻き取りや送り出しを行なうためのもので、装置の種類によっては省略される場合もある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のテープ搬送方式では、ステージ３４の両側に何らかのテープ搬送を行なうため、搬送ローラ３３ａ、３３ｂ、３６ａ、３６ｂなどの動力手段を備える必要がある。これにより、機構が複雑になるため、処理時間や製造コストに悪影響を及ぼしてしまう。
【００１２】
また、従来の搬送方式では、テープ面に線状に、又は狭い範囲のテープ面に面状に駆動力をかけて搬送する方式であることから、搬送が搬送機構の組立て精度や搬送ローラ３３ａ、３３ｂ、３６ａ、３６ｂ自身の加工精度に影響され易く、テープ送りの蛇行や搬送ローラ３３ａ、３３ｂ、３６ａ、３６ｂの滑りによるテープ４０への損傷が生じるという問題がある。特に、横幅１６０ｍｍ以上のテープや、厚さ４０μｍ以下のテープでは、テープ送りの不安定性が顕著になるという問題もある。
【００１３】
本発明は、上記の従来例の問題点に鑑みて創作されたものであり、テープ送りの安定を図り、テープへの損傷を防止することができるテープ搬送装置、テープ搬送装置を備えたテープ処理装置、テープ搬送方法及びテープ搬送方法を含むテープ処理方法を提供するものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１記載の発明は、テープ搬送装置に係り、テープ供給部と、テープの送り方向及びその逆方向に自在な速度で移動して前記テープ供給部から供給されたテープを順次前記テープの送り方向に搬送することが可能となっているステージと、前記テープ供給部から供給されたテープを前記ステージに固定する手段と、前記ステージを通ってきたテープを収容するテープ収容部と、前記テープ供給部及び前記テープ収容部と前記ステージとの間にそれぞれ設けられて前記テープを支持する、前記テープ走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能な第１及び第２のガイドローラとを有することを特徴とし、
請求項２記載の発明は、請求項１記載のテープ搬送装置に係り、前記ステージに設けられたテープを固定する手段は、圧力差により前記テープを固定する手段であることを特徴とし、
請求項３記載の発明は、請求項１記載のテープ搬送装置に係り、前記ステージに設けられたテープを固定する手段は、前記ステージから前記テープを浮かせて保持する手段であることを特徴とし、
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３の何れか一に記載のテープ搬送装置に係り、前記第１及び第２のガイドローラ、又は前記ステージは、上下方向に移動可能になっていることを特徴とし、
請求項５記載の発明は、請求項１乃至４の何れか一に記載のテープ搬送装置に係り、前記第１及び第２のガイドローラに支持されている前記テープを押圧する、上下移動可能な第１及び第２のテープクランパを備えていることを特徴とし、
請求項６記載の発明は、テープ処理装置に係り、請求項１乃至５の何れか一に記載のテープ搬送装置を備え、かつ前記ステージと、前記テープ自体、或いは前記テープ上の被処理物を処理する手段とを備えたテープ処理部を有することを特徴とし、
請求項７記載の発明は、テープ搬送方法に係り、請求項１記載のテープ搬送装置を用いて、（１）前記テープ供給部から前記第１のガイドローラを介して前記テープを前記ステージ上に供給し、（２）次いで、前記ステージに設けられたテープを固定する手段により前記テープを予め設定された前記ステージの搬送開始位置で前記ステージに固定し、（３）次いで、前記ステージを予め設定された搬送終了位置まで前記テープの送り方向に移動させ、（４）次いで、前記ステージのテープを固定する手段から前記テープを離し、（５）次いで、前記ステージを前記テープの送り方向と逆方向に移動させて前記ステージを前記予め設定された前記ステージの搬送開始位置まで移動させることを特徴とし、
請求項８記載の発明は、請求項７記載のテープ搬送方法に係り、前記（５）のステップの後、前記（２）乃至（５）のステップを繰り返し行なうことを特徴とし、
請求項９記載の発明は、テープ処理方法に係り、請求項７又は８の何れか一に記載のテープ搬送方法を含むテープ処理方法であって、前記（２）のステップ終了後、前記テープ自体、或いは前記テープ上の被処理物の処理を行い、前記処理が終了する前記ステージ位置から前記（３）のステップ以降を行なうことを特徴とし、
請求項１０記載の発明は、請求項９記載のテープ処理方法に係り、前記テープの被処理領域の先頭位置を処理開始点とし、前記テープの被処理領域の最後部位置を処理終点として前記テープ自体、或いは前記テープ上の被処理物を処理する際に、前記処理開始点から前記処理終点に至る処理経路の全長が最短になるように処理することを特徴としている。
【００１５】
以下に、上記本発明の構成により奏される作用を説明する。
【００１６】
本発明のテープ搬送装置及びテープ処理装置においては、テープの送り方向及びその逆方向に自在な速度で移動してテープ供給部から供給されたテープをテープの送り方向に順次搬送することが可能なステージと、テープをステージに固定する手段と、テープ供給部及びテープ収容部とステージとの間にそれぞれ設けられてテープを支持する、テープ走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能な第１及び第２のガイドローラとを有している。
【００１７】
このようなテープ搬送装置及びテープ処理装置によれば、テープをステージに固定する手段によりステージにテープを固定して送り方向に搬送し、ステージに設けられたテープを固定する手段からテープを解放した状態でステージを逆方向に戻す。これを繰り返すことによりテープを送り方向に搬送することができる。
【００１８】
言い換えれば、ステージ自身がテープ搬送機能を兼ね備え、従来必要であった搬送機構が不要となる。これにより、搬送装置が簡略化されて、装置の小型化、装置コストの低減、搬送機構動作の減少に伴う搬送時間の短縮が可能となる。
【００１９】
また、本来、ステージは、加工位置を正確に位置合わせする必要があることから、テープの一処理領域の範囲で動いて高精度に位置決めする機能を有しており、この機能を搬送に兼用することにより、テープ搬送時の位置決め精度を格段に向上させることが可能である。
【００２０】
さらに、第１及び第２のガイドローラ、又はステージは、上下方向に移動可能となっている。従って、第１及び第２のガイドローラ、又はステージを上下方向に移動させることによりテープをステージから浮かせておくことができる。このため、テープ搬送のためステージをテープ送り方向と逆方向に移動させる場合に、ステージとテープ表面との擦れ合いを防止することができ、これにより、特に傷つき易いテープを用いたときにもテープへの損傷の発生を抑制することができる。
【００２１】
また、本発明に係るステージは、ステージからテープを浮かせて保持する手段を備えているので、圧力差によるテープ固定手段を備えていない装置に関してもステージによるテープ搬送を行なえるようにすることができる。さらに、加工対象のテープ上にすでにチップ等が搭載されている場合、ステージやガイドローラ表面とテープ表面が接触することが不都合な場合がある。そのような場合に、ステージからテープを浮かせて保持する手段とテープの処理パターンの形成領域との接触を避けてステージからテープを浮かせた状態で、例えば処理パターンの形成領域の前後、又は最終的には切り取られるテープの両端部のみを当該手段により保持して、テープを順次搬送し、テープの処理を行なうことができる。この場合、第１及び第２のガイドローラ、又はステージは上下移動してもしなくてもよい。
【００２２】
本発明のテープ搬送方法及びテープ処理方法においては、ステージ上のテープ載置面全面を搬送時のテープ保持面として用いることができるので、テープの保持面積が大きい。このため、幅の広いテープ（特に、横幅１６０ｍｍ以上）や薄いテープ（特に、厚さ４０μｍ以下）を搬送する際に安定性が増す。
【００２３】
また、テープ処理において、被処理領域の処理開始点から処理終点に至る処理経路の全長が最短になるように処理している。この場合、テープ処理中のステージ移動動作がテープ搬送動作の一部を兼ねているので、ステージ移動動作に伴い発生する無駄な動きを無くし、かつ、テープの搬送時間の短縮が可能となる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２５】
（第１の実施の形態）
（テープ搬送装置を備えたテープ処理装置の構成）
まず、この発明の第１の実施の形態であるテープ搬送装置を備えた処理装置（以下、テープ搬送／処理装置と称する。）の構成について図面を参照して説明する。
【００２６】
図１は、そのようなテープ搬送／処理装置の構成について示す模式図である。
【００２７】
そのテープ搬送／処理装置は、図１に示すように、テープ供給部１０１と、テープ供給側送り機構１０２と、テープ処理部１０３と、テープ収容側送り機構１０４と、テープ収容部１０５とから構成されている。
【００２８】
テープ供給部１０１は、テープ１７表面を保護する保護テープ２０の巻き取りを行なうスペーサリール１と、テープ１７走行の速度及び方向に応じて独自の駆動手段により順逆自在に回転可能なテープ供給リール２とから構成されている。
【００２９】
また、テープ供給側送り機構１０２は、順逆自在に回転可能なガイドローラ３と、テープ１７自身に延びなどの影響を与えないように重量が設定された、テープ１７走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能で、かつ上下動可能なダンサーローラ４と、テープ処理部１０３に送る直前のテープ１７を支持し、テープ１７走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能で、かつ上下動可能な第１のガイドローラ５と、第１のガイドローラ５にテープ１７を押圧してテープ１７の位置ずれを防ぐテープクランパ６とから構成されている。さらに、ダンサーローラ４の上下方向の位置を検出するループセンサ１５を備え、この情報によりテープ供給リール２の回転が制御されてテープ１７の送りが調整される。
【００３０】
テープ処理部１０３は、真空吸着機能（テープ１７を固定する手段）を有するステージ７と処理ヘッド８を備えている。処理ヘッド８は、例えば、レーザビームを照射するものであり、或いはボンディングヘッドであり、又はテープ１７上の部材又はテープ状の材料自体に対して各工程での加工状態を観察するため顕微鏡などである。必要な場合、ステージ７は真空吸着機能によりテープ１７を固定して、或いは単独で、テープ１７の送り方向及びその逆方向に自在な速度で移動可能となっている。即ち、ステージ７にこのような動きを行なわせるようなステージ７の駆動手段を有する。ステージ７の上のテープ１７上の部材又はテープ１７自体が処理ヘッド８により処理されるようになっている。
【００３１】
テープ収容側送り機構１０４は、テープ処理部１０３から送出された直後のテープ１７を支持し、テープ１７走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能で、かつ上下動可能な第２のガイドローラ１０と、第２のガイドローラ１０にテープ１７を押圧してテープ１７の位置ずれを防ぐテープクランパ９と、テープ１７自身に延びなどの影響を与えないように重量が設定された、テープ１７走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能で、かつ上下動可能なダンサーローラ１１と、順逆自在に回転可能なガイドローラ１２とから構成されている。さらに、ダンサーローラ１１の上下方向の位置を検出するループセンサ１６を備え、この情報によりテープ収容リール１３の回転が制御されてテープ１７の巻取りが調整される。
【００３２】
テープ収容部１０５は、テープ１７走行の速度及び方向に応じて独自の駆動手段により順逆自在に回転可能なテープ収容リール１３と、テープ１７表面を保護する保護テープ２０の送り出しを行なうスペーサリール１４とから構成されている。
【００３３】
上記テープ収容部１０５の機構を用いてテープ収容部１０５にテープ１７を収容する方式として、第１に、ループセンサ１６でダンサーローラ１１を常に検出して、テープ収容リール１３をテープ巻き取り方向又は巻き出し方向に回転させながら、徐々にテープ１７を巻き取っていく方式がある。この場合、例えば、加工中はステージ７はテープ搬送方向やその逆方向にランダムに動くが、その間でも、テープ収容リール１３は常にループセンサ１６からのダンサーローラ１１の位置情報に基づきステージ７に対して独立に正逆回転する。このように、テープ収容制御は、ループセンサ１６に基づくテープ収容リール１３の回転制御のみでよく、ステージ７の移動制御とは独立に行うことができるため、制御の簡易化が可能である。
【００３４】
第２に、テープクランパ６、９によりテープ１７がガイドローラ５、１０に押圧されている間にループセンサ１６がダンサーローラ１１の適正位置を検出してテープ収容リール１３をテープ巻き取り方向のみに回転させながらテープ１７を巻き取っていく方式がある。この場合、例えばテープ１７の静止時のみにテープ収容リール１３をテープ送り方向に回転させる。即ち、加工中はテープ収容リール１３の回転制御を停止し、あるタイミングのみループセンサ１６からの情報に基づき、ダンサローラ１１が適正位置にくるようにテープ収容リール１３の回転を制御する。テープ収容リール１３が一方向のみ及びテープ静止時のみに回転することからテープ搬送に伴うテープ１７の蛇行を抑制することができる。
【００３５】
なお、テープ供給部１０１の機構を用いてテープ収容部１０１からテープ１７を巻き出す方式としても前記第１及び第２の方式が適用できる。
【００３６】
以上のように、本発明の第１の実施の形態のテープ搬送装置及びテープ処理装置においては、テープ供給部１０１から供給されたテープ１７を固定する手段を備え、テープ１７の送り方向及びその逆方向に自在な速度で移動可能となっているステージ７を有している。さらに、テープ供給部１０１及びテープ収容部１０５とステージ７との間にそれぞれ設けられてテープ１７を支持する、テープ１７走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能で、かつ上下方向に移動可能な第１及び第２のガイドローラ５、１０を有している。
【００３７】
真空吸着機能によりステージ７にテープ１７を固定して送り方向に搬送し、第１及び第２のガイドローラ５、１０を上又は下に移動させてステージ７上からテープ１７を浮かせた状態でステージ７を逆方向に戻す。これを繰り返すことにより、ステージ７とテープ１７との擦れ合いを防止しつつテープ１７を順次送り方向に搬送することができる。
【００３８】
言い換えれば、ステージ７自身がテープ搬送機能を兼ね備え、従来必要であった搬送機構が不要となる。これにより、搬送装置が簡略化されて、装置の小型化、装置コストの低減、搬送機構動作の減少に伴う搬送時間の短縮が可能となる。
【００３９】
また、本来、ステージ７は処理位置を正確に位置合わせする必要があることから、高精度の位置決め機能を有しており、この機能を搬送に兼用することにより、テープ搬送時の位置決め精度を格段に向上させることが可能である。
【００４０】
（テープ搬送方法を含むテープ処理方法）
次に、図１、図２（ａ）乃至図３（ｄ）を参照して、本発明の第１の実施の形態に係る、上記テープ搬送／処理装置を用いた、テープ搬送方法を含むテープ処理方法（以下、テープ搬送／処理方法と称する。）について説明する。図２（ａ）乃至図３（ｄ）はテープ搬送／処理装置の主要部の模式側面図である。
【００４１】
図１に示すように、テープ供給リール２により送出されたテープ１７はガイドローラ３、ダンサーローラ４及び第１のガイドローラ５を経てステージ７上に送られる。そして、最初のテープ１７のＹ２の先頭位置が処理開始位置２２に来るように載置され、ステージ７の真空吸着機能にてステージ７上に固定される。なお、Ｙ１で示す領域はテープ１７上に予め予定された加工パターンの形成領域であり、Ｙ２は加工パターンの形成領域Ｙ１が繰り返し配列された配列ピッチ（被処理領域）を示し、Ｙ２の先頭位置を処理開始点とし、最後部位置を処理終点とする。また、２３は加工パターンの形成領域Ｙ１の先頭位置を示し、２４は加工パターンの形成領域Ｙ１の最後部位置を示す。
【００４２】
この場合、テープクランパ６、９を第１及び第２のガイドローラ５、１０から離し、テープ１７の動きに応じて第１及び第２のガイドローラ５、１０が自在に回転可能な状態にしておく。図２（ａ）はこのような状態を示す。
【００４３】
続いて、第１及び第２のガイドローラ５、１０が自在に回転可能な状態で、テープ１７への処理を始める。引き続き、図２（ｂ）に示すように、テープ送り方向又はその逆方向にステージ７を移動させながら処理を続ける。
【００４４】
図２（ｃ）に示すように、処理終了後は、テープ１７をステージ７に固定した状態で、ステージ７をテープ１７の搬送方向へ一定距離移動させることにより、テープ１７の次の配列ピッチＹ４の先頭位置が処理開始位置２２に来るようにテープ１７が搬送される。
【００４５】
図２（ａ）乃至（ｃ）において、被処理領域Ｙ２の先頭位置から最後部位置に至る処理経路の全長が最短になるように、テープ自体、或いはテープ上の被処理物を処理し、搬送を行なう。
【００４６】
続いて、テープクランパ６、９によりテープ１７を第１及び第２のガイドローラ５、１０に押圧する。図２（ｄ）は、テープ１７が次の配列ピッチＹ４の先頭位置が処理開始位置２２に来るように搬送された後、テープクランパ６、９により押圧された状態を示す。なお、Ｙ３で示す領域はテープ１７上に予め予定された加工パターンの形成領域であり、Ｙ４は加工パターンの形成領域Ｙ３が繰り返し配列された配列ピッチ（被処理領域）を示し、Ｙ４の先頭位置を処理開始点とし、最後部位置を処理終点とする。
【００４７】
次いで、図３（ａ）に示すように、ステージ７の真空吸着を解除した後、第１及び第２のガイドローラ５、１０を上方に移動させ、テープ１７をステージ７表面から浮かせる。続いて、ステージ７をテープ１７の搬送方向とは逆の方向にテープ１７の下で移動させる。この場合、図３（ｂ）に示すように、ステージ７上方に次の配列ピッチＹ４全体を含むようにステージ７を移動させる。
【００４８】
次に、図３（ｃ）に示すように、テープ１７がテープクランパ６、９により第１及び第２のガイドローラ５、１０に押圧された状態で、テープクランパ６、９及び第１及び第２のガイドローラ５、１０を下方に移動させ、テープ１７をステージ７表面に接触させた後、テープ１７をステージ７の真空吸着機能にてステージ７表面に固定する。
【００４９】
次いで、図３（ｄ）に示すように、テープ１７の処理を開始するため、テープクランパ６、９を第１及び第２のガイドローラ５、１０から離し、テープ１７の移動が可能な状態し、かつテープ１７の動きに応じて第１及び第２のガイドローラ５、１０が自在に回転可能な状態にしておく。
【００５０】
その後、図２（ａ）に示す工程に戻り、テープ１７の次の被処理領域Ｙ４の処理を開始する。以降、図２（ｂ）乃至図３（ｄ）の工程を繰り返して、順次、テープ１７を搬送しつつ、テープ１７の処理を行なっていく。なお、テープ１７の巻き出し又は収容は上記説明した第１又は第２の方式の何れかで行なう。
【００５１】
以上のように、本発明のテープ搬送方法を含むテープ処理方法においては、テープ搬送のためステージ７をテープ送り方向と逆方向に移動させる際に、第１及び第２のガイドローラ５、１０を上下方向に移動させることによりテープ１７をステージ７から浮かせている。このため、ステージ７とテープ１７表面との擦れ合いを防止することができ、これにより、特に、テープ１７の表面が傷つき易い場合、テープ１７への損傷の発生を抑制することができる。
【００５２】
さらに、ステージ７上のテープ載置面全面を搬送時のテープ保持面として用いることができるので、特に横幅１６０ｍｍ以上又はテープ厚さ４０μｍ以下のテープ１７を安定して搬送する上で、顕著な効果を有する。
【００５３】
また、テープ１７処理において、加工パターンの形成領域Ｙ１の先頭位置から最後部位置に至る処理経路の全長が最短になるように処理している。この場合、テープ１７処理中のステージ７移動動作がテープ１７搬送動作の一部を兼ねているので、ステージ７移動動作に伴い発生する無駄な動きを無くし、かつ、テープ１７の搬送時間の短縮が可能となる。
【００５４】
（第２の実施の形態）
（テープ搬送／処理装置の構成）
図４は、第２の実施の形態に係るテープ搬送／処理装置の構成を示す模式図である。図５（ａ）、（ｂ）はテープ１７を浮かせた状態でステージ１８に保持する機構１９ａ、１９ｂを示す上面図である。
【００５５】
そのテープ搬送／処理装置は、図４に示すように、第１の実施の形態と同様に、テープ供給部２０１と、テープ供給側送り機構２０２と、処理部２０３と、テープ収容側送り機構２０４と、テープ収容部２０５とから構成されている。
【００５６】
第２の実施の形態に係るテープ搬送／処理装置では、図１のテープ搬送／処理装置と比較して、ステージ１８からテープ１７を浮かせた状態でステージ１８に保持する機構１９を有することを特徴としている。テープ１７を浮かせた状態でステージ１８に保持する機構１９として、例えば、図５（ａ）のように、加工パターンの形成領域の前後２カ所においてテープ１７の幅方向に渡って保持する機構１９ａや、図５（ｂ）のように、最終的には切り取られるテープ１７の両端部１７ａであって被処理領域の角部４カ所のみを保持する機構１９ｂがある。何れの場合も、テープ１７を保持する機構１９ａ、１９ｂは、例えば、テープ１７を上下から挟持するようなものでよい。この場合、テープ１７の固定及び解除は、テープ１７上面の挟持部品が上下することにより行われる。なお、第１及び第２のガイドローラ５、１０は上下移動しても、しなくてもよい。
【００５７】
また、図１のテープ搬送／処理装置と比較して、テープ供給側送り機構２０２のテープ供給リール群の構成、及びテープ収容側送り機構２０４のテープ巻取りリール群の構成が異なる。即ち、図４に示すテープ搬送／処理装置では、ガイドローラ３、１２、ダンサーローラ４、１１及びループセンサ１５、１６を省略している。テープ供給リール２から送り出されたテープ１７は直に第１のガイドローラ５に送られ、さらに第１のガイドローラ５を経てステージ１８に送られる。また、ステージ１８から第２のガイドローラ１０に送られ、第２のガイドローラ１０を経て直にテープ収容リール１３に巻き取られる。
【００５８】
その他の構成は、図１のテープ搬送／処理装置と同じであり、図１と同じ符号で示すものは図１と同じものを示す。
【００５９】
以上のように、本発明の第２の発明の実施の形態のテープ搬送／処理装置によれば、ステージ１８からテープ１７を浮かせた状態でステージ１８に保持する機構１９を有している。
【００６０】
従って、圧力差によるテープ固定手段を備えていない装置に関しても当該機構１９によりステージ１８によるテープ搬送を行なうことができる。
【００６１】
さらに、加工対象のテープ１７上にすでにチップ等が搭載されている場合、ステージ１８やガイドローラ５、１０表面とテープ１７表面が接触することが不都合な場合がある。そのような場合に、ステージ１８からテープ１７を浮かせて保持する機構１９とテープ１７の加工パターンの形成領域との接触を避けてテープをステージから浮かせた状態で、例えば加工パターンの形成領域の前後、又は最終的には切り取られるテープ１７の両端部１７ａのみを当該機構１９により保持して、テープを順次搬送し、テープの処理を行なうことが可能である。このような機構を備えることにより、テープ処理時間の短縮や機構上の簡易化が可能である。
【００６２】
（テープ搬送／処理方法）
次に、この発明の第２の実施の形態に係るテープ搬送／処理装置を用いたテープ搬送／処理方法について図４を参照して説明する。
【００６３】
この場合、ステージ１８へのテープ１７の保持状態を除き、図２（ａ）乃至（ｄ）、及び図３（ａ）乃至（ｄ）と同じ工程を経るので、これらの図面も参照して説明する。
【００６４】
テープ供給リール２によりテープ１７を送出し、ガイドローラ３、ダンサーローラ４及び第１のガイドローラ５を介してステージ１８上に送る。そして、最初のテープ１７の配列ピッチＹ２の先頭位置が処理開始位置２２に来るように停止する（図１及び図２（ａ）参照）。テープ収容部２０５側では、第２のガイドローラ１０を介して送られた分だけテープ１７がテープ収容リール１３に巻き取られる。この場合、テープ１７は、図２（ａ）と異なり、テープ１７はステージ１８から浮いた状態にある。
【００６５】
続いて、テープ１７をステージ１８上方に浮かせた状態で、例えば図５（ｂ）に示すステージ１８のテープ保持機構１９ｂにて、最終的には切り取られるテープ１７の両端部１７ａであって被処理領域の４角のみを固定し、かつテープクランパ６、９を第１及び第２のガイドローラ５、１０から離し、テープ１７の動きに応じて第１及び第２のガイドローラ５、１０が自在に回転可能な状態にしておく。テープ１７をステージ１８から浮かせた状態で、テープ１７への処理を始める（図２（ｂ）参照）。引き続き、ステージ１８を移動させて処理を続ける。
【００６６】
処理終了後は、テープ１７をステージ１８から浮かせてステージ１８に固定した状態で、ステージ１８をテープ１７の搬送方向へ一定距離移動させることにより、テープ１７の次の配列ピッチＹ４の先頭位置が処理開始位置２２に来るようにテープ１７が搬送される（図２（ｃ）参照）。続いて、テープクランパ６、９によりテープ１７を第１及び第２のガイドローラ５、１０に押圧する（図２（ｄ）参照）。この場合、図２（ｄ）と異なり、テープ１７をステージ１８から浮かせた状態でテープクランパ６、９により押圧されることになる。
【００６７】
次いで、ステージ１８へのテープの保持状態を解除した後、第１及び第２のガイドローラ５、１０を上方に移動させ、テープ１７をテープ保持機構１９から離す（図３（ａ）参照）。続いて、ステージ１８をテープ１７の搬送方向とは逆の方向にテープ１７の下で移動させる。この場合、ステージ１８上方に次の配列ピッチＹ４全体が含まれるようにステージ１８を移動させる（図３（ｂ）参照）。
【００６８】
次に、テープクランパ６、９により押圧された状態で、テープクランパ６、９及び第１及び第２のガイドローラ５、１０を下方に移動させ、テープ１７をステージ１８上のテープ保持機構１９まで下げた後、テープ１７をステージ１８から浮かせた状態でステージ１８上のテープ保持機構１９にてテープ１７をステージ１８に固定する（図３（ｃ）参照）。
【００６９】
次いで、テープ１７の処理を開始するため、テープクランパ６、９を第１及び第２のガイドローラ５、１０から離し、テープ１７の動きに応じて第１及び第２のガイドローラ５、１０が自在に回転可能な状態にする（図３（ｄ）参照）。
【００７０】
その後、図２（ａ）の工程に戻り、テープ１７の処理を開始する。以降、図２（ｂ）乃至図３（ｄ）の工程を繰り返して、順次、テープ１７を搬送しつつ、テープ１７の処理を行なっていく。
【００７１】
なお、上記第２の実施の形態のテープ搬送／処理方法では、上下方向に移動可能な第１及び第２のガイドローラ５、１０を備えたテープ搬送／処理装置を用いてテープ搬送／処理方法を説明しているが、第１及び第２のガイドローラ５、１０は上下方向には移動しなくてもよい。
【００７２】
以上のように、この発明の実施の形態の搬送／処理方法によれば、ステージ１８やガイドローラ５、１０表面とテープ１７表面が接触することが不都合な場合において、ステージとテープ表面との接触を防止しつつテープをステージから浮かせた状態で保持して、順次搬送し、テープ１７の処理を行なうことが可能である。
【００７３】
以上、実施の形態によりこの発明を詳細に説明したが、この発明の範囲は上記実施の形態に具体的に示した例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の上記実施の形態の変更はこの発明の範囲に含まれる。
【００７４】
例えば、第１の実施の形態では、第１及び第２のガイドローラ５、１０はテープ送り方向及びその逆方向への回転と、上下方向の移動を行なうが、上下方向の移動を行なわず、テープ送り方向及びその逆方向への回転のみを行なうようにしてもよい。
【００７５】
また、ステージ７表面からテープ１７を浮かせるため、第１及び第２のガイドローラ５、１０を上下方向に移動させる代わりに、ステージ７を上下移動させてもよい。
【００７６】
ステージ７を上下移動させる構成は第２の実施の形態にも適用できるが、第２の実施の形態では、ステージ１８は上下移動可能な機能を備えていてもいなくてもよい。これは、もともとステージ１８からテープ１７を浮かせた状態で保持できるので、ステージ１８をテープ１７の送り方向と逆方向に移動させる場合において、ステージ１８が上下移動しても、しなくても、テープ１７とステージ１８とが擦れ合うことは無いからである。
【００７７】
また、ステージ７、１８はテープ１７の下側に設けられ、テープ１７を下側で支持しているが、テープ１７の上側に設けられ、テープ１７を上側で支持するようにしてもよい。この場合、処理ヘッド８は下側に配置されることになる。
【００７８】
【発明の効果】
以上のように、本発明のテープ搬送装置及びテープ処理装置においては、テープの送り方向及びその逆方向に自在な速度で移動してテープ供給部から供給されたテープをテープの送り方向に順次搬送することが可能なステージを有している。言い換えれば、ステージ自身がテープ搬送機能を兼ね備え、従来必要であった搬送機構が不要となる。これにより、搬送装置が簡略化されて、装置の小型化、装置コストの低減、搬送機構動作の減少に伴う搬送時間の短縮が可能となる。
【００７９】
また、本来、ステージは、加工位置を正確に位置合わせする必要があることから、処理部の範囲で動いて高精度に位置決めする機能を有しており、この機能を搬送に兼用することにより、テープ搬送時の位置決め精度を格段に向上させることが可能である。
【００８０】
さらに、第１及び第２のガイドローラ、又はステージは、上下方向に移動可能となっている。従って、ステージをテープ送り方向と逆方向に移動させる場合に、テープをステージから浮かせておくことができるため、ステージとテープ表面との擦れ合いを防止することができる。これにより、テープへの損傷の発生を抑制することができる。
【００８１】
また、ステージは、テープをステージから浮かせて保持する手段を備えているので、ステージやガイドローラ表面とテープ表面が接触することが不都合な場合において、ステージとテープ表面との接触を防止しつつテープをステージから浮かせた状態で保持して、順次搬送し、テープの処理を行なうことが可能である。
【００８２】
本発明のテープ搬送方法及びテープ処理方法においては、ステージをテープ送り方向とは逆方向に移動させる際にテープをステージから浮かせた状態でステージを移動させているので、ステージとテープとの擦れ合いを防止しつつ順次テープを搬送することが可能となる。このため、特に傷つき易いテープを用いた場合テープ表面への損傷の発生を抑制することができる。
【００８３】
さらに、ステージ上のテープ載置面全面を搬送時のテープ保持面として用いることができるので、テープの保持面積が大きい。このため、幅の広いテープや薄いテープを搬送する際に安定性が増す。
【００８４】
また、テープ処理において、被処理領域の処理開始点から処理終点に至る処理経路の全長が最短になるように処理している。この場合、テープ処理中のステージ移動動作がテープ搬送動作の一部を兼ねているので、ステージ移動動作に伴い発生する無駄な動きを無くし、かつ、テープの搬送時間の短縮が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態であるテープ搬送／処理装置の構成を示す模式図である。
【図２】（ａ）乃至（ｄ）は、本発明の第１の実施の形態であるテープ搬送／処理方法を示す模式側面図（その１）である。
【図３】（ａ）乃至（ｄ）は、本発明の第１の実施の形態であるテープ搬送／処理方法を示す模式側面図（その２）である。
【図４】本発明の第２の実施の形態であるテープ搬送／処理装置の構成を示す模式図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）はテープを浮かせた状態でステージに保持する機構を示す上面図である。
【図６】従来例であるテープ搬送／処理装置の構成を示す模式図である。
【符号の説明】
１、１４ スペーサリール
２ テープ供給リール
３、１２ ガイドローラ
４、１１ ダンサーローラ
５ 第１のガイドローラ
６、９ テープクランパ
７、１８ ステージ
８ 処理ヘッド
１０ 第２のガイドローラ
１３ テープ収容リール
１５、１６ ループセンサ
１７ テープ
１９、１９ａ、１９ｂ テープ保持機構（テープを固定する手段）
２０ 保護テープ
２２ 処理開始位置
２３ 加工パターンの形成領域の先頭位置
２４ 加工パターンの形成領域の最後部位置
１０１、２０１ テープ供給部
１０２、２０２ テープ供給側送り機構
１０３、２０３ テープ処理部
１０４、２０４ テープ収容側送り機構
１０５、２０５テープ収容部
Ｙ１ 加工パターンの形成領域
Ｙ２ 配列ピッチ（被処理領域）
【発明の属する技術分野】
本発明は、テープ搬送装置、テープ処理装置、テープ搬送方法及びテープ処理方法に関し、より詳しくは、テープ上の部材又はテープ材料自体を検査、或いは加工など処理する装置に備えられたテープ搬送装置、テープ処理装置、テープ搬送方法及びテープ処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
テープ搬送装置は、テープ上の部材又はテープ状の材料自体を加工、或いは検査など処理する装置で採用されている。その処理装置として、例えば、素材テープ上に金属薄膜の配線パターンを形成する露光装置、テープ上の部材又はテープ状の材料自体に微細なビアを形成するレーザ加工装置、ＴＡＢテープのリード上にＩＣチップのバンプをボンディングするテープボンディング装置、或いはテープ上の部材又はテープ状の材料自体に対して各工程での加工状態を観察するための表面検査装置などがある。
【０００３】
図６は、そのような従来のテープ搬送装置を示す模式図である。
【０００４】
そのテープ搬送／処理装置は、図６に示すように、テープ供給リール３２及びスペーサリール３１を備えたテープ供給部３０１と、搬送ローラ３３ａ、３３ｂを備えたテープ供給側送り機構３０２と、ステージ３４及び処理ヘッド３５を備えた処理部３０３と、搬送ローラ３６ａ、３６ｂを備えたテープ収容側送り機構３０４と、テープ収容リール３７及びスペーサリール３８を備えたテープ収容部３０５とから構成されている。テープ供給リール３２により送り出されたテープ４０はモータに連結された搬送ローラ３３ａ、３３ｂ、３６ａ、３６ｂによってステージ３４上に搬送され、位置決めされた後に、ステージ３４上に固定される。
【０００５】
加工装置の場合、ステージ３４の上方に加工ヘッドやボンディングヘッドが配置され、加工ヘッドから照射されるレーザビームやボンディングヘッドによりテープ上の部材又はテープ状の材料自体に対して加工が行なわれる。また、検査装置の場合は、ステージ３４の上方に対物レンズが配置され、テープ上の部材又はテープ状の材料自体に対して検査が行なわれる。加工及び検査の両方を含めて処理ヘッド３５と総称している。
【０００６】
処理ヘッド３５は一定場所に固定されたものや、Ｘ及びＹ方向のうち少なくとも１軸方向に移動可能となっているものがある。一方、ステージ３４は、テープ４０の一つの被処理領域の加工ができるように、一つの被処理領域内でＸ及びＹ方向のうち少なくとも１軸方向に移動できるようになっている。また、処理位置のずれを防止するためステージ３４にテープ４０を固定できるようになっており、また、光学系の焦点深度の影響による加工ムラを防止するため、テープ４０の保持面は高精度に平面加工されている。
【０００７】
テープ上の部材又はテープ状の材料自体に対する処理は、ステージ３４の移動、または処理ヘッド３５の移動、または両方の移動により処理場所が位置合わせされる。
【０００８】
テープ上の部材又はテープ状の材料自体に対して予め決められた一定の範囲の処理が終了した後、テープ４０は搬送ローラ３３ａ、３３ｂ、３６ａ、３６ｂによって次の被処理範囲がステージ３４上にくるように搬送される。同時に、処理が終了したテープ４０は、順次テープ収容リール３７により巻き取られる。なお、テープ供給リール３２と搬送ローラ３３ａ、３３ｂの間、またはテープ収容リール３７と搬送ローラ３６ａ、３６ｂの間には、図に示すようなテープループ部が設けられている。ループ量を検出するループセンサ３９ａ、３９ｂによりループ下限が一定位置になるように供給リール３２と収納リール３７の回転制御が行なわれる。これにより、テープ４０の送出或いは巻取りが行なわれる。
【０００９】
搬送ローラ３３ａ、３３ｂ、３６ａ、３６ｂは以下の方式によって種々の機構を有する。テープ４０の幅方向の両端部に予め形成されたパーフォレーション穴に搬送ローラ３３ａ、３３ｂ、３６ａ、３６ｂの突起などを挿入させ、駆動力をかけて搬送するスプロケット搬送と呼ばれる方式、テープを上下方からモータに連結された回転ローラによって挟み込んで搬送するニップローラ搬送と呼ばれる方式、テープ上下方に配置された部品平面部でテープを挟み込み、ボールネジ機構などにより一定距離テープを断続的に引っ張って搬送するグリップフィード搬送と呼ばれる方式などがある。
【００１０】
スペーサリール３１、３８はテープ表面の保護テープ４１の巻き取りや送り出しを行なうためのもので、装置の種類によっては省略される場合もある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のテープ搬送方式では、ステージ３４の両側に何らかのテープ搬送を行なうため、搬送ローラ３３ａ、３３ｂ、３６ａ、３６ｂなどの動力手段を備える必要がある。これにより、機構が複雑になるため、処理時間や製造コストに悪影響を及ぼしてしまう。
【００１２】
また、従来の搬送方式では、テープ面に線状に、又は狭い範囲のテープ面に面状に駆動力をかけて搬送する方式であることから、搬送が搬送機構の組立て精度や搬送ローラ３３ａ、３３ｂ、３６ａ、３６ｂ自身の加工精度に影響され易く、テープ送りの蛇行や搬送ローラ３３ａ、３３ｂ、３６ａ、３６ｂの滑りによるテープ４０への損傷が生じるという問題がある。特に、横幅１６０ｍｍ以上のテープや、厚さ４０μｍ以下のテープでは、テープ送りの不安定性が顕著になるという問題もある。
【００１３】
本発明は、上記の従来例の問題点に鑑みて創作されたものであり、テープ送りの安定を図り、テープへの損傷を防止することができるテープ搬送装置、テープ搬送装置を備えたテープ処理装置、テープ搬送方法及びテープ搬送方法を含むテープ処理方法を提供するものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１記載の発明は、テープ搬送装置に係り、テープ供給部と、テープの送り方向及びその逆方向に自在な速度で移動して前記テープ供給部から供給されたテープを順次前記テープの送り方向に搬送することが可能となっているステージと、前記テープ供給部から供給されたテープを前記ステージに固定する手段と、前記ステージを通ってきたテープを収容するテープ収容部と、前記テープ供給部及び前記テープ収容部と前記ステージとの間にそれぞれ設けられて前記テープを支持する、前記テープ走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能な第１及び第２のガイドローラとを有することを特徴とし、
請求項２記載の発明は、請求項１記載のテープ搬送装置に係り、前記ステージに設けられたテープを固定する手段は、圧力差により前記テープを固定する手段であることを特徴とし、
請求項３記載の発明は、請求項１記載のテープ搬送装置に係り、前記ステージに設けられたテープを固定する手段は、前記ステージから前記テープを浮かせて保持する手段であることを特徴とし、
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３の何れか一に記載のテープ搬送装置に係り、前記第１及び第２のガイドローラ、又は前記ステージは、上下方向に移動可能になっていることを特徴とし、
請求項５記載の発明は、請求項１乃至４の何れか一に記載のテープ搬送装置に係り、前記第１及び第２のガイドローラに支持されている前記テープを押圧する、上下移動可能な第１及び第２のテープクランパを備えていることを特徴とし、
請求項６記載の発明は、テープ処理装置に係り、請求項１乃至５の何れか一に記載のテープ搬送装置を備え、かつ前記ステージと、前記テープ自体、或いは前記テープ上の被処理物を処理する手段とを備えたテープ処理部を有することを特徴とし、
請求項７記載の発明は、テープ搬送方法に係り、請求項１記載のテープ搬送装置を用いて、（１）前記テープ供給部から前記第１のガイドローラを介して前記テープを前記ステージ上に供給し、（２）次いで、前記ステージに設けられたテープを固定する手段により前記テープを予め設定された前記ステージの搬送開始位置で前記ステージに固定し、（３）次いで、前記ステージを予め設定された搬送終了位置まで前記テープの送り方向に移動させ、（４）次いで、前記ステージのテープを固定する手段から前記テープを離し、（５）次いで、前記ステージを前記テープの送り方向と逆方向に移動させて前記ステージを前記予め設定された前記ステージの搬送開始位置まで移動させることを特徴とし、
請求項８記載の発明は、請求項７記載のテープ搬送方法に係り、前記（５）のステップの後、前記（２）乃至（５）のステップを繰り返し行なうことを特徴とし、
請求項９記載の発明は、テープ処理方法に係り、請求項７又は８の何れか一に記載のテープ搬送方法を含むテープ処理方法であって、前記（２）のステップ終了後、前記テープ自体、或いは前記テープ上の被処理物の処理を行い、前記処理が終了する前記ステージ位置から前記（３）のステップ以降を行なうことを特徴とし、
請求項１０記載の発明は、請求項９記載のテープ処理方法に係り、前記テープの被処理領域の先頭位置を処理開始点とし、前記テープの被処理領域の最後部位置を処理終点として前記テープ自体、或いは前記テープ上の被処理物を処理する際に、前記処理開始点から前記処理終点に至る処理経路の全長が最短になるように処理することを特徴としている。
【００１５】
以下に、上記本発明の構成により奏される作用を説明する。
【００１６】
本発明のテープ搬送装置及びテープ処理装置においては、テープの送り方向及びその逆方向に自在な速度で移動してテープ供給部から供給されたテープをテープの送り方向に順次搬送することが可能なステージと、テープをステージに固定する手段と、テープ供給部及びテープ収容部とステージとの間にそれぞれ設けられてテープを支持する、テープ走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能な第１及び第２のガイドローラとを有している。
【００１７】
このようなテープ搬送装置及びテープ処理装置によれば、テープをステージに固定する手段によりステージにテープを固定して送り方向に搬送し、ステージに設けられたテープを固定する手段からテープを解放した状態でステージを逆方向に戻す。これを繰り返すことによりテープを送り方向に搬送することができる。
【００１８】
言い換えれば、ステージ自身がテープ搬送機能を兼ね備え、従来必要であった搬送機構が不要となる。これにより、搬送装置が簡略化されて、装置の小型化、装置コストの低減、搬送機構動作の減少に伴う搬送時間の短縮が可能となる。
【００１９】
また、本来、ステージは、加工位置を正確に位置合わせする必要があることから、テープの一処理領域の範囲で動いて高精度に位置決めする機能を有しており、この機能を搬送に兼用することにより、テープ搬送時の位置決め精度を格段に向上させることが可能である。
【００２０】
さらに、第１及び第２のガイドローラ、又はステージは、上下方向に移動可能となっている。従って、第１及び第２のガイドローラ、又はステージを上下方向に移動させることによりテープをステージから浮かせておくことができる。このため、テープ搬送のためステージをテープ送り方向と逆方向に移動させる場合に、ステージとテープ表面との擦れ合いを防止することができ、これにより、特に傷つき易いテープを用いたときにもテープへの損傷の発生を抑制することができる。
【００２１】
また、本発明に係るステージは、ステージからテープを浮かせて保持する手段を備えているので、圧力差によるテープ固定手段を備えていない装置に関してもステージによるテープ搬送を行なえるようにすることができる。さらに、加工対象のテープ上にすでにチップ等が搭載されている場合、ステージやガイドローラ表面とテープ表面が接触することが不都合な場合がある。そのような場合に、ステージからテープを浮かせて保持する手段とテープの処理パターンの形成領域との接触を避けてステージからテープを浮かせた状態で、例えば処理パターンの形成領域の前後、又は最終的には切り取られるテープの両端部のみを当該手段により保持して、テープを順次搬送し、テープの処理を行なうことができる。この場合、第１及び第２のガイドローラ、又はステージは上下移動してもしなくてもよい。
【００２２】
本発明のテープ搬送方法及びテープ処理方法においては、ステージ上のテープ載置面全面を搬送時のテープ保持面として用いることができるので、テープの保持面積が大きい。このため、幅の広いテープ（特に、横幅１６０ｍｍ以上）や薄いテープ（特に、厚さ４０μｍ以下）を搬送する際に安定性が増す。
【００２３】
また、テープ処理において、被処理領域の処理開始点から処理終点に至る処理経路の全長が最短になるように処理している。この場合、テープ処理中のステージ移動動作がテープ搬送動作の一部を兼ねているので、ステージ移動動作に伴い発生する無駄な動きを無くし、かつ、テープの搬送時間の短縮が可能となる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２５】
（第１の実施の形態）
（テープ搬送装置を備えたテープ処理装置の構成）
まず、この発明の第１の実施の形態であるテープ搬送装置を備えた処理装置（以下、テープ搬送／処理装置と称する。）の構成について図面を参照して説明する。
【００２６】
図１は、そのようなテープ搬送／処理装置の構成について示す模式図である。
【００２７】
そのテープ搬送／処理装置は、図１に示すように、テープ供給部１０１と、テープ供給側送り機構１０２と、テープ処理部１０３と、テープ収容側送り機構１０４と、テープ収容部１０５とから構成されている。
【００２８】
テープ供給部１０１は、テープ１７表面を保護する保護テープ２０の巻き取りを行なうスペーサリール１と、テープ１７走行の速度及び方向に応じて独自の駆動手段により順逆自在に回転可能なテープ供給リール２とから構成されている。
【００２９】
また、テープ供給側送り機構１０２は、順逆自在に回転可能なガイドローラ３と、テープ１７自身に延びなどの影響を与えないように重量が設定された、テープ１７走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能で、かつ上下動可能なダンサーローラ４と、テープ処理部１０３に送る直前のテープ１７を支持し、テープ１７走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能で、かつ上下動可能な第１のガイドローラ５と、第１のガイドローラ５にテープ１７を押圧してテープ１７の位置ずれを防ぐテープクランパ６とから構成されている。さらに、ダンサーローラ４の上下方向の位置を検出するループセンサ１５を備え、この情報によりテープ供給リール２の回転が制御されてテープ１７の送りが調整される。
【００３０】
テープ処理部１０３は、真空吸着機能（テープ１７を固定する手段）を有するステージ７と処理ヘッド８を備えている。処理ヘッド８は、例えば、レーザビームを照射するものであり、或いはボンディングヘッドであり、又はテープ１７上の部材又はテープ状の材料自体に対して各工程での加工状態を観察するため顕微鏡などである。必要な場合、ステージ７は真空吸着機能によりテープ１７を固定して、或いは単独で、テープ１７の送り方向及びその逆方向に自在な速度で移動可能となっている。即ち、ステージ７にこのような動きを行なわせるようなステージ７の駆動手段を有する。ステージ７の上のテープ１７上の部材又はテープ１７自体が処理ヘッド８により処理されるようになっている。
【００３１】
テープ収容側送り機構１０４は、テープ処理部１０３から送出された直後のテープ１７を支持し、テープ１７走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能で、かつ上下動可能な第２のガイドローラ１０と、第２のガイドローラ１０にテープ１７を押圧してテープ１７の位置ずれを防ぐテープクランパ９と、テープ１７自身に延びなどの影響を与えないように重量が設定された、テープ１７走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能で、かつ上下動可能なダンサーローラ１１と、順逆自在に回転可能なガイドローラ１２とから構成されている。さらに、ダンサーローラ１１の上下方向の位置を検出するループセンサ１６を備え、この情報によりテープ収容リール１３の回転が制御されてテープ１７の巻取りが調整される。
【００３２】
テープ収容部１０５は、テープ１７走行の速度及び方向に応じて独自の駆動手段により順逆自在に回転可能なテープ収容リール１３と、テープ１７表面を保護する保護テープ２０の送り出しを行なうスペーサリール１４とから構成されている。
【００３３】
上記テープ収容部１０５の機構を用いてテープ収容部１０５にテープ１７を収容する方式として、第１に、ループセンサ１６でダンサーローラ１１を常に検出して、テープ収容リール１３をテープ巻き取り方向又は巻き出し方向に回転させながら、徐々にテープ１７を巻き取っていく方式がある。この場合、例えば、加工中はステージ７はテープ搬送方向やその逆方向にランダムに動くが、その間でも、テープ収容リール１３は常にループセンサ１６からのダンサーローラ１１の位置情報に基づきステージ７に対して独立に正逆回転する。このように、テープ収容制御は、ループセンサ１６に基づくテープ収容リール１３の回転制御のみでよく、ステージ７の移動制御とは独立に行うことができるため、制御の簡易化が可能である。
【００３４】
第２に、テープクランパ６、９によりテープ１７がガイドローラ５、１０に押圧されている間にループセンサ１６がダンサーローラ１１の適正位置を検出してテープ収容リール１３をテープ巻き取り方向のみに回転させながらテープ１７を巻き取っていく方式がある。この場合、例えばテープ１７の静止時のみにテープ収容リール１３をテープ送り方向に回転させる。即ち、加工中はテープ収容リール１３の回転制御を停止し、あるタイミングのみループセンサ１６からの情報に基づき、ダンサローラ１１が適正位置にくるようにテープ収容リール１３の回転を制御する。テープ収容リール１３が一方向のみ及びテープ静止時のみに回転することからテープ搬送に伴うテープ１７の蛇行を抑制することができる。
【００３５】
なお、テープ供給部１０１の機構を用いてテープ収容部１０１からテープ１７を巻き出す方式としても前記第１及び第２の方式が適用できる。
【００３６】
以上のように、本発明の第１の実施の形態のテープ搬送装置及びテープ処理装置においては、テープ供給部１０１から供給されたテープ１７を固定する手段を備え、テープ１７の送り方向及びその逆方向に自在な速度で移動可能となっているステージ７を有している。さらに、テープ供給部１０１及びテープ収容部１０５とステージ７との間にそれぞれ設けられてテープ１７を支持する、テープ１７走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能で、かつ上下方向に移動可能な第１及び第２のガイドローラ５、１０を有している。
【００３７】
真空吸着機能によりステージ７にテープ１７を固定して送り方向に搬送し、第１及び第２のガイドローラ５、１０を上又は下に移動させてステージ７上からテープ１７を浮かせた状態でステージ７を逆方向に戻す。これを繰り返すことにより、ステージ７とテープ１７との擦れ合いを防止しつつテープ１７を順次送り方向に搬送することができる。
【００３８】
言い換えれば、ステージ７自身がテープ搬送機能を兼ね備え、従来必要であった搬送機構が不要となる。これにより、搬送装置が簡略化されて、装置の小型化、装置コストの低減、搬送機構動作の減少に伴う搬送時間の短縮が可能となる。
【００３９】
また、本来、ステージ７は処理位置を正確に位置合わせする必要があることから、高精度の位置決め機能を有しており、この機能を搬送に兼用することにより、テープ搬送時の位置決め精度を格段に向上させることが可能である。
【００４０】
（テープ搬送方法を含むテープ処理方法）
次に、図１、図２（ａ）乃至図３（ｄ）を参照して、本発明の第１の実施の形態に係る、上記テープ搬送／処理装置を用いた、テープ搬送方法を含むテープ処理方法（以下、テープ搬送／処理方法と称する。）について説明する。図２（ａ）乃至図３（ｄ）はテープ搬送／処理装置の主要部の模式側面図である。
【００４１】
図１に示すように、テープ供給リール２により送出されたテープ１７はガイドローラ３、ダンサーローラ４及び第１のガイドローラ５を経てステージ７上に送られる。そして、最初のテープ１７のＹ２の先頭位置が処理開始位置２２に来るように載置され、ステージ７の真空吸着機能にてステージ７上に固定される。なお、Ｙ１で示す領域はテープ１７上に予め予定された加工パターンの形成領域であり、Ｙ２は加工パターンの形成領域Ｙ１が繰り返し配列された配列ピッチ（被処理領域）を示し、Ｙ２の先頭位置を処理開始点とし、最後部位置を処理終点とする。また、２３は加工パターンの形成領域Ｙ１の先頭位置を示し、２４は加工パターンの形成領域Ｙ１の最後部位置を示す。
【００４２】
この場合、テープクランパ６、９を第１及び第２のガイドローラ５、１０から離し、テープ１７の動きに応じて第１及び第２のガイドローラ５、１０が自在に回転可能な状態にしておく。図２（ａ）はこのような状態を示す。
【００４３】
続いて、第１及び第２のガイドローラ５、１０が自在に回転可能な状態で、テープ１７への処理を始める。引き続き、図２（ｂ）に示すように、テープ送り方向又はその逆方向にステージ７を移動させながら処理を続ける。
【００４４】
図２（ｃ）に示すように、処理終了後は、テープ１７をステージ７に固定した状態で、ステージ７をテープ１７の搬送方向へ一定距離移動させることにより、テープ１７の次の配列ピッチＹ４の先頭位置が処理開始位置２２に来るようにテープ１７が搬送される。
【００４５】
図２（ａ）乃至（ｃ）において、被処理領域Ｙ２の先頭位置から最後部位置に至る処理経路の全長が最短になるように、テープ自体、或いはテープ上の被処理物を処理し、搬送を行なう。
【００４６】
続いて、テープクランパ６、９によりテープ１７を第１及び第２のガイドローラ５、１０に押圧する。図２（ｄ）は、テープ１７が次の配列ピッチＹ４の先頭位置が処理開始位置２２に来るように搬送された後、テープクランパ６、９により押圧された状態を示す。なお、Ｙ３で示す領域はテープ１７上に予め予定された加工パターンの形成領域であり、Ｙ４は加工パターンの形成領域Ｙ３が繰り返し配列された配列ピッチ（被処理領域）を示し、Ｙ４の先頭位置を処理開始点とし、最後部位置を処理終点とする。
【００４７】
次いで、図３（ａ）に示すように、ステージ７の真空吸着を解除した後、第１及び第２のガイドローラ５、１０を上方に移動させ、テープ１７をステージ７表面から浮かせる。続いて、ステージ７をテープ１７の搬送方向とは逆の方向にテープ１７の下で移動させる。この場合、図３（ｂ）に示すように、ステージ７上方に次の配列ピッチＹ４全体を含むようにステージ７を移動させる。
【００４８】
次に、図３（ｃ）に示すように、テープ１７がテープクランパ６、９により第１及び第２のガイドローラ５、１０に押圧された状態で、テープクランパ６、９及び第１及び第２のガイドローラ５、１０を下方に移動させ、テープ１７をステージ７表面に接触させた後、テープ１７をステージ７の真空吸着機能にてステージ７表面に固定する。
【００４９】
次いで、図３（ｄ）に示すように、テープ１７の処理を開始するため、テープクランパ６、９を第１及び第２のガイドローラ５、１０から離し、テープ１７の移動が可能な状態し、かつテープ１７の動きに応じて第１及び第２のガイドローラ５、１０が自在に回転可能な状態にしておく。
【００５０】
その後、図２（ａ）に示す工程に戻り、テープ１７の次の被処理領域Ｙ４の処理を開始する。以降、図２（ｂ）乃至図３（ｄ）の工程を繰り返して、順次、テープ１７を搬送しつつ、テープ１７の処理を行なっていく。なお、テープ１７の巻き出し又は収容は上記説明した第１又は第２の方式の何れかで行なう。
【００５１】
以上のように、本発明のテープ搬送方法を含むテープ処理方法においては、テープ搬送のためステージ７をテープ送り方向と逆方向に移動させる際に、第１及び第２のガイドローラ５、１０を上下方向に移動させることによりテープ１７をステージ７から浮かせている。このため、ステージ７とテープ１７表面との擦れ合いを防止することができ、これにより、特に、テープ１７の表面が傷つき易い場合、テープ１７への損傷の発生を抑制することができる。
【００５２】
さらに、ステージ７上のテープ載置面全面を搬送時のテープ保持面として用いることができるので、特に横幅１６０ｍｍ以上又はテープ厚さ４０μｍ以下のテープ１７を安定して搬送する上で、顕著な効果を有する。
【００５３】
また、テープ１７処理において、加工パターンの形成領域Ｙ１の先頭位置から最後部位置に至る処理経路の全長が最短になるように処理している。この場合、テープ１７処理中のステージ７移動動作がテープ１７搬送動作の一部を兼ねているので、ステージ７移動動作に伴い発生する無駄な動きを無くし、かつ、テープ１７の搬送時間の短縮が可能となる。
【００５４】
（第２の実施の形態）
（テープ搬送／処理装置の構成）
図４は、第２の実施の形態に係るテープ搬送／処理装置の構成を示す模式図である。図５（ａ）、（ｂ）はテープ１７を浮かせた状態でステージ１８に保持する機構１９ａ、１９ｂを示す上面図である。
【００５５】
そのテープ搬送／処理装置は、図４に示すように、第１の実施の形態と同様に、テープ供給部２０１と、テープ供給側送り機構２０２と、処理部２０３と、テープ収容側送り機構２０４と、テープ収容部２０５とから構成されている。
【００５６】
第２の実施の形態に係るテープ搬送／処理装置では、図１のテープ搬送／処理装置と比較して、ステージ１８からテープ１７を浮かせた状態でステージ１８に保持する機構１９を有することを特徴としている。テープ１７を浮かせた状態でステージ１８に保持する機構１９として、例えば、図５（ａ）のように、加工パターンの形成領域の前後２カ所においてテープ１７の幅方向に渡って保持する機構１９ａや、図５（ｂ）のように、最終的には切り取られるテープ１７の両端部１７ａであって被処理領域の角部４カ所のみを保持する機構１９ｂがある。何れの場合も、テープ１７を保持する機構１９ａ、１９ｂは、例えば、テープ１７を上下から挟持するようなものでよい。この場合、テープ１７の固定及び解除は、テープ１７上面の挟持部品が上下することにより行われる。なお、第１及び第２のガイドローラ５、１０は上下移動しても、しなくてもよい。
【００５７】
また、図１のテープ搬送／処理装置と比較して、テープ供給側送り機構２０２のテープ供給リール群の構成、及びテープ収容側送り機構２０４のテープ巻取りリール群の構成が異なる。即ち、図４に示すテープ搬送／処理装置では、ガイドローラ３、１２、ダンサーローラ４、１１及びループセンサ１５、１６を省略している。テープ供給リール２から送り出されたテープ１７は直に第１のガイドローラ５に送られ、さらに第１のガイドローラ５を経てステージ１８に送られる。また、ステージ１８から第２のガイドローラ１０に送られ、第２のガイドローラ１０を経て直にテープ収容リール１３に巻き取られる。
【００５８】
その他の構成は、図１のテープ搬送／処理装置と同じであり、図１と同じ符号で示すものは図１と同じものを示す。
【００５９】
以上のように、本発明の第２の発明の実施の形態のテープ搬送／処理装置によれば、ステージ１８からテープ１７を浮かせた状態でステージ１８に保持する機構１９を有している。
【００６０】
従って、圧力差によるテープ固定手段を備えていない装置に関しても当該機構１９によりステージ１８によるテープ搬送を行なうことができる。
【００６１】
さらに、加工対象のテープ１７上にすでにチップ等が搭載されている場合、ステージ１８やガイドローラ５、１０表面とテープ１７表面が接触することが不都合な場合がある。そのような場合に、ステージ１８からテープ１７を浮かせて保持する機構１９とテープ１７の加工パターンの形成領域との接触を避けてテープをステージから浮かせた状態で、例えば加工パターンの形成領域の前後、又は最終的には切り取られるテープ１７の両端部１７ａのみを当該機構１９により保持して、テープを順次搬送し、テープの処理を行なうことが可能である。このような機構を備えることにより、テープ処理時間の短縮や機構上の簡易化が可能である。
【００６２】
（テープ搬送／処理方法）
次に、この発明の第２の実施の形態に係るテープ搬送／処理装置を用いたテープ搬送／処理方法について図４を参照して説明する。
【００６３】
この場合、ステージ１８へのテープ１７の保持状態を除き、図２（ａ）乃至（ｄ）、及び図３（ａ）乃至（ｄ）と同じ工程を経るので、これらの図面も参照して説明する。
【００６４】
テープ供給リール２によりテープ１７を送出し、ガイドローラ３、ダンサーローラ４及び第１のガイドローラ５を介してステージ１８上に送る。そして、最初のテープ１７の配列ピッチＹ２の先頭位置が処理開始位置２２に来るように停止する（図１及び図２（ａ）参照）。テープ収容部２０５側では、第２のガイドローラ１０を介して送られた分だけテープ１７がテープ収容リール１３に巻き取られる。この場合、テープ１７は、図２（ａ）と異なり、テープ１７はステージ１８から浮いた状態にある。
【００６５】
続いて、テープ１７をステージ１８上方に浮かせた状態で、例えば図５（ｂ）に示すステージ１８のテープ保持機構１９ｂにて、最終的には切り取られるテープ１７の両端部１７ａであって被処理領域の４角のみを固定し、かつテープクランパ６、９を第１及び第２のガイドローラ５、１０から離し、テープ１７の動きに応じて第１及び第２のガイドローラ５、１０が自在に回転可能な状態にしておく。テープ１７をステージ１８から浮かせた状態で、テープ１７への処理を始める（図２（ｂ）参照）。引き続き、ステージ１８を移動させて処理を続ける。
【００６６】
処理終了後は、テープ１７をステージ１８から浮かせてステージ１８に固定した状態で、ステージ１８をテープ１７の搬送方向へ一定距離移動させることにより、テープ１７の次の配列ピッチＹ４の先頭位置が処理開始位置２２に来るようにテープ１７が搬送される（図２（ｃ）参照）。続いて、テープクランパ６、９によりテープ１７を第１及び第２のガイドローラ５、１０に押圧する（図２（ｄ）参照）。この場合、図２（ｄ）と異なり、テープ１７をステージ１８から浮かせた状態でテープクランパ６、９により押圧されることになる。
【００６７】
次いで、ステージ１８へのテープの保持状態を解除した後、第１及び第２のガイドローラ５、１０を上方に移動させ、テープ１７をテープ保持機構１９から離す（図３（ａ）参照）。続いて、ステージ１８をテープ１７の搬送方向とは逆の方向にテープ１７の下で移動させる。この場合、ステージ１８上方に次の配列ピッチＹ４全体が含まれるようにステージ１８を移動させる（図３（ｂ）参照）。
【００６８】
次に、テープクランパ６、９により押圧された状態で、テープクランパ６、９及び第１及び第２のガイドローラ５、１０を下方に移動させ、テープ１７をステージ１８上のテープ保持機構１９まで下げた後、テープ１７をステージ１８から浮かせた状態でステージ１８上のテープ保持機構１９にてテープ１７をステージ１８に固定する（図３（ｃ）参照）。
【００６９】
次いで、テープ１７の処理を開始するため、テープクランパ６、９を第１及び第２のガイドローラ５、１０から離し、テープ１７の動きに応じて第１及び第２のガイドローラ５、１０が自在に回転可能な状態にする（図３（ｄ）参照）。
【００７０】
その後、図２（ａ）の工程に戻り、テープ１７の処理を開始する。以降、図２（ｂ）乃至図３（ｄ）の工程を繰り返して、順次、テープ１７を搬送しつつ、テープ１７の処理を行なっていく。
【００７１】
なお、上記第２の実施の形態のテープ搬送／処理方法では、上下方向に移動可能な第１及び第２のガイドローラ５、１０を備えたテープ搬送／処理装置を用いてテープ搬送／処理方法を説明しているが、第１及び第２のガイドローラ５、１０は上下方向には移動しなくてもよい。
【００７２】
以上のように、この発明の実施の形態の搬送／処理方法によれば、ステージ１８やガイドローラ５、１０表面とテープ１７表面が接触することが不都合な場合において、ステージとテープ表面との接触を防止しつつテープをステージから浮かせた状態で保持して、順次搬送し、テープ１７の処理を行なうことが可能である。
【００７３】
以上、実施の形態によりこの発明を詳細に説明したが、この発明の範囲は上記実施の形態に具体的に示した例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の上記実施の形態の変更はこの発明の範囲に含まれる。
【００７４】
例えば、第１の実施の形態では、第１及び第２のガイドローラ５、１０はテープ送り方向及びその逆方向への回転と、上下方向の移動を行なうが、上下方向の移動を行なわず、テープ送り方向及びその逆方向への回転のみを行なうようにしてもよい。
【００７５】
また、ステージ７表面からテープ１７を浮かせるため、第１及び第２のガイドローラ５、１０を上下方向に移動させる代わりに、ステージ７を上下移動させてもよい。
【００７６】
ステージ７を上下移動させる構成は第２の実施の形態にも適用できるが、第２の実施の形態では、ステージ１８は上下移動可能な機能を備えていてもいなくてもよい。これは、もともとステージ１８からテープ１７を浮かせた状態で保持できるので、ステージ１８をテープ１７の送り方向と逆方向に移動させる場合において、ステージ１８が上下移動しても、しなくても、テープ１７とステージ１８とが擦れ合うことは無いからである。
【００７７】
また、ステージ７、１８はテープ１７の下側に設けられ、テープ１７を下側で支持しているが、テープ１７の上側に設けられ、テープ１７を上側で支持するようにしてもよい。この場合、処理ヘッド８は下側に配置されることになる。
【００７８】
【発明の効果】
以上のように、本発明のテープ搬送装置及びテープ処理装置においては、テープの送り方向及びその逆方向に自在な速度で移動してテープ供給部から供給されたテープをテープの送り方向に順次搬送することが可能なステージを有している。言い換えれば、ステージ自身がテープ搬送機能を兼ね備え、従来必要であった搬送機構が不要となる。これにより、搬送装置が簡略化されて、装置の小型化、装置コストの低減、搬送機構動作の減少に伴う搬送時間の短縮が可能となる。
【００７９】
また、本来、ステージは、加工位置を正確に位置合わせする必要があることから、処理部の範囲で動いて高精度に位置決めする機能を有しており、この機能を搬送に兼用することにより、テープ搬送時の位置決め精度を格段に向上させることが可能である。
【００８０】
さらに、第１及び第２のガイドローラ、又はステージは、上下方向に移動可能となっている。従って、ステージをテープ送り方向と逆方向に移動させる場合に、テープをステージから浮かせておくことができるため、ステージとテープ表面との擦れ合いを防止することができる。これにより、テープへの損傷の発生を抑制することができる。
【００８１】
また、ステージは、テープをステージから浮かせて保持する手段を備えているので、ステージやガイドローラ表面とテープ表面が接触することが不都合な場合において、ステージとテープ表面との接触を防止しつつテープをステージから浮かせた状態で保持して、順次搬送し、テープの処理を行なうことが可能である。
【００８２】
本発明のテープ搬送方法及びテープ処理方法においては、ステージをテープ送り方向とは逆方向に移動させる際にテープをステージから浮かせた状態でステージを移動させているので、ステージとテープとの擦れ合いを防止しつつ順次テープを搬送することが可能となる。このため、特に傷つき易いテープを用いた場合テープ表面への損傷の発生を抑制することができる。
【００８３】
さらに、ステージ上のテープ載置面全面を搬送時のテープ保持面として用いることができるので、テープの保持面積が大きい。このため、幅の広いテープや薄いテープを搬送する際に安定性が増す。
【００８４】
また、テープ処理において、被処理領域の処理開始点から処理終点に至る処理経路の全長が最短になるように処理している。この場合、テープ処理中のステージ移動動作がテープ搬送動作の一部を兼ねているので、ステージ移動動作に伴い発生する無駄な動きを無くし、かつ、テープの搬送時間の短縮が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態であるテープ搬送／処理装置の構成を示す模式図である。
【図２】（ａ）乃至（ｄ）は、本発明の第１の実施の形態であるテープ搬送／処理方法を示す模式側面図（その１）である。
【図３】（ａ）乃至（ｄ）は、本発明の第１の実施の形態であるテープ搬送／処理方法を示す模式側面図（その２）である。
【図４】本発明の第２の実施の形態であるテープ搬送／処理装置の構成を示す模式図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）はテープを浮かせた状態でステージに保持する機構を示す上面図である。
【図６】従来例であるテープ搬送／処理装置の構成を示す模式図である。
【符号の説明】
１、１４ スペーサリール
２ テープ供給リール
３、１２ ガイドローラ
４、１１ ダンサーローラ
５ 第１のガイドローラ
６、９ テープクランパ
７、１８ ステージ
８ 処理ヘッド
１０ 第２のガイドローラ
１３ テープ収容リール
１５、１６ ループセンサ
１７ テープ
１９、１９ａ、１９ｂ テープ保持機構（テープを固定する手段）
２０ 保護テープ
２２ 処理開始位置
２３ 加工パターンの形成領域の先頭位置
２４ 加工パターンの形成領域の最後部位置
１０１、２０１ テープ供給部
１０２、２０２ テープ供給側送り機構
１０３、２０３ テープ処理部
１０４、２０４ テープ収容側送り機構
１０５、２０５テープ収容部
Ｙ１ 加工パターンの形成領域
Ｙ２ 配列ピッチ（被処理領域）
Claims (10)
- テープ供給部と、
テープの送り方向及びその逆方向に自在な速度で移動して前記テープ供給部から供給されたテープを順次前記テープの送り方向に搬送することが可能となっているステージと、
前記テープ供給部から供給されたテープを前記ステージに固定する手段と、
前記ステージを通ってきたテープを収容するテープ収容部と、
前記テープ供給部及び前記テープ収容部と前記ステージとの間にそれぞれ設けられて前記テープを支持する、前記テープ走行の速度及び方向に応じて自在に回転可能な第１及び第２のガイドローラとを有することを特徴とするテープ搬送装置。 - 前記ステージに設けられたテープを固定する手段は、圧力差により前記テープを固定する手段であることを特徴とする請求項１記載のテープ搬送装置。
- 前記ステージに設けられたテープを固定する手段は、前記ステージから前記テープを浮かせて保持する手段であることを特徴とする請求項１記載のテープ搬送装置。
- 前記第１及び第２のガイドローラ、又は前記ステージは、上下方向に移動可能になっていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一に記載のテープ搬送装置。
- 前記第１及び第２のガイドローラに支持されている前記テープを押圧する、上下移動可能な第１及び第２のテープクランパを備えていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一に記載のテープ搬送装置。
- 請求項１乃至５の何れか一に記載のテープ搬送装置を備え、かつ前記ステージと、前記テープ自体、或いは前記テープ上の被処理物を処理する手段とを備えたテープ処理部を有することを特徴とするテープ処理装置。
- 請求項１記載のテープ搬送装置を用いて、
（１）前記テープ供給部から前記第１のガイドローラを介して前記テープを前記ステージ上に供給し、
（２）次いで、前記ステージに設けられたテープを固定する手段により前記テープを予め設定された前記ステージの搬送開始位置で前記ステージに固定し、
（３）次いで、前記ステージを予め設定された搬送終了位置まで前記テープの送り方向に移動させ、
（４）次いで、前記ステージのテープを固定する手段から前記テープを離し、
（５）次いで、前記ステージを前記テープの送り方向と逆方向に移動させて前記ステージを前記予め設定された前記ステージの搬送開始位置まで移動させることを特徴とするテープ搬送方法。 - 前記（５）のステップの後、前記（２）乃至（５）のステップを繰り返し行なうことを特徴とする請求項７記載のテープ搬送方法。
- 請求項７又は８の何れか一に記載のテープ搬送方法を含むテープ処理方法であって、
前記（２）のステップ終了後、前記テープ自体、或いは前記テープ上の被処理物の処理を行い、前記処理が終了する前記ステージ位置から前記（３）のステップ以降を行なうことを特徴とするテープ処理方法。 - 前記テープの被処理領域の先頭位置を処理開始点とし、前記テープの被処理領域の最後部位置を処理終点として前記テープ自体、或いは前記テープ上の被処理物を処理する際に、前記処理開始点から前記処理終点に至る処理経路の全長が最短になるように処理することを特徴とする請求項９記載のテープ処理方法。
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