JP3060639B2 - 微小可動機械の製造方法 - Google Patents
微小可動機械の製造方法Info
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- H02N1/004—Electrostatic motors in which a body is moved along a path due to interaction with an electric field travelling along the path
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は医療、光学系等に用い
られる微小可動機械の製造方法に関するものである。
られる微小可動機械の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来発達してきた機械システムでは精度
よく加工された多くの部品の組立を行うために、多くの
工程と技術を必要とした。また、微小な動きを精度よく
制御するために、全体として、大がかりなシステムにな
らざるを得なかった。これは、システムの高精度化、高
機能化において、機械要素の複雑化、大型化が不可避で
あったからである。一方従来の機械システムでは入り込
めなかった空間に侵入したり、微小な動きを制御したり
するシステムを作製するために、機械部品の縮小化が要
求されるようになった。シリコン集積回路技術を利用し
た微細加工技術を用いると、１００μｍ程度の微小なロ
ーターを回したり、直線的に動かしたりすることが可能
である。この技術の例として、１９８９年の微小電気機
械システム国際会議（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍ
ｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ（ＭＥＭＳ’ ８
９））の論文集Ｐ５３〜Ｐ５９に記載されたウイリアム
・シー・タング（Ｗｉｌｌｉａｍ・Ｃ・Ｔａｎｇ）等に
よる「ＬａｔｅｒａｌｌｙＤｒｉｖｅｎ Ｒｅｓｏｎａ
ｎｔ Ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ」や、単結晶半
導体を用いた特願平２−０２３６８５号明細書に記載の
構造がある。これらの微小可動機械の構造は、基板上に
固定された固定部と、基板から浮き上がった可動部から
成り、固定部と可動部の間の静電気引力によって可動部
の運動が生じる。また、これらの微小機械の可動部は非
常に軽量なため、極めて高い共振周波数とＱ値を有する
ことが確認されている。
よく加工された多くの部品の組立を行うために、多くの
工程と技術を必要とした。また、微小な動きを精度よく
制御するために、全体として、大がかりなシステムにな
らざるを得なかった。これは、システムの高精度化、高
機能化において、機械要素の複雑化、大型化が不可避で
あったからである。一方従来の機械システムでは入り込
めなかった空間に侵入したり、微小な動きを制御したり
するシステムを作製するために、機械部品の縮小化が要
求されるようになった。シリコン集積回路技術を利用し
た微細加工技術を用いると、１００μｍ程度の微小なロ
ーターを回したり、直線的に動かしたりすることが可能
である。この技術の例として、１９８９年の微小電気機
械システム国際会議（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍ
ｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ（ＭＥＭＳ’ ８
９））の論文集Ｐ５３〜Ｐ５９に記載されたウイリアム
・シー・タング（Ｗｉｌｌｉａｍ・Ｃ・Ｔａｎｇ）等に
よる「ＬａｔｅｒａｌｌｙＤｒｉｖｅｎ Ｒｅｓｏｎａ
ｎｔ Ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ」や、単結晶半
導体を用いた特願平２−０２３６８５号明細書に記載の
構造がある。これらの微小可動機械の構造は、基板上に
固定された固定部と、基板から浮き上がった可動部から
成り、固定部と可動部の間の静電気引力によって可動部
の運動が生じる。また、これらの微小機械の可動部は非
常に軽量なため、極めて高い共振周波数とＱ値を有する
ことが確認されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来例で
は、可動部と固定部を同一平面上に配置するために固定
部に妨げられて可動部の回転エネルギーを外部に取り出
すことが困難であった。一方、直線運動型の微小機械で
は、この困難さが減少するが、依然として、運動の基本
の一つである回転運動が実現できないためにシステムの
自由度が制限されてしまうという問題があった。
は、可動部と固定部を同一平面上に配置するために固定
部に妨げられて可動部の回転エネルギーを外部に取り出
すことが困難であった。一方、直線運動型の微小機械で
は、この困難さが減少するが、依然として、運動の基本
の一つである回転運動が実現できないためにシステムの
自由度が制限されてしまうという問題があった。
【０００４】 本発明の目的は、このような従来の欠点
を除去するために、新たに三次元の構造を用いることに
よって可動部の回転、直線の両方の運動を容易に外部に
取り出すことができる微小機械の製造方法を提供するこ
とにある。
を除去するために、新たに三次元の構造を用いることに
よって可動部の回転、直線の両方の運動を容易に外部に
取り出すことができる微小機械の製造方法を提供するこ
とにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】 本発明の微小可動機械
の製造方法は、別々に作製した複数の可動部の固定軸同
士を接合することを特徴とする。また、隣接する可動部
と嵌合するための突起を有する第一の可動部と、前記突
起と嵌合するための空隙を有する第二の可動部とを積層
することを特徴とする。また、前記嵌合するための突起
とはべつに、位置合わせのための突起を同時に形成する
ことを特徴とする。
の製造方法は、別々に作製した複数の可動部の固定軸同
士を接合することを特徴とする。また、隣接する可動部
と嵌合するための突起を有する第一の可動部と、前記突
起と嵌合するための空隙を有する第二の可動部とを積層
することを特徴とする。また、前記嵌合するための突起
とはべつに、位置合わせのための突起を同時に形成する
ことを特徴とする。
【０００６】
【作用】 本発明の製造方法にて得られた微小可動機械
によれば、固定部と可動部を多層構造にすることによ
り、発生した可動部のエネルギーを一平面上だけでな
く、複数の可動部を積層した多層構造を介して、上下方
向を含めた三次元方向に伝達することが可能となる。こ
れは、一層目の可動部に設けた突起を二層目の可動部に
設けた空隙に挿入することにより上下方向に力が伝達す
ることを可能としたことによる。なお、平面上の動きに
関しては従来例のように、歯車やビーム等を用いること
により、力を横方向に伝達することが可能である。一
方、このような多層構造を実現するために、複数の可動
部の固定軸を位置合わせして積層する工程が非常に重要
である。本発明では、図４に示すように、第一層目と第
二層目の位置合わせをする突起と、位置合わせ穴を設け
ることにより、可動部を傷つけることなく正確に固定軸
を位置合わせすることを可能とした。以上のように、各
層を別々に作成して最後に張りつけることで、プロセス
の簡単化と歩留まりの向上が期待できる。
によれば、固定部と可動部を多層構造にすることによ
り、発生した可動部のエネルギーを一平面上だけでな
く、複数の可動部を積層した多層構造を介して、上下方
向を含めた三次元方向に伝達することが可能となる。こ
れは、一層目の可動部に設けた突起を二層目の可動部に
設けた空隙に挿入することにより上下方向に力が伝達す
ることを可能としたことによる。なお、平面上の動きに
関しては従来例のように、歯車やビーム等を用いること
により、力を横方向に伝達することが可能である。一
方、このような多層構造を実現するために、複数の可動
部の固定軸を位置合わせして積層する工程が非常に重要
である。本発明では、図４に示すように、第一層目と第
二層目の位置合わせをする突起と、位置合わせ穴を設け
ることにより、可動部を傷つけることなく正確に固定軸
を位置合わせすることを可能とした。以上のように、各
層を別々に作成して最後に張りつけることで、プロセス
の簡単化と歩留まりの向上が期待できる。
【０００７】
【実施例】 図１（ａ）に本発明による微小機械の上面
図、同面（ｂ）に同図（ａ）のＡ−Ｂ面断面図をそれぞ
れ示す。第一層目の固定部１と第一層目の可動部３の間
に電圧を印加すると、静電気力が発生し、両者の間に引
力が働く。これを回転方向に繰り返すことによって、第
一層目の可動部３は固定軸２を軸にして回転方向にトル
クを生じる。すなわち第一層目はモータである。発生し
たトルクは、突起５によって第二層目の可動部４に伝え
られ、可動部４とかみあう歯車１００、これとかみあう
歯車２００によって外部へエネルギーを伝えることがで
きる。図２に第一層目の作製方法を、図３に第二層目の
作製方法をそれぞれ示す。図４に示す構造は、本発明の
製造方法により、第一層目と第二層目とを互いに貼り合
わせた後で試料をエッチングすることにより実現でき
る。以下、図２〜図４を用いて本発明の微小機械の作製
方法を説明する。なお、図２〜図４は作製過程における
図１（ａ）のＡ−Ｂ断面を示したものである。
図、同面（ｂ）に同図（ａ）のＡ−Ｂ面断面図をそれぞ
れ示す。第一層目の固定部１と第一層目の可動部３の間
に電圧を印加すると、静電気力が発生し、両者の間に引
力が働く。これを回転方向に繰り返すことによって、第
一層目の可動部３は固定軸２を軸にして回転方向にトル
クを生じる。すなわち第一層目はモータである。発生し
たトルクは、突起５によって第二層目の可動部４に伝え
られ、可動部４とかみあう歯車１００、これとかみあう
歯車２００によって外部へエネルギーを伝えることがで
きる。図２に第一層目の作製方法を、図３に第二層目の
作製方法をそれぞれ示す。図４に示す構造は、本発明の
製造方法により、第一層目と第二層目とを互いに貼り合
わせた後で試料をエッチングすることにより実現でき
る。以下、図２〜図４を用いて本発明の微小機械の作製
方法を説明する。なお、図２〜図４は作製過程における
図１（ａ）のＡ−Ｂ断面を示したものである。
【０００８】最初に、シリコンウエハ２０表面に酸化膜
２１を形成し、これをマスクにしてドライエッチング装
置（ＲＩＥ）を用いてトレンチ２３を形成する（図２
（ａ））。モータを形成する部分にボロンを高濃度に拡
散して拡散層２４（同図（ｂ））を形成し、続いて酸化
膜２６を形成してトレンチ２３を埋める。これをマスク
にしてボロン拡散２４よりも深いトレンチ２５を形成す
る（同図（ｃ））。次に、浅いトレンチ２７を形成した
後、深いトレンチ２５をポリシリコン２８で埋め、全面
をポリシリコン膜２９で覆う（同図（ｄ））。トレンチ
２３を含む領域のポリシリコン膜２９を除去した後、酸
化膜を堆積しパターニングしてトレンチ２３を含む領域
から固定軸２にかかるようにしてストッパー１０を形成
する（同図（ｅ））。最後にウエハ表面の酸化膜を除去
し、静電接着法を用いてガラス基板８に接着し、全体を
ヒドラジン液に侵してエッチングを行う（同図
（ｆ））。ボロンの高濃度拡散エッチストップによって
自動的に可動部３、固定部１、固定軸２、突起部５、
７、およびストッパー１０が作製される。なおストッパ
ー１０は可動部３が固定軸２から外れないようにするた
めに設けた。
２１を形成し、これをマスクにしてドライエッチング装
置（ＲＩＥ）を用いてトレンチ２３を形成する（図２
（ａ））。モータを形成する部分にボロンを高濃度に拡
散して拡散層２４（同図（ｂ））を形成し、続いて酸化
膜２６を形成してトレンチ２３を埋める。これをマスク
にしてボロン拡散２４よりも深いトレンチ２５を形成す
る（同図（ｃ））。次に、浅いトレンチ２７を形成した
後、深いトレンチ２５をポリシリコン２８で埋め、全面
をポリシリコン膜２９で覆う（同図（ｄ））。トレンチ
２３を含む領域のポリシリコン膜２９を除去した後、酸
化膜を堆積しパターニングしてトレンチ２３を含む領域
から固定軸２にかかるようにしてストッパー１０を形成
する（同図（ｅ））。最後にウエハ表面の酸化膜を除去
し、静電接着法を用いてガラス基板８に接着し、全体を
ヒドラジン液に侵してエッチングを行う（同図
（ｆ））。ボロンの高濃度拡散エッチストップによって
自動的に可動部３、固定部１、固定軸２、突起部５、
７、およびストッパー１０が作製される。なおストッパ
ー１０は可動部３が固定軸２から外れないようにするた
めに設けた。
【０００９】第二層目も以下の二点を除いて第一層目と
同様にして作製することができる。 １）一層目と二層目の位置合わせに用いる穴１１は、デ
バイス作製後は不必要になるために、図３（ｂ）に示す
ように穴の部分にはボロン拡散を行わない。また、同図
（ｅ）に示すように、この穴の表面付近をシリコン（１
００）面の異方性エッチングを利用して傾斜３０を設け
ている。これは、第一層目と第二層目の位置合わせの
際、多少の位置のずれが生じても傾斜によってウエハ同
士を正確に位置合わせする事を可能としている。また、
可動部等の機械要素を傷つけないように突起においては
他の部分よりも先に穴の表面に接触するように厚く製作
した。 ２）第二層目の固定軸２にはガラス層９が堆積されてい
る（同図（ｆ））。このガラス層９は第一層目をガラス
基板に接着するときに用いた静電接着法によって第二層
目の固定軸を第一層目に固定するのに役立つ。以上のよ
うにして作製した図２（ｆ）と図３（ｆ）の各試料を図
４（ａ）のように位置合わせした後、接着し、最後に全
体をヒドラジン液中でエッチングすることにより、図４
（ｂ）の構造が得られる。
同様にして作製することができる。 １）一層目と二層目の位置合わせに用いる穴１１は、デ
バイス作製後は不必要になるために、図３（ｂ）に示す
ように穴の部分にはボロン拡散を行わない。また、同図
（ｅ）に示すように、この穴の表面付近をシリコン（１
００）面の異方性エッチングを利用して傾斜３０を設け
ている。これは、第一層目と第二層目の位置合わせの
際、多少の位置のずれが生じても傾斜によってウエハ同
士を正確に位置合わせする事を可能としている。また、
可動部等の機械要素を傷つけないように突起においては
他の部分よりも先に穴の表面に接触するように厚く製作
した。 ２）第二層目の固定軸２にはガラス層９が堆積されてい
る（同図（ｆ））。このガラス層９は第一層目をガラス
基板に接着するときに用いた静電接着法によって第二層
目の固定軸を第一層目に固定するのに役立つ。以上のよ
うにして作製した図２（ｆ）と図３（ｆ）の各試料を図
４（ａ）のように位置合わせした後、接着し、最後に全
体をヒドラジン液中でエッチングすることにより、図４
（ｂ）の構造が得られる。
【００１０】以上のようにして完成した微小可動機械の
第一層目に静電気力で運動エネルギーを与えると、与え
られたエネルギーは突起５と空隙６を伝わって第二層目
に伝達される。第二層目に伝達されたエネルギーは図１
のような歯車列等を使って外部に取り出すことが可能と
なる。なお、本発明では、二つの層からなる構造を例と
して説明したが、本発明は、これに限定されることがな
い。例えば第二層目の可動部４に第一層目の可動部３の
突起５と同じような突起を設け、その上にその突起とは
まりあう空隙をもった第三層目の可動部を設けてもよ
い。また歯車１００、２００の回転運動を上方に伝えた
いときは同様に突起を歯車１００、２００に設け、その
上にその突起とはまりあう空隙をもった上層の歯車を設
ければよい。従って、本発明の作製方法を用いることに
より、三層、四層等の多層構造を順次作製することが可
能である。また、本発明の実施例では、外部からの印加
力として静電気力を例にとり示したが、外部力として、
静電気力の他に、電磁力、熱力あるいは１９９１年の微
小電気機械システム国際会議（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒ
ｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ（ＭＥＭ
Ｓ’８９））の論文集ｐ６９〜７３に記載されたダブリ
ュー・メンツ（Ｗ・Ｍｅｎｚ）等による「Ｔｈｅ ＬＩ
ＧＡ Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ−ａ Ｎｏｖｅｌ Ｃｏｎｃ
ｅｐｔｆｏｒＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ ａｎｄ
ｔｈｅ Ｃｏｍｂｉｎａｔｉｏｎｗｉｔｈ Ｓｉ−Ｔ
ｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ｂｙ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ
Ｍｏｌｄｉｎｇ」に報告されているような流体力等も使
用可能であることは言うまでもない。
第一層目に静電気力で運動エネルギーを与えると、与え
られたエネルギーは突起５と空隙６を伝わって第二層目
に伝達される。第二層目に伝達されたエネルギーは図１
のような歯車列等を使って外部に取り出すことが可能と
なる。なお、本発明では、二つの層からなる構造を例と
して説明したが、本発明は、これに限定されることがな
い。例えば第二層目の可動部４に第一層目の可動部３の
突起５と同じような突起を設け、その上にその突起とは
まりあう空隙をもった第三層目の可動部を設けてもよ
い。また歯車１００、２００の回転運動を上方に伝えた
いときは同様に突起を歯車１００、２００に設け、その
上にその突起とはまりあう空隙をもった上層の歯車を設
ければよい。従って、本発明の作製方法を用いることに
より、三層、四層等の多層構造を順次作製することが可
能である。また、本発明の実施例では、外部からの印加
力として静電気力を例にとり示したが、外部力として、
静電気力の他に、電磁力、熱力あるいは１９９１年の微
小電気機械システム国際会議（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒ
ｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ（ＭＥＭ
Ｓ’８９））の論文集ｐ６９〜７３に記載されたダブリ
ュー・メンツ（Ｗ・Ｍｅｎｚ）等による「Ｔｈｅ ＬＩ
ＧＡ Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ−ａ Ｎｏｖｅｌ Ｃｏｎｃ
ｅｐｔｆｏｒＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ ａｎｄ
ｔｈｅ Ｃｏｍｂｉｎａｔｉｏｎｗｉｔｈ Ｓｉ−Ｔ
ｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ｂｙ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ
Ｍｏｌｄｉｎｇ」に報告されているような流体力等も使
用可能であることは言うまでもない。
【００１１】
【発明の効果】 本発明の製造方法により、微小機械を
複数の可動部を積層した多層構造にすることで、運動エ
ネルギーを容易に外部や周囲の可動部に取り出すことが
可能となった。また、従来の技術では微小機械を厚く作
製することができないため、大きなトルクを得るために
高い電圧を印加することが必要であるという難点があっ
た。しかし、本発明の製造方法により微小機械を複数の
可動部を積層した多層構造にすれば、上下方向に複数の
動力源から積算した運動エネルギーを積算させて印加す
ることも可能となるので、従来に比べて低い電圧で微小
機械を運動させることも可能になった。また、高濃度ボ
ロンの拡散前にトレンチを形成することで、自動的に可
動部、固定部、固定軸、突起部、及びストッパーが作成
される。また、第一層目と第二層目の位置合わせを行う
ための位置合わせ穴の表面付近をシリコン１００面の異
方性エッチングにて形成しているので、位置合わせの
際、多少の位置のずれが生じても傾斜によってウエハ同
士を正確に位置合わせすることを可能としている。
複数の可動部を積層した多層構造にすることで、運動エ
ネルギーを容易に外部や周囲の可動部に取り出すことが
可能となった。また、従来の技術では微小機械を厚く作
製することができないため、大きなトルクを得るために
高い電圧を印加することが必要であるという難点があっ
た。しかし、本発明の製造方法により微小機械を複数の
可動部を積層した多層構造にすれば、上下方向に複数の
動力源から積算した運動エネルギーを積算させて印加す
ることも可能となるので、従来に比べて低い電圧で微小
機械を運動させることも可能になった。また、高濃度ボ
ロンの拡散前にトレンチを形成することで、自動的に可
動部、固定部、固定軸、突起部、及びストッパーが作成
される。また、第一層目と第二層目の位置合わせを行う
ための位置合わせ穴の表面付近をシリコン１００面の異
方性エッチングにて形成しているので、位置合わせの
際、多少の位置のずれが生じても傾斜によってウエハ同
士を正確に位置合わせすることを可能としている。
【図１】本発明の一実施例を示しており、二層構造の歯
車を三段連結した構造の上面とその動力部分の断面図で
ある。
車を三段連結した構造の上面とその動力部分の断面図で
ある。
【図２】図１に示す実施例のＡ−Ｂ断面の第一層目の作
製を工程順に示した断面図である。
製を工程順に示した断面図である。
【図３】図１に示す実施例のＡ−Ｂ断面の第二層目の作
製を工程順に示した断面図である。
製を工程順に示した断面図である。
【図４】第一層目と第二層目の位置合わせを行いながら
両者の貼り合わせを行った断面図であり、（ｂ）はデバ
イスの完成図である。
両者の貼り合わせを行った断面図であり、（ｂ）はデバ
イスの完成図である。
１ 固定部（固定電極） ２ 固定軸 ３ 可動部１（第一層目の可動電極） ４ 可動部２ ５ 突起（運動伝達） ６ 空隙（運動伝達） ７ 突起（位置合わせ） ８ 基板 ９ ガラス １０ ストッパー
Claims (1)
- 【請求項１】 外部から印加された力により可動部が運
動し、複数の可動部を積層した多層構造をもつ微小可動
機械の製造方法において、前記微小可動機械は、 別々に作製した、 隣接する可動部と嵌合するための突起を有する第１の可
動部を有する第１の層と、前記突起と嵌合するための空
隙を有する第２の可動部を有する第２の層が、 前記第１の層と前記第２の層のそれぞれの固定部同士を
接合することで 積層されて成り、 前記嵌合するための突起とは別に、位置合わせのための
突起を第１の層に同時に形成する微小可動機械の製造方
法であって、前記第１の層の製造方法は、 シリコンウエハ表面に酸化膜を形成し、該酸化膜をマス
クにしてドライエッチング装置で、前記突起を形成する
工程の１つである第１のトレンチを形成する工程と、前記可動部および固定部 を形成する部分にボロンを高濃
度に拡散して拡散層を形成する工程と、 続いて酸化膜を形成して前記第１のトレンチを埋め、該
酸化膜をマスクにして前記ボロン拡散よりも深い第２の
トレンチを形成し、前記可動部および前記固定部の空隙
を形成する工程と、 次に、前記第１及び第２のトレンチよりも浅く、前記可
動部と基板との空隙をなす第３のトレンチを形成した
後、前記第２のトレンチをポリシリコンで埋め、全面を
ポリシリコン膜で覆う工程と、 前記第１のトレンチを含む領域の前記ポリシリコン膜を
除去した後、酸化膜を堆積し、該酸化膜をパターニング
して前記第１のトレンチを含む領域から固定部にかかる
ようにしてストッパーを形成する工程と、 最後にウエハ表面の前記ポリシリコン膜と酸化膜を除去
し、静電接着法を用いてガラス基板に接着し、シリコン
ウエハのボロン拡散された部分以外とストッパー以外の
部分をエッチング除去する工程を有し、 前記位置合わせのための突起を有する第１の層と嵌合す
るための空隙を有する前 記第２の層の製造方法は、 シリコンウエハ表面に酸化膜を形成し、該酸化膜をマス
クにして、前記第１の層と前記第２の層の位置合わせの
ための空隙を除く、前記可動部および前記固定部を形成
する部分にボロンを高濃度に拡散して拡散層を形成する
工程と、 続いて酸化膜を形成し、該酸化膜をマスクにして前記ボ
ロン拡散よりも深い第４のトレンチを形成し、前記可動
部および前記固定部の空隙及び第１の層の突起と第２の
層を嵌合するための空隙を形成する工程と、 次に、前記第４のトレンチよりも浅い第５のトレンチを
形成し、前記第１の層と前記第２の層との空隙を形成し
た後、前記第４のトレンチをポリシリコンで埋め、全面
をポリシリコン膜で覆う工程と、 前記第４のトレンチを含まない領域の前記ポリシリコン
膜を除去した後、酸化膜を堆積し、該酸化膜をパターニ
ングして前記第４のトレンチを含まない領域から固定部
にかかるようにしてストッパーを形成する工程と、 前記第１の層と前記第２の層との位置合わせに用いる空
隙の表面付近に、シリコン（１００）面の異方性エッチ
ングを利用して傾斜を設ける工程と、 第１層に接着する部分にガラスを形成する工程と、 静電接着法を用いて第１層に接着し、シリコンウエハの
ボロン拡散された部分以外とストッパー以外の部分をエ
ッチング除去する工程を有することを特徴とする微小可
動機械の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3225752A JP3060639B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 微小可動機械の製造方法 |
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