JP2004201499A - 静電機械及びこれの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 互いに積層された複数のマイクロマシン層をそれぞれ含む機械構造、ならびにその製作方法を提示する。各機械構造は、スタックを含む複数のマイクロマシン層のうちの少なくとも1つの層の超小型構造から画定された可動部材を含む。製作の際には、VLSI技術を使用してマイクロマシン層を別々に形成し、その後でスタックの形で選択された配列で互いに積層して機械構造を画定する。
【選択図】 図1
Description
12 基板
13 マスク
14 穴
15 主平面(上面)
16 固定子構造
17 主平面(上面)
18 回転子構造
20 穴
22 ハブ
24 犠牲層
28 穴
30 穴
40 スタック構造
50 エンドキャップ層
56 絶縁材
58 ハブ構造
60 ギャップ
70 機械
Claims (21)
- 独自に形成されて相互にスタック状に積層された複数の層を含むスタック構造を有し、該スタック構造の前記複数の層は、少なくとも2つのマイクロマシン層を含み、該マイクロマシン層のそれぞれは、ハブ部材、回転子部材及び該回転子部材の周囲に隣接して配置された複数個の固定子部材を含む同一の形状の超小型構造を有し、前記複数のマイクロマシン層のそれぞれの前記ハブ部材同士がボンディングされ、前記複数のマイクロマシン層のそれぞれの前記回転子部材同士がボンディングされ、前記複数のマイクロマシン層のそれぞれの前記固定子部材同士がボンディングされていることを特徴とする静電機械。
- 前記少なくとも2つのマイクロマシン層を挟むように2つのエンドキャップ層が設けられ、該2つのエンドキャップ層のそれぞれは、前記ハブ部材に接続し且つ前記回転子部材からギャップを介して配置されているハブ構造を有することを特徴とする請求項1に記載の静電機械。
- 前記2つのエンドキャップ層の少なくとも一方に、前記複数個の固定子部材のそれぞれに接続する電気的接続部が設けられていることを特徴とする請求項2に記載の静電機械。
- 前記回転子部材が前記ハブ部材の周りで回転することを特徴とする請求項1に記載の静電機械。
- 前記回転子部材が前記ハブ部材を介して前記2つのエンドキャップ層の少なくとも一方の前記ハブ構造に接続されており、前記ハブ構造が前記回転子部材により回転されるいることを特徴とする請求項2に記載の静電機械。
- (a)複数の基板を用意するステップと、
(b)前記複数の基板のうちの少なくとも1つの基板に、ハブ部材、該ハブ部材を中心とする回転子部材及び該回転子部材の周囲に隣接して配置された複数個の固定子部材からなる超小型構造を画定する穴を設けて、該穴を犠牲材料で充填し、前記ハブ部材、前記回転子部材及び前記複数個の固定子部材の位置関係を一時的に正しく固定するステップと、
(c)前記複数の基板を選択された配列で積み重ねてスタック構造を形成するステップと、
(d)前記穴に充填されている前記犠牲材料を除去して、前記回転子部材を回転可能にするステップとを含む静電機械の製造方法。 - 前記複数の基板が、シリコン基板であることを特徴とする請求項6に記載の静電機械の製造方法。
- 前記ステップ(c)が、前記積み重ねた複数の基板を接着することを特徴とする請求項6に記載の静電機械の製造方法。
- 前記ステップ(b)が、前記複数の基板に接着層を形成することを特徴とする請求項6に記載の静電機械の製造方法。
- 前記接着層が、チタニウム層又はタングステン層であることを特徴とする請求項9に記載の静電機械の製造方法。
- 前記ステップ(c)が、熱処理により前記積み重ねた複数の基板を接着する
ことを特徴とする請求項10に記載の静電機械の製造方法。 - 前記ステップ(b)が、前記超小型構造を画定する第1の穴を前記少なくとも1つの基板の上面から該基板の厚さよりも浅い深さまで形成するステップと、前記第1の穴を前記犠牲材料で充填するステップと、前記少なくとも1つの基板の下面から前記超小型構造を画定する第2の穴を前記犠牲材料に達するまで形成するステップと、前記第2の穴を前記犠牲材料で充填するステップとを含むことを特徴とする請求項6に記載の静電機械の製造方法。
- 前記ステップ(b)が、前記ハブ部材に接続可能であり且つ前記回転子部材に対してギャップを介して対面可能に延びる延長部を有するハブ構造を有するエンドキャップ基板を2つ形成し、前記ステップ(c)が、前記少なくとも1つの基板を挟むように、前記2つのエンドキャップ基板を積層し接着することを特徴とする請求項6に記載の静電機械の製造方法。
- (a)複数の基板を用意するステップと、
(b)前記複数の基板のうちの少なくとも2つの基板のそれぞれに、ハブ部材、該ハブ部材を中心とする回転子部材及び該回転子部材の周囲に隣接して配置された複数個の固定子部材からなる超小型構造を画定する穴を設けて、該穴を犠牲材料で充填し、前記ハブ部材、前記回転子部材及び前記複数個の固定子部材の位置関係を一時的に正しく固定することにより少なくとも2つのマイクロマシン基板を形成ステップと、
(c)前記2つのマイクロマシン基板を積み重ねた状態で、前記複数の基板を選択された配列で積み重ねてスタック構造を形成するステップと、
(d)前記穴に充填されている前記犠牲材料を除去して、前記回転子部材を回転可能にするステップとを含む静電機械の製造方法。 - 前記複数の基板が、シリコン基板であることを特徴とする請求項14に記載の静電機械の製造方法。
- 前記ステップ(c)が、前記積み重ねた複数の基板を接着することを特徴とする請求項14に記載の静電機械の製造方法。
- 前記ステップ(b)が、前記複数の基板に接着層を形成することを特徴とする請求項14に記載の静電機械の製造方法。
- 前記接着層が、チタニウム層又はタングステン層であることを特徴とする請求項17に記載の静電機械の製造方法。
- 前記ステップ(c)が、熱処理により前記積み重ねた複数の基板を接着する
ことを特徴とする請求項18に記載の静電機械の製造方法。 - 前記ステップ(b)が、前記超小型構造を画定する第1の穴を前記少なくとも2つの基板のそれぞれの基板の上面から該基板の厚さよりも浅い深さまで形成するステップと、前記第1の穴を前記犠牲材料で充填するステップと、前記基板の下面から前記超小型構造を画定する第2の穴を前記犠牲材料に達するまで形成するステップと、前記第2の穴を前記犠牲材料で充填するステップとを含むことを特徴とする請求項14に記載の静電機械の製造方法。
- 前記ステップ(b)が、前記ハブ部材に接続可能であり且つ前記回転子部材に対してギャップを介して対面可能に延びる延長部を有するハブ構造を有するエンドキャップ基板を2つ形成し、前記ステップ(c)が、前記少なくとも2つのマイクロマシン基板を挟むように、前記2つのエンドキャップ基板を積層し接着することを特徴とする請求項14に記載の静電機械の製造方法。
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