JP2004288868A - 発光素子駆動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】面発光レーザを光源として用いた画像形成装置用の露光装置では、光学系の制約から光電流が微小となり、また受光器の受光面積が大きくなるため、受光器のレーザ消灯時の逆バイアスリーク電流が光電流に対して無視できない大きさになり、当該リーク電流に起因するオフセットが光量制御を行う上で問題となる。
【解決手段】発光素子１１の消灯時の増幅器１３の出力を基準として発光素子１１の点灯時の増幅器１３の出力を補正する補正回路１５を設けることで、例えば面発光レーザを光源とする露光装置に適用した場合であっても、面発光レーザに起因する受光器１２のリーク電流による誤差（オフセット）と増幅器１３の誤差を確実に補正できるようにする。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、直流電流を流して発光させる発光素子を駆動する発光素子駆動装置に関し、特にレーザゼログラフィーにその光源として用いられるレーザ素子の駆動に用いて好適な発光素子駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
レーザ素子を光源とするレーザゼログラフィーの分野では、より高解像度化、より高速化の要求が強くなってきている。入力画像データに応じてレーザ素子の駆動をオン／オフ制御する速度（以下、変調速度と記す）には限度がある。レーザ光のビーム数を１本とした場合には、主走査方向の解像度のみならず、副走査方向の解像度をも上げようとすると、変調速度が犠牲にならざるを得ない。したがって、変調速度を上げずに副走査方向の解像度を上げるためには、レーザ光のビーム数を増すしかない。レーザ光のビーム数を例えば４本にした場合は、変調速度が１本の場合と同じと仮定すると、主走査・副走査方向の解像度を２倍に向上できる。
【０００３】
レーザゼログラフィーにその光源として用いられる半導体レーザは、レーザ光が活性層と平行な方向に取り出される構造の端面発光型レーザ素子（以下、端面発光レーザと記す）と、レーザ光が活性層に垂直な方向に取り出される構造の面発光型レーザ素子（以下、面発光レーザと記す）とに大別される。従来、レーザゼログラフィーでは、一般的に、レーザ光源として端面発光レーザが用いられていた。
【０００４】
しかしながら、レーザ光のビーム数を増やすという観点からすると、端面発光レーザは技術的に難しいとされており、構造上、端面発光レーザよりも面発光レーザの方がレーザ光のビーム数を増やすのに有利である。このような理由から、近年、レーザゼログラフィーの分野において、より高解像度化、より高速化の要求に応えるために、レーザ光源として、多数のレーザ光ビームを出射可能な面発光レーザを用いた装置の開発が進められている。
【０００５】
ところで、半導体レーザの駆動装置では、当該半導体レーザの光量を受光器で検出し、その検出光量に基づいて自動的に光量制御を行う自動光量制御回路が用いられる。この光量制御に当たっては、面発光レーザの場合、レーザ光を活性層に垂直な方向に出射するという構造上の制約から、ハーフミラーを含む光学系によって出射光の一部を分離し、この分離した光をモニター光として受光器に入射させることによって面発光レーザの光量を検出する構成が採られている。
【０００６】
このように、面発光レーザ、光学系および受光器の各素子がアセンブリされた構成となっていると素子相互の位置精度が悪いため、モニター光を確実に受光するには受光器の受光面積が大きくなってしまう。しかも、面発光レーザと受光器との間にハーフミラーを含む光学系が介在するなどの理由によって受光器の出力電流（光電流）自体が非常に小さく、端面発光レーザの受光電流が１００μＡ程度であるのに対して数μＡ程度の微小な電流である。
【０００７】
上述したように、面発光レーザを光源として用いた画像形成装置用の露光装置では、光学系の制約から光電流が微小となり、また受光器の受光面積が大きくなるため、受光器のレーザ消灯時の逆バイアスリーク電流が光電流に対して無視できない大きさになり、当該リーク電流に起因するオフセットが光量制御を行う上で問題となる。したがって、光量制御を行う制御回路において、基準光量に対する面発光レーザの発光光量の誤差分を検出するに当たってリーク電流に起因するオフセットをキャンセルする必要がある。
【０００８】
オフセットキャンセル回路としては、従来、差動増幅回路を２個縦列接続し、初段の差動増幅回路と次段の差動増幅回路との間に一対のカップリング・コンデンサとこれらのコンデンサを充電するための一対のスイッチとからなるオフセット充電回路を設け、初段の差動増幅回路の入力をショートし、オフセットによる２つの出力電圧差をそれぞれ一対のカップリング・コンデンサに充電することによって差動増幅回路のオフセットを補正するようにした構成のものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００９】
かかる構成のオフセットキャンセル回路では、初段の差動増幅回路の入力をショートするのと同時にその両出力間を短絡し、一対のカップリング・コンデンサの差電圧が０になるようにすることにより、当該コンデンサの充電時間の短縮化を図っている。
【００１０】
【特許文献１】
特開平６−８５５６２号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術に係るオフセットキャンセル回路では、初段の差動増幅回路の入力をショートするのと同時にカップリング・コンデンサの次段の差動増幅回路側端子を接地することで、初段の差動増幅回路の出力が収束値と異なる電圧値から収束し始めるようにしているので、繰り返してオフセットの補正を行う場合、初段の差動増幅回路の両出力間を短絡する、短絡しないにかかわらず、カップリング・コンデンサの充電電圧は充電を行う度に一度収束値から大きく変動し収束していくことになる。
【００１２】
したがって、特に多数のレーザ光ビームを出射可能な面発光レーザ（マルチビームレーザ）の光量制御では、レーザ光ビームの各々の光量制御に際してオフセット補正をする度に収束していくまでの時間が必要となるため、充電時間短縮の効果が十分に得られないことになる。しかも、基本的に、光量制御用の差動増幅回路のオフセットだけを補正するものであるため、当該オフセットキャンセル回路を面発光レーザの光量制御回路に用いても、受光器のリーク電流に起因するオフセットを補正することはできない。
【００１３】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、光量制御の回路系において、受光器のリーク電流に起因する誤差（オフセット）と増幅器の誤差とを補正して高精度な光量制御を可能とした発光素子駆動装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発光素子駆動装置は、発光素子から発せられる光を受光する受光手段と、前記受光手段から出力される光電流を増幅する第１の増幅手段と、前記発光素子の消灯時の前記第１の増幅手段の出力を基準として前記発光素子の光量を設定する基準値を補正する補正手段と、前記発光素子の点灯時の前記第１の増幅手段の出力の、前記補正手段で補正された基準値に対する差分を検出する差分検出手段と、前記差分検出手段の検出出力に基づいて前記発光素子の光量が目標光量になるように当該発光素子駆動する駆動手段とを備える構成となっている。
【００１５】
上記構成の発光素子駆動装置において、発光素子の消灯時の増幅手段の出力を基準として光量を設定する基準値を補正することにより、例えば面発光レーザを光源とする露光装置に適用した場合であっても、面発光レーザに起因する受光手段のリーク電流による誤差（オフセット）と増幅手段の誤差とを確実に補正できる。これにより、高精度の光量制御を実現できる。
【００１６】
請求項２記載の発光素子駆動装置は、請求項１記載の発光素子駆動装置において、前記補正手段は、コンデンサと、前記発光素子の消灯時に前記第１の増幅手段の出力に応じた電圧を前記コンデンサに充電する経路を形成する第１の回路系と、前記発光素子の点灯時に基準値に応じた電圧から前記コンデンサの充電電圧を差し引く経路を形成する第２の回路系とを有する構成となっている。かかる構成の発光素子駆動装置において、第１の回路系と第２の回路系とを切り替えるだけで発光素子の消灯時に増幅手段の出力を基準として発光素子の点灯時の光量を設定する基準値を補正できる。したがって、簡単な回路構成によって受光手段のリーク電流による誤差と増幅手段の誤差を補正できる。
【００１７】
請求項３記載の発光素子駆動装置は、請求項２記載の発光素子駆動装置において、前記差分検出手段が差動増幅器で構成されており、前記補正手段は、光量制御時に、前記第１の増幅手段が消灯時の出力に応じた電圧を出力する時、前記発光素子に発光閾値電流を供給する制御電圧を前記差動増幅器が出力するように、補正電圧をコンデンサに充電する経路を形成する第３の回路系を有する構成になっている。
【００１８】
上記構成の発光素子駆動装置において、目標光量を０に設定し前記第１の増幅手段が消灯時の出力に応じた電圧を出力するのを検知して光量制御を行った時に、発光素子に発光閾値電流と等しい電流を供給する制御電圧を差動増幅器が駆動回路に出力するように、差動増幅器の非反転入力端子と反転入力端子間の誤差電圧をコンデンサに充電し補正することにより、面発光レーザに起因する受光手段のリーク電流による誤差と増幅手段の誤差を補正することにできることに加えて、差動増幅器のオフセットについても補正できる。したがって、より高精度の光量制御を実現できる。
【００１９】
請求項４記載の発光素子駆動装置は、請求項２または請求項３記載の発光素子駆動装置において、前記補正手段は、光量制御時以外は前記コンデンサの両端をオープン状態にする構成となっている。かかる構成の発光素子駆動装置において、光量制御終了後、コンデンサの両端をオープン状態にしておくことで、コンデンサの充電電圧がリークして変動するのを防止できる。これにより、次回補正時までの充電電圧のリークによる変動を最小限に抑えることができ、収束時間を短縮できる。
【００２０】
請求項５記載の発光素子駆動装置は、請求項２または請求項３の発光素子駆動装置において、前記補正手段は、補正時に前記差動増幅器の出力電圧によって前記コンデンサを充電する場合において、前記差動増幅器の出力電圧が収束するまでの一定時間が経過した後に前記差動増幅器の出力電圧を前記コンデンサに供給する経路を形成する構成となっている。かかる構成の発光素子駆動装置において、差動増幅器の出力電圧が収束した後差動増幅器の出力電圧をコンデンサに供給する経路を形成することで、コンデンサの充電時に充電電圧の変動を小さく抑えることができ、よって収束時間を短縮できる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。以下に説明する各実施形態では、例えば半導体レーザ、特に内部抵抗が大きいＧａＮ系青色レーザやシングルモード面発光レーザを駆動対象の発光素子として用いるものとする。
【００２２】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る発光素子駆動装置の構成を示す回路図である。図１から明らかなように、本実施形態に係る発光素子駆動装置は、発光素子１１を駆動制御するために、受光器１２、増幅器１３、基準電流供給回路１４Ａ、補正回路１５Ａ、差分検出回路１６および駆動回路１７を少なくとも有する構成となっている。ここでは、発光素子１１の発光光量を目標光量になるように自動的に制御する光量制御回路の回路系の構成について示している。
【００２３】
受光器１２は例えばフォトダイオードからなり、発光素子１１から発せられる光ビームを受光し、その光量に応じた光電流Ｉｐｄを出力する。ここで、発光素子１１が面発光レーザである場合、先述したように、光学系の制約から受光器１２の受光面積が大きくなるため、受光器１２の寄生容量（主に、フォトダイオードの空乏層容量）Ｃｏが非常に大きくなってしまう。
【００２４】
このように、受光器１２の寄生容量Ｃｏが大きいと、光量制御の収束時間が長くなる。光量制御の収束時間を短くするために、低い抵抗値で電流−電圧変換を行うと、受光器１２から出力される光電流Ｉｐｄが微小であるため十分な光量検出電圧が得られず、光量制御のための十分なゲインを確保することができない。増幅器１３は、このゲイン不足を補うために設けられたものであり、受光器１２から出力される光電流Ｉｐｄを増幅して負荷１８−１に流す。
【００２５】
ここで、上記ゲイン不足を解消する有効な方法の一つとして、カレントミラー回路でインピータンス変換して高インピータンスにしてから十分な出力電圧が得られる抵抗値で電流−電圧変換を行う方法が挙げられる。この方法によれば、光電流Ｉｐｄを増幅する場合にもカレントミラーの比率で増幅度を安定に設定できる。しかし、カレントミラー回路には、微小電流の場合は応答性が悪くなるという問題がある。
【００２６】
カレントミラー回路にバイアス電流を流すことで高速化することも可能であるが、増幅した電流値を得るにはバイアス電流を加え、その後バイアス電流分を差し引く必要がある。しかし、バイアス電流分を差し引くことで、出力電位が後段との関係で決定されるため吸い込み電流がずれ、バイアス電流が大きいほどその誤差は拡大してしまい、光量制御の精度を悪化させる懸念がある。
【００２７】
このような観点からすると、発光素子１１として例えば面発光レーザを用いた発光素子駆動装置における光量制御では、カレントミラー回路よりも増幅器１３の方がゲイン不足を解消するための有効な手段と言える。増幅器１３の具体的な構成の一例を図２に示す。
【００２８】
増幅器１３は、低い入力側インピーダンスをそれよりも高い出力側インピーダンスに変換するインピーダンス変換回路１３１をその入力段に有する。このインピーダンス変換回路１３１は、ゲートとドレインが共通に接続され、ソースが接地されたＮｃｈＭＯＳトランジスタＱ１１と、このＭＯＳトランジスタＱ１１のゲート・ドレインにゲートが共通に接続され、ソースが接地されたＮｃｈＭＯＳトランジスタＱ１２とからなるカレントミラー回路によって構成されている。
【００２９】
このカレントミラー回路構成のインピーダンス変換回路１３１では、トランジスタＱ１１のドレインに流れ込む光電流Ｉｐｄに応じた電流がトランジスタＱ１２のドレインに流れることになる。本回路例に係る増幅部１４はさらに、電源ＶＤＤとトランジスタＱ１１のドレイン・ゲート共通接続点との間に接続されたバイアス電流源１３２を有している。このバイアス電流源１３２は、トランジスタＱ１１のドレインに流れ込む光電流Ｉｐｄに対して、バイアス電圧Ｖ２によって設定されるバイアス電流Ｉｂｉａｓを重畳する。
【００３０】
インピーダンス変換回路１３１の後段には、折り返し回路１３３が設けられている。この折り返し回路１３３は、ソースが電源ＶＤＤに接続され、ゲートおよびドレインがトランジスタＱ１２のドレインに共通に接続されたＰｃｈＭＯＳトランジスタＱ１３と、このＭＯＳトランジスタＱ１３のゲート・ドレインにゲートが共通に接続され、ソースが電源ＶＤＤに接続されたＰｃｈＭＯＳトランジスタＱ１４とからなるカレントミラー回路によって構成されている。
【００３１】
ＭＯＳトランジスタＱ１４のドレインとグランドＧＮＤとの間には、バイアス電流源１３２のバイアス電流Ｉｂｉａｓと等しい電流値を吸い込む電流源１３４が接続されている。この電流源１３４は、折り返し回路１３３の出力電流から、増幅器１３の入力段でバイアス電流源１３２によって重畳されたバイアス電流Ｉｂｉａｓと等しい電流値の電流を差し引いて、残りの電流を増幅器１３の出力電流とする。
【００３２】
基準電流供給回路１４Ａは、発光素子１１の目標光量（規定光量）に対応して設定される直流電圧Ｖ１に応じた電流値の基準電流Ｉ１を流す電流源１４１を有しており、この電流源１４１で生成された基準電流Ｉ１を負荷１８−２に流す。補正回路１５Ａは、受光器１２の消灯時逆バイアスリーク電流による誤差（オフセット）と増幅器１３の誤差を補正する。この補正回路１５の具体的な回路構成の説明については後述する。
【００３３】
ここで、負荷１８（１８−１，１８−２）の具体的な構成の一例について図３を用いて説明する。
【００３４】
負荷１８は、抵抗値が異なる例えば２つの抵抗Ｒａ，Ｒｂを有している。抵抗Ｒａ，Ｒｂの各一端は共通に接続されて接地（ＧＮＤ）されている。抵抗Ｒａ，Ｒｂの各他端には、スイッチＳＷＡａ，ＳＷｂの各一端が接続されている。ＳＷＡａ，ＳＷｂの各他端は共通に接続され、差動アンプ１６１の反転入力端子／非反転入力端子に接続される。スイッチＳＷＡａ，ＳＷｂは一方がオン状態のとき他方がオフ状態になる。
【００３５】
上記構成の負荷１８、例えば負荷１８−１は、インピーダンス変換回路１３１でインピーダンス変換された光電流Ｉｐｄを電圧変換することによって光量検出電圧Ｖｄｅｔを得る。この電圧変換の際、スイッチＳＷＡａ，ＳＷｂによって抵抗Ｒａ，Ｒｂを切り替えることで負荷１８の抵抗値を変えることにより、ゲインの調整が可能である。このように、負荷１８の抵抗値を可変とすることにより、発光素子１１−１，１１−２の発光効率や受光器１２へ入射する光量の割合によって適正なゲインが変わった場合には、負荷１８（１８−１，１８−２）の抵抗値を調整することにより、光量制御の精度と収束性を両立できる最適なゲインを選択することができる。
【００３６】
差分検出回路１６は、差動アンプ１６１およびサンプルホールド回路１６２を有する構成となっている。差動アンプ１６１は、負荷１８−２の端子に基準電流Ｉ１に応じて発生する基準電圧Ｖｒｅｆを非反転（＋）入力とし、負荷１８−１の端子に光電流Ｉｐｄに応じて発生する光量検出電圧Ｖｄｅｔを反転（−）入力とし、基準電圧Ｖｒｅｆに対する光量検出電圧Ｖｄｅｔの差分に応じた誤差電圧を光量制御電圧として出力する。ここで、発光素子１１が目標光量で発光しているときは、当該目標光量に対応して設定されている基準電流Ｉ１と等しい電流値の光電流Ｉｐｄが受光器１２から出力され、光量検出電圧Ｖｄｅｔが基準電圧Ｖｒｅｆに一致するため誤差電圧は０となる。
【００３７】
サンプルホールド回路１６２は、一端が差動アンプ１６１の出力端子に接続されたスイッチＳＷ１と、このスイッチＳＷ１の他端とグランドの間に接続されたコンデンサＣ１とから構成されている。このサンプルホールド回路１６２において、発光素子１１の駆動時にスイッチＳＷ１がオン（閉）状態になることで、差動アンプ１６１で検出された誤差電圧がコンデンサＣ１にホールドされる。駆動回路１７は、コンデンサＣ１のホールド電圧に応じて発光素子１１を駆動する。駆動回路１７と発光素子１１の間には、発光素子１１の光量制御を行うタイミングでオン状態になるスイッチＳＷ２が設けられている。
【００３８】
図４は、第１実施形態に係る発光素子駆動装置の具体的な回路例を示す回路図である。ここでは、発光素子１１を半導体レーザＬＤとし、受光器１２をフォトダイオードＰＤとして説明するものとする。図１と図４の対応関係においては、図１の駆動回路１７が、図４の駆動電流制御回路１７Ａおよび駆動電圧制御回路１７Ｂに対応している。
【００３９】
駆動電流制御回路１７Ａは、アナログインバータ１１１、リミット電圧発生回路１１２、比較器１１３、電流源１１４、コンデンサＣ５１およびスイッチＳＷ５１，ＳＷ５２，ＳＷ５３によって構成されている。この駆動電流制御回路１７Ａでは、半導体レーザＬＤの発光光量が規定光量（目標光量）となるように当該半導体レーザＬＤの駆動電流の制御が行われる。この駆動電流制御回路１７Ａには、差分検出回路１６で検出される誤差電圧が駆動電圧制御回路１７Ｂを介して光量制御電圧Ｖｃｏｎｔとして供給される。
【００４０】
この光量制御電圧Ｖｃｏｎｔは、スイッチＳＷ５１を経由し、アナログインバータ１１１で反転されてスイッチＳＷ５１の入力側の端子に与えられる。コンデンサＣ５１は、電源ＶＤＤとスイッチＳＷ５１の出力側の端子との間に接続されることによって当該スイッチＳＷ５１と共にサンプルホールド回路を構成している。このサンプルホールド回路は、アナログインバータ１１１で反転されて与えられる光量制御電圧Ｖｃｏｎｔをサンプルホールドする。
【００４１】
リミット電圧発生回路１１２、比較器１１３およびスイッチＳＷ５２は、半導体レーザＬＤに流れる駆動電流を制限するための電流制限回路（リミッター）を構成している。リミット電圧発生回路１１２は、半導体レーザＬＤに流れる駆動電流を制限するリミット電流に対応するリミット電圧Ｖｌｉｍを発生する。比較器１１３は、リミット電圧発生回路１１２で発生されるリミット電圧Ｖｌｉｍを反転（−）入力とし、アナログインバータ１１１およびスイッチＳＷ１１を通して与えられる光量制御電圧Ｖｃｏｎｔを非反転（＋）入力としており、光量制御電圧Ｖｃｏｎｔがリミット電圧Ｖｌｉｍを上回ったときに比較出力が反転する。
【００４２】
スイッチＳＷ５２は、アナログインバータ１１１およびスイッチＳＷ５１を通して与えられる光量制御電圧Ｖｃｏｎｔを一方の入力とし、リミット電圧発生回路１１２で発生されるリミット電圧Ｖｌｉｍを他方の入力としており、通常の光量制御時には光量制御電圧Ｖｃｏｎｔを選択し、比較器１１３の比較出力が反転したときには、当該比較出力の反転に応答して光量制御電圧Ｖｃｏｎｔに代えてリミット電圧Ｖｌｉｍを選択する。
【００４３】
スイッチＳＷ５２によって選択される光量制御電圧Ｖｃｏｎｔまたはリミット電圧Ｖｌｉｍは、電流源１１４にその制御電圧として与えられる。電流源１１４はその一端が電源ＶＤＤに接続されている。スイッチＳＷ５３は、一端が電流源１１４の他端に、他端が半導体レーザＬＤのアノード（駆動端）にそれぞれ接続されている。
【００４４】
かかる構成の駆動電流制御回路１７Ａにおいて、光量制御電圧Ｖｃｏｎｔは、インバータ１１１で反転された後、スイッチＳＷ５１およびコンデンサＣ５１からなるサンプルホールド回路によってサンプルホールドされる。このサンプルホールドされた光量制御電圧Ｖｃｏｎｔは、スイッチＳＷ５２によって選択されることにより、電流源１１４にその制御電圧として与えられ、電流源１１４からスイッチＳＷ５３を通して半導体レーザＬＤに供給される駆動電流を制御する。
【００４５】
これにより、駆動電流制御回路１７Ａでは、半導体レーザＬＤの光量が差分検出回路１６の基準電圧Ｖｒｅｆで決まる規定光量（目標光量）となるように、当該半導体レーザＬＤの駆動電流の制御が行われる。これが、半導体レーザＬＤのレーザパワーを、基準電圧Ｖｒｅｆで規定されるパワーになるように制御するＡＰＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｐｏｗｅｒ Ｃｏｎｔｒｏｌ；自動光量制御）である。
【００４６】
サンプルホールド後の光量制御電圧Ｖｃｏｎｔはさらに、比較器１１３において、リミット電圧発生回路１１２で発生されるリミット電圧Ｖｌｉｍと比較される。比較器１１３は、光量制御電圧Ｖｃｏｎｔがリミット電圧Ｖｌｉｍを上回るとき比較出力が反転し、スイッチＳＷ５２を切り替え制御する。これにより、スイッチＳＷ５２は、それまで選択していた光量制御電圧Ｖｃｏｎｔに代えてリミット電圧Ｖｌｉｍを選択して、半導体レーザＬＤにその制御電圧として与える。その結果、駆動電流制御回路１７Ａにおいては、半導体レーザＬＤに流れる駆動電流が、リミット電圧Ｖｌｉｍに対応した一定のリミット電流になるように電流制限が行われる。
【００４７】
駆動電圧制御回路１７Ｂは、差動アンプ１２１、４つのスイッチＳＷ５４〜ＳＷ５７およびコンデンサＣ５２によって構成されている。この駆動電圧制御回路１７Ｂでは、駆動電流制御回路１１によって規定光量に制御されているときの半導体レーザＬＤの端子電圧を基に、点灯時に当該半導体レーザＬＤに印加する駆動電圧の制御が行われる。
【００４８】
差動アンプ１２１は、差分検出回路１６の出力電圧を非反転入力としており、反転入力端子と出力端子がスイッチＳＷ５７によってショートされた場合にバッファとして動作するようになっている。スイッチＳＷ５４は、その一端が差動アンプ１２１の出力端子に接続されている。コンデンサＣ５２は、スイッチＳＷ５４の他端とグランドとの間に接続されることによって当該スイッチＳＷ５４と共にサンプルホールド回路を構成している。
【００４９】
スイッチＳＷ５５は、一端がスイッチＳＷ５４の他端に、他端が半導体レーザＬＤのアノードにそれぞれ接続されている。スイッチＳＷ５６は、一端がスイッチＳＷ５５の他端および半導体レーザＬＤのアノードに、他端が差動アンプ１２１の反転入力端子にそれぞれ接続されている。
【００５０】
かかる構成の駆動電圧制御回路１２において、半導体レーザＬＤの駆動電流の制御時、即ちＡＰＣ時（光量制御時）には、スイッチＳＷ５４，ＳＷ５５，ＳＷ５７が共にオフ状態、スイッチＳＷ２４がオン状態になる。すると、差分検出回路１６で検出される誤差電圧が差動アンプ１２１およびスイッチＳＷ５６を経由して半導体レーザＬＤに印加され、フィードバックループが形成される。
【００５１】
また、光量制御後の半導体レーザＬＤの変調時には、スイッチＳＷ５４，ＳＷ５７が共にオン状態、スイッチＳＷ５５，ＳＷ５６が共にオフ状態になる。すると、差動アンプ１２１の出力電圧、即ち光量制御終了時の半導体レーザＬＤの端子電圧がコンデンサＣ５２にホールドされる。そして、コンデンサＣ５２のホールド電圧は、半導体レーザＬＤの点灯時に、スイッチＳＷ５５がオンすることにより、当該スイッチＳＷ５５を介して半導体レーザＬＤの駆動端（アノード）にその駆動電圧として印加される。
【００５２】
上述した駆動電流制御回路１７Ａおよび駆動電圧制御回路１７Ｂからなる駆動回路１７において、スイッチＳＷ５３，ＳＷ５５，ＳＷ５６が、図１のスイッチＳＷ２に対応している。
【００５３】
差分検出回路１６は、図１の場合と同様に、差動アンプ１６１およびサンプルホールド回路１６２によって構成され、光量検出電圧Ｖｄｅｔの基準電圧Ｖｒｅｆに対する差分（誤差電圧）を検出する。ただし、差動アンプ１４１の反転入力端子と出力端子との間には、スイッチＳＷ５８およびコンデンサＣ５３が直列に接続されている。サンプルホールド回路１６２を構成するスイッチＳＷ５９およびコンデンサ５４は、図１のスイッチＳＷ１およびコンデンサＣ１にそれぞれ対応している。
【００５４】
かかる構成の差分検出回路１６において、差動アンプ１６１は、半導体レーザＬＤの光量に応じた光量検出電圧Ｖｄｅｔを、半導体レーザＬＤの目標光量に対応して設定されている基準電圧Ｖｒｅｆと比較してその差分、即ち誤差電圧を出力する。差動アンプ１６１の出力電圧（誤差電圧）は、サンプルホールド回路１６２に与えられ、光量制御時にスイッチＳＷ５９がオンすることによってコンデンサ５４にホールドされる。
【００５５】
次に、上記構成の第１実施形態に係る発光素子駆動装置の回路動作について説明する。
【００５６】
まず、補正回路１５Ａによる誤差補正時には、スイッチＳＷ１，ＳＷ２が共にオフ（開）状態になり、発光素子１１は消灯状態になる。この発光素子１１の消灯時に受光器１２から出力される電流は消灯時逆バイアスリーク電流である。この消灯時逆バイアスリーク電流は、増幅器１３で増幅され、負荷１８−１で電圧に変換されて補正回路１５Ａに供給される。補正回路１５Ａは、消灯時逆バイアスリーク電流に応じた電圧を検出し、光量制御時に検出した電圧を基に当該リーク電流に起因する誤差の補正を行う。この誤差補正に関する具体的な動作については後述する。
【００５７】
光量制御時には、スイッチＳＷ１，ＳＷ２が共にオン状態になる。受光器１２からは、発光素子１１の光量に応じた光電流Ｉｐｄが出力される。この光電流Ｉｐｄは、増幅器１３で増幅された後負荷１８−１に流れ込む。すると、負荷１８−１には光電流Ｉｐｄに応じた光量検出電圧Ｖｄｅｔが発生し、差動アンプ１６１の反転入力となる。また、基準電流供給回路１４Ａから出力される基準電流Ｉ１が負荷１８−２に流れ込む。これにより、負荷１８−２には基準電流Ｉ１に応じた基準電圧Ｖｒｅｆが発生し、補正回路１５を介して差動アンプ１６１の非反転入力となる。
【００５８】
差動アンプ１６１からは、基準電圧Ｖｒｅｆに対する光量検出電圧Ｖｄｅｔの誤差電圧が光量制御電圧として出力される。この光量制御電圧は、スイッチＳＷ１がオンするタイミングでコンデンサＣ１にホールドされる。駆動回路１７は、コンデンサＣ１のホールド電圧に基づいて、発光素子１１の光量が目標光量になるように当該発光素子１１を駆動する。この一連の光量制御により、発光素子１１の光量が目標光量に収束する。
【００５９】
次に、第１実施形態に係る発光素子駆動装置における補正回路１５Ａの具体的な回路例およびその誤差補正のための回路動作について説明する。
【００６０】
補正回路１５Ａは、３つのスイッチＳＷ１１，ＳＷ１２，ＳＷ１３およびコンデンサＣ１１によって構成されている。スイッチＳＷ１１，ＳＷ１２は２つの固定端子ａ，ｂを持っている。スイッチＳＷ１１の一方の端子ａは負荷１８−１の端子に接続され、他方の端子ｂは差動アンプ１６１の非反転入力端子に接続されている。スイッチＳＷ１２の一方の端子ａは接地され、他方の端子ｂは負荷１８−２の端子に接続されている。スイッチＳＷ１３は、負荷１８−２と差動アンプ１６１の非反転入力端子の間に接続されている。コンデンサＣ１１は、スイッチＳＷ１１，ＳＷ１２の各可動端子ｃの間に接続されている。
【００６１】
次に、上記構成の補正回路１５Ａにおける誤差補正のための回路動作について説明する。ここでは、基準電流をＩ１、負荷１８−１，１８−２の各抵抗値をＲ１、増幅器１３のゲインをＧ、増幅器１３の出力誤差電流をΔＩｇ、受光器１２の消灯時逆バイアスリーク電流をＩｌｅａｋ、受光器１２から出力される光電流をＩｐｄとして説明する。
【００６２】
まず、発光素子１１の消灯時の受光器１２の出力を増幅した電圧を検知するときは、スイッチＳＷ１１は端子ａ側、即ち増幅器１３側に切り替わり、スイッチＳＷ１２もａ側、即ちＧＮＤ側に切り替わり、スイッチＳＷ１３はオン状態となる。これにより、負荷１８−１→スイッチＳＷ１１→コンデンサＣ１１→スイッチＳＷ１２→ＧＮＤの充電経路が形成され、負荷１８−１の端子電圧によってコンデンサＣ１１が充電される。
【００６３】
このとき、負荷１８−１には、リーク電流Ｉｌｅａｋを増幅した電流と増幅器１３の出力誤差電流をΔＩｇが流れ込むことになるため、負荷１８−１の端子電圧Ｖａは、
Ｖａ＝（Ｉｌｅａｋ×Ｇ＋ΔＩｇ）×Ｒ１
となる。そして、このときの負荷１８−１の電圧ＶａによってコンデンサＣ１１の充電が行われる。
【００６４】
誤差補正を行う光量制御時には、スイッチＳＷ１１は端子ｂ側、即ち差動アンプ１６１の非反転入力端子側に接続され、スイッチＳＷ１２も端子ｂ側、即ち負荷１８−２側に接続され、スイッチＳＷ１３はオフ状態になる。これにより、負荷１８−２の端子にコンデンサＣ１１の負側（ＧＮＤ側）端子が接続され、コンデンサＣ１１の正側端子が差動アンプ１６１の非反転入力端子に接続された経路が形成される。
【００６５】
このとき、差動アンプ１６１の入力誤差が０、即ち基準電圧Ｖｒｅｆに対する光量検出電圧Ｖｄｅｔの誤差が０だとすると、
Ｉ１×Ｒ１＝（Ｉｄｐ×Ｇ＋Ｉｌｅａｋ×Ｇ＋ΔＩｇ）×Ｒ１−（Ｉｌｅａｋ×Ｇ＋ΔＩｇ）×Ｒ１
より、
Ｉｐｄ＝Ｉ１／Ｇ
となる。すなわち、光電流Ｉｄｐは、消灯時の受光器１２の出力電流Ｉｌｅａｋを基準とし、増幅器１３の誤差電流ΔＩｇを補正しながら、光量制御時に設定した基準電流Ｉ１に基づいて設定される。
【００６６】
上述したように、第１実施形態に係る発光素子駆動装置では、補正回路１５において、発光素子１１の消灯時の増幅器１３の出力を基準として基準値の出力を補正し、発光素子１１の点灯時の増幅器１３の出力を検知して光量制御を実施することにより、例えば面発光レーザを光源とする露光装置に適用した場合であっても、面発光レーザに起因する受光器１２のリーク電流による誤差（オフセット）と増幅器１３の誤差を確実に補正することができるため高精度の光量制御を実現できる。
【００６７】
特に、補正回路１５が、コンデンサＣ１１と、発光素子１１の消灯時に増幅器１３の出力に応じた電圧、即ち負荷１８の端子電圧をコンデンサＣ１１に充電する経路を形成する回路系（スイッチＳＷ１１，ＳＷ１２が端子ａ側に切り替わったときの回路系）と、発光素子１１の点灯時に増幅器１３の出力に応じた電圧からコンデンサＣ１１の充電電圧を差し引く経路を形成する回路系（スイッチＳＷ１１，ＳＷ１２が端子ｂ側に切り替わったときの回路系）とを有する回路構成となっていることで、回路系を切り替えるだけで発光素子１１の消灯時に増幅器１３の出力を基準として基準値の出力を補正して、発光素子１１の点灯時の増幅器１３の出力を検知して光量制御を実施することができるため、簡単な回路構成によって受光器１２のリーク電流による誤差と増幅器１３の誤差を補正することができる。
【００６８】
［第２実施形態］
図５は、本発明の第２実施形態に係る発光素子駆動装置の構成を示す回路図であり、図中、図１と同等部分には同一符号を付して示している。
【００６９】
本実施形態に係る発光素子駆動装置では、光電流Ｉｐｄが流れる負荷１８−１側の増幅器１３−１と相似の構成の増幅器１３−２を負荷１８−２側にも有するとともに、基準電流供給回路１４Ｂおよび補正回路１５Ｂが、第１実施形態に係る発光素子駆動装置の基準電流供給回路１４Ａおよび補正回路１５Ａと構成が若干相違している。また、差分検出回路１６のサンプルホールド回路１６２において、スイッチＳＷ１′が２つの端子ａ，ｂを有し、コンデンサＣ１が一方の端子ａとＧＮＤとの間に接続され、他方の端子ｂが差動アンプ１６１の反転入力端子に接続されている。そして、スイッチＳＷ１′は、光量制御時に端子ａ側に切り替わり、それ以外では端子ｂ側に切り替わることになる。
【００７０】
図６に、増幅器１３−１，１３−２の具体的な構成の一例を示す。増幅器１３−１は図１の増幅器１３に相当し、したがって図２と同じ構成となっている。増幅器１３−２は、上述したように、増幅器１３−１と相似の構成となっている。すなわち、増幅器１３−２は、インピーダンス変換回路２２１、バイアス電流源２２、折り返し回路２２３および電流源２２４を有する構成となっている。
【００７１】
増幅器１３−２において、インピーダンス変換回路２２１は、ゲートとドレインが共通に接続され、ソースが接地されたＮｃｈＭＯＳトランジスタＱ１５と、このＭＯＳトランジスタＱ１５のゲート・ドレインにゲートが共通に接続され、ソースが接地されたＮｃｈＭＯＳトランジスタＱ１６とからなるカレントミラー回路によって構成されている。
【００７２】
バイアス電流源２２２は、電源ＶＤＤとトランジスタＱ１５のドレイン・ゲート共通接続点との間に接続されている。折り返し回路２２３は、ソースが電源ＶＤＤに接続され、ゲートおよびドレインがトランジスタＱ１６のドレインに共通に接続されたＰｃｈＭＯＳトランジスタＱ１７と、このＭＯＳトランジスタＱ１７のゲート・ドレインにゲートが共通に接続され、ソースが電源ＶＤＤに接続されたＰｃｈＭＯＳトランジスタＱ１８とからなるカレントミラー回路によって構成されている。
【００７３】
電流源２２２４は、ＭＯＳトランジスタＱ１８のドレインとグランドＧＮＤとの間には接続され、折り返し回路２２３の出力電流から、増幅器１３−２の入力段でバイアス電流源２２２によって重畳されたバイアス電流Ｉｂｉａｓと等しい電流値の電流を差し引いて、残りの電流を増幅器１３−２の出力電流とする。
【００７４】
基準電流供給回路１４Ｂは、基準電流Ｉ１を出力する電流源１４１に加えて、基準電流Ｉ１と等しい電流値の疑似電流Ｉ２を出力する電流源１４２と、スイッチＳＷ２に連動し、当該スイッチＳＷ２がオフ状態のときオン状態となるスイッチＳＷ３とを有する構成となっている。この基準電流供給回路１４Ｂにおいて、スイッチＳＷ３がオン状態になることで、光量制御時以外のとき、即ち受光器１２から光信号Ｉｐｄが出力されないときに、目標光量に対応した電流源１４１の基準電流Ｉ１が増幅器１３−１に供給される。また、電流源１４２の疑似電流Ｉ２が常時増幅器１３−２に供給される。
【００７５】
光量制御時において、発光素子１１が目標光量で発光しているときは、受光器１２のリーク電流を無視するものとすれば、受光器１２から出力され、増幅器１３−１を介して負荷１８−１に流れ込む光電流Ｉｐｄの電流値は当然のことながら基準電流Ｉ１の電流値と一致している。したがって、負荷１８−１には、基準電流Ｉ１の電流値に応じた端子電圧が光量検出電圧Ｖｄｅｔとして発生する。また、電流源１４２からは、基準電流Ｉ１と電流値が等しい疑似電流Ｉ２が増幅器１３−２を介して負荷１８−２に流れ込む。したがって、負荷１８−２にも、基準電流Ｉ１の電流値に応じた端子電圧が基準電圧Ｖｒｅｆとして発生する。その結果、基準電圧Ｖｒｅｆに対する光量検出電圧Ｖｄｅｔの誤差は０となる。
【００７６】
発光素子１１の光量が目標光量からずれると、そのずれに応じた変動分ΔＩｐｄだけ光電流Ｉｐｄが変動し、Ｉｐｄ±ΔＩｐｄの電流が増幅器１３−１を介して負荷１８−１に流れ込む。すると、負荷１８−１の端子電圧、即ち光量検出電圧Ｖｄｅｔが、基準電圧Ｖｒｅｆに対して変動分ΔＩｐｄに応じてΔＶｄｅｔだけ変動し、この変動分ΔＶｄｅｔが差動アンプ１６１で誤差電圧として検出される。そして、この誤差電圧が０になるように、即ち発光素子１１の光量が目標光量にし収束するように、駆動回路１７によって発光素子１１の駆動制御が行われることになる。
【００７７】
また、光量制御時以外のとき、即ち受光器１２から光信号Ｉｐｄが出力されないときには、電流源１４１の基準電流Ｉ１を増幅器１３−１に供給するようにすることにより、光量制御によって発光素子１１の光量が目標光量に収束し、その光量制御が終了して増幅器１３−１に光信号Ｉｐｄが供給されなくなっても、基準電流Ｉ１が引き続き増幅器１３−１に供給され続けられることになる。これにより、光量制御開始時に、負荷１８−１の端子電圧が大きく変動することはないため、発光素子１１の光量を目標光量に速やかに収束させることができる。
【００７８】
次に、第２実施形態に係る発光素子駆動装置における補正回路１５Ｂの具体的な回路例およびその誤差補正のための回路動作について説明する。
【００７９】
補正回路１５Ｂは、スイッチＳＷ１１，ＳＷ１２，ＳＷ１３およびコンデンサＣ１１に加えて、スイッチ１４を有する構成となっている。スイッチＳＷ１１，ＳＷ１２，ＳＷ１３およびコンデンサＣ１１の接続関係は、基本的に、第１実施形態に係る発光素子駆動装置の補正回路１５Ａのそれと同じである。ただし、スイッチＳＷ１２の他方の端子ｂは、差動アンプ１６１の反転入力端子に接続されている。スイッチＳＷ１４は、負荷１８−１の端子と差動アンプ１６１の反転入力端子との間に接続されている。
【００８０】
次に、上記構成の補正回路１５Ｂにおける誤差補正のための回路動作について説明する。
【００８１】
まず、補正電圧を検知してコンデンサＣ１１に充電するときには、発光素子１１の消灯状態でスイッチＳＷ１３がオン状態になり、基準電流Ｉ１と電流値が等しい疑似電流Ｉ２が増幅器１３−２を介して負荷１８−２に流れる。これにより、負荷１８−１には基準電流Ｉ１に対応した端子電圧が発生し、差動アンプ１６１の非反転入力端子に入力される。また、差動アンプ１６１の出力端子に接続されているスイッチＳＷ１は端子ｂ側に切り替わっているので、差動アンプ１６１は出力が反転入力端子に入力されるボルテージフォロアを構成している。このときの差動アンプ１６１の反転入力端子と非反転入力端子間の電圧差が入力端子間オフセット電圧（誤差電圧）である。
【００８２】
さらに、スイッチＳＷ１１は端子ａ側、即ち増幅器１３−１側に切り替わり、スイッチＳＷ１２もａ側、即ち差動アンプ１６１の反転入力端子側に切り替わり、スイッチＳＷ１４はオフ状態となる。これにより、負荷１８−１→スイッチＳＷ１１→コンデンサＣ１１→スイッチＳＷ１２→差動アンプ１６１の反転入力端子の充電経路が形成され、負荷１８−１の端子電圧と差動アンプ１６１の反転入力端子の電圧差によってコンデンサＣ１１が充電される。
【００８３】
このとき、コンデンサＣ１１には充電される電圧値は、受光器１２の消灯時逆バイアスリーク電流による誤差と差動アンプ１６１の誤差（オフセット）の電圧を差し引きした電圧となる。このことについて、以下に具体的に説明する。
【００８４】
ここで、差動アンプ１６１の反転入力端子電圧をＶｎ、非反転入力端子電圧をＶｐ、入力端子間オフセット電圧をΔＶｏｐ、受光器１２のリーク電流をＩｌｅａｋ、負荷１８−１，１８−２の抵抗値をＲ１、基準電流をＩ１、増幅器１３−１，１３−２のゲインをＧ、増幅器１３−１，１３−２の出力誤差電流をΔＩｇと定義する。
【００８５】
Ｖｐ＝（Ｉ１×Ｇ＋ΔＩｇ）×Ｒ１
Ｖｐ＋ΔＶｏｐ＝Ｖｎ
なので、コンデンサＣ１１に充電されるオフセット電圧ΔＶｏｃは、
ΔＶｏｃ＝｛（Ｉ１×Ｇ＋ΔＩｇ）×Ｒ１＋ΔＶｏｐ｝−（Ｉｌｅａｋ×Ｇ＋Ｉ１×Ｇ＋ΔＩｇ）×Ｒ１…（１）
となる。
【００８６】
次に、誤差補正を行う光量制御時には、スイッチＳＷ１１は端子ｂ側、即ち差動アンプ１６１の非反転入力端子側に接続され、スイッチＳＷ１２も端子ｂ側、即ち負荷１８−２側に接続され、スイッチＳＷ１３はオフ状態、スイッチＳＷ１４はオン状態になる。これにより、負荷１８−２の端子にコンデンサＣ１１の負側（ＧＮＤ側）端子が接続され、コンデンサＣ１１の正側端子が差動アンプ１６１の非反転入力端子に接続された経路が形成される。
【００８７】
そして、上記（１）式で表される検知時のコンデンサＣ１１の充電電圧ΔＶｏｐを基準電流Ｉ１に対応する電圧から差し引きして光量制御を行うことで誤差の補正が実施される。このことについて、式を用いて具体的に説明すると、
Ｖｐ＝（Ｉ１×Ｇ＋ΔＩｇ）×Ｒ１−ΔＶｏｃ
Ｖｎ＝（Ｉｐｄ×Ｇ＋Ｉｌｅａｋ×Ｇ＋ΔＩｇ）×Ｒ１
Ｖｐ＋ΔＶｏｐ＝Ｖｎ
より、代入して相殺すると（ΔＶｏｃは（１）式より）、結局、Ｉ１＝Ｉｐｄとなる。すなわち、光電流Ｉｄｐは、消灯時の受光器１２の出力電流Ｉｌｅａｋを基準とし、増幅器１３の誤差電流ΔＩｇ、差動アンプ１６１の誤差電圧（オフセット電圧）ΔＶｏｐを補正しながら、光量制御時に設定した基準電流Ｉ１に基づいて設定される。
【００８８】
上述したように、第２実施形態に係る発光素子駆動装置では、差動アンプ１６１の非反転入力側の負荷１８−２に基準電流Ｉ１と電流値が等しい疑似電流Ｉ２を流すとともに、受光器１２から光電流Ｉｐｄが出力されないときは、基準電流Ｉ１を差動アンプ１６１の反転入力側の負荷１８−１に流すことで、光量制御開始時に負荷１８−１の端子電圧が大きく変動して収束時間が長くなるのを防止する構成を採る場合において、補正回路１５Ｂを用いることにより、面発光レーザに起因する受光器１２のリーク電流による誤差（オフセット）と増幅器１３の誤差を補正することにできることに加えて、特に駆動回路１７をＩＣ化し、ＣＭＯＳで回路を構成した際に問題となる差動アンプ１６１のオフセットについても確実に補正することができるため、より高精度の光量制御を実現できる。
【００８９】
（第２実施形態の変形例）
【００９０】
図７は、第２実施形態の変形例に係る発光素子駆動装置の構成を示す回路図であり、図中、図５と同等部分には同一符号を付して示している。
【００９１】
本変形例に係る発光素子駆動装置では、補正回路１５Ｃの構成、特にスイッチＳＷ１１′，ＳＷ１２′の構成が第２実施形態の補正回路１５Ｂのそれと相違しているのみであり、それ以外の構成は第２実施形態に係る発光素子駆動装置と同じである。
【００９２】
スイッチＳＷ１１′，ＳＷ１２′は共に３つの端子ａ，ｂ，ｃを有している。スイッチＳＷ１１′，ＳＷ１２′の端子ａ，ｂが、第２実施形態のスイッチＳＷ１１，ＳＷ１２の端子ａ，ｂに対応している。第３の端子ｃはオープン状態になっている。そして、スイッチＳＷ１１′，ＳＷ１２′は共に、光量制御時およびコンデンサに補正電圧を充電するとき以外は第３の端子ｃに切り替わることで、可動端子ｄ間に接続されているコンデンサＣ１１の両端をオープン状態にする。
【００９３】
次に、上記構成の補正回路１５Ｃにおける誤差補正のための回路動作について説明する。
【００９４】
光量制御終了後は、スイッチＳＷ１１′，ＳＷ１２′は共に第３の端子ｃに切り替わることで、コンデンサＣ１１の両端をどの端子からも切り離し、オープン状態にする。そして、次回コンデンサＣ１１の充電時には、第２実施形態において説明したように、スイッチＳＷ１１′は増幅器１３−１側に切り替わり、スイッチＳＷ１２′は差動アンプ１６１の反転入力端子側に切り替わり、再度充電を開始する。
【００９５】
これは、スイッチＳＷ１１′，ＳＷ１２′が光量制御終了後、端子ａあるいは端子ｂに接続されていると、負荷１８−１，１８−２や他のスイッチを介してコンデンサＣ１１の充電電圧がリークして変動しやすくなることから、それを防止するためである。コンデンサＣ１１の両端をオープン状態にしておくことで、次回オフセット補正時までの充電電圧のリークによる変動を最小限に抑えることができる。
【００９６】
プリンターなどの露光装置で走査毎に光量制御とオフセット補正をセットで行う場合、誤差の値は走査毎には大きく変動しない。このように、オフセット補正毎の期間のコンデンサＣ１１の充電電圧の変動を抑制するのは、次回のコンデンサＣ１１の充電時に充電値が収束値近くから充電を開始することで、充電電圧の変動を小さく抑えることができ、その結果収束時間を短縮できるからである。
【００９７】
コンデンサＣ１１の充電開始時には、第２実施形態で述べたように、スイッチＳＷ１３をオンにするとともに、スイッチＳＷ１′を端子ｂ側に切り替えることによって差動アンプ１６１の出力端子を反転入力端子に接続し、かつスイッチ１２を端子ａ側切り替えることによって差動アンプ１６１の出力端子をコンデンサＣ１１に接続して充電を開始する。
【００９８】
このとき、スイッチＳＷ１３をオン、スイッチＳＷ１′を端子ｂ側に切り替えた直後は、差動アンプ１６１の出力電圧はまだ収束値に対する差が大きい。したがって、このときの差動アンプ１６１の出力電圧を、スイッチＳＷ１２を介してコンデンサＣ１１に充電しようとすると、充電値が一度大きく変動してから収束値に向かう。しかも、差動アンプ１６１の出力端子に容量負荷が接続され、当該差動アンプ１６１の出力電圧、即ち充電電圧の収束に時間がかかってしまう。
【００９９】
そこで、スイッチＳＷ１２を端子ａ側に切り替えて、差動アンプ１６１の出力端子をコンデンサＣ１１に接続するタイミングを、スイッチＳＷ１３をオン、スイッチＳＷ１′を端子ｂ側に切り替えてから一定時間が経過し、差動アンプ１６１の出力電圧が収束値近くなるタイミングに設定する。すなわち、補正時に差動アンプ１６１の出力電圧によってコンデンサＣ１１を充電する場合において、差動アンプ１６１の出力電圧が収束するまでの一定時間が経過した後に差動アンプ１６１の出力電圧をコンデンサＣ１１に供給する経路を形成することで、上記の場合と同様に、コンデンサＣ１１の充電時に充電電圧の変動を小さく抑えることができるため収束時間を短縮できる。
【０１００】
図８は、補正回路１５Ｃの具体的な回路構成の一例を示す回路図である。本回路例においては、図７のスイッチＳＷ１１′，ＳＷ１２′，スイッチＳＷ１３，スイッチＳＷ１４が、ＮｃｈＭＯＳトランジスタＱ２１〜Ｑ２６によって構成されている。ここで、図７との関係において、ＭＯＳトランジスタＱ２１がスイッチＳＷ１１′のｂ−ｄ間、ＭＯＳトランジスタＱ２２がスイッチＳＷ１１′のａ−ｄ間、ＭＯＳトランジスタＱ２３がスイッチＳＷ１２′のｂ−ｄ間、ＭＯＳトランジスタＱ２４がスイッチＳＷ１２′のａ−ｄ間にそれぞれ対応している。
【０１０１】
ＭＯＳトランジスタＱ２１〜Ｑ２４をオン状態にするには各ゲートに高レベルの電圧を、オフ状態にするには各ゲートに低レベルの電圧をそれぞれ印加すれば良い。コンデンサＣ１１の両端をオープン状態にするには、コンデンサＣ１１の両端子に接続されている４つのＮｃｈＭＯＳトランジスタＱ２１〜Ｑ２４の各ゲート電圧をすべて低レベルにして、トランジスタＱ２１〜Ｑ２４の全てをオフ状態にすれば良い。
【０１０２】
ここで、ＮｃｈＭＯＳトランジスタＱ２１〜Ｑ２４がオン状態だと、コンデンサＣ１１に充電された電荷がＭＯＳトランジスタＱ２１〜Ｑ２４のサブストレート電位（通常、ＮｃｈＭＯＳトランジスタの場合はグランド、ＰｃｈＭＯＳトランジスタの場合は電源電圧）に対してリークして充電電圧が変動してしまう。したがって、コンデンサＣ１１の両端をどの端子からも切り離してオープン状態にすることにより、コンデンサＣ１１の充電電圧の変動を抑えることができる。
【０１０３】
なお、上記各実施形態では、単一の発光素子を駆動する駆動装置の場合を例に挙げて説明したが、これに限られるものではなく、上記各実施形態に係る発光素子駆動装置は光量制御時の収束時間を短縮できるため、発光素子として面発光レーザを用い、各ビーム毎に順次繰り返して光量制御を行う構成のマルチレーザビームの駆動装置に適用すると、その効果をより一層発揮できることになる。
【０１０４】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に係る発明によれば、発光素子の消灯時の増幅手段の出力を基準として基準値の出力を補正して、発光素子の点灯時の増幅手段の出力を検知して光量制御を実施することにより、例えば面発光レーザを光源とする露光装置に適用した場合であっても、面発光レーザに起因する受光手段のリーク電流による誤差（オフセット）と増幅手段の誤差を確実に補正できるため、高精度の光量制御を実現できる。
【０１０５】
請求項２に係る発明によれば、回路系を切り替えるだけで発光素子の消灯時に増幅手段の出力を基準として発光素子の点灯時の増幅手段の出力を補正できるため、簡単な回路構成によって受光手段のリーク電流による誤差と増幅手段の誤差を補正可能な装置を実現できる。
【０１０６】
請求項３に係る発明によれば、目標光量を０に設定して第１の増幅手段が消灯時の出力に応じた電圧を出力するのを検知して光量制御を行ったときに、発光素子に発光閾値電流と等しい電流を供給する制御電圧を差動増幅器が駆動回路に出力するように、差動増幅器の非反転入力端子と反転入力端子間の誤差電圧をコンデンサに充電し補正することにより、面発光レーザに起因する受光手段のリーク電流による誤差と増幅手段の誤差を補正できることに加えて、差動増幅器のオフセットについても補正できるため、より高精度の光量制御を実現できる。
【０１０７】
請求項４に係る発明によれば、光量制御終了後コンデンサの両端をオープン状態にしておくことにより、コンデンサの充電電圧がリークして変動するのを防止できるため、次回補正時までの充電電圧のリークによる変動を最小限に抑えることができ、よって収束時間を短縮できる。
【０１０８】
請求項５に係る発明によれば、補正時に前記差動増幅器の出力電圧によって前記コンデンサを充電する場合において、差動増幅器の出力電圧が収束した後差動増幅器の出力電圧をコンデンサに供給する経路を形成することにより、コンデンサの充電時に充電電圧の変動を小さく抑えることができため、収束時間を短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る発光素子駆動装置の構成を示す回路図である。
【図２】第１実施形態に係る発光素子駆動装置における増幅器の構成の一例を示す回路図である。
【図３】負荷の具体的な構成の一例を示す回路図である。
【図４】第１実施形態に係る発光素子駆動装置の具体的な回路例を示す回路図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る発光素子駆動装置の構成を示す回路図である。
【図６】第２実施形態に係る発光素子駆動装置における増幅器の構成の一例を示す回路図である。
【図７】第２実施形態の変形例に係る発光素子駆動装置の構成を示す回路図である。
【図８】第２実施形態の変形例における補正回路の具体的な回路構成の一例を示す回路図である。
【符号の説明】
１１…発光素子、１２…受光器、１３Ｍ１３−１，１３−２…増幅器、１４Ａ，１４Ｂ…基準電流供給回路、１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ…補正回路、１６…差分検出回路、１７…駆動回路、１６１…差動アンプ、１６２…サンプルホールド回路

Claims (5)

1. 発光素子から発せられる光を受光する受光手段と、
   前記受光手段から出力される光電流を増幅する第１の増幅手段と、
   前記発光素子の消灯時の前記第１の増幅手段の出力を基準として前記発光素子の光量を設定する基準値を補正する補正手段と、
   前記発光素子の点灯時の前記第１の増幅手段の出力の、前記補正手段で補正された基準値に対する差分を検出する差分検出手段と、
   前記差分検出手段の検出出力に基づいて前記発光素子の光量が目標光量になるように当該発光素子駆動する駆動手段と
   を備えることを特徴とする発光素子駆動装置。
2. 前記補正手段は、コンデンサと、前記発光素子の消灯時に前記第１の増幅手段の出力に応じた電圧を前記コンデンサに充電する経路を形成する第１の回路系と、前記発光素子の点灯時に基準値に応じた電圧から前記コンデンサの充電電圧を差し引く経路を形成する第２の回路系とを有する
   ことを特徴とする請求項１記載の発光素子駆動装置。
3. 前記差分検出手段は差動増幅器で構成されており、
   前記補正手段は、光量制御時に、前記第１の増幅手段が消灯時の出力に応じた電圧を出力するときに、前記発光素子に発光閾値電流を供給する制御電圧を前記差動増幅器が出力するように、補正電圧をコンデンサに充電する経路を形成する第３の回路系を有する
   ことを特徴とする請求項２記載の発光素子駆動装置。
4. 前記補正手段は、光量制御時以外は前記コンデンサの両端をオープン状態にする
   ことを特徴とする請求項２または請求項３記載の発光素子駆動装置。
5. 前記補正手段は、補正時に前記差動増幅器の出力電圧によって前記コンデンサを充電する場合において、前記差動増幅器の出力電圧が収束するまでの一定時間が経過した後に前記差動増幅器の出力電圧を前記コンデンサに供給する経路を形成する
   ことを特徴とする請求項２または請求項３記載の発光素子駆動装置。

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