JP2004247467A - 薄板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のウエハを収納支持する容器本体と、容器本体を塞いで内部を密封する蓋体とを備えたウエハ収納容器である。蓋体の内側面に設けられてウエハを1枚ずつ一定間隔を空けて支持する薄板支持部材21を備えた。薄板支持部材21は、ウエハの周縁に嵌合してウエハを支持する当接片22と、当接片22を弾性的に支持する支持部23と、支持部23を並列に複数本一定間隔を空けて一体的に支持して蓋体の内側面側に取り付けられる基端支持棒部24とを備えた。支持部23の基端が基端支持棒部24に一体的に連結され、支持部23の先端が蓋体の支持台の嵌合部に当接して、当接片22をその両側から弾性的に支持する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、容器本体内に収納された複数の薄板を確実に支持することができる薄板収納容器に関する。
【0002】
【従来の技術】
薄板収納容器としては、半導体シリコンウエハを内部に複数枚収納して保管したり移送したりする容器が一般的に知られている。このようなウエハ収納容器では、収納される複数のウエハを互いに接触しないように一定間隔を空けて支持する必要がある。このため、容器本体内に、ウエハを一定間隔を空けて支持する支持部材が設けられていると共に、蓋体の内側面にも支持部材が設けられている。
【0003】
この蓋体の支持部材の一例を図2に示す。
【0004】
図中の1は上部カバーである。上部カバー1の内側面(下側面)にはウエハ3を上側から支持する支持部材としてのウエハ押え2が設けられている。上部カバー1の下側には、容器本体(図示せず)内に収納されたウエハ3が位置している。
【0005】
ウエハ押え2は、左右から交互に延びた支持腕部4を備えている。この支持腕部4は、その基端が上部カバー1側に固定され、その先端がウエハ3側へ延出されている。そして、支持腕部4の先端のホールドダウン部材5がウエハ3の周縁部に嵌合して、ウエハ3を1枚ずつ一定間隔を空けて支持するようになっている。
【0006】
【特許文献1】
特表平4−505263号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記構成の薄板収納容器では、ウエハ押え2の支持腕部4が、その基端を上部カバー1側に固定されて先端を自由端にした片持ち状態になっているため、支持腕部4は比較的弱い力でウエハ3を支持することになり、ウエハ3を強く支持することは難しい。このため、大径で質量の大きいウエハ3を支持する場合は、ウエハ3を確実に支持することは難しく、ウエハ3が容器内でぐらついてしまうという問題がある。
【0008】
また、片持ちのウエハ押え2の場合、その先端のホールドダウン部材5が基端部を中心にして回動するため、ウエハ3がずれると、ウエハ押え2の先端のホールドダウン部材5とウエハ3の周縁との間で摩擦が生じて、塵埃等が発生してしまうという問題点がある。
【0009】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、収納された薄板を確実に支持すると共に、塵埃等の発生を押さえる薄板収納容器を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために第1の発明に係る薄板収納容器は、内部が清浄に保たれた状態で複数の薄板を収納支持する容器本体と、当該容器本体を塞いで内部を密封する蓋体とを備えた薄板収納容器において、上記蓋体の内側面に設けられて上記薄板を1枚ずつ一定間隔を空けて支持する薄板支持部材を備え、当該薄板支持部材が、上記薄板の周縁に嵌合して薄板を支持する当接片と、当該当接片を弾性的に支持する支持部と、当該支持部を並列に複数本一定間隔を空けて一体的に支持して上記蓋体の内側面側に取り付けられる基端支持棒部とを備え、上記支持部の基端が上記基端支持棒部に一体的に連結されると共に、上記当接片が上記支持部の途中に設けられ、上記支持部の先端が上記蓋体の内側面側に当接して上記当接片をその両側から弾性的に支持することを特徴とする。
【0011】
上記構成により、支持部が当接片をその両側から弾性的に支持するため、大径で質量の大きい薄板に対しても確実に支持することができる。
【0012】
第2の発明に係る薄板収納容器は、第1の発明に係る薄板収納容器において、上記支持部の基端側が長く成形されると共に先端側が短く成形されたことを特徴とする。
【0013】
上記構成により、支持部は、基端支持棒部が蓋体の内側面側に取り付けられて基端部が固定された状態で当接片を支持する。このとき、基端支持棒部から当接片までを長く成形したので、当接片が薄板の周縁に当接する当初においては、支持部が当接片を弱い力で薄板の周縁に押し当てる。そして、支持部のうち当接片の先端側が蓋体の内側面側に当接すると、当接片はその両側から弾性的に支持される。このとき、当接片から先の先端側が短く成形されたので、当接片を強い力で薄板の周縁に押し当てる。支持部は、当接片の両側でその弾性係数はほとんど変わらないが、先端側の方が短いため、強い力で当接片を支持する。
【0014】
第3の発明に係る薄板収納容器は、第1又は第2の発明に係る薄板収納容器において、上記支持部が、上記当接片の両側で容器本体内の薄板側へ隆起させて成形されたことを特徴とする。
【0015】
上記構成により、支持部を当接片の両側で容器本体内の薄板側へ隆起させることで、この隆起して斜めになった部分が、強い弾性力を発揮する。
【0016】
第4の発明に係る薄板収納容器は、第1乃至第3の発明のいずれかに係る薄板収納容器において、上記蓋体の内側面に、上記支持部の先端側を支持する支持台を設けたことを特徴とする。
【0017】
上記構成により、蓋体の内側面に設けた支持台が支持部の先端側を支持することで、支持部が両側から支持される。これにより、当接片が支持部によって両側から支持される。
【0018】
第5の発明に係る薄板収納容器は、第4の発明に係る薄板収納容器において、上記支持台に、上記支持部の先端側が嵌合して支持される嵌合部を設けたことを特徴とする。
【0019】
上記構成により、支持台の嵌合部に支持部の先端側が嵌合することで、支持部の先端側が安定して支持される。これにより、当接片が支持部によって安定して支持される。
【0020】
第6の発明に係る薄板収納容器は、第1乃至第5の発明のいずれかに係る薄板収納容器において、上記支持部の先端側に、上記蓋体の内側面に当接して上記当接片を先端側から弾性的に支持する支持台部を設けたことを特徴とする。
【0021】
上記構成により、支持台部が蓋体の内側面に当接することで、当接片を先端側から弾性的に支持する。
【0022】
第7の発明に係る薄板収納容器は、第1乃至第6の発明のいずれかに係る薄板収納容器において、上記薄板支持部材を2つ互いに向き合わせて取り付けられ、各薄板支持部材の当接片が交互に組み合って一列に並び、上記薄板を1枚ずつ一定間隔を空けて支持することを特徴とする。
【0023】
上記構成により、多数の薄板を1枚ずつ一定間隔を空けて支持することができる。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【0025】
本実施形態では薄板としての半導体シリコンウエハを収納して輸送する収納容器を例に説明する。
【0026】
このウエハ収納容器11は、図3,4に示すように、内部に半導体シリコンウエハ(図示せず)を多数枚収納する容器本体12と、この容器本体12内の対向する側壁にそれぞれ設けられ、内部に収納された多数枚の半導体シリコンウエハを一定間隔をおいて平行にその両側から保持するウエハ支持板13と、容器本体12の上側開口を気密に塞いで内部を清浄に保つ蓋体14とから構成されている。
【0027】
容器本体12の上端部には、蓋体14が嵌合するための蓋体受け部15が設けられている。この蓋体受け部15は容器本体12の上端部を、蓋体の寸法まで広げて形成されている。蓋体14と蓋体受け部15の間には、蓋体14を容器本体12側に固定するための種々の固定手段(図示せず)が設けられる。
【0028】
なお、図3中の16は製造ライン等に設けられた搬送装置(図示せず)で搬送される際にその腕部で掴まれる搬送用フランジ部である。17は作業者が手で持って容器本体12を持ち運んだり、持ち上げて縦にしたり横にしたりするためのハンドル17である。
【0029】
蓋体14の内側面(図4中の上側面)には薄板支持部材21が設けられている。この薄板支持部材21は、容器本体12に収納された半導体シリコンウエハをその上側から1枚ずつ一定間隔を空けて支持するための部材である。この薄板支持部材21を、図1及び図4から図8に基づいて説明する。
【0030】
薄板支持部材21は主に、半導体シリコンウエハの周縁に嵌合して半導体シリコンウエハを支持する当接片22と、当接片22を弾性的に支持する支持部23と、支持部23を並列に複数本一定間隔を空けて一体的に支持して蓋体14の内側面側(図4中の上側面側)に取り付けられる基端支持棒部24とから構成されている。
【0031】
当接片22の半導体シリコンウエハに対向する面には嵌合溝26が設けられている。この嵌合溝26は、半導体シリコンウエハの周縁に嵌合して半導体シリコンウエハを支持するための部分である。当接片22の両側には支持部23が一体的に設けられている。
【0032】
支持部23は、当接片22と一体的に成形されて当接片22を支持するための部材である。支持部23は、弾性を有する合成樹脂で棒状に成形されて、当接片22を弾性的に支持する。当接片22は支持部23の途中に設けられている。これにより、支持部23は当接片22を境にして基端支持部23Aと先端支持部23Bに分かれている。基端支持部23Aは、当接片22と基端支持棒部24に一体的に成形されて、基端支持棒部24に支持された状態で当接片22を支持する。先端支持部23Bは、その基端が当接片22と一体的に成形されている。先端支持部23Bの先端には当て板部25が形成されている。当て板部25は、後述する支持台32の嵌合部32Aに嵌合して(図8の状態)、先端支持部23Bを支持する。これにより、当接片22は、基端支持部23A及び先端支持部23Bによって両側から弾性的に支持されている。
【0033】
基端支持部23Aは長く成形され、先端支持部23Bは短く成形されている。基端支持部23Aを長く成形することで、当接片22が半導体シリコンウエハの周縁に当接する当初において、基端支持部23Aが当接片22を弱い力で半導体シリコンウエハの周縁に押し当てる。また、先端支持部23Bを短く成形することで、その先端の当て板部25が蓋体14の内側面側に当接して、当接片22を強い力で支持する。これにより、当接片22を強い力で半導体シリコンウエハの周縁に押し当てることができる。
【0034】
先端支持部23Bは、支持台32の嵌合部32Aとの間に一定の隙間を設ける場合と、隙間を設けない場合とがある。隙間を設ける場合は、当接片22が半導体シリコンウエハの周縁に当接した状態で、当接片22が基端支持部23Aだけで片側から支持され、半導体シリコンウエハを弱い力で支持する。そして、ウエハ収納容器11が揺すられる等の外力によって半導体シリコンウエハが大きく揺れると、当接片22が押されて、先端支持部23Bが支持台32の嵌合部32Aに接触して、半導体シリコンウエハを両側から強い力で弾性的に支持することになる。隙間を設けない場合は、最初から半導体シリコンウエハを強い力で支持することになる。
【0035】
支持部23のうち当接片22の両側部は、当接片22を容器本体12内の半導体シリコンウエハ側へ隆起させるように成形されている。支持部23のうち、隆起によって斜めになった部分で弾性力を強めている。
【0036】
基端支持棒部24は、各支持部23を一定間隔を保った状態で平行に支持するための部材である。この基端支持棒部24は、各支持部23を支持すると共に、後述する支持溝34に嵌合して、蓋体14の内側面に固定されるようになっている。
【0037】
蓋体14の内側面には帯状突起31が設けられている。この帯状突起31は、支持部23の先端を支持するための部材である。帯状突起31は、支持台32と支持凹部33とが交互に配設されて構成されている。帯状突起31は、蓋体14の内側面に平行に2つ設けられている。これは、対向して2つ設けられる薄板支持部材21の各当て板部25をそれぞれ支持するためである。各帯状突起31の支持台32と支持凹部33は互いにずらして設けられている。即ち、支持台32と支持凹部33とが互いに対向するように配設されている。
【0038】
帯状突起31の支持台32は、支持部23の先端の当て板部25を支持するための部材である。支持台32には嵌合部32Aが設けられている。この嵌合部32Aは、支持部23の先端の当て板部25を嵌合して支持するための部分である。嵌合部32Aは、当て板部25が嵌合する凹状に形成されて、左右へのズレも支持している。
【0039】
支持凹部33は、基端支持部23Aを通して支持するための部分である。支持凹部33は、支持台32に比べて低く形成されている。支持凹部33の高さは支持部23の使用態様に応じて適宜設定される。半導体シリコンウエハを強い力で支持したいときは、支持台32と支持凹部33とで支持する。このため、支持凹部33を、基端支持部23Aが当接できる程度の高さに設定する。半導体シリコンウエハをあまり強くない力で支持したいときは、基端支持棒部24と支持台32とで支持する。このため、支持凹部33は、基端支持部23Aが接触しないように低く設定する。
【0040】
2つの帯状突起31の外側には、薄板支持部材21の基端支持棒部24を嵌合して支持するための支持溝34が設けられている。支持溝34は、基端支持棒部24が嵌合できる寸法の溝状に形成されている。この2つの支持溝34に2つの互いに対向した薄板支持部材21の基端支持棒部24がそれぞれ嵌合することで、各薄板支持部材21の当接片22が交互に組み合って一列に並び、半導体シリコンウエハを1枚ずつ一定間隔を空けて支持するようになっている。2つの薄板支持部材21は全く同じ構造で、互いに対向して配設される。
【0041】
[動作]
以上のように構成された薄板収納容器は、次のようにして使用される。
【0042】
まず、容器本体12内に複数の半導体シリコンウエハが収納される。このとき、各半導体シリコンウエハは、ウエハ支持板13によって一定間隔を空けた状態で支持される。
【0043】
この状態で、容器本体12の蓋体受け部15に蓋体14が取り付けられる。これにより、各薄板支持部材21の当接片22が各半導体シリコンウエハに嵌合して支持する。
【0044】
当接片22が嵌合した状態で、蓋体14が蓋体受け部15内に深くはめ込まれると、当接片22が蓋体14の内側面側へ押し上げられる。これにより、支持溝34に固定された基端支持棒部24に支持された基端支持部23Aで比較的弱き力によって当接片22を支持して各半導体シリコンウエハを支持する。または、支持部23の当て板部25が支持台32の嵌合部32Aに嵌合して当接片22をその両側から支持して、強い力で各半導体シリコンウエハを支持する。または、基端支持部23Aが支持凹部33に当接して、対向する支持台32と支持凹部33とで当接片22を支持する。即ち、対向する支持台32と支持凹部33とで直接的に支持部23を支持して、間接的に当接片22を支持する。これにより、さらに強い力で各半導体シリコンウエハを支持する。
【0045】
[効果]
以上により、小型の軽い半導体シリコンウエハでも、大型の重い半導体シリコンウエハでも、最適な強さで確実に支持することができるようになる。
【0046】
また、接触部分での摩擦がほとんど発生せず、塵埃等の発生を抑えることができる。
【0047】
薄板支持部材21は、互いに対向して各当接片22が交互に配設されるようになっているため、1つの薄板支持部材21の各当接片22及び支持部23の間隔が広く取れるため、金型による成形が容易になる。金型自体も、あまり複雑にならないため、安価に製造することができる。これにより、薄板支持部材21の製造コストを低く抑えることができる。
【0048】
[変形例]
(1) 上記実施形態では、薄板支持部材21を互いに対向して2つ設けたが、収納する半導体シリコンウエハの枚数に応じて1つだけ設けたり、3つ以上設けたりしてもよい。この場合も、上記同様の作用、効果を奏することができる。
【0049】
(2) 上記実施形態では、蓋体14の内側面に支持台32を設けて支持部23の先端側を支持するようにしたが、図9に示すように、支持部23の先端の当て板部25に支持台部41を直接取り付けてもよい。また、図10に示すように、先端支持部23Bの部分を蓋体14の内側面まで延ばして支持片42としてもよい。この場合も、上記同様の作用、効果を奏することができる。
【0050】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の薄板収納容器によれば次のような効果を奏する。
【0051】
小型の軽い薄板でも、大型の重い薄板でも、最適な強さで確実に支持することができるようになる。
【0052】
接触部分での摩擦がほとんど発生せず、塵埃等の発生を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る薄板収納容器の薄板支持部材を上側から示す斜視図である。
【図2】従来の薄板支持部材を示す要部断面図である。
【図3】本発明に係る薄板収納容器の容器本体を示す斜視図である。
【図4】本発明に係る薄板収納容器の蓋体を示す斜視図である。
【図5】本発明に係る薄板収納容器の薄板支持部材を下側から示す斜視図である。
【図6】本発明に係る薄板収納容器の薄板支持部材を示す側面図である。
【図7】本発明に係る薄板収納容器の蓋体の帯状突起を示す斜視図である。
【図8】本発明に係る薄板収納容器の薄板支持部材を示す斜視図である。
【図9】第1変形例示す側面図である。
【図10】第2変形例示す側面図である。
【符号の説明】
11:ウエハ収納容器、12:容器本体、13:ウエハ支持板、14:蓋体、15:蓋体受け部、21:薄板支持部材、22:当接片、23:支持部、24:基端支持棒部、25:当て板部、26:嵌合溝、31:帯状突起、32:支持台、33:支持凹部、34:支持溝。
Claims (7)
- 複数の薄板を収納支持する容器本体と、当該容器本体を塞いで内部を密封する蓋体とを備えた薄板収納容器において、
上記蓋体の内側面に設けられて上記薄板を1枚ずつ一定間隔を空けて支持する薄板支持部材を備え、
当該薄板支持部材が、上記薄板の周縁に嵌合して薄板を支持する当接片と、当該当接片を弾性的に支持する支持部と、当該支持部を並列に複数本一定間隔を空けて一体的に支持して上記蓋体の内側面側に取り付けられる基端支持棒部とを備え、
上記支持部の基端が上記基端支持棒部に一体的に連結されると共に、上記当接片が上記支持部の途中に設けられ、上記支持部の先端が上記蓋体の内側面側に当接して上記当接片をその両側から弾性的に支持することを特徴とする薄板収納容器。 - 請求項1に記載の薄板収納容器において、
上記支持部の基端側が長く成形されると共に先端側が短く成形されたことを特徴とする薄板収納容器。 - 請求項1又は2に記載の薄板収納容器において、
上記支持部が、上記当接片の両側で容器本体内の薄板側へ隆起させて成形されたことを特徴とする薄板収納容器。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の薄板収納容器において、
上記蓋体の内側面に、上記支持部の先端側を支持する支持台を設けたことを特徴とする薄板収納容器。 - 請求項4に記載の薄板収納容器において、
上記支持台に、上記支持部の先端側が嵌合して支持される嵌合部を設けたことを特徴とする薄板収納容器。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の薄板収納容器において、
上記支持部の先端側に、上記蓋体の内側面に当接して上記当接片を先端側から弾性的に支持する支持台部を設けたことを特徴とする薄板収納容器。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の薄板収納容器において、
上記薄板支持部材を2つ互いに向き合わせて取り付けられ、
各薄板支持部材の当接片が交互に組み合って一列に並び、上記薄板を1枚ずつ一定間隔を空けて支持することを特徴とする薄板収納容器。
Priority Applications (13)
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