JP2004237198A - ウエット処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理部11と、処理液を導入する処理液導入部21と、処理液を回収する処理液回収部31とからなるノズル1aを備え、処理液導入部21には、処理液流通路23,24と、各処理液流通路23,24の下流側に接続されるとともに対向面11a側に開口部22を有する処理液流通配管25と、処理液流通路23,24と処理液流通配管25との間に配置されて処理液流通路23,24の中から選択された1の処理液流通路を処理液流通配管25に接続させる切換手段26とが備えられていることを特徴とするウェット処理装置1を採用する。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体デバイス、液晶表示パネル等の製造プロセスにおける洗浄、剥離、現像、エッチング、メッキ、研磨等のウェット処理工程において、被処理物上に処理液を供給するためのウェット処理装置に用いて好適な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイス、液晶表示パネル等の電子機器の分野においては、その製造プロセス中に被処理物である半導体基板やガラス基板を洗浄処理する工程が必須である。洗浄工程においては、製造工程中の種々の除去対象物質を除去するために、超純水、電解イオン水、オゾン水、水素水等、種々の処理液を用いた洗浄が行われるが、これら処理液はウエット処理装置のノズルから基板上に供給される。下記特許文献1には、ウエット処理装置の一例が記載されている。
【0003】
【特許文献1】
特開平11−33506号公報
【0004】
上記特許文献1に記載されたウエット処理装置は、被処理基板上に処理液を供給してウェット処理を行う際に用いるものであって、一端側に処理液を導入するための導入口を有する導入通路と、他端側に使用後の処理液を外部に排出するための排出口を有する排出通路と、処理用流体を被処理基板に接触させるために導入口と排出口の間に設けられた液体処理路とを具備して構成されている。
【0005】
従来のウェット処理装置等によれば、処理液を供給した部分以外の部分に処理液を接触させることなく、被処理基板上から除去することができ、省液型のウエット処理装置を実現することが可能になる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のウエット処理装置においては、導入通路と排出通路とがそれぞれ1系統ずつ備えられているだけなので、原則として1種類の処理液しか用いることができなかった。従って、洗浄液を用いて被処理基板の洗浄処理を行い、その後、リンス液を用いて被処理基板上に残存した洗浄液をリンスする処理を行う場合は、洗浄液用とリンス液用の2つのウエット処理装置を別個に用意する必要があった。
【0007】
また、複数種類の処理液を切り替えて流通させるための切換装置を用意し、この切換装置を導入通路の上流側に接続したウエット処理装置を用いることも考えられる。しかし、このようなウエット処理装置では、ウエット処理装置の外部において導入通路に切換装置を接続するため、切換装置から導入通路の導入口までの距離が長くなる。このため、切換装置によって処理液が切り替えられたとしても、被処理基板上において処理液が切り替わるまでに所定の時間を要し、処理液の切換を瞬時に行うことができなかった。
【0008】
上記の切換装置を有するウエット処理装置に代えて、切換機構を装置内部に収納させたウエット処理装置を用いることも考えられる。しかし、例えば多数の導入口を直列に配置させて構成したウエット処理装置に適用するためには、各導入口において処理液を同時に切り替える必要があり、このような機能を有する切換機構は現在のところ開発されておらず、また、その開発も極めて困難な状況であった。
【0009】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、装置内部に切換機構を設けて、処理液の切換を複数のノズル間で同時にしかも瞬時に行うことが可能な切換機構を備えたウエット処理装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
【0011】
本発明のウェット処理装置は、被処理物に対向する対向面を有する処理部と、該被処理物と前記対向面との間の空間に処理液を導入する、前記処理部の一方に隣接する処理液導入部と、前記空間から処理液を回収する、前記処理部の他方に隣接する処理液回収部とからなるノズルを備えるウェット処理装置であって、前記処理液導入部には、2以上の供給用の処理液流通路と、各処理液流通路の下流側に接続されるとともに前記対向面側に開口部を有する1の供給用の処理液流通配管と、前記処理液流通路と前記処理液流通配管との間に配置されて前記複数の処理液流通路の中から選択された1の処理液流通路を前記処理液流通配管に接続させる導入側の切換手段とが備えられていることを特徴とする。
【0012】
上記のウエット処理装置によれば、処理液導入部に切換手段が備えられるので、導入側の開口部と切換手段とが隣接して導入側の処理液流通配管を短く構成できる。これにより、複数種類の処理液を順次用いてウエット処理を行う場合において、切換手段によって被処理物に供給する処理液が切り換えられると、被処理物上における処理液も直ちに切り換えられ、結果的に処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【0013】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記処理液回収部には、2以上の回収用の処理液流通路と、各回収用の処理液流通路の上流側に接続されるとともに前記対向面に開口部を有する1の回収用の処理液流通配管と、前記回収用の処理液流通路と前記回収用の処理液流通配管との間に配置されて前記回収用の処理液流通配管を2以上の前記回収用の処理液流通路の中から選択された1の処理液流通路に接続させる回収側の切換手段とが備えられていることを特徴とする。
【0014】
上記のウエット処理装置によれば、処理液回収部に切換手段が備えられるので、回収側の開口部と切換手段とが隣接して回収側の処理液流通配管を短く構成できる。これにより、複数種類の処理液を順次用いてウエット処理を行った後に当該処理液を順次回収する場合に、回収側の切換手段を作動させることで、処理液同士が混合することなく種類毎に分別回収できる。
【0015】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記処理液回収部には、2以上の前記供給用の処理液流通路と同数の前記回収用の処理液流通経路と、1の混合処理液回収用の処理液流通路と、前記回収用の各処理液流通路の上流側に接続されるとともに前記対向面に開口部を有する1の回収用の処理液流通配管と、前記回収用の各処理液流通路と前記回収用の処理液流通配管との間に配置されて前記回収用の処理液流通配管を前記回収用の各処理液流通路の中から選択された1の処理液流通路に接続させる回収側の切換手段とが備えられていることを特徴とする。
【0016】
上記のウエット処理装置によれば、処理液回収部に切換手段が備えられるので、回収側の開口部と切換手段とが隣接して回収側の処理液流通配管を短く構成できる。これにより、複数種類の処理液を順次用いてウエット処理を行った後に当該処理液を順次回収する場合に、回収側の切換手段を作動させることで、処理液同士が混合することなく種類毎に分別回収できる。
また、処理液の回収の際に、前記の空間において複数種類の処理液同士が混合して混合液が生じる場合があるが、上記のウェット処理装置では混合処理液回収用の処理液流通路によってこの混合処理液を回収することができ、処理液と混合処理液とを分別回収することができる。
【0017】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記導入側の切換手段の上流側または前記回収側の切換手段の下流側の少なくとも一方に、前記各切換手段に印加される処理液の液圧を遮断する圧力遮断弁が備えられていることを特徴とする。
【0018】
上記のウエット処理装置によれば、切換手段に対する処理液の液圧を圧力遮断弁によって遮断することができ、切換手段の動作を迅速に行うことができる。
【0019】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記導入側の切換手段における切換動作のタイミングと前記回収側の切換手段の切換動作のタイミングとをそれそれ個別に制御する制御手段が備えられていることを特徴とする。
【0020】
上記のウエット処理装置によれば、制御手段によって各切換手段の切換動作が個別に行われるので、複数種類の処理液を用いてウエット処理を行う場合に、処理液導入部側における処理液の切換に対応させて回収側の切換手段を作動させることができ、処理液を種類毎に分別回収することができる。
【0021】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記処理部に、該処理部と前記被処理物との間の処理液に振動を付与するための振動付与手段が備えられていることを特徴とする。
【0022】
このような構成とすることで、例えば本発明のウェット処理装置を洗浄装置として用いる場合には、上記振動付与手段により処理液(洗浄液)に与えられた振動による付着物の除去効果により洗浄効率を高めることができる。また、この振動付与手段は前記ノズルに対して着脱可能とされていてもよく、このような構成とすれば例えば振動周波数の異なる他の振動付与手段や、光照射手段と容易に交換することができ、ウェット処理装置の汎用性を高めることができる。
【0023】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記処理部の前記被処理物側の面が、紫外線を透過する部材で形成されており、前記処理部に、前記被処理物に向けて紫外線を照射するための紫外線照射手段が備えられていることを特徴とする。
【0024】
このような構成とすることで、処理液中にオゾンを発生させて被処理物をオゾン処理したり、処理液の殺菌処理をしたりできるウェット処理装置を実現することができる。また、この紫外線照射手段も、上記振動付与手段と同様に前記ノズルに対して着脱可能とすることができるのは勿論である。
【0025】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、一対の前記ノズルを具備してなり、前記各ノズルの対向面を相互に向き合わせ、各対向面の間に板状の被処理物を配置できるように構成されたことを特徴とする。
【0026】
このような構成とすることで、被処理物に対するウエット処理を一度に二方向から行うことができ、効率よくウエット処理を行えるのに加え、二方向から同時にウエット処理することで、処理後の被処理物の汚染を最小限に抑えることができる。
【0027】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記各切換手段が、導入側、回収側それぞれの前記複数の処理液流通路と前記処理液流通配管とを連結する連結部と、前記連結部の各処理液流通路近傍に各々設けられた弁収納部と、前記の各弁収納部内に各々収納され、体積収縮が自在であって収縮させたときに前記流通路が開となる中空弾性弁体とから構成され、前記各中空弾性弁体のうち1の中空弾性弁体を開とし、他の中空弾性弁体を閉とすることにより、1の処理液流通路が選択されて処理液流通配管に接続されることを特徴とする。
【0028】
上記のウエット処理装置によれば、中空弾性弁体を収縮させることによって切換動作を行うので、部品同士が擦れ合って摩耗することがなく、異物の発生も防止できる。また、中空弾性弁体が、前記連結部の各処理液流通路近傍に設けられた弁収納部に収納されているので、連結部内における処理液の残存量を少なくすることができ、これにより処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【0029】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記各流通配管が複数の分岐路からなり、前記各処理液流通路の下流側の各々が、前記複数の各処理液流通配管の分岐路に対応する複数の分岐路とされ、前記処理液流通路と処理液流通配管が各々接続されて前記連結部が複数形成されるとともに各連結部同士を連通する連絡配管が設けられ、前記中空弾性弁体が前記弁収納部と前記各連絡配管を貫通して配置されていることを特徴とする。
【0030】
上記のウエット処理装置によれば、中空弾性弁体が各弁収納部と各連絡配管を貫通して配置されているので、中空弾性弁体を収縮させることによって複数の分岐路における切換動作を同時に行うことができ、処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【0031】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記各連絡配管が前記弁収納部よりも細く形成されることにより、各連絡配管が前記中空弾性弁体によって常に閉塞されていることを特徴とする。
【0032】
このような構成とすることで、連絡配管内に処理液が滞留することがないので、各分岐路における処理液の切換を同時に行うことができる。
【0033】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記各切換手段が、前記複数の処理液流通路と前記処理液流通配管とを連結する連結部と、該連結部に収納された回転弁体とから構成され、前記回転弁体が前記連結部内で回転されることにより、1の処理液流通路が選択されて処理液流通配管に接続されることを特徴とする。
【0034】
上記のウエット処理装置によれば、回転弁体を回転させることによって切換動作を行うので、回転弁体及び連結部内における処理液の残存量を少なくすることができ、これにより処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【0035】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記各流通配管が複数の分岐路からなり、前記各処理液流通路の下流側の各々が、前記複数の各処理液流通配管の分岐路に対応する複数の分岐路とされ、前記処理液流通路及び処理液流通配管が各々接続されて前記連結部が複数形成されるとともに各連結部同士を連通する連絡配管が設けられ、前記回転弁体が前記各連結部と前記各連絡配管を貫通して配置されていることを特徴とする。
【0036】
上記のウエット処理装置によれば、回転弁体が各連結部と各連絡配管を貫通して配置されているので、回転弁体を回転させることによって複数の分岐路に対する切換動作を同時に行うことができ、処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【0037】
【発明の実施の形態】
(第1の実施形態)
以下、本発明の第1の実施形態を図面を参照して説明する。
図1に本実施形態のウェット処理装置の斜視図を示し、図2に当該ウェット処理装置を対向面側から見た平面図を示し、図3には図2のI−II線の断面図を示す。
図1〜図3に示すように、本実施形態のウェット処理装置1は、被処理基板W(被処理物)に対向する対向面11aを有する処理部11と、被処理基板Wと対向面11aとの間の空間Mに処理液を導入する処理液導入部21と、当該空間Mからウエット処理後の処理液を回収する処理液回収部31とからなるノズル1aを備えている。
このようなウェット処理装置1は、プッシュプル型ノズル(省流量型ノズル)と呼ばれるものである。
【0038】
図2に示すように、対向面11aは略矩形状に形成されており、その表面材質はステンレス等の金属または石英などのガラスにより構成されている。また対向面11aは、ノズル1aにおいて被処理基板Wと対向して処理液と接する面を形成する面であり、その長辺に沿って複数の導入側の開口部22と回収側の開口部32とが設けられている。そして、対向面11aと被処理基板Wの間の空間Mに処理液が流通するように構成されている。尚、対向面11aと被処理基板Wとの距離は0.5〜8mmの範囲とされている。
【0039】
本実施形態のノズル1aにおいては、導入側の開口部22を介して処理液が被処理基板W上に供給され、回収側の開口部32を介して処理液が被処理基板W上から回収されるようになっている。この導入側の開口部22と回収側の開口部32との間の、対向面11aと被処理物とに挟まれる領域が、本実施形態のウェット処理装置1における処理領域Nとされており、この処理領域Nに接している被処理基板Wの表面が、ウェット処理に供されるようになっている。
【0040】
上記導入側の開口部22及び回収側の開口部32は、それぞれ所定の間隔や孔径を有して形成され、被処理物の幅方向(対向面11aの長手方向)において洗浄液を均一に供給し、また回収できるようになっている。
また、対向面11aは親水性とされていることが好ましく、導入側の開口部22及び回収側の開口部32の内面側も親水性とされることが好ましい。処理領域Nを構成する対向面11aを親水性とすることで、処理領域Nにおける処理液の流れを円滑にし、その制御性を向上させることができる。また、導入側の開口部22及び回収側の開口部32の内面側を親水性とすることで、処理液の導入と回収も円滑に行うことができ、より処理液の流れを安定なものとすることができる。
【0041】
また、処理部11は処理液導入部21と処理液回収部31の間に配置されており、処理領域Nと対向する位置に配置されている。この処理部11には処理領域N(空間M)を流通する処理液に振動を付与するための振動付与手段12が着脱可能な状態で備えられている。振動付与手段12の一面側は対向面11aの反対面に接合されている。また、振動付与手段12を駆動、制御するためのケーブル13が振動付与手段12に接続されており、このケーブル13はノズル1aの外側へ導出され、図示しない駆動制御部に接続されている。この振動付与手段12としては、振動周波数約0.02〜5MHz程度の超音波を発生する超音波振動子などを用いることができ、被処理物の種類や、ウエット処理の目的に応じて適宜最適な周波数のものを選択すればよい。
【0042】
次に図3〜図6に示すように、処理液導入部21には、供給用の第1、第2処理液流通路23,24と、供給用の処理液流通配管25と、導入側の切換手段26とが備えられている。
図3〜図6に示すように、第1、第2処理液流通路(供給用の処理液流通路)23,24は、開口部22の配列方向に沿って延在する直方体状の中空部であり、その直方体の長辺が開口部22の配列方向とほぼ平行になるように配置されている。また図3〜図5に示すように、第1、第2処理液流通路23、24の上部(上流側)には第1、第2処理液供給管27a、27bがそれぞれ接続されていて、これらの第1、第2処理液供給管27a、27bを介して、ノズル1a外部から2種類の処理液を第1、第2処理液流通路23、24に供給できるようになっている。例えば、第1処理液流通路23に洗浄液を供給し、第2処理液流通路24にはリンス液を供給できようになっている。また図5に示すように、第1、第2処理液流通路23、24が第1、第2処理液供給管27a、27bよりも大型に形成されていることによって、処理液が第1、第2処理液供給管27a、27bから第1、第2処理液流通路23,24に送液される際にその流路が拡大されるように構成されている。
【0043】
更に図3〜図6に示すように、第1、第2処理液流通路23、24の下部(下流側)には、複数の分岐路23a…、24a…が各処理液流通路23,24の長手方向に沿って設けられていて、この分岐路23a…、24a…を介して処理液流通配管25に処理液を送液できるようになっている。このような構成により、第1、第2処理液流通路23、24によって一旦拡大された流路が、分岐路23a…、24a…により複数の流路に細分化されることになり、各分岐路23a…、24a…には均一な液圧の処理液が流れることになる。
【0044】
また、図5に示すように、処理液流通配管25(供給用の処理液流通配管)は、第1、第2処理液流通路23、24の分岐路23a…、24a…に対応して複数の分岐路25a…とされており、この分岐路25a…は第1、第2処理液流通路の分岐路24a…、24b…の下流側に各々接続されていて、更に対向面11a側に開口する開口部22…を有している。開口部22…は、図2及び図6に示すように、ノズル1aの対向面11a側に複数の開口として設けられ、これら複数の開口部22…が対向面11aの長手方向に沿って一列に配置されている。この構成により、第1、第2処理液流通路23、24に供給された洗浄液及びリンス液(処理液)は、処理液流通路の分岐路23a…、24a…と処理液流通配管の分岐路25a…とを通過して、対向面11aに開口された開口部22…から被処理基板Wに供給されるようになっている。
【0045】
更に切換手段26(導入側の切換手段)は、第1、第2処理液流通路23、24と処理液流通配管25との間に配置されており、第1、第2処理液流通路23、24のうち、選択した1の処理液流通路を処理液流通配管25に接続させるものである。この切換手段26は、図7及び図8に示すように、第1、第2処理液流通路23、24と処理液流通配管25とを連結する連結部26aと、連結部26aの第1、第2処理液流通路23、24のそれぞれの近傍に各々設けられた弁収納部26b、26cと、各弁収納部26b、26c内に各々収納された中空弾性弁体26d、26eとから概略構成されている。
【0046】
連結部26a…は、第1、第2処理液流通路の各分岐路23a…、24a…と、処理液流通配管25を構成する分岐路25a…とをそれぞれ連結している。そして、各連結部26a…の第1、第2処理液流通路23、24近傍に弁収納部26b…、26c…がそれぞれ設けられている。
即ち、弁収納部26b、26cは、図5〜図7に示すように、第1、第2処理液流通路23、24の各分岐路23a、24aの先端に各々設けられた中空部分である。またこの弁収納部26b…、26c…は、図5、図6及び図8に示すように、第1、第2処理液流通路23、24の長手方向と平行に形成された連絡配管26f…によって相互に連通されている。そして、この弁収納部26b…、26c…及び連絡配管26f…内にこれらを貫通する中空弾性弁体26d、26eが収納されている。
【0047】
中空弾性体26d、26eは、ゴムなどの弾性体により構成された中空管であり、その中空部分にガス若しくは液体などの流体を流通させることによって、体積収縮を制御できるようになっている。例えば図10及び図12に示すように、中空弾性弁体26d、26eの端部には取付金具28を介してガス流路G1が接続され、ガス流路G1には三方弁Bを介して加圧ガス流路G2と減圧ガス流路G3が接続されている。このように構成することで、三方弁Bを切り換えて中空弾性弁体26d、26eに加圧ガスを送って中空弾性弁体26d、26eを体積膨張させたり、中空弾性弁体26d、26eを減圧して体積収縮させたりできるようになっている。
【0048】
そして、図7に示すように、例えば第2処理液流通路側の中空弾性体26eを収縮させると、中空弾性弁体26eと弁収納部26cの内壁面との間に隙間が生じて「開」となり、この隙間を通ってリンス液が第2処理液流通路24から処理液流通配管25側に送液できるようになっている。また図7中の一点鎖線で示すように、第2処理液流通路24側の中空弾性弁体26eを膨張させると、中空弾性体26eと弁収納部26cの内壁面とが密着して「閉」となり、リンス液の送液を遮断できるようになっている。尚、第1処理液流通路側の中空弾性弁体26dの動作についても同様である。
このようにして、切換手段26に備えられた2つの中空弾性弁体26d、26eのうちの一方を膨張させて「閉」とし、他方を収縮させて「開」とすることで、第1、第2処理液流通路23、24のうちの一方を選択して処理液流通配管25に接続できるようになっている。
【0049】
このような構成の切換手段26を用いることで、第1、第2処理液流通路23,24に供給された洗浄液、リンス液の一方を選択して処理液流通配管25を介して被処理基板Wに供給することができる。また、中空弾性体26d、26eが弁収納部26b、26c及び連絡配管26fを貫通するように配置されているので、中空弾性弁体26d、26eを収縮させることによって複数の分岐路25a…における切換動作を同時に行うことができ、洗浄液、リンス液の切換を瞬時に行うことができる。
更に、中空弾性弁体26d、26eを収縮させることによって切換動作を行うので、部品同士が擦れ合って摩耗することがなく、異物の発生も防止できる。また、中空弾性弁体26d、26eが、処理液流通路23,24の連結部26a近傍に設けられた弁収納部26b、26cに収納されているので、連結部26a内における処理液の残存量を少なくすることができ、これにより処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【0050】
また、処理液導入部21の内部に切換手段26が備えられるので、導入側の開口部22と切換手段26とが隣接して導入側の処理液流通配管25を短く構成できる。これにより、複数種類の処理液を順次用いてウエット処理を行う場合において、切換手段26によって被処理物に供給する処理液が切り換えられると、被処理物上における処理液も直ちに切り換えられ、結果的に処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【0051】
尚、別例の切換手段47として、図9に示すように、各連絡配管26gが弁収納部26c(連結部)よりも細く形成されたものを用いることもできる。この切換手段47においては、各連絡配管26gが中空弾性弁体26eによって常に閉塞された状態にある。即ち、収縮状態の中空弾性弁体26eの外径と連絡配管26gの内径とが一致するように構成されている。
図9に示すように、中空弾性弁体26eの収縮時には、中空弾性体26eと弁収納部26cの内壁面との間に隙間が生じて「開」となり、この隙間を通って処理液が処理液流通路24から処理液流通配管25側に送液できるようになる。また図9中の一点鎖線で示すように、中空弾性体26eを膨張させると、中空弾性体26eと弁収納部26cの内壁面とが密着して「閉」となり、処理液の送液が遮断される。このようにして、切換手段に備えられた2つの中空弾性弁体のうちの一方を膨張させて「閉」とし、他方を収縮させて「開」とすることで、第1、第2処理液流通路23、24のうちの一方を選択して処理液流通配管25に接続できる。
尚、この間、連絡配管26gは中空弾性弁体26eによって常に閉塞された状態にあるので、連絡配管26g内に処理液が滞留することがなく、分岐路25a…における処理液の切換を同時に行うことができる。
【0052】
また、図10及び図12においては中空弾性弁体の一端側にガス流路を接続した例について説明したが、図11に示すように、中空弾性弁体26d、26eの両端側にガス流路G1、G1をそれぞれ接続し、一方のガス流路を加圧ガス流路G2とし、他方のガス流路を減圧ガス流路G3としても良い。
【0053】
次に、処理液回収部31について説明する。図3に示すように、処理液回収部31には、回収用の第3、第4処理液流通路33,34と、回収用の処理液流通配管35と、回収側の切換手段36とが備えられている。ここでは、回収側の切換手段36の構造についてのみ説明する。また、第3、第4処理液流通路33,34及び処理液流通配管35の詳細構造の説明と、第3、第4処理液流通路33,34及び処理液流通配管35と切換手段36との接続構造の説明については、先程説明した処理液導入部21における構造と同一であるので説明を省略する。
【0054】
回収側の切換手段36は、図13及び図14に示すように、第3、第4処理液流通路33,34と処理液流通配管35との間に配置されており、処理液流通配管35を第3、第4処理液流通路33,34のうちの一方の処理液流通路に接続させるものである。この切換手段36は、図13及び図14に示すように、第3、第4処理液流通路33,34と処理液流通配管35とをそれぞれ連結する連結部36aと、連結部36aに収納された回転弁体36bとから概略構成されている。
【0055】
連結部36は、第3、第4各処理液流通路の各分岐路33a…、34a…と、処理液流通配管35を構成する分岐路35a…とをそれぞれ連結するものであり、各分岐路の合流部分に連結部36a…がそれぞれ形成されている。
連結部36a…は、各分岐路33a…、34a…、35a…の合流部分に設けられた中空部分である。また図15に示すように、この連結部36a…は、第3、第4処理液流通路33,34の長手方向と平行に形成された連絡配管36c…によって相互に連通されている。そして、この連結部36a…及び連絡配管36c…を貫通するように回転弁体36bが収納されている。
【0056】
また図14及び図15に示すように、回転弁体36bは円筒形状の部材からなり、その円周面上には各分岐路33a…、34a…、35a…に対応する複数の内部流路36d…が設けられている。また、回転弁体36bは回転自在な状態で連結部36a内に収納されている。そして図2に示すように、回転弁体36bの一端がノズル1a外部に突出している。
そして、回転弁体36bの一端を回転させることで、回転弁体36bの内部流路36d…により、第3処理液流通路の分岐路33aと処理液流通配管の分岐路35aとを連通させるか、または内部流路36dにより第4処理液流通路の分岐路34aと処理液流通配管の分岐路35aとを連通されることができる。図14は、回転弁体36bの内部流路36d…が第3処理液流通路の分岐路33a…と処理液流通配管の分岐路35a…とを連通させた状態を示している。このような構成により、2つのうちの1の処理液流通路33,34を選択して処理液流通配管35に接続できるようになっている。
【0057】
このような構成の切換手段36を用いることで、被処理基板W上から処理液流通配管35を介して回収された処理液を、第3、第4処理液流通路33,34のうちのいずれか一方の処理液流通路に流すことができる。また、回転弁体36bが連結部36a及び連絡配管36cを貫通して配置されているので、回転弁体36bを回転させることによって複数の分岐路35a…における切換動作を同時に行うことができ、処理液の切換を瞬時に行うことができる。
また、処理液回収部31の内部に切換手段36が備えられるので、回収側の開口部32と切換手段36とが隣接して回収側の処理液流通配管35を短く構成できる。これにより、複数種類の処理液を順次用いてウエット処理を行った後に当該処理液を順次回収する場合に、回収側の切換手段36を作動させることで、処理液同士が混合することなく種類毎に分別回収できる。
【0058】
次に、本実施形態のノズル1aの動作を図16を参照して説明する。図16においては、被処理基板Wを洗浄液で洗浄するとともにリンス液でリンスする場合を説明する。
図16Aに示すように、処理液導入部21の第1処理液流通路22には洗浄液が供給され、第2処理液流通路23にはリンス液が供給されている。そして、導入側の切換手段26を作動させて第1処理液流通路22を処理液流通配管25に接続させ、洗浄液を被処理基板W上に供給する。
【0059】
被処理基板W上に供給された洗浄液は、ウエット処理に供されたのちに、処理液回収部31によって被処理基板W上から回収される。処理液回収部31においては、回収側の切換手段36によって、回収側の処理液流通配管35が第3処理液流通路33に接続させている。使用済みの洗浄液は、処理液流通配管35を介して第3処理液流通路33に回収される。
【0060】
次に、図16Bに示すように、導入側の切換手段26を作動させて第2処理液流通路24を処理液流通配管25に接続させ、リンス液を被処理基板W上に供給する。
被処理基板W上に供給されたリンス液は、ウエット処理に供されたのちに、処理液回収部31によって被処理基板W上から回収される。処理液回収部31においては、回収側の切換手段36によって、回収側の処理液流通配管35が第4処理液流通路34に接続させている。使用済みのリンス液は、処理液流通配管35を介して第4処理液流通路34に回収される。
【0061】
回収側の切換手段36による第3処理液流通路33から第4処理液流通路34への切換は、導入側の切換手段26による第1処理液流通路23から第2処理液流通路24への切換時よりも若干遅れて行うことが好ましい。具体的には、処理液が処理液導入部21から処理液回収部31に到達するには処理液の流速に対応した所定の時間が必要であることから、この移動時間だけ回収側の切換を遅らせることが好ましい。
【0062】
上記のウェット処理装置1によれば、複数種類の処理液によるウエット処理を1つのノズル1aで行うことができる。また処理液の切換を迅速に行うことができ、更に処理液の分別回収も行うことができる。分別回収された処理液は、そのまま再生工程に送って再生させ、再びウエット処理に用いることができる。
【0063】
また、上記のウェット処理装置1を洗浄装置として用いる場合には、上記振動付与手段12により処理液(洗浄液)に与えられた振動による付着物の除去効果により洗浄効率を高めることができる。また、この振動付与手段12は前記ノズル1aに対して着脱可能とされていてもよく、このような構成とすれば例えば振動周波数の異なる他の振動付与手段12や、光照射手段と容易に交換することができ、ウェット処理装置1の汎用性を高めることができる。
【0064】
尚、本実施形態においては、処理部11に振動付与手段12を備えた例を説明したが、本発明はこれに限らず、処理部11の被処理基板Wと対向する面を紫外線が透過する部材で形成し、処理部11に被処理基板Wに向けて紫外線を照射するための紫外線照射手段を備えても良い。
このような構成とすることで、処理液中にオゾンを発生させて被処理基板Wをオゾン処理したり、処理液の殺菌を行うことができるウェット処理装置1を実現することができる。また、この紫外線照射手段も、上記振動付与手段12と同様にノズル1aに対して着脱可能とすることができるのは勿論である。
【0065】
また、本実施形態においては、処理液導入部21の切換手段として中空弾性弁体26d、26eを備えた切換手段26を採用し、処理液回収部31の切換手段として回転弁体36bを備えた切換手段36を採用したが、本発明はこの形態に限られることはない。すなわち、例えば、処理液導入部21及び処理液回収部31の両方の切換手段として中空弾性弁体を備えた切換手段26を採用してもよく、両方の切換手段として回転弁体を備えた切換手段を採用してもよく、導入側に回転弁体を備えた切換手段を採用するとともに回収側に中空弾性弁体を備えた切換手段を採用してもよい。
【0066】
(第2の実施形態)
次に本発明の第2の実施形態を図面を参照して説明する。
図17に本実施形態のウェット処理装置50の断面図を示す。尚、図17に示す第2実施形態のウェット処理装置50の構成要素のうち、図3に示した第1実施形態のウエット処理装置1の構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付してその説明を省略する。
図17に示すように、本実施形態のウェット処理装置50は、被処理基板W(被処理物)に対向する対向面11aを有する処理部11と、被処理基板Wと対向面11aとの間の空間Nに処理液を導入する処理液導入部21と、当該空間Nからウエット処理後の処理液を回収する処理液回収部51とからなるノズル50aを備えている。
【0067】
図17に示すように、処理液回収部51には、回収用の第5、第6処理液流通路53,54と、混合液回収用の第7処理液流通路55と、回収用の処理液流通配管57と、回収側の切換手段56とが備えられている。
図17に示すように、第5、第6、第7処理液流通路53,54,55の上部(下流側)には処理液回収管58a、58b、58cがそれぞれ接続されていて、この処理液回収管58a、58b、58cを介して、回収済みの処理液並びに混合処理液をノズル50a外部に排出できるようになっている。例えば、第5処理液流通路23により洗浄液を回収し、第6処理液流通路24によりリンス液を回収し、第7処理液流通路25により洗浄液とリンス液の混合液を回収できようになっている。
【0068】
更に図17に示すように、第5、第6、第7処理液流通路53,54,55の下部(上流側)には、分岐路53a、54a、55aがそれぞれ設けられていて、処理液流通配管57を介して送られてきた処理液を各処理液流通路53,54,55に送液できるようになっている。
【0069】
更に切換手段56(回収側の切換手段)は、第5、第6、第7処理液流通路53,54,55と処理液流通配管57との間に配置されており、第5、第6、第7処理液流通路53,54,55のうち、選択した1の処理液流通路を処理液流通配管57に接続させるものである。この切換手段56は、図18に示すように、第5、第6、第7処理液流通路53,54,55と処理液流通配管57とを連結する連結部56aと、連結部56aの第5、第6、第7処理液流通路53,54,55のそれぞれの近傍に各々設けられた弁収納部56b、56c、56dと、各弁収納部56b、56c、56d内に各々収納された中空弾性弁体56e、56f、56gとから概略構成されている。
【0070】
そして、図18に示すように、例えば第7処理液流通路と連結されている中空弾性体56gを収縮させると、中空弾性弁体56gと弁収納部56dの内壁面との間に隙間が生じて「開」となり、この隙間を通って混合液が第7処理液流通路に送液できるようになっている。また図18中の一点鎖線で示すように、中空弾性弁体56gを膨張させると、中空弾性体56gと弁収納部56dの内壁面とが密着して「閉」となり、混合液の送液を遮断できるようになっている。尚、第5、第7処理液流通路側の中空弾性弁体56e、56fの動作についても同様である。
このようにして、切換手段に備えられた3つの中空弾性弁体56e、56f、56gのうちのいずれか2つを膨張させて「閉」とし、1つを収縮させて「開」とすることで、第5、第6、第7処理液流通路53,54,55のうちのいずれか一つを選択して処理液流通配管57に接続できるようになっている。
【0071】
このような構成の切換手段56を用いることで、被処理基板W上から処理液流通配管57を介して回収された処理液を、第5,第6、第7処理液流通路53,54,55のうちのいずれか一つの処理液流通路に流すことができる。
【0072】
次に、本実施形態のノズルの動作を図19を参照して説明する。図19においては、被処理基板Wを洗浄液で洗浄するとともにリンス液で基板Wに残存する洗浄液を洗い流す場合について説明する。
図19Aに示すように、処理液導入部21の第1処理液流通路22には洗浄液が供給され、第2処理液流通路23にはリンス液が供給されている。そして、導入側の切換手段26を作動させて第1処理液流通路22を処理液流通配管25に接続させ、洗浄液を被処理基板W上に供給する。
【0073】
被処理基板W上に供給された洗浄液は、ウエット処理に供されたのちに、処理液回収部51によって被処理基板W上から回収される。処理液回収部51においては、回収側の切換手段56によって、回収側の処理液流通配管35が第5処理液流通路53に接続されている。使用済みの洗浄液は、処理液流通配管35を介して第5処理液流通路53に回収される。
【0074】
次に、図19Bに示すように、導入側の切換手段26を作動させて第2処理液流通路24を処理液流通配管25に接続させ、リンス液を被処理基板W上に供給する。
被処理基板W上に供給されたリンス液は、ウエット処理に供されたのちに、処理液回収部51によって被処理基板W上から回収される。処理液回収部51においては、回収側の切換手段56によって、回収側の処理液流通配管55が第7処理液流通路55に接続されている。
ここで、洗浄液からリンス液に切り換えられた直後においては、残存した洗浄液とリンス液が処理領域Nにて混合する場合があり、切換直後の処理液は洗浄液とリンス液が混合した混合液になっている。
そこで、本実施形態においては、この混合液を、処理液流通配管55を介して混合液回収用の第7処理液流通路55に回収させる。
【0075】
次に、図19Cに示すように、回収される処理液(混合液)中における洗浄液成分の濃度がほぼゼロになった頃を見計らって、回収側の切換手段56を作動させて処理液流通配管55を第6処理液流通路54に接続させる。洗浄液成分の濃度がほぼゼロになったということは、回収液がリンス液に変わったということであるから、このリンス液については第6処理液流通路54に流して回収する。
【0076】
以上の動作をタイミングチャートで示すと図20の通りになる。図20には、各切換手段26、56の切換のタイミングチャートを示す。図20中、符号Aは第1処理液流通路23における処理液の供給状態を示す。ON(OPEN)と表示されているのは第1処理液流通路23が処理液流通配管25に接続されている状態を示す。同様に、符号Bは第2処理液流通路24における処理液の供給状態を示しており、ON(OPEN)と表示されているのは第2処理液流通路24が処理液流通配管25に接続されている状態を示す。
また、符号Cは第5処理液流通路53における処理液の回収状態を示し、符号Dは第6処理液流通路54における処理液の回収状態を示し、符号Eは第7処理液流通路55における処理液の回収状態を示している。
図20に示すように、第1処理液流通路23(A)から第2処理液流通路24(B)に切り換えられたのと同時に、第5処理液流通路53(C)から第7処理液流通路55(E)に切り換えられ、続いて第7処理液流通路53(E)から第6処理液流通路54(D)に切り換えられる。
【0077】
上記のウェット処理装置50によれば、第1の実施形態とウェット処理装置1と同様な効果が得られる他に、以下の効果が得られる。
すなわち、上記のウエット処理装置50によれば、処理液の回収の際に、空間Nにおいて洗浄液とリンス液が混合して混合液が生じる場合があるが、混合処理液回収用の第7処理液流通路55によってこの混合液を回収することができ、洗浄液、リンス液、混合液をそれぞれ分別回収することができる。
【0078】
(第3の実施形態)
次に本発明の第3の実施形態を図面を参照して説明する。
図21には本実施形態のウェット処理装置の模式図を示し、図22にはウェット処理装置の平面図を示す。図21に示すように、このウエット処理装置100は、一対のノズル50a、50aと、各ノズル50aの備えられた切換手段の切換動作を制御する制御手段60とを主体として構成されている。各ノズル50a、50aは、それぞれの対向面11a、11aを相互に向き合わせて配置されており、対向面11a、11a同士の間に被処理基板Wが配置されている。
また、図22に示すように、被処理基板Wは円板状の基板であり、4つの回転駆動ローラ101によって回転自在に支持されている。そして、ノズル50aの向きを固定した状態で、回転駆動駆動ローラ101を駆動して被処理基板Wを回転させることにより、被処理基板Wの全面をウエット処理できるようになっている。
【0079】
ノズル50aは、先に説明した第2実施形態のノズルと同一構成のものである。即ち、各ノズル50aには、導入側の切換手段26と回収側の切換手段56とが備えられている。導入側の切換手段26には図示略の第1処理液流通路側の中空弾性弁体26dと、図示略の第2処理液流通路側の中空弾性弁体26eとが備えられている。また、回収側の切換手段56には図示略の第5処理液流通路側の中空弾性弁体56e、図示略の第6処理液流通路側の中空弾性弁体56fと、図示略の第7処理液流通路側の中空弾性弁体56gとが備えられている。
【0080】
また、中空弾性弁体26d、26eには各々加圧ガス流路G11、G12が接続され、中空弾性弁体56e〜56gには各々加圧ガス流路G21、G22、G23が接続されている。また、各加圧ガス流路G11〜G22にはバルブB11〜B22が設けられている。各バルブB11〜B22は制御手段60に接続されている。このような構成によって、制御手段60が各バルブB11〜B22の開閉を制御することで、中空弾性弁体26d〜56gに対する加圧ガスの供給を制御することが可能となる。このようにして制御手段60によって、各中空弾性弁体26d〜56gの開閉動作のタイミングを個別に制御できるようになっている。
【0081】
次に、切換手段26の上流側にある第1、第2処理液供給管27a、27bには圧力制御弁28a、28bが取り付けられ、切換手段56の下流側にある処理液回収管58a〜58cには圧力制御弁58a〜58cが設けられている。また、各圧力制御弁58a〜58cは制御手段60に接続されている。このような構成によって、制御手段60が各圧力制御弁58a〜58cの開閉を制御することで、処理液の供給及び回収を制御できるようになっている。
また、この圧力制御弁58a〜58cは、各切換手段26、56に印加される処理液の液圧を遮断する機能を有している。
【0082】
上記のウェット処理装置100は、第2実施形態において説明したノズル50aを備えており、第2実施形態で説明した動作と同じ動作を行わせることができる。また、切換手段26,56の動作を制御手段60が個別にしかも一括して行うので、処理時間の短縮化が図れる。
更に、ウェット処理装置100によれば、被処理基板Wに対するウエット処理を一度に二方向から行うことができ、効率よくウエット処理を行えるのに加え、二方向から同時にウエット処理することで、処理後の被処理基板Wの汚染を最小限に抑えることができる。
また、上記のウエット処理装置100によれば、切換手段26,56に対する処理液の液圧を圧力遮断弁28a、28b、58a〜58cによって遮断することができるので、切換手段26、56の中空弾性弁体26d、26e、56e〜56fに余分な圧力を与えずに済み、切換手段26、56の動作を迅速に行うことができる。
【0083】
本実施形態のウェット処理装置によるウエット処理条件の一例を紹介すると、被処理基板は直径300mmのシリコンウエハである。ノズル50aは、長手方向の長さが350mmのもので、その対向面に導入側及び回収側の開口部を87個づつ設けられたものを用いる。洗浄液は0.5%濃度のフッ化水素酸水溶液とし、リンス液は水素が1〜1.3ppm程度溶解した水素溶解水としたものを用いる。また、洗浄液及びリンス液の流量は2L/分としている。
【0084】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明のウェット処理装置によれば、処理液導入部に切換手段が備えられるので、導入側の開口部と切換手段とが隣接して導入側の処理液流通配管を短く構成できる。これにより、複数種類の処理液を順次用いてウエット処理を行う場合において、切換手段によって被処理物に供給する処理液が切り換えられると、被処理物上における処理液も直ちに切り換えられ、結果的に処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【0085】
また、本発明のウエット処理装置によれば、処理液回収部に切換手段が備えられるので、回収側の開口部と切換手段とが隣接して回収側の処理液流通配管を短く構成できる。これにより、複数種類の処理液を順次用いてウエット処理を行った後に当該処理液を順次回収する場合に、回収側の切換手段を作動させることで、処理液同士が混合することなく種類毎に分別回収できる。
更に、本発明のウエット処理装置によれば、処理液の回収の際に、複数種類の処理液同士が混合して混合液が生じる場合があるが、混合処理液回収用の処理液流通路によってこの混合液を回収することができ、処理液と混合液とを分別回収することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態のウェット処理装置を示す斜視図。
【図2】図1に示すウェット処理装置の底面図。
【図3】図2のX−X’線に対応する断面図。
【図4】本発明の第1の実施形態のウェット処理装置に備えられた処理液導入部の要部を示す正面模式図。
【図5】本発明の第1の実施形態のウェット処理装置に備えられた処理液導入部の要部を示す側面模式図。
【図6】本発明の第1の実施形態のウェット処理装置に備えられた処理液導入部の要部を示す底面模式図。
【図7】本発明の第1の実施形態のウェット処理装置に備えられた導入側の切換手段の要部を示す正面断面図。
【図8】図7のY−Y’線に対応する断面図。
【図9】本発明の第1の実施形態のウェット処理装置に備えられた別の切換手段の要部を示す正面断面図。
【図10】本発明の第1の実施形態のウェット処理装置に備えられた中空弾性弁体の要部を示す断面図。
【図11】中空弾性弁体の別の例を示す模式図。
【図12】図10に示した中空弾性弁体の全体構造を示す模式図。
【図13】本発明の第1の実施形態のウェット処理装置に備えられた処理液回収部の要部を示す底面模式図。
【図14】本発明の第1の実施形態のウェット処理装置に備えられた回収側の切換手段の要部を示す正面断面図。
【図15】図14のZ−Z’線に対応する断面図。
【図16】本発明の第1の実施形態のウェット処理装置の動作を説明するための模式図。
【図17】本発明の第2の実施形態のウェット処理装置の内部構造を示す模式図。
【図18】図16に示すウェット処理装置に備えられた回収側の切換手段の要部を示す正面断面図。
【図19】本発明の第2の実施形態のウェット処理装置の動作を説明するための模式図。
【図20】本発明の第2の実施形態のウェット処理装置の動作を説明するためのタイミングチャート。
【図21】本発明の第3の実施形態のウェット処理装置を示す模式図。
【図22】図21に示したウェット処理装置の要部の平面図。
【符号の説明】
1…ウェット処理装置、1a、50a…ノズル、11…処理部、11a…対向面、12…振動付与手段、21…処理液導入部、22…開口部(導入側の開口部)、23…第1処理液流通路(供給用の処理液流通路)、23a、24a、33a、34a…分岐路(処理液流通路の分岐路)、24…第2処理液流通路(供給用の処理液流通路),25…処理液流通配管(供給用の処理液流通配管)、25a、35a…分岐路(処理液流通配管の分岐路)、26…導入側の切換手段、26a、36a…連結部、26b、26c…弁収納部、26d、26e…中空弾性弁体、26f、26g、36c…連絡配管、28a、28b、58a、58b、58c…圧力遮断弁、31…処理液回収部、32…開口部(回収側の開口部)、33…第3処理液流通路(回収用の処理液流通路),34…第4処理液流通路(回収用の処理液流通路),35、57…処理液流通配管(回収用の処理液流通配管)、36、56…回収側の切換手段、36b…回転弁体、53…第5処理液流通路(回収用の処理液流通路),54…第6処理液流通路(回収用の処理液流通路),55…第6処理液流通路(混合処理液回収用の処理液流通路),60…制御手段、M…空間、N…空間、W…被処理基板(被処理物)
Claims (13)
- 被処理物に対向する対向面を有する処理部と、該被処理物と前記対向面との間の空間に処理液を導入する、前記処理部の一方に隣接する処理液導入部と、前記空間から処理液を回収する、前記処理部の他方に隣接する処理液回収部とからなるノズルを備えるウェット処理装置であって、
前記処理液導入部には、2以上の供給用の処理液流通路と、各処理液流通路の下流側に接続されるとともに前記対向面側に開口部を有する1の供給用の処理液流通配管と、前記処理液流通路と前記処理液流通配管との間に配置されて前記複数の処理液流通路の中から選択された1の処理液流通路を前記処理液流通配管に接続させる導入側の切換手段とが備えられていることを特徴とするウエット処理装置。 - 前記処理液回収部には、2以上の回収用の処理液流通路と、各回収用の処理液流通路の上流側に接続されるとともに前記対向面に開口部を有する1の回収用の処理液流通配管と、
前記回収用の処理液流通路と前記回収用の処理液流通配管との間に配置されて前記回収用の処理液流通配管を2以上の前記回収用の処理液流通路の中から選択された1の処理液流通路に接続させる回収側の切換手段とが備えられていることを特徴とする請求項1に記載のウエット処理装置。 - 前記処理液回収部には、2以上の前記供給用の処理液流通路と同数の前記回収用の処理液流通経路と、1の混合処理液回収用の処理液流通路と、前記回収用の各処理液流通路の上流側に接続されるとともに前記対向面に開口部を有する1の回収用の処理液流通配管と、前記回収用の各処理液流通路と前記回収用の処理液流通配管との間に配置されて前記回収用の処理液流通配管を前記回収用の各処理液流通路の中から選択された1の処理液流通路に接続させる回収側の切換手段とが備えられていることを特徴とする請求項2に記載のウエット処理装置。
- 前記導入側の切換手段の上流側または前記回収側の切換手段の下流側の少なくとも一方に、前記各切換手段に印加される処理液の液圧を遮断する圧力遮断弁が備えられていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のウエット処理装置。
- 前記導入側の切換手段における切換動作のタイミングと前記回収側の切換手段の切換動作のタイミングとをそれそれ個別に制御する制御手段が備えられていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のウエット処理装置。
- 前記処理部に、該処理部と前記被処理物との間の処理液に振動を付与するための振動付与手段が備えられていることを特徴とする請求項1に記載のウェット処理装置。
- 前記処理部の前記被処理物側の面が、紫外線を透過する部材で形成されており、前記処理部に、前記被処理物に向けて紫外線を照射するための紫外線照射手段が備えられていることを特徴とする請求項1に記載のウェット処理装置。
- 一対の前記ノズルを具備してなり、前記各ノズルの対向面を相互に向き合わせ、各対向面の間に板状の被処理物を配置できるように構成されたことを特徴とする請求項1に記載のウエット処理装置。
- 前記各切換手段が、導入側、回収側それぞれの前記複数の処理液流通路と前記処理液流通配管とを連結する連結部と、前記連結部の各処理液流通路近傍に各々設けられた弁収納部と、前記の各弁収納部内に各々収納され、体積収縮が自在であって収縮させたときに前記流通路が開となる中空弾性弁体とから構成され、
前記各中空弾性弁体のうち1の中空弾性弁体を開とし、他の中空弾性弁体を閉とすることにより、1の処理液流通路が選択されて処理液流通配管に接続されることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のウエット処理装置。 - 前記各流通配管が複数の分岐路からなり、前記各処理液流通路の下流側の各々が、前記複数の各処理液流通配管の分岐路に対応する複数の分岐路とされ、前記処理液流通路と処理液流通配管が各々接続されて前記連結部が複数形成されるとともに各連結部同士を連通する連絡配管が設けられ、前記中空弾性弁体が前記弁収納部と前記各連絡配管を貫通して配置されていることを特徴とする請求項9に記載のウエット処理装置。
- 前記各連絡配管が前記弁収納部よりも細く形成されることにより、各連絡配管が前記中空弾性弁体によって常に閉塞されていることを特徴とする請求項10に記載のウエット処理装置。
- 前記各切換手段が、前記複数の処理液流通路と前記処理液流通配管とを連結する連結部と、該連結部に収納された回転弁体とから構成され、前記回転弁体が前記連結部内で回転されることにより、1の処理液流通路が選択されて処理液流通配管に接続されることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のウエット処理装置。
- 前記各流通配管が複数の分岐路からなり、前記各処理液流通路の下流側の各々が、前記複数の各処理液流通配管の分岐路に対応する複数の分岐路とされ、前記処理液流通路及び処理液流通配管が各々接続されて前記連結部が複数形成されるとともに各連結部同士を連通する連絡配管が設けられ、前記回転弁体が前記各連結部と前記各連絡配管を貫通して配置されていることを特徴とする請求項12に記載のウエット処理装置。
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