JP2004300572A - 複合構造物形成装置および形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 フィルム状の基材を用いる場合の複合構造物作製方法・装置において、構造物形成に伴う構造物の残留応力を原因とする複合構造物の変形を解消する。
【解決手段】 エアロゾルデポジション法によって複合構造物を形成させる工程において、フィルム状の基材の両面に同時あるいは順次に構造物形成を行う、また構造物形成とともに基材に引っ張り応力を与えて基材を伸展させるなどの操作を行うことにより、構造物の持つ残留応力による複合構造物の変形を解消する。
【選択図】 図1
Description
101…構造物作製チャンバー
102…フィルム準備室
103…フィルム
104…フィルム巻き出し装置
105…構造物作製室
106a、106b、106c、106d…整形ロール
107a、107b…構造物形成ロール
108a、108b…ガスボンベ
109a、109b…エアロゾル発生器
110a、110b…エアロゾル搬送管
111a、111b…ノズル
112a、112b…エアロゾル回収口
113a、113b…粉体回収装置
114a、114b…真空ポンプ
115…フィルム洗浄室
116…洗浄ロール116
117…フィルム巻き取り室
118…巻き取りロール
Claims (5)
- 脆性材料微粒子をガスに分散させたエアロゾルを、板状あるいはフィルム状の基材の表面に向けてノズルより噴射して衝突させ、前記脆性材料微粒子の構成材料からなる脆性材料構造物を、前記基材上に形成させる複合構造物形成装置であって、前記基材を搬送する基材搬送装置を有し、前記基材を保持し搬送する複数の基材搬送保持具を有し、前記基材搬送装置により搬送される前記基材の両面のそれぞれに向いた状態で複数のノズルが前記基材搬送保持具と前記基材の表裏で対となって配置されることを特徴とする複合構造物形成装置。
- 脆性材料微粒子をガスに分散させたエアロゾルを、板状あるいはフィルム状の基材の表面に向けてノズルより噴射して衝突させ、この衝撃によって前記脆性材料微粒子の構成材料からなる脆性材料構造物を、前記基材上に形成させる複合構造物形成方法であって、前記基材の両面に向けて複数のノズルが配置され、これらノズルから前記基材の両面に順次エアロゾルを噴射して衝突させつつ、前記基材と前記ノズルを相対的に移動・搬送させて、前記基材の両面に脆性材料構造物を形成させることを特徴とする複合構造物の形成方法。
- 脆性材料微粒子をガスに分散させたエアロゾルを、板状あるいはフィルム状の基材の表面に向けてノズルより噴射して衝突させ、前記脆性材料微粒子の構成材料からなる脆性材料構造物を、前記基材上に形成させる複合構造物形成装置であって、前記基材を搬送する基材搬送装置を有し、前記基材搬送装置が引っ張り応力を前記基材に印加する機構を備えることを特徴とする複合構造物形成装置。
- 脆性材料微粒子をガスに分散させたエアロゾルを、板状あるいはフィルム状の基材の表面に向けてノズルより噴射して衝突させ、この衝撃によって前記脆性材料微粒子の構成材料からなる脆性材料構造物を、前記基材上に形成させる複合構造物形成方法であって、前記基材上に構造物を形成させるとともに構造物形成近傍にて前記基材に引っ張り応力を印加することを特徴とする複合構造物の形成方法。
- 脆性材料微粒子をガスに分散させたエアロゾルを、板状あるいはフィルム状の基材の表面に向けてノズルより噴射して衝突させ、この衝撃によって前記脆性材料微粒子の構成材料からなる脆性材料構造物を、前記基材上に形成させる複合構造物形成方法であって、前記基材上に構造物を形成させ、この構造物形成直近あるいは、その直後にて前記基材に引っ張り応力を印加して前記基材を伸展させることを特徴とする複合構造物の形成方法。
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