JP2004207641A - セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents
セラミック電子部品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004207641A JP2004207641A JP2002377623A JP2002377623A JP2004207641A JP 2004207641 A JP2004207641 A JP 2004207641A JP 2002377623 A JP2002377623 A JP 2002377623A JP 2002377623 A JP2002377623 A JP 2002377623A JP 2004207641 A JP2004207641 A JP 2004207641A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printing
- cells
- graphic
- ceramic
- gravure printing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Printing Methods (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
Abstract
【課題】複雑な図形であっても高精度にグラビア印刷することを可能とする工程を備えたセラミック電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックグリーンシート上に導電ペーストまたはセラミックペーストがグラビア印刷法により形成される工程を備えたセラミック電子部品の製造方法であって、グラビア印刷により印刷される図形が、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とを有し、グラビア印刷にあたり、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセル２１と、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセル２２とを有し、複数の第１のセル２１の形状と、複数の第２のセル２２の形状が異なっているグラビア印刷用版１２を用いる、セラミック電子部品の製造方法。
【選択図】 図１
【解決手段】セラミックグリーンシート上に導電ペーストまたはセラミックペーストがグラビア印刷法により形成される工程を備えたセラミック電子部品の製造方法であって、グラビア印刷により印刷される図形が、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とを有し、グラビア印刷にあたり、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセル２１と、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセル２２とを有し、複数の第１のセル２１の形状と、複数の第２のセル２２の形状が異なっているグラビア印刷用版１２を用いる、セラミック電子部品の製造方法。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば積層セラミックコンデンサや積層インダクタのようなセラミック電子部品の製造方法に関し、より詳細には、グラビア印刷により導体やセラミックスが形成されるセラミック電子部品の製造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、印刷方法の一種としてグラビア印刷法が広く用いられている。下記の特許文献１には、セラミック電子部品の製造に際し、セラミックグリーンシート上にグラビア印刷法により導電ペーストを印刷する方法が開示されている。
【０００３】
特許文献１に記載の製造方法では、グラビア版胴の表面に、図１２に示すグラビア印刷用版１０１が形成されている。グラビア印刷用版１０１は、枠状凹部１０１ａを有する。枠状凹部１０１ａの外周縁は、印刷により形成される電極の外周縁に合致するように外周縁が直線化されている。枠状凹部１０１ａに囲まれている領域に複数の凹部１０１ｂが配置されている。複数の凹部１０１ｂは版の表面と同じ高さの峰１０１ｃにより隔てられている。峰１０１ｃが枠状凹部１０１ａ内に延びるように峰１０１ｃに延長部分１０１ｄが設けられている。延長部分１０１ｄの先端は枠状凹部１０１ａには至っていない。
【０００４】
特許文献１に記載の製造方法では、上記グラビア印刷用版１０１を用いることにより、べた塗りの１つの図形、すなわち電極形状が、その外周縁が目的とする輪郭に正確に合致するように印刷され得る。
【０００５】
【特許文献１】
特開平６−３１６１７４号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献１に記載のグラビア印刷用版１０１を用いた製造方法では、コイル導体のような複雑な形状の導体パターンやセラミックパターンを高精度に印刷することができなかった。すなわち、印刷方向と平行な方向が長さ方向である図形部分や、印刷方向と直交する方向が長さ方向である図形部分を有するような複雑な印刷図形の場合には、上記各図形部分において導電ペーストの塗布厚み、表面の平滑性のばらつきあるいは端縁における導電ペーストのかすれなどが生じがちであった。そのため、得られた電子部品の電気的特性がばらついたり、構造欠陥が生じたりすることがあった。
【０００７】
また、上記特許文献１に記載のグラビア印刷用版１０１では、導電ペーストが充填される凹部の深さが均一であるため、印刷方向と平行な方向が長さ方向である図形部分及び印刷方向と直交する方向が長さ方向である図形部分とで、導電ペーストの膜厚を異ならせたりすることができなかった。従って、特許文献１に記載のグラビア印刷用版１０１は、様々な導体パターンの印刷に用いられ得るものではなかった。
【０００８】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、複雑な図形であってもペーストを高精度にグラビア印刷することを可能とする工程を備えたセラミック電子部品の製造方法並びにそのような印刷方法に用いられるグラビア印刷用版を提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、複雑な形状の図形を高精度に印刷し得るだけでなく、部分的に厚みが異なる導体やセラミックス部分を容易にかつ高精度に形成し得る工程を備えたセラミック電子部品の製造方法及び該製造方法に用いられるグラビア印刷用版を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本願の第１の発明は、導電ペーストのグラビア印刷により形成された導体を有するセラミック電子部品の製造方法であって、セラミックグリーンシートを用意する工程と、前記セラミックグリーンシート上に導電ペーストを、所定の図形となるようにグラビア印刷する工程とを備え、前記所定の図形が印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とを有し、前記グラビア印刷にあたり、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルと、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセルとを有し、第１のセルと第２のセルの形状が異なっているグラビア印刷用版を用いることを特徴とする、セラミック電子部品の製造方法である。
【００１１】
第１の発明のある特定の局面では、前記複数の第１のセルは、前記複数の第２のセルよりも印刷方向の導電ペーストの流動性が良くなるような形状とされている。
【００１２】
第１の発明の別の特定の局面では、前記複数の第１のセルは少なくとも印刷方向において連なっており、かつ、前記複数の第２のセルは独立している。
第２の発明は、導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストのグラビア印刷により形成された導体及び段差解消用セラミック部分を有するセラミック電子部品の製造方法であって、セラミックグリーンシートを用意する工程と、前記セラミックグリーンシート上に導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストを、所定の図形となるようにグラビア印刷する工程とを備え、前記段差解消用セラミックペーストによる図形が、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とを有し、前記グラビア印刷にあたり、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルと、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセルとを有し、第１のセルと第２のセルの形状が異なっているグラビア印刷用版を用いることを特徴とする、セラミック電子部品の製造方法である。
【００１３】
第２の発明のある特定の局面では、前記複数の第１のセルは少なくとも印刷方向において連なっており、かつ、前記複数の第２のセルは独立しているか、または、セルを囲む峰のうち、印刷開始端の内側に配置されており、印刷開始端に最も近い印刷方向と直交する方向に延びる峰が印刷方向と直交する方向に連なっている。
【００１４】
第１，第２の発明の他の特定の局面では、前記第１のセルの深さと、第２のセルの深さとが異なっている。
第１，第２の発明の他の特定の局面では、前記図形中における第１，第２のセルの深さが均一であり、第１のセルと第２のセルとで峰の幅及び／または峰のピッチが異なっている。
【００１５】
第３の発明は、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とを有する図形をグラビア印刷するためのグラビア印刷用版であって、前記グラビア印刷にあたり、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルと、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセルとを有し、第１のセルと第２のセルの形状が異なっていることを特徴とする、グラビア印刷用版である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１７】
（第１の実施例）
第１の実施例では、図３に示す積層インダクタが製造される。
すなわち、図３に示すように、積層インダクタ１は、セラミック焼結体２と、セラミック焼結体２の両端面を覆うように形成された端子電極３，４とを有する。セラミック焼結体２は、図２に示されている複数枚のセラミックグリーンシート５〜８を積層して得られた積層体を焼成することにより構成されている。
【００１８】
セラミックグリーンシート６，７の上面には、それぞれ導電ペーストによりコイル状の導体９，１０が形成されている。また、セラミックグリーンシート５には、ビアホール電極５ａが形成されており、ビアホール電極５ａの一端は、コイル導体９の外側端に電気的に接続される。また、ビアホール電極５ａの他端は図３に示した端子電極３に電気的に接続されている。コイル導体９の内側端とコイル導体１０の内側端とは、セラミックグリーンシート６に形成されたビアホール電極（図示せず）により電気的に接続されている。また、コイル導体１０の外側端は、セラミックグリーンシート７に形成されたビアホール電極７ａに接続されている。ビアホール電極７ａは、セラミックグリーンシート８に形成されたビアホール電極８ａの一端に重なり合うように形成されている。ビアホール電極８ａの他端が端子電極４（図３）に電気的に接続されている。
【００１９】
ところで、上記コイル状の導体９，１０が形成されたセラミックグリーンシート６，７を得るにあたって、本実施例では、セラミックグリーンシート６，７上に導体９，１０がグラビア印刷法によりそれぞれ印刷される。
【００２０】
前述したように、従来のグラビア印刷法を用いた場合、コイル導体９，１０のような複雑な形状の図形を印刷しようとした場合、高精度に印刷を行うことができなかった。
【００２１】
これに対して、本実施例では、以下に示すグラビア印刷用版が用いられるため、コイル導体９，１０が高精度に印刷される。
すなわち、本実施例では、図４に斜視図で示すグラビア版胴１１が用いられる。グラビア版胴１１は略円筒状の形状を有し、その側面に、グラビア印刷用版１２が構成されている。このグラビア版胴１１を用いてマザーのセラミックグリーンシート上に導電ペーストが印刷される。それによって、図５に平面図に示すように、マザーのセラミックグリーンシート１３上に多数のコイル導体９が印刷される。コイル導体１０についても同様にして印刷される。
【００２２】
上記グラビア印刷用版１２の詳細を図１（ａ），（ｂ）に模式的な平面図で示す。
グラビア印刷用版１２は、コイル導体９に応じた印刷図形となるように導電ペーストを印刷するように構成されている。
【００２３】
図１（ａ）において、矢印Ａが印刷方向を示す。すなわち、導電ペーストが充填される複数の凹部を有するグラビア印刷用版１２は、矢印Ａ方向に沿って導電ペーストをマザーのセラミックグリーンシート上に印刷するように構成されている。従って、図５に示されている印刷図形、すなわちコイル導体９は、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分９ａと、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分９ｂとを有する。図１（ａ）に示すように、これに応じて、グラビア印刷用版１２は、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分９ａを印刷するための第１の版部分１２Ａと、第２の図形部分９ｂを印刷するための第２の版部分１２Ｂとを有する。
【００２４】
なお、コイル導体９は、コーナー部で隣接し合っている導体部分同士が９０度の角度をなすように連ねられたスパイラル状の形状を有する。従って、コイル導体９は、複数の第１の図形部分と、複数の第２の図形部分とを有する。よって、グラビア印刷用版１２も、複数の第１の版部分１２Ａ及び複数の第２の版部分１２Ｂを有する。
【００２５】
第１の版部分１２Ａは、複数の第１のセル２１を有し、第２の版部分１２Ｂは、複数の第２のセル２２を有する。
図１（ａ）では、導電ペーストが充填されるセル２１，２２がハッチングを付されて示されている。図１から明らかなように、複数の第１のセル２１同士が連なっていることがわかる。これに対して、複数の第２のセル２２は独立に設けられている。
【００２６】
グラビア印刷法で全てのセルを同じ形状として印刷を行った場合、印刷方向に平行な図形部分と、印刷方向と直交する方向の図形部分とでは、塗布された導電ペーストの厚み及び表面の凹凸状態が異なることが本願発明者により確かめられた。すなわち、上記第１の図形部分の印刷後の導電ペーストの厚みは、第２の図形部分の導電ペーストの厚みよりも厚くなり、また第２の図形部分の中でも、印刷開始側の部分における印刷後の導電ペーストの厚みが部分的に薄くなることがあった。また、導電ペーストの粘度によっては、第２の図形部分の印刷後の導電ペーストの厚みが、第１の図形部分の導電ペーストの厚みよりも薄くなることもあった。
【００２７】
本実施例では、第１の図形部分の印刷後の導電ペーストの厚みが、第２の図形部分の導電ペーストの厚みよりも薄くならないように、第１のセル２１及び第２のセル２２が構成されている。
【００２８】
すなわち、本実施例では、第１の図形部分を印刷する第１の版部分１２Ａでは、複数の第１のセル２１同士が連なるように構成されている。拡大図である図１（ｂ）に示すように、１つのセル２１ａは、例えば、４本の直線状の峰２１ｂ〜２１ｅに囲まれている。また、峰同士が、ギャップ２１ｉを隔てて配置されている。なお、本明細書において、峰とは、セルを構成している凹部間の部分を有し、峰の高さは印刷用版の表面と同じ高さである。すなわち、印刷用版に凹部を形成することにより、凹部間に峰が構成される。
【００２９】
また、峰同士が、ギャップ２１ｉを隔てて配置されている。例えば、印刷方向に直交する峰２１ｂの一端は、印刷方向に平行に延びる峰２１ｄの長さ方向中央に対してギャップ２１ｉを隔てて配置されている。また、峰２１ｂの他端は、印刷方向に平行に延びる峰２１ｆの長さ方向中央に同じくギャップを隔てて配置されている。他方、峰２１ｄは、印刷方向と平行な方向に延びている。峰２１ｄの両端は、印刷方向と直交する方向に延びる峰２１ｅ及び峰２１ｇの長さ方向中央に対してギャップを隔てて配置されている。このように、印刷方向に直交する方向に延びる峰及び印刷方向に平行な方向に延びる峰は、その両端が、印刷方向に平行に延びる峰または印刷方向に直交する方向に延びる峰の長さ方向中央に対してギャップを隔てて配置されている。
【００３０】
もっとも、峰２１ｈのように、印刷方向に直交する方向に延びる峰であって、外側端が第１の図形部分の印刷方向と平行に延びる端縁側に延ばされている峰では、外側端の外側には印刷方向と平行に延びる峰は存在しない。なお、峰２１ｈの外側端が印刷図形から外側に飛び出さないように、峰２１ｈの長さ寸法は、他の峰に比べて短くされている。
【００３１】
本実施例では、上記ギャップは全て同じ大きさとされており、かつ図１では逆転しているように図示されているが、実際には、ギャップは、峰の幅方向寸法よりも大きくされている。
【００３２】
上記のように、峰がギャップを隔てて配置されているため、複数のセル２１同士が連なっている。よって、第１の図形部分を印刷する際には、導電ペーストが印刷方向に沿って流れ易くされている。
【００３３】
これに対して、第２の図形部分を印刷するための複数のセル２２では、各セルが独立している。すなわち、各セルの周囲が峰で囲まれている。
また、図１（ｃ）に拡大して示すように、印刷開始端側においては、印刷方向と直交する方向に延びる峰２２ｂが印刷方向と直交する方向に連ねられている。峰２２ｂは、第２の図形部分において、印刷方向開始端側に位置するが、該峰２２ｂよりも印刷開始端側に導電ペーストが付与される凹部２２ｃが設けられている。すなわち、印刷方向と平行な方向に延びる峰部分２２ｄが、峰２２ｂを突き抜けて、印刷方向開始端側に延ばされている。
【００３４】
従って、峰２２ｂは、印刷開始端の内側に配置されており、かつ印刷開始端に最も近い、印刷方向と直交している峰である。
なお、印刷方向と直交している他の峰２２ｅ，２２ｆも同様に印刷方向と直交する方向に連なっている。
【００３５】
本実施例では、第１の図形部分の印刷に際しては、複数の第１のセル２１が連続しているため、導電ペーストが印刷方向に沿って流れ易くなり、従って、第１の図形部分の印刷後の導電ペーストを均一にすることができる。
【００３６】
加えて、導電ペーストが印刷方向に沿って流れ易いため、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形の両端における白点の発生を抑制することができる。なお、白点とは、印刷後導電ペーストが付着していない部分をいうものとする。
【００３７】
他方、第２の図形部分の印刷に際しては、各セルが独立しているため、印刷方向後方へ一定の割合で導電ペーストが流れる。従って、導電ペーストの塗布厚みの均一化を図ることができる。加えて、上記峰２２ｂが印刷方向と直交する方向に連ねられており、従って導電ペーストが連ねられた峰２２ｂにより一端せき止められる。よって、印刷開始端側の導電ペーストの厚みを十分な大きさとすることができる。そのため、第２の図形部分における印刷開始端側の端縁の直線性の改善及び内部の白点の発生を抑制することができる。
【００３８】
また、第１の図形部分と第２の図形部分との連結部分では、図１の矢印Ｂで示すように、第１のセル２１に対し、第２のセル２２が連ねられている。従って、第１，第２の図形部分の連結部分における白点の発生も生じ難い。
【００３９】
図６は、本発明の第２の実施例において印刷されるセラミックペーストの断面形状を説明するための模式的正面断面図である。第２の実施例では、積層セラミックコンデンサが製造される。
【００４０】
本実施例では、図６に示すマザーのセラミックグリーンシート３１が用意される。次に、マザーのセラミックグリーンシート３１上に、内部電極を構成するために導電ペースト３２が印刷される。導電ペースト３２の印刷は、本発明に従ってグラビア印刷法で行ってもよく、あるいはスクリーン印刷により行われてもよい。後述の段差解消用セラミックペーストの印刷がグラビア印刷により行われるため、好ましくは、導電ペースト３２はグラビア印刷で印刷されることが望ましい。すなわち、同じ印刷方法を採用することにより、印刷工程の簡略化及び装置の共用化などを図ることができる。
【００４１】
図６に示すように導電ペースト３２が印刷された後に、導電ペースト３２が印刷されている領域以外の領域に段差解消用セラミックペースト３３が印刷される。図７に平面図で示すように、マザーのセラミックグリーンシート３１の上面においては、上記導電ペースト３２からなる内部電極パターンが印刷され、該導電ペースト３２が印刷されていない領域に、段差解消用セラミックペースト３３が印刷されている。図７から明らかなように、段差解消用セラミックペースト３３は、格子状に印刷されている。
【００４２】
本実施例では、このように段差解消用セラミックペースト３３が印刷された後、複数のセラミックグリーンシート３１が積層され、プレスされることによってマザーの積層体が得られる。しかる後、周知の積層セラミックコンデンサの製造方法に従って、マザーの積層体が個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体に切断され、次に焼成され、焼結体が得られる。このようにして得られた個々の焼結体の両端面に外部電極が形成されて、積層セラミックコンデンサが得られる。
【００４３】
ところで、上記段差解消用セラミックペースト３３を形成するのは、上記マザーの積層体や個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体において、導電ペースト３２が重なり合っている部分とその他の部分の厚みの差を低減するためである。従って、段差解消用セラミックペースト３３は、導電ペースト３２と同じ厚みに印刷され、かつ導電ペースト３２が形成されていない領域に高精度に印刷される必要がある。
【００４４】
本実施例では、上記段差解消用セラミックペースト３３の印刷が、第１の実施例と同様に本発明に従って構成されたグラビア印刷用版を用いて行われる。
図７に示すように、段差解消用セラミックペースト３３は、格子状に印刷されるため、言い換えれば印刷方向を矢印Ｃ方向とした場合、印刷方向が長さ方向である第１の図形部分３３Ａと、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分３３Ｂとを有することになる。
【００４５】
本実施例では、上記段差解消用セラミックペースト３３の平面形状に応じて、図８にその一部を模式的平面図で示すグラビア印刷用版４１が用いられる。なお、図９は図８の二点鎖線Ｘで囲まれた部分の拡大平面図である。
【００４６】
図８において、矢印Ｄが印刷方向を示す。印刷用版４１は、上記第１の図形部分３３Ａを印刷するための第１の版部分４１Ａと、第２の図形部分３３Ｂを印刷するための第２の版部分４１Ｂとを有する。
【００４７】
各版部分４１Ａ，４１Ｂは、それぞれ、複数のセル４２，４３を有する。
図８及び図９に示されているように、版部分４１Ａは、第１の実施例における第１の図形部分を印刷するための版部分と同様に構成されており、第２の版部分４１Ｂは、第１の実施例における第２の版部分と同様に構成されている。従って、本実施例においても、印刷方向と平行な方向に延びる第１の図形部分においては、複数のセル４２が連なっているため、印刷方向にセラミックペーストが流れ易い。従って、印刷方向が長さ方向である第１の図形部分において、ペーストの厚みを均一化でき、かつ白点の発生を抑制することができる。また、複数のセル４３が独立しており、かつ印刷開始端の内側に配置されており、かつ開始端に最も近い峰４３ｂが印刷方向と直交する方向に連なっているため、第２の図形部分におけるペーストの厚みのばらつきを低減することができるとともに、印刷開始端側におけるかすれを抑制することができる。
【００４８】
なお、図１０は、第２の実施例で用いられたグラビア印刷用版の変形例を説明するための模式的平面図である。
図１０に示されているグラビア印刷用版４１Ｃでは、図８に示したグラビア印刷用版４１と同様に、第１の版部分４１Ｄと、第２の版部分４１Ｂとを有する。第１の版部分４１Ｄが、図８に示した第１の版部分４１Ａと異なることを除いては、グラビア印刷用版４１Ｃは、グラビア印刷用版４１と同様に構成されている。
【００４９】
すなわち、図１０に示されているように、第１の版部分４１Ｄでは、全ての第１のセルが連なっておらず、印刷方向においてのみ隣り合うセル４２同士が連なっている。言い換えれば、第１の版部分４１Ｄにおいては、印刷方向に延びる峰４２ａが印刷方向に沿って直線上に延ばされており、複数の峰４２ａ間において、第１のセル同士が印刷方向において連なっているが、峰４２ａの両側のセルは連なってはいない。
【００５０】
上記のように、第１の版部分４１Ｄでは、印刷方向において第１のセル４２同士が連なっている限り、第２の実施例と同様に、第１の図形部分において導電ペーストが印刷方向に円滑に流れ、第１の図形部分を高精度に印刷することができる。
【００５１】
また、本発明においては、印刷方向が長さ方向である第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルは、少なくとも印刷方向において連なっておればよい。
【００５２】
図１１は、本発明の第３の実施例で用いられるグラビア印刷用版を説明するための模式的平面図である。第３の実施例のグラビア印刷用版５１は、第２の実施例のグラビア印刷用版４１と同様に前述した段差解消用セラミックペースト３３を印刷するために用いられる。
【００５３】
第３の実施例のグラビア印刷用版５１は、第１の図形部分３３Ａを印刷するための第１の版部分５１Ａと、第２の図形部分３３Ｂを印刷するための第２の版部分５１Ｂとを有する。
【００５４】
第１の版部分５１Ａは、第２の実施例のグラビア印刷用版４１の第１の版部分４１Ａと同様に構成されている。異なるところは、第２の版部分５１Ｂにおいて、複数のセル５３が独立していないことにある。
【００５５】
すなわち、第２の版部分５１Ｂでは、複数のセル５３は、第１の版部分５１Ａにおける複数のセル５２と同様に互いに連なるように構成されている。もっとも、本実施例では、第２の版部分５１Ｂの印刷開始端側においては、印刷方向と直交する方向に延びる峰５４が印刷方向と直交する方向に連ねられている。すなわち、第２の図形部分の印刷開始端の内側に配置されており、但し、印刷開始端に最も近い、印刷方向と直交する方向に延びる峰５４が、印刷方向と直交する方向に連ねられている。また、印刷方向と平行に延びる峰５５が印刷開始端側に峰５４を越えて突き抜けている。従って、複数の峰５５間において、峰５４の印刷開始端側に複数の凹部５６が配置されている。
【００５６】
本実施例で、第２の図形部分の印刷に際し、複数の峰５４が印刷方向と直交する方向に連ねられているため、ペーストが峰５４によりせき止められる。従って、印刷開始端側のペーストの厚みが薄くなりがちである第２の図形部分において、印刷開始端側のぺーストの厚みを十分な大きさとすることができる。
【００５７】
よって、第３の実施例においても、第２の図形部分の印刷開始端側の印刷厚みを十分な大きさとすることができ、印刷開始端側におけるかすれを抑制することができる。
【００５８】
なお、第３の実施例では、セラミックペーストの全体の膜厚を均一にするために、セルの開口面積率、すなわちペーストが充填される部分の各版部分における面積の割合は、第１の版部分５１Ａでは５６％、第２の版部分５１ｂでは５０％とされている。このように、各版部分５１Ａ，５１Ｂにおける開口面積率を異ならせることにより、全体として均一な厚みの段差解消用セラミックペースト層を形成することができる。
【００５９】
なお、上記実施例では、導電ペーストがグラビア印刷された後に段差解消用セラミックペーストをグラビア印刷されていたが、逆の順序でこれらを印刷してもよい。
【００６０】
本発明では、上記のように、第１の版部分と、第２の版部分におけるセルの開口面積率、すなわち導電ペーストが充填されている凹部の面積の合計の各版部分の面積に対する割合を異ならせることにより、第１の図形部分と第２の図形部分の導電ペーストの印刷厚みを調整することができる。すなわち、第１，第２の図形部分の膜厚を等しくするように、上記セルの開口面積率を異ならせることにより、全体として均一な膜厚の導体を容易に形成することができる。
【００６１】
また、第１〜第３の実施例では、第１，第２の図形部分の膜厚を均一とするように第１，第２の版部分が構成されていたが、本発明においては、第１の図形部分と第２の図形部分のセルの凹部の深さを異ならせ、それによって第１の図形部分の印刷厚みと、第２の図形部分における印刷厚みとを異ならせてもよい。すなわち、第１のセルの凹部の深さと、第２のセルの凹部の深さとを異ならせることにより、容易に部分的に膜厚の異なる導体膜やペースト膜を形成することができる。
【００６２】
また、第１，第２のセルの寸法を等しくし、第１のセルと第２のセルの形状及び／または、ピッチを異ならせることによっても、第１，第２の図形部分の印刷厚みを異ならせてもよい。
【００６３】
このように、本発明によれば、第１のセル及び第２のセルを目的とする印刷図形及び印刷厚みに応じて制御することより、複雑な図形や部分的に厚みが異なる導体膜若しくはペースト膜を容易に形成することができる。
【００６４】
また、第１の実施例では複数枚のセラミックグリーンシートが積層されているが、コイル導体が単層で構成される平面コイルにも本発明は適用され得る。
また、第１の実施例においては、印刷方向に平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とからなるコイル導体が形成されていた。これに対して、第１，第２の図形部分を連結する部分が印刷方向に対し、直交ではない所定の角度を有するコイル導体の場合、例えば連結部分が印刷方向と４５°の角度をなす方向に延びているテーパ状のパターンを有するコイル導体の場合には、その連結部分としては第１の図形部分に対応したセル形状を用いてもよいし、第２の図形部分に対応したセル形状を用いてもよい。この場合、所定の角度のパターンが印刷方向と印刷方向と直交する方向のどちらに近いかでセル形状を選択することが好ましい。
【００６５】
【発明の効果】
第１の発明に係るセラミック電子部品の製造方法では、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルと、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセルの形状が異なっているグラビア印刷用版が用いられるため、第１の図形部分及び第２の図形部分に応じて複数の第１，第２のセルの形状を調整することにより、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分及び印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分を第１，第２のセルの形状の制御により高精度に行うことが可能となる。
【００６６】
特に、複数の第１のセルが、複数の第２のセルよりも印刷方向の導電ペーストの流動性が高くなるような形状とされている場合には、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分における導電ペーストの厚みの均一化を果たすことができ、かつ白点やかすれの発生を効果的に抑制することができる。
【００６７】
特に、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルが少なくとも印刷方向において連なっている場合には、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分において、導電ペーストが容易に流れる。従って、印刷方向と平行な方向に延びる第１の図形部分における導電ペーストの厚みの均一化を果たすことができ、かつ白点やかすれの発生を抑制することができる。
【００６８】
まだ第２のセルは独立している場合、第２の図形部分においては、各セルに導電ペーストが充填されて、第２の図形部分の印刷が行われることになる。従って、第２の図形における印刷方向と平行な方向における印刷された導電ペーストの厚みのばらつきを低減することができる。また、複数の第２のセルが独立しているため、言い換えれば、各セルの印刷方向開始端側の峰が連なっているため、第２の図形部分の印刷開始端側においては、印刷方向と直交する方向に延びている峰部分が連なっているため、該峰部分により導電ペーストが一旦せき止められる。従って、第２の図形部分の印刷開始端側に導電ペーストが確実に付与され、印刷開始端側におけるかすれの発生を抑制することができる。
【００６９】
第２の発明に係るセラミック電子部品の製造方法では、セラミックグリーンシート上に導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストをグラビア印刷するにあたり、段差解消用セラミックペーストの印刷により形成される図形が、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とを有し、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルと、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセルの形状が異なっているため、該第１，第２のセルの形状を制御することにより、第１，第２の図形部分を高精度に印刷することができる。
【００７０】
また、複数の第１のセルが少なくとも印刷方向において連なっており、かつ複数の第２のセルが独立しているか、あるいは第２のセルを囲む峰のうち、印刷開始端の内側に配置されており、印刷開始端に最も近い印刷方向と直交する方向に延びる峰が印刷方向と直交する方向に連なっている場合には、第１の図形部分においては、印刷方向に段差解消用セラミックペーストが円滑に流れ、第１の図形部分におけるセラミックペーストの厚みの均一化を果たすことができる。また、白点やかすれの発生も抑制され得る。加えて、複数の第２のセルが独立しているか、あるいは上記第２の図形部分の印刷開始端側において、印刷方向と直交する方向に延びている峰部分が連なっている場合には、印刷開始端側において段差解消用セラミックペーストが一旦塞き止められる。従って、第２の図形部分の印刷開始端側に段差解消用セラミックペーストが確実に付与され、印刷開始端側におけるかすれの発生が抑制されるとともに、第２の図形部分における段差解消用セラミックペーストの印刷方向の厚みの均一化も果たすことが可能となる。
【００７１】
第１のセルの深さと、第２のセルの深さとが異なっている場合には、第１，第２の深さを制御することにより、第１，第２の印刷図形部分をより高精度に印刷することが可能となる。
【００７２】
さらに、第１，第２のセルの深さが均一であり、第１のセルと第２のセルとで、峰の幅及び／または峰のピッチが異なっている場合には、峰の幅及び／または峰のピッチを異ならせ方を制御することにより、同様に、第１，第２の図形部分を高精度に印刷することが可能となる。
【００７３】
本発明に係るグラビア印刷用版では、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルと、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセルの形状が異なっているため、第１，第２のセルの形状の異ならせ方を工夫することにより、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とを高精度に印刷することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、本発明の第１の実施例の製造方法で用いられるグラビア印刷用版の要部を示す模式的平面図及び（ｂ），（ｃ）はその一部を拡大して示す各部分切欠平面図。
【図２】第１の実施例で得られる積層インダクタに用いられるセラミックグリーンシート及びその上に形成される電極形状を説明するための分解斜視図。
【図３】第１の実施例で得られる積層インダクタを示す斜視図。
【図４】第１の実施例で用いられるグラビア版胴を示す斜視図。
【図５】第１の実施例においてグラビア版胴に形成されたグラビア印刷用版を用いてマザーのセラミックグリーンシート上に印刷された導電ペーストパターンを示す平面図。
【図６】第２の実施例においてマザーのセラミックグリーンシート上に導電ペーストを印刷した後に、段差解消用セラミックペーストを印刷した状態を示す模式的正面断面図。
【図７】図６に示した積層体の平面図。
【図８】第２の実施例で用いられるグラビア印刷用版を示す模式的平面図。
【図９】図８に示したグラビア印刷用版の一部を拡大して示す模式的平面図。
【図１０】第２のグラビア印刷用版の変形例を示す模式的平面図。
【図１１】第３の実施例で用いられるグラビア印刷用版を示す部分切欠模式的平面図。
【図１２】従来のグラビア印刷法に用いられるグラビア印刷用版を示す平面図。
【符号の説明】
１…積層インダクタ
２…セラミック焼結体
３，４…端子電極
５〜８…セラミックグリーンシート
９，１０…導体
９ａ…第１の図形部分
９ｂ…第２の図形部分
１１…グラビア版胴
１２…グラビア印刷用版
１２Ａ…第１の版部分
１２Ｂ…第２の版部分
１３…マザーのセラミックグリーンシート
２１…第１のセル
２１ａ…セル
２１ｂ〜２１ｈ…峰
２１ｉ…ギャップ
２２…第２のセル
３１…マザーのセラミックグリーンシート
３２…導電ペースト
３３…段差解消用セラミックペースト
３３Ａ…第１の図形部分
３３Ｂ…第２の図形部分
４１…グラビア印刷用版
４１Ａ…第１の版部分
４１Ｂ…第２の版部分
４１Ｃ…グラビア印刷用版
４１Ｄ…第１の版部分
４２…第１のセル
４２ａ…峰
４３…第２のセル
５１…グラビア印刷用版
５１Ａ…第１の版部分
５１Ｂ…第２の版部分
５２，５３…第１，第２のセル
５４，５５…峰
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば積層セラミックコンデンサや積層インダクタのようなセラミック電子部品の製造方法に関し、より詳細には、グラビア印刷により導体やセラミックスが形成されるセラミック電子部品の製造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、印刷方法の一種としてグラビア印刷法が広く用いられている。下記の特許文献１には、セラミック電子部品の製造に際し、セラミックグリーンシート上にグラビア印刷法により導電ペーストを印刷する方法が開示されている。
【０００３】
特許文献１に記載の製造方法では、グラビア版胴の表面に、図１２に示すグラビア印刷用版１０１が形成されている。グラビア印刷用版１０１は、枠状凹部１０１ａを有する。枠状凹部１０１ａの外周縁は、印刷により形成される電極の外周縁に合致するように外周縁が直線化されている。枠状凹部１０１ａに囲まれている領域に複数の凹部１０１ｂが配置されている。複数の凹部１０１ｂは版の表面と同じ高さの峰１０１ｃにより隔てられている。峰１０１ｃが枠状凹部１０１ａ内に延びるように峰１０１ｃに延長部分１０１ｄが設けられている。延長部分１０１ｄの先端は枠状凹部１０１ａには至っていない。
【０００４】
特許文献１に記載の製造方法では、上記グラビア印刷用版１０１を用いることにより、べた塗りの１つの図形、すなわち電極形状が、その外周縁が目的とする輪郭に正確に合致するように印刷され得る。
【０００５】
【特許文献１】
特開平６−３１６１７４号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献１に記載のグラビア印刷用版１０１を用いた製造方法では、コイル導体のような複雑な形状の導体パターンやセラミックパターンを高精度に印刷することができなかった。すなわち、印刷方向と平行な方向が長さ方向である図形部分や、印刷方向と直交する方向が長さ方向である図形部分を有するような複雑な印刷図形の場合には、上記各図形部分において導電ペーストの塗布厚み、表面の平滑性のばらつきあるいは端縁における導電ペーストのかすれなどが生じがちであった。そのため、得られた電子部品の電気的特性がばらついたり、構造欠陥が生じたりすることがあった。
【０００７】
また、上記特許文献１に記載のグラビア印刷用版１０１では、導電ペーストが充填される凹部の深さが均一であるため、印刷方向と平行な方向が長さ方向である図形部分及び印刷方向と直交する方向が長さ方向である図形部分とで、導電ペーストの膜厚を異ならせたりすることができなかった。従って、特許文献１に記載のグラビア印刷用版１０１は、様々な導体パターンの印刷に用いられ得るものではなかった。
【０００８】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、複雑な図形であってもペーストを高精度にグラビア印刷することを可能とする工程を備えたセラミック電子部品の製造方法並びにそのような印刷方法に用いられるグラビア印刷用版を提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、複雑な形状の図形を高精度に印刷し得るだけでなく、部分的に厚みが異なる導体やセラミックス部分を容易にかつ高精度に形成し得る工程を備えたセラミック電子部品の製造方法及び該製造方法に用いられるグラビア印刷用版を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本願の第１の発明は、導電ペーストのグラビア印刷により形成された導体を有するセラミック電子部品の製造方法であって、セラミックグリーンシートを用意する工程と、前記セラミックグリーンシート上に導電ペーストを、所定の図形となるようにグラビア印刷する工程とを備え、前記所定の図形が印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とを有し、前記グラビア印刷にあたり、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルと、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセルとを有し、第１のセルと第２のセルの形状が異なっているグラビア印刷用版を用いることを特徴とする、セラミック電子部品の製造方法である。
【００１１】
第１の発明のある特定の局面では、前記複数の第１のセルは、前記複数の第２のセルよりも印刷方向の導電ペーストの流動性が良くなるような形状とされている。
【００１２】
第１の発明の別の特定の局面では、前記複数の第１のセルは少なくとも印刷方向において連なっており、かつ、前記複数の第２のセルは独立している。
第２の発明は、導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストのグラビア印刷により形成された導体及び段差解消用セラミック部分を有するセラミック電子部品の製造方法であって、セラミックグリーンシートを用意する工程と、前記セラミックグリーンシート上に導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストを、所定の図形となるようにグラビア印刷する工程とを備え、前記段差解消用セラミックペーストによる図形が、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とを有し、前記グラビア印刷にあたり、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルと、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセルとを有し、第１のセルと第２のセルの形状が異なっているグラビア印刷用版を用いることを特徴とする、セラミック電子部品の製造方法である。
【００１３】
第２の発明のある特定の局面では、前記複数の第１のセルは少なくとも印刷方向において連なっており、かつ、前記複数の第２のセルは独立しているか、または、セルを囲む峰のうち、印刷開始端の内側に配置されており、印刷開始端に最も近い印刷方向と直交する方向に延びる峰が印刷方向と直交する方向に連なっている。
【００１４】
第１，第２の発明の他の特定の局面では、前記第１のセルの深さと、第２のセルの深さとが異なっている。
第１，第２の発明の他の特定の局面では、前記図形中における第１，第２のセルの深さが均一であり、第１のセルと第２のセルとで峰の幅及び／または峰のピッチが異なっている。
【００１５】
第３の発明は、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とを有する図形をグラビア印刷するためのグラビア印刷用版であって、前記グラビア印刷にあたり、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルと、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセルとを有し、第１のセルと第２のセルの形状が異なっていることを特徴とする、グラビア印刷用版である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１７】
（第１の実施例）
第１の実施例では、図３に示す積層インダクタが製造される。
すなわち、図３に示すように、積層インダクタ１は、セラミック焼結体２と、セラミック焼結体２の両端面を覆うように形成された端子電極３，４とを有する。セラミック焼結体２は、図２に示されている複数枚のセラミックグリーンシート５〜８を積層して得られた積層体を焼成することにより構成されている。
【００１８】
セラミックグリーンシート６，７の上面には、それぞれ導電ペーストによりコイル状の導体９，１０が形成されている。また、セラミックグリーンシート５には、ビアホール電極５ａが形成されており、ビアホール電極５ａの一端は、コイル導体９の外側端に電気的に接続される。また、ビアホール電極５ａの他端は図３に示した端子電極３に電気的に接続されている。コイル導体９の内側端とコイル導体１０の内側端とは、セラミックグリーンシート６に形成されたビアホール電極（図示せず）により電気的に接続されている。また、コイル導体１０の外側端は、セラミックグリーンシート７に形成されたビアホール電極７ａに接続されている。ビアホール電極７ａは、セラミックグリーンシート８に形成されたビアホール電極８ａの一端に重なり合うように形成されている。ビアホール電極８ａの他端が端子電極４（図３）に電気的に接続されている。
【００１９】
ところで、上記コイル状の導体９，１０が形成されたセラミックグリーンシート６，７を得るにあたって、本実施例では、セラミックグリーンシート６，７上に導体９，１０がグラビア印刷法によりそれぞれ印刷される。
【００２０】
前述したように、従来のグラビア印刷法を用いた場合、コイル導体９，１０のような複雑な形状の図形を印刷しようとした場合、高精度に印刷を行うことができなかった。
【００２１】
これに対して、本実施例では、以下に示すグラビア印刷用版が用いられるため、コイル導体９，１０が高精度に印刷される。
すなわち、本実施例では、図４に斜視図で示すグラビア版胴１１が用いられる。グラビア版胴１１は略円筒状の形状を有し、その側面に、グラビア印刷用版１２が構成されている。このグラビア版胴１１を用いてマザーのセラミックグリーンシート上に導電ペーストが印刷される。それによって、図５に平面図に示すように、マザーのセラミックグリーンシート１３上に多数のコイル導体９が印刷される。コイル導体１０についても同様にして印刷される。
【００２２】
上記グラビア印刷用版１２の詳細を図１（ａ），（ｂ）に模式的な平面図で示す。
グラビア印刷用版１２は、コイル導体９に応じた印刷図形となるように導電ペーストを印刷するように構成されている。
【００２３】
図１（ａ）において、矢印Ａが印刷方向を示す。すなわち、導電ペーストが充填される複数の凹部を有するグラビア印刷用版１２は、矢印Ａ方向に沿って導電ペーストをマザーのセラミックグリーンシート上に印刷するように構成されている。従って、図５に示されている印刷図形、すなわちコイル導体９は、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分９ａと、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分９ｂとを有する。図１（ａ）に示すように、これに応じて、グラビア印刷用版１２は、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分９ａを印刷するための第１の版部分１２Ａと、第２の図形部分９ｂを印刷するための第２の版部分１２Ｂとを有する。
【００２４】
なお、コイル導体９は、コーナー部で隣接し合っている導体部分同士が９０度の角度をなすように連ねられたスパイラル状の形状を有する。従って、コイル導体９は、複数の第１の図形部分と、複数の第２の図形部分とを有する。よって、グラビア印刷用版１２も、複数の第１の版部分１２Ａ及び複数の第２の版部分１２Ｂを有する。
【００２５】
第１の版部分１２Ａは、複数の第１のセル２１を有し、第２の版部分１２Ｂは、複数の第２のセル２２を有する。
図１（ａ）では、導電ペーストが充填されるセル２１，２２がハッチングを付されて示されている。図１から明らかなように、複数の第１のセル２１同士が連なっていることがわかる。これに対して、複数の第２のセル２２は独立に設けられている。
【００２６】
グラビア印刷法で全てのセルを同じ形状として印刷を行った場合、印刷方向に平行な図形部分と、印刷方向と直交する方向の図形部分とでは、塗布された導電ペーストの厚み及び表面の凹凸状態が異なることが本願発明者により確かめられた。すなわち、上記第１の図形部分の印刷後の導電ペーストの厚みは、第２の図形部分の導電ペーストの厚みよりも厚くなり、また第２の図形部分の中でも、印刷開始側の部分における印刷後の導電ペーストの厚みが部分的に薄くなることがあった。また、導電ペーストの粘度によっては、第２の図形部分の印刷後の導電ペーストの厚みが、第１の図形部分の導電ペーストの厚みよりも薄くなることもあった。
【００２７】
本実施例では、第１の図形部分の印刷後の導電ペーストの厚みが、第２の図形部分の導電ペーストの厚みよりも薄くならないように、第１のセル２１及び第２のセル２２が構成されている。
【００２８】
すなわち、本実施例では、第１の図形部分を印刷する第１の版部分１２Ａでは、複数の第１のセル２１同士が連なるように構成されている。拡大図である図１（ｂ）に示すように、１つのセル２１ａは、例えば、４本の直線状の峰２１ｂ〜２１ｅに囲まれている。また、峰同士が、ギャップ２１ｉを隔てて配置されている。なお、本明細書において、峰とは、セルを構成している凹部間の部分を有し、峰の高さは印刷用版の表面と同じ高さである。すなわち、印刷用版に凹部を形成することにより、凹部間に峰が構成される。
【００２９】
また、峰同士が、ギャップ２１ｉを隔てて配置されている。例えば、印刷方向に直交する峰２１ｂの一端は、印刷方向に平行に延びる峰２１ｄの長さ方向中央に対してギャップ２１ｉを隔てて配置されている。また、峰２１ｂの他端は、印刷方向に平行に延びる峰２１ｆの長さ方向中央に同じくギャップを隔てて配置されている。他方、峰２１ｄは、印刷方向と平行な方向に延びている。峰２１ｄの両端は、印刷方向と直交する方向に延びる峰２１ｅ及び峰２１ｇの長さ方向中央に対してギャップを隔てて配置されている。このように、印刷方向に直交する方向に延びる峰及び印刷方向に平行な方向に延びる峰は、その両端が、印刷方向に平行に延びる峰または印刷方向に直交する方向に延びる峰の長さ方向中央に対してギャップを隔てて配置されている。
【００３０】
もっとも、峰２１ｈのように、印刷方向に直交する方向に延びる峰であって、外側端が第１の図形部分の印刷方向と平行に延びる端縁側に延ばされている峰では、外側端の外側には印刷方向と平行に延びる峰は存在しない。なお、峰２１ｈの外側端が印刷図形から外側に飛び出さないように、峰２１ｈの長さ寸法は、他の峰に比べて短くされている。
【００３１】
本実施例では、上記ギャップは全て同じ大きさとされており、かつ図１では逆転しているように図示されているが、実際には、ギャップは、峰の幅方向寸法よりも大きくされている。
【００３２】
上記のように、峰がギャップを隔てて配置されているため、複数のセル２１同士が連なっている。よって、第１の図形部分を印刷する際には、導電ペーストが印刷方向に沿って流れ易くされている。
【００３３】
これに対して、第２の図形部分を印刷するための複数のセル２２では、各セルが独立している。すなわち、各セルの周囲が峰で囲まれている。
また、図１（ｃ）に拡大して示すように、印刷開始端側においては、印刷方向と直交する方向に延びる峰２２ｂが印刷方向と直交する方向に連ねられている。峰２２ｂは、第２の図形部分において、印刷方向開始端側に位置するが、該峰２２ｂよりも印刷開始端側に導電ペーストが付与される凹部２２ｃが設けられている。すなわち、印刷方向と平行な方向に延びる峰部分２２ｄが、峰２２ｂを突き抜けて、印刷方向開始端側に延ばされている。
【００３４】
従って、峰２２ｂは、印刷開始端の内側に配置されており、かつ印刷開始端に最も近い、印刷方向と直交している峰である。
なお、印刷方向と直交している他の峰２２ｅ，２２ｆも同様に印刷方向と直交する方向に連なっている。
【００３５】
本実施例では、第１の図形部分の印刷に際しては、複数の第１のセル２１が連続しているため、導電ペーストが印刷方向に沿って流れ易くなり、従って、第１の図形部分の印刷後の導電ペーストを均一にすることができる。
【００３６】
加えて、導電ペーストが印刷方向に沿って流れ易いため、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形の両端における白点の発生を抑制することができる。なお、白点とは、印刷後導電ペーストが付着していない部分をいうものとする。
【００３７】
他方、第２の図形部分の印刷に際しては、各セルが独立しているため、印刷方向後方へ一定の割合で導電ペーストが流れる。従って、導電ペーストの塗布厚みの均一化を図ることができる。加えて、上記峰２２ｂが印刷方向と直交する方向に連ねられており、従って導電ペーストが連ねられた峰２２ｂにより一端せき止められる。よって、印刷開始端側の導電ペーストの厚みを十分な大きさとすることができる。そのため、第２の図形部分における印刷開始端側の端縁の直線性の改善及び内部の白点の発生を抑制することができる。
【００３８】
また、第１の図形部分と第２の図形部分との連結部分では、図１の矢印Ｂで示すように、第１のセル２１に対し、第２のセル２２が連ねられている。従って、第１，第２の図形部分の連結部分における白点の発生も生じ難い。
【００３９】
図６は、本発明の第２の実施例において印刷されるセラミックペーストの断面形状を説明するための模式的正面断面図である。第２の実施例では、積層セラミックコンデンサが製造される。
【００４０】
本実施例では、図６に示すマザーのセラミックグリーンシート３１が用意される。次に、マザーのセラミックグリーンシート３１上に、内部電極を構成するために導電ペースト３２が印刷される。導電ペースト３２の印刷は、本発明に従ってグラビア印刷法で行ってもよく、あるいはスクリーン印刷により行われてもよい。後述の段差解消用セラミックペーストの印刷がグラビア印刷により行われるため、好ましくは、導電ペースト３２はグラビア印刷で印刷されることが望ましい。すなわち、同じ印刷方法を採用することにより、印刷工程の簡略化及び装置の共用化などを図ることができる。
【００４１】
図６に示すように導電ペースト３２が印刷された後に、導電ペースト３２が印刷されている領域以外の領域に段差解消用セラミックペースト３３が印刷される。図７に平面図で示すように、マザーのセラミックグリーンシート３１の上面においては、上記導電ペースト３２からなる内部電極パターンが印刷され、該導電ペースト３２が印刷されていない領域に、段差解消用セラミックペースト３３が印刷されている。図７から明らかなように、段差解消用セラミックペースト３３は、格子状に印刷されている。
【００４２】
本実施例では、このように段差解消用セラミックペースト３３が印刷された後、複数のセラミックグリーンシート３１が積層され、プレスされることによってマザーの積層体が得られる。しかる後、周知の積層セラミックコンデンサの製造方法に従って、マザーの積層体が個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体に切断され、次に焼成され、焼結体が得られる。このようにして得られた個々の焼結体の両端面に外部電極が形成されて、積層セラミックコンデンサが得られる。
【００４３】
ところで、上記段差解消用セラミックペースト３３を形成するのは、上記マザーの積層体や個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体において、導電ペースト３２が重なり合っている部分とその他の部分の厚みの差を低減するためである。従って、段差解消用セラミックペースト３３は、導電ペースト３２と同じ厚みに印刷され、かつ導電ペースト３２が形成されていない領域に高精度に印刷される必要がある。
【００４４】
本実施例では、上記段差解消用セラミックペースト３３の印刷が、第１の実施例と同様に本発明に従って構成されたグラビア印刷用版を用いて行われる。
図７に示すように、段差解消用セラミックペースト３３は、格子状に印刷されるため、言い換えれば印刷方向を矢印Ｃ方向とした場合、印刷方向が長さ方向である第１の図形部分３３Ａと、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分３３Ｂとを有することになる。
【００４５】
本実施例では、上記段差解消用セラミックペースト３３の平面形状に応じて、図８にその一部を模式的平面図で示すグラビア印刷用版４１が用いられる。なお、図９は図８の二点鎖線Ｘで囲まれた部分の拡大平面図である。
【００４６】
図８において、矢印Ｄが印刷方向を示す。印刷用版４１は、上記第１の図形部分３３Ａを印刷するための第１の版部分４１Ａと、第２の図形部分３３Ｂを印刷するための第２の版部分４１Ｂとを有する。
【００４７】
各版部分４１Ａ，４１Ｂは、それぞれ、複数のセル４２，４３を有する。
図８及び図９に示されているように、版部分４１Ａは、第１の実施例における第１の図形部分を印刷するための版部分と同様に構成されており、第２の版部分４１Ｂは、第１の実施例における第２の版部分と同様に構成されている。従って、本実施例においても、印刷方向と平行な方向に延びる第１の図形部分においては、複数のセル４２が連なっているため、印刷方向にセラミックペーストが流れ易い。従って、印刷方向が長さ方向である第１の図形部分において、ペーストの厚みを均一化でき、かつ白点の発生を抑制することができる。また、複数のセル４３が独立しており、かつ印刷開始端の内側に配置されており、かつ開始端に最も近い峰４３ｂが印刷方向と直交する方向に連なっているため、第２の図形部分におけるペーストの厚みのばらつきを低減することができるとともに、印刷開始端側におけるかすれを抑制することができる。
【００４８】
なお、図１０は、第２の実施例で用いられたグラビア印刷用版の変形例を説明するための模式的平面図である。
図１０に示されているグラビア印刷用版４１Ｃでは、図８に示したグラビア印刷用版４１と同様に、第１の版部分４１Ｄと、第２の版部分４１Ｂとを有する。第１の版部分４１Ｄが、図８に示した第１の版部分４１Ａと異なることを除いては、グラビア印刷用版４１Ｃは、グラビア印刷用版４１と同様に構成されている。
【００４９】
すなわち、図１０に示されているように、第１の版部分４１Ｄでは、全ての第１のセルが連なっておらず、印刷方向においてのみ隣り合うセル４２同士が連なっている。言い換えれば、第１の版部分４１Ｄにおいては、印刷方向に延びる峰４２ａが印刷方向に沿って直線上に延ばされており、複数の峰４２ａ間において、第１のセル同士が印刷方向において連なっているが、峰４２ａの両側のセルは連なってはいない。
【００５０】
上記のように、第１の版部分４１Ｄでは、印刷方向において第１のセル４２同士が連なっている限り、第２の実施例と同様に、第１の図形部分において導電ペーストが印刷方向に円滑に流れ、第１の図形部分を高精度に印刷することができる。
【００５１】
また、本発明においては、印刷方向が長さ方向である第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルは、少なくとも印刷方向において連なっておればよい。
【００５２】
図１１は、本発明の第３の実施例で用いられるグラビア印刷用版を説明するための模式的平面図である。第３の実施例のグラビア印刷用版５１は、第２の実施例のグラビア印刷用版４１と同様に前述した段差解消用セラミックペースト３３を印刷するために用いられる。
【００５３】
第３の実施例のグラビア印刷用版５１は、第１の図形部分３３Ａを印刷するための第１の版部分５１Ａと、第２の図形部分３３Ｂを印刷するための第２の版部分５１Ｂとを有する。
【００５４】
第１の版部分５１Ａは、第２の実施例のグラビア印刷用版４１の第１の版部分４１Ａと同様に構成されている。異なるところは、第２の版部分５１Ｂにおいて、複数のセル５３が独立していないことにある。
【００５５】
すなわち、第２の版部分５１Ｂでは、複数のセル５３は、第１の版部分５１Ａにおける複数のセル５２と同様に互いに連なるように構成されている。もっとも、本実施例では、第２の版部分５１Ｂの印刷開始端側においては、印刷方向と直交する方向に延びる峰５４が印刷方向と直交する方向に連ねられている。すなわち、第２の図形部分の印刷開始端の内側に配置されており、但し、印刷開始端に最も近い、印刷方向と直交する方向に延びる峰５４が、印刷方向と直交する方向に連ねられている。また、印刷方向と平行に延びる峰５５が印刷開始端側に峰５４を越えて突き抜けている。従って、複数の峰５５間において、峰５４の印刷開始端側に複数の凹部５６が配置されている。
【００５６】
本実施例で、第２の図形部分の印刷に際し、複数の峰５４が印刷方向と直交する方向に連ねられているため、ペーストが峰５４によりせき止められる。従って、印刷開始端側のペーストの厚みが薄くなりがちである第２の図形部分において、印刷開始端側のぺーストの厚みを十分な大きさとすることができる。
【００５７】
よって、第３の実施例においても、第２の図形部分の印刷開始端側の印刷厚みを十分な大きさとすることができ、印刷開始端側におけるかすれを抑制することができる。
【００５８】
なお、第３の実施例では、セラミックペーストの全体の膜厚を均一にするために、セルの開口面積率、すなわちペーストが充填される部分の各版部分における面積の割合は、第１の版部分５１Ａでは５６％、第２の版部分５１ｂでは５０％とされている。このように、各版部分５１Ａ，５１Ｂにおける開口面積率を異ならせることにより、全体として均一な厚みの段差解消用セラミックペースト層を形成することができる。
【００５９】
なお、上記実施例では、導電ペーストがグラビア印刷された後に段差解消用セラミックペーストをグラビア印刷されていたが、逆の順序でこれらを印刷してもよい。
【００６０】
本発明では、上記のように、第１の版部分と、第２の版部分におけるセルの開口面積率、すなわち導電ペーストが充填されている凹部の面積の合計の各版部分の面積に対する割合を異ならせることにより、第１の図形部分と第２の図形部分の導電ペーストの印刷厚みを調整することができる。すなわち、第１，第２の図形部分の膜厚を等しくするように、上記セルの開口面積率を異ならせることにより、全体として均一な膜厚の導体を容易に形成することができる。
【００６１】
また、第１〜第３の実施例では、第１，第２の図形部分の膜厚を均一とするように第１，第２の版部分が構成されていたが、本発明においては、第１の図形部分と第２の図形部分のセルの凹部の深さを異ならせ、それによって第１の図形部分の印刷厚みと、第２の図形部分における印刷厚みとを異ならせてもよい。すなわち、第１のセルの凹部の深さと、第２のセルの凹部の深さとを異ならせることにより、容易に部分的に膜厚の異なる導体膜やペースト膜を形成することができる。
【００６２】
また、第１，第２のセルの寸法を等しくし、第１のセルと第２のセルの形状及び／または、ピッチを異ならせることによっても、第１，第２の図形部分の印刷厚みを異ならせてもよい。
【００６３】
このように、本発明によれば、第１のセル及び第２のセルを目的とする印刷図形及び印刷厚みに応じて制御することより、複雑な図形や部分的に厚みが異なる導体膜若しくはペースト膜を容易に形成することができる。
【００６４】
また、第１の実施例では複数枚のセラミックグリーンシートが積層されているが、コイル導体が単層で構成される平面コイルにも本発明は適用され得る。
また、第１の実施例においては、印刷方向に平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とからなるコイル導体が形成されていた。これに対して、第１，第２の図形部分を連結する部分が印刷方向に対し、直交ではない所定の角度を有するコイル導体の場合、例えば連結部分が印刷方向と４５°の角度をなす方向に延びているテーパ状のパターンを有するコイル導体の場合には、その連結部分としては第１の図形部分に対応したセル形状を用いてもよいし、第２の図形部分に対応したセル形状を用いてもよい。この場合、所定の角度のパターンが印刷方向と印刷方向と直交する方向のどちらに近いかでセル形状を選択することが好ましい。
【００６５】
【発明の効果】
第１の発明に係るセラミック電子部品の製造方法では、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルと、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセルの形状が異なっているグラビア印刷用版が用いられるため、第１の図形部分及び第２の図形部分に応じて複数の第１，第２のセルの形状を調整することにより、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分及び印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分を第１，第２のセルの形状の制御により高精度に行うことが可能となる。
【００６６】
特に、複数の第１のセルが、複数の第２のセルよりも印刷方向の導電ペーストの流動性が高くなるような形状とされている場合には、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分における導電ペーストの厚みの均一化を果たすことができ、かつ白点やかすれの発生を効果的に抑制することができる。
【００６７】
特に、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルが少なくとも印刷方向において連なっている場合には、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分において、導電ペーストが容易に流れる。従って、印刷方向と平行な方向に延びる第１の図形部分における導電ペーストの厚みの均一化を果たすことができ、かつ白点やかすれの発生を抑制することができる。
【００６８】
まだ第２のセルは独立している場合、第２の図形部分においては、各セルに導電ペーストが充填されて、第２の図形部分の印刷が行われることになる。従って、第２の図形における印刷方向と平行な方向における印刷された導電ペーストの厚みのばらつきを低減することができる。また、複数の第２のセルが独立しているため、言い換えれば、各セルの印刷方向開始端側の峰が連なっているため、第２の図形部分の印刷開始端側においては、印刷方向と直交する方向に延びている峰部分が連なっているため、該峰部分により導電ペーストが一旦せき止められる。従って、第２の図形部分の印刷開始端側に導電ペーストが確実に付与され、印刷開始端側におけるかすれの発生を抑制することができる。
【００６９】
第２の発明に係るセラミック電子部品の製造方法では、セラミックグリーンシート上に導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストをグラビア印刷するにあたり、段差解消用セラミックペーストの印刷により形成される図形が、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とを有し、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルと、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセルの形状が異なっているため、該第１，第２のセルの形状を制御することにより、第１，第２の図形部分を高精度に印刷することができる。
【００７０】
また、複数の第１のセルが少なくとも印刷方向において連なっており、かつ複数の第２のセルが独立しているか、あるいは第２のセルを囲む峰のうち、印刷開始端の内側に配置されており、印刷開始端に最も近い印刷方向と直交する方向に延びる峰が印刷方向と直交する方向に連なっている場合には、第１の図形部分においては、印刷方向に段差解消用セラミックペーストが円滑に流れ、第１の図形部分におけるセラミックペーストの厚みの均一化を果たすことができる。また、白点やかすれの発生も抑制され得る。加えて、複数の第２のセルが独立しているか、あるいは上記第２の図形部分の印刷開始端側において、印刷方向と直交する方向に延びている峰部分が連なっている場合には、印刷開始端側において段差解消用セラミックペーストが一旦塞き止められる。従って、第２の図形部分の印刷開始端側に段差解消用セラミックペーストが確実に付与され、印刷開始端側におけるかすれの発生が抑制されるとともに、第２の図形部分における段差解消用セラミックペーストの印刷方向の厚みの均一化も果たすことが可能となる。
【００７１】
第１のセルの深さと、第２のセルの深さとが異なっている場合には、第１，第２の深さを制御することにより、第１，第２の印刷図形部分をより高精度に印刷することが可能となる。
【００７２】
さらに、第１，第２のセルの深さが均一であり、第１のセルと第２のセルとで、峰の幅及び／または峰のピッチが異なっている場合には、峰の幅及び／または峰のピッチを異ならせ方を制御することにより、同様に、第１，第２の図形部分を高精度に印刷することが可能となる。
【００７３】
本発明に係るグラビア印刷用版では、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルと、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセルの形状が異なっているため、第１，第２のセルの形状の異ならせ方を工夫することにより、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とを高精度に印刷することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、本発明の第１の実施例の製造方法で用いられるグラビア印刷用版の要部を示す模式的平面図及び（ｂ），（ｃ）はその一部を拡大して示す各部分切欠平面図。
【図２】第１の実施例で得られる積層インダクタに用いられるセラミックグリーンシート及びその上に形成される電極形状を説明するための分解斜視図。
【図３】第１の実施例で得られる積層インダクタを示す斜視図。
【図４】第１の実施例で用いられるグラビア版胴を示す斜視図。
【図５】第１の実施例においてグラビア版胴に形成されたグラビア印刷用版を用いてマザーのセラミックグリーンシート上に印刷された導電ペーストパターンを示す平面図。
【図６】第２の実施例においてマザーのセラミックグリーンシート上に導電ペーストを印刷した後に、段差解消用セラミックペーストを印刷した状態を示す模式的正面断面図。
【図７】図６に示した積層体の平面図。
【図８】第２の実施例で用いられるグラビア印刷用版を示す模式的平面図。
【図９】図８に示したグラビア印刷用版の一部を拡大して示す模式的平面図。
【図１０】第２のグラビア印刷用版の変形例を示す模式的平面図。
【図１１】第３の実施例で用いられるグラビア印刷用版を示す部分切欠模式的平面図。
【図１２】従来のグラビア印刷法に用いられるグラビア印刷用版を示す平面図。
【符号の説明】
１…積層インダクタ
２…セラミック焼結体
３，４…端子電極
５〜８…セラミックグリーンシート
９，１０…導体
９ａ…第１の図形部分
９ｂ…第２の図形部分
１１…グラビア版胴
１２…グラビア印刷用版
１２Ａ…第１の版部分
１２Ｂ…第２の版部分
１３…マザーのセラミックグリーンシート
２１…第１のセル
２１ａ…セル
２１ｂ〜２１ｈ…峰
２１ｉ…ギャップ
２２…第２のセル
３１…マザーのセラミックグリーンシート
３２…導電ペースト
３３…段差解消用セラミックペースト
３３Ａ…第１の図形部分
３３Ｂ…第２の図形部分
４１…グラビア印刷用版
４１Ａ…第１の版部分
４１Ｂ…第２の版部分
４１Ｃ…グラビア印刷用版
４１Ｄ…第１の版部分
４２…第１のセル
４２ａ…峰
４３…第２のセル
５１…グラビア印刷用版
５１Ａ…第１の版部分
５１Ｂ…第２の版部分
５２，５３…第１，第２のセル
５４，５５…峰
Claims (8)
- 導電ペーストのグラビア印刷により形成された導体を有するセラミック電子部品の製造方法であって、
セラミックグリーンシートを用意する工程と、
前記セラミックグリーンシート上に導電ペーストを、所定の図形となるようにグラビア印刷する工程とを備え、
前記所定の図形が印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とを有し、
前記グラビア印刷にあたり、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルと、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセルとを有し、第１のセルと第２のセルの形状が異なっているグラビア印刷用版を用いることを特徴とする、セラミック電子部品の製造方法。 - 前記複数の第１のセルは、前記複数の第２のセルよりも印刷方向の導電ペーストの流動性が良くなるような形状であることを特徴とする、セラミック電子部品の製造方法。
- 前記複数の第１のセルは少なくとも印刷方向において連なっており、かつ、前記複数の第２のセルは独立していることを特徴とする、請求項１または２に記載のセラミック電子部品の製造方法。
- 導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストのグラビア印刷により形成された導体及び段差解消用セラミック部分を有するセラミック電子部品の製造方法であって、
セラミックグリーンシートを用意する工程と、
前記セラミックグリーンシート上に導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストを、所定の図形となるようにグラビア印刷する工程とを備え、
前記段差解消用セラミックペーストによる図形が、印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とを有し、
前記グラビア印刷にあたり、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルと、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセルとを有し、第１のセルと第２のセルの形状が異なっているグラビア印刷用版を用いることを特徴とする、セラミック電子部品の製造方法。 - 前記複数の第１のセルは少なくとも印刷方向において連なっており、かつ、前記複数の第２のセルは独立しているか、または、セルを囲む峰のうち、印刷開始端の内側に配置されており、印刷開始端に最も近い印刷方向と直交する方向に延びる峰が印刷方向と直交する方向に連なっていることを特徴とする、請求項４に記載のセラミック電子部品の製造方法。
- 前記第１のセルの深さと、第２のセルの深さとが異なっている、請求項１〜５のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造方法。
- 前記図形中における第１，第２のセルの深さが均一であり、第１のセルと第２のセルとで峰の幅及び／または峰のピッチが異なっている、請求項１〜６のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造方法。
- 印刷方向と平行な方向が長さ方向である第１の図形部分と、印刷方向と直交する方向が長さ方向である第２の図形部分とを有する図形をグラビア印刷するためのグラビア印刷用版であって、
前記グラビア印刷にあたり、第１の図形部分を印刷するための複数の第１のセルと、第２の図形部分を印刷するための複数の第２のセルとを有し、第１のセルと第２のセルの形状が異なっていることを特徴とする、グラビア印刷用版。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002377623A JP4222024B2 (ja) | 2002-12-26 | 2002-12-26 | セラミック電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002377623A JP4222024B2 (ja) | 2002-12-26 | 2002-12-26 | セラミック電子部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004207641A true JP2004207641A (ja) | 2004-07-22 |
| JP4222024B2 JP4222024B2 (ja) | 2009-02-12 |
Family
ID=32814743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002377623A Expired - Fee Related JP4222024B2 (ja) | 2002-12-26 | 2002-12-26 | セラミック電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4222024B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008529060A (ja) * | 2005-01-20 | 2008-07-31 | ジョンソン・アンド・ジョンソン・ビジョン・ケア・インコーポレイテッド | コンタクトレンズの着色方法 |
| JP2012071533A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Tdk Corp | 印刷用凹版及び積層型電子部品の製造方法 |
| JP2013203025A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Toppan Printing Co Ltd | 印刷方法 |
| CN109910424A (zh) * | 2015-12-21 | 2019-06-21 | 株式会社村田制作所 | 印刷版、具备该印刷版的印刷装置及层叠陶瓷电子元件的制造方法 |
-
2002
- 2002-12-26 JP JP2002377623A patent/JP4222024B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008529060A (ja) * | 2005-01-20 | 2008-07-31 | ジョンソン・アンド・ジョンソン・ビジョン・ケア・インコーポレイテッド | コンタクトレンズの着色方法 |
| JP2012071533A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Tdk Corp | 印刷用凹版及び積層型電子部品の製造方法 |
| JP2013203025A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Toppan Printing Co Ltd | 印刷方法 |
| CN109910424A (zh) * | 2015-12-21 | 2019-06-21 | 株式会社村田制作所 | 印刷版、具备该印刷版的印刷装置及层叠陶瓷电子元件的制造方法 |
| US10414190B2 (en) | 2015-12-21 | 2019-09-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Printing plate, printing device including printing plate and method for manufacturing laminated ceramic electronic component |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4222024B2 (ja) | 2009-02-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7950326B2 (en) | Photogravure press and method for manufacturing multilayer ceramic electronic component | |
| WO2007080680A1 (ja) | インダクタの製造方法 | |
| JP2004330778A (ja) | グラビア印刷機および積層セラミック電子部品の製造方法 | |
| JP3903757B2 (ja) | チップ状電子部品の製造方法およびチップ状電子部品 | |
| JP2005251893A (ja) | 積層セラミック電子部品、回路基板等、および当該部品、基板等の製造に供せられるセラミックグリーンシートの製造方法 | |
| JP2853467B2 (ja) | 積層ビーズインダクタの製造方法 | |
| JP2004207641A (ja) | セラミック電子部品の製造方法 | |
| JP2009239204A (ja) | 電子部品の製造方法 | |
| JP2009170599A (ja) | 電子部品の製造方法 | |
| JP2007266350A (ja) | 積層電子部品の製造方法 | |
| JP3604040B2 (ja) | セラミック積層電子部品及びその製造方法 | |
| JP2005327999A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
| JP3873728B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
| JP3252763B2 (ja) | 電子部品の製造装置 | |
| JP2009059789A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
| JP2561643B2 (ja) | セラミック電子部品用グリーンシートのレーザ加工法および積層セラミック電子部品の製造方法 | |
| JP4543764B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
| JP2002100520A (ja) | 積層インダクタ及びそのインダクタンス値の調整方法 | |
| JP3298575B2 (ja) | セラミック電子部品とその製造方法 | |
| JPH1197288A (ja) | 積層セラミック電子部品及びその製造方法 | |
| US10414190B2 (en) | Printing plate, printing device including printing plate and method for manufacturing laminated ceramic electronic component | |
| JP2005101471A (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
| JP2001230552A (ja) | 回路基板及びその製造方法 | |
| JP3684290B2 (ja) | 積層電子部品とその製造方法 | |
| JP2005183690A (ja) | セラミック基板の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051012 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080805 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081003 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081028 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081110 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4222024 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111128 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111128 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121128 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121128 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131128 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |