CN106460189B - 粉体涂敷装置 - Google Patents

Abstract

本发明是用于使粉体附着于膜的粉体涂敷装置。该粉体涂敷装置包括：送出辊，其用于送出膜；卷取辊，其相对于送出辊配置于膜的输送方向下游侧，用于卷取膜；成膜喷嘴，其在送出辊和卷取辊之间的输送方向中途以与膜相对的方式配置，用于喷出粉体；第1壳体或第2壳体，其用于收容送出辊以及卷取辊；装置用壳体，其用于收容成膜喷嘴、第1壳体以及第2壳体；压力调整单元，其构成为将第1壳体的内压以及第2壳体的内压设定得高于装置用壳体的内压。

Description

粉体涂敷装置

技术领域

本发明涉及粉体涂敷装置，详细而言，涉及用于使粉体附着于膜的粉体涂敷装置。

背景技术

以往以来，作为使粉体附着于膜等基材的方法，提出了喷涂法等各种方法。

其中，出于能够在基材形成致密的层等观点考虑，气溶胶沉积法特别引人注目。

作为气溶胶沉积法所使用的装置，例如专利文献1有所公开。

专利文献1所公开的装置包括：在内部具有用于使粉体附着于基材的空间的成膜腔室、用于储存粉体原料的气溶胶腔室以及载气输送装置，成膜腔室在其内部收容有用于配置·固定基材的底座、以及将粉体向基材喷雾的喷嘴。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-129887号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，专利文献1的装置是批次式的。即，在专利文献1的装置中，每次对1个基材实施涂敷处理，需要相对于成膜腔室取出、放入基材，生产效率较差。因此，寻求连续式的装置。

作为连续式，研究采用卷对卷方式。具体而言，研究如下方法：在成膜腔室的内部配置一对辊，一边使基材从一个辊向另一个辊卷取一边使粉体连续地附着于基材。

可是，在将粉体向基材喷雾的方法中，从喷雾喷嘴朝向基材喷出的粉体的一部分不附着于基材而是在空气中即成膜腔室的内部飞散。若飞散的粉体蓄积在成膜腔室内部，则该粉体附着于辊、被涂敷了的基材等。这样一来，存在引起卷对卷装置的工作不良、被涂敷了的基材的品质不良的不良情况。

本发明的目的在于，提供一种能够降低所飞散的粉体的影响的连续式的粉体涂敷装置。

用于解决问题的方案

本发明的粉体涂敷装置是用于粉体附着于膜的粉体涂敷装置，其特征在于，该粉体涂敷装置包括：送出辊，其送出所述膜；卷取辊，其相对于所述送出辊配置于所述膜的输送方向下游侧，用于卷取所述膜；喷嘴，其在所述送出辊和所述卷取辊之间的输送方向中途以与所述膜相对的方式配置，用于喷出所述粉体；1个或2个以上的辊用腔室，其用于收容所述送出辊以及所述卷取辊；装置用腔室，其用于收容所述喷嘴以及所述辊用腔室；压力调整单元，其构成为将所述辊用腔室的内压设定得高于所述装置用腔室的内压。

采用该粉体涂敷装置，压力调整单元使辊用腔室的内压设定得高于装置用腔室的内压，能够抑制在相对低压的装置用腔室的内部飞散的粉体进入相对高压的辊用腔室的内部。因此，能够防止粉体附着于辊、被涂敷了的膜等，能够使粉体的影响降低。

另外，优选的是，本发明的粉体涂敷装置具有两个辊用腔室，一个辊用腔室用于收容所述送出辊，另一辊用腔室用于收容所述卷取辊。

采用该粉体涂敷装置，送出辊和卷取辊分别收容于独立的辊用腔室，因此，能够自由地调整送出辊与卷取辊之间的相对的位置、距离。因此，能够提高装置设计的自由度。

另外，优选的是，本发明的粉体涂敷装置具有1个辊用腔室，所述1个辊用腔室用于收容所述送出辊以及所述卷取辊。

采用该粉体涂敷装置，仅将1个辊用腔室的内压设定得高于装置用腔室的内压即可，因此，能够使装置简便。

另外，优选的是，在本发明的粉体涂敷装置中，所述压力调整单元具有向所述辊用腔室的内部送入气体的气体送出部。

采用该粉体涂敷装置，能够简便且切实地将辊用腔室的内压设定得高于装置用腔室的内压。

另外，优选的是，本发明的粉体涂敷装置还具有粉体去除部，该粉体去除部以与所述膜相对的方式配置在所述输送方向上的、所述喷嘴的下游侧且所述卷取辊的上游侧，用于将附着到所述膜上的多余的粉体去除。

采用该粉体涂敷装置，能够将附着到膜的多余的粉体去除，因此，能够使被涂敷了的膜的品质恒定。

发明的效果

采用本发明的粉体涂敷装置，能够降低向成膜腔室的内部飞散的粉体对装置的影响。

附图说明

图1表示本发明的粉体涂敷装置的第1实施方式的概略构成图。

图2表示本发明的粉体涂敷装置的第2实施方式的概略构成图。

图3表示图2的粉体涂敷装置中的第2壳体以及成膜喷嘴的立体图。

图4表示在第1实施方式中采用气溶胶沉积法的情况下的粉体涂敷装置的概略构成图。

具体实施方式

1.第1实施方式

1-1.粉体涂敷装置

参照图1，对本发明的粉体涂敷装置的第1实施方式进行说明。

此外，在图1的说明中，在提及粉体涂敷装置的方向时，将图1的纸面上下方向设为“上下方向”(第1方向)，纸面上方是上侧，纸面下方是下侧。另外，将图1的纸面左右方向设为“前后方向”(第2方向、与第1方向正交的方向)，纸面右方向是前侧，图1的纸面左方向是后侧。另外，将图1的纸厚方向设为“宽度方向”(第3方向、与第1方向以及第2方向正交的方向)，纸厚跟前是宽度方向一侧，纸厚方向进深是宽度方向另一侧。对于图4，也以图1的方向为基准。

粉体涂敷装置1是用于使粉体3附着于膜2的装置，具有输送部4以及喷射部5。

输送部4具有作为装置用腔室的一个例子的装置用壳体6和收容于装置用壳体6的内部的送出部7以及卷取部8。

装置用壳体6形成为能够使内部密闭的箱型形状。装置用壳体6收容有送出部7、卷取部8、成膜喷嘴18(随后论述)以及载物台19(随后论述)。

此外，装置用壳体6具有用于对装置用壳体6(具体而言，装置用壳体6内部的空间且除了第1壳体9(随后论述)以及第2壳体13(随后论述)所占有的空间之外的空间)的内压进行测定的压力计51。

送出部7配置于装置用壳体6的内部的下端以及前侧。

送出部7具有作为辊用腔室的一个例子的第1壳体9、送出辊10、第1张紧辊11a以及第2张紧辊11b。

第1壳体9形成为沿着宽度方向延伸的箱型形状(参照图3)，收容有送出辊10、第1张紧辊11a以及第2张紧辊11b。在第1壳体9的后壁的上侧形成有送出开口部12。送出开口部12形成为沿着宽度方向延伸的狭缝状。

此外，第1壳体9具有用于对第1壳体9的内压进行测定的压力计52。

送出辊10是具有用于送出膜2的旋转轴的圆柱构件，以沿着宽度方向延伸的方式形成。送出辊10配置于第1壳体9的内部的下端部。在送出辊10的表面以膜2的背面(与要涂敷的一侧相反的面)朝向辊表面的方式卷绕有膜2。在送出辊10的旋转轴的端部设置有齿轮(未图示)，用于使送出辊10向箭头方向旋转的驱动力从马达(未图示)输入齿轮。

第1张紧辊11a是具有用于将从送出辊10送出的膜2的张力良好地保持的旋转轴的圆柱构件，以沿着宽度方向延伸的方式形成。第1张紧辊11a配置于送出辊10的上侧且后侧。

第2张紧辊11b是具有用于将从第1张紧辊11a输送的膜2的张力良好地保持的旋转轴的圆柱构件，以沿着宽度方向延伸的方式形成。第2张紧辊11b配置于送出辊10的上侧且第1张紧辊11a的前侧。

卷取部8以与送出部7隔开间隔而相对的方式配置于装置用壳体6的内部的下端部以及后侧。

卷取部8具有作为辊用腔室的一个例子的第2壳体13、卷取辊14、第3张紧辊15a以及第4张紧辊15b。

第2壳体13形成为沿着宽度方向延伸的箱型形状(参照图3)，收容有卷取辊14、第3张紧辊15a以及第4张紧辊15b。在第2壳体13的前壁的上侧形成有卷取开口部17。卷取开口部17形成为沿着宽度方向延伸的狭缝状。

此外，第2壳体13具有用于对第2壳体13的内压进行测定的压力计53。

卷取辊14是具有用于卷取被涂敷了的膜2的旋转轴的圆柱构件，以沿着宽度方向延伸的方式形成。卷取辊14配置于第2壳体13的内部的下端部。卷取辊14相对于送出辊10配置于后侧。即、卷取辊14相对于送出辊10配置于膜2的输送方向(以下，仅简写成“输送方向”。)下游侧。被涂敷了的膜2在粉体涂敷装置1启动后以其背面朝向辊表面的方式卷绕在卷取辊14的表面上。在卷取辊14的旋转轴的端部设有齿轮(未图示)，用于使卷取辊14向箭头方向旋转的驱动力从马达(未图示)输入齿轮。

第3张紧辊15a是具有用于将从卷取开口部17送入的被涂敷了的膜2的张力良好地保持的旋转轴的圆柱构件，以沿着宽度方向延伸的方式形成。第3张紧辊15a配置于卷取辊14的上侧。

第4张紧辊15b是具有用于将从第3张紧辊15a输送的被涂敷了的膜2的张力良好地保持的旋转轴的圆柱构件，以沿着宽度方向延伸的方式形成。第4张紧辊15b配置于卷取辊14的上侧且第3张紧辊15a的前侧。

喷射部5具有作为喷嘴的一个例子的成膜喷嘴18、载物台19、喷射装置20以及连结管22。

成膜喷嘴18是用于朝向膜2的表面喷出粉体3的喷射装置。成膜喷嘴18在装置用壳体6的内部的上侧、且在第1壳体9和第2壳体13之间的前后方向中途以喷射口朝向下侧(即、载物台19)的方式配置。即、成膜喷嘴18在装置用壳体6内部在送出辊10和卷取辊14之间的输送方向中途以喷射口朝向膜2的方式配置。由此，成膜喷嘴18能够将从喷射装置20供给的粉体3向输送到载物台19的上表面的膜2的表面喷涂。

如参照图3那样，成膜喷嘴18的喷射口的形状以沿着宽度方向延伸的方式形成。

载物台19在俯视时形成为沿着宽度方向延伸的大致矩形形状，在从宽度方向一侧向宽度方向另一侧观察的侧视时形成为向上侧凸起的弓型形状(圆弧形状)。载物台19以与成膜喷嘴18隔开间隔而相对的方式配置于成膜喷嘴18的下侧，且在第1壳体9和第2壳体13之间的前后方向中途以与第1壳体9以及第2壳体13隔开间隔而相对的方式配置。载物台19以其最凸部(最上表面部)35位于比送出开口部12以及卷取开口部17的上下方向位置稍微靠上侧的位置的方式配置。载物台19的最凸部35最接近成膜喷嘴18的喷射口。最凸部35和成膜喷嘴18的喷射口之间的间隔例如是0.5mm以上，优选的是1mm以上，另外，例如是100mm以下，优选的是50mm以下。由此，在最凸部35，膜2被从成膜喷嘴18喷出的粉体3涂敷。

此外，载物台19借助未图示的X－Y－Z移动载物台支承以及固定于装置用壳体6。通过自动或手动对X－Y－Z移动载物台进行对位，从而能够相对于成膜喷嘴18修正载物台19的位置。

喷射装置20是储存粉体3、且将该粉体3向成膜喷嘴18送出的装置，具体而言，可列举出公知的喷射方法所使用的装置。

作为公知的喷射方法，可列举出例如气溶胶沉积法(AD法·气体沉积法(气体堆积法))、冷喷涂法(高压冷喷涂法、低压冷喷涂法)、热喷涂法(等离子体喷涂法、电弧喷涂法、火焰喷涂法)等气溶胶喷印法。

连结管22以其一端部与喷射装置20连接、另一端部贯通装置用壳体6的上壁而与成膜喷嘴18连接的方式配置。

并且，这样的粉体涂敷装置1具有压力调整单元16。具体而言，压力调整单元16具有作为气体送出部的一个例子的气体流入管30，气体流入管30具有设于第1壳体9的第1气体流入管30a和设于第2壳体13的第2气体流入管30b。

第1气体流入管30a以其一端部(流出侧端部)位于第1壳体9的内部、并且另一端部(流入侧端部)贯通装置用壳体6的前壁以及第1壳体9的前壁而位于装置用壳体6的外部的方式配置。第1气体流入管30a的一端部以在第1壳体9的内部与送出辊10相对的方式配置于下端。

第1气体流入管30a的另一端部与用于将外部空气、压缩空气等送入第1壳体9的内部的泵(未图示)连接。

第2气体流入管30b以其一端部(流出侧端部)位于第2壳体13的内部、并且另一端部(流入侧端部)贯通装置用壳体6的后壁以及第2壳体13的后壁而位于装置用壳体6的外部的方式配置。第2气体流入管30b的一端部以在第2壳体13的内部与卷取辊14相对的方式配置于下端。

第2气体流入管30b的另一端部与用于将外部空气、压缩空气等送入第2壳体13的内部的泵(未图示)连接。

另外，粉体涂敷装置1具有作为粉体去除部的一个例子的清洁喷嘴31和喷气喷嘴32。

清洁喷嘴31在配置于成膜喷嘴18和卷取辊14之间的前后方向中途的卷取开口部17附近设有多个(两个)。即、两个清洁喷嘴31(31a、31b)设于成膜喷嘴18的输送方向下游侧且卷取辊14的输送方向上游侧。

清洁喷嘴31(31a、31b)支承以及固定于第2壳体13。两个清洁喷嘴31以它们的喷射口彼此相对的方式隔着卷取开口部17(膜2)并彼此隔开间隔地配置。详细而言，一个清洁喷嘴31a在卷取开口部17(膜2)的上侧以其喷射口朝向下侧且前侧的方式与所输送的膜2隔开间隔地配置。另一个清洁喷嘴31b在卷取开口部17(膜2)的下侧以其喷射口朝向上侧且前侧的方式与所输送的膜2隔开间隔地配置。

喷气喷嘴32在配置于送出辊10和成膜喷嘴18之间的前后方向中途的送出开口部12附近设有1个。即、喷气喷嘴32设于送出辊10的输送方向下游侧且成膜喷嘴18的输送方向上游侧。

喷气喷嘴32支承以及固定于第1壳体9。喷气喷嘴32以与送出开口部12(膜2)相对的方式配置。详细而言，喷气喷嘴32在送出开口部12(膜2)的下侧以其喷射口朝向上侧且后侧的方式与所输送的膜2隔开间隔地配置。

1－2.涂敷方法

对使用粉体涂敷装置1将粉体3附着于膜2的涂敷方法进行说明。

首先，如图1所示，将膜2安放于输送部4。

具体而言，将膜2以其背面朝向送出辊10的表面的方式卷绕于送出辊10。接下来，将膜2送出而依次通过第1张紧辊11a的后侧的侧面、第2张紧辊11b的前侧的侧面、以及送出开口部12。之后，以与载物台19的最凸部35接触的方式在载物台19和成膜喷嘴18之间通过。接下来，通过卷取开口部17、第3张紧辊15a的后侧的侧面、以及第4张紧辊15b的前侧的侧面而卡定于卷取辊14。

膜2是具有预定的宽度的在输送方向上纵长的膜，可列举出例如树脂膜、金属箔等。

作为树脂膜的材料，可列举出例如热塑性树脂、热固化性树脂等。作为热塑性树脂，可列举出例如聚乙烯、聚丙烯等烯烃系树脂、例如PET等聚酯系树脂、例如PTFE等氟系树脂、例如尼龙等聚酰胺系树脂、例如聚酰亚胺系树脂、聚氯乙烯纤维素纤维、有机硅纤维等。作为热固化性树脂，可列举出环氧树脂、苯酚树脂、氨基树脂、不饱和聚酯树脂等。

作为金属箔的材料，可列举出例如铜、铁、不锈钢、铝等。

膜2的厚度没有限定，例如是5μm以上，优选的是10μm以上，另外，例如是500μm以下，优选的是100μm以下。

接下来，气体分别经由气体流入管30(30a、30b)流入第1壳体9以及第2壳体13，从而将第1壳体9的内压以及第2壳体13的内压设定得高于装置用壳体6的内压(具体而言，除了第1壳体9以及第2壳体13所占有的空间之外的空间中的压力)。

装置用壳体6的内压例如是1Pa以上，优选的是10Pa以上，更优选的是50Pa以上，另外，例如是80000Pa以下，优选的是10000Pa以下，更优选的是1000Pa以下。

第1壳体9的内压以及第2壳体13的内压例如分别是10Pa以上，优选的是50Pa以上、更优选的是100Pa以上，另外，例如是80000Pa以下，优选的是10000Pa以下、更优选的是2100Pa以下。

第1壳体9的内压与装置用壳体6的内压之差例如是10Pa以上，优选的是100Pa以上，另外，例如是10000Pa以下，优选的是1000Pa以下。

第2壳体13的内压与装置用壳体6的内压之差例如是10Pa以上，优选的是100Pa以上，另外，例如是10000Pa以下，优选的是1000Pa以下。

接下来，通过驱动送出辊10以及卷取辊14而使送出辊10以及卷取辊14分别向图1的箭头方向旋转，来输送膜2。

具体而言，膜2从送出辊10按照第1张紧辊11a的后侧的侧面、第2张紧辊11b的前侧的侧面、以及送出开口部12的顺序输送。之后，从送出开口部12按照载物台19的最凸部35以及卷取开口部17的顺序、即从前侧朝向后侧输送。之后，从卷取开口部17按照第3张紧辊15a的后侧的侧面、第4张紧辊15b的前侧的侧面以及卷取辊14的顺序输送，由卷取辊14卷取。

输送速度例如是0.05m/分以上，优选的是0.1m/分以上，另外，例如是100m/分以下，优选的是50m/分以下。

另一方面，向喷射装置20填充粉体3(材料)。

作为粉体3，没有特别限定，可列举出例如金属氧化物粉末、金属粉末、树脂粉末等。

作为金属氧化物粉末的材料，可列举出例如氧化铝、氧化钇、氧化锆、二氧化钛等。

作为金属的材料，可列举出例如铜、铁、不锈钢、铝等。

作为树脂的材料，可列举出例如热塑性树脂、热固化性树脂等。作为热塑性树脂，可列举出例如聚乙烯、聚丙烯等烯烃系树脂、例如PET等聚酯系树脂、例如PTFE等氟系树脂、例如尼龙等聚酰胺系树脂、例如聚酰亚胺系树脂、聚氯乙烯纤维素纤维、有机硅纤维等。作为热固化性树脂，可列举出环氧树脂、苯酚树脂、氨基树脂、不饱和聚酯树脂等。

这些能够单独使用或组合两种以上使用。

粉末的平均粒径(中值粒径)例如是0.05μm～10μm。特别是在使用随后论述的气溶胶沉积法的情况下，优选的是0.1μm以上，更优选的是0.5μm以上，另外，优选的是10μm以下，更优选的是2.5μm以下。平均粒径(中值粒径)例如通过基于动态光散射法的粒度分布测定装置进行测定。

接下来，通过公知的喷射方法从成膜喷嘴18朝向下侧、即、朝向所输送的膜2喷射粉体3(喷射工序)。

由此，从送出辊10送出来的膜2在送出辊10和卷取辊14之间的输送方向中途中被粉体3附着(涂敷)。并且，附着有粉体3的膜2被配置于输送方向下游侧的卷取辊14卷取。

另外，在喷射工序中，在送出开口部12处从喷气喷嘴32朝向膜2喷出气体，且在卷取开口部17处从清洁喷嘴31(31a、32b)朝向膜2喷出气体。

由此，在送出开口部12处，来自喷气喷嘴32的气体与膜2的背面碰撞，因此，能够抑制粉体3附着于膜2的背面。其结果，能够防止附着有粉体3的背面与载物台19接触而膜发生变形。

另一方面，在卷取开口部17处，来自两个清洁喷嘴31(31a、32b)的气体与附着有粉体3的膜2的表面以及背面碰撞，因此，附着到膜2上的多余的粉体3被去除。

并且，采用该粉体涂敷装置1，其包括：送出辊10；相对于送出辊10配置于后侧(输送方向下游侧)的卷取辊14；在送出辊10和卷取辊14之间的前后方向中途(输送方向中途)以与膜2相对的方式配置的成膜喷嘴18；用于收容送出辊10的第1壳体9；用于收容卷取辊14的第2壳体13、用于收容成膜喷嘴18、第1壳体9以及第2壳体13的装置用壳体6；将第1壳体9以及第2壳体13各自的内压设定得高于装置用壳体6的内压的压力调整单元16。

因此，能够抑制在相对低压的装置用壳体6的内部飞散的粉体3进入相对高压的第1壳体9以及第2壳体13的内部。其结果，能够防止粉体3附着于第1壳体9以及第2壳体13、驱动送出辊10以及卷取辊14的齿轮、被涂敷了的膜2等。因而，能够降低粉体3的影响。

另外，粉体涂敷装置1具有第1壳体9以及第2壳体13，第1壳体9收容有送出辊10，第2壳体13收容有卷取辊14。

因此，能够自由地调整送出辊10以及卷取辊14之间的相对位置、距离。其结果，能够提高装置设计的自由度。

另外，在粉体涂敷装置1中，使用气体流入管30将气体从装置用壳体6的外部送入第1壳体9以及第2壳体13的内部，来对第1壳体9以及第2壳体13的内压进行调整。

因此，能够简便且切实地将第1壳体9以及第2壳体13的内压设定得高于装置用壳体6的内压。

1－3.变形例

在图1的实施方式中，在卷取开口部17附近具有两个清洁喷嘴31，但是，例如既可以具有1个清洁喷嘴31，还可以不具有清洁喷嘴31，但对此并未图示。

优选的是，粉体涂敷装置1具有两个清洁喷嘴31。由此，能够将附着到膜2上的多余的粉体3切实地去除，能够使被涂敷了的膜2的品质恒定。另外，卷取到卷取辊14上的膜2被清洁喷嘴31自动地去除多余的粉体3，因此，能够在随后的使用中无需针对膜2去除粉体3的工序。

在图1的实施方式中，在送出开口部12附近具有喷气喷嘴32，但例如也可以不具有喷气喷嘴32，但对此并未图示。

优选的是，粉体涂敷装置1具有喷气喷嘴32。由此，能够抑制粉体3附着于膜2的背面。因此，能够防止附着有粉体3的背面与载物台19接触而膜发生变形。

在图1的实施方式中，使气体经由气体流入管30(30a、30b)分别流入第1壳体9以及第2壳体13，从而将第1壳体9的内压以及第2壳体13的内压设定得高于装置用壳体6的内压，但例如也可以是，在装置用壳体6安装真空泵等而将装置用壳体6的内部设为低压，另一方面，经由气体流入管30(30a、30b)分别使第1壳体9以及第2壳体13大气开放，从而将第1壳体9的内压以及第2壳体13的内压设定得高于装置用壳体6的内压，但对此并未图示。

在图1的实施方式中，仅膜2的表面附着有粉体3，但例如，也可以在膜2的两个面(表面以及背面)附着粉体3，但对此并未图示。具体而言，在使粉体3附着于膜2的表面、将膜2完全卷取到卷取辊14之后，对卷取有膜2的卷取辊14和送出辊10进行装卸更换。接下来，以在载物台19的最凸部35处粉体3附着于膜2的背面的方式将膜2从卷取辊14向送出辊10输送。

另外，也可以对载物台19的形状以及位置进行适当调整，进一步使成膜喷嘴以与载物台19相对的方式配置于载物台19的下侧，从而能够将粉体3同时附着于膜2的两个面，但对此并未图示。

在图1以及图3的实施方式中，具有喷射孔的形状以沿着宽度方向延伸的方式形成的1个成膜喷嘴18，但例如，成膜喷嘴18也可以具有沿着宽度方向排列配置的多个成膜喷嘴，但对此并未图示。

在图1的实施方式中，具有4个张紧辊(11a、11b、15a、15b)，但例如，也可以适当地增减张紧辊的数量，但对此并未图示。

2.第2实施方式

参照图2对本发明的粉体涂敷装置的第2实施方式进行说明。

在图2的说明中，对于与图1的实施方式同样的构件，标注相同的附图标记，而省略其详细内容。

另外，在提及粉体涂敷装置的方向时，将图2的纸面上下方向设为“上下方向”(第1方向)，纸面上方是上侧，纸面下方是下侧。另外，将图2的纸面左右方向设为“前后方向”(第2方向、与第1方向正交的方向)，纸面右方向是前侧，图2的纸面左方向是后侧。另外，将图2的纸厚方向设为“宽度方向”(第3方向、与第1方向以及第2方向正交的方向)，纸厚跟前是宽度方向一侧，纸厚方向进深是宽度方向另一侧。对于图3也以图2的方向为基准。

第2实施方式的粉体涂敷装置40具有输送部41以及喷射部5。

输送部41具有装置用壳体6以及收容于装置用壳体6的内部的送出·卷取部42。

送出·卷取部42配置于装置用壳体6的内部的前侧。

送出·卷取部42包括作为辊用腔室的一个例子的辊用壳体43、送出辊10、卷取辊14、第1张紧辊11a、第2张紧辊11b、第3张紧辊15a以及第4张紧辊15b。

辊用壳体43形成为沿着宽度方向延伸的箱型形状(参照图3)，收容有送出辊10、卷取辊14、第1张紧辊11a、第2张紧辊11b、第3张紧辊15a以及第4张紧辊15b。

在辊用壳体43的后壁形成有送出开口部12以及卷取开口部17。送出开口部12在辊用壳体43的后壁的上侧以沿着宽度方向延伸的方式形成。卷取开口部17与送出开口部12隔开间隔并以沿着宽度方向延伸的方式形成于后壁的下侧。

送出辊10配置于辊用壳体43的上侧以及前侧。

卷取辊14配置于辊用壳体43的下侧以及前侧。即、卷取辊14以与送出辊10相对的方式配置于送出辊10的下侧。

第1张紧辊11a配置于送出辊10的后侧。

第2张紧辊11b配置于送出辊10的后侧且第1张紧辊11a的上侧。

第3张紧辊15a配置于卷取辊14的后侧。

第4张紧辊15b配置于卷取辊14的后侧且第3张紧辊15a的上侧。

此外，辊用壳体43具有用于对辊用壳体43的内压进行测定的压力计54。

喷射部5具有成膜喷嘴18、载物台19、喷射装置20以及连结管22。

成膜喷嘴18以与辊用壳体43的后壁隔开间隔并与辊用壳体43的后壁相对的方式配置于后侧。另外，成膜喷嘴18以其上下方向位置位于送出开口部12以及卷取开口部17的上下方向之间的方式配置。成膜喷嘴18的喷射口以朝向前侧的载物台19的方式配置。

载物台19在主视时形成为沿着宽度方向延伸的大致矩形形状，在从宽度方向一侧向另一侧观察的侧视时形成为向后侧凸起的弓型形状(圆弧形状)。载物台19以与成膜喷嘴18隔开间隔并相对的方式配置于前侧。载物台19以其前表面与辊用壳体43的后壁接触的方式配置。详细而言，载物台19配置于送出开口部12以及卷取开口部17的上下方向中途。载物台19的最凸部35最接近成膜喷嘴18的喷射口，在最凸部35处，从成膜喷嘴18喷出的粉体3涂敷于膜2。

此外，载物台19被辊用壳体43支承以及固定。

粉体涂敷装置40包括具有气体流入管30的压力调整单元16。气体流入管30设于辊用壳体43。

气体流入管30以其一端部(流出侧端部)位于辊用壳体43的内部、并且另一端部(流入侧端部)贯通装置用壳体6的前壁以及辊用壳体43的前壁而位于装置用壳体6的外部的方式配置。气体流入管30的一端部在辊用壳体43的内部配置于比卷取辊14靠下侧的位置。

对于使用第2实施方式的粉体涂敷装置40将粉体3附着于膜2的涂敷方法，能够与第1实施方式的粉体涂敷装置1同样地实施。

即，如参照图2那样，将膜2安放于送出·卷取部42。即，与第1实施方式同样地将膜2卷绕于送出辊10，使膜2依次通过第1张紧辊11a、第2张紧辊11b、送出开口部12、载物台19的最凸部35、第3张紧辊15a、第4张紧辊15b以及卷取开口部17，卡定于卷取辊14。

接下来，通过使气体经由气体流入管30流入辊用壳体43，将辊用壳体43的内压设定得高于装置用壳体6的内压(具体而言，除了辊用壳体43所占有的空间之外的空间的压力)。

辊用壳体43的内压例如是10Pa以上，优选的是50Pa以上，更优选的是100Pa以上，另外，例如是80000Pa以下，优选的是10000Pa以下，更优选的是2100Pa以下。

辊用壳体43的内压与装置用壳体6的内压之差例如是10Pa以上，优选的是100Pa以上，另外，例如是10000Pa以下，优选的是1000Pa以下。

另一方面，在将粉体3填充到喷射装置20之后，通过公知的喷射方法从成膜喷嘴18朝向前侧、即、朝向所输送的膜2喷射粉体3。

由此，可获得在表面附着(涂敷)有粉体3的膜2。

并且，采用该粉体涂敷装置40，其包括：送出辊10；相对于送出辊10配置于下侧(输送方向下游侧)的卷取辊14；在送出辊10和卷取辊14之间的上下方向中途(输送方向中途)以与膜2相对的方式配置的成膜喷嘴18；用于收容送出辊10以及卷取辊14的辊用壳体43；用于收容成膜喷嘴18以及辊用壳体43的装置用壳体6；以及将辊用壳体43的内压设定得高于装置用壳体6的内压的压力调整单元16。

因此，能够抑制在相对低压的装置用壳体6的内部飞散的粉体3进入相对高压的辊用壳体43的内部。其结果，能够防止粉体3附着于送出辊10以及卷取辊14、驱动送出辊10以及卷取辊14的齿轮、被涂敷了的膜2等。因而，能够降低粉体3的影响。

另外，该粉体涂敷装置40具有辊用壳体43，辊用壳体43用于收容送出辊10以及卷取辊14。

因此，仅将辊用壳体43的内压设定得高于装置用壳体6的内压即可，因此，能够使装置简便。

另外，在粉体涂敷装置40中，使用气体流入管30将气体从装置用壳体6的外部送入辊用壳体43的内部，对辊用壳体43的内压进行调整。

因此，能够简便且切实地将辊用壳体43的内压设定得高于装置用壳体6的内压。

此外，在图2的实施方式中，不具有清洁喷嘴31，但例如，如参照图1那样，也可以在卷取开口部17附近设置1个或2个以上的清洁喷嘴31。

另外，在图2的实施方式中，不具有喷气喷嘴32，但是，也可以例如如参照图1那样，在送出开口部12附近设置喷气喷嘴32。

在图2的实施方式中，通过使气体经由气体流入管30流入辊用壳体43，将辊用壳体43的内压设定得高于装置用壳体6的内压，但也可以是，例如，在装置用壳体6安装真空泵等而将装置用壳体6的内部设为低压，另一方面，经由气体流入管30使辊用壳体43大气开放，从而将辊用壳体43的内压设定得高于装置用壳体6的内压，但对此并未图示。

在图2的实施方式中，仅在膜2的表面附着有粉体3，但例如，也可以在膜2的两个面(表面以及背面)附着粉体3，但对此并未图示。具体而言，在使粉体3附着于膜2的表面、将膜2完全地卷取在卷取辊14之后，将卷取有膜2的卷取辊14和送出辊10装卸更换。接下来，以在载物台19的最凸部35处粉体3附着于膜2的背面的方式将膜2从卷取辊14向送出辊10输送。

另外，对载物台19的形状以及位置进行适当调整，进一步使成膜喷嘴以与载物台19相对的方式配置于载物台19的前侧，从而能够同时使粉体3附着于膜2的两个面，但对此并未图示。

在图2以及图3的实施方式中，具有以喷射孔的形状沿着宽度方向延伸的方式形成的1个成膜喷嘴18，但例如，成膜喷嘴18也可以具有沿着宽度方向排列配置的多个成膜喷嘴，但对此并未图示。

在图2的实施方式中，具有4个张紧辊(11a、11b、15a、15b)，例如，也可以适当地增减张紧辊的数量，但对此并未图示。

3.基于气溶胶沉积的粉体涂敷装置

使用图4对作为第1实施方式的另一具体例的、使用了气溶胶沉积法的粉体涂敷装置50的本发明的一实施方式进行说明。

对于图4的粉体涂敷装置50，作为喷射装置20，具有气溶胶腔室21以及载气输送装置24。

气溶胶腔室21是储存粉体3的储存槽，具有振动装置29、以及用于对气溶胶腔室21的内压进行测定的压力计(未图示)。

振动装置29是用于使气溶胶腔室21、以及气溶胶腔室21内的粉体3振动的装置，可使用公知的振动器。

另外，气溶胶腔室21与连结管22连接。

连结管22是用于将气溶胶化后的粉体3(以下称为气溶胶)从气溶胶腔室21向装置用壳体6输送的配管，其一端部与气溶胶腔室21连接，其另一端部与成膜喷嘴18连接。

另外，在连结管22的中途夹设有连结管开闭阀23。作为连结管开闭阀23，例如可使用电磁阀等公知的开闭阀。

载气输送装置24具有载气储气瓶25以及气体管26。

载气储气瓶25是储存例如氧气、氦气、氩气、氮气、空气等载气的储气瓶，经由气体管26与气溶胶腔室21连接。

气体管26是用于将载气从载气储气瓶25向气溶胶腔室21输送的配管，其一端部与载气储气瓶25连接，并且另一端部与气溶胶腔室21连接。

另外，在气体管26的中途夹设有气体流量计27。气体流量计27是用于对气体管26内的气体的流量进行调整、并且用于对该流量进行检测的装置，可使用公知的流量计。

而且，在气体管26的中途，在比气体流量计27靠气溶胶腔室21的一侧夹设有气体管开闭阀28。作为气体管开闭阀28，可使用例如电磁阀等公知的开闭阀。

另外，在粉体涂敷装置50中，在装置用壳体6中设置有机械增压泵33和旋转泵34。

机械增压泵33以及旋转泵34对装置用壳体6内进行减压、并且对经由连结管22与装置用壳体6连通的气溶胶腔室21内进行减压，因此，依次与装置用壳体6连接。

为了利用这样的粉体涂敷装置50将粉体3附着于膜2，如上所述，将膜2安放于输送部4，接下来，利用气体流入管30将第1壳体9的内压以及第2壳体13的内压设定得高于装置用壳体6的内压，并输送膜2。

接下来，在粉体涂敷装置50的涂敷方法中，在喷射工序中，实施下述的步骤。

首先，在该工序中，将气体管开闭阀28设为闭，另外，在将连结管开闭阀23设为开的同时驱动机械增压泵33以及旋转泵34，从而对装置用壳体6内以及气溶胶腔室21内进行减压。

装置用壳体6的内压例如是5Pa～80Pa，气溶胶腔室21的内压例如是5Pa～80Pa。

接下来，在该方法中，在气溶胶腔室21内利用振动装置29使粉体3振动，并且将连结管开闭阀23设为闭、将气体管开闭阀28设为开，从载气储气瓶25将载气向气溶胶腔室21供给。由此，使粉体3气溶胶化。之后，将连结管开闭阀23设为开，将产生的气溶胶经由连结管22向成膜喷嘴18输送。此时，气溶胶与成膜喷嘴18的内壁碰撞而破碎，成为粒径更小的粒子。

另外，由气体流量计27调整的载气的流量例如是1L/分以上，优选的是3L/分以上，另外，例如是150L/分以下，优选的是100L/分以下。

接下来，在该方法中，将气溶胶从成膜喷嘴18的喷射口朝向膜2的表面喷射。

气溶胶喷射中的气溶胶腔室21的内压例如是50Pa以上，优选的是1000Pa以上，另外，例如是1atm以下，优选的是50000Pa以下。

此时，气体从气体流入管30向第1壳体9的内部以及第2壳体13的内部供给，第1壳体9的内压以及第2壳体13的内压如上所述那样设定得高于装置用壳体6的内压。

例如，装置用壳体6的内压与第1壳体9的内压或第2壳体13的内压之差分别例如是10Pa以上，优选的是100Pa以上，另外，例如是10000Pa以下，优选的是1000Pa以下。

另外，气溶胶喷射中的气溶胶腔室21内的温度例如为0℃～50℃。

由此，粉体3附着于膜2的表面。

采用该粉体涂敷装置50，利用气溶胶沉积法涂敷粉体3，因此能够在膜2的表面形成致密的粉体层、多孔质的粉体层。尤其是，在使用金属氧化物粒子作为粉体3的情况下，能够容易地形成致密的金属氧化层、多孔质的金属氧化层。

另外，粉体涂敷装置50采用卷对卷方式，因此，与以往的批次式相比较，能够格外高效地制造涂敷有粉体层的膜2。

另外，粉体涂敷装置50能够将第1壳体9的内压以及第2壳体13的内压设定得高于装置用壳体6的内压，能够防止粉体3附着于送出辊10、卷取辊14、驱动送出辊10、卷取辊14的齿轮、被涂敷了的膜2等。因而，能够降低粉体3的影响。

此外，上述说明作为本发明的例示的实施方式而提供，但这只不过是简单的例示，并非限定性地解释。本领域技术人员清楚的本发明的变形例包含于权利要求书中。

产业上的可利用性

本发明的粉体涂敷装置适合用作例如用于使粉体附着于膜的粉体涂敷装置。

附图标记说明

1、粉体涂敷装置；2、膜；3、粉体；6、装置用壳体；9、第1壳体；10、送出辊；13、第2壳体；14、卷取辊；16、压力调整单元；18、成膜喷嘴；30、气体流入管；32、清洁喷嘴；40、粉体涂敷装置；43、辊用壳体；50、粉体涂敷装置。

Claims (4)

1.一种粉体涂敷装置，其用于使粉体附着于膜，其特征在于，

该粉体涂敷装置包括：

送出辊，其用于送出所述膜；

卷取辊，其相对于所述送出辊配置于所述膜的输送方向下游侧，用于卷取所述膜；

喷嘴，其在所述送出辊和所述卷取辊之间的输送方向中途以与所述膜相对的方式配置，用于喷出所述粉体；

1个或2个以上的辊用腔室，其用于收容所述送出辊以及所述卷取辊；

装置用腔室，其用于收容所述喷嘴以及所述辊用腔室；

压力调整单元，其构成为将所述辊用腔室的内压设定得高于所述装置用腔室的内压，

所述压力调整单元具有向所述辊用腔室的内部送入气体的气体送出部。

2.根据权利要求1所述的粉体涂敷装置，其特征在于，

该粉体涂敷装置具有两个辊用腔室，

一个辊用腔室用于收容所述送出辊，

另一辊用腔室用于收容所述卷取辊。

3.根据权利要求1所述的粉体涂敷装置，其特征在于，

该粉体涂敷装置具有1个辊用腔室，

所述1个辊用腔室用于收容所述送出辊以及所述卷取辊。

4.根据权利要求1所述的粉体涂敷装置，其特征在于，

该粉体涂敷装置还具有粉体去除部，该粉体去除部以与所述膜相对的方式配置在所述输送方向上的、所述喷嘴的下游侧且所述卷取辊的上游侧，用于将附着到所述膜的多余的粉体去除。