JP2004256328A - 水素ガスの精製装置及び精製方法 - Google Patents

水素ガスの精製装置及び精製方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2004256328A
JP2004256328A JP2003046890A JP2003046890A JP2004256328A JP 2004256328 A JP2004256328 A JP 2004256328A JP 2003046890 A JP2003046890 A JP 2003046890A JP 2003046890 A JP2003046890 A JP 2003046890A JP 2004256328 A JP2004256328 A JP 2004256328A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hydrogen gas
exchange resin
purifying
gas
raw
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2003046890A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3815445B2 (ja
Inventor
Toru Otsu
徹 大津
Shigeaki Sato
重明 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kurita Water Industries Ltd
Original Assignee
Kurita Water Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kurita Water Industries Ltd filed Critical Kurita Water Industries Ltd
Priority to JP2003046890A priority Critical patent/JP3815445B2/ja
Publication of JP2004256328A publication Critical patent/JP2004256328A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3815445B2 publication Critical patent/JP3815445B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Hydrogen, Water And Hydrids (AREA)

Abstract

【課題】酸素及び水分を含有する水素ガスを小型で簡易な装置で精製する。
【解決手段】パラジウムを担持したイオン交換樹脂が充填された反応容器1に原水素ガスを導入し、パラジウムの触媒作用で酸素を水素と反応させて水として除去し、イオン交換樹脂の吸着作用により生成した水と原ガス中の水分を吸着して除去する。反応容器2には加温した精製ガスを通してイオン交換樹脂から水分を脱着させて再生する。精製と再生とを交互に繰り返す。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、酸素及び水分を含有する水素ガスを効率的に精製することができる小型で簡易な装置と、このような装置を用いて水素ガスを安価に精製する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、CO排出に伴う地球環境問題に対処する方策として、水素をエネルギー媒体とする新しいクリーンエネルギーシステムが提案されている。中でも燃料電池は、水素が酸素と結合して水になる際に発生する化学エネルギーを電気エネルギーとして取り出すエネルギー変換技術であり、自動車のガソリンエンジンに替わる動力源、家庭用オンサイト発電、IT用の直流給電設備として、次世代の最も重要な技術の1つとして注目されている。このため、燃料としての水素ガスの需要は益々増えつつあると共に、その純度についてもより一層の高純度化が望まれている。
【0003】
水素ガスは水の電気分解等により製造され、例えば、水電解による水素発生機からは比較的高純度の水素ガスが得られる。しかし、この水電解による水素ガスであっても、陽極で発生した酸素の混入や、電解槽からの水素ガスの分離の際の水分の同伴のために、その純度は99%程度であり、純度99.9%以上に更に精製することが必要となる。
【0004】
従来、微量の窒素、炭化水素、一酸化炭素、二酸化炭素、酸素、水分等の不純物を含む水素ガスの精製方法として、原ガスを加熱下でパラジウム膜又はパラジウム合金膜と接触させて、水素ガスのみを選択的に透過させた後、冷却し、その後、合成ゼオライトと接触させて脱水し、更にフィルターで濾過することにより、合成ゼオライトとの接触の際に混入した微粉末を除去する方法が提案されている(特開2002−308605)。
【0005】
【特許文献1】
特開2002−308605
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の水素ガスの精製方法では、パラジウム又はパラジウム膜を装填した水素透過器、冷却器、合成ゼオライトを充填した吸着塔、及びフィルターを必要とし、装置構成が複雑であると共に、運転管理においても操作が煩雑なものとなるという問題がある。
【0007】
本発明は、酸素及び水分を含有する水素ガスを効率的に精製することができる小型かつ簡易な装置と、このような装置を用いて水素ガスを安価に精製する方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の水素ガスの精製装置及び精製方法は、酸素及び水分を含有する原水素ガスから酸素及び水分を除去する水素ガスの精製装置において、パラジウムを担持したイオン交換樹脂が充填された反応容器と、該反応容器に接続された原水素ガス供給管及び精製水素ガス排出管とを備えてなることを特徴とする。
【0009】
本発明の水素ガスの精製方法は、酸素及び水分を含有する原水素ガスから酸素及び水分を除去する水素ガスの精製方法において、原水素ガスを、パラジウムを担持したイオン交換樹脂に接触させて、該原水素ガス中の酸素をパラジウムの触媒作用で水素と反応させると共に、該酸素と水素との反応で生成した水と、原水素ガス中に含まれる水分とをイオン交換樹脂に吸着させる精製工程を有することを特徴とする。
【0010】
パラジウムは、酸素と水素とから水を生成する反応(O+2H→2HO)の触媒として作用する。また、イオン交換樹脂は、水を吸着する性質を有し、大気中ではイオン交換樹脂の含水率は概ね30〜60重量%である。また、イオン交換樹脂は加熱により吸着した水を脱着し、水を脱着した後のイオン交換樹脂は再び水を吸着する。
【0011】
本発明では、酸素及び水分を含有する原水素ガス(以下単に「原ガス」と称す場合がある。)を、パラジウムを担持したイオン交換樹脂に接触させて、該原ガス中の酸素をイオン交換樹脂に担持されたパラジウムの触媒作用で水素と反応させて脱酸素すると共に、この脱酸素反応で生成した水と、原ガス中に含まれる水分をイオン交換樹脂に吸着させて脱水する。
【0012】
このように、一工程で脱酸素と脱水とを行えるため、パラジウムを担持したイオン交換樹脂を充填した反応容器を主体とする小型で簡易な装置により、原ガスを安価に精製することができる。
【0013】
なお、パラジウムによる触媒作用は、殆ど低下することはないが、水分を吸着したイオン交換樹脂は、その吸着能が飽和に達するとそれ以上水分を吸着し得なくなる。このイオン交換樹脂は、加熱して水分を脱着させることにより再び水分の吸着能を示すようになり、脱水に再使用することができる。
【0014】
従って、本発明の水素ガスの精製装置は、イオン交換樹脂を加熱するための加熱手段を備えることが好ましく、更に、加熱されたイオン交換樹脂から発生した水蒸気を反応容器から排出する手段を有することが好ましい。
【0015】
また、本発明の水素ガスの精製装置は、反応容器を複数並列に設置し、一部の反応容器に原水素ガスを供給し、他の反応容器へは原水素ガスの供給を停止するようにガス流路を切り替える流路切替手段を有することが好ましく、このようにすることにより、一部の反応容器で原ガスの精製を行い、他の反応容器でイオン交換樹脂の再生を行うように原ガスの流路を切り換えることにより、原ガスを連続的に処理することが可能となる。
【0016】
また、本発明の水素ガスの精製方法においては、精製工程において水を吸着したイオン交換樹脂を加熱して水分を脱着させて再生する再生工程を設け、精製工程と再生工程とを交互に行うことが好ましい。
【0017】
この場合、原ガスの連続精製のために、例えば、反応容器を複数並列に設置し、原ガスの流路切替手段を設けた本発明の水素ガスの精製装置により、一部の反応容器に原ガスを供給して精製を行うと共に、他の反応容器への原ガスの供給を停止した状態で反応容器内のイオン交換樹脂を加熱して再生するようにすることが好ましい。この装置において、精製を行っている一部の反応容器から排出された精製水素ガス(以下単に「精製ガス」と称す場合がある。)の一部を加熱して他の反応容器に供給することにより、イオン交換樹脂を再生しても良い。そして、この反応容器から排出された再生排ガスは、凝縮水を分離した後、原ガスと混合して精製しても良い。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の水素ガスの精製装置及び精製方法の実施の形態を詳細に説明する。
【0019】
本発明においては、酸素と水分とを含む原水素ガスを、パラジウムを担持したイオン交換樹脂と接触させて脱酸素及び脱水して精製する。
【0020】
本発明により精製する原ガスとしては、水電解により発生させた酸素と水分を含む水素ガスが挙げられる。水電解による水素ガスは酸素と水分以外の不純物が殆ど含まれていないので、本発明による精製に適している。ただし、本発明は、他の水素ガス、例えば天然ガスを改質して生産した水素ガスの精製にも適用可能であり、原ガス中に不純物として酸素、水分以外に有機物系、酸化炭素系、硫黄系などのガス成分を含む水素ガスであっても良い。このような不純物成分を含む水素ガスの場合には、本発明による精製に先立ち、活性炭処理、酸化還元処理等により前処理を施して、これらを予め除去すれば良い。
【0021】
また、本発明において、パラジウムを担持するイオン交換樹脂としては、ゲル型であってもポーラス型であっても良い。パラジウムを容易に担持させることができる点から、イオン交換樹脂としては、特にアニオン交換樹脂が好ましい。イオン交換樹脂に担持させるパラジウムの形態は、金属パラジウムの他、酸化パラジウム、水素化パラジウム等のパラジウム化合物であっても良い。イオン交換樹脂のパラジウムの担持量は500〜2000mg/L−樹脂程度であることが好ましい。イオン交換樹脂にパラジウムを担持させるには、例えば、アニオン交換樹脂を充填したカラムに塩化パラジウムの酸性溶液を通水すれば良く、さらに、このカラムにホルマリンなどの還元剤を加えて還元することにより、金属パラジウムを担持した触媒とすることができる。
【0022】
パラジウムを担持したイオン交換樹脂としては、市販品を用いることができ、Bayer社製レバチットキャタリスト「K3433」や「K7333」を使用することができる。
【0023】
イオン交換樹脂は前述の如く、原ガスとの接触で水分を吸着し、飽和状態になると水分を吸着し得なくなるため、これに先立ち、吸着した水分を脱着して再生する必要がある。
【0024】
水素ガスの再生は、イオン交換樹脂を加熱することにより行うことができる。この加熱温度は50℃以上、当該イオン交換樹脂の耐熱温度以下とし、できるだけ高温が好ましい。加熱温度が50℃未満では水分の脱着に時間がかかり、また、脱着量も減少し、再生効率が悪い。例えば、前述のレバチットキャタリスト「K3433」であれば再生温度は120℃程度、レバチットキャタリスト「K7333」であれば再生温度は70℃程度が好ましい。
【0025】
イオン交換樹脂の再生時期は、処理した原ガス中の水分量と、酸素と水素との反応により生成する水分量との合計量、樹脂単位量当たりの水分吸着能と充填樹脂量に基いて設定することができる。従って、所定時間毎に再生工程に移行することができる。また、精製ガスを水分計で監視して再生時期を判断しても良い。再生所要時間は予め実験に基いて定めておいても良いし、イオン交換樹脂と接触した後の再生排ガスの温度を温度計で監視し、温度上昇率が変化したときを再生終了と判断しても良い。
【0026】
以下に図面を参照して本発明の水素ガスの精製装置の構成を説明する。図1は本発明の水素ガスの精製装置の実施の形態を示す系統図である。
【0027】
この水素ガスの精製装置は、パラジウムを担持したイオン交換樹脂を充填した反応容器1,2を2個並列に設置すると共に、イオン交換樹脂再生用の加熱手段としてのヒーター3と、流路切替手段としてのバルブSV−1〜SV−6を設けたものである。11〜25は配管を示す。
【0028】
図1は、反応容器1で原ガスの精製を行い、反応容器2でイオン交換樹脂の再生を行っている状態を示し、説明の便宜上閉状態のバルブを黒で示し、開状態のバルブを白で示してある。即ち、図1において、バルブSV−1,SV−4,SV−6は開、バルブSV−2,SV−3,SV−5は閉である。
【0029】
原ガスは、配管11,12を経て反応容器1に導入され、反応容器1内で脱酸素及び脱水処理され、酸素及び水分が除去された精製ガスは配管13,14を経て排出される。この反応容器1からの精製ガスの一部は配管15に分流され、ヒーター3で加熱された後、配管16,17を経て反応容器2に導入され、反応容器2内のイオン交換樹脂を加熱して再生する。再生排ガスは配管18,19,21を経て原ガス導入配管11に循環されて処理される。なお、反応容器2内のイオン交換樹脂から脱着されて再生排ガス中に含まれている水蒸気は、配管18,19を通過する間に冷却されて凝縮し、凝縮水は配管20より排出される。
【0030】
反応容器1における精製を継続することにより、反応容器1内のイオン交換樹脂の水分吸着能の低下傾向が認められた場合、或いは、所定時間の精製処理の後には、原ガスの流路を切り替え、反応容器1内のイオン交換樹脂の再生を行い、反応容器2で原ガスの精製を行う。即ち、バルブSV−2,SV−3,SV−5を開、バルブSV−1,SV−4,SV−6を閉とし、原ガスを、配管11,22を経て反応容器2に導入し、反応容器2内で脱酸素及び脱水処理し、精製ガスを配管23,14を経て排出する。反応容器2からの精製ガスの一部を配管15、ヒーター3、配管16,24を経て反応容器1に導入し、反応容器1内のイオン交換樹脂を加熱して再生する。再生排ガスは配管25,19,21を経て、途中配管20から凝縮水が除去された後、原ガス導入配管11に循環されて処理される。
【0031】
このように、パラジウムを担持したイオン交換樹脂を充填した反応容器を複数並列に配置すると共に、原ガスの流路切替手段を設けた精製装置であれば、一部の反応容器で精製を行い、他の反応容器で再生を行い、この精製を行う反応容器と再生を行う反応容器とを切り替えることにより、原ガスを連続的に精製処理することができる。反応容器1,2へのパラジウムを担持したイオン交換樹脂の充填量は、精製処理する原ガスの純度、要求される精製ガスの純度、イオン交換樹脂の再生に要する時間等を考慮して適宜決定される。
【0032】
なお、図1は本発明の水素ガスの精製装置の実施の形態の一例を示すものであって、本発明はその要旨を超えない限り、何ら図示のものに限定されるものではない。
【0033】
例えば、並列配置する反応容器は2個に限らず、3個以上であっても良い。また、本発明の水素ガスの精製装置は、反応容器を1個のみ設けたものであっても良いが、反応容器を2系列以上設け、精製と再生とを切り替えるようにすることにより、連続精製が可能である。
【0034】
反応容器としては、縦型、横型のいずれでも良く、ガスの流通方式も上向流、下向流、水平流など任意である。なお、この反応容器は、原ガス及び再生ガスの流通が可能で大気が流通しない密閉型のものとする。即ち、反応容器に大気が流入すると大気中の酸素や炭酸ガスが混入することとなり、精製不可能となる。
【0035】
また、加熱手段としては、ガス流路にヒーターを設け、加熱したガスを反応容器に流通させるようにする他、反応容器の周囲に加熱流体が流れるジャケットを設けたり、反応容器自体にヒーターを取り付けることによりイオン交換樹脂を加熱再生しても良い。ただし、このような間接加熱方式よりも、加温ガスとイオン交換樹脂とを直接接触させる直接加熱の方が熱交換効率が良く、再生効率の面では好ましい。
【0036】
また、イオン交換樹脂の再生のための加温ガスは、精製ガスを加熱して用いる他、他系統から窒素ガス等の不活性ガスを導入し、これを加熱して用いても良い。即ち、一般的な水素ガスの用途において、水素ガスに不活性ガスが混入しても、水素ガスを使用する装置等に影響を及ぼすことは殆どなく、微量の不活性ガスの混入は許容されるため、不活性ガスによる再生も可能である。再生に不活性ガスを用いる場合、再生排ガスはそのまま系外へ排出すれば良い。
【0037】
イオン交換樹脂の再生に精製ガスを用いる場合、再生のために分流する精製ガス量は、イオン交換樹脂の水分吸着量や再生効率等により適宜決定されるが、通常の場合、精製ガスの1/100〜1/3程度で十分である。
【0038】
反応容器には、イオン交換樹脂の再生によりイオン交換樹脂から脱着した水分を排出する手段を設ける。図1の装置では、この水分は再生排ガスと共に排出される。この再生排ガス配管19には、水分の凝縮を効率的に行うために、必要に応じて冷却手段を設けても良い。
【0039】
このような本発明の精製装置及び精製方法によれば、パラジウムを担持したイオン交換樹脂を用いることにより、原ガス中の酸素と水分を一工程で効率的に除去し、例えば純度99%程度の水分解水素ガスから、99.9%以上、特に99.99%以上の高純度水素ガスを得ることができる。
【0040】
【実施例】
以下に実施例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
【0041】
実施例1
水電解により得られた酸素及び水分を含んだ水素ガス(純度99.8%)を原ガスとして、図1に示す精製装置により精製を行った。
【0042】
パラジウムを担持したイオン交換樹脂としてBayer社製レバチットキャタリスト「K3433」(アニオン交換樹脂に金属パラジウム1000mg/L−樹脂を担持したもの)を用い、各反応容器1,2に各々5L充填した。原ガスは1L/minの流量で一方の反応容器に流通させて精製し、精製ガスの10%を分流してヒーターで90℃に加温し、他方の反応容器に流通させて再生を行い、この精製と再生とを5分毎に切り換えた。
【0043】
その結果、純度99.99%以上の高純度精製水素ガスを連続的に得ることができた。
【0044】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明によれば、小型で簡易な装置により、酸素及び水分を含有する水素ガスを安価に精製することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の水素ガスの精製装置の実施の形態を示す系統図である。
【符号の説明】
1,2 反応容器
3 ヒーター

Claims (10)

  1. 酸素及び水分を含有する原水素ガスから酸素及び水分を除去する水素ガスの精製装置において、
    パラジウムを担持したイオン交換樹脂が充填された反応容器と、該反応容器に接続された原水素ガス供給管及び精製水素ガス排出管とを備えてなることを特徴とする水素ガスの精製装置。
  2. 請求項1において、前記イオン交換樹脂を加熱するための加熱手段を備えたことを特徴とする水素ガスの精製装置。
  3. 請求項2において、加熱された前記イオン交換樹脂から発生した水蒸気を前記反応容器から排出する手段を有することを特徴とする水素ガスの精製装置。
  4. 請求項1ないし3のいずれか1項において、前記反応容器を複数並列に設置すると共に、一部の反応容器に原水素ガスを供給し、他の反応容器へは原水素ガスの供給を停止するようにガス流路を切り替える流路切替手段を設けたことを特徴とする水素ガスの精製装置。
  5. 酸素及び水分を含有する原水素ガスから酸素及び水分を除去する水素ガスの精製方法において、
    原水素ガスを、パラジウムを担持したイオン交換樹脂に接触させて、該原水素ガス中の酸素をパラジウムの触媒作用で水素と反応させると共に、該酸素と水素との反応で生成した水と、原水素ガス中に含まれる水分とをイオン交換樹脂に吸着させる精製工程を有することを特徴とする水素ガスの精製方法。
  6. 請求項5において、前記精製工程において水を吸着したイオン交換樹脂を加熱して水分を脱着させて再生する再生工程を有することを特徴とする水素ガスの精製方法。
  7. 請求項6において、前記精製工程と再生工程とを交互に行うことを特徴とする水素ガスの精製方法。
  8. 請求項6又は7において、請求項4に記載の水素ガスの精製装置を用いて水素ガスを精製する方法であって、
    一部の反応容器に原水素ガスを供給して精製を行うと共に、
    他の反応容器への原水素ガスの供給を停止した状態で該反応容器内のイオン交換樹脂を加熱して再生することを特徴とする水素ガスの精製方法。
  9. 請求項8において、前記一部の反応容器から排出された精製水素ガスの一部を加熱して前記他の反応容器に供給することにより、該反応容器内のイオン交換樹脂を再生することを特徴とする水素ガスの精製方法。
  10. 請求項9において、前記他の反応容器から排出された再生排ガスから凝縮水を分離した後、前記原水素ガスと混合して精製することを特徴とする水素ガスの精製方法。
JP2003046890A 2003-02-25 2003-02-25 水素ガスの精製装置及び精製方法 Expired - Fee Related JP3815445B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003046890A JP3815445B2 (ja) 2003-02-25 2003-02-25 水素ガスの精製装置及び精製方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003046890A JP3815445B2 (ja) 2003-02-25 2003-02-25 水素ガスの精製装置及び精製方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004256328A true JP2004256328A (ja) 2004-09-16
JP3815445B2 JP3815445B2 (ja) 2006-08-30

Family

ID=33113280

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003046890A Expired - Fee Related JP3815445B2 (ja) 2003-02-25 2003-02-25 水素ガスの精製装置及び精製方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3815445B2 (ja)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006075820A (ja) * 2004-08-10 2006-03-23 Kobelco Eco-Solutions Co Ltd 排水処理方法及び排水処理装置
KR100777672B1 (ko) 2005-12-20 2007-11-28 코아텍주식회사 수소가스 처리용 스크러버 시스템
JP2009517322A (ja) * 2005-11-30 2009-04-30 レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード 未精製水素の精製
JP2009144181A (ja) * 2007-12-12 2009-07-02 Daiei Rasen Kogyo:Kk 光輝焼鈍炉装置
WO2009104638A1 (ja) * 2008-02-19 2009-08-27 株式会社Ihi 水素供給装置
JP2013212974A (ja) * 2012-03-05 2013-10-17 Tokuyama Corp 多結晶シリコンの製造方法及び該製造方法に還元剤として用いる水素ガスの製造方法
KR101332265B1 (ko) * 2011-05-17 2013-11-22 주식회사태성씨앤디 알칼리 수전해용 수소 정제장치
JP2015224180A (ja) * 2014-05-30 2015-12-14 Jx日鉱日石エネルギー株式会社 水素供給システム
KR20200131925A (ko) * 2019-05-14 2020-11-25 주식회사 고도이엔지 밸브 시스템
CN112174090A (zh) * 2020-10-20 2021-01-05 湖南恒光科技股份有限公司 一种氢气除氧工艺系统及方法
CN114642944A (zh) * 2022-04-25 2022-06-21 山东赛克赛斯氢能源有限公司 一种氢气纯化装置及其纯化方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101347195B1 (ko) * 2012-08-24 2014-01-15 황철용 전 유량 운전방식의 흡착식 수소 정제 시스템

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006075820A (ja) * 2004-08-10 2006-03-23 Kobelco Eco-Solutions Co Ltd 排水処理方法及び排水処理装置
JP2009517322A (ja) * 2005-11-30 2009-04-30 レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード 未精製水素の精製
KR100777672B1 (ko) 2005-12-20 2007-11-28 코아텍주식회사 수소가스 처리용 스크러버 시스템
JP2009144181A (ja) * 2007-12-12 2009-07-02 Daiei Rasen Kogyo:Kk 光輝焼鈍炉装置
US8496736B2 (en) 2008-02-19 2013-07-30 Ihi Corporation Hydrogen supply device
JP2009196827A (ja) * 2008-02-19 2009-09-03 Tamagawa Gakuen 水素供給装置
WO2009104638A1 (ja) * 2008-02-19 2009-08-27 株式会社Ihi 水素供給装置
KR101332265B1 (ko) * 2011-05-17 2013-11-22 주식회사태성씨앤디 알칼리 수전해용 수소 정제장치
JP2013212974A (ja) * 2012-03-05 2013-10-17 Tokuyama Corp 多結晶シリコンの製造方法及び該製造方法に還元剤として用いる水素ガスの製造方法
JP2015224180A (ja) * 2014-05-30 2015-12-14 Jx日鉱日石エネルギー株式会社 水素供給システム
KR20200131925A (ko) * 2019-05-14 2020-11-25 주식회사 고도이엔지 밸브 시스템
KR102257491B1 (ko) 2019-05-14 2021-06-01 주식회사 에이아이코리아 밸브 시스템
CN112174090A (zh) * 2020-10-20 2021-01-05 湖南恒光科技股份有限公司 一种氢气除氧工艺系统及方法
CN112174090B (zh) * 2020-10-20 2021-11-16 湖南恒光科技股份有限公司 一种氢气除氧工艺系统及方法
CN114642944A (zh) * 2022-04-25 2022-06-21 山东赛克赛斯氢能源有限公司 一种氢气纯化装置及其纯化方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP3815445B2 (ja) 2006-08-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI521056B (zh) Methane recovery method and methane recovery unit
JP5392745B2 (ja) キセノンの濃縮方法、キセノン濃縮装置、及び空気液化分離装置
JP2010195616A (ja) ガスの精製方法および精製装置
JP3815445B2 (ja) 水素ガスの精製装置及び精製方法
JP5743215B2 (ja) ヘリウムガスの精製方法および精製装置
JP2011167629A (ja) 水素ガスの分離方法、および水素ガス分離装置
JP3947752B2 (ja) 高純度水素製造方法
JP3985006B2 (ja) 高純度水素製造方法
WO2006132040A1 (ja) 高純度水素製造方法
JP2017087108A (ja) 水素ガス精製システムおよび水素ガス精製方法
JP5683390B2 (ja) ヘリウムガスの精製方法および精製装置
JP5748272B2 (ja) ヘリウムガスの精製方法および精製装置
JP5403685B2 (ja) アルゴンガスの精製方法および精製装置
JP2011195434A (ja) アルゴンガスの精製方法および精製装置
CN103224225B (zh) 氩气的纯化方法及纯化装置
JP2005256899A (ja) 水素貯蔵及び/又は導出装置
JP4013007B2 (ja) 水素−窒素混合ガスの製造方法およびその装置
TWI507352B (zh) 氬氣之純化方法及純化裝置
JP4187569B2 (ja) 水素製造装置
CN102530894B (zh) 氩气的提纯方法及提纯装置
JPH04206161A (ja) 燃料電池用メタノール改質ガスの供給方法
CN102807199B (zh) 氩气的提纯方法及提纯装置
JP2012082080A (ja) アルゴン精製方法、およびアルゴン精製装置
JP5270215B2 (ja) 燃料電池システム
JP5255896B2 (ja) 水素製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060223

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060307

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060420

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060516

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060529

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090616

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100616

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110616

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120616

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130616

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140616

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees