CN1519893A - 湿式处理装置 - Google Patents

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Abstract

一种湿式处理装置(1)，具有由处理部(11)、将处理液导入的处理液导入部(21)、回收处理液的处理液回收部(31)构成的喷嘴(1a)，其特征是，在处理液导入部(21)中，具有处理液流通路(23)、(24)、被连接在各处理液流通路(23)、(24)的下游侧并且同时在对置面(11a)侧具有开口部(22)的处理液流通配管(25)、被配置于处理液流通路(23)、(24)和处理液流通配管(25)之间，并使选自处理液流通路(23)、(24)中的1个处理液流通路连接在处理液流通配管(25)上的切换机构(26)。通过在装置内部设置切换机构，可以在多个喷嘴间同时并且瞬时地进行处理液的切换。

Description

湿式处理装置
技术领域
本发明涉及在例如半导体器件、液晶显示面板等的制造过程中的清洗、剥离、显影、蚀刻、电镀、研磨等的湿式处理工序中，适合用于向被处理物上提供处理液的湿式处理装置中使用的技术。
背景技术
在半导体器件、液晶显示面板等电子机器的领域中，在其制造过程中，对作为被处理物的半导体基板或玻璃基板进行清洗处理的工序是必需的。在清洗工序中，为了除去制造工序中的各种的除去对象物质，进行使用超纯水、电解离子水、臭氧水、氢水等各种处理液的清洗操作，这些处理液是从湿式处理装置的喷嘴向基板上供给的。在特开平11-33506号公报(专利文献1)中记载有湿式处理装置的一个例子。
所述专利文献1中所记述的湿式处理装置是向被处理基板上供应处理液并进行湿式处理时使用的装置，具有以下的构成，即，在一端侧具有用于导入处理液的导入口的导入通路、在另一端侧具有用于将使用后的处理液向外部排出的排出口的排出通路、为了使处理用流体接触被处理基板而设置在导入口和排出口之间的液体处理路。
采用以往的湿式处理装置等时，在供应了处理液的部分以外的部分不使处理液接触，而可以从被处理基板上除去，因此可以实现省液型的湿式处理装置。
但是，在以往的湿式处理装置中，由于导入通路和排出通路分别只具有1个系统，因此原则上只能使用1种处理液。所以，当用清洗液对被处理基板进行清洗处理，其后，又要用漂洗液对被处理基板上残存的清洗液进行漂洗处理时，有必要准备清洗液用和漂洗液用的2个湿式处理装置。
另外，还认为需要使用以下的湿式处理装置，即，备有用于切换多种处理液并使之流通的切换装置，并将此切换装置连接在导入通路的上游侧上的湿式处理装置。但是，这种湿式处理装置由于将切换装置连接在位于湿式处理装置外部的导入通路上，因此使从切换机构到导入通路的导入口的距离变长。所以，即使利用切换装置来转换处理液，也需要特定的时间才能使被处理基板上的处理液都被转换，而不能对处理液进行瞬时的转换。
也考虑不使用具有所述的切换机构的湿式处理装置，而使用使切换机构收装于装置内部的湿式处理装置。但是，为了在例如使很多导入口串连配置而构成的湿式处理装置中适用，有必要在各导入口同时转换处理液，具有这种功能的切换机构现在尚未开发出来，另外，其开发也是极为困难的。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种湿式处理装置，即，将切换机构设置在装置内部，此切换机构可以在多个喷嘴间同时地并且瞬时地进行处理液的切换。
为了达成所述的目的，本发明采用了以下的构成。
本发明的湿式处理装置是具有喷嘴的湿式处理装置，此喷嘴由具有与被处理物对置的对置面的处理部、将处理液导入该被处理物和所述对置面之间的空间中并与所述处理部的一方相邻的处理液导入部、从所述空间回收处理液并与所述处理部的另一方相邻的处理液回收部构成，其特征是，在所述处理液导入部中，具有以下部分，即，
2个以上供给用的处理液流通路、
被连接在各处理液流通路的下游侧，同时，在所述对置面侧上具有开口部的1个供给用的处理液流通配管、
被配置于所述处理液流通路和所述处理液流通配管之间，并使选自所述多个处理液流通路中的1个处理液流通路连接在所述处理液流通配管上的导入侧的切换机构。
采用所述的湿式处理装置时，由于在处理液导入部中具有切换机构，因此可以形成导入侧的开口部和切换机构相邻，并使得导入侧的处理液流通配管缩短的构成。这样，在依次使用多种处理液进行湿式处理的情况下，当利用切换机构切换向被处理物供给的处理液时，被处理物上的处理液也被立即切换，结果是可以瞬时地进行处理液的切换。
另外，本发明的湿式处理装置是先前记述的湿式处理装置，其特征是，在所述处理液回收部中，具有以下部分，即，
2个以上回收用的处理液流通路、
被连接在各回收用的处理液流通路的上游侧，同时，在所述对置面上具有开口部的1个回收用的处理液流通配管、
被配置于所述回收用的处理液流通路和所述回收用的处理液流通配管之间，并使所述回收用的处理液流通配管连接在选自2个以上的所述回收用的处理液流通路中的1个处理液流通路上的回收侧的切换机构。
采用所述的湿式处理装置时，由于在处理液回收部上具有切换机构，因此可以形成回收侧的开口部和切换机构相邻，并使得回收侧的处理液流通配管缩短的构成。这样，在依次使用多种处理液进行湿式处理后对这些处理液依次回收的情况下，通过使回收侧的切换机构动作，就可以使处理液之间不发生混合，对每一种分别回收。
另外，本发明的湿式处理装置是先前记述的湿式处理装置，其特征是，在所述处理液回收部中，具有以下部分，即，
2个以上和所述供给用的处理液流通路数目相同的回收用的处理液流通路、
1个混合处理液回收用的处理液流通路、
被连接在所述回收用的各处理液流通路的上游侧，同时，在所述对置面上具有开口部的1个回收用的处理液流通配管、
被配置于所述回收用的处理液流通路和所述回收用的处理液流通配管之间，并使所述回收用的处理液流通配管连接在选自所述回收用的各处理液流通路中的1个处理液流通路上的回收侧的切换机构。
采用所述的湿式处理装置时，由于在处理液回收部上具有切换机构，因此可以形成回收侧的开口部和切换机构相邻，并使得回收侧的处理液流通配管缩短的构成。这样，在依次使用多种处理液进行湿式处理后对这些处理液依次回收的情况下，通过使回收侧的切换机构动作，就可以使处理液之间不发生混合，对每一种分别回收。
另外，在处理液回收时，虽然会有在所述的空间中，多种处理液之间发生混合，生成混合液的情况，但是所述的湿式处理装置利用混合处理液回收用的处理液流通路可以回收此混合处理液，并可以将处理液和混合处理液分别回收。
另外，本发明的湿式处理装置是先前记述的湿式处理装置，其特征是，在所述导入侧的切换机构的上游侧或所述回收侧的切换机构的下游侧中至少一方中，具有对施加在所述各切换机构上的处理液的液压进行遮断的压力遮断阀。
采用所述的湿式处理装置时，可以利用压力遮断阀对作用于切换机构上的处理液的液压进行遮断，从而可以迅速地进行切换机构的动作。
另外，本发明的湿式处理装置是先前记述的湿式处理装置，其特征是，具有对所述导入侧的切换机构的切换动作的定时和所述回收侧的切换机构的切换动作的定时分别单独控制的控制机构。
采用所述的湿式处理装置时，由于利用控制机构对各切换机构的切换动作进行单独的控制，因此在使用多种处理液进行湿式处理的情况下，可以对应于处理液导入部侧的处理液的切换，使回收侧的切换机构动作，从而可以对每一种处理液进行分别回收。
另外，本发明的湿式处理装置是先前记述的湿式处理装置，其特征是，在所述处理部上具有用于向该处理部和所述被处理物之间的处理液赋予振动的振动赋予机构。
通过采用这样的构成，在例如将本发明的湿式处理装置作为清洗装置使用的情况下，利用所述振动赋予机构，通过施加到处理液(清洗液)上的振动对附着物的除去效果，可以提高清洗效率。另外，也可以使此振动赋予机构能够在所述喷嘴上拆装，采用这样的构成时，就可以容易地将其更换为振动频率不同的其他振动赋予机构或光照射机构，从而可以提高湿式处理装置的通用性。
另外，本发明的湿式处理装置是先前记述的湿式处理装置，其特征是，所述处理部的所述被处理物侧的面，以透过紫外线的部件制成，在所述处理部上具有用于向所述被处理物照射紫外线的紫外线照射机构。
通过采用这样的构成，就可以实现能够使处理液中产生臭氧并对被处理物进行臭氧处理，或对处理液进行杀菌处理的湿式处理装置。另外，此紫外线照射机构当然也同所述振动赋予机构一样，可以在所述喷嘴上拆装。
另外，本发明的湿式处理装置是先前记述的湿式处理装置，其特征是，具备一对所述喷嘴，使所述各喷嘴的对置面相互面对，从而可以在各对置面之间配置板状的被处理物。
通过采用这样的构成，可以一次从2个方向对被处理物进行湿式处理，不仅可以进行高效率的湿式处理，而且通过从2个方向同时进行湿式处理，可以将处理后的被处理物的污染抑制在最小限度。
另外，本发明的湿式处理装置是先前记述的湿式处理装置，其特征是，所述各切换机构由以下部分构成，即，
将导入侧、回收侧各自的所述多个处理液流通路和所述处理液流通配管连接在一起的连结部、
各自设置在所述连结部的各处理液流通路附近的阀收装部、
被收装于所述的各阀收装部内的空心弹性阀体，其体积能自由收缩，在使体积收缩时所述流通路即打开，
通过使所述各空心弹性阀体中的1个空心弹性阀体打开，其他的空心弹性阀体闭合，1个处理液流通路即被选择出来，并被连接在处理液流通配管上。
采用所述的湿式处理装置时，由于通过使空心弹性阀体收缩来进行切换动作，因此，部件之间不会互相摩擦而产生磨损，并可以防止异物的产生。另外，由于空心弹性阀体被收装在设于所述连结部的各处理液流通路附近的阀收装部中，因此可以减少连结部内的处理液的残存量，并由此可以对处理液进行瞬时的切换。
另外，本发明的湿式处理装置是先前记述的湿式处理装置，其特征是，所述各流通配管由多个分支路构成，所述各处理液流通路的下游侧各自被设为对应于所述多个各处理液流通配管的分支路的多个分支路，所述处理液流通路和处理液流通配管各自被连接，形成多个所述连结部，同时，设有将各连结部之间连通的联络配管，所述空心弹性阀体被配置为贯穿所述阀收装部和所述各联络配管的方式。
采用所述的湿式处理装置时，由于所述空心弹性阀体被配置为贯穿各阀收装部和各联络配管的方式，因此可以通过使空心弹性阀体收缩来同时进行多个分支路的切换动作，从而可以对处理液进行瞬时的切换。
另外，本发明的湿式处理装置是先前记述的湿式处理装置，其特征是，通过使所述各联络配管比所述阀收装部更细，各联络配管就总是被所述空心弹性阀体封闭。
通过采用这样的构成，由于处理液不会滞留于联络配管内，因此可以对各分支路的处理液同时进行切换。
另外，本发明的湿式处理装置是先前记述的湿式处理装置，其特征是，所述各切换机构由连接所述多个处理液流通路和所述处理液流通配管的连结部和收装在该连结部内的旋转阀体构成，通过使所述旋转阀体在所述连结部内旋转，1个处理液流通路即被选择出来，并被连接在处理液流通配管上。
采用所述的湿式处理装置时，由于通过使旋转阀体旋转来进行切换动作，因此可以减少旋转阀体及连结部内的处理液的残存量，并由此可以进行对处理液的瞬时的切换。
另外，本发明的湿式处理装置是先前记述的湿式处理装置，其特征是，所述各流通配管由多个分支路构成，所述各处理液流通路的下游侧各自被设为对应于所述多个各处理液流通配管的分支路的多个分支路，所述处理液流通路和处理液流通配管各自被连接，形成多个所述连结部，同时，设有连通各连结部之间的联络配管，所述旋转阀体被配置为贯穿所述各连结部和所述各联络配管的方式。
采用所述的湿式处理装置时，由于所述旋转阀体被配置为贯穿各连结部和各联络配管的方式，因此可以通过使空心弹性阀体旋转来同时进行多个分支路的切换动作，从而可以对处理液进行瞬时的切换。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式1的湿式处理装置的立体图。
图2是图1所示的湿式处理装置的仰视图。
图3是对应于图2的X-X’线的剖面图。
图4是表示本发明的实施方式1的湿式处理装置所具有的处理液导入部的主要部分的前视示意图。
图5是表示本发明的实施方式1的湿式处理装置所具有的处理液导入部的主要部分的侧视示意图。
图6是表示本发明的实施方式1的湿式处理装置所具有的处理液导入部的主要部分的仰视示意图。
图7是表示本发明的实施方式1的湿式处理装置所具有的处理液导入侧的切换机构的主要部分的前视剖面图。
图8是对应于图7的Y-Y’线的剖面图。
图9是表示本发明的实施方式1的湿式处理装置所具有的其他切换机构的主要部分的前视剖面图。
图10是表示本发明的实施方式1的湿式处理装置所具有的空心弹性阀体的主要部分的剖面图。
图11是表示空心弹性阀体的其他例子的示意图。
图12是表示图10所示的空心弹性阀体的整体构造的示意图。
图13是表示本发明的实施方式1的湿式处理装置所具有的处理液回收部的主要部分的仰视示意图。
图14是表示本发明的实施方式1的湿式处理装置所具有的处理液回收侧的切换机构的主要部分的前视剖面图。
图15是对应于图14的Z-Z’线的剖面图。
图16是用于说明本发明的实施方式1的湿式处理装置的动作的示意图。
图17是表示本发明的实施方式2的湿式处理装置的内部构造的示意图。
图18是表示图16所示的湿式处理装置所具有的回收侧的切换机构的主要部分的前视剖面图。
图19是用于说明本发明的实施方式2的湿式处理装置的动作的示意图。
图20是用于说明本发明的实施方式2的湿式处理装置的动作的时序图。
图21是表示本发明的实施方式3的湿式处理装置的示意图。
图22是图21所示的湿式处理装置的主要部分的俯视图。
其中，
1…湿式处理装置，1a、50a…喷嘴，11…处理部，11a…对置面，12…振动赋予机构，21…处理液导入部，22…开口部(导入侧的开口部)，23…第1处理液流通路(供给用的处理液流通路)，23a、24a、33a、34a…分支路(处理液流通路的分支路)，24…第2处理液流通路(供给用的处理液流通路)，25…处理液流通配管(供给用的处理液流通配管)，25a、35a…分支路(处理液流通配管的分支路)，26…导入侧的切换机构，26a、36a…连结部，26b、26c…阀收装部，26d、26e…空心弹性阀体，26f、26g、36c…联络配管，28a、28b、58a、58b、58c…压力遮断阀，31…处理液回收部，32…开口部(回收侧的开口部)，33…第3处理液流通路(回收用的处理液流通路)，34…第4处理液流通路(回收用的处理液流通路)，35、57…处理液流通配管(回收用的处理液流通配管)，36、56…回收侧的切换机构，36b…旋转阀体，53…第5处理液流通路(回收用的处理液流通路)，54…第6处理液流通路(回收用的处理液流通路)，55…第6处理液流通路(混合处理液回收用的处理液流通路)，60…控制机构，M…空间，N…空间，W…被处理基板(被处理物)
具体实施方式
(实施方式1)
下面将参照附图对本发明的实施方式1进行说明。
图1表示本实施方式的湿式处理装置的立体图，图2表示从对置面侧看到的该湿式处理装置的俯视图，图3表示图2的沿X-X’线的剖面图。
如图1～图3所示，本实施方式的湿式处理装置1具有喷嘴1a，所述喷嘴1a由具有与被处理基板W(被处理物)对置的对置面11a的处理部11、将处理液导入被处理基板W和对置面11a之间的空间M的处理液导入部21、从该空间M回收湿式处理后的处理液的处理液回收部31构成。
这种湿式处理装置1被称为push-pull型喷嘴(省流量型喷嘴)。
如图2所示，对置面11a形成近似矩形的形状，其表面材质由不锈钢等金属或石英等玻璃构成。另外，对置面11a是喷嘴1a上形成的与被处理基板W对置并与处理液接触的面，沿着其长边设有多个导入侧的开口部22和回收侧的开口部32。此外，其构成使得处理液可以在对置面11a和被处理基板W之间的空间M中流通。而且，对置面11a和被处理基板W之间的距离被设在0.5～8mm的范围内。
在本实施方式的喷嘴1a中，使处理液通过导入侧的开口部22向被处理基板W供给，并使处理液通过回收侧的开口部32从被处理基板W上回收。在此导入侧的开口部22和回收侧的开口部32之间，由对置面11a和被处理物夹持的区域被设为本实施方式的湿式处理装置1的处理区域N，从而可以对与此处理区域N相接的被处理基板W的表面进行湿式处理。
所述导入侧的开口部22及回收侧的开口部32分别具有特定的间隔或孔径，从而可以在被处理物的宽度方向(对置面11a的长度方向)均一地提供并回收清洗液。
另外，对置面11a最好具有亲水性，导入侧的开口部22及回收侧的开口部32的内面侧也最好具有亲水性。通过使构成处理区域N的对置面11a具有亲水性，就可以使处理区域N中的处理液的流动更顺畅，提高对其的控制性。另外，通过使导入侧的开口部22及回收侧的开口部32的内面侧具有亲水性，就可以顺利地进行处理液的导入和回收，使处理液的流动更加平稳。
另外，处理部11被配置在处理液导入部21和处理液回收部31之间，并被配置在与处理区域N对置的位置。在此处理部11上具有用于向在处理区域N(空间M)中流通的处理液赋予振动的振动赋予机构12，并且可以拆装。振动赋予机构12的一面侧被接合在对置面11a的反面上。另外，用于驱动、控制振动赋予机构12的电缆13被连接在振动赋予机构12上，此电缆13被向喷嘴1a的外侧导出，并被连接在图中未显示的驱动控制部上。此振动赋予机构12可以使用产生振动频率约为0.02～5MHz的超声波的超声波振动器等，并且应当根据被处理物的种类或湿式处理的目的适当地选择最合适的频率。
另外如图3～图6所示，在处理液导入部21上，具有供给用的第1、第2处理液流通路23、24、供给用的处理液流通配管25、导入侧的切换机构26。
如图3～图6所示，第1、第2处理液流通路(供给用的处理液流通路)23、24为沿着开口部22的排列方向延伸的长方体形的空心部，并且此长方体的长边被配置为基本上与开口部22的排列方向平行。另外如图3～图5所示，在第1、第2处理液流通路23、24的上部(上游侧)分别连接有第1、第2处理液供给管27a、27b，从而可以通过这些第1、第2处理液供给管27a、27b，从喷嘴1a外部向第1、第2处理液流通路23、24供给2种处理液。例如，可以向第1处理液流通路23供给清洗液，向第2处理液流通路24供给漂洗液。另外如图5所示，通过使第1、第2处理液流通路23、24的外形比第1、第2处理液供给管27a、27b更大，在处理液从第1、第2处理液供给管27a、27b向第1、第2处理液流通路23、24输送时，可以使其流路扩大。
另外如图3～图6所示，在第1、第2处理液流通路23、24的下部(下游侧)，沿着各处理液流通路23、24的长度方向设有多个分支路23a…、24a…，从而可以通过这些分支路23a…、24a…向处理液流通配管25输送处理液。利用这样的构成，已经被第1、第2处理液流通路23、24扩大了的流路又被分支路23a…、24a…分化为多个细的流路，从而使处理液以均一的液压在各分支路23a…、24a…内流动。
另外，如图5所示，处理液流通配管25(供给用的处理液流通配管)对应第1、第2处理液流通路23、24的分支路23a…、24a…被设为多个分支路25a…，这些分支路25a…被分别连接在第1、第2处理液流通路的分支路24a…、24b…的下游侧上，而且具有在对置面11a侧开口的开口部22…。开口部22…如图2及图6所示，是设置在喷嘴1a的对置面11a侧的多个开口，这些开口部22…被沿着对置面11a的长度方向配置成一列。利用此构成，向第1、第2处理液流通路23、24供给的清洗液及漂洗液(处理液)通过处理液流通路的分支路23a…、24a…和处理液流通配管的分支路25a…，从开口在对置面11a上的开口部22…向处理基板W供给。
另外切换机构26(导入侧的切换机构)被配置在第1、第2处理液流通路23、24和处理液流通配管25之间，是使得从第1、第2处理液流通路23、24中选择的1个处理液流通路被连接在处理液流通配管25上的装置。此切换机构26如图7及图8所示，大体由连接第1、第2处理液流通路23、24和处理液流通配管25的连结部26a、分别设于连结部26a的第1、第2处理液流通路23、24的各自的附近位置上的阀收装部26b、26c、分别收装于各阀收装部26b、26c中的空心弹性阀体26d、26e构成。
连结部26a…将第1、第2处理液流通路的各分支路23a…、24a…和构成处理液流通配管25的分支路25a…分别连接起来。此外，在各连结部26a…的第1、第2处理液流通路23、24的附近位置上分别设有阀收装部26b…、26c…。
即，阀收装部26b、26c如图5～图7所示，是分别设置在第1、第2处理液流通路23、24的各分支路23a、24a的头端的空心部分。另外这些阀收装部26b…、26c…如图5、图6及图8所示，通过平行于第1、第2处理液流通路23、24的长度方向形成的联络配管26f…相互连通。此外，在这些阀收装部26b…、26c…及联络配管26f…中收装有贯通它们的空心弹性阀体26d、26e。
空心弹性阀体26d、26e是由橡胶等弹性体构成的空心管，通过使气体或液体等流体在其空心部分中流通，就可以控制体积收缩。例如如图10及图12所示，气体流路G1通过安装模具28被连接在空心弹性阀体26d、26e的端部上，加压气体流路G2和减压气体流路G3通过三通阀B被连接在气体流路G1上。通过这样的构成，就可以切换三通阀B，将加压气体送至空心弹性阀体26d、26e，使得空心弹性阀体26d、26e体积膨胀，或对空心弹性阀体26d、26e减压而使之体积收缩。
此外，如图7所示，例如使第2处理液流通路侧的空心弹性体26e收缩，就会在空心弹性体26e和阀收装部26c的内壁面之间产生空隙，从而达到「开」状态，使得漂洗液可以通过此空隙从第2处理液流通路24被送至处理液流通配管25侧。另外如图7中的虚线所示，当使第2处理液流通路24侧的空心弹性体26e膨胀时，空心弹性体26e与阀收装部26c即紧密接触而达到「闭」状态，从而可以遮断漂洗液的输送。而且，第1处理液流通路侧的空心弹性体26d的动作也相同。
这样，通过使切换机构26中所具备的2个空心弹性阀体26d、26e中的一方膨胀而达到「闭」状态，使另一方收缩而达到「开」状态，就可以选择第1、第2处理液流通路23、24中的一方，并与处理液流通配管25连接。
通过使用此种构成的切换机构26，就可以选择向第1、第2处理液流通路23、24供给的清洗液、漂洗液中的一方，并通过处理液流通配管25向被处理基板W供给。另外，由于空心弹性阀体26d、26e被配置为贯穿阀收装部26b、26c及联络配管26f，因此可以通过使空心弹性阀体26d、26e收缩而同时进行多个分支路25a…的切换动作，并可以瞬时地进行清洗液、漂洗液的切换。
另外，由于通过使空心弹性阀体26d、26e收缩来进行切换动作，因此部件之间不会因相互摩擦而磨损，还可以防止异物的产生。另外，空心弹性阀体26d、26e由于被收装在设于处理液流通路23、24的连结部26a附近的阀收装部26b、26c中，因此可以减少连结部26a内的处理液的残存量，并由此可以瞬时地进行处理液的切换。
另外，由于在处理液导入部21的内部具有切换机构26，因此可以形成导入侧的开口部22和切换机构26相邻，而使导入侧的处理液流通配管25缩短的构成。这样，在依次使用多种处理液进行湿式处理的情况下，当利用切换机构26切换向被处理物供给的处理液时，被处理物上的处理液也被立即切换，其结果是可以瞬时地进行处理液的切换。
而且，作为另一个例子的切换机构47，如图9所示，可以将各联络配管26g制成比阀收装部26c(连结部)更细的形状。在此切换机构47中，各联络配管26g总是处于被空心弹性阀体26e封闭的状态。即，采用使得收缩状态的空心弹性阀体26e的外径和联络配管26g的内径一致的构成。
如图9所示，在空心弹性阀体26e收缩时，在空心弹性阀体26e和阀收装部26c的内壁面之间生成空隙而达到「开」状态，使得处理液可以通过此空隙从处理液流通路24被送至处理液流通配管25侧。另外如图9中的虚线所示，当使空心弹性阀体26e膨胀时，空心弹性体26e与阀收装部26c即紧密接触而达到「闭」状态，从而可以遮断处理液的输送。这样，通过使切换机构中所具备的2个空心弹性阀体中的一方膨胀而达到「闭」状态，使另一方收缩而达到「开」状态，就可以选择第1、第2处理液流通路23、24中的一方，并与处理液流通配管25连接。
而且，在此期间由于联络配管26g总是处于被空心弹性阀体26e封闭的状态，因此处理液不会在联络配管26g内滞留，从而可以对分支路25a…中的处理液同时进行切换。
另外，虽然在图10及图12中对将气体流路连接在空心弹性阀体的一端侧上的例子进行了说明，但是也可以如图11所示，将气体流路G1、G1分别连接在空心弹性阀体26d、26e的两端侧，将一方的气体流路设为加压气体流路G2，将另一方的气体流路设为减压气体流路G3。
下面将对处理液回收部31进行说明。如图3所示，在处理液回收部31上具有回收用的第3、第4处理液流通路33、34、回收用的处理液流通配管35、回收侧的切换机构36。这里，仅对回收侧的切换机构36的构造进行说明。另外，关于第3、第4处理液流通路33、34及处理液流通配管35的详细构造的说明，和关于第3、第4处理液流通路33、34及处理液流通配管35和切换机构36的连接构造的说明，由于与先前说明的处理液导入部21的构造相同，因此其说明将省略。
回收侧的切换机构36如图13及图14所示，是被配置在第3、第4处理液流通路33、34和处理液流通配管35之间，并使得处理液流通配管35连接在第3、第4处理液流通路33、34中的一方的处理液流通路上的装置。此切换机构36如图13及图14所示，大体由将第3、第4处理液流通路33、34和处理液流通配管35分别连接起来的连结部36a和收装在连结部36a中的旋转阀体36b构成。
连结部36a是将第3、第4处理液流通路的各分支路33a…、34a…和构成处理液流通配管35的分支路35a…分别连接起来的部分，连结部36a…分别形成在各分支路的合流部分上。
连结部36a…是设置在各分支路33a…、34a…、35a…的合流部分上的空心部分。另外如图15所示，此连结部36a…通过与第3、第4处理液流通路33、34的长度方向平行形成的联络配管36c…而相互连通。此外，旋转阀体36b被收装为可以贯穿此连结部36a…及联络配管36c…。
另外如图14及图15所示，旋转阀体36b由圆筒状的部件构成，在其圆周面上设有多个对应于各分支路33a…、34a…、35a…的多个内部流路36d…。另外，旋转阀体36b被以可以自由旋转的状态收装在连结部36a内。而且如图2所示，旋转阀体36b的一端向喷嘴1a外部突出。
此外，通过使旋转阀体36b的一端旋转，可以利用旋转阀体36b的内部流路36d…使第3处理液流通路的分支路33a和处理液流通配管的分支路35a连通，或利用内部流路36d使第4处理液流通路的分支路34a和处理液流通配管的分支路35a连通。图14表示旋转阀体36b的内部流路36d…使第3处理液流通路的分支路33a…和处理液流通配管的分支路35a…连通的状态。利用这样的构成，就可以选择2个处理液流通路33、34中的1个，并连接在处理液流通配管35上。
通过使用这种构成的切换机构36，就可以使从被处理基板W上通过处理液流通配管35回收的处理液流入第3、第4处理液流通路33、34中的某一方的处理液流通路中。另外，由于旋转阀体36b被配置为贯穿连结部36a及联络配管36c，因此可以通过使旋转阀体36b旋转来同时进行多个分支路35a…的切换动作，并可以瞬时地进行处理液的切换。
另外，由于在处理液回收部31的内部具有切换机构36，因此可以形成回收侧的开口部32和切换机构36相邻并使得回收侧的处理液流通配管35缩短的构成。这样，在依次使用多种处理液进行湿式处理后对该处理液依次回收的情况下，通过使回收侧的切换机构36动作，就可以使处理液之间不发生混合，对每一种分别进行回收。
下面将参照图16对本实施方式的喷嘴1a的动作进行说明。在图16中说明的是用清洗液清洗被处理基板W的同时，还用漂洗液进行漂洗的情况。
如图16A所示，处理液导入部21的第1处理液流通路23中被供给清洗液，第2处理液流通路24中被供给漂洗液。而且，使导入侧的切换机构26动作，使得第1处理液流通路23连接在处理液流通配管25上，向被处理基板W供给清洗液。
向被处理基板W上供给的清洗液在供湿式处理使用之后，被处理液回收部31从被处理基板W上回收。在处理液回收部31中，利用回收侧的切换机构36使得回收侧的处理液流通配管35连接在第3处理液流通路33上。使用完的清洗液通过处理液流通配管35被第3处理液流通路33回收。
然后，如图16B所示，使导入侧的切换机构26动作，使得第2处理液流通路24连接在处理液流通配管25上，向被处理基板W供给漂洗液。
向被处理基板W上供给的漂洗液在供湿式处理使用之后，被处理液回收部31从被处理基板W上回收。在处理液回收部31中，利用回收侧的切换机构36使得回收侧的处理液流通配管35连接在第4处理液流通路34上。使用完的漂洗液通过处理液流通配管35被第4处理液流通路34回收。
利用回收侧的切换机构36进行从第3处理液流通路33向第4处理液流通路34的切换，最好比利用导入侧的切换机构26进行从第1处理液流通路23向第2处理液流通路24的切换时刻稍迟一些。具体来说，由于处理液在从处理液导入部21到达处理液回收部31的过程中，需要花费与处理液的流速对应的特定的时间，因此最好使回收侧的切换在经过此移动时间后进行。
采用所述的湿式处理装置1时，可以利用1个喷嘴1a进行使用多种处理液的湿式处理。另外还可以迅速地进行处理液的切换，并且还可以进行处理液的分别回收。被分别回收的处理液可以直接送至再生工序进行再生，从而可以再次在湿式处理中使用。
另外，在将所述的湿式处理装置1作为清洗装置使用的情况下，可以利用由所述振动赋予机构12向处理液(清洗液)施加的振动产生的附着物的除去效果来提高清洗效率。另外，也可以使此振动赋予机构12能够在所述喷嘴1a上拆装，采用这种构成时，就可以容易地与例如振动频率不同的其他振动赋予机构12或光照射机构交换，从而可以提高湿式处理装置1的通用性。
而且，在本实施方式中，虽然对处理部11中具有振动赋予机构12的例子进行了说明，但是本发明并不限定于此，也可以用紫外线透过的部件形成处理部11的与被处理基板W对置的面，在处理部11上设置用于向被处理基板W照射紫外线的紫外线照射机构。
通过采用这种构成，可以实现能够使处理液中产生臭氧并对被处理基板W进行臭氧处理，或对处理液进行杀菌的湿式处理装置1。另外，此紫外线照射机构当然也和所述振动赋予机构12一样，能够在喷嘴1a上拆装。
另外，在本实施方式中，虽然采用具有空心弹性阀体26d、26e的切换机构26作为处理液导入部21的切换机构，并采用具有旋转阀体36b的切换机构36作为处理液回收部31的切换机构，但是本发明并不限定于此形态。即，例如，也可以采用具有空心弹性阀体的切换机构26作为处理液导入部21及处理液回收部31两方的切换机构，还可以用具有旋转阀体的切换机构作为两方的切换机构，还可以在导入侧采用具有旋转阀体的切换机构的同时，在回收侧采用具有空心弹性阀体的切换机构。
(实施方式2)
下面将参照附图对本发明的实施方式2进行说明。
图17表示本实施方式的湿式处理装置50的剖面。而且，在图17所示的实施方式2的湿式处理装置50的构成要素中，对与图3所示的实施方式1的湿式处理装置1的构成要素相同的构成要素使用相同的符号，其说明将省略。
如图17所示，本实施方式的湿式处理装置50具有喷嘴50a，所述喷嘴50a由具有与被处理基板W(被处理物)对置的对置面11a的处理部11、将处理液导入被处理基板W和对置面11a之间的空间N的处理液导入部21、从该空间N回收湿式处理后的处理液的处理液回收部51构成。
如图17所示，在处理液回收部51中具有回收用的第5、第6处理液流通路53、54、混合液回收用的第7处理液流通路55、回收用的处理液流通配管57、回收侧的切换机构56。
如图17所示，在第5、第6、第7处理液流通路53、54、55的上部(下游侧)上分别连接有处理液回收管58a、58b、58c，通过这些处理液回收管58a、58b、58c，就可以将回收完的处理液及混合处理液向喷嘴50a外部排出。例如，可以利用第5处理液流通路23回收清洗液，利用第6处理液流通路24回收漂洗液，利用第7处理液流通路25回收清洗液和漂洗液的混合液。
另外如图17所示，在第5、第6、第7处理液流通路53、54、55的下部(上游侧)上分别设有分支路53a、54a、55a，从而可以将通过处理液流通配管57送来的处理液输送至各处理液流通路53、54、55。
另外切换机构56(回收侧的切换机构)是被配置在第5、第6、第7处理液流通路53、54、55和处理液流通配管57之间，使从第5、第6、第7处理液流通路53、54、55中选择的1个处理液流通路连接在处理液流通配管57上的机构。此切换机构56如图18所示，大体由连接第5、第6、第7处理液流通路53、54、55和处理液流通配管57的连结部56a、分别设于连结部56a的第5、第6、第7处理液流通路53、54、55的各自的附近位置上的阀收装部56b、56c、56d、分别收装于各阀收装部56b、56c、56d中的空心弹性阀体56e、56f、56g构成。
此外，如图18所示，例如使与第7处理液流通路连接的空心弹性阀体56g收缩时，在空心弹性阀体56g和阀收装部56d的内壁面之间即产生空隙而达到「开」状态，使得混合液可以通过此空隙向第7处理液流通路输送。另外如图18中的虚线所示，当使空心弹性阀体56g膨胀时，空心弹性体56g与阀收装部56d的内壁面即紧密接触而达到「闭」状态，从而可以遮断混合液的输送。而且，第5、第7处理液流通路侧的空心弹性阀体56e、56f的动作也是相同的。
这样，通过使切换机构中所具备的3个空心弹性阀体56e、56f、56g中的某2个膨胀而达到「闭」状态，使另1个收缩而达到「开」状态，就可以选择第5、第6、第7处理液流通路53、54、55中的某一个，并与处理液流通配管57连接。
通过采用此种构成的切换机构56，就可以使从被处理基板W上通过处理液流通配管57回收的处理液流入第5、第6、第7处理液流通路53、54、55中的某一个处理液流通路中。
下面将参照图19对本实施方式的喷嘴的动作进行说明。在图19中，说明的是在用清洗液清洗被处理基板W的同时，用漂洗液将基板W上残存的清洗液洗去的情况。
如图19A所示，向处理液导入部21的第1处理液流通路23中供给清洗液，向第2处理液流通路24中供给漂洗液。此外，使导入侧的切换机构26动作，使得第1处理液流通路23连接在处理液流通配管25上，向被处理基板W供给清洗液。
向被处理基板W供给的清洗液在供湿式处理使用之后，由处理液回收部51从被处理基板W上回收。在处理液回收部51中，利用回收侧的切换机构56，将回收侧的处理液流通配管35连接在第5处理液流通路53上。使用完的清洗液通过处理液流通配管35被第5处理液流通路53回收。
然后，如图19B所示，使导入侧的切换机构26动作，使得第2处理液流通路24连接在处理液流通配管25上，向被处理基板W供给漂洗液。
向被处理基板W供给的漂洗液在供湿式处理使用之后，由处理液回收部51从被处理基板W上回收。在处理液回收部51中，利用回收侧的切换机构56，将回收侧的处理液流通配管55连接在第7处理液流通路55上。
这里，在从清洗液切刚换至漂洗液之后，残存的清洗液和漂洗液会在处理区域N内发生混合，刚切换后的处理液就成为清洗液和漂洗液混合的混合液。
因此，本实施方式中，使此混合液通过处理液流通配管55被混合液回收用的第7处理液流通路55回收。
然后，如图19C所示，在估计回收的处理液(混合液)中的清洗液成分的浓度基本达到零时，使回收侧的切换机构56动作，使得处理液流通配管55连接在第6处理液流通路54上。由于清洗液成分的浓度基本为零的情况即为回收液变成了漂洗液的情况，因此使此漂洗液流入第6处理液流通路54中回收。
当用时序图表示以上的动作时即如图20所示。图20是表示各切换机构26、56的切换的时序图。图20中，符号A表示第1处理液流通路23的处理液的供给状态。显示为ON(OPEN)的则表示第1处理液流通路23被连接在处理液流通配管25上的状态。同样，符号B表示第2处理液流通路24的处理液的供给状态，显示为ON(OPEN)的则表示第2处理液流通路24被连接在处理液流通配管25上的状态。
另外，符号C表示第5处理液流通路53的处理液的回收状态，符号D表示第6处理液流通路54的处理液的回收状态，符号E表示第7处理液流通路55的处理液的回收状态。
如图20所示，在从第1处理液流通路23(A)切换至第2处理液流通路24(B)的同时，从第5处理液流通路53(C)切换至第7处理液流通路55(E)，然后从第7处理液流通路53(E)切换至第6处理液流通路54(D)。
采用所述的湿式处理装置50时，除了可以得到与实施方式1的湿式处理装置1相同的效果以外，还可以获得以下的效果。
即，采用所述的湿式处理装置50时，在回收处理液时，虽然会发生在空间N中清洗液和漂洗液混合而生成混合液的情况，但是利用混合处理液回收用的第7处理液流通路55可以回收此混合液，并可以将清洗液、漂洗液、混合液分别回收。
(实施方式3)
下面将参照附图对本发明的实施方式3进行说明。
图21表示本实施方式的湿式处理装置的示意图，图22表示湿式处理装置的俯视图。如图21所示，此湿式处理装置100以一对喷嘴50a、50a和对具有各喷嘴50a的切换机构的切换动作进行控制的控制机构60为主体而构成。各喷嘴50a、50a被配置为各自的对置面11a、11a相互面对，在对置面11a、11a之间配置有被处理基板W。
另外，如图22所示，被处理基板W为圆板状的基板，由4个旋转驱动转子可以自由旋转地支撑。此外，在将喷嘴50a的朝向固定的状态下，通过驱动旋转驱动转子101而使被处理基板W旋转，就可以对被处理基板W的整个面进行湿式处理。
喷嘴50a是与先前说明的实施方式2的喷嘴相同构成的喷嘴。即，在各喷嘴50a中都具有导入侧的切换机构26和回收侧的切换机构56。在导入侧的切换机构26中具有图示省略的第1处理液流通路侧的空心弹性阀体26d和图示省略的第2处理液流通路侧的空心弹性阀体26e。另外，在回收侧的切换机构56中具有图示省略的第5处理液流通路侧的空心弹性阀体56e、图示省略的第6处理液流通路侧的空心弹性阀体56f、图示省略的第7处理液流通路侧的空心弹性阀体56g。
另外，在空心弹性阀体26d、26e上连接有各个加压气体流路G11、G12，在空心弹性阀体56e～56g上连接有各个加压气体流路G21、G22、G23。另外，各加压气体流路G11～G22上设有阀B11～B22。各阀B11～B22被连接在控制机构60上。利用此种构成，控制机构60通过对各阀B11～B22的开闭进行控制，就可以对加压气体向空心弹性阀体26d～56g的供给进行控制。这样利用控制机构60就可以对各空心弹性阀体26d～56g的开闭动作的定时进行单独地控制。
然后，在位于切换机构26的上游侧的第1、第2处理液供给管27a、27b上安装有压力控制阀28a、28b，在位于切换机构56的下游侧的处理液回收管58a～58c上设有压力控制阀58a～58c。另外，各压力控制阀58a～58c被连接在控制机构60上。利用此种构成，控制机构60通过对各压力控制阀58a～58c的开闭进行控制，就可以对处理液的供给及回收进行控制。
另外，这些压力控制阀58a～58c具有遮断处理液施加在各切换机构26、56上的液压的功能。
所述的湿式处理装置100具有实施方式2中说明的喷嘴50a，可以使之进行与实施方式2中说明的动作相同的动作。另外，由于控制机构60单独地而且统一进行切换机构26、56的动作，因此可以实现处理时间的缩短。
另外，采用湿式处理装置100时，可以一次从两个方向对被处理基板W进行湿式处理，不仅可以进行更高效率的湿式处理，而且可以通过从两个方向同时地进行湿式处理，将处理后的被处理基板W的污染抑制在最小限度。
另外，采用所述的湿式处理装置100时，由于可以利用压力遮断阀28a、28b、58a～58c遮断处理液对切换机构26、56的液压，因此不用向切换机构26、56的空心弹性阀体26d、26e、56e～56f施加多余的压力即可，从而可以迅速地进行切换机构26、56的动作。
若介绍利用本实施方式的湿式处理装置的湿式处理条件的一个例子，则被处理基板为直径300mm的硅片。喷嘴50a是长度方向的长度为350mm的装置，使用的是在其对置面上设置了87个导入侧及回收侧的开口部的设计。清洗液采用的是浓度为0.5％的氢氟酸水溶液，漂洗液使用溶解了1～1.3ppm的氢的氢溶解水。另外，清洗液和漂洗液的流量被设为2L/分。
如以上的详细说明所示，采用本发明的湿式处理装置时，由于在处理液导入部中具有切换机构，因此可以形成导入侧的开口部和切换机构相邻并使得导入侧的处理液流通配管缩短的构成。这样，在依次使用多种处理液进行湿式处理的情况下，当利用切换机构切换向被处理物供给的处理液时，被处理物上的处理液也被立即切换，其结果是可以瞬时地进行处理液的切换。
另外，采用本发明的湿式处理装置时，由于在处理液回收部中具有切换机构，因此可以形成回收侧的开口部和切换机构相邻并使得回收侧的处理液流通配管缩短的构成。这样，在依次使用多种处理液进行湿式处理后对这些处理液依次回收的情况下，通过使回收侧的切换机构动作，可以使处理液之间不发生混合，对每一种分别回收。
另外，采用本发明的湿式处理装置时，在回收处理液时，虽然会发生多种处理液之间混合而生成混合液的情况，但是利用混合处理液回收用的处理液流通路可以回收此混合液，从而可以对处理液和混合液分别进行回收。

Claims (15)

1.一种湿式处理装置，具备由具有与被处理物对置的对置面的处理部、将处理液导入该被处理物和所述对置面之间的空间中并与所述处理部的一方相邻的处理液导入部、从所述空间回收处理液并与所述处理部的另一方相邻的处理液回收部构成的喷嘴，其特征是，在所述处理液导入部中，具有以下部分，即，
2个以上供给用的处理液流通路、
被连接在各处理液流通路的下游侧，同时，在所述对置面侧上具有开口部的1个供给用的处理液流通配管、
被配置于所述处理液流通路和所述处理液流通配管之间，并使选自所述多个处理液流通路中的1个处理液流通路连接在所述处理液流通配管上的导入侧的切换机构。
2.根据权利要求1所述的湿式处理装置，其特征是，在所述处理液回收部中，具有以下部分，即，
2个以上回收用的处理液流通路、
被连接在各回收用的处理液流通路的上游侧，同时，在所述对置面上具有开口部的1个回收用的处理液流通配管、
被配置于所述回收用的处理液流通路和所述回收用的处理液流通配管之间，并使所述回收用的处理液流通配管连接在选自2个以上的所述回收用的处理液流通路中的1个处理液流通路上的回收侧的切换机构。
3、根据权利要求2所述的湿式处理装置，其特征是，在所述处理液回收部中，具有以下部分，即，
2个以上和所述供给用的处理液流通路数目相同的所述回收用的处理液流通路、
1个混合处理液回收用的处理液流通路、
被连接在所述回收用的各处理液流通路的上游侧，同时，在所述对置面上具有开口部的1个回收用的处理液流通配管、
被配置于所述回收用的各处理液流通路和所述回收用的处理液流通配管之间，并使所述回收用的处理液流通配管连接在选自所述回收用的各处理液流通路中的1个处理液流通路上的回收侧的切换机构。
4.根据权利要求2所述的湿式处理装置，其特征是，在所述导入侧的切换机构的上游侧或所述回收侧的切换机构的下游侧中至少一方中，具有对施加在所述各切换机构上的处理液的液压进行遮断的压力遮断阀。
5.根据权利要求3所述的湿式处理装置，其特征是，在所述导入侧的切换机构的上游侧或所述回收侧的切换机构的下游侧中至少一方中，具有对施加在所述各切换机构上的处理液的液压进行遮断的压力遮断阀。
6.根据权利要求2所述的湿式处理装置，其特征是，具有对所述导入侧的切换机构的切换动作的定时和所述回收侧的切换机构的切换动作的定时分别单独控制的控制机构。
7.根据权利要求1所述的湿式处理装置，其特征是，在所述导入侧的切换机构中，具有对施加在所述切换机构上的处理液的液压进行遮断的压力遮断阀。
8.根据权利要求1所述的湿式处理装置，其特征是，在所述处理部上具有用于向该处理部和所述被处理物之间的处理液赋予振动的振动赋予机构。
9.根据权利要求1所述的湿式处理装置，其特征是，所述处理部的所述被处理物侧的面以透过紫外线的部件构成，在所述处理部上具有用于向所述被处理物照射紫外线的紫外线照射机构。
10.根据权利要求1所述的湿式处理装置，其特征是，具备一对所述喷嘴，使所述各喷嘴的对置面相互面对，从而可以在各对置面之间配置板状的被处理物。
11.根据权利要求2所述的湿式处理装置，其特征是，所述各切换机构由以下部分构成，即，
将导入侧、回收侧各自的所述多个处理液流通路和所述处理液流通配管连接在一起的连结部、
各自设置在所述连结部的各处理液流通路附近的阀收装部、
被收装于所述的各阀收装部内的空心弹性阀体，其体积能自由收缩，在使体积收缩时所述流通路即打开，
通过使所述各空心弹性阀体中的1个空心弹性阀体打开，其他的空心弹性阀体闭合，1个处理液流通路即被选择出来，并被连接在处理液流通配管上。
12.根据权利要求11所述的湿式处理装置，其特征是，所述各流通配管由多个分支路构成，所述各处理液流通路的下游侧各自被设为对应于所述多个各处理液流通配管的分支路的多个分支路，所述处理液流通路和处理液流通配管各自被连接，形成多个所述连结部，同时，设有将各连结部之间连通的联络配管，所述空心弹性阀体被配置为贯穿所述阀收装部和所述各联络配管的方式。
13.根据权利要求12所述的湿式处理装置，其特征是，通过使所述各联络配管比所述阀收装部更细，各联络配管就总是被所述空心弹性阀体封闭。
14.根据权利要求2所述的湿式处理装置，其特征是，所述各切换机构由连接所述多个处理液流通路和所述处理液流通配管的连结部和收装在该连结部内的旋转阀体构成，通过使所述旋转阀体在所述连结部内旋转，1个处理液流通路即被选择出来，并被连接在处理液流通配管上。
15.根据权利要求14所述的湿式处理装置，其特征是，所述各流通配管由多个分支路构成，所述各处理液流通路的下游侧各自被设为对应于所述多个各处理液流通配管的分支路的多个分支路，所述处理液流通路和处理液流通配管各自被连接，形成多个所述连结部，同时，设有连通各连结部之间的联络配管，所述旋转阀体被配置为贯穿所述各连结部和所述各联络配管的方式。
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