JP2004214577A - マイクロ波集積回路実装ケース - Google Patents

マイクロ波集積回路実装ケース Download PDF

Info

Publication number
JP2004214577A
JP2004214577A JP2003002796A JP2003002796A JP2004214577A JP 2004214577 A JP2004214577 A JP 2004214577A JP 2003002796 A JP2003002796 A JP 2003002796A JP 2003002796 A JP2003002796 A JP 2003002796A JP 2004214577 A JP2004214577 A JP 2004214577A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
integrated circuit
microwave integrated
metal
resistor
radio wave
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003002796A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Kimoto
博志 木元
Kazuyo Shimazoe
和代 島添
Kazuyoshi Inami
和喜 稲見
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2003002796A priority Critical patent/JP2004214577A/ja
Publication of JP2004214577A publication Critical patent/JP2004214577A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554External layer
    • H01L2224/0555Shape
    • H01L2224/05552Shape in top view
    • H01L2224/05554Shape in top view being square
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item

Landscapes

  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)

Abstract

【課題】従来のマイクロ波集積回路の実装ケースでは、回路規模が大きくなったり周波数が高くなった場合に実装ケースだけではカットオフ構造が取れない場合に上蓋となる金属カバー全面に電波吸収体または抵抗体を取付けて電気特性を安定化させていたが、大面積の電波吸収体または抵抗体を取付けるには、割れ、欠け、脱落等が発生するという課題があった。
【解決手段】空胴共振によって使用周波数帯域内に発生する空間中の定在波の山となる略位置の金属カバー5の当該部に、部分的に電波吸収体8または抵抗体8を取付ける構造とした。
【選択図】 図3

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、高集積化されたマイクロ波集積回路を実装するパッケージや筐体などの実装ケースに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
マイクロ波集積回路を収納する金属製の実装ケースは、その内部寸法や内部に収納したマイクロ波集積回路等により、マイクロ波の一部がケース内空間を伝搬する導波管伝送モード及び共振モードが存在する。この導波管伝送モードにより出力端子から入力端子への信号の帰還により特性が劣化したり、共振モードにより共振周波数近傍の電気特性が不安定となるため、一般には使用周波数帯域で充分な電気特性が得られるように実装ケースの内側寸法を小さくすることが行われるが、内部に実装する回路規模が大きくなることにより実装ケースが大きくなると、導波管伝送モードや共振モードを防止することが困難となる。このような場合に電気特性の劣化を防ぐため、金属カバーの内側全面に所望する周波数帯で電磁波減衰特性のある電波吸収体や、抵抗体を取付けた従来技術が知られている。(例えば、特許文献1参照)
【0003】
【特許文献1】
特開平5−335477号公報(2頁、第1図)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来のマイクロ波集積回路の実装ケースは、以上のように構成されているため、内部に収納するマイクロ波集積回路等の回路規模が大きくなると、大面積の電波吸収体や抵抗体を貼りつけるため、それらの割れ、欠け及び脱落等が発生するといった課題があった。
【0005】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、簡単な形状で、電波吸収体または抵抗体の割れ、欠け及び脱落等を防止でき、かつ、効率的にマイクロ波集積回路の電気特性を安定化させることができるマイクロ波集積回路実装ケースを供給することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明に係るマイクロ波集積回路実装ケースは、金属カバー内面に複数の小面積の電波吸収体または抵抗体を取付けることにより、導波管伝送モードで空間を伝送するマイクロ波信号を減衰させると共に、共振周波数においてはさらに効果的に減衰できる位置に電波吸収体または抵抗体を取付けることにより電気特性を安定化させるものである。
【0007】
また、この発明に係るマイクロ波集積回路の実装ケースは、金属フレーム内側の側面周囲に電波吸収体または抵抗体を取付けることにより導波管伝送モードで空間を伝搬し、金属フレームの側面内側で反射して生じる共振を緩和することにより電気特性を安定化させるものである。
【0008】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1を示すマイクロ波集積回路実装ケースの上面図であり、図2は、図1の断面A−A’を示す図であり、図3は、電波吸収体または抵抗体の取付例を示す図である。図1において、マイクロ波集積回路1は、金属プレート2と、金属プレート2上に設けられた入力フィードスルー3a、出力フィードスルー3b及び金属フレーム4と、金属フレーム4上に接合された金属カバー5とからなる金属製の実装ケースに実装される。高周波信号は、入力フィードスルー3aから金属ワイヤ6aを通してマイクロ波集積回路1上に設けられた入力パッド7aに入力される。マイクロ波集積回路1の出力信号は出力パッド7bから出力され、金属ワイヤ6b、出力フィードスルー3bを通り外部に出力される。また、金属カバー5の内側面には図3に示すように小面積の電波吸収体または抵抗体8が取付けられる。
【0009】
次に動作について、図4、図5を用いて説明する。図4は、実装ケース内の電界分布を示す図であり、図5は、図4の断面B−B’の電界分布を示す図である。実装ケースは、金属プレート2と、フィードスルー3a及び3bと、金属フレーム4と、金属カバー5で閉じられた空胴共振器となる。ここで、例えば、空胴共振器内の実効誘電率がεeff、金属フレーム4の内寸をそれぞれa、b、金属プレート2から金属カバー5までの高さをcとしたときのTE(lmn)共振モードの共振周波数fcは式(1)で表わされる。
【0010】
【数1】
Figure 2004214577
【0011】
式1において、例えば、l=3、m=3、n=0の場合は、TE(330)が共振モードとなる。このとき、空胴共振器内の電界は、電界強度の輪郭線9及び電界分布10で示すようになる。なお、電界強度の輪郭線9は、中心ほど電界強度が強いことを表わす。この場合、電界強度が高い場所は9箇所存在する。電波吸収体または抵抗体8は、図3に示すように、金属カバー5の電界強度が最も強い位置に取付けることにより、金属カバー全面に電波吸収体または抵抗体を取付けなくても、効果的に共振したマイクロ波を吸収し、共振を緩和することにより、電気特性を安定化させることができる。なお、図では円形であるが、三角形や四角形等の多角形など、他の形状でも同様な効果が得られることは論を待たない。
【0012】
実施の形態2.
図6は、この発明の実施の形態2を示すマイクロ波集積回路実装ケースの上面図であり、図7は、図6の断面C−C’を示す図である。図において、金属フレーム4の内側側面には電波吸収体または抵抗体8が取付けられる。
【0013】
次に動作について説明する。金属プレート2と、フィードスルー3a及び3bと、金属フレーム4と、金属カバー5で閉じられた空間は空胴共振器となるが、金属フレーム4の内側に電波吸収体または抵抗体8を取付けることにより、金属で反射されるマイクロ波が減衰し、多重反射により空間に生じる定在波の大きさが小さくなり、共振器としてのQを下げることができるため、電気特性を安定化させることができる。
【0014】
【発明の効果】
この発明によれば、導波管伝送モードで空間を伝搬するマイクロ波信号、及び空胴共振する周波数帯でのマイクロ波信号を効果的に減衰させることにより、電気特性を安定化させることができる。また、電波吸収体または抵抗体が大きくなることによる割れ、欠け及び脱落等を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態1を示すマイクロ波集積回路の実装上面図を示す。
【図2】この発明の実施の形態1を示すマイクロ波集積回路の実装断面図を示す。
【図3】この発明の実施の形態1の電波吸収体または抵抗体の取付例の図を示す。
【図4】この発明の実施の形態1空胴共振の電界強度を示す上面図を示す。
【図5】この発明の実施の形態1空洞共振の電界分布を示す断面図を示す。
【図6】この発明の実施の形態2を示すマイクロ波集積回路の実装上面図を示す。
【図7】この発明の実施の形態2を示すマイクロ波集積回路の実装断面図を示す。
【符号の説明】
1 マイクロ波集積回路、2 金属フレーム、3a、3b 入力及び出力フィードスルー、4 金属フレーム、5 金属カバー、6a、6b 金属ワイヤ、7a、7b 入力及び出力パッド、8 電波吸収体または抵抗体、9 電界強度の輪郭線、10 電界分布。

Claims (2)

  1. マイクロ波集積回路を実装する金属プレートと、前記金属プレート上に設けられた金属フレームと、前記金属フレームに取付けられた電磁シールドまたは封止のための金属カバーとで構成される実装ケースにおいて、空胴共振によって使用周波数帯域内に発生する空間中の定在波の山となる略位置の金属カバーの当該部に、部分的に電波吸収体または抵抗体を取付けたことを特徴とするマイクロ波集積回路実装ケース。
  2. マイクロ波集積回路を実装する金属プレートと、前記金属プレート上に設けられた金属フレームと、前記金属フレームに取付けられた電磁シールドまたは封止のための金属カバーとで構成される実装ケースにおいて、この金属フレーム内側の側面周囲に電波吸収体または抵抗体を取付けたことを特徴とするマイクロ波集積回路実装ケース。
JP2003002796A 2003-01-09 2003-01-09 マイクロ波集積回路実装ケース Pending JP2004214577A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003002796A JP2004214577A (ja) 2003-01-09 2003-01-09 マイクロ波集積回路実装ケース

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003002796A JP2004214577A (ja) 2003-01-09 2003-01-09 マイクロ波集積回路実装ケース

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004214577A true JP2004214577A (ja) 2004-07-29

Family

ID=32820430

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003002796A Pending JP2004214577A (ja) 2003-01-09 2003-01-09 マイクロ波集積回路実装ケース

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004214577A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006202827A (ja) * 2005-01-18 2006-08-03 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体パッケージ
JP2010272700A (ja) * 2009-05-21 2010-12-02 Mitsubishi Electric Corp 多層高周波パッケージ基板
JP2011018776A (ja) * 2009-07-09 2011-01-27 Fuji Xerox Co Ltd 電子回路を収容する容器及び電子装置
US7888797B2 (en) * 2005-07-11 2011-02-15 Kabushiki Kaisha Toshiba High frequency package device with internal space having a resonant frequency offset from frequency used
JP2016050998A (ja) * 2014-08-29 2016-04-11 住友大阪セメント株式会社 光変調器、及び光スイッチ
JP2016050999A (ja) * 2014-08-29 2016-04-11 住友大阪セメント株式会社 光変調器、及び光スイッチ
CN109887904A (zh) * 2019-04-16 2019-06-14 中国电子科技集团公司第十三研究所 一种毫米波芯片的封装结构及印刷电路板

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006202827A (ja) * 2005-01-18 2006-08-03 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体パッケージ
JP4490832B2 (ja) * 2005-01-18 2010-06-30 株式会社日立国際電気 半導体パッケージ
US7888797B2 (en) * 2005-07-11 2011-02-15 Kabushiki Kaisha Toshiba High frequency package device with internal space having a resonant frequency offset from frequency used
JP2010272700A (ja) * 2009-05-21 2010-12-02 Mitsubishi Electric Corp 多層高周波パッケージ基板
JP2011018776A (ja) * 2009-07-09 2011-01-27 Fuji Xerox Co Ltd 電子回路を収容する容器及び電子装置
JP2016050998A (ja) * 2014-08-29 2016-04-11 住友大阪セメント株式会社 光変調器、及び光スイッチ
JP2016050999A (ja) * 2014-08-29 2016-04-11 住友大阪セメント株式会社 光変調器、及び光スイッチ
CN109887904A (zh) * 2019-04-16 2019-06-14 中国电子科技集团公司第十三研究所 一种毫米波芯片的封装结构及印刷电路板

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6333552B1 (en) Millimeter wave semiconductor device
JP2018515005A (ja) アンテナ及びそれを有する移動端末
KR20000011713A (ko) 필터,필터링방법및지연회로
JP2004214577A (ja) マイクロ波集積回路実装ケース
JP2014110325A (ja) 電磁波吸収体および光トランシーバ
KR100983855B1 (ko) 고주파용 반도체 장치
JP2003008309A (ja) マイクロ波帯干渉防止パッケージ
JP6673566B2 (ja) シールドカバー、デバイス
JP5964785B2 (ja) 高周波伝送線路
JP3329235B2 (ja) フィルタ
JP5171652B2 (ja) 高周波モジュール
JPH11238823A (ja) 半導体パッケージ
WO2022224484A1 (ja) 電波吸収素子および集合体
JPH06216633A (ja) 高調波抑圧アンテナ
JPH11346106A (ja) マイクロストリップ線路の接続方法
KR100267966B1 (ko) 표면 탄성파 필터의 패키지 구조
JPH09181501A (ja) ストリップラインフィルタ
JP2009252794A (ja) 高周波モジュール
KR101643865B1 (ko) 무전극 조명기기
JP2001060810A (ja) 誘電体フィルタ
KR200330762Y1 (ko) 불효파 특성 개선을 위한 유전체 캐비티 여파기
JPH05110310A (ja) マイクロ波回路
JP2022160123A (ja) アンテナ装置
JP2007250939A (ja) Icチップ実装モジュール、icチップ実装方法及びicチップ
JP4401886B2 (ja) 高周波用パッケージ

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20040709

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050530

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050607

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050805

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20050830