JP2004207290A - 半導体装置の製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】多品種の半導体パッケージを容易に製造することにある。
【解決手段】半導体装置の製造装置は、半導体チップ40を封止する上型14及び下型16からなる成形型12を有するモールド装置10を含み、上型14及び下型16には、互いに対向する表面に、それぞれ着脱可能なプレート20,30が設けられ、それぞれのプレート20,30は貫通穴22,32を有し、上型14又は下型16の表面と、貫通穴22,32の内面とによって、キャビティ54の凹部が形成されてなる。
【選択図】 図3
【解決手段】半導体装置の製造装置は、半導体チップ40を封止する上型14及び下型16からなる成形型12を有するモールド装置10を含み、上型14及び下型16には、互いに対向する表面に、それぞれ着脱可能なプレート20,30が設けられ、それぞれのプレート20,30は貫通穴22,32を有し、上型14又は下型16の表面と、貫通穴22,32の内面とによって、キャビティ54の凹部が形成されてなる。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法及び製造装置に関する。
【0002】
【発明の背景】
半導体チップの封止工程を、上金型及び下金型からなる成形金型を使用して行うトランスファモールドが知られている。成形金型には、キャビティとなる凹部を有するキャビティブロックが設けられているが、従来、キャビティブロックは成形金型に固定されており、それのみで交換できるものは少なかった。そのため、品種の異なるパッケージを生産するときには、成形金型の全体を作成又は交換する必要があった。あるいは、キャビティブロックを交換できる場合であっても、キャビティブロックに、キャビティ及びランナなどの各種凹部やエジェクタピンなどが形成されているため、成形金型の全体を作成又は交換することと手間が変わらなかった。
【0003】
本発明の目的は、多品種の半導体パッケージを容易に製造することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
(1)本発明に係る半導体装置の製造装置は、半導体チップを封止する上型及び下型からなる成形型を有するモールド装置を含み、
前記上型及び下型には、互いに対向する表面に、それぞれ着脱可能なプレートが設けられ、
前記それぞれのプレートは貫通穴を有し、
前記上型又は下型の表面と、前記貫通穴の内面とによって、キャビティの凹部が形成されてなる。本発明によれば、上型及び下型には、それぞれ着脱可能なプレートが設けられ、プレートの一部がキャビティの凹部を構成している。これによって、品種の異なるパッケージを製造する場合でも、プレートを交換することで対応できるので取り扱いに優れる。また、プレートに貫通穴を形成することでキャビティを形成できるので、作成が簡単かつ短時間に行える。したがって、多品種の半導体パッケージを容易に製造することができる。
(2)この半導体装置の製造装置において、
前記それぞれのプレートには、封止材の通路となる凹部が形成されてもよい。
(3)この半導体装置の製造装置において、
前記上型及び下型の少なくともいずれか一方には、表面に開口する穴が形成され、前記穴内に、前記キャビティに出し入れ自在なピンが挿通されてもよい。これによれば、ピン及びピンの穴は上型及び下型の少なくとも一方に設けるので、プレートの構成を簡単にすることができる。
(4)この半導体装置の製造装置において、
前記上型及び下型の少なくともいずれか一方には、封止材を供給するための供給口が形成されてもよい。
(5)この半導体装置の製造装置において、
前記それぞれのプレートは、ネジによって前記上型又は下型に着脱可能になっていてもよい。これによれば、プレートの取り外しが容易になる。
(6)本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体チップを上型及び下型によって封止するモールド工程を含み、
前記上型及び下型には、互いに対向する表面に、それぞれ着脱可能なプレートが設けられ、
前記それぞれのプレートは貫通穴を有し、
前記上型又は下型の表面と、前記貫通穴の内面とによって、キャビティの凹部が形成され、
前記上型及び下型を閉じて、前記キャビティ内に前記半導体チップを配置し、前記キャビティに封止材を注入することによって、前記半導体チップを封止する。本発明によれば、上型及び下型には、それぞれ着脱可能なプレートが設けられ、プレートの一部がキャビティの凹部を構成している。これによって、品種の異なるパッケージを製造する場合でも、プレートを交換することで対応できるので取り扱いに優れる。また、プレートに貫通穴を形成することでキャビティを形成できるので、作成が簡単かつ短時間に行える。したがって、多品種の半導体パッケージを容易に製造することができる。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1及び図2は、本実施の形態に係る半導体装置の製造装置を説明する図である。図3〜図6は、本実施の形態に係る半導体装置の製造方法及び製造装置を説明する図であり、図1に示す2点鎖線部分を拡大した図である。
【0006】
本実施の形態に係る半導体装置の製造装置は、モールド装置10を含む。モールド装置10は、半導体チップ40を封止する。半導体チップ40を樹脂封止してもよい。本実施の形態では、一例として、リードフレーム42に搭載された半導体チップ40をモールド成形する(図3参照)。変形例として、基板に搭載された半導体チップ40をモールド成形してもよい。
【0007】
モールド装置10は、トランスファモールドに使用される。モールド装置10は、半導体チップ40を封止するための成形型12を含む。モールド装置10は、リードフレーム42の供給から封止後の半導体装置の収納までのいずれかの工程を行うための装置をさらに含んでもよい。例えば、モールド装置10は、封止材を予備加熱するプリヒート装置(図示しない)や、成形型12のクリーニング装置(図示しない)をさらに含んでもよい。
【0008】
図1に示すように、成形型(例えば成形金型)12は、上型(例えば上金型)14及び下型(例えば下金型)16から構成されている。上型14及び下型16の両方を閉じることで形成される空間(キャビティ)に、封止材を注入することで半導体チップ40を封止する。成形型12には、ヒータ11が備えられてもよい。図1に示す例では、ヒータ11は、上型14及び下型16のそれぞれに備えられている。成形型12には、封止材を供給するための供給口(例えばポット)17が形成されている。供給口17は、上型14及び下型16(図1では下型16)のいずれに形成してもよい。供給口17内に封止材を配置して、加圧部品(例えばプランジャ)18によって封止材を加圧することで、封止材を供給できるようになっている。
【0009】
図1に示すように、上型14及び下型16には、互いに対向する表面に、それぞれ、プレート20,30が設けられている。詳しくは、上型14における下型16に対向する表面にプレート(第1のプレート)20が設けられ、下型16における上型14に対向する表面にプレート(第2のプレート)30が設けられている。プレート20,30は、上型14又は下型16から着脱可能(交換可能)になっている。例えば、プレート20,30は、図示しないネジによって、上型14又は下型16に着脱可能になっていてもよい。これによって、プレート20,30の取り外しが容易になる。その場合、プレート20,30は、ネジ固定のための穴(例えばプレートの端部に配置された穴31)を有する。プレート20,30と成形型12との固定は、その他の機械的手段によって達成してもよい。プレート20,30は、例えば、金属プレートであってもよいし、セラミックプレートであってもよいし、その材料は限定されない。
【0010】
図2には、プレートの平面図が示されている。図2に示されるプレート30は、下型16用である。プレート30は、少なくとも1つ(図2では複数)の貫通穴32を有する。貫通穴32の内部は、封止材のキャビティ54(図4参照)の一部(下部)となる。詳しくは、下型16の表面(上型14に対向する表面)と、貫通穴32の内面とによって、キャビティ54の凹部(キャビティ54の外形の一部)が形成されている。図3に示すように、貫通穴32の外形は、半導体チップ40の外形よりも大きく(例えば相似形状に大きく)形成されている。貫通穴32の内面には、対向する型(下型16のプレート30の場合には上型14)の方向に広がるテーパが付されてもよい。貫通穴32の外形は、製造する半導体装置の封止部の外形に応じて決定すればよい。プレート30をプレスして(打ち抜いて)形成すれば、凹部を形成するよりも簡単であるので、キャビティ54の形成が簡単になる。
【0011】
プレート30には、封止材の通路となる凹部34,36が形成されている。凹部34,36は、溝になっており、封止材の流路の一部(下部)を構成する。そして、プレート30には、封止材の供給口(例えばカル)38が形成されている。プレート30の供給口38は、貫通穴であり、下型16の供給口17と連通している。プレート30の1つの供給口38に、複数の貫通穴(キャビティ54を構成する貫通穴)32が対応してもよい。プレート30に1つの供給口38が形成され、下型16に1組の供給口17及び加圧部品18が形成されることで、シングルプランジャ型を構成してもよい。あるいは、プレート30に複数の供給口38が形成され、下型16に複数組の供給口17及び加圧部品18が形成されることで、マルチプランジャ型を構成してもよい。図2に示す例では、プレート30には、1つの供給口38から凹部36が複数の貫通穴32の方向に分岐して延びてなり、凹部34が凹部36から延びていずれかの貫通穴32に連続している。凹部36の内部は、封止材のランナ56(図4参照)の一部(下部)となり、凹部34の内部は、封止材のゲートの一部(下部)となってもよい。
【0012】
プレート30には、キャビティ54から空気又はガスを外部に送出すための図示しない凹部(溝)が形成されてもよい。複数の凹部(例えばエアベント)は、貫通穴32に連通して形成される。
【0013】
プレート30は、プレス(例えば打ち抜き)又は研削などで機械的に加工してもよいし、エッチングなどで化学的に加工してもよい。あるいは、ワイヤ放電又はレーザビームなどで加工してもよい。いずれにしても、プレートに貫通穴32及び凹部34,36を形成するので、上型14又は下型16に直接的に形成する場合に比べて、加工が簡単であり、短い納期で製造することができる。
【0014】
上型14用のプレート20は、下型16用のプレート30と同様の構成であってもよい。詳しくは、プレート20,30は、互いに面対称となる構成を有してもよい。すなわち、プレート20は、封止材のキャビティ54の一部(上部)となる貫通穴22、封止材の通路となる凹部、封止材の供給口17に連通する貫通穴28などが形成されてもよい。プレート20,30が対称構造になっていれば、それらを一括して製造することができるので、製造工程が簡単になる。あるいは、プレート20,30は、互いに異なる構造を有してもよい。例えば、プレート20には、下型16における封止材の供給口17に連通するに凹部が形成されてもよい。なお、プレート20,30の構成は、半導体装置の品種(例えば封止部の外形の大きさ)ごとに決定される。
【0015】
図3に示すように、下型16には、表面(上型14に対向する面)に開口する穴50が形成され、穴50内にキャビティに出し入れ自在なピン(例えばエジェクタピン)52が挿通されている。プレート30の貫通穴32内に、穴50及びピン52が露出している。そして、ピン52は、貫通穴32内に出し入れ自在になっている。図3に示すように、1つの貫通穴32に1つのピン52が配置されてもよいし、あるいは、複数のピン52が配置されてもよい。ピン52によって、封止後の半導体チップ40(詳しくは封止部60)を、下型16及びプレート30から取り出すことができる。また、ピン52及びその穴50が下型16に設けられているので、プレート30の構成を簡単にすることができる。すなわち、プレート30にピン52及びその穴50を設けずに済む。なお、変形例として、穴50及びピン52は、上型14に形成されてもよいし、上型14及び下型16の両方に形成されてもよい。
【0016】
本実施の形態に係る半導体装置の製造装置は、上述のように構成されており、以下にこの製造装置を使用した半導体装置の製造方法について説明する。
【0017】
図3に示すように、プレート20付きの上型14と、プレート30付きの下型16との間に、半導体チップ40を配置する。図3に示す例では、半導体チップ40は、リードフレーム42に搭載されている。半導体チップ40は、集積回路を内蔵したチップであり、電極41を有する(図7参照)。
【0018】
リードフレーム42は、長方形の外枠を有し、外枠の形状がリードフレーム42の形状になる。リードフレーム42がダイパッド44(図7参照)を有する場合、ダイパッド44上に半導体チップ40が搭載される。ダイパッド44は、吊りピンによって外枠に支持され、1つのリードフレーム42に、複数のダイパッド44が支持されてもよい。リードフレーム42は、各ダイパッド44に向けて延びる複数のリード46を有し、半導体チップ40は、ワイヤ48によってリード46に電気的に接続されている(図7参照)。
【0019】
図3に示すように、半導体チップ40がプレート20,30の貫通穴22,32内に配置されるように、リードフレーム42をセットする。リードフレーム42をセットする前に、上型14及び下型16をヒータ11によって加熱しておくことが好ましい。そして、図4に示すように、両方の型(上型14及び下型16)を閉じて、キャビティ54内に半導体チップ40を配置する。そして、下型16に設けられた供給口17から封止材(例えば樹脂)を供給する。詳しくは、図5に示すように、樹脂タブレットを下型16の供給口17から投入し、加圧部品18によって、樹脂を、ランナ56を通過して各キャビティ54に注入する。そして、キャビティ54に樹脂が充填された状態で数分間保持し、樹脂を硬化させる。その後、図6に示すように、下型16のピン52を上昇させて、リードフレーム42に設けられた封止部60を取り出す。封止部60は、キャビティ54の形状と同一形状に形成される。すなわち、封止部60の形状は、プレート20,30の貫通穴22,32の形状に対応して決定される。
【0020】
その後、必要に応じて、トリミング工程、フォーミング工程、マーキング工程などの所定の工程を経て、図7に示される半導体装置を製造することができる。そして、他の品種(例えば封止部の外形の大きさが異なる半導体装置)を製造する場合には、成形型12(詳しくは上型14及び下型16)は同じものを使用して、プレート20,30のみを交換し、再度、同一工程を繰り返せばよい。
【0021】
本実施の形態によれば、上型14及び下型16には、それぞれ着脱可能なプレート20,30が設けられ、プレート20,30の一部がキャビティ54の凹部を構成している。これによって、品種の異なるパッケージを製造する場合でも、プレート20,30を交換することで対応できるので取り扱いに優れる。また、プレート20,30に貫通穴22,32を形成することでキャビティ54を形成できるので、作成が簡単かつ短時間に行える。したがって、多品種の半導体パッケージを容易に製造することができる。
【0022】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造装置を説明する図である。
【図2】本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造装置を説明する図である。
【図3】本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法及び製造装置を説明する図である。
【図4】本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法及び製造装置を説明する図である。
【図5】本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法及び製造装置を説明する図である。
【図6】本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法及び製造装置を説明する図である。
【図7】本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法によって製造される半導体装置の一例を示す図である。
【符号の説明】
10 モールド装置、 12 成形型、 14 上型、 16 下型、 17 供給口、 20 プレート、 22 貫通穴、 30 プレート、 32 貫通穴、 34 凹部、 36 凹部、 40 半導体チップ、 42 リードフレーム、 50 穴、 52 ピン
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法及び製造装置に関する。
【0002】
【発明の背景】
半導体チップの封止工程を、上金型及び下金型からなる成形金型を使用して行うトランスファモールドが知られている。成形金型には、キャビティとなる凹部を有するキャビティブロックが設けられているが、従来、キャビティブロックは成形金型に固定されており、それのみで交換できるものは少なかった。そのため、品種の異なるパッケージを生産するときには、成形金型の全体を作成又は交換する必要があった。あるいは、キャビティブロックを交換できる場合であっても、キャビティブロックに、キャビティ及びランナなどの各種凹部やエジェクタピンなどが形成されているため、成形金型の全体を作成又は交換することと手間が変わらなかった。
【0003】
本発明の目的は、多品種の半導体パッケージを容易に製造することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
(1)本発明に係る半導体装置の製造装置は、半導体チップを封止する上型及び下型からなる成形型を有するモールド装置を含み、
前記上型及び下型には、互いに対向する表面に、それぞれ着脱可能なプレートが設けられ、
前記それぞれのプレートは貫通穴を有し、
前記上型又は下型の表面と、前記貫通穴の内面とによって、キャビティの凹部が形成されてなる。本発明によれば、上型及び下型には、それぞれ着脱可能なプレートが設けられ、プレートの一部がキャビティの凹部を構成している。これによって、品種の異なるパッケージを製造する場合でも、プレートを交換することで対応できるので取り扱いに優れる。また、プレートに貫通穴を形成することでキャビティを形成できるので、作成が簡単かつ短時間に行える。したがって、多品種の半導体パッケージを容易に製造することができる。
(2)この半導体装置の製造装置において、
前記それぞれのプレートには、封止材の通路となる凹部が形成されてもよい。
(3)この半導体装置の製造装置において、
前記上型及び下型の少なくともいずれか一方には、表面に開口する穴が形成され、前記穴内に、前記キャビティに出し入れ自在なピンが挿通されてもよい。これによれば、ピン及びピンの穴は上型及び下型の少なくとも一方に設けるので、プレートの構成を簡単にすることができる。
(4)この半導体装置の製造装置において、
前記上型及び下型の少なくともいずれか一方には、封止材を供給するための供給口が形成されてもよい。
(5)この半導体装置の製造装置において、
前記それぞれのプレートは、ネジによって前記上型又は下型に着脱可能になっていてもよい。これによれば、プレートの取り外しが容易になる。
(6)本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体チップを上型及び下型によって封止するモールド工程を含み、
前記上型及び下型には、互いに対向する表面に、それぞれ着脱可能なプレートが設けられ、
前記それぞれのプレートは貫通穴を有し、
前記上型又は下型の表面と、前記貫通穴の内面とによって、キャビティの凹部が形成され、
前記上型及び下型を閉じて、前記キャビティ内に前記半導体チップを配置し、前記キャビティに封止材を注入することによって、前記半導体チップを封止する。本発明によれば、上型及び下型には、それぞれ着脱可能なプレートが設けられ、プレートの一部がキャビティの凹部を構成している。これによって、品種の異なるパッケージを製造する場合でも、プレートを交換することで対応できるので取り扱いに優れる。また、プレートに貫通穴を形成することでキャビティを形成できるので、作成が簡単かつ短時間に行える。したがって、多品種の半導体パッケージを容易に製造することができる。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1及び図2は、本実施の形態に係る半導体装置の製造装置を説明する図である。図3〜図6は、本実施の形態に係る半導体装置の製造方法及び製造装置を説明する図であり、図1に示す2点鎖線部分を拡大した図である。
【0006】
本実施の形態に係る半導体装置の製造装置は、モールド装置10を含む。モールド装置10は、半導体チップ40を封止する。半導体チップ40を樹脂封止してもよい。本実施の形態では、一例として、リードフレーム42に搭載された半導体チップ40をモールド成形する(図3参照)。変形例として、基板に搭載された半導体チップ40をモールド成形してもよい。
【0007】
モールド装置10は、トランスファモールドに使用される。モールド装置10は、半導体チップ40を封止するための成形型12を含む。モールド装置10は、リードフレーム42の供給から封止後の半導体装置の収納までのいずれかの工程を行うための装置をさらに含んでもよい。例えば、モールド装置10は、封止材を予備加熱するプリヒート装置(図示しない)や、成形型12のクリーニング装置(図示しない)をさらに含んでもよい。
【0008】
図1に示すように、成形型(例えば成形金型)12は、上型(例えば上金型)14及び下型(例えば下金型)16から構成されている。上型14及び下型16の両方を閉じることで形成される空間(キャビティ)に、封止材を注入することで半導体チップ40を封止する。成形型12には、ヒータ11が備えられてもよい。図1に示す例では、ヒータ11は、上型14及び下型16のそれぞれに備えられている。成形型12には、封止材を供給するための供給口(例えばポット)17が形成されている。供給口17は、上型14及び下型16(図1では下型16)のいずれに形成してもよい。供給口17内に封止材を配置して、加圧部品(例えばプランジャ)18によって封止材を加圧することで、封止材を供給できるようになっている。
【0009】
図1に示すように、上型14及び下型16には、互いに対向する表面に、それぞれ、プレート20,30が設けられている。詳しくは、上型14における下型16に対向する表面にプレート(第1のプレート)20が設けられ、下型16における上型14に対向する表面にプレート(第2のプレート)30が設けられている。プレート20,30は、上型14又は下型16から着脱可能(交換可能)になっている。例えば、プレート20,30は、図示しないネジによって、上型14又は下型16に着脱可能になっていてもよい。これによって、プレート20,30の取り外しが容易になる。その場合、プレート20,30は、ネジ固定のための穴(例えばプレートの端部に配置された穴31)を有する。プレート20,30と成形型12との固定は、その他の機械的手段によって達成してもよい。プレート20,30は、例えば、金属プレートであってもよいし、セラミックプレートであってもよいし、その材料は限定されない。
【0010】
図2には、プレートの平面図が示されている。図2に示されるプレート30は、下型16用である。プレート30は、少なくとも1つ(図2では複数)の貫通穴32を有する。貫通穴32の内部は、封止材のキャビティ54(図4参照)の一部(下部)となる。詳しくは、下型16の表面(上型14に対向する表面)と、貫通穴32の内面とによって、キャビティ54の凹部(キャビティ54の外形の一部)が形成されている。図3に示すように、貫通穴32の外形は、半導体チップ40の外形よりも大きく(例えば相似形状に大きく)形成されている。貫通穴32の内面には、対向する型(下型16のプレート30の場合には上型14)の方向に広がるテーパが付されてもよい。貫通穴32の外形は、製造する半導体装置の封止部の外形に応じて決定すればよい。プレート30をプレスして(打ち抜いて)形成すれば、凹部を形成するよりも簡単であるので、キャビティ54の形成が簡単になる。
【0011】
プレート30には、封止材の通路となる凹部34,36が形成されている。凹部34,36は、溝になっており、封止材の流路の一部(下部)を構成する。そして、プレート30には、封止材の供給口(例えばカル)38が形成されている。プレート30の供給口38は、貫通穴であり、下型16の供給口17と連通している。プレート30の1つの供給口38に、複数の貫通穴(キャビティ54を構成する貫通穴)32が対応してもよい。プレート30に1つの供給口38が形成され、下型16に1組の供給口17及び加圧部品18が形成されることで、シングルプランジャ型を構成してもよい。あるいは、プレート30に複数の供給口38が形成され、下型16に複数組の供給口17及び加圧部品18が形成されることで、マルチプランジャ型を構成してもよい。図2に示す例では、プレート30には、1つの供給口38から凹部36が複数の貫通穴32の方向に分岐して延びてなり、凹部34が凹部36から延びていずれかの貫通穴32に連続している。凹部36の内部は、封止材のランナ56(図4参照)の一部(下部)となり、凹部34の内部は、封止材のゲートの一部(下部)となってもよい。
【0012】
プレート30には、キャビティ54から空気又はガスを外部に送出すための図示しない凹部(溝)が形成されてもよい。複数の凹部(例えばエアベント)は、貫通穴32に連通して形成される。
【0013】
プレート30は、プレス(例えば打ち抜き)又は研削などで機械的に加工してもよいし、エッチングなどで化学的に加工してもよい。あるいは、ワイヤ放電又はレーザビームなどで加工してもよい。いずれにしても、プレートに貫通穴32及び凹部34,36を形成するので、上型14又は下型16に直接的に形成する場合に比べて、加工が簡単であり、短い納期で製造することができる。
【0014】
上型14用のプレート20は、下型16用のプレート30と同様の構成であってもよい。詳しくは、プレート20,30は、互いに面対称となる構成を有してもよい。すなわち、プレート20は、封止材のキャビティ54の一部(上部)となる貫通穴22、封止材の通路となる凹部、封止材の供給口17に連通する貫通穴28などが形成されてもよい。プレート20,30が対称構造になっていれば、それらを一括して製造することができるので、製造工程が簡単になる。あるいは、プレート20,30は、互いに異なる構造を有してもよい。例えば、プレート20には、下型16における封止材の供給口17に連通するに凹部が形成されてもよい。なお、プレート20,30の構成は、半導体装置の品種(例えば封止部の外形の大きさ)ごとに決定される。
【0015】
図3に示すように、下型16には、表面(上型14に対向する面)に開口する穴50が形成され、穴50内にキャビティに出し入れ自在なピン(例えばエジェクタピン)52が挿通されている。プレート30の貫通穴32内に、穴50及びピン52が露出している。そして、ピン52は、貫通穴32内に出し入れ自在になっている。図3に示すように、1つの貫通穴32に1つのピン52が配置されてもよいし、あるいは、複数のピン52が配置されてもよい。ピン52によって、封止後の半導体チップ40(詳しくは封止部60)を、下型16及びプレート30から取り出すことができる。また、ピン52及びその穴50が下型16に設けられているので、プレート30の構成を簡単にすることができる。すなわち、プレート30にピン52及びその穴50を設けずに済む。なお、変形例として、穴50及びピン52は、上型14に形成されてもよいし、上型14及び下型16の両方に形成されてもよい。
【0016】
本実施の形態に係る半導体装置の製造装置は、上述のように構成されており、以下にこの製造装置を使用した半導体装置の製造方法について説明する。
【0017】
図3に示すように、プレート20付きの上型14と、プレート30付きの下型16との間に、半導体チップ40を配置する。図3に示す例では、半導体チップ40は、リードフレーム42に搭載されている。半導体チップ40は、集積回路を内蔵したチップであり、電極41を有する(図7参照)。
【0018】
リードフレーム42は、長方形の外枠を有し、外枠の形状がリードフレーム42の形状になる。リードフレーム42がダイパッド44(図7参照)を有する場合、ダイパッド44上に半導体チップ40が搭載される。ダイパッド44は、吊りピンによって外枠に支持され、1つのリードフレーム42に、複数のダイパッド44が支持されてもよい。リードフレーム42は、各ダイパッド44に向けて延びる複数のリード46を有し、半導体チップ40は、ワイヤ48によってリード46に電気的に接続されている(図7参照)。
【0019】
図3に示すように、半導体チップ40がプレート20,30の貫通穴22,32内に配置されるように、リードフレーム42をセットする。リードフレーム42をセットする前に、上型14及び下型16をヒータ11によって加熱しておくことが好ましい。そして、図4に示すように、両方の型(上型14及び下型16)を閉じて、キャビティ54内に半導体チップ40を配置する。そして、下型16に設けられた供給口17から封止材(例えば樹脂)を供給する。詳しくは、図5に示すように、樹脂タブレットを下型16の供給口17から投入し、加圧部品18によって、樹脂を、ランナ56を通過して各キャビティ54に注入する。そして、キャビティ54に樹脂が充填された状態で数分間保持し、樹脂を硬化させる。その後、図6に示すように、下型16のピン52を上昇させて、リードフレーム42に設けられた封止部60を取り出す。封止部60は、キャビティ54の形状と同一形状に形成される。すなわち、封止部60の形状は、プレート20,30の貫通穴22,32の形状に対応して決定される。
【0020】
その後、必要に応じて、トリミング工程、フォーミング工程、マーキング工程などの所定の工程を経て、図7に示される半導体装置を製造することができる。そして、他の品種(例えば封止部の外形の大きさが異なる半導体装置)を製造する場合には、成形型12(詳しくは上型14及び下型16)は同じものを使用して、プレート20,30のみを交換し、再度、同一工程を繰り返せばよい。
【0021】
本実施の形態によれば、上型14及び下型16には、それぞれ着脱可能なプレート20,30が設けられ、プレート20,30の一部がキャビティ54の凹部を構成している。これによって、品種の異なるパッケージを製造する場合でも、プレート20,30を交換することで対応できるので取り扱いに優れる。また、プレート20,30に貫通穴22,32を形成することでキャビティ54を形成できるので、作成が簡単かつ短時間に行える。したがって、多品種の半導体パッケージを容易に製造することができる。
【0022】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造装置を説明する図である。
【図2】本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造装置を説明する図である。
【図3】本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法及び製造装置を説明する図である。
【図4】本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法及び製造装置を説明する図である。
【図5】本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法及び製造装置を説明する図である。
【図6】本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法及び製造装置を説明する図である。
【図7】本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法によって製造される半導体装置の一例を示す図である。
【符号の説明】
10 モールド装置、 12 成形型、 14 上型、 16 下型、 17 供給口、 20 プレート、 22 貫通穴、 30 プレート、 32 貫通穴、 34 凹部、 36 凹部、 40 半導体チップ、 42 リードフレーム、 50 穴、 52 ピン
Claims (6)
- 半導体チップを封止する上型及び下型からなる成形型を有するモールド装置を含み、
前記上型及び下型には、互いに対向する表面に、それぞれ着脱可能なプレートが設けられ、
前記それぞれのプレートは貫通穴を有し、
前記上型又は下型の表面と、前記貫通穴の内面とによって、キャビティの凹部が形成されてなる半導体装置の製造装置。 - 請求項1記載の半導体装置の製造装置において、
前記それぞれのプレートには、封止材の通路となる凹部が形成されてなる半導体装置の製造装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の半導体装置の製造装置において、
前記上型及び下型の少なくともいずれか一方には、表面に開口する穴が形成され、前記穴内に、前記キャビティに出し入れ自在なピンが挿通されてなる半導体装置の製造装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の半導体装置の製造装置において、
前記上型及び下型の少なくともいずれか一方には、封止材を供給するための供給口が形成されてなる半導体装置の製造装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の半導体装置の製造装置において、
前記それぞれのプレートは、ネジによって前記上型又は下型に着脱可能になっている半導体装置の製造装置。 - 半導体チップを上型及び下型によって封止するモールド工程を含み、
前記上型及び下型には、互いに対向する表面に、それぞれ着脱可能なプレートが設けられ、
前記それぞれのプレートは貫通穴を有し、
前記上型又は下型の表面と、前記貫通穴の内面とによって、キャビティの凹部が形成され、
前記上型及び下型を閉じて、前記キャビティ内に前記半導体チップを配置し、前記キャビティに封止材を注入することによって、前記半導体チップを封止する半導体装置の製造方法。
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JP2002371380A JP2004207290A (ja) | 2002-12-24 | 2002-12-24 | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2011121363A (ja) * | 2009-12-08 | 2011-06-23 | Orient Semiconductor Electronics Ltd | 鋳型装置及び方法 |
JP2014172287A (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-22 | Apic Yamada Corp | 樹脂モールド金型、樹脂モールド装置、樹脂モールド方法、および樹脂モールド金型の評価方法 |
KR101559231B1 (ko) | 2013-03-27 | 2015-10-12 | 토와 가부시기가이샤 | 성형품 생산 장치, 성형품 생산 방법 및 성형품 |
-
2002
- 2002-12-24 JP JP2002371380A patent/JP2004207290A/ja not_active Withdrawn
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