JP2004255464A - 金属線材及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 本発明は、機械的特性に優れかつばらつきの小さな線材及びこれを製造する方法を提供する。
【解決手段】 伸線加工によって製造される金属線材の製造方法において、伸線加工の前工程又は中間工程の少なくとも1つの工程で、伸線方向以外の方向にせん断変形を与える加工工程を経て、その後伸線加工を加えることを特徴とする金属線材の製造方法、及び、金を主体とする金属線材であって、カルシウムと希土類金属(イットリウムとスカンジウムを含むランタノイド系金属)の含有量が、100原子ppm以下であり、かつ、破断伸びをx(%)とした時の破断強度が−15x+320(MPa)以上であることを特徴とする金属線材である。
【選択図】 なし
【解決手段】 伸線加工によって製造される金属線材の製造方法において、伸線加工の前工程又は中間工程の少なくとも1つの工程で、伸線方向以外の方向にせん断変形を与える加工工程を経て、その後伸線加工を加えることを特徴とする金属線材の製造方法、及び、金を主体とする金属線材であって、カルシウムと希土類金属(イットリウムとスカンジウムを含むランタノイド系金属)の含有量が、100原子ppm以下であり、かつ、破断伸びをx(%)とした時の破断強度が−15x+320(MPa)以上であることを特徴とする金属線材である。
【選択図】 なし
Description
本発明は、機械的性質に優れた金属線材及びその製造方法に関するものである。
金属材料に強歪みを加えることで、微細な組織制御が可能であることが知られている。金属材料に強歪みを課す方法として、Equal-Channel Angular Pressing(ECAP)法と呼ばれる方法がある(非特許文献1)。ECAP法では、同じ断面積を持ち、屈曲した貫通孔にチャンネル上部から試料を入れて強制的に押し出すことにより、試料内にせん断歪みが導入される。試料が粉末状であるメカニカルミリング法とは異なり、バルク状態で強歪みを加える方法である。また、圧延、押出、引抜等の従来の加工方法と異なり、試料の断面形状が加工に伴って変化しないことが大きな特徴となっている。この方法の適用例をしては、アルミニウムやその合金、マグネシウム合金のバルク材料に対する研究報告がなされている(非特許文献2、非特許文献3)。また、チャンネル出口から材料を引き抜く方法によっても、同様な効果が得られる。ここでは、この方法もECAP法と呼ぶ。
一方、通常、金属線材は、押出加工と引抜加工を主体とした加工法と熱処理を組み合わせて製造される。これらの加工法では、加工歪はおおよそ押出あるいは引抜方向に平行にせん断歪みが導入される。多くの線材は、この加工歪と結晶粒の形状、及び結晶方位の配向によって、強化される。押出加工と引抜加工の工程(以下、伸線工程と総称する)において、線径は常に減少する一方であるが、この工程は、線材を製造するための形状付与をも目的とすることから、加工歪量やその均一性が限定される。
半導体実装材料であるボンディングワイヤは、半導体チップと外部金属端子との間を接続する材料である。現在、その殆どは、金を主体とする材料が用いられている。これは、ボールボンディングと呼ばれる金属線の一端を溶融し、ボールを形成して圧着させる手法が、主に用いられるためであり、ボール形成時の酸化による接合性の劣化が起こり難い金が使用されている。
上述したように、ワイヤ強度は、伸線加工による加工硬化により強化されているが、純金では十分な機械強度が得られないため、微量の異種元素が添加されている。これらの元素は、固溶強化元素として働く他、金の再結晶温度を上げる働きがある。通常、ボンディングワイヤは、ボンディング時のワイヤ形状を整えるため、破断伸びが2〜12%のものが用いられている。破断伸びは、伸線工程後の焼鈍工程で調整されるが、上記の元素は再結晶温度を上昇させるために、破断伸びに対する強度を向上させる。ボンディングワイヤは通常200μm以下の細線であるが、近年の半導体の小型化に伴って、その線径は小さくなってきており、線径15μmのワイヤも用いられ始めている。しかし、一般的に用いられている元素は、ボール形成時に酸化し易いため、多量に添加すると接合性を劣化させる。したがって、これらの元素をなるべく添加しないで、高い強度を得ることが求められている。
大石敬一郎、金子賢治、堀田善治、まてりあ、41巻、422−426頁(2002)
西田義則、有馬弘晃、金鎮千、安藤禎一、軽金属、50巻、655−659頁(2002)
吉田雄、Lawrence Cisar、鎌土重晴、小島陽、軽金属、52巻、559〜565頁(2002)
本発明は、従来の単純な押出や引抜による線材の加工方法では、線材への加工歪み量の導入が限定されるのに対し、材料の長さ方向以外の方向、あるいは試料内部にまで強いせん断加工歪を導入し、結晶粒を微細化して、機械的特性に優れかつばらつきの小さな線材及びこれを製造する方法を提供することを目的とする。
本発明は、上記従来技術の問題を解決するために、鋭意検討した結果、伸線方向以外の方向、即ち、径方向にせん断変形を与える加工工程を経て、その後、伸線加工を加える金属線材の製造方法をとる。せん断変形の形態は、曲げ、ねじり等が挙げられる。また、本発明は、特に、せん断変形を与える工程が、屈曲した貫通孔に材料を1回以上通過させる加工工程である製造方法をとる。
屈曲した貫通孔を通過させる材料の断面積が、少なくとも20mm2であることが望ましい。また、本発明は、細線を製造する半導体実装用ボンディングワイヤのプロセスへ本発明を適用することは有効であり、特に、材料が金を主体とする材料に対して効果的である。
本発明の半導体実装用金ボンディングワイヤは、従来のワイヤに比較して、カルシウムと希土類金属(イットリウムとスカンジウムを含むランタノイド系金属)の添加量が小さいにもかかわらず、高い強度を有するワイヤである。カルシウムと希土類金属の含有量が、100原子ppm以下で、破断伸びをx(%)とした時の破断強度が−15x+320(MPa)以上の金属線材である。また、カルシウムと希土類金属の含有量が、100原子ppmを超えて1000原子ppm以下の範囲では、破断伸びをx(%)とした時の破断強度が−30x+425(MPa)以上の金属線材である。特に、加工硬化歪みが十分に加えられた線径200μm以下の金属線材である。
このような特性を有するワイヤは、通常の伸線加工の前工程又は中間工程の少なくとも1つの工程で、線の径方向にせん断歪みを加える加工を導入することで実現される。
通常の伸線加工の前工程又は中間工程の少なくとも1つの工程で、線の径方向にせん断歪みを加える加工を導入することで、従来の伸線加工方法だけでは得られなかった複雑な加工歪が導入され、最終的な金属線材の組織を均一かつ微細にすることができ、機械的に優れ、かつ、ばらつきの小さな金属線材を製造することができる。特に、伸線工程前、あるいは、その中間工程で、材料を屈曲した貫通孔に少なくとも1回以上通過させる加工工程を導入し、その後伸線加工を施すことによって、非常に大きく、かつ、複雑な加工歪が導入され、最終的な金属線材の組織を均一かつ微細にすることができ、機械的に優れ、かつ、ばらつきの小さな金属線材を製造することができる。
ECAP法で加工した後に、伸線加工を施すことによる効果は、それぞれの加工による加工歪みの導入のされ方が異なる点にある。
金属線の強度を高める上で、伸線加工による集合組織は望ましい組織形態である場合が多いが、その前段階で伸線方向以外の方向、即ち、径方向に成分を有するせん断歪みを与えることによって、より望ましい組織形態が得られる。
金・銅・アルミニウムのような面心立方構造(FCC構造)の金属の場合、減面率にもよるが、伸線加工によってワイヤの長さ方向に結晶粒が長く、かつ、<111>方向に配向する。この組織的特徴により、ヤング率や破断強度が大きくなる。しかし、後述するように、ワイヤの周方向に全て均一な組織となるわけでなく、一般的に、ワイヤの芯部のアスペクト比や配向性が小さくなる。これは、ダイスと接触するワイヤ表面周部、芯部、その中間部で、加工歪みの導入のされ方が異なるためである。特に、伸線工程の中間工程で中間焼鈍を施した場合、長さ方向に直交する面内に<001>方位は生ずる。これが後の伸線加工によっても除去しきれず、特に芯部に残留する場合があるが、焼鈍工程の後に伸線方向以外の方向にせん断変形を加えることによって、芯部まで大きな歪みを導入することが可能であるから、<001>集合組織を破壊し、芯部まで<111>配向した微細で均一な結晶粒を有する強度、ヤング率の高い線材の製造が可能である。
また、本発明の方法では、伸線加工と加工歪み成分の異なる歪みを導入するため、加工を施した中間材を焼鈍した場合、生じる再結晶集合組織が上述したような<001>配向組織をとらない。したがって、伸線加工時の加工性や最終製品の組織を改善することも可能である。
上述したように、半導体の小型化に伴い、線径が小さく高強度のワイヤが求められている。線径が小さくなると、ボールボンディングした時の接合面積も小さくなるため、一層接合性の良いボンディングワイヤが求められる。本発明の金ワイヤは、強度が高く、酸化し易いカルシウムや希土類金属の添加量も小さいため、接合性の優れたボンディングワイヤになる。また、実施例で実証したように、<111>配向性が強まるため、樹脂モールド時のワイヤ流れが小さくなる。
本発明は、伸線方向以外の方向、即ち、径方向にせん断変形を与える加工工程を経て、その後、伸線加工を加える金属線材の製造方法である。せん断変形の形態は、曲げ、ねじり等が挙げられる。また、本発明は、特に、せん断変形を与える工程が、屈曲した貫通孔に材料を1回以上通過させる加工工程である製造方法である。
伸線方向以外の方向にせん断歪みを与える加工を施す前の金属の組織は、鋳造組織でも、ある程度加工を行った加工組織でも、また、加工後焼鈍を行い、歪みを低減した状態の組織でもかまわない。
ECAP法による加工形態をとる場合、金属材料の形態は、ECAP法による加工が施し易く、かつ、後の伸線加工が施し易いように、柱状の形態であることが望ましい。材料を貫通孔に押し出す加工法であることから、少なくとも直径5mmφ、即ち、20mm2以上の断面積は必要である。金属材料を引き抜く方法をとる場合でも、径方向のせん断成分を有する加工歪みを効果的に加えるためには、この程度の径が必要である。
ECAP法は、屈曲した孔に被加工材を通過させる方法であるが、一度通過させるだけでは、導入する歪み量は不十分であることが多く、少なくとも貫通孔の軸に対して90°づつ回転した方向の4回、好ましくは10回以上の強加工を繰返すことが望ましい。通常のECAP法では、被加工材料が該屈曲孔通過後、型出口から取出して該型挿入口に挿入することを繰返さなければならないが、最近考案された回転式ECAP法(特許第3268639号公報)のように、型の内部に被加工材料を留めた状態で、連続的に上記強塑性加工を加えることのできる装置を用いても良い。また、潤滑材は、線材の特性を劣化させなければ、加工抵抗や加工温度によって、液体潤滑材を用いても良く、黒鉛等の固体潤滑材を用いても良い。
ECAP法における孔の屈曲角度は90〜120°前後が望ましい。角度が小さいほうが、1回のパスで与えることができる歪み量が大きい。ECAP法の大きな利点とされているところは、形状を殆ど変化させることなく歪みを与え、結晶粒を微細化できる点であり、バルク形態で特性の優れた製品を製造できる点である。これに対して、本発明では、ECAP法で加工した後に、さらに伸線加工を施すことを特徴とする。この伸線加工は、最終線径の線材を製造するための形状付与も目的であるが、本発明において見出した重要な点は、ECAP法による加工歪みを与えた後、伸線加工による加工歪みを与えることである。ただし、ECAP法による加工を施した後、伸線前に焼鈍熱処理を施しても構わないし、伸線途中、あるいは最終加工の後、焼鈍熱処理を施しても構わない。また、ECAP法による工程と伸線工程あるいは焼鈍工程を交互に複数回繰り返しても構わない。
本発明の特徴は、伸線方向以外の方向にせん断歪みを与える加工の後、伸線加工を行うことにあり、伸線方向以外の方向にせん断歪みを与える加工後の伸線加工の減面率が高い場合、特にこの減面率が99.8%以上である場合に、線材径方向の結晶粒が1μm以下に小さくなる等、効果が大きい。
本発明は、構造用線材から送電用線材等、あらゆる線材に適用可能な方法であるが、上記の理由から、線径の小さな線材、例えば、半導体実装用ボンディングワイヤの製造方法として、特に効果が大きい。ボンディングワイヤの線径は通常200μm以下であり、径方向の結晶粒径は1μm以下であることが望まれる。特に、ECAP法の導入により、結晶粒は、線材径方向のみならず、伸線方向にも分断されるため、均一化、微細化による機械的特性に寄与する効果は大きい。
ボンディングワイヤの強度は、伸線加工による加工硬化により強化されているが、純金では十分な機械強度が得られないため、微量の異種元素が添加されている。実施例で実証したように、機械強度を向上させる元素としては、カルシウムや希土類元素がある。これらの元素は、固溶強化元素として働く他、金の再結晶温度を上げる働きがあり、強度を向上させる。
近年、半導体の小型化に伴い、高強度のワイヤが求められており、破断伸び4.5%時の強度が280MPaのワイヤも商品化されているが、このような強度のワイヤを得ようとした場合、100原子ppm以上のカルシウム又は希土類元素の添加が必要である。しかし、これらの元素は、ボール形成時に酸化し易いため、多量に添加すると接合性を劣化させる。したがって、これらの元素をなるべく添加しないで、高い強度を得ることが求められているが、通常の伸線加工だけでは困難である。本発明で示したように、伸線加工の前工程又は中間工程の少なくとも1つの工程でECAP法による加工を施すことにより、接合性と強度を兼ね備えたボンディングワイヤを製造することが可能である。カルシウムと希土類金属(イットリウムとスカンジウムを含むランタノイド系金属)の含有量が、100原子ppm以下であり、破断伸びをx(%)とした時の破断強度が−15x+320(MPa)以上である金線は、本発明の特徴的な形態である。
接合性を犠牲にしても、通常工業的に耐え得る接合性を得ようとした場合、カルシウムと希土類金属の添加量は1000原子ppm以下にする必要がある。また、これ以上これらの元素を添加しても、通常の伸線加工では、破断伸び4.5%時の強度が300MPaを超える金線の製造は困難である。カルシウムと希土類金属(イットリウムとスカンジウムを含むランタノイド系金属)の含有量が、1000原子ppm以下であり、破断伸びをx(%)とした時の破断強度が−30x+425(MPa)以上である金線は、本発明の特徴的な形態である。
実施例で実証しているように、カルシウムと希土類金属の含有量が、10原子ppmの場合でもECAP加工の効果が認められるが、25原子ppm以上で効果が大きく、50原子ppm以上になった場合、特に効果が大きい。
本発明において、原料純金の中に含まれる不純物元素や、ベリリウム、銀、銅、パラジウム、白金、ロジウム等の他の様々な目的で添加される元素は含有されていても構わない。ベリリウムは、カルシウムや希土類元素と同様、酸化しやすい元素であることから、金ボンディングワイヤとしての含有量の上限は1000原子ppmであることが望ましい。一方、銀、銅、パラジウム、白金、ロジウムは酸化し難い元素であることから、特にその上限はない。
本発明を半導体実装用ボンディング金線に適用する場合、実施例で述べるように、カルシウムと希土類金属の含有量が大きい程、その効果を有することがわかった。金にカルシウムや希土類金属をドーパントとして含有させると、再結晶温度を上昇させ、かつ強度が向上することが判っている。ここで、希土類金属とは、イットリウムとスカンジウムを含むランタノイド系金属を指す。ECAP法を伸線工程内に導入することにより、さらに効果が大きくなる。
本発明は、工業的規模の点からも、半導体実装材料のボンディングワイヤの製造工程への整合性が高い。この材料は、通常200μm以下の細線であり、貴金属が材料である場合が多い。したがって、工業用でもECAP法が適用可能なロッド単位で操業されている。本発明の形態であるECAP法による加工と伸線加工の組み合わせによる製造方法が工業レベルで適用し得る。
以上に示してきたように、伸線工程の前段階、あるいは中間段階に、ECAP法による加工を導入することにより、導入しなかった場合に比較して、最終金属線材の機械的な特性を向上することが可能になる。また、強度と接合性の優れた金ボンディングワイヤが提供できる。
以下、実施例に基づいて本発明を詳細に説明するが、該実施例は、本発明の好適な一例を示すものであり、本発明は、該実施例によって何ら限定されるものではない。
(実施例1)
99.99mass%のボンディングワイヤ用金素材について、本発明を適用した。材料の形状は、直径9.8mm、長さ50mmである。これをECAP法として、90°に屈曲した直径10mm貫通孔に、ポンチを用いて押し込む加工を10回繰り返した。
99.99mass%のボンディングワイヤ用金素材について、本発明を適用した。材料の形状は、直径9.8mm、長さ50mmである。これをECAP法として、90°に屈曲した直径10mm貫通孔に、ポンチを用いて押し込む加工を10回繰り返した。
この後、ダイヤモンドダイスを用いて、0.2〜15m/sの速さで段階的に減面していき、直径27.5μmのワイヤを作製した。
比較として、組成と組織が同じ、直径9.8mm、長さ50mmの材料を、ECAP法による加工を経ずに、同じ伸線ダイスを用いて徐々に減面していき、直径27.5μmの比較用ワイヤを作製した。
これらのワイヤを、半導体実装用ボンディングワイヤとして使用するために、焼鈍を施し、伸びを5%に揃えた後、破断強度を比較した。ECAP法による加工を施していない通常の方法で作製したボンディングワイヤの強度が150mNであったのに対して、ECAP法による加工を施したボンディングワイヤの強度は180mNであった。ボンディングワイヤとして、この強度差は、有意な強度差である。
電子顕微鏡を用いて、その組織を調べた。どちらのワイヤも、ワイヤの長さ方向に結晶粒は長く伸び、<111>方向に配向していたが、ワイヤ芯部で、比較材のアスペクトが周部に対して小さくなっていたのに対して、ECAP法による加工を施したボンディングワイヤの結晶粒は、比較ワイヤに比べて微細であり、芯部と周部のアスペクト比の差は認められなかった。
半導体チップとリードフレームを接続するボンディング試験を行った。ECAP法による加工を施したボンディングワイヤの直進性は、比較材に比べて良好であり、安定したボンディングが可能であった。これは、ECAP法による加工を施したボンディングワイヤの結晶粒が均一で微細であったためである。
同じ線径を有する99mass%の金線においても、同様に、ECAP法を適用した後に伸線加工すると、強度の増加、ボンディング特性の向上の効果が認められた。
(実施例2)
表1に示したA、B、Cの3種類の成分を有するワイヤについて、伸線工程途中にECAP法を導入した効果を調べた。99.999mass%の金に、カルシウム、イットリウム、ランタン、セリウムを添加し、溶解・鋳造し、直径9.8mm、長さ50mmの円柱形素材を製造した。これをECAP法として、90°に屈曲した直径10mm貫通孔にポンチを用いて、押し込む加工を4回繰り返した。4回の加工は、材料を90°づつ回転させながら行った。
表1に示したA、B、Cの3種類の成分を有するワイヤについて、伸線工程途中にECAP法を導入した効果を調べた。99.999mass%の金に、カルシウム、イットリウム、ランタン、セリウムを添加し、溶解・鋳造し、直径9.8mm、長さ50mmの円柱形素材を製造した。これをECAP法として、90°に屈曲した直径10mm貫通孔にポンチを用いて、押し込む加工を4回繰り返した。4回の加工は、材料を90°づつ回転させながら行った。
この後、ダイヤモンドダイスを用いて、0.2〜300m/sの速さで段階的に減面していき、直径23.0μmのワイヤを作製した。
比較として、上記と同様に製造した直径9.8mm、長さ50mmの円柱形素材を、ECAP法による加工を経ずに、同じ伸線ダイスを用いて徐々に減面していき、直径23.0μmの比較用ワイヤを作製した。
これらのワイヤを半導体実装用ボンディングワイヤとして使用するために、焼鈍を施し、伸びを4〜6%に調質し、破断強度を調べた。その結果を表2に示した。4〜6%は、一般的に、ボンディングワイヤとして用いられる破断伸びである。ボンディングワイヤの強度は、設定する破断伸び値で異なる。破断伸びを大きくするためには、焼鈍温度を高くする必要があり、その分破断強度は低下する。
表2で示したように、カルシウムと希土類金属の含有量が大きい程、同じ破断伸び値における強度が高く、ECAP加工の効果が大きいことが判る。ボンディング時のアルミニウムパッドへの接合性の点から見た場合、酸化し易いカルシウムや希土類金属の含有量は小さい方が望ましいが、カルシウムと希土類金属の含有量の総和が50原子ppmの場合、破断伸びと破断強度が、それぞれ4.0%、260MPaと6.0%、230MPaを結ぶ線より高強度にするためには、ECAP法による加工が必要である。
成分Cの材料のように、破断伸びが4.5%時の強度が320MPa以上を超え、かつ実用に供する接合性を有する金ボンディングワイヤを製造するためには、ECAP加工の導入が必要である。
成分Cで、破断伸びが4.5%のワイヤのヤング率を測定したところ、ECAP加工を施していないワイヤのヤング率は90GPaであったのに対し、ECAP法により加工を施したワイヤのヤング率は95GPaであった。半導体組立工程において、ボンディング後の樹脂モールド工程でのワイヤ流れによる短絡不良に対しては、ヤング率が高い方が有利である。ワイヤ組織を電子線背面反射法(EBSD法)を用いて調べると、ECAP法を施した試料と施していない試料の両者共、伸線方向に<111>集合組織が発達していたが、ECAP法を施していない試料では、ワイヤ芯部に<001>方位を有する結晶粒が認められた。これに対して、ECAP法を施した試料では、ワイヤ全体に渡って均一に<111>集合組織が発達していた。ECAP加工により鋳造組織が破壊され、内部にまで強く均一な加工歪みが導入された効果である。
(実施例3)
実施例2で示した成分A〜Cの成分を有する直径9.8mm、長さ50mmの円柱形素材各20本を鋳造し、実施例2と同じ方法で、それぞれの成分各10本にECAP加工を施し、残りの10本を比較材として、ECAP加工を施さないで、直径30.0μmのワイヤを伸線し、これを焼鈍し、破断伸びを4.5%に調整して、それぞれのロッドの破断強度のばらつきを調べた。表3は、10本のロッドの平均値と最小値、最大値を示した。
実施例2で示した成分A〜Cの成分を有する直径9.8mm、長さ50mmの円柱形素材各20本を鋳造し、実施例2と同じ方法で、それぞれの成分各10本にECAP加工を施し、残りの10本を比較材として、ECAP加工を施さないで、直径30.0μmのワイヤを伸線し、これを焼鈍し、破断伸びを4.5%に調整して、それぞれのロッドの破断強度のばらつきを調べた。表3は、10本のロッドの平均値と最小値、最大値を示した。
破断伸びが4.5%の時の平均強度は、実施例2で示した線径23.0μmのワイヤの強度と変わらなかった。したがって、加工強化は、既に飽和に達していると判断された。
ロッド毎のばらつきは、表3に示したように、ECAP加工を施さず、かつドーパントが大きくなるほど、大きいことがわかった。これに対して、ECAP加工を施したワイヤのロッド間の強度ばらつきは、全ての成分で小さくなった。これは、ECAP加工を施さないワイヤでは、鋳造組織の影響が出ているのに対して、ECAP加工を施した場合、鋳造組織がECAP加工により破壊されたためである。
(実施例4)
表4に示したD、E、Fの3種類の成分を有するワイヤについて、伸線工程途中にECAP法を導入した効果を調べた。カルシウムと希土類元素の含有量は、成分Dで35原子ppm、成分Eで、50原子ppm、成分Fで、220原子ppmである。
表4に示したD、E、Fの3種類の成分を有するワイヤについて、伸線工程途中にECAP法を導入した効果を調べた。カルシウムと希土類元素の含有量は、成分Dで35原子ppm、成分Eで、50原子ppm、成分Fで、220原子ppmである。
99.999mass%の金にそれぞれの元素を添加し、直径15mm角、長さ100mmの鋳型を用い鋳造し、その後、圧延と引き抜きによって、直径9.8mm、円柱形素材を製造した。これをECAP法として、90°に屈曲した直径10mm貫通孔に、ポンチを用いて押し込む加工を8回繰り返した。8回の加工は、材料を90°づつ回転させながら行った。
この後、ダイヤモンドダイスを用いて、0.2〜300m/sの速さで段階的に減面していき、直径23.0μmのワイヤを作製した。
比較として、上記と同様に製造した直径9.8mm、長さ50mmの円柱形素材をECAP法による加工を経ずに、同じ伸線ダイスを用いて徐々に減面していき、直径15.0μmの比較用ワイヤを作製した。
これらのワイヤを半導体実装用ボンディングワイヤとして使用するために、焼鈍を施し、伸びを4〜6%に調質し、破断強度を調べた。その結果を表5に示した。4〜6%は、一般的に、ボンディングワイヤとして用いられる破断伸びである。ボンディングワイヤの強度は、設定する破断伸び値で異なる。破断伸びを大きくするためには、焼鈍温度を高くする必要があり、その分、破断強度は低下する。
表5で示したように、カルシウムと希土類金属の含有量が大きい程、同じ破断伸び値における強度が高く、ECAP加工の効果が大きいことがわかる。ボンディング時のパッドへの接合性の点から見た場合、酸化し易いカルシウムや希土類金属の含有量は小さい方が望ましいが、カルシウムと希土類金属の含有量の総和が50原子ppmの場合、破断伸びと破断強度がそれぞれ4.0%、260MPaと6.0%、230MPaを結ぶ線より高強度にするためには、ECAP法による加工が必要である。
成分Dのカルシウムと希土類元素の含有量は35原子ppmであるが、ECAP加工を施すことによって、カルシウムと希土類元素の含有量が50原子ppmの成分EでECAP加工を施していない試料と、同等の強度が得られた。
成分Fの材料のように、破断伸びが4.5%時の強度が320MPa以上を超え、かつ実用に供する接合性を有する金ボンディングワイヤを製造するためには、ECAP加工の導入が必要である。
Claims (11)
- 伸線加工によって製造される金属線材の製造方法において、伸線加工の前工程又は中間工程の少なくとも1つの工程で、伸線方向以外の方向にせん断変形を与える加工工程を経て、その後伸線加工を加えることを特徴とする金属線材の製造方法。
- 伸線加工によって製造される金属線材の製造方法において、伸線加工の前工程又は中間工程の少なくとも1つの工程で、屈曲した貫通孔に材料を1回以上通過させる加工工程を経て、その後伸線加工を加えることを特徴とする金属線材の製造方法。
- 屈曲した貫通孔の挿入する材料の断面積が少なくとも20mm2であることを特徴とする請求項2に記載の金属線材の製造方法。
- 金属線の線径が200μm以下である請求項1又は2に記載の金属線材の製造方法。
- 金属線が半導体実装用ボンディングワイヤであることを特徴とする請求項4に記載の金属線材の製造方法。
- 金属線が金を主体とする材料であることを特徴とする請求項5に記載の金属線材の製造方法。
- 金を主体とする金属線材であって、カルシウムと希土類金属(イットリウムとスカンジウムを含むランタノイド系金属)の含有量の合計が、100原子ppm以下であり、かつ、破断伸びをx(%)とした時の破断強度が−15x+320(MPa)以上であることを特徴とする金属線材。
- 金を主体とする金属線材であって、カルシウムと希土類金属(イットリウムとスカンジウムを含むランタノイド系金属)の含有量の合計が、100原子ppm超、1000原子ppm以下であり、かつ、破断伸びをx(%)とした時の破断強度が−30x+425(MPa)以上であることを特徴とする金属線材。
- 前記金属線材の線径が200μm以下である請求項7又は8に記載の金属線材。
- 1原子ppm以上、1000原子ppm以下のベリリウムが含有されている請求項7〜9のいずれかに記載の金属線材。
- 銀、銅、パラジウム、白金、ロジウムの中の少なくとも1種以上の元素が含有され、それらの元素の含有量の総計が、1原子ppm以上、500000原子ppm以下である請求項7〜10のいずれかに記載の金属線材。
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JP2006203164A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-08-03 | Mitsubishi Materials Corp | 接合性、直進性および耐樹脂流れ性に優れたボンディングワイヤ用金合金線 |
US20120312428A1 (en) * | 2011-06-10 | 2012-12-13 | Tanaka Denshi Kogyo K.K. | High strength and high elongation ratio of au alloy bonding wire |
-
2004
- 2004-02-02 JP JP2004025541A patent/JP2004255464A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006203164A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-08-03 | Mitsubishi Materials Corp | 接合性、直進性および耐樹脂流れ性に優れたボンディングワイヤ用金合金線 |
JP4641248B2 (ja) * | 2004-12-21 | 2011-03-02 | 田中電子工業株式会社 | 接合性、直進性および耐樹脂流れ性に優れたボンディングワイヤ用金合金線 |
TWI391503B (zh) * | 2004-12-21 | 2013-04-01 | Tanaka Electronics Ind | Wire with gold alloy wire |
US20120312428A1 (en) * | 2011-06-10 | 2012-12-13 | Tanaka Denshi Kogyo K.K. | High strength and high elongation ratio of au alloy bonding wire |
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