JP2004233315A - ガスセンサ - Google Patents

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孝 丹羽
Katsuhiko Uno
克彦 宇野
Akio Fukuda
明雄 福田
Takahiro Umeda
孝裕 梅田
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Abstract

【課題】ガスの濃度に相当する電圧を出力する電極対の清浄化を図り、信頼性の高いガスセンサを実現する。
【解決手段】CO検出部20における電極間を短絡する短絡手段33を設け、検知を行なっていないタイミングで電極間を短絡することによって、電極に付着のイオンや電荷を放電させ、電極を清浄に保つことによって、ガスに対して常に清浄な反応電極面を保ち、正常な化学反応を持続させ、ガスセンサの耐久性、信頼性を向上させる。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は一酸化炭素などの還元性を有するガスを検出するガスセンサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のガスセンサは、半導体式、熱線半導体式、あるいは固体電解質式など種々の方式、形状のものが提案されている。
【0003】
固体電解質式は、図14に示すように、板状の固体電解質1の両面に一対の白金電極2、3を形成し、両面を板状のガス選択透過体4、5で覆い、片方のガス選択透過体4の表面にヒータ6を形成するとともに、その上に酸化触媒層7を設置したものである。
【0004】
一般にガスセンサは一酸化炭素、メタン、プロパン、水素などに選択的に感応し、ガス洩れ警報機や、CO警報機などの用途に用途に用いられている。したがって最終安全装置として高感度であること、応答が速いこと、消費電力が低いこと、選択性が高いこと、そして何よりも信頼性が高いことが要求される。
【0005】
またガスセンサはセンサとガスとの化学反応を利用してガス検知を行なうものが多く、信頼性の確保のためには、化学反応が安定的に起こることを保証する必要がある。安定的に化学反応を継続させる大きな要素は熱であり、検知部で化学変化が安定して起きる温度に常に保つことで反応の安定を図っている。
【0006】
図14に示す従来のガスセンサでは固体電解質1、ガス選択透過体4、酸化触媒層7は板状のチップであり、熱容量が大きいためセンサを安定的に動作する温度を保持するためには大きな電力が必要であり、そのために商用電源が必要であった。したがって電源コンセントを常時占有することになり、一般家庭では台所等のごく限られた場所に設置されるのが普通である。しかし、暖房機、給湯器等の室内燃焼機の燃焼不良による不幸な事故が相変わらずなくならない現状や、住宅の高気密高断熱化に伴うセントラル暖房の普及を考えると、CO警報機を普及させる必要がある。ただし、電気製品が溢れている家庭内において電源コンセントを占有することは非常に不便であり、設置性を改良することが望まれる。
【0007】
このような電力面での課題を解決するために、図15の構成の薄膜ガスセンサが提案されている(例えば、特許文献1参照)。この薄膜ガスセンサは、基板8上に形成されたヒータ9の上面に電気絶縁層10を介して形成された酸素イオン導電性を有する固体電解質薄膜11と、固体電解質薄膜11上に形成された一対の電極12、電極12’と、前記一対の電極12、電極12’の一方の電極12’上に設けられた酸化触媒層13よりなる。この構成により熱容量を小さくして図16に示すように、熱を間欠的に加えるパルス駆動を可能としており、その結果、大幅な省電力化が可能となり電池駆動が可能となることが示されている。しかし、半導体式、熱線半導体式、固体電解質式等は、いずれもヒータで所定の温度に加熱するため、電池容量を長期間保持するためにはパルス間隔を大きくとるものであった。
【0008】
【特許文献1】
特開2001−194329号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の省電力を意図したパルス駆動制御においては、検知部をパルス的に加熱するので検知部は常に高温に保たれるわけではない。したがって温度が上昇する時、また温度が下がる時にセンサではガス検出に適切でない温度で反応が起こることになり、反応に伴うイオンや電荷の正常な移動が阻害されることがあった。その結果、検知部の表面が被毒され、正常な反応が起こらなくなる可能性があった。つまり高濃度のガスに曝されても検出できなかったり、低濃度のガスが来た時にもいつまでも高濃度のガスが来た時の出力を出し続けたりして誤検知を起こす可能性があった。
【0010】
本発明は、前記従来の課題を解決するものであり、検知部である電極面の被毒に起因する検出の不確かさを解消し、信頼性の高いガスセンサを提供することを目的とするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明のガスセンサは、電極面に存在するイオンや電荷を一対の電極間を短絡して放電させることにより、ガス検出時に常に清浄な電極面を保つものである。
【0012】
これによって、電極面の被毒に起因する検出の不確かさを解消し、信頼性の高いガスセンサを実現することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
請求項1に記載の発明は、固体電解質上に設けたガスに対する酸化能力の異なる一対の電極と、固体電解質の加熱手段と、一対の電極間を電気的に接続する短絡手段とを有するガスセンサとすることにより、電極面に存在するイオンや電荷を短絡により放電させ、ガス検出時に常に清浄な電極面を保つため、電極面の被毒に起因する検出の不確かさを解消し、信頼性の高いガスセンサを実現することができる。
【0014】
請求項2に記載の発明は、短絡手段には短絡時に一対の電極と直列接続される短絡抵抗を有する請求項1に記載のガスセンサとすることにより、短絡抵抗により瞬時電流を抑制し、電極の破壊を防ぐ。
【0015】
請求項3に記載の発明は、加熱手段の印加電圧を遮断する遮蔽手段を有する請求項1または2に記載のガスセンサとすることにより、遮蔽手段によって加熱手段の電位が電極に重畳するのを防止し、短絡時に流れる短絡電流を減少させる。
【0016】
請求項4に記載の発明は、加熱手段の基準電位、遮蔽手段、および電極の一方の電位を同じになるように接続した請求項3に記載のガスセンサとすることにより、電極に現れる加熱手段の漏れ電圧を低減する。
【0017】
請求項5に記載の発明は、電極間の電圧は短絡手段の解除後一定時間経過し、加熱手段の動作中で電圧が安定した時に検出する請求項1〜4のいずれか1項に記載のガスセンサとすることにより、短絡の影響が収まった時に電極間電圧を測定することによって安定した出力を得ることができる。
【0018】
請求項6に記載の発明は、短絡手段は電磁リレーの接点である請求項1に記載のガスセンサとすることにより、接点の開閉により確実に短絡、開放を行なうことができる。
【0019】
請求項7に記載の発明は、短絡手段は半導体リレーの接点である請求項1に記載のガスセンサとすることにより、接点の開閉をすばやく行なうものである。
【0020】
請求項8に記載の発明は、短絡手段はフォトモスリレーの接点である請求項1に記載のガスセンサとすることにより、接点の開放を高速に、かつ短絡指令信号との干渉なく行なう。
【0021】
請求項9に記載の発明は、加熱手段の動作は間欠的に行ない、加熱手段の動作停止時に短絡手段を動作させる請求項1に記載のガスセンサとすることにより、電極間の電圧検出時以外に短絡動作を行なうことによって検出に影響を与えずに電極の清浄化を図ることができる。
【0022】
請求項10に記載の発明は、加熱手段の動作は間欠的に行ない、加熱手段の動作の立下りをまたいで短絡手段を動作させる請求項1に記載のガスセンサとすることにより、電圧測定後、電極が冷めない間に短絡を行なうことによって、イオン、電荷の効率的な短絡清浄を行なうことができる。
【0023】
請求項11に記載の発明は、加熱手段の動作は間欠的に行ない、加熱手段の立上がりをまたいで短絡手段を動作させる請求項1に記載のガスセンサとすることにより、電圧測定の直前に清浄を行ない、確実なガス測定を行なうものである。
【0024】
請求項12に記載の発明は、加熱手段の動作は間欠的に行ない、加熱手段の立上がり後から立下り前までの一定時間を除いて短絡手段を動作させる請求項1に記載のガスセンサとすることにより、電圧測定に支障のない限り清浄化動作を行なうものであり、測定の安定度を飛躍的に増すことができる。
【0025】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【0026】
(実施例1)
図1は本発明の実施例1におけるガスセンサの一例としてのCOセンサを示すものである。
【0027】
CO検出部20(構成は図2で説明を行なう)をヒータ21で間欠加熱する構成としている。22はパルス信号制御手段であり、信号制御手段としてのマイコン23から出力されたパルス出力電圧はオペアンプ24の+端子に入力され、出力端から固定抵抗25とコンデンサ26からなるフィルターを経由してオペアンプ27の+端子の入力になる。PNPトランジスタ28とNPNトランジスタ29および直流電源30は、ヒータ21への電力供給手段31を構成している。この構成において、電流は直流電源30からPNPトランジスタ28のエミッタ−コレクタを流れ、ヒータ21に流れ込む。電流の大きさはPNPトランジスタ28のベース電流によって決まる。PNPトランジスタ28のべース電流はNPNトランジスタ29のベース電圧、すなわちオペアンプ27の出力電圧で制御される。オペアンプ27は−端子と+端子が同電位になるように動作するので、ヒータ21に流入する電流が決まり、発熱による抵抗値の変動が平衡状態に達し、ヒータ21に印加される電圧が決定され、ヒータ21の温度の平衡も達成され、CO検出部20が加熱される。
【0028】
温度が上昇するとヒータ21の抵抗値が増加し、オペアンプ27の−端子の電圧が増加する。+端子との電圧差が小さくなるとNPNトランジスタ29のベース電流が絞られる。従ってPNPトランジスタ28のベース電流も絞られ、ヒータ21に流入する電流も絞られ、平衡状態に達してパルス出力電圧に相当した電圧がヒータ21に印加されることになる。そしてヒータ21の温度は一定値に制御される。一定温度に加熱されたCO検出部20は、COガスの濃度に応じた電圧を出力し、出力信号が信号処理部32に入力される。マイコン23内部では、信号処理部32からの信号によってCO濃度を判定する。すなわち、CO検出部20の電圧検出手段を構成している。
【0029】
また、マイコン23からはリレー接点33に信号が出力され、リレー接点33が閉じることにより、CO検出部20の短絡を行なう。このリレー接点33はCO検出部20の短絡手段を構成している。
【0030】
なお、ヒータ21は間欠加熱を行なうとして説明をしたが、ヒータ21は連続通電されてもセンサの検知動作としては何ら問題はない。
【0031】
図2は前記したCO検出部20の具体構成を示したものであり、40はセンサ素子である。41は耐熱性で低熱伝導性の基板で、ここでは約2mm×2mm×0.3mmの石英ガラスを用いている。42は基板41上に設けた白金のヒータで、スパッタ法、電子線蒸着法などによって所定の温度になるように抵抗値を設定している。43は絶縁膜で、アルミナ、シリカ、窒化珪素などの絶縁材料の薄膜をスパッタ法、電子線蒸着法などによってヒータ42を覆うように形成している。44は絶縁膜43上に絶縁膜43より小さな面積に形成された固体電解質膜であり、酸素イオン導電性を有する固体電解質(8%イットリア安定化ジルコニア)をスパッタ法で約0.4mm×0.6mmの大きさに形成している。固体電解質としては酸素イオン導電性を有するすべての固体電解質を使用することができるが、ジルコニアに少量のイットリアを混合して焼成したイットリア安定化ジルコニア(YSZ)が比較的安価で入手も簡単である。45a、45bは電極で、白金をスパッタ法で固体電解質膜44上に形成している。白金に一部パラジウム、ルテニウム、ロジウムなどの貴金属を混入させても良い。その他、一般に固体電解質型センサに用いる電極材料すべてが使用可能である。46は片方の電極45a上に設定された触媒で、触媒46は測定対象ガスを酸化分解するものであれば良いが、白金、パラジウム、ルテニウム、ロジウムなどの貴金属やバナジウム、マンガン等の酸化物あるいはこれらの混合物をアルミナなどに担持したものをスクリーン印刷法で形成する。
【0032】
ここで、図1に示したCO検出部20は、絶縁膜43、固体電解質膜44、電極45a、45b、触媒46で構成された部分であり、全体がヒータ42で加熱されてCO検出特性を有するようになっている。また、同様に、ヒータ21はヒータ42が相当するものである。
【0033】
以上の構成において電源(図示せず)からヒータ42に電力を供給し固体電解質膜44を所定温度(400℃〜500℃)に加熱する。固体電解質膜44が所定の温度に達すると、電極45a、45bと固体電解質膜44と空気の界面で電子の授受が行われ、酸素イオンが発生する。ここで、空気中にCOが存在すると、触媒46で覆われた電極45aでは、COは触媒46によって酸化され(触媒46で覆われた電極45aと電極45bはガスに対する酸化能力の異なる一対の電極を構成している。)、電極45a面にまでは到達しない。もう一方の電極45bでは、COは電極面に到達し、酸化されCOになる。この酸化反応には固体電解質膜44内の酸素イオンが使われ、その結果、両電極45a、45bでの電極反応に差が生じ、固体電解質膜44内の酸素イオンの平衡が崩れ、両電極間に電位差が発生する。この電位差を検出することによりCO濃度を検出することができる。
【0034】
しかしながら、上述したイオンの授受は反応面積が十分大きくかつ反応に必要な熱エネルギーも十分に供給される理想的な状態での反応であり、パルス動作のような、間欠的にしか熱が加えられなかったり、電極の大きさが小さかったりすると、理論通りに反応が起こらず、ガス濃度に応じた電圧が発生しなかったり、異常な電圧が発生したままという事態が起こり得る。
【0035】
したがって、ガス検出をしていないタイミングで電極45aと45bを短絡して強制的にイオンや電荷の滞留を解消してやることは、動作の安定性に大きく寄与をすることになる。
【0036】
ここで、基板41に用いている石英ガラスは熱伝導率が1.5W/mKと絶縁膜43(35〜45W/mK)や固体電解質膜44(6W/mK)に対して小さく、したがって、ヒータ42で加熱した場合に、基板41の温度はほとんど上昇することなく、ヒータ42直上の固体電解質膜44の領域およびその近傍のみの温度を上昇させることができる。これにより、加熱のための消費電力も大幅に低減することができる。また、熱衝撃強度も大きいので短時間で所定の温度まで昇温することが可能である。上記構成では15mWsecの電力量で450℃までの昇温が可能であった。したがって、ヒータ42をパルス的に駆動させて大幅に消費電力が低減できるため、電池電源での駆動も可能である。
【0037】
上記の構成により、電極45a、45b間を短絡手段により短絡することにより、電極面に存在するイオンや電荷を放電させ、ガス検出時に常に清浄な電極面を保つため、電極面の被毒に起因する検出の不確かさを解消し、信頼性の高いガスセンサを実現することができる。またヒータ42の間欠駆動と組み合わせることによって、安定で信頼性が高く、しかも省電力であるCO警報機の実現が可能となる。
【0038】
(実施例2)
図3は本発明の実施例2におけるCOセンサを示すものである。実施例1と同一要素については同一符号を付して説明を省略する。
【0039】
相違点は、短絡手段であるリレー接点33には、短絡時に一対の電極45a、45b間と直列接続される短絡抵抗47を有していることである。
【0040】
リレー接点33が閉じられると、電極45aと電極45bの滞留しているイオン,電荷は短絡抵抗47を通って放電する。固体電解質膜44の表面抵抗はメガオームのオーダーなので短絡抵抗47に対して十分低く、キロオームのオーダーの抵抗を選んでおけば、十分目的を果たすことができる。また短絡抵抗47により瞬時電流を抑制し、電極45a、45bの破壊を防ぐことができる。
【0041】
(実施例3)
図4は本発明の実施例3におけるCOセンサを示すものである。実施例2と同一要素については同一符号を付して説明を省略する。
【0042】
相違点は、ヒータ42の印加電圧を電極45a、45b間の電圧に影響を与えるのを遮断する遮蔽手段を設けていることである。
【0043】
すなわち、絶縁膜48に挟み込まれた白金などの導電性の薄膜よりなるシールド層49により遮蔽手段が構成されており、これがヒータ42と固体電解質膜44の間に挟み込まれ、ヒータ42の電位が電極45a、45b間の電圧に影響を与えるのを防いでいることにより、ヒータ42の電位が電極45a、45b間に重畳するのを防止し、短絡時に流れる短絡電流を減少させている。
【0044】
(実施例4)
図5は本発明の実施例4におけるCOセンサを示すものである。実施例3と同一要素については同一符号を付して説明を省略する。
【0045】
相違点は、ヒータ42の基準電位、遮蔽手段、および電極の一方45bの電位を同じになるように接続したことである。
【0046】
すなわち、ヒータ42、電極の一方45b、シールド層49及びヒータ42の電位はアース50に設定されている。このようにシールド層49の電位を固定することにより、ヒータ42の漏れ電圧を低減し電極45a、45b間への影響をより確実の抑制することが可能となる。
【0047】
(実施例5)
図6は本発明の実施例5におけるCOセンサの制御タイミングチャートを示すものであり、(a)はヒータ駆動信号、(b)は電極間短絡信号、(c)は信号処理部出力、(d)はCOセンサ出力検出タイミングを示す。
【0048】
(a)のヒータ駆動信号が出力されている間に、(b)の電極間信号が立下がると、(c)の信号処理部信号は拘束を解かれ、周囲のCO濃度に応じた出力に時定数を持って回復する。その出力がほぼ一定値に安定した時、(d)のCO出力検出信号が出力され、その時の信号出力の電圧がCOセンサの信号として認識される。
【0049】
このように、電極間の電圧検出は、短絡手段の解除後一定時間経過し、ヒータの動作中で電圧が安定した時に行なうことにより、短絡の影響が収まった時に電極間電圧を測定するため安定した出力を得ることができる。
【0050】
(実施例6)
図7は本発明の実施例6におけるCOセンサの短絡手段を示すものであり、短絡手段は電磁リレー51の接点52としたものである。
【0051】
本実施例では電磁リレー51の接点52を閉じることにより、電極45aと45bの間を短絡するものである。
【0052】
これにより、電磁リレー51はきわめて簡単な構成で短絡手段を構成することができ、接点の開閉により確実に短絡、開放を行なうことができる。したがって、確実な電荷、イオンの放電を実現することが可能となる。
【0053】
(実施例7)
図8は本発明の実施例7におけるCOセンサの短絡手段を示すものであり、短絡手段は半導体リレー53の接点としたものである。
【0054】
本実施例では半導体リレー53のトライアック54を導通させることにより、電極45aと45bの間を短絡するものである。半導体リレー53を用いることにより、接点の開閉をすばやく行なうものである。同時に、耐久性に優れた短絡手段を構成することができる。
【0055】
(実施例8)
図9は本発明の実施例8におけるCOセンサの短絡手段を示すものであり、短絡手段はフォトモスリレー55の接点としたものである。
【0056】
本実施例ではフォトモスリレー55のMOSトランジスタ56を導通させることにより、電極45aと45bの間を短絡するものである。電界効果トランジスタ57のゲートに信号電圧が印加されると、フォトモスリレー55の入力側と出力側が光結合され、MOSトランジスタ56が導通する。入力側と出力側は電気的に絶縁されているので、ノイズの影響のない電極45aと45bの間の短絡を実現でき、また閉止速度もミリ秒のオーダーで実現することができ、接点の開放を高速に、かつ短絡指令信号との干渉なく行なう。したがって、高速で確実な電荷、イオンの放電を実現することが可能となる。
【0057】
(実施例9)
図10は本発明の実施例9におけるCOセンサの制御タイミングチャートを示すものであり、(a)はヒータ駆動信号、(b)は電極間短絡信号、(c)は信号処理部出力を示す。ヒータ駆動信号の出力幅は10〜50ミリ秒であり、駆動周期は30秒〜1分程度である。これは、後述する実施例10〜12においても同様である。
【0058】
(a)のヒータ駆動信号の立下がって後、(b)の電極間信号が立上がり、電極45a、45b間が短絡され、(c)の信号処理部出力信号は一定値になり、電荷、イオンの放電が行なわれ、かつヒータをパルス駆動している。したがって、電極間の電圧検出時以外に短絡動作を行なうことによって検出に影響を与えずに電極の清浄化を図ることができる。また、信頼性の高い省電力COセンサが実現できる。
【0059】
(実施例10)
図11は本発明の実施例10におけるCOセンサの制御タイミングチャートを示すものであり、(a)はヒータ駆動信号、(b)は電極間短絡信号、(c)は信号処理部出力を示す。
【0060】
(a)のヒータ駆動信号の立下り直前に(b)の電極間信号が立上がり、電極45a、45b間が短絡され、(c)の信号処理部出力信号は一定値になる。
【0061】
このように、ヒータの動作は間欠的に行ない、ヒータの動作の立下りをまたいで短絡手段を動作させることにより、電圧測定後、電極が冷めない間に短絡を行なうことによって、イオン、電荷の効率的な短絡清浄を行なうことができ、高速で電荷、イオンの放電が行なわれる。
【0062】
(実施例11)
図12は本発明の実施例11におけるCOセンサの制御タイミングチャートを示すものであり、(a)はヒータ駆動信号、(b)は電極間短絡信号、(c)は信号処理部出力を示す。
【0063】
(a)のヒータ駆動信号の立上がり前に(b)の電極間信号が立上がり、電極45a、45b間が短絡され、(c)の信号処理部出力信号は一定値になる。(a)のヒータ駆動信号が立下がると、電極45a、45b間の短絡が開放され、信号処理部出力信号は周囲のCO濃度に応じた信号レベルまで上昇する。
【0064】
本実施例では、ヒ−タの動作は間欠的に行ない、ヒータの立上がりをまたいで短絡手段を動作させることにより、電圧測定の直前に清浄を行ない、確実なガス測定を行なうものである。また、電極45a、45b間の短絡がヒータ駆動中に開始されるため、電荷、イオンが動きやすく、高速で電荷、イオンの放電が行なわれる。
【0065】
(実施例12)
図13は本発明の実施例12におけるCOセンサの制御タイミングチャートを示すものであり、(a)はヒータ駆動信号、(b)は電極間短絡信号、(c)は信号処理部出力を示す。
【0066】
本実施例では、ヒ−タの動作は間欠的に行ない、ヒータの立上がり後から立下り前までの一定時間を除いて短絡手段を動作させることにより、電圧測定に支障のない限り清浄化動作を行なうものであり、測定の安定度を飛躍的に増すことができる。
【0067】
【発明の効果】
以上のように、本発明のガスセンサは、ガス検出用の電極間を短絡手段で短絡することにより、電極被毒の原因となる、イオンや電荷の放電を促し、常に清浄な電極状態でガス濃度を計測するため、信頼性の高いガスセンサを実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1におけるガスセンサの構成図
【図2】同ガスセンサにおけるCO検出部の分解斜視図
【図3】本発明の実施例2におけるガスセンサのCO検出部の分解斜視図
【図4】本発明の実施例3におけるガスセンサのCO検出部の分解斜視図
【図5】本発明の実施例4におけるガスセンサのCO検出部の分解斜視図
【図6】本発明の実施例5におけるガスセンサの制御タイミングチャート
【図7】本発明の実施例6におけるガスセンサの短絡手段の構成図
【図8】本発明の実施例7におけるガスセンサの短絡手段の構成図
【図9】本発明の実施例8におけるガスセンサの短絡手段の構成図
【図10】本発明の実施例9におけるガスセンサの制御タイミングチャート
【図11】本発明の実施例10におけるガスセンサの制御タイミングチャート
【図12】本発明の実施例11におけるガスセンサの制御タイミングチャート
【図13】本発明の実施例12におけるガスセンサの制御タイミングチャート
【図14】従来のCOセンサ検知部の構成を一部断面にして示す斜視図
【図15】従来における他のCOセンサ検知部の構成を示す斜視図
【図16】図16のCOセンサにおけるヒータ駆動を示す模式図
【符号の説明】
20 CO検出部
21、42 ヒータ(加熱手段)
22 パルス信号制御手段
23 マイコン(信号制御手段)
32 信号処理部
33 リレー接点(短絡手段)
45a、45b 電極
46 触媒
47 短絡抵抗
49 シールド層
50 アース
51 電磁リレー
53 半導体リレー
55 フォトモスリレー

Claims (12)

  1. 固体電解質上に設けたガスに対する酸化能力の異なる一対の電極と、固体電解質の加熱手段と、一対の電極間を電気的に接続する短絡手段とを有するガスセンサ。
  2. 短絡手段には短絡時に一対の電極と直列接続される短絡抵抗を有する請求項1に記載のガスセンサ。
  3. 加熱手段の印加電圧を遮断する遮蔽手段を有する請求項1または2に記載のガスセンサ。
  4. 加熱手段の基準電位、遮蔽手段、および電極の一方の電位を同じになるように接続した請求項3に記載のガスセンサ。
  5. 電極間の電圧は短絡手段の解除後一定時間経過し、加熱手段の動作中で電圧が安定した時に検出する請求項1〜4のいずれか1項に記載のガスセンサ。
  6. 短絡手段は電磁リレーの接点である請求項1に記載のガスセンサ。
  7. 短絡手段は半導体リレーの接点である請求項1に記載のガスセンサ。
  8. 短絡手段はフォトモスリレーの接点である請求項1に記載のガスセンサ。
  9. 加熱手段の動作は間欠的に行ない、加熱手段の動作停止時に短絡手段を動作させる請求項1に記載のガスセンサ。
  10. 加熱手段の動作は間欠的に行ない、加熱手段の動作の立下りをまたいで短絡手段を動作させる請求項1に記載のガスセンサ。
  11. 加熱手段の動作は間欠的に行ない、加熱手段の立上がりをまたいで短絡手段を動作させる請求項1に記載のガスセンサ。
  12. 加熱手段の動作は間欠的に行ない、加熱手段の立上がり後から立下り前までの一定時間を除いて短絡手段を動作させる請求項1に記載のガスセンサ。
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KR100853925B1 (ko) 2007-01-19 2008-08-25 엘지전자 주식회사 이온 전도도를 이용한 염분농도 측정 장치 및 그 방법
JP2011209184A (ja) * 2010-03-30 2011-10-20 Gunze Ltd 水素ガス検出装置、及び水素ガス検出方法
JP2017037549A (ja) * 2015-08-12 2017-02-16 新コスモス電機株式会社 警報器

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