JP2004247769A - 受光素子および回路内蔵受光素子 - Google Patents

受光素子および回路内蔵受光素子 Download PDF

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Masaru Kubo
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Abstract

【課題】書き込み対応のフォトダイオードにおいて、読み出し時の小光量入射および書き込み時の大光量入射の両方に対して応答速度の高速化を図る。
【解決手段】P型半導体基板141の上にそれよりも不純物濃度が低いP型エピタキシャル層142を形成した積層基板を用いて、フォトダイオードの容量およびアノード抵抗を下げて、読み出し時の小光量での応答速度を向上させる。さらに、書き込み時の大光量が入射しても、ポテンシャルのフラット化により応答速度が低下しないように、P型エピタキシャル層142の層厚を薄くして空乏層幅を制限し、空乏層内の電界強度を強める。例えば、大光量時の応答速度(例えば書き込み6倍速)から、空乏層内の電界強度を0.3V/μm以上に設定する。また、小光量時の応答速度(例えば読み出し32倍速)から、必要とされる空乏層幅を5μm以上に設定する。
【選択図】 図3

Description

本発明は、書き込み対応可能な光ピックアップ等に用いられる受光素子および回路内蔵受光素子に関する。
従来から、光ピックアップはCD−ROMやDVD(デジタルビデオディスク)等の光ディスク装置に使用されている。この光ディスク装置は、近年、高速化が進んできており、また、動画像等の多量のデータを高速で取り扱うようになってきている。このような背景の中、光ピックアップの高速化に対する要求は非常に強い。
また、最近では、CD−R/RWやDVD−R/RAM等の書き込み可能な光ディスク装置も登場している。この書き込み可能な光ディスク装置では、レーザーの熱によりディスク上の色素を相変化させること等により情報を書き込むため、高パワーのレーザーが光ディスクに照射され、その反射光がフォトダイオードに入射する。このため、書き込み時にフォトダイオードに照射されるレーザーの光量は、読み出し時に比べて非常に大きくなる。このような書き込み可能な光ディスクメディアにおいても、高速化に対する要求は非常に強い。
図1に、特開平9−153605号公報に開示されている従来のフォトダイオードの構造を示す。このフォトダイオードは、図1(a)に示すように、第1導電型半導体基板84上に第2導電型エピタキシャル層85が形成されている。第2導電型エピタキシャル層85は第1導電型拡散層87、88により複数の領域に分割され、各分割領域とその下の第1導電型半導体基板84との接合によりフォトダイオードが構成されている。
このような構造のフォトダイオードにおいて、応答速度を決定する要因としては、フォトダイオードの容量(C)と抵抗(R)とで決まるCR時定数と空乏層より基板側で発生したキャリアが拡散により移動する際の移動距離とがある。
そこで、この従来技術では、図1(a)のa−a’線部分の不純物濃度プロファイルを示す図1(b)のように、第1導電型半導体基板84の不純物濃度を低く設定することにより、第1導電型半導体基板84内に広がる空乏層86を広がり易くしている。これにより、フォトダイオードの接合容量が低減され、CR時定数を低減してフォトダイオードの応答速度を高速化することができる。さらに、空乏層が基板側深くまで広がるため、比較的深い位置で発生したキャリアが拡散により移動する距離が短くなるため、応答速度を高速化することができる。
しかし、フォトダイオードの応答速度をさらに高速化するために、基板比抵抗をさらに高くしていくと、今度は基板比抵抗に起因するアノード側の直列抵抗が増加してしまう。このため、フォトダイオードの応答を決定するCR時定数のR成分が大きくなって、逆に応答速度が低下する。即ち、基板比抵抗を高くしていくと、フォトダイオードの応答速度を律するCR時定数の内、C成分を低減できるので、図2に示すように、基板比抵抗がある値になるまではフォトダイオードの応答速度(フォトダイオードの遮断(カットオフ)周波数)を向上させることができる。しかし、さらに基板比抵抗を高くしていくと、特にアノード抵抗に起因するR成分が増大してしまうため、図2に示すように、フォトダイオードの応答速度が低下する。
そこで、さらにフォトダイオードの高速化を図るために、例えば特開昭61−154063号公報には、図3に示すように、P型低抵抗基板141上にP型高抵抗結晶成長層142を形成した積層基板上にフォトダイオードを形成する構造が提案されている。この高抵抗結晶成長層142は、低抵抗基板141側から連続的に不純物濃度が減少するオートドープ層142aと不純物濃度が一定の層142bとからなる。この従来技術は、高抵抗結晶成長層142により基板側に空乏層160が広がり易くして、接合容量を下げている。さらに、その空乏層160が広がるより深いところにあるP型低抵抗基板141によってアノード側の直列抵抗を下げている。これにより、フォトダイオードの応答速度を律するC成分とR成分の両成分を下げて、応答速度の高速化を図るものである。なお、図3において、143はN型エピタキシャル層、144はP型分離拡散層、145はN型コンタクト領域、146はN型埋め込み領域、147はP型ベース領域、148はN型エミッタ領域、149はシリコン酸化膜、150a、150b、150cは電極配線層、180は信号光を検出するフォトダイオード形成部、190は検出された信号を処理する回路形成部である。
なお、上記積層基板を用いて応答速度を改善するためには、空乏層を充分に高抵抗層内に広げて接合容量を低減する必要がある。そこで、高抵抗層の比抵抗を、エピタキシャル成長で制御可能な上限である1000Ωcmまで高くし、また、高抵抗層142の厚さを、空乏層が濃度一定の高抵抗層142b一杯に広がる20μm程度(濃度一定の高抵抗層142bが13μm程度)にするのが望ましい。これは、高抵抗層の空乏層が広がらない領域が増えると、アノード側の直列抵抗が大きくなって応答速度の向上の妨げになるからである。
特開平9−153605号公報 特開昭61−154063号公報
ところで、書き込み対応の光ピックアップでは、書き込み速度に比例してレーザーから光ディスクに照射される光量が増えるため、その反射光であるフォトダイオードに入射するレーザー光の光量も多くなる。そして、フォトダイオードに入射する光がある量よりも多くなると、フォトダイオードの応答速度が低下するという問題が生じる。
図1の構造について、フォトダイオードの応答速度(カットオフ周波数)の入射光量に対する依存性を調べた結果を図4に示す。この図4に示すように、フォトダイオードに入射する光がある量よりも多くなると、フォトダイオードの応答速度(カットオフ周波数)が低下している。また、基板比抵抗が低いものに比べて、基板比抵抗が高いものの方がこのような応答速度の低下が起こり易くなっている。
本発明はこのような従来技術の課題を解決するためになされたものであり、書き込み対応可能な光ピックアップ等に使用される受光素子において、フォトダイオードに読み出し時の小光量が入射したときおよび書き込み時の大光量入射したときのいずれについても、応答速度の高速化を図ることができる受光素子および回路内蔵型受光素子を提供することを目的とする。
本発明の受光素子は、第1導電型半導体基板と、該第1導電型半導体基板上に形成され、該第1導電型半導体基板よりも不純物濃度が低い第1導電型半導体層と、該第1導電型半導体層上に形成された第2導電型半導体層と、該第2導電型半導体層を複数の第2導電型半導体領域に分割する第1導電型拡散層とを備え、該第2導電型半導体領域とその下部の第1導電型半導体層との接合により、フォトダイオード部が構成される受光素子であって、前記第1導電型半導体層の層厚が13μm以上17μm以下であり、その比抵抗が100Ωcm以上1500Ωcm以下であることを特徴とする。
また、本発明の受光素子は、第1導電型半導体基板上に当該第1導電型半導体基板よりも不純物濃度が低い第1導電型半導体層が形成された積層基板と、該積層基板の第1導電型半導体層上に形成された第2導電型半導体層と、該第2導電型半導体層を複数の第2導電型半導体領域に分割する第1導電型拡散層とを備え、該第2導電型半導体領域とその下部の第1導電型半導体層との接合により、フォトダイオード部が構成される受光素子であって、前記第1導電型半導体層の層厚が13μm以上17μm以下であり、その比抵抗が100Ωcm以上1500Ωcm以下であることを特徴とする。
前記第1導電型半導体基板の比抵抗が1Ωcm以上20Ωcm以下である。
前記第1導電型半導体基板の裏面に電極を有し、該電極が前記第2導電型半導体層表面側に設けられているアノード電極と電気的に接続されている。
また、本発明の受光素子は、第1導電型半導体基板と、該第1導電型半導体基板上に形成され、該第1導電型半導体基板よりも不純物濃度が高い第1の第1導電型半導体層と、該第1の第1導電型半導体層上に形成され、該第1導電型半導体基板よりも不純物濃度が低い第2の第1導電型半導体層と、該第2の第1導電型半導体層上に形成された第2導電型半導体層と、該第2導電型半導体層を複数の第2導電型半導体領域に分割する第1導電型拡散層とを備え、該第2導電型半導体領域とその下部の第2の第1導電型半導体層との接合によりフォトダイオード部が構成されており、前記第2の第1導電型半導体層の層厚が9μm以上17μm以下であり、その比抵抗が100Ωcm以上1500Ωcm以下であることを特徴とする。
また、本発明の受光素子は、第1導電型半導体基板上に当該第1導電型半導体基板よりも不純物濃度が高い第1の第1導電型半導体層が形成された積層基板と、該積層基板の第1の第1導電型半導体層上に形成され、前記第1導電型半導体基板よりも不純物濃度が低い第2の第1導電型半導体層と、該積層基板の第2の第1導電型半導体層上に形成された第2導電型半導体層と、該第2導電型半導体層を複数の第2導電型半導体領域に分割する第1導電型拡散層とを備え、該第2導電型半導体領域とその下部の第2の第1導電型半導体層との接合によりフォトダイオード部が構成されており、前記第2の第1導電型半導体層の層厚が9μm以上17μm以下であり、その比抵抗が100Ωcm以上1500Ωcm以下であることを特徴とする。
前記第1導電型半導体基板の不純物濃度が、前記第1の第1導電型半導体層のピーク不純物濃度の100分の1以下である。
前記第1導電型半導体基板がCZ法により作成され、その比抵抗が20Ωcm以上50Ωcm以下である。
前記第1の第1導電型半導体層のピーク不純物濃度が1×1017cm-3以上である。
前記第1の第1導電型半導体層が塗布拡散により形成されている。
前記第1の第1導電型半導体層内で、前記第1導電型半導体基板側から表面に向かって不純物濃度が上昇している領域において、その不純物濃度が該第1の第1導電型半導体層内の最も高い不純物濃度の100分の1である部分は、前記第2導電型半導体層表面からの深さが38μm以下である。
本発明の回路内蔵受光素子は、前記受光素子における、前記第2導電型半導体層のフォトダイオード部とは異なる領域に、該受光素子によって検出された信号を処理する信号処理回路部を有する。
前記第1導電型半導体層または前記第2の第1導電型半導体層のフォトダイオード部とは異なる部分の少なくとも一部に、該第1導電型半導体層または該第2の第1導電型半導体層の表面から形成された第1導電型高濃度拡散層を有する。
以下、本発明の作用について説明する。
本発明にあっては、第1導電型半導体基板の上にそれよりも不純物濃度が低い第1導電型半導体層を形成した積層基板を用いることにより、フォトダイオードの容量およびアノード抵抗を下げて、読み出し時の小光量での応答速度を向上させる。さらに、書き込み時の大光量が入射しても、従来のようにポテンシャルのフラット化により応答速度が低下しないように、第1導電型半導体層の層厚を薄くして空乏層幅を制限し、空乏層内の電界強度を強める。ここでは、書き込み対応用のフォトダイオードに要求される大光量時の応答速度(例えば書き込み6倍速)から、必要とされる空乏層内の電界強度を0.3V/μm以上に設定する。
さらに、書き込み対応用のフォトダイオードに要求される小光量時の応答速度(例えば読み出し32倍速)から、必要とされる空乏層幅を5μm以上に設定する。
これらの設定を満足するためには、第1導電型半導体層の層厚が13μm以上17μm以下であり、その比抵抗が100Ωcm以上1500Ωcm以下であるのが好ましい。なお、この厚みには、オートドープ層の厚みも含まれる。
さらに、アノード抵抗を下げてフォトダイオードを高速化するためには、基板比抵抗をできるだけ低くするのが好ましい。しかし、基板比抵抗が低すぎると、第2導電型半導体層の結晶成長プロセスにおいて基板から第1導電型半導体層への不純物のオートドープが発生し、これによって応答速度が低下する。第1導電型半導体基板の比抵抗を1Ωcm以上20Ωcm以下にすれば、このようなオートドープの影響を無視し得る程度に抑制することが可能である。
さらに、基板の裏面にアノード電極を設けて、表面側の分離拡散領域上に設けたアノード電極と電気的に接続すれば、表面側のみにアノード電極を設けた場合に比べて、より一層アノード抵抗を下げることができる。
他の本発明にあっては、第1導電型半導体基板の上にそれよりも不純物濃度が高い第1導電型半導体層(第1の第1導電型半導体層)を形成した積層基板に、さらに、第1導電型半導体層よりも不純物濃度が低い第1導電型半導体層(第2の第1導電型半導体層)を設けている。基板側から見ると、高濃度である第1の第1導電型半導体層がポテンシャルバリアとして働くため、第1の第1導電型半導体層よりも基板側で発生したキャリアはそれを越えてPN接合に達することができず、基板内で再結合して消滅する。よって、基板で発生したキャリアによる遅い電流成分をカットすることができ、応答速度を高速化することができる。さらに、第1の第1導電型半導体層と第2の第1導電型半導体層との濃度差が大きくなるため、内蔵電界も強められ、応答速度が向上する。
さらに、書き込み対応用のフォトダイオードに要求される大光量時の応答速度(例えば書き込み12倍速)から、必要とされる空乏層内の電界強度を0.3V/μm以上に設定するのが好ましい。
さらに、書き込み対応用のフォトダイオードに要求される大光量時の応答速度(例えば書き込み12倍速)から第2の第1導電型半導体層の層厚が9μm以上17μm以下であり、その比抵抗が100Ωcm以上1500Ωcm以下であるのが好ましい。また、読み出し時の小光量時の応答速度から空乏層幅は3μm以上であるのが好ましい。
さらに、第1導電型半導体基板の不純物濃度を第1の第1導電型半導体層のピーク不純物濃度の100分の1以下とすれば、大光量時に第1の第1導電型半導体層よりも基板側で発生したキャリアがそれを越えてPN接合に達する割合を充分小さくすることが可能である。
さらに、第1導電型半導体基板は、欠陥が形成されにくいCZ法により作成するのが好ましい。そして、基板比抵抗をCZ法で作成可能な最も高い比抵抗、例えば20Ωcmから50Ωcmに設定することにより、第1の第1導電型半導体層内の基板側のポテンシャルバリアを大きくすることができる。よって、基板内で発生したキャリアがこのポテンシャルバリアを越える割合を充分小さくして、応答速度を高速化することができる。
さらに、第1の第1導電型半導体層のピーク不純物濃度を1×1017cm-3以上にして、基板に対して充分高い不純物濃度(100倍以上)を持つようにするのが好ましい。
さらに、第1の第1導電型半導体層は、欠陥が形成されにくい塗布拡散により形成するのが好ましい。
さらに、第1の第1導電型半導体層内で、基板側から表面に向かって不純物が上昇している領域において、その不純物濃度が最も高い不純物濃度の100分の1である部分は、表面からの深さを38μm以下に設定することが、応答速度を向上させるために有効である。
本発明の回路内蔵型受光素子にあっては、第1導電型拡散層によってフォトダイオード部とは分離された第2導電型半導体層の領域に、検出した信号を処理する信号処理回路部を設けているので、ピックアップシステムの小型化を図ることができる。
さらに、フォトダイオード周辺のアノード電極に接続されたP型分離拡散層および信号処理回路部の下に、第1導電型半導体層または第2の第1導電型半導体層の表面から形成された第1導電型高濃度拡散層を設ければ、書き込み対応用フォトダイオードに要求される大光量時の応答速度から必要とされる低いアノード抵抗に設定することが可能となる。さらに、回路のラッチアップを防ぐことも可能である。
以上詳述したように、本発明によれば、第1導電型半導体基板の上にそれよりも不純物濃度が低い第1導電型半導体層を有する積層基板を用い、その上にフォトダイオードを形成した構造において、その第1導電型半導体層の層厚および比抵抗を調節して空乏層幅を薄くすることにより、フォトダイオードの印加バイアス電圧を変化させなくても空乏層内の電界強度を強くすることができる。その結果、接合付近で電界によってキャリアを押し流す力が強くなり、大光量時のキャリアの蓄積による応答速度の低下を防ぐことができる。
但し、空乏層幅が狭くなると、容量成分の増加、および空乏層よりも下側で発生したキャリアが拡散により進む距離が長くなるため、小光量時の応答速度が低下するおそれがある。よって、読み出し時の小光量および書き込み時の大光量の両方に対して要求される応答速度を満足することができるように、第1導電型半導体層の層厚および比抵抗を調節して、所望の仕様を実現することができる。
また、本発明によれば、第1導電型半導体基板とそれよりも不純物濃度が低い第2の第1導電型半導体層との間に、不純物濃度が高い第2の第1導電型半導体層を設けることにより、この第2の第1導電型半導体層を基板側で発生したキャリアに対してポテンシャルバリアとして機能させることができる。よって、拡散により長い距離を移動する遅い電流成分を除くことができる。また、第2の第1導電型半導体層のピーク不純物濃度の部分よりも表面側で発生したキャリアは、第2の第1導電型半導体層の内蔵電界によって加速されるため、空乏層端まで速くたどり着く。よって、応答速度をさらに向上させることができる。
このように、本発明によれば、書き込み対応のフォトダイオードにおいて、書き込みのための大光量入射時にキャリアの蓄積による応答速度の低下を克服し、さらに、読み出しのための小光量入射時および書き込みのための大光量入射時の応答速度の改善を同時に実現することができる受光素子および回路内蔵型受光素子が提供される。
以下、本発明の実施の形態について説明する。
上述したように、図1および図3に示した構造の従来のフォトダイオードを書き込み用のフォトダイオードとして用いた場合、大光量入射時に応答速度が低下するという問題が生じている。
本発明者らは、デバイスシミュレーションを用いて、大光量の光入射時におけるキャリア濃度および電位の時間変化を解析した。その結果、大光量入射時に大量に発生するキャリアが接合付近に蓄積し、これによりポテンシャルが平坦化してキャリアを接合部に押し出す力が弱くなるため、キャリアが拡散のみで移動することにより応答速度が低下するということが分かった。図5および図6に、読み出し時に相当する小光量および6倍書き込み時に相当する大光量をフォトダイオードに入射した場合について、フォトダイオード内のポテンシャルの時間変化をシミュレーションした結果を示す。また、図7に、大光量照射時について、キャリア密度の時間変化をシミュレーションした結果を示す。なお、この図5〜図7のシミュレーションは、図1の構造に対して行った。
図5に示すように、小光量入射時には接合付近での電位の変化は生じていない。これに対して、大光量入射時には、図6に示すように、光入射後の時間と共に基板電位が持ち上がっている。また、図7から、大光量入射時にPN接合付近から基板にかけてキャリアが蓄積していることがわかる。これは、大光量入射時には空乏層および基板に大量の光キャリアが生じ、これにより基板電位が持ち上がるからである。そして、接合付近で電界強度が弱まるため、キャリアを押し流す力が弱まり、さらにキャリアが蓄積して基板電位が持ち上がる。この繰り返しによって接合付近での電位がフラット化し、キャリアが長い距離を拡散により移動するようになるため、応答速度の低下が生じるのである。
以下に、本発明者らが、このようにキャリアの蓄積が生じる原因を解析し、本発明に至った経緯について説明する。
上述した図4から、基板比抵抗が低いほど、大光量時の応答速度の低下速度が小さいことがわかる。印加される逆バイアス電圧は同じであるので、基板比抵抗が小さいほど空乏層幅が狭く、空乏層内にかかる電界強度は強い。そして、電界強度が強くなれば、接合付近のキャリアを押し流す力も強くなり、キャリアの蓄積が起こり難くなる。よって、基板比抵抗が低い方が空乏層幅は狭くなるにも関わらず、大光量時の応答速度が速いと考えられる。
そこで、大光量(350μW)入射時のフォトダイオードの応答速度に対して、空乏層内の電界強度が与える影響を調べるために、デバイスシミュレーションを行った。このシミュレーションは、図8(a)に示すような構造および図8(b)に示すような不純物濃度プロファイル(図8(a)のb−b’線部分)を用いて行った。このフォトダイオードは、P型低抵抗基板181上にP型高抵抗層182を形成し、その上にN型半導体層183を積層した構造となっている。また、N型半導体層183は、P型拡散層184、185により複数の領域に分割されている。このフォトダイオードの不純物プロファイルは、図8(b)に示すように、P型低抵抗基板181とP型高抵抗層182の濃度変化が階段状になっているため、空乏層が基板とP型高抵抗層182との界面まで広がっている。また、基板比抵抗が充分に低いためにアノード抵抗の影響を無視できるようになっている。
このフォトダイオードに大光量のパルス光を照射したときの応答をシミュレーションにより求め、印加逆バイアス電圧を変化させることにより、応答速度の電界強度依存性を調べた。図9に、応答時間tf(90%→10%)の電界強度に対する依存性をシミュレーションにより求めた結果を示す。なお、tf(90%→10%)とは、フォトダイオードにパルス光が照射された後、光電流が最大値の90%から10%に低下するまでの時間である。この図9に示すように、空乏層内の電界強度が弱まることによりフォトダイオードの応答速度が遅くなっている。
さらに、応答速度が低下している原因を調べるために、フォトダイオード内の深さ方向のキャリア密度分布について、パルス幅10μsecのパルス光照射後の時間変化を調べた結果を図10に示す。図10(a)は空乏層内の電界強度が0.16V/μmである場合を示し、図10(b)は空乏層内の電界強度が0.4V/μmである場合を示す。図10(a)に示すように、空乏層内の電界強度が弱い場合には、パルス光照射直後に接合付近(深さ2μm程度)に大量のキャリアが蓄積し、例えば接合のごく近辺では1012cm-3のキャリアが蓄積している。そして、その蓄積したキャリアがN型半導体層側に掃き出されるのにかかる時間が10ns以上と遅いため、フォトダイオードの応答速度が低下することがわかる。これに対して、図10(b)に示すように、空乏層内の電界強度が強い場合には、空乏層付近のキャリア濃度は殆ど変化しておらず、キャリアの蓄積は起こっていない。
また、光を照射していないときと、パルス幅10μsecのパルス光照射直後とについて、電界強度分布を図11(a)および図11(b)に示す。図11(a)に示すように、空乏層内の電界強度が0.16V/μmでキャリアの蓄積が起こっている場合には、キャリアの蓄積により接合付近の電界強度がさらに弱まっている。これにより、蓄積したキャリアをN型半導体層側に掃き出す力が弱まり、応答速度が非常に遅くなることがわかる。これに対して、図11(b)に示すように、空乏層内の電界強度が0.4V/μmでキャリアの蓄積が起こっていない場合には、空乏層内の電界強度は光照射時と光が照射されていないときとで殆ど変わっていない。
以上のことから、大光量照射(書き込み)時に応答速度が低下する原因は、キャリアが接合付近に蓄積するためであり、空乏層内の電界強度を強くすることにより改善できることがわかった。
但し、実際のフォトダイオードでは、空乏層内の電界強度を強くするために印加逆バイアス電圧を高くすると、印加電圧の揺らぎによるノイズも大きくなるため、印加電圧を大きく変えることはできない。また、機器内のLSIと電源を共有していることからも、印加電圧を大きく変えることはできない。そこで、従来から知られている図3の構造のフォトダイオードにおいて、P型エピタキシャル層(P型高抵抗結晶成長層)142を薄くすることにより、空乏層幅を制限し、空乏層内の電界強度を強めることができる。
図3の構造において、P型エピタキシャル層142の層厚を変化させて実際に作製したフォトダイオードについて、大光量および小光量を照射した時の応答を測定した結果を下記表1に示す。同時に、各層厚での空乏層幅と空乏層内の電界強度についても示す。
Figure 2004247769
なお、P型エピタキシャル層142内には、不純物濃度が変化している領域(オートドープ層142a)があるため、この表1に示すように、空乏層幅はP型エピタキシャル層142幅よりも薄くなる。
また、この測定による、大光量時の応答速度と空乏層内の電界強度との関係を図9に実測値として示す。この図9に示すように、空乏層内の電界強度が強くなるに従って応答速度が速くなっており、その依存性はシミュレーション結果と一致している。従って、大光量を照射した時の応答速度はおおよそ空乏層内の電界強度によって律され、空乏層幅には殆ど因らない。これは、シミュレーションにおいて応答速度が低下している場合のキャリア分布を示した図10(a)からも分かるように、キャリアの蓄積は接合付近(深さ2μm程度で起きるため、キャリアの蓄積はこの接合付近での電界強度に大きく依存すると考えられることからも説明される。
一方、上記表1に示すように、空乏層幅が狭まると、小光量を照射した時の応答速度が低下する。これは、空乏層が狭まることにより容量成分が上昇するため、および空乏層よりも下で発生したキャリアが拡散で移動する距離が長くなるためである。
以上のように、図3の構造のフォトダイオードにおいて、P型エピタキシャル層142の厚みを薄くして空乏層内の電界強度を強くすることにより、大光量時の応答速度を向上させることができる。しかし、P型エピタキシャル層142を薄くしすぎると、小光量時の応答速度が低下するため、書き込み時の大光量および読み出し時の小光量を照射したときに要求される応答速度の両方の観点から、最適な層厚を設定する必要がある。
(実施形態1)
図3は、本実施形態の受光素子の構造を示す断面図である。
本実施形態の受光素子と図3の構造を有する従来の受光素子とは、同様の方法により作製することができるが、大きく異なる点は、P型エピタキシャル層(高抵抗結晶成長層)142の層厚と比抵抗である。本実施形態では、このP型エピタキシャル層142の層厚および比抵抗を、下記式を満足するように設定する。
Ed>0.3V/μm
但し、Edはフォトダイオードに動作逆バイアス電圧を印加した時に空乏層160内に生じる平均電界強度である。
このように空乏層内の電界強度を設定する理由は以下の通りである。空乏層内の電界強度を強めることにより、接合付近に存在する光キャリアを押し流す力を大きくして、フォトダイオードに大光量の光が入射したときにキャリアの蓄積による応答速度の低下を抑制することができる。現在、書き込み対応CD用ピックアップの性能としては、6倍速書き込みが要求されている。上述した図9によれば、空乏層内の電界強度を0.3V/μm以上に設定することにより、6倍速書き込みに必要な応答速度を実現することができる。
さらに、書き込み対応のフォトダイオードには、書き込み時だけではなく読み出し時の応答速度も重要であり、32倍速読み出しの性能が要求されている。上記表1の実験データから見積もった空乏層幅と小光量時の応答速度の関係を図12に示す。ここで、32倍速の応答速度を得るためには応答周波数が23MHz以上であることが必要であり、これを満たすためにはフォトダイオードの1dB落ちの周波数が15MHz以上であることが必要である。この図12によれば、空乏層幅を5μm以上に設定することにより、32倍速読み出しに必要な応答速度を実現することができる。
なお、上記書き込み時および読み出し時に必要な応答速度を充分満足させるために、空乏層内の電界強度を0.3V/μm以上とし、かつ、空乏層幅を5μm以上とするためには、P型エピタキシャル層142の層厚を13μm以上17μm以下とし、その比抵抗を100Ωcm以上1500Ωcm以下とするのが好ましい。なお、この層厚および比抵抗の範囲は本発明者らの実験データから決定したものである。
さらに、P型半導体基板141の不純物濃度は、P型エピタキシャル層142の表面における不純物濃度の103倍を越えない濃度とするのが好ましい。これは、N型エピタキシャル層の形成までの工程において、基板内の不純物が抜け出してその表面に形成されるP型エピタキシャル層142(不純物濃度が一定の層142b)の表面に付着することによってオートドープ層が形成されるのを防ぐためである。例えば、1kΩの高比抵抗を有するP型エピタキシャル層142を形成する場合には、P型半導体基板141の不純物濃度は約1Ωcmとする。この理由は、P型エピタキシャル層142の表面に形成されるオートドープ層の不純物濃度と、P型半導体基板141の不純物濃度との間に、およそ1:1000という関係が成立するからである。従って、P型半導体基板141の不純物濃度を、P型エピタキシャル層142の表面における不純物濃度の設定値の1000倍を越えない濃度とすれば、仮に不純物のオートドープが発生しても、結果として得られるP型エピタキシャル層の表面での不純物濃度が所定の設定値を越えることはない。また、アノード抵抗を下げるためには、基板比抵抗はオートドープが起こらない範囲で低い方が望ましい。例えば基板比抵抗の下限を1Ωcmとすると、受光素子を安定して量産するためには基板比抵抗の上限を20Ωcm以下にするのが望ましい。
さらに、基板の裏面にアノード電極を設けて、表面側の分離拡散領域上に設けたアノード電極と電気的に接続すれば、表面側のみにアノード電極を設けた場合に比べて、より一層アノード抵抗を下げて応答速度の向上を図ることができる。
(実施形態2)
図13は、本実施形態の受光素子の構造を示す断面図である。この図において、アノード電極、カソード電極、配線および保護膜等は省略されている。
この受光素子は、図13(a)に示すように、P型半導体基板103上にP型埋め込み拡散層109、P型エピタキシャル層104およびN型エピタキシャル層110が形成されている。N型エピタキシャル層110はP型分離拡散層107およびP型分離埋め込み拡散層108により複数の領域に分割され、各分割領域とその下のP型エピタキシャル層104との接合によりフォトダイオードが構成されている。P型エピタキシャル層104は、図13(a)のc−c’線部分の不純物プロファイルを示す図13(b)に示すように、基板側から連続的に不純物濃度が減少するオートドープ層(はい上がり層)104aと比抵抗が一定の層104bとからなる。
この受光素子と実施形態1の受光素子とにおいて、大きく異なる点は、P型半導体基板103とp型エピタキシャル層104との間に、P型埋め込み拡散層109を設けた点である。受光素子の作製においては、P型半導体基板103上にボロンを拡散してP型埋め込み拡散層109を形成し、その上に結晶成長によりP型エピタキシャル層を形成する。その後は、従来と同様に行うことができる。
実施形態1の受光素子においては、P型エピタキシャル層の層厚および比抵抗を最適化しても、得られる性能は、書き込み6倍速および読み出し32倍速程度までである。これは、空乏層内の電界強度を強めるために空乏層幅を狭くすることにより、容量成分が増加すること、および基板の比較的深い位置で発生したキャリアが拡散により移動する距離が長くなることによる。また、これは、読み出し時のみではなく、書き込み時の応答速度を律する要因ともなっている。
そこで、本実施形態では、P型半導体基板103とP型エピタキシャル層104との間にP型埋め込み拡散層109を形成することにより、基板の比較的深い位置で発生したキャリアに対してP型埋め込み拡散層109がポテンシャルバリアとして働くようにして、応答速度を向上させることを検討した。
まず、この埋め込み拡散層109がどのように機能するのかについて、デバイスシミュレーションにより検討を行った。フォトダイオード部の濃度プロファイルが図14(a)、図14(b)、図14(c)に示すような3つの構造に対して、780nm、300μWのパルス光に対して、1%の応答時間(光電流が90%から1%になるまでの時間)tf(90%→1%)を下記表2に示す。なお、この表2において、埋め込み層幅とは、P型埋め込み拡散層109のピーク不純物濃度の位置から、その表面側の濃度が1014cm-3である位置までの幅である。
Figure 2004247769
ここで、1%の応答時間は、基板から拡散によって移動するキャリアで決定される。プロファイル(a)と(b)ではP型半導体基板103、P型埋め込み拡散層109およびP型エピタキシャル層104の不純物濃度は等しいが、P型埋め込み拡散層109の幅のみを異ならせてある。
このプロファイル(a)と(b)の構造では、(b)の方が応答速度が大きく向上しているため、P型埋め込み拡散層109の幅が広くて、P型埋め込み拡散層109の作り出すポテンシャルバリアが大きな勾配を持たないような場合には、応答速度向上の効果が得られないことがわかる。
また、プロファイル(b)と(c)の構造では、P型半導体基板103の濃度(比抵抗)以外のプロファイルは全て同じにしてある。この(b)と(c)から、P型半導体基板103の濃度によって大きく応答速度が変化することがわかる。
ここで、図15(a)に上記プロファイル(c)の構造に対してパルス幅10μsecのパルス光照射後2nsecにおける電子濃度分布を示し、図15(b)に上記プロファイル(b)の構造に対してパルス幅10μsecのパルス光照射後2nsecにおける電子濃度分布を示す。この図は、フォトダイオード部の断面を示す図であり、ドット密度が高いほど電子濃度が高いことを示している。また、図中の実線は、P型埋め込み拡散層109の濃度ピークを示している。なお、表面付近全体の電子濃度が高くなっているのは、カソード抵抗を下げるためにN型の高濃度注入層を設けているためである。
図15(a)に示すように、基板比抵抗が高く、ポテンシャルバリアが十分の高さを持つプロファイル(c)の構造の場合には、P型埋め込み拡散層109よりも深い位置のキャリアがバリアを越えることができず、キャリアが溜まっていることが分かる。これに対して、図15(b)に示すように、ポテンシャルバリアの高さが十分ではないプロファイル(b)の構造の場合には、キャリアが表面側に流れ出して、P型埋め込み拡散層109のピーク濃度付近にも分布していることが分かる。従って、プロファイル(b)の構造において応答速度が低下するのは、P型埋め込み拡散層109よりも基板側で発生したキャリアがポテンシャルバリアを越えて遅い電流成分として寄与するためである。
以上のように、図13に示すP型埋め込み拡散層109を設けた受光素子においては、P型埋め込み拡散層109がそれよりも基板側で発生したキャリアにとってポテンシャルバリアとして働く。このため、P型埋め込み拡散層109よりも基板側で発生したキャリアがポテンシャルバリアを越えて表面側に移動することができず、基板内で再結合して消滅する。また、P型埋め込み拡散層109の濃度ピーク部分から空乏層106の間の領域で発生したキャリアは、P型埋め込み拡散層109の大きな濃度勾配による内蔵電界によって加速され、拡散による場合に比べて速く空乏層端に移動する。これらのことから、書き込み対応フォトダイオードの書き込み時および読み出し時の応答速度を共に高速化することができる。この高速化の効果は、P型埋め込み拡散層109がP型半導体基板103に対して十分な濃度差および勾配を有することにより、さらに向上する。
次に、P型エピタキシャル層104の層厚を変化させることにより空乏層106幅を変化させたプロファイルに対してシミュレーションを行った。フォトダイオード部の濃度プロファイルが図14(b)に示すような構造に対して、P型高抵抗エピタキシャル層の層厚を変化させて、350μwの光照射を行ったときの応答時間(光電流が90%から10%になるまでの時間)tf(90%→10%)を下記表3に示す。
Figure 2004247769
また、図16(a)に、P型エピタキシャル層104の層厚を15μmとして空乏層106内の電界強度を0.42V/μmとした構造に対してパルス幅10μsecのパルス光照射時におけるフォトダイオード部の電子濃度分布を示し、図16(b)に、P型エピタキシャル層104の層厚を20μmとして空乏層106内の電界強度を0.21V/μmとした構造に対してパルス幅10μsecのパルス光照射時におけるフォトダイオード部の電子濃度分布を示す。この図は、フォトダイオード部の断面を示す図であり、ドット密度が高いほど電子濃度が高いことを示している。また、図中の実線は、P型埋め込み拡散層109の濃度ピークを示している。なお、表面付近全体の電子濃度が高くなっているのは、カソード抵抗を下げるためにN型の高濃度注入層を設けているためである。
この図から分かるように、層厚が20μmの場合には、空乏層106付近にキャリアの蓄積が起こっている。従って、P型エピタキシャル層が厚くなると空乏層が広がって、空乏層内の電界強度が弱まるために電荷の蓄積が起こり、応答速度の低下につながる。
図17に、空乏層106内の電界強度と、780nm、300μWのパルス光に対する10%の応答時間(カソード電流が10%になるまでの時間)tf(0%→90%)との関係を示す。この図から分かるように、本実施形態において、P型エピタキシャル層104の層厚および比抵抗を、下記式を満足するように設定することにより、次期書き込み対応フォトダイオードとして要求される12倍速書き込み性能(tfが4ns以下)を実現することができる。
Ed>0.3V/μm
但し、Edはフォトダイオードに動作逆バイアス電圧を印加した時に空乏層106内に生じる平均電界強度である。これは、シミュレーション結果に示すように、空乏層内の電界強度を強めることにより、接合付近に存在する光キャリアを流す力を大きくして、フォトダイオードに大光量の光が入射したときにキャリアの蓄積による応答速度の低下を抑制することができるからである。
上記書き込み時の性能を実現するために空乏層内の電界強度を0.3V/μm以上とし、かつ、フォトダイオードの容量の上昇を抑えるためには、P型エピタキシャル層104の層厚を9μm以上17μm以下とし、その比抵抗を100Ωcm以上1500Ωcm以下とするのが好ましい。なお、このエピタキシャル層の層厚の範囲は表3のシミュレーションデータから決定したものであり、比抵抗の範囲も本発明者らのシミュレーション結果から決定したものである。また、エピタキシャル層の層厚の下限を9μmとしているのは、図14(b)から、エピタキシャル層厚が9μmよりも薄くなるとN型エピタキシャル層110とP型エピタキシャル層104の接合濃度がオートドープ層104aの影響で高くなり、接合容量が増えて応答速度が低下するためである。
さらに、本実施形態において、P型埋め込み拡散層109をポテンシャルバリアとして十分機能させるためには、P型埋め込み拡散層109のピーク不純物濃度がP型半導体基板103の不純物濃度の100倍以上とするのが好ましい。その理由は、以下の通りである。
P型埋め込み拡散層109がP型半導体基板103に対して十分な拡散電位を持たない場合には、P型埋め込み拡散層109よりも基板側で発生したキャリアが熱エネルギーによってP型埋め込み拡散層109を越えてPN接合に達し、応答速度を低下させる要因となる。動作温度の約10℃〜100℃の熱エネルギーが0.03eV〜0.04eVであるので、これよりも十分に大きい拡散電位を持つ必要がある。基板側で発生したキャリアの表面側への流れ込みを抑えるために、P型埋め込み拡散層109を越えてくるキャリアを10%以下とするには、P型埋め込み拡散層109がP型半導体基板103に対して0.1V以上の電位を有する必要がある。これは、Ee(eV)の熱エネルギーを有する電子がEb(eV)のポテンシャルバリアを乗り越える確率pが
p=Exp(−Eb/Ee)
であるため、
p=Exp(−Eb/0.04)<0.1
Eb>−0.04×log(0.1)=0.1
となるからである。
ここで、不純物濃度と拡散電位との関係を図18に示す。この図18から分かるように、P型埋め込み拡散層109とP型半導体基板103との間に電位0.1V以上の電位差を与えるためには、P型埋め込み拡散層109のピーク不純物濃度をP型半導体基板103の不純物濃度の100倍以上に設定する必要がある。すなわち、P型埋め込み拡散層109のピーク不純物濃度をP型半導体基板103の不純物濃度の100倍以上に設定することにより、P型埋め込み拡散層109よりも基板側で発生するキャリアによる応答速度の低下を改善することができる。
さらに、P型半導体基板103の不純物濃度とP型埋め込み拡散層109のピーク不純物濃度との差が大きいほど、ポテンシャルバリアとしての効果は高くなる。ここで、基板の不純物濃度を下げるためにはFZ(Float Zone)法により作製した基板の方が有利であるが、この場合にはウェハ強度が弱く、欠陥による歩留まり低下が生じるおそれがある。これに対して、CZ(Czochralski)法で作製した基板の場合には、欠陥による歩留まりの低下を防ぐことができるので好ましい。なお、CZ法で作成可能な最も高い基板比抵抗は、50Ωcmであるので、20Ωcmから50Ωcmの比抵抗を有するCZ基板を用いるのが好ましい。これは、比抵抗の上限を50Ωcmとすると、受光素子を安定量産するためには下限が20Ωcmとなるからである。
また、P型半導体基板103に対して十分高い不純物濃度(100倍以上)を与えるためには、P型埋め込み拡散層109のピーク不純物濃度を1×1017cm-3以上にするのが好ましい。
さらに、P型埋め込み拡散層109は、層厚および比抵抗の制御性の観点からは、イオン注入により形成するのが有利である。しかし、1×1017cm-3以上という高濃度のイオンを注入した場合、欠陥による歩留まりの低下が生じるおそれがある。このような欠陥による歩留まりの低下を防ぐためには、塗布拡散によりP型埋め込み拡散層109を形成するのが好ましい。
さらに、パルス光に対する1%の応答時間を改善するためには、P型埋め込み拡散層109の濃度プロファイルを以下のように設定するのが好ましい。
Xu<38μm
但し、Xuはフォトダイオード表面から、P型埋め込み拡散層109の基板側でP型埋め込み拡散層109のピーク不純物濃度の100分の1の濃度となっている位置までの厚さである。これは、光が入射して吸収され、その強度が1%以下になる部分よりも浅いところにポテンシャルバリアを形成しなければ応答の遅いキャリアを十分に消すことができず、応答速度を向上させる効果が十分に得られないからである。ここで、CD−ROMに使用される波長780nmの光がSiに入射して1%の強度となる深さは38μmであるため、フォトダイオード表面から、P型埋め込み拡散層109の基板側でP型埋め込み拡散層109のピーク不純物濃度の100分の1の濃度となっている位置までの厚さを38μm以下に設定するのが好ましい。
なお、実施形態2の受光素子においても、図3に示した実施形態1の構造と同様に、同一基板上のP型分離拡散層107およびP型分離埋め込み拡散層108によってフォトダイオード部とは分離されたN型エピタキシャル層の領域に、信号処理回路を形成して回路内蔵型受光素子とすることにより、ピックアップシステムの小型化を図り、コストダウンを実現することができる。
さらに、このような回路内蔵型受光素子において、図19に示すように、フォトダイオード部以外の一部にP型エピタキシャル層30表面から、P型埋め込み拡散層4を形成するのが好ましい。これにより、P型分離埋め込み拡散層7の下側の抵抗を下げてアノード抵抗を下げることができ、さらにフォトダイオードの高速化を図ることができる。また、回路部の基板抵抗を下げることにより、ラッチアップを防ぐこともできる。なお、この図19において、1はP型半導体基板、30はP型高抵抗エピタキシャル層であり、そのうち、2は比抵抗一定の層、3はオートドープ層である。また、5は空乏層、6はN型コレクタ領域、8はN型エピタキシャル層、9はP型分離拡散層、10はN型コレクタコンタクト領域、11はP型ベース領域、12はN型エミッタ領域、14はカバー膜、15はカソードコンタクト、16はアノードコンタクト、17はトランジスターのコンタクト、22はカソードコンタクト領域、80はフォトダイオード形成部、90は回路形成部を示す。
なお、上記実施形態においてはP型を第1導電型、N型を第2導電型としたが、N型を第1導電型、P型を第2導電型とすることも可能である。
従来の受光素子の構成を示す図であり、(a)はその断面構造を示し、(b)は(a)のa−a’線部分の不純物濃度を示す。 従来の受光素子における基板比抵抗と応答速度(カットオフ周波数)との関係を示す図である。 実施形態1および従来の受光素子の断面構造を示す図である。 図1の構造の受光素子について、フォトダイオードの応答速度(カットオフ周波数)の入射光量依存性を実験した結果を示す図である。 図1の構造の受光素子について、フォトダイオードに小光量を入射したときのポテンシャル分布の時間変化をシミュレーションした結果を示す図である。 図1の構造の受光素子について、フォトダイオードに大光量を入射したときのポテンシャル分布の時間変化をシミュレーションした結果を示す図である。 図1の構造の受光素子について、フォトダイオードに大光量を入射したときのキャリア密度分布の時間変化をシミュレーションした結果を示す図である。 シミュレーションに用いたフォトダイオードの構成を示す図であり、(a)はその断面構造を示し、(b)は(a)のb−b’線部分の不純物濃度を示す。 図8の構造の受光素子について、フォトダイオードの空乏層内の電界強度と応答速度との関係をシミュレーションした結果および実測した結果を示す図である。 (a)および(b)は、図8の構造の受光素子について、フォトダイオードのキャリア密度分布の時間変化を示す図である。 (a)および(b)は、図8の構造の受光素子について、光を照射していないときと光入射時とにおけるフォトダイオードの電界強度分布を示す図である。 図3の構造の受光素子について、フォトダイオードに小光量を入射したときの応答速度(カットオフ周波数)の空乏層幅依存性を示す図である。 実施形態2の受光素子の構成を示す図であり、(a)はその断面構造を示し、(b)は(a)のc−c’線部分の不純物濃度を示す。 (a)〜(c)は、図13の構造の受光素子について、シミュレーションに用いたフォトダイオードの深さ方向の不純物濃度分布を示す図である。 (a)および(b)は、図14(c)および(b)の不純物プロファイルを有するフォトダイオードについて、パルス幅10μsecのパルス光照射後2nsecにおけるキャリアの平面分布をシミュレーションした結果を示す図である。 (a)および(b)は、P型エピタキシャル層の層厚を15μmおよび20μmとしたフォトダイオードについて、パルス幅10μsecのパルス光照射時におけるキャリアの平面分布をシミュレーションした結果を示す図である。 図13の構造の受光素子について、大光量入射時におけるフォトダイオードの空乏層内の電界強度と応答速度をシミュレーションした結果を示す図である。 不純物濃度勾配により生じる拡散電位と不純物濃度との関係を示す図である。 本発明の一実施形態である回路内蔵型受光素子の構成を示す図である。
符号の説明
1、84、103、141 P型半導体基板
2、104b 比抵抗が一定の層
3、104a、142a オートドープ層
4 P型埋め込み拡散層
5、86、106、160 空乏層
6 N型コレクタ領域
7、88、108 P型分離埋め込み拡散層
8、85、110、143 N型エピタキシャル層
9、87、107、144 P型分離拡散層
10 N型コレクタコンタクト領域
11、147 P型ベース領域
12、148 N型エミッタ領域
14 カバー膜
15 カソードコンタクト
16 アノードコンタクト
17 トランジスターのコンタクト
22 カソードコンタクト領域
30、104、142 P型エピタキシャル層
80、180 フォトダイオード形成部
90、190 回路形成部
109 P型埋め込み拡散層
142b 不純物濃度が一定の層
145 N型コンタクト領域
146 N型埋め込み領域
149 シリコン酸化膜
150a、150b、150c 電極配線層

Claims (13)

  1. 第1導電型半導体基板と、
    該第1導電型半導体基板上に形成され、該第1導電型半導体基板よりも不純物濃度が低い第1導電型半導体層と、
    該第1導電型半導体層上に形成された第2導電型半導体層と、
    該第2導電型半導体層を複数の第2導電型半導体領域に分割する第1導電型拡散層とを備え、
    該第2導電型半導体領域とその下部の第1導電型半導体層との接合により、フォトダイオード部が構成される受光素子であって、
    前記第1導電型半導体層の層厚が13μm以上17μm以下であり、その比抵抗が100Ωcm以上1500Ωcm以下であることを特徴とする受光素子。
  2. 第1導電型半導体基板上に当該第1導電型半導体基板よりも不純物濃度が低い第1導電型半導体層が形成された積層基板と、
    該積層基板の第1導電型半導体層上に形成された第2導電型半導体層と、
    該第2導電型半導体層を複数の第2導電型半導体領域に分割する第1導電型拡散層とを備え、
    該第2導電型半導体領域とその下部の第1導電型半導体層との接合により、フォトダイオード部が構成される受光素子であって、
    前記第1導電型半導体層の層厚が13μm以上17μm以下であり、その比抵抗が100Ωcm以上1500Ωcm以下であることを特徴とする受光素子。
  3. 前記第1導電型半導体基板の比抵抗が1Ωcm以上20Ωcm以下である請求項1または請求項2に記載の受光素子。
  4. 前記第1導電型半導体基板の裏面に電極を有し、該電極が前記第2導電型半導体層表面側に設けられているアノード電極と電気的に接続されている請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の受光素子。
  5. 第1導電型半導体基板と、
    該第1導電型半導体基板上に形成され、該第1導電型半導体基板よりも不純物濃度が高い第1の第1導電型半導体層と、
    該第1の第1導電型半導体層上に形成され、該第1導電型半導体基板よりも不純物濃度が低い第2の第1導電型半導体層と、
    該第2の第1導電型半導体層上に形成された第2導電型半導体層と、
    該第2導電型半導体層を複数の第2導電型半導体領域に分割する第1導電型拡散層とを備え、
    該第2導電型半導体領域とその下部の第2の第1導電型半導体層との接合によりフォトダイオード部が構成されており、
    前記第2の第1導電型半導体層の層厚が9μm以上17μm以下であり、その比抵抗が100Ωcm以上1500Ωcm以下であることを特徴とする受光素子。
  6. 第1導電型半導体基板上に当該第1導電型半導体基板よりも不純物濃度が高い第1の第1導電型半導体層が形成された積層基板と、
    該積層基板の第1の第1導電型半導体層上に形成され、前記第1導電型半導体基板よりも不純物濃度が低い第2の第1導電型半導体層と、
    該積層基板の第2の第1導電型半導体層上に形成された第2導電型半導体層と、
    該第2導電型半導体層を複数の第2導電型半導体領域に分割する第1導電型拡散層とを備え、
    該第2導電型半導体領域とその下部の第2の第1導電型半導体層との接合によりフォトダイオード部が構成されており、
    前記第2の第1導電型半導体層の層厚が9μm以上17μm以下であり、その比抵抗が100Ωcm以上1500Ωcm以下であることを特徴とする受光素子。
  7. 前記第1導電型半導体基板の不純物濃度が、前記第1の第1導電型半導体層のピーク不純物濃度の100分の1以下である請求項5または6に記載の受光素子。
  8. 前記第1導電型半導体基板がCZ法により作成され、その比抵抗が20Ωcm以上50Ωcm以下である請求項5乃至請求項7のいずれかに記載の受光素子。
  9. 前記第1の第1導電型半導体層のピーク不純物濃度が1×1017cm-3以上である請求項7または請求項8に記載の受光素子。
  10. 前記第1の第1導電型半導体層が塗布拡散により形成されている請求項5乃至請求項9のいずれかに記載の受光素子。
  11. 前記第1の第1導電型半導体層内で、前記第1導電型半導体基板側から表面に向かって不純物濃度が上昇している領域において、その不純物濃度が該第1の第1導電型半導体層内の最も高い不純物濃度の100分の1である部分は、前記第2導電型半導体層表面からの深さが38μm以下である請求項7乃至請求項10のいずれかに記載の受光素子。
  12. 請求項1乃至請求項11のいずれかに記載の受光素子における、前記第2導電型半導体層のフォトダイオード部とは異なる領域に、該フォトダイオード部によって検出された信号を処理する信号処理回路部を有する回路内蔵受光素子。
  13. 前記第1導電型半導体層または前記第2の第1導電型半導体層のフォトダイオード部とは異なる部分の少なくとも一部に、該第1導電型半導体層または該第2の第1導電型半導体層の表面から形成された第1導電型高濃度拡散層を有する請求項12に記載の回路内蔵受光素子。
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