JP2004302457A - 光機能素子、波長可変光フィルタ及び波長可変光源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 コア層(10)が、1次元または2次元方向に強誘電体材料からなる強誘電体部材(4)が周期的に配置されたフォトニック結晶を含む。電極(2、7)が、コア層に電界を印加する。
【選択図】 図1
Description
本発明の他の観点によると、第1の光フィルタと、前記第1の光フィルタを透過したレーザビームが入射する第2の光フィルタとを有し、前記第1の光フィルタ及び第2の光フィルタの各々は、1次元または2次元方向に、強誘電体材料からなる強誘電体部材が周期的に配置されたフォトニック結晶を含むコア層と、前記コア層に電界を印加する電極とを含み、前記第1及び第2の光フィルタのフォトニック結晶のバンドギャップが、ある波長間隔を隔てて相互に離れている波長可変光フィルタが提供される。
本発明の他の観点によると、第1の光フィルタと、前記第1の光フィルタを透過したレーザビームが入射する第2の光フィルタとを有し、前記第1の光フィルタ及び第2の光フィルタの各々は、1次元または2次元方向に周期的に配置された第1の部材、及び該第1の部材の間を埋める充填材を含み、フォトニック結晶を構成し、該第1の部材及び第2の部材の少なくとも一方は、電界の発生により屈折率を変化させる性質を有する材料で形成されているコア層と、前記コア層に電界を印加するための電極とを含み、前記第1及び第2の光フィルタのフォトニック結晶のバンドギャップが、ある波長間隔を隔てて相互に離れている波長可変光フィルタが提供される。
図2(A)に示すように、(001)面が表出したSTOからなる基板1の上に、PtまたはSRO等からなる厚さ200nmの下部電極2を、スパッタリングにより形成する。下部電極2の上に、MgOからなる厚さ1μmの下部クラッド層3をスパッタリングにより形成する。
なお、高さ2μmの強誘電体柱4を単結晶化することが困難な場合には、レジストパターンの形成から、PLZTゾル前駆体溶液の充填、レジストパターンの除去、及び焼成までの工程を、複数回に分けて実行することが好ましい。
図7(A)に示すように、基板1の上に下部電極2を形成する。下部電極2の上に、厚さ4μmのPLZT膜11aを、スパッタリング、パルスレーザ蒸着、ゾルゲル法、有機金属化学気相成長(MOCVD)等により形成する。
図7(D)に示すように、SiO2の前駆体溶液をスピンコートし、強誘電体柱11の間に、SiO2からなる下部充填材12を充填する。図7(E)に示すように、MgOの前駆体溶液をスピンコートし、強誘電体柱11の間に、MgOからなるコア層充填材13を充填する。図7(F)に示すように、SiO2の前駆体溶液をスピンコートし、強誘電体柱11の間に、SiO2からなる上部充填材14を充填する。上部充填材14の上面と強誘電体柱11の上面との高さが揃い、平坦な上面が形成されるように、充填材の充填量及びスピンコート時の基板の回転数を制御する。
第2の実施例の光機能素子も、第1の実施例の場合と同様に、波長可変光フィルタとして使用することができる。
図9(A)〜図9(C)を参照して、第3の実施例による光機能素子の製造方法について説明する。
図10に、第4の実施例による光機能素子の断面図を示す。STO基板1の上に下部電極2が形成されている。下部電極2の上に複数の円柱状部材35が配置されている。円柱状部材35は、MgOからなる厚さ1μmの下部クラッド材32、PLZTからなる厚さ2μmの強誘電体部材33、及びMgOからなる厚さ1μmの上部クラッド部材34の3層構造を有する。また、図8の円柱状部材25と同様に、円柱状部材35も、三角格子の交点に配置されている。
図11(A)に示すように、基板1の上に下部電極2を形成し、その上に円柱状部材35を形成する。円柱状部材35は、図9(A)〜図9(C)に示した第3の実施例による円柱状部材25と同様の方法で形成することができる。ただし、第4の実施例の場合には、第3の実施例の円柱状部材25の最上層の上部電極7が形成されない。円柱状部材35の間にMgOからなる下部充填材36を充填する。
第4の実施例の光機能素子も、第1の実施例の場合と同様に、波長可変光フィルタとして使用することができる。
図13に、第6の実施例による光機能素子の断面図を示す。基板1Aの上に下部電極2が形成されている。第6の実施例では、図1に示した第1の実施例による光機能素子の下部クラッド層3が配置されておらず、下部電極2の上にコア層10が直接形成されている。同様に、上部クラッド層6が配置されておらず、コア層10の上に上部電極7が直接形成されている。基板1Aは、例えば単結晶のMgOで形成される。下部電極2及び上部電極7は、Pt等の金属またはSRO等の導電性酸化物で形成される。
図14を参照して、第6の実施例による光機能素子の製造方法について説明する。図14(A)に示すように、(001)面が表出した単結晶MgOからなる基板1Aの上に、Ptからなる厚さ200nmの下部電極2を形成する。下部電極2は、例えば基板温度600℃の条件でRFマグネトロンスパッタリングにより形成することができる。この条件下で、PtがMgO基板の上にエピタキシャル成長する。
第6の実施例では、強誘電体柱4がコア層10の底面から上面まで貫通し、下部電極2が強誘電体柱4の底面に接触し、上部電極7が強誘電体柱4の上面に接触する。電極と強誘電体柱との間にクラッド層等の絶縁性材料が挿入されている場合に比べて、強誘電体柱内に発生する電界を強くすることができる。このため、より低い電圧で、フォトニック結晶のバンドギャップの位置を波長軸上で移動させることができる。
第6の実施例では、MgOの単結晶基板を用いることなく、フォトニック結晶を形成することができる。基板1Aがクラッド層として機能しなくてもよいため、基板1Aの材料の選択肢が拡がる。
上記第1〜第7の実施例において、フォトニック結晶を構成する強誘電体柱4を、その(001)面、(110)面及び(111)面のいずれかの結晶面の向きが揃うように配向させることが好ましい。これらの面が基板の表面に平行になるように強誘電体柱4を成長させることにより、これらの結晶面の向きを揃えることができる。
上記実施例から、以下の付記に示された発明が導出される。
前記コア層に電界を印加するための電極と
を有する光機能素子。
(付記3) さらに、前記コア層を挟むように、該コア層の両側に配置され、該コア層の有効屈折率よりも小さな有効屈折率のクラッド層を有する付記1または2に記載の光機能素子。
(付記5) 前記クラッド層が、1次元または2次元方向に強誘電体材料からなる強誘電体部材が周期的に配置されたフォトニック結晶を含む付記3に記載の光機能素子。
前記コア層内の充填材の屈折率が、前記クラッド層内の充填材の屈折率よりも高い付記6に記載の光機能素子。
(付記9) さらに、前記クラッド層及びコア層の強誘電体部材の間に充填された充填材を有し、前記クラッド層内の充填材と、前記コア層内の充填材とが同一の材料である付記8に記載の光機能素子。
さらに、前記クラッド層及びコア層の強誘電体部材の間に充填された充填材を有し、前記クラッド層内の充填材と、前記コア層内の充填材とが、相互に異なる材料で形成されている付記5に記載の光機能素子。
前記第1の光フィルタを透過したレーザビームが入射する第2の光フィルタとを有し、
前記第1の光フィルタ及び第2の光フィルタの各々は、
1次元または2次元方向に、強誘電体材料からなる強誘電体部材が周期的に配置されたフォトニック結晶を含むコア層と、
前記コア層に電界を印加する電極と
を含み、
前記第1及び第2の光フィルタのフォトニック結晶のバンドギャップが、ある波長間隔を隔てて相互に離れている波長可変光フィルタ。
(付記14) 第1の波長から第2の波長までの範囲内に波長が分布するレーザビームを出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザビームが入射する第1の光フィルタと、
前記第1の光フィルタを透過したレーザビームが入射する第2の光フィルタとを有し、
前記第1の光フィルタ及び第2の光フィルタの各々は、
1次元または2次元方向に強誘電体材料からなる強誘電体部材が周期的に配置されたフォトニック結晶を含むコア層と、
前記コア層に電界を印加する電極と
を含み、
前記第1及び第2の光フィルタのフォトニック結晶のバンドギャップが、前記第1の波長から第2の波長までの範囲と部分的に重なり、相互にある波長間隔を隔てて離れている波長可変光源。
(付記16) 1次元または2次元方向に周期的に配置された第1の部材、及び該第1の部材の間を埋める第2の部材を含み、フォトニック結晶を構成し、該第1の部材及び第2の部材の少なくとも一方は、電界の発生により屈折率を変化させる性質を有する材料で形成されているコア層と、
前記コア層に電界を印加するための電極と
を有する光機能素子。
前記第1の光フィルタを透過したレーザビームが入射する第2の光フィルタとを有し、
前記第1の光フィルタ及び第2の光フィルタの各々は、
1次元または2次元方向に周期的に配置された第1の部材、及び該第1の部材の間を埋める充填材を含み、フォトニック結晶を構成し、該第1の部材及び第2の部材の少なくとも一方は、電界の発生により屈折率を変化させる性質を有する材料で形成されているコア層と、
前記コア層に電界を印加するための電極と
を含み、
前記第1及び第2の光フィルタのフォトニック結晶のバンドギャップが、ある波長間隔を隔てて相互に離れている波長可変光フィルタ。
(付記23) 第1の波長から第2の波長までの範囲内に波長が分布するレーザビームを出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザビームが入射する第1の光フィルタと、
前記第1の光フィルタを透過したレーザビームが入射する第2の光フィルタとを有し、
前記第1の光フィルタ及び第2の光フィルタの各々は、
1次元または2次元方向に周期的に配置された第1の部材、及び該第1の部材の間を埋める充填材を含み、フォトニック結晶を構成し、該第1の部材及び第2の部材の少なくとも一方は、電界の発生により屈折率を変化させる性質を有する材料で形成されているコア層と、
前記コア層に電界を印加するための電極と
を含み、
前記第1及び第2の光フィルタのフォトニック結晶のバンドギャップが、前記第1の波長から第2の波長までの範囲と部分的に重なり、相互にある波長間隔を隔てて離れている波長可変光源。
(付記25) 基板の上にレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜に、1次元または2次元方向に周期的に配列した開口を形成する工程と、
前記開口内に、強誘電体材料の前駆体溶液を充填し、乾燥させて前駆体を形成する工程と、
前記レジスト膜を除去する工程と、
前記前駆体を焼成して、強誘電体部材を形成する工程と
を有する強誘電体部材の製造方法。
2 下部電極
3、3B 下部クラッド層
4、11 強誘電体柱
5、5A 充填材
6 上部クラッド層
7 上部電極
10 コア層
12、13、14、36、37、38 充填材
20、21、30 レジストパターン
22、32 下部クラッド材
23、33 強誘電体部材
24、34 上部クラッド部材
25、35 円柱状部材
26 Pt膜
40 レーザ光源
41、42 波長可変光フィルタ
47 偏光子
50 マルチチャネルアナライザ
51 制御装置
Claims (10)
- 1次元または2次元方向に強誘電体材料からなる強誘電体部材が周期的に配置されたフォトニック結晶を含むコア層と、
前記コア層に電界を印加するための電極と
を有する光機能素子。 - さらに、前記コア層を挟むように、該コア層の両側に配置され、該コア層の有効屈折率よりも小さな有効屈折率のクラッド層を有する請求項1に記載の光機能素子。
- 第1の光フィルタと、
前記第1の光フィルタを透過したレーザビームが入射する第2の光フィルタとを有し、
前記第1の光フィルタ及び第2の光フィルタの各々は、
1次元または2次元方向に、強誘電体材料からなる強誘電体部材が周期的に配置されたフォトニック結晶を含むコア層と、
前記コア層に電界を印加する電極と
を含み、
前記第1及び第2の光フィルタのフォトニック結晶のバンドギャップが、ある波長間隔を隔てて相互に離れている波長可変光フィルタ。 - 第1の波長から第2の波長までの範囲内に波長が分布するレーザビームを出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザビームが入射する第1の光フィルタと、
前記第1の光フィルタを透過したレーザビームが入射する第2の光フィルタとを有し、
前記第1の光フィルタ及び第2の光フィルタの各々は、
1次元または2次元方向に強誘電体材料からなる強誘電体部材が周期的に配置されたフォトニック結晶を含むコア層と、
前記コア層に電界を印加する電極と
を含み、
前記第1及び第2の光フィルタのフォトニック結晶のバンドギャップが、前記第1の波長から第2の波長までの範囲と部分的に重なり、相互にある波長間隔を隔てて離れている波長可変光源。 - 1次元または2次元方向に周期的に配置された第1の部材、及び該第1の部材の間を埋める第2の部材を含み、フォトニック結晶を構成し、該第1の部材及び第2の部材の少なくとも一方は、電界の発生により屈折率を変化させる性質を有する材料で形成されているコア層と、
前記コア層に電界を印加するための電極と
を有する光機能素子。 - 前記第1の部材は、圧電性を示す強誘電体材料で形成され、前記第2の部材は、該第1の部材よりも柔らかい材料で形成されている請求項5に記載の光機能素子。
- 前記コア層を構成する強誘電体部材の各々が、該コア層の一方の面から他方の面まで貫通し、前記電極が、前記コア層を挟むように配置され、該強誘電体部材の各々に直接接触している請求項5または6に記載の光機能素子。
- さらに、前記コア層を挟むように、該コア層の両側に配置され、該コア層の有効屈折率よりも小さな有効屈折率のクラッド層を有する請求項7に記載の光機能素子。
- 第1の光フィルタと、
前記第1の光フィルタを透過したレーザビームが入射する第2の光フィルタとを有し、
前記第1の光フィルタ及び第2の光フィルタの各々は、
1次元または2次元方向に周期的に配置された第1の部材、及び該第1の部材の間を埋める充填材を含み、フォトニック結晶を構成し、該第1の部材及び第2の部材の少なくとも一方は、電界の発生により屈折率を変化させる性質を有する材料で形成されているコア層と、
前記コア層に電界を印加するための電極と
を含み、
前記第1及び第2の光フィルタのフォトニック結晶のバンドギャップが、ある波長間隔を隔てて相互に離れている波長可変光フィルタ。 - 第1の波長から第2の波長までの範囲内に波長が分布するレーザビームを出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザビームが入射する第1の光フィルタと、
前記第1の光フィルタを透過したレーザビームが入射する第2の光フィルタとを有し、
前記第1の光フィルタ及び第2の光フィルタの各々は、
1次元または2次元方向に周期的に配置された第1の部材、及び該第1の部材の間を埋める充填材を含み、フォトニック結晶を構成し、該第1の部材及び第2の部材の少なくとも一方は、電界の発生により屈折率を変化させる性質を有する材料で形成されているコア層と、
前記コア層に電界を印加するための電極と
を含み、
前記第1及び第2の光フィルタのフォトニック結晶のバンドギャップが、前記第1の波長から第2の波長までの範囲と部分的に重なり、相互にある波長間隔を隔てて離れている波長可変光源。
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