JP2004235014A - 電気光学表示装置及びその製造方法並びに電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各発光画素A間に有機材料からなる画素間隔壁112が形成された電気光学表示装置であって、前記画素間隔壁112には、前記有機材料より低分子の材料からなる充填物150が含有されている。
【選択図】 図4
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、各発光画素間に有機材料からなる画素間隔壁が形成された電気光学表示装置及びその製造方法並びに電子機器に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
近年、ノートパソコン、携帯電話機、電子手帳等の電子機器において、情報を表示する手段として有機エレクトロルミネッセンス(以下有機ELと称す)素子(発光素子)を画素に対応させて備える有機EL表示装置等といった電子光学表示装置が提案されている。一般的に有機EL素子は、対向する一対の電極の間に発光層(有機EL層)を含む有機機能層が配置されており、各有機EL素子間には、隣り合う画素から発光された光が干渉しないように有機材料からなる画素間隔壁(バンク層)が有機機能層に接した状態で配置されている。
【0003】
ところで、上記画素間隔壁は、一般的に上記基板上にアクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶剤製を有する感光性材料(有機材料)を塗布し、フォトリソグラフィ技術によって有機EL素子が形成される画素領域に開口部を形成することによって形成されている。そして、このような画素間隔壁の形成過程等には、水分を使用する工程、いわゆるウエットプロセス(例えば、ウエットエッチング工程や画素間隔壁のエッチング後アセトンによって濯ぐ工程等)が含まれている。
【0004】
【特許文献1】
国際公開第98/12689号パンフレット
【0005】
画素間隔壁は、アクリル樹脂やポリイミド樹脂等の有機材料によって形成されているため、その内部には微小な空洞が形成されており、上述したウエットプロセスによって画素間隔壁の空洞に水分が入り込み保持される。このように画素間隔壁の空洞に入り込んだ水分は、長期保存あるいは高温保存によって徐々に画素間隔壁の外部に出るため、完成後の有機EL表示装置の発光層を劣化させてしまい、結果、有機EL表示装置の輝度低下やいわゆるダークスポット(発光しない領域)を発生させる原因となる。また、画素間隔壁には、上述のように空洞が形成されているために透湿性が高い。このため、ある画素間隔壁から出た水分が他の画素間隔壁を通過して他の発光層を劣化させ、有機EL表示装置の輝度低下やダークスポットが拡がっていくという問題点も発生する。
【0006】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、長期保存あるいは高温保存によって画素間隔壁から出る水分に起因した輝度低下及びダークスポットの発生を防止した電気光学表示装置及びその製造方法並びに電子機器を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の電気光学表示装置は、各発光画素間に有機材料からなる画素間隔壁が形成された電気光学表示装置であって、上記画素間隔壁には、上記有機材料より低分子の材料からなる充填物が含有されていることを特徴とする。
【0008】
このような構成の電気光学表示装置によれば、画素間隔壁に画素間隔壁を構成する有機材料よりも低分子の材料からなる充填物(以下、フィラーと称す)が含有されているため、画素間隔壁の空洞にフィラーが充填される。このように、画素間隔壁の空洞にフィラーが充填されることによって、上述したウエットプロセスによって水分が画素間隔壁に入り込まなくなるので画素間隔壁に水分が含有されない。結果、このような画素間隔壁が形成された本電気光学表示装置を長期保存あるいは高温保存した場合であっても画素間隔壁から水分が出てこないため、画素間隔壁から出る水分に起因した輝度低下及びダークスポットの発生を防止することが可能となる。
【0009】
なお、フィラーは、有機材料より低分子の無機材料を採用することが好ましく、さらに脱水材であることがより好ましい。フィラーとして脱水材を採用することによって、仮に画素間隔壁に若干の水分が含有されている場合であっても、この水分が画素間隔壁の外部に出ることを防止することが可能となる。また、フィラーを充填することによって画素間隔壁の透湿性が低下しているので、万一、ある画素間隔壁の外部に水分が出ても、その水分は、他の画素間隔壁を通過しないので他の電気光学素子を劣化させることはなく、本電気光学表示装置への影響を最小限とすることが可能となる。
【0010】
また、フィラーは、自らが含有された画素間隔壁における光の反射を抑制する所定の色であることが好ましい。なお、フィラーは黒色であるチタンブラック等がより好ましい。黒色のフィラーを採用することによって画素間隔壁の色が黒色となるので画素間隔壁における光の反射を抑制でき、結果、本電気光学表示装置の視認性が向上する。
【0011】
また、フィラーは、画素間隔壁に対し10%〜30%含有されることが好ましい。例えば、画素間隔壁に対しフィラーの含有率が10%以下であると、フィラーによって画素間隔壁の空洞を充分に埋めることができない。一方、フィラーの含有率が30%以上であると、画素間隔壁が脆くなり、本電気光学表示装置の耐久性が低下するためである。
【0012】
本発明の電気光学表示装置の製造方法は、画素間隔壁がドライエッチング技術によって形成されることを特徴とする。本製造方法を採用することによってウエットエッチングを行わずに画素間隔壁が形成されるので画素間隔壁が水分を含有する可能性を低減させることが可能となる。結果、より確実に画素間隔壁から出る水分に起因した輝度低下及びダークスポットの発生を防止した電気光学表示装置を提供することが可能となる。
【0013】
また、本発明の電子機器は、上述の電気光学表示装置を搭載することを特徴とする。よって、画素間隔壁から出る水分に起因した輝度低下及びダークスポットの発生を防止した電気光学表示装置を搭載した電子機器を提供することが可能となる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明に係る電気光学表示装置及びその製造方法並びに電子機器の一実施形態について説明する。なお、参照する各図において、図面上で認識可能な大きさとするために縮尺は各層や各部材ごとに異なる場合がある。
【0015】
図1は本電気光学表示装置の一実施形態である有機EL表示装置の配線構造を示す平面模式図である。図1に示すように、有機EL表示装置1には、複数の走査線101と、走査線101に対して交差する方向に延びる複数の信号線102と、信号線102に並列に延びる複数の電源線103とがそれぞれ配線されている。そして、走査線101と信号線102とにより区画された領域が画素領域として構成されている。
【0016】
信号線102には、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン及びアナログスイッチを備えるデータ側駆動回路104が接続されている。また、走査線101には、シフトレジスタ及びレベルシフタを備える走査側駆動回路105が接続されている。
【0017】
各画素領域には、走査線101を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用の薄膜トランジスタ112と、このスイッチング用の薄膜トランジスタ112を介して信号線102から共有される画素信号を保持する保持容量capと、該保持容量capによって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動用の薄膜トランジスタ123と、この駆動用の薄膜トランジスタ123を介して電源線103に電気的に接続したときに当該電源線103から駆動電流が流れ込む画素電極111と、この画素電極111と陰極12との間に挟み込まれる有機機能層110とが設けられている。画素電極111と陰極12と有機機能層110により発光部A(発光画素)が構成され、有機EL表示装置1は、この発光部Aをマトリクス状に複数備えて構成されている。
【0018】
このような構成によれば、走査線101が駆動されてスイッチング用の薄膜トランジスタ112がオンになると、そのときの信号線102の電位が保持容量capに保持され、該保持容量capの状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ123のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ123のチャネルを介して、電源線103から画素電極111に電流が流れ、更に有機機能層110を介して陰極12に電流が流れる。有機機能層110は、これを流れる電流量に応じて発光する。
【0019】
図2は本有機EL表示装置1の平面模式図であり、図3は図2をI−I′断面で切った断面模式図である。図3に示すように、本実施形態の有機EL表示装置1は、基板2上に回路素子部14と表示素子(有機EL素子)部10が順に積層され、この積層体の形成された基板面が封止部3によって封止された構造を有する。表示素子部10は、有機機能層110を含む発光素子部11と、発光素子部11上に形成された陰極12とからなる。画素電極111は透光性を有しており、本有機EL表示装置1は、発光層110bから発した表示光が基板2側から出射される、いわゆるボトムエミッション型の表示装置として構成されている。
【0020】
透光性を有する基板2としては、例えばガラス、石英、樹脂(プラスチック、プラスチックフィルム)等が挙げられ、特に、安価なソーダガラス基板が好適に用いられる。また、基板2は、図2に示すように、中央に位置する表示領域2aと、基板2の周縁に位置して表示領域2aを囲む非表示領域2bとに区画されている。表示領域2aは、マトリックス状に配置された発光部Aによって形成される領域であり、表示領域の外側に非表示領域2bが形成されている。そして,非表示領域2bには、表示領域2aに隣接するダミー表示領域2dが形成されている。
【0021】
図3に示すように、回路素子部14には、前述の走査線、信号線、保持容量、スイッチング用の薄膜トランジスタ、駆動用の薄膜トランジスタ123等が備えられており、表示領域2aに配置された各発光部Aを駆動するようになっている。陰極12は、その一端が発光素子部11上から基板2上に形成された陰極用配線120に接続しており、この配線の一端部がフレキシブル基板5上の配線5aに接続されている。また、配線5aは、フレキシブル基板5上に備えられた駆動IC6(駆動回路)に接続されている(図2参照)。
【0022】
また、回路素子部14の非表示領域2bには、前述の電源線103(103R、103G、103B)が配線されている。また、表示領域2aの図2中両側には、前述の走査側駆動回路105、105が配置されている。この走査側駆動回路105、105はダミー領域2dの下側の回路素子部14内に設けられている。更に回路素子部14内には、走査側駆動回路105、105に接続される駆動回路用制御信号配線105aと駆動回路用電源配線105bとが設けられている。更に表示領域2aの図2中上側には検査回路106が配置されている。この検査回路106により、製造途中や出荷時の表示装置の品質、欠陥の検査を行うことができる。
【0023】
封止部3は、基板2に塗布された封止樹脂603と、封止缶(封止部材)604とから構成されている。封止樹脂603は、基板2と封止缶604を接着する接着剤であり、例えばマイクロディスペンサ等により基板2の周囲に環状に塗布されている。この封止樹脂603は、熱硬化樹脂あるいは紫外線硬化樹脂等からなり、特に、熱硬化樹脂の1種であるエポキシ樹脂よりなることが好ましい。また、この封止樹脂603には酸素や水分を通しにくい材料が用いられており、基板2と封止缶604の間から封止缶604内部への水又は酸素の侵入を防いで、陰極12または発光素子部11内に形成された発光層110bの酸化を防止するようになっている。
【0024】
封止缶604は、その内側に表示素子10を収納する凹部604aが設けられており、封止樹脂603を介して基板2に接合されている。なお、封止缶604の内面側には、必要に応じて、非表示領域2bに対応する領域に、酸素や水分を吸収又は除去するゲッター材を設けることができる。このゲッター材としては、例えば、Li,Na,Rb,Cs等のアルカリ金属、Be,Mg,Ca,Sr,Ba等のアルカリ土類金属、アルカリ土類金属の酸化物、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の水酸化物等を好適に用いることができる。アルカリ土類金属の酸化物は、水と反応して水酸化物に変化することにより、脱水材として作用する。アルカリ金属や、アルカリ土類金属は、酸素と反応して水酸化物に変化するとともに水と反応して酸化物に変化するため、脱水材としてだけでなく脱酸素材としても作用する。これにより、発光部Aの酸化を防止でき、装置の信頼性を高めることができる。
【0025】
図4に、本有機EL表示装置1における表示領域2aの断面構造を拡大した図を示す。この有機EL表示装置1は、基板2上に、TFTなどの回路等が形成された回路素子部14と、画素電極111と、発光層110bを含む有機機能層110が形成された発光素子部11と、陰極12とが順次積層されて構成されている。
【0026】
回路素子部14には、基板2上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜2cが形成され、この下地保護膜2c上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜141が形成されている。なお、半導体膜141には、ソース領域141a及びドレイン領域141bが高濃度Pイオン打ち込みにより形成されている。また、Pが導入されなかった部分がチャネル領域141cとなっている。
【0027】
また、回路素子部14には、下地保護膜2c及び半導体膜141を覆うゲート絶縁膜142が形成されている。そして、このゲート絶縁膜142上には、半導体膜141のチャネル領域141cに対応する位置に、Al、Mo、Ta、Ti、W等からなるゲート電極143(走査線101)が形成されている。そして、半導体膜141,ゲート絶縁膜142,ゲート電極143により薄膜トランジスタ123が構成されている。この薄膜トランジスタ123では、半導体膜141にポリシリコンを用いているため、高輝度,高精細な表示を実現できる。
【0028】
また、ゲート電極143及びゲート絶縁膜142上には透明な第1層間絶縁膜144aと第2層間絶縁膜144bが形成されており、この第1、第2層間絶縁膜144a,144bには、絶縁膜144a,144bを貫通して半導体膜141のソース、ドレイン領域141a,141bにそれぞれ接続されるコンタクトホール145,146が形成されている。コンタクトホール145は画素電極に接続されており、このコンタクトホール145を介して画素電極111と半導体のソース領域141aが電気的に接続されている。また、コンタクトホール146は電源線103に接続されており、このコンタクトホール146を介して、電源線103から画素信号が供給されるようになっている。
【0029】
以上により駆動用の回路が構成されている。なお、回路素子部14には、前述した保持容量cap及びスイッチング用の薄膜トランジスタ142も形成されているが、図4ではこれらの図示を省略している。
【0030】
画素電極111は、第2層間絶縁膜144b上に平面視略矩形にパターニングされて形成されており、表示領域2a内にマトリクス状に複数配置されている。この画素電極111には、例えばインジウム錫酸化物(ITO)やインジウム亜鉛酸化物(IZO)等の金属酸化物からなる透光性の導電材料が用いられている。
【0031】
発光素子部11は、複数の画素電極111上の各々に積層された有機機能層110と、各画素電極111及び有機機能層110の間に備えられて各有機機能層110を仕切るバンク層112(画素間隔壁)とを主体として構成されている。有機機能層110上には陰極12が配置されており、これら画素電極111、有機機能層110及び陰極12によって発光部Aが構成されている。
【0032】
バンク層112は、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れた有機材料からなり、画素電極111の形成位置に対応して開口部112dが形成されている。このバンク層112には、バンク層112を構成する有機材料よりも低分子の材料からなる充填物150(以下、フィラーと称す)が含有されている。このため、バンク層112の内部に形成された空洞にフィラー150が充填される。したがって、バンク層112の透湿性を低下させると共にバンク層112の形成過程においてバンク層112に水分を含有させないようにすることが可能となる。そして、万一、あるバンク層112の外部に水分が出ても、その水分は、他のバンク層112を通過しないので他の発光層110bを劣化させることはなく、本有機EL表示装置1への影響を最小限とすることが可能となる。
【0033】
また、フィラー150としては、それ自体有機材料に比べて透湿性が低い無機材料を用いることが好ましく、具体的にはシリカゲルや酸化チタン等が挙げられる。また、フィラー150として脱水材を用いることがより好ましい。フィラー150として脱水材を用いることによって、仮にバンク層112の形成過程等においてバンク層112に若干の水分が含有されている場合であっても、脱水材が水分を保持し、水分がバンク層112の外部に出ることを防止することが可能となる。このような脱水効果を有したフィラー150としては、酸化カルシウム等が挙げられる。また、フィラー150は、例えばチタンブラック等のバンク層112における光の反射を抑制する色を有しているものであることが好ましい。黒色のフィラーを採用することによってバンク層112の色が黒色となるのでバンク層112における光の反射を抑制できる。
【0034】
このようなフィラー150は、バンク層112に対して10%〜30%含有されていることが好ましい。例えば、バンク層112に対しフィラーの含有率が10%以下であると、フィラー150によってバンク層112の空洞を充分に埋めることができない。一方、フィラー150の含有率が30%以上であると、バンク層112が脆くなり、本有機EL表示装置1の耐久性が低下するためである。
【0035】
なお、バンク層112に仕切られた各領域において、画素電極111の電極面111aは酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液処理されており、親液性を示す。一方、開口部112dの壁面及びバンク層112の上面112fは、4フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理(撥液処理)されており、撥液性を示す。
【0036】
有機機能層110は、画素電極111上に積層された正孔注入/輸送層110aと、正孔注入/輸送層110a上に隣接して形成された発光層110bと、この発光層110b上に隣接して形成された電子注入/輸送層110cとから構成されている。正孔注入/輸送層110aは、正孔を発光層110bに注入する機能を有するとともに、正孔を正孔注入/輸送層110a内部において輸送する機能を有する。この正孔注入/輸送層形成材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸等の混合物を用いることができる。また、電子注入/輸送層110cは、電子を発光層110bに注入する機能を有するとともに、電子を電子注入/輸送層110c内部において輸送する機能を有する。この電子注入/輸送層110cとしては、例えばリチウムキノリノール(Liq)やフッ化リチウム(LiF)或いはバソフェンセシウム等を好適に用いることができる。また、仕事関数が4eV以下の金属、例えばMg、Ca、Ba、Sr、Li、Na、Rb、Cs、Yb、Smなども用いることができる。
【0037】
このような正孔注入/輸送層110a,電子注入/輸送層110cを、それぞれ画素電極111と発光層110bの間及び陰極12と発光層110bとの間に設けることにより、発光層110bの発光効率、寿命等の素子特性が向上する。なお、正孔注入/輸送材料は、各色の発光層110b毎に異ならせてもよく、又、特定の色の発光層110bに対して正孔注入/輸送層110aを設けない構成とすることも可能である。
【0038】
発光層110bは、赤色(R)に発光する赤色発光層110b1、緑色(G)に発光する緑色発光層110b2、及び青色(B)に発光する青色発光層110b3、の3種類を有し、各発光層110b1〜110b3がストライプ配置されている。この発光層110bの材料としては、例えば、(ポリ)パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、ペリレン係色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、またはこれらの高分子材料にルブレン、ペリレン、9,10−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクリドン等をドープして用いることができる。
【0039】
陰極12は、カルシウム(Ca)層12aとアルミニウム(Al)層12bとが積層されて構成されている。カルシウム層の層厚は例えば2〜50nmの範囲が好ましい。また、アルミニウム層12bは、陰極12側に発せられた光を基板2側に反射させるもので、Al膜の他、Ag膜、AlとAgの積層膜等からなることが好ましい。また、その厚さは、例えば100〜1000nmの範囲が好ましい。この陰極12は発光素子部11の全面に形成されている。そして、画素電極111と対になって有機機能層110に電流を流す役割を果たす。なお、陰極12上には必要に応じてSiO,SiO2,SiN等からなる酸化防止用の保護層を設けても良い。
【0040】
次に、本実施形態の有機EL表示装置1の製造方法を図面を参照して説明する。本実施形態の有機EL表示装置1の製造方法は、例えば、(1)バンク部形成工程、(2)プラズマ処理工程(3)正孔注入/輸送層形成工程、(4)発光層形成工程、(5)電子注入/輸送層形成工程、(6)陰極形成工程、及び(7)封止工程とを具備して構成されている。なお、製造方法はこれに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。なお、(3)正孔注入/輸送層形成工程、(4)発光層形成工程は、液滴吐出装置を用いた液体吐出法(インクジェット法)を用いて行った。
【0041】
(1)バンク層形成工程
バンク層形成工程は、基板2の所定の位置に開口部112dを有するバンク層112を形成する工程である。以下に形成方法について説明する。まず、図5に示すように、基板2上に走査線,信号線,薄膜トランジスタ123等の回路素子部14を有し、層間絶縁膜144a,144bの上に複数の画素電極111が形成された素子基板を準備する。そして、この基板2上にアクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶剤性を有する感光性材料(有機材料)を塗布し、ドライエッチング技術によって画素電極111の配置された領域に開口部112dを形成する(図6参照)。このドライエッチング技術は、周知のようにプラズマ化したエッチングガスによってエッチングを行う技術であり、ウエットエッチング技術のように薬液にバンク層112を構成する有機材料を浸漬しない。このため、ドライエッチング技術を用いて開口部112dを形成することによってバンク層112に水分が含有される可能性を低減させることが可能となる。なお、ドライエッチング技術によってバンク層112を形成する方が好ましいが、ウエットエッチング技術によってバンク層112を形成することも可能である。
【0042】
(2)プラズマ処理工程
プラズマ処理工程は、画素電極111の表面を活性化すること、更にバンク層112の表面を表面処理する事を目的として行われる。特に活性化工程では、画素電極111上の洗浄、更に仕事関数の調整を主な目的として行っている。更に、画素電極111の表面の親液化処理、バンク層112表面の撥液化処理を行う。
【0043】
(3)正孔注入/輸送層形成工程
図7に示すように、画素電極111が形成された基板2上に、正孔注入/輸送層110aを形成する。正孔注入/輸送層形成工程では、例えば、液体吐出法を用いることにより、正孔注入/輸送層形成材料を含む組成物を画素電極111上に吐出する。その後に乾燥処理及び熱処理を行い、画素電極111上に正孔注入/輸送層110aを形成する。なお、この正孔注入/輸送層形成工程を含め、以降の工程は、例えば窒素雰囲気、アルゴン雰囲気等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。
【0044】
液体吐出法による正孔注入/輸送層の形成手順としては、液体を吐出するための吐出ヘッド(図示略)に、正孔注入/輸送層の材料を含有する組成物インクを充填し、吐出ヘッドの吐出ノズルを、バンク部112の開口部内に位置する画素電極111に対向させ、吐出ヘッドと基板2とを相対移動させながら、吐出ノズルから1滴当たりの液量が制御されたインク滴を吐出する。その後、吐出後のインク滴を乾燥処理して組成物インクに含まれる極性溶媒(液体材料)を蒸発させることにより、正孔注入/輸送層が形成される。
【0045】
ここで用いる組成物としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸(PSS)等の混合物を、極性溶媒に溶解させた組成物を用いることができる。極性溶媒としては、例えば、イソプロピルアルコール(IPA)、ノルマルブタノール、γ−ブチロラクトン、N−メチルピロリドン(NMP)、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン(DMI)及びその誘導体、カルビト−ルアセテート、ブチルカルビト−ルアセテート等のグリコールエーテル類等を挙げることができる。より具体的な組成物の組成としては、PEDOT:PSS混合物(PEDOT/PSS=1:20):12.52重量%、PSS:1.44重量%、IPA:10重量%、NMP:27.48重量%、DMI:50重量%のものを例示できる。なお、組成物の粘度は2〜20Ps程度が好ましく、特に4〜15cPs程度が良い。
【0046】
(4)発光層形成工程
次に、図8及び図9に示すように、正孔注入/輸送層110aが積層された画素電極111上に発光層110bを形成する。図8では、青色発光層110b3を形成し、続いて図9のように赤色発光層110b1、緑色発光層110b2を順次形成する。ここでは液体吐出法により、発光層用材料を含む組成物インクを正孔注入/輸送層110a上に吐出し、その後に乾燥処理及び熱処理して、バンク部112に形成された開口部内に各色発光層110b1〜110b3を形成する。
【0047】
発光層形成工程では、正孔注入/輸送層110aの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる組成物インクの溶媒として、正孔注入/輸送層110aに対して不溶な無極性溶媒を用いる。この場合、無極性溶媒に対する正孔注入/輸送層110aの表面の濡れ性を高めるために、発光層形成の前に表面改質工程を行うのが好ましい。表面改質工程は、例えば上記無極性溶媒と同一溶媒又はこれに類する溶媒を液体吐出法、スピンコート法又はディップ法等により正孔注入/輸送層110a上に塗布した後に乾燥することにより行う。なお、ここで用いる表面改質用溶媒は、組成物インクの無極性溶媒と同一なものとして例えば、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を例示でき、組成物インクの無極性溶媒に類するものとしては、例えばトルエン、キシレン等を例示することができる。
【0048】
液体吐出法による発光層の形成手順としては、まず青色発光層の形成に際しては、図8に示すように、吐出ヘッド(図示略)に青色発光層110b3を形成する材料を含有する組成物インクを充填し、吐出ヘッドの吐出ノズルを、バンク部112の開口部内に位置する青色(B)用の正孔注入/輸送層110aに対向させ、吐出ヘッドと基板2とを相対移動させながら、吐出ノズルから1滴当たりの液量が制御されたインク滴を吐出する。吐出されたインク滴は、正孔注入/輸送層110a上に広がってバンク部112の開口部内に満たされる。続いて、吐出後のインク滴を乾燥処理することにより組成物インクに含まれる無極性溶媒が蒸発し、青色発光層110b3が形成される。
【0049】
青色発光層110b3を形成する発光材料としては、例えばジスチリルビフェニルおよびその誘導体、クマリンおよびその誘導体、テトラフェニルブタジエンおよびその誘導体などの有機EL材料からなるものを用いることができる。一方、無極性溶媒としては、正孔注入/輸送層に対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。
【0050】
続いて、図9に示すように、正孔注入/輸送層110aが積層された赤色(R)及び緑色(G)用の画素電極111の上に、赤色発光層110b1及び緑色発光層110b2をそれぞれ形成する。この赤色及び緑色発光層形成工程は、前述した青色発光層形成工程と同様の手順で行われる。すなわち、液体吐出法により、緑色発光層110b2を形成する材料を含む組成物インクを緑色(G)用の正孔注入/輸送層110a上に吐出した後に乾燥処理及び熱処理して、バンク部112に形成された開口部内に緑色発光層110b2を形成する。また、液体吐出法により、赤色発光層110b1を形成する材料を含む組成物インクを赤色(R)用の正孔注入/輸送層110a上に吐出した後に乾燥処理及び熱処理して、バンク部112に形成された開口部内に赤色発光層110b1を形成する。なお、緑色発光層110b2を形成する発光材料としては、例えばキナクリドンおよびその誘導体などの有機EL材料からなるものを用いることができ、赤色発光層110b1を形成する発光材料としては、例えばローダミンおよびその誘導体などの有機EL材料からなるものを用いることができる。
【0051】
(5)電子注入/輸送層形成工程
次に、図10に示すように、発光層110b及びバンク層112の全面に電子注入/輸送層110cを形成する。電子注入/輸送層110cは、蒸着法、スパッタ法、CVD法等で形成することが好ましく、特に蒸着法で形成することが、熱による発光層110bの損傷を防止できる点で好ましい。
【0052】
(6)陰極形成工程
次に、図11に示すように、画素電極(陽極)111と対をなす対向電極(陰極)12を形成する。すなわち、各色発光層110b及びバンク部112を含む基板2上の領域全面に、カルシウム層12aとアルミニウム層12bとを順次積層して陰極12を形成する。これにより、各色発光層110bの形成領域全体に、陰極12が積層され、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の各色に対応する有機EL素子がそれぞれ形成される。陰極12は、例えば蒸着法、スパッタ法、CVD法等で形成することが好ましく、特に蒸着法で形成することが、熱による発光層110bの損傷を防止できる点で好ましい。また陰極12上に、酸化防止のためにSiO2、SiN等の保護層を設けても良い。
【0053】
(7)封止工程
最後に、表示素子部10が形成された基板2と封止缶604とを封止樹脂603を介して封止する。例えば、熱硬化樹脂または紫外線硬化樹脂からなる封止樹脂603を基板2の周縁部に塗布し、封止樹脂上に封止缶604を配置する。封止工程は、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。大気中で行うと、陰極12にピンホール等の欠陥が生じていた場合にこの欠陥部分から水や酸素等が陰極12に侵入して陰極12が酸化されるおそれがあるので好ましくない。
【0054】
この後、基板2の配線に陰極12を接続するとともに、基板2上あるいは外部に設けられる駆動IC(駆動回路)に回路素子部14(図3参照)の配線を接続することにより、本実施形態の有機EL表示装置1が完成する。
【0055】
したがって、本有機EL表示装置1を長期保存あるいは高温保存した場合であってもバンク層112から発光層110bを劣化させる原因となる水分が出ず、結果、水分に起因した輝度低下及びダークスポットの発生を防止した電気光学表示装置を提供することが可能となる。
【0056】
(第2実施形態)
次に、本有機EL装置の第2実施形態について図3及び図4を用いて説明する。第1実施形態においては、有機機能層110から発した光が基板2側に出射されるようになっているのに対し、本実施形態においては封止部3側に出射されるようになっている。本実施形態と第1実施形態との相違点は主として材料構成であり、本実施形態においては第1実施形態と異なる部分について説明する。
【0057】
本実施形態は、基板2の対向側である封止部3側から発光を取り出す構成であるので、基板2としては透明基板及び不透明基板のいずれも用いることができる。不透明基板としては、例えば、アルミナ等のセラミック、ステンレススチール等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したものの他に、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などが挙げられる。
【0058】
また、画素電極111としては、必ずしも透明性材料に限る必要がなく、陽極の機能を満たす好適な材料が用いられ、また、光反射性を有する材料が好ましく、Al等が採用される。なお、画素電極111として透明金属のITO等を採用する場合には、その下層にAl薄膜等を形成し、光反射性を有する構成が好ましい。
【0059】
また、陰極12の材料としては、透明性を有する必要があり、ITO等の透明金属が採用される。ここで、ITOと電子注入/輸送層110cとの間には、透明性を有する膜厚でAl薄膜を形成してもよい。透明性を有する膜厚としては、50nm以下が好ましい。このようなAl薄膜を形成することによって、電子注入/輸送層110cへの電子注入性を促進させるだけでなく、ITOをスパッタで形成する際のプラズマダメージを抑制し、また、陰極12を透過・侵入する水分や酸素から有機機能層110を保護することができる。また、封止缶604の材料としては、ガラスや樹脂等の透明性を有する好適な材料が採用される。
【0060】
このように構成された有機EL表示装置1においては、第1実施形態と同様の効果が得られると共に、封止部3側から有機機能層110の発光を出射させることが可能になる。
【0061】
(第3実施形態)
図12は、本発明の電子機器の一実施形態を示している。本実施形態の電子機器は、上述した電気光学表示装置を表示手段として搭載している。図12は、携帯電話の一例を示した斜視図で、符号1000は携帯電話本体を示し、符号1001は上記の有機EL表示装置1を用いた表示部を示している。このように本発明の電気光学装置に係る電気光学表示装置を表示手段として備える電子機器は、表示手段における輝度低下及びダークスポットの発生を防止することが可能となる。
【0062】
以上、本発明の各実施形態を示したが、本発明はこれらに限定されることなく、特許請求の範囲に記載した事項の範囲内で適宜変更可能であり、例えばプラズマ表示装置等に本発明を採用することも可能である。このような特許請求の範囲に記載した事項の範囲内で適宜変更ものそれぞれについて本発明の効果を発現することが可能である。
【0063】
【実施例】
本発明者らは、本発明の効果を実証するために本発明に係る構成の有機EL表示装置を実際に作製し、ダークスポットの発生個数を計測した。その結果について以下、報告する。
【0064】
(実施例1)
本実施例では、ダークスポットの発生個数を計測するために図1〜図4に示した有機EL表示装置1と同様の有機EL表示装置を作成した。この際、バンク層112として光硬化性ポリイミド東レフォトニース PW−1000(商品名)を用い、これにフィラー150としてシリカゲルを30%混合した。また、正孔注入/輸送層110aとしてBytronP CH8000(商品名)を用い、この上に高分子系発光材料をインクジェット法でパターニング製膜することで発光層とし、LiFを2nm蒸着することによって電子注入/輸送層110cを形成し、Caを20nm、Alを200nm蒸着することによって陰極12を形成した。これにさらにエポキシ樹脂で保護ガラスを接着することによって封止部3を形成した。なお、バンク層112は、ウエットエッチング技術によって形成した。
【0065】
このように形成された有機EL表示装置を60℃の加熱エージングに200時間入れた。この結果、ダークスポットは20個/cm2であり、同様の条件でフィラー150をバンク層112に含有させなかった場合の50個/cm2と比較して分かるようにダークスポットの発生を防止できることがわかった。
【0066】
(実施例2)
次に、バンク層112として光硬化性ポリイミド東レフォトニース UR−3100を用い、これに酸化カルシウム微粒子(脱水材)を30%混合し、この他の構成は、実施例1と同様とした。なお、バンク層112は、CF4ガスを用いたドライエッチング技術によって形成した。
【0067】
このように形成された有機EL表示装置を実施例1と同様に60℃の加熱エージングに200時間入れた。この結果、ダークスポットは2個/cm2であり、同様の条件でフィラー150として脱水材でないシリカゲルを用いた場合の20個/cm2と比較して分かるようにダークスポットの発生をさらに防止できることがわかった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る電気光学表示装置の配線構造図である。
【図2】同、電気光学表示装置の平面図である。
【図3】図2のI−I’断面図である。
【図4】同、電気光学表示装置の要部を示す断面図である。
【図5】同、電気光学表示装置の製造方法を説明する工程図である。
【図6】同、電気光学表示装置の製造方法を説明する工程図である。
【図7】同、電気光学表示装置の製造方法を説明する工程図である。
【図8】同、電気光学表示装置の製造方法を説明する工程図である。
【図9】同、電気光学表示装置の製造方法を説明する工程図である。
【図10】同、電気光学表示装置の製造方法を説明する工程図である。
【図11】同、電気光学表示装置の製造方法を説明する工程図である。
【図12】本発明の一実施形態に係る電子機器を示す図である。
【符号の説明】
1……有機EL表示装置(電気光学表示装置)、112……バンク層(画素間隔壁)、150……フィラー(充填物)、A……発光部(発光画素)
Claims (6)
- 各発光画素間に有機材料からなる画素間隔壁が形成された電気光学表示装置であって、
前記画素間隔壁には、前記有機材料より低分子の材料からなる充填物が含有されていることを特徴とする電気光学表示装置。 - 前記充填物は、脱水材であることを特徴とする請求項1記載の電気光学表示装置。
- 前記充填物は、自らが含有された画素間隔壁における光の反射を抑制するような所定の色であることを特徴とする請求項1または2記載の電気光学表示装置。
- 前記画素間隔壁に対する前記充填物の含有率は、10%〜30%であることを特徴とする請求項1〜3いずれかに記載の電気光学表示装置。
- 請求項1〜4いずれかに記載の電気光学表示装置の製造方法であって、
前記画素間隔壁は、ドライエッチング技術によって形成されることを特徴とする電気光学表示装置の製造方法。 - 請求項1〜4いずれかに記載の電気光学表示装置を搭載することを特徴とする電子機器。
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