JPH0564464A - 微小可動機械とその製造方法 - Google Patents
微小可動機械とその製造方法Info
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- JPH0564464A JPH0564464A JP3225752A JP22575291A JPH0564464A JP H0564464 A JPH0564464 A JP H0564464A JP 3225752 A JP3225752 A JP 3225752A JP 22575291 A JP22575291 A JP 22575291A JP H0564464 A JPH0564464 A JP H0564464A
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- JP
- Japan
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- movable
- micro
- protrusion
- movable portion
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
- H02N1/002—Electrostatic motors
- H02N1/004—Electrostatic motors in which a body is moved along a path due to interaction with an electric field travelling along the path
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H55/00—Elements with teeth or friction surfaces for conveying motion; Worms, pulleys or sheaves for gearing mechanisms
- F16H55/02—Toothed members; Worms
- F16H55/06—Use of materials; Use of treatments of toothed members or worms to affect their intrinsic material properties
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 微小機械を多層構造にすることで、運動エネ
ルギーを容易に外部や周囲の可動部に取り出すことを可
能とする。 【構成】 高濃度ボロン拡散によるシリコンエッチスト
ップを用いた多層構造の微小可動機械である。第一層目
に静電気力で運動エネルギーを与えると、与えられたエ
ネルギーは突起５と空隙６を伝わって第二層目に伝達さ
れる。第二層目に伝達されたエネルギーは歯車やビーム
等を使って外部に取り出すことが可能となる。
ルギーを容易に外部や周囲の可動部に取り出すことを可
能とする。 【構成】 高濃度ボロン拡散によるシリコンエッチスト
ップを用いた多層構造の微小可動機械である。第一層目
に静電気力で運動エネルギーを与えると、与えられたエ
ネルギーは突起５と空隙６を伝わって第二層目に伝達さ
れる。第二層目に伝達されたエネルギーは歯車やビーム
等を使って外部に取り出すことが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は医療、光学系等に用いら
れる微小可動機械とその製造方法に関するものである。
れる微小可動機械とその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来発達してきた機械システムでは精度
よく加工された多くの部品の組立を行うために、多くの
工程と技術を必要とした。また、微小な動きを精度よく
制御するために、全体として、大がかりなシステムにな
らざるを得なかった。これは、システムの高精度化、高
機能化において、機械要素の複雑化、大型化が不可避で
あったからである。一方従来の機械システムでは入り込
めなかった空間に侵入したり、微小な動きを制御したり
するシステムを作製するために、機械部品の縮小化が要
求されるようになった。シリコン集積回路技術を利用し
た微細加工技術を用いると、１００μｍ程度の微小なロ
ーターを回したり、直線的に動かしたりすることが可能
である。この技術の例として、１９８９年の微小電気機
械システム国際会議（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍ
ｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ（ＭＥＭＳ’ ８
９））の論文集Ｐ５３〜Ｐ５９に記載されたウイリアム
・シー・タング（Ｗｉｌｌｉａｍ・Ｃ・Ｔａｎｇ）等に
よる「ＬａｔｅｒａｌｌｙＤｒｉｖｅｎ Ｒｅｓｏｎａ
ｎｔ Ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ」や、単結晶半
導体を用いた特願平２−０２３６８５号明細書に記載の
構造がある。これらの微小可動機械の構造は、基板上に
固定された固定部と、基板から浮き上がった可動部から
成り、固定部と可動部の間の静電気引力によって可動部
の運動が生じる。また、これらの微小機械の可動部は非
常に軽量なため、極めて高い共振周波数とＱ値を有する
ことが確認されている。
よく加工された多くの部品の組立を行うために、多くの
工程と技術を必要とした。また、微小な動きを精度よく
制御するために、全体として、大がかりなシステムにな
らざるを得なかった。これは、システムの高精度化、高
機能化において、機械要素の複雑化、大型化が不可避で
あったからである。一方従来の機械システムでは入り込
めなかった空間に侵入したり、微小な動きを制御したり
するシステムを作製するために、機械部品の縮小化が要
求されるようになった。シリコン集積回路技術を利用し
た微細加工技術を用いると、１００μｍ程度の微小なロ
ーターを回したり、直線的に動かしたりすることが可能
である。この技術の例として、１９８９年の微小電気機
械システム国際会議（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍ
ｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ（ＭＥＭＳ’ ８
９））の論文集Ｐ５３〜Ｐ５９に記載されたウイリアム
・シー・タング（Ｗｉｌｌｉａｍ・Ｃ・Ｔａｎｇ）等に
よる「ＬａｔｅｒａｌｌｙＤｒｉｖｅｎ Ｒｅｓｏｎａ
ｎｔ Ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ」や、単結晶半
導体を用いた特願平２−０２３６８５号明細書に記載の
構造がある。これらの微小可動機械の構造は、基板上に
固定された固定部と、基板から浮き上がった可動部から
成り、固定部と可動部の間の静電気引力によって可動部
の運動が生じる。また、これらの微小機械の可動部は非
常に軽量なため、極めて高い共振周波数とＱ値を有する
ことが確認されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来例で
は、可動部と固定部を同一平面上に配置するために固定
部に妨げられて可動部の回転エネルギーを外部に取り出
すことが困難であった。一方、直線運動型の微小機械で
は、この困難さが減少するが、依然として、運動の基本
の一つである回転運動が実現できないためにシステムの
自由度が制限されてしまうという問題があった。
は、可動部と固定部を同一平面上に配置するために固定
部に妨げられて可動部の回転エネルギーを外部に取り出
すことが困難であった。一方、直線運動型の微小機械で
は、この困難さが減少するが、依然として、運動の基本
の一つである回転運動が実現できないためにシステムの
自由度が制限されてしまうという問題があった。
【０００４】本発明の目的は、このような従来の欠点を
除去するために、新たに三次元の構造を用いることによ
って可動部の回転、直線の両方の運動を容易に外部に取
り出すことができる微小機械とその作製方法を提供する
ことにある。
除去するために、新たに三次元の構造を用いることによ
って可動部の回転、直線の両方の運動を容易に外部に取
り出すことができる微小機械とその作製方法を提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の微小機械は可動
部に突起または空隙を設け、上層または下層に動力を伝
えることによって、アクチュエータで発生した動力を外
部または他の可動部に伝達することを特徴とし、また、
本構造を実現するために、層同士の位置合わせのための
突起を持つことを特徴としている。
部に突起または空隙を設け、上層または下層に動力を伝
えることによって、アクチュエータで発生した動力を外
部または他の可動部に伝達することを特徴とし、また、
本構造を実現するために、層同士の位置合わせのための
突起を持つことを特徴としている。
【０００６】
【作用】本発明に示すように固定部と可動部を多層構造
にすることにより、発生した可動部のエネルギーを一平
面上だけでなく、上下方向を含めた三次元方向に伝達す
ることが可能となる。これは、一方の可動部に設けた突
起を他方の可動部の空隙に挿入することにより上下方向
に力が伝達することを可能としたことによる。なお、平
面上の動きに関しては従来例のように、歯車やビーム等
を用いることにより、力を横方向に伝達することが可能
である。一方、このような三次元構造を実現するため
に、上下の構造を位置合わせして貼り合わせる工程が非
常に重要である。本発明では、図４に示すように、位置
合わせ用の突起と穴を設けることにより、可動部を傷つ
けることなく正確に位置合わせすることを可能とした。
以上のように、各層を別々に作成して最後に張りつける
ことで、プロセスの簡単化と歩留まりの向上が期待でき
る。
にすることにより、発生した可動部のエネルギーを一平
面上だけでなく、上下方向を含めた三次元方向に伝達す
ることが可能となる。これは、一方の可動部に設けた突
起を他方の可動部の空隙に挿入することにより上下方向
に力が伝達することを可能としたことによる。なお、平
面上の動きに関しては従来例のように、歯車やビーム等
を用いることにより、力を横方向に伝達することが可能
である。一方、このような三次元構造を実現するため
に、上下の構造を位置合わせして貼り合わせる工程が非
常に重要である。本発明では、図４に示すように、位置
合わせ用の突起と穴を設けることにより、可動部を傷つ
けることなく正確に位置合わせすることを可能とした。
以上のように、各層を別々に作成して最後に張りつける
ことで、プロセスの簡単化と歩留まりの向上が期待でき
る。
【０００７】
【実施例】図１（ａ）に本発明による微小機械の上面
図、同面（ｂ）に同図（ａ）のＡ−Ｂ面断面図をそれぞ
れ示す。第一層目の固定部１と第一層目の可動部３の間
に電圧を印加すると、静電気力が発生し、両者の間に引
力が働く。これを回転方向に繰り返すことによって、第
一層目の可動部３は固定軸２を軸にして回転方向にトル
クを生じる。すなわち第一層目はモータである。発生し
たトルクは、突起５によって第二層目の可動部４に伝え
られ、可動部４とかみあう歯車１００、これとかみあう
歯車２００によって外部へエネルギーを伝えることがで
きる。図２に第一層目の作製方法を、図３に第二層目の
作製方法をそれぞれ示す。本発明の構造は図４に示した
ように、第一層目と第二層目とを互いに貼り合わせた後
で試料をエッチングすることにより、実現できる。以
下、図２〜図４を用いて本発明の微小機械の作製方法を
説明する。なお、図２〜図４は作製過程における図１
（ａ）のＡ−Ｂ断面を示したものである。
図、同面（ｂ）に同図（ａ）のＡ−Ｂ面断面図をそれぞ
れ示す。第一層目の固定部１と第一層目の可動部３の間
に電圧を印加すると、静電気力が発生し、両者の間に引
力が働く。これを回転方向に繰り返すことによって、第
一層目の可動部３は固定軸２を軸にして回転方向にトル
クを生じる。すなわち第一層目はモータである。発生し
たトルクは、突起５によって第二層目の可動部４に伝え
られ、可動部４とかみあう歯車１００、これとかみあう
歯車２００によって外部へエネルギーを伝えることがで
きる。図２に第一層目の作製方法を、図３に第二層目の
作製方法をそれぞれ示す。本発明の構造は図４に示した
ように、第一層目と第二層目とを互いに貼り合わせた後
で試料をエッチングすることにより、実現できる。以
下、図２〜図４を用いて本発明の微小機械の作製方法を
説明する。なお、図２〜図４は作製過程における図１
（ａ）のＡ−Ｂ断面を示したものである。
【０００８】最初に、シリコンウエハ２０表面に酸化膜
２１を形成し、これをマスクにしてドライエッチング装
置（ＲＩＥ）を用いてトレンチ２３を形成する（図２
（ａ））。モータを形成する部分にボロンを高濃度に拡
散して拡散層２４（同図（ｂ））を形成し、続いて酸化
膜２６を形成してトレンチ２３を埋める。これをマスク
にしてボロン拡散２４よりも深いトレンチ２５を形成す
る（同図（ｃ））。次に、浅いトレンチ２７を形成した
後、深いトレンチ２５をポリシリコン２８で埋め、全面
をポリシリコン膜２９で覆う（同図（ｄ））。トレンチ
２３を含む領域のポリシリコン膜２９を除去した後、酸
化膜を堆積しパターニングしてトレンチ２３を含む領域
から固定軸２にかかるようにしてストッパー１０を形成
する（同図（ｅ））。最後にウエハ表面の酸化膜を除去
し、静電接着法を用いてガラス基板８に接着し、全体を
ヒドラジン液に侵してエッチングを行う（同図
（ｆ））。ボロンの高濃度拡散エッチストップによって
自動的に可動部３、固定部１、固定軸２、突起部５、
７、およびストッパー１０が作製される。なおストッパ
ー１０は可動部３が固定軸２から外れないようにするた
めに設けた。
２１を形成し、これをマスクにしてドライエッチング装
置（ＲＩＥ）を用いてトレンチ２３を形成する（図２
（ａ））。モータを形成する部分にボロンを高濃度に拡
散して拡散層２４（同図（ｂ））を形成し、続いて酸化
膜２６を形成してトレンチ２３を埋める。これをマスク
にしてボロン拡散２４よりも深いトレンチ２５を形成す
る（同図（ｃ））。次に、浅いトレンチ２７を形成した
後、深いトレンチ２５をポリシリコン２８で埋め、全面
をポリシリコン膜２９で覆う（同図（ｄ））。トレンチ
２３を含む領域のポリシリコン膜２９を除去した後、酸
化膜を堆積しパターニングしてトレンチ２３を含む領域
から固定軸２にかかるようにしてストッパー１０を形成
する（同図（ｅ））。最後にウエハ表面の酸化膜を除去
し、静電接着法を用いてガラス基板８に接着し、全体を
ヒドラジン液に侵してエッチングを行う（同図
（ｆ））。ボロンの高濃度拡散エッチストップによって
自動的に可動部３、固定部１、固定軸２、突起部５、
７、およびストッパー１０が作製される。なおストッパ
ー１０は可動部３が固定軸２から外れないようにするた
めに設けた。
【０００９】第二層目も以下の二点を除いて第一層目と
同様にして作製することができる。 １）一層目と二層目の位置合わせに用いる穴１１は、デ
バイス作製後は不必要になるために、図３（ｂ）に示す
ように穴の部分にはボロン拡散を行わない。また、同図
（ｅ）に示すように、この穴の表面付近をシリコン（１
００）面の異方性エッチングを利用して傾斜３０を設け
ている。これは、第一層目と第二層目の位置合わせの
際、多少の位置のずれが生じても傾斜によってウエハ同
士を正確に位置合わせする事を可能としている。また、
可動部等の機械要素を傷つけないように突起においては
他の部分よりも先に穴の表面に接触するように厚く製作
した。 ２）第二層目の固定軸２にはガラス層９が堆積されてい
る（同図（ｆ））。このガラス層９は第一層目をガラス
基板に接着するときに用いた静電接着法によって第二層
目の固定軸を第一層目に固定するのに役立つ。以上のよ
うにして作製した図２（ｆ）と図３（ｆ）の各試料を図
４（ａ）のように位置合わせした後、接着し、最後に全
体をヒドラジン液中でエッチングすることにより、図４
（ｂ）の構造が得られる。
同様にして作製することができる。 １）一層目と二層目の位置合わせに用いる穴１１は、デ
バイス作製後は不必要になるために、図３（ｂ）に示す
ように穴の部分にはボロン拡散を行わない。また、同図
（ｅ）に示すように、この穴の表面付近をシリコン（１
００）面の異方性エッチングを利用して傾斜３０を設け
ている。これは、第一層目と第二層目の位置合わせの
際、多少の位置のずれが生じても傾斜によってウエハ同
士を正確に位置合わせする事を可能としている。また、
可動部等の機械要素を傷つけないように突起においては
他の部分よりも先に穴の表面に接触するように厚く製作
した。 ２）第二層目の固定軸２にはガラス層９が堆積されてい
る（同図（ｆ））。このガラス層９は第一層目をガラス
基板に接着するときに用いた静電接着法によって第二層
目の固定軸を第一層目に固定するのに役立つ。以上のよ
うにして作製した図２（ｆ）と図３（ｆ）の各試料を図
４（ａ）のように位置合わせした後、接着し、最後に全
体をヒドラジン液中でエッチングすることにより、図４
（ｂ）の構造が得られる。
【００１０】以上のようにして完成した微小可動機械の
第一層目に静電気力で運動エネルギーを与えると、与え
られたエネルギーは突起５と空隙６を伝わって第二層目
に伝達される。第二層目に伝達されたエネルギーは図１
のような歯車列等を使って外部に取り出すことが可能と
なる。なお、本発明では、二つの層からなる構造を例と
して説明したが、本発明は、これに限定されることがな
い。例えば第二層目の可動部４に第一層目の可動部３の
突起５と同じような突起を設け、その上にその突起とは
まりあう空隙をもった第三層目の可動部を設けてもよ
い。また歯車１００、２００の回転運動を上方に伝えた
いときは同様に突起を歯車１００、２００に設け、その
上にその突起とはまりあう空隙をもった上層の歯車を設
ければよい。従って、本発明の作製方法を用いることに
より、三層、四層等の多層構造を順次作製することが可
能である。また、本発明の実施例では、外部からの印加
力として静電気力を例にとり示したが、外部力として、
静電気力の他に、電磁力、熱力あるいは１９９１年の微
小電気機械システム国際会議（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒ
ｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ（ＭＥＭ
Ｓ’８９））の論文集ｐ６９〜７３に記載されたダブリ
ュー・メンツ（Ｗ・Ｍｅｎｚ）等による「Ｔｈｅ ＬＩ
ＧＡ Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ−ａ Ｎｏｖｅｌ Ｃｏｎｃ
ｅｐｔｆｏｒＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ ａｎｄ
ｔｈｅ Ｃｏｍｂｉｎａｔｉｏｎｗｉｔｈ Ｓｉ−Ｔ
ｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ｂｙ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ
Ｍｏｌｄｉｎｇ」に報告されているような流体力等も使
用可能であることは言うまでもない。
第一層目に静電気力で運動エネルギーを与えると、与え
られたエネルギーは突起５と空隙６を伝わって第二層目
に伝達される。第二層目に伝達されたエネルギーは図１
のような歯車列等を使って外部に取り出すことが可能と
なる。なお、本発明では、二つの層からなる構造を例と
して説明したが、本発明は、これに限定されることがな
い。例えば第二層目の可動部４に第一層目の可動部３の
突起５と同じような突起を設け、その上にその突起とは
まりあう空隙をもった第三層目の可動部を設けてもよ
い。また歯車１００、２００の回転運動を上方に伝えた
いときは同様に突起を歯車１００、２００に設け、その
上にその突起とはまりあう空隙をもった上層の歯車を設
ければよい。従って、本発明の作製方法を用いることに
より、三層、四層等の多層構造を順次作製することが可
能である。また、本発明の実施例では、外部からの印加
力として静電気力を例にとり示したが、外部力として、
静電気力の他に、電磁力、熱力あるいは１９９１年の微
小電気機械システム国際会議（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒ
ｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ（ＭＥＭ
Ｓ’８９））の論文集ｐ６９〜７３に記載されたダブリ
ュー・メンツ（Ｗ・Ｍｅｎｚ）等による「Ｔｈｅ ＬＩ
ＧＡ Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ−ａ Ｎｏｖｅｌ Ｃｏｎｃ
ｅｐｔｆｏｒＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ ａｎｄ
ｔｈｅ Ｃｏｍｂｉｎａｔｉｏｎｗｉｔｈ Ｓｉ−Ｔ
ｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ｂｙ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ
Ｍｏｌｄｉｎｇ」に報告されているような流体力等も使
用可能であることは言うまでもない。
【００１１】
【発明の効果】本発明のように微小機械を多層構造にす
ることにより、運動エネルギーを容易に外部や周囲の可
動部に取り出すことが可能となった。また、従来の技術
では微小機械を厚く作製することができないため、大き
なトルクを得るために高い電圧を印加することが必要で
あるという難点があった。しかし、本発明を用いると、
上下方向に複数の動力源から積算した運動エネルギーを
積算させて印加することも可能となるので、従来に比べ
て低い電圧で微小機械を運動させることも可能になっ
た。
ることにより、運動エネルギーを容易に外部や周囲の可
動部に取り出すことが可能となった。また、従来の技術
では微小機械を厚く作製することができないため、大き
なトルクを得るために高い電圧を印加することが必要で
あるという難点があった。しかし、本発明を用いると、
上下方向に複数の動力源から積算した運動エネルギーを
積算させて印加することも可能となるので、従来に比べ
て低い電圧で微小機械を運動させることも可能になっ
た。
【図１】本発明の一実施例を示しており、二層構造の歯
車を三段連結した構造の上面とその動力部分の断面図で
ある。
車を三段連結した構造の上面とその動力部分の断面図で
ある。
【図２】図１に示す実施例のＡ−Ｂ断面の第一層目の作
製を工程順に示した断面図である。
製を工程順に示した断面図である。
【図３】図１に示す実施例のＡ−Ｂ断面の第二層目の作
製を工程順に示した断面図である。
製を工程順に示した断面図である。
【図４】第一層目と第二層目の位置合わせを行いながら
両者の貼り合わせを行った断面図であり、（ｂ）はデバ
イスの完成図である。
両者の貼り合わせを行った断面図であり、（ｂ）はデバ
イスの完成図である。
１ 固定部（固定電極） ２ 固定軸 ３ 可動部１（第一層目の可動電極） ４ 可動部２ ５ 突起（運動伝達） ６ 空隙（運動伝達） ７ 突起（位置合わせ） ８ 基板 ９ ガラス １０ ストッパー
Claims (3)
- 【請求項１】 外部から印加された力により可動電極が
運動する微小可動機械において、突起を持った可動部
と、前記可動部の上層または下層に位置し、かつ前記突
起がはまる空隙を持った可動部の少なくとも二層以上の
微小可動機械層から構成されることを特徴とする微小可
動機械。 - 【請求項２】 別々に作製した上層と下層の固定部同士
を接合することを特徴とする請求項１に記載の微小可動
機械の製造方法。 - 【請求項３】 一方の層に他方の層との位置合わせのた
めの突起を有し、他方の層に位置合わせのための空隙を
有することを特徴とする請求項２に記載の微小可動機械
の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3225752A JP3060639B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 微小可動機械の製造方法 |
| US07/940,516 US5493156A (en) | 1991-09-05 | 1992-09-04 | Equipment using a micro-actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3225752A JP3060639B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 微小可動機械の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0564464A true JPH0564464A (ja) | 1993-03-12 |
| JP3060639B2 JP3060639B2 (ja) | 2000-07-10 |
Family
ID=16834274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3225752A Expired - Fee Related JP3060639B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 微小可動機械の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5493156A (ja) |
| JP (1) | JP3060639B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0757431A3 (en) * | 1995-08-03 | 1997-10-08 | Ibm | Machine structure consisting of a large number of microstructure layers |
| JP2008122390A (ja) * | 2006-11-13 | 2008-05-29 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | Ｍｅｍｓマイクロモータを含む駆動モジュール、このモジュールの製造のためのプロセス、およびこのモジュールを備えた計時器 |
| JP2008122389A (ja) * | 2006-11-13 | 2008-05-29 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | Ｍｅｍｓマイクロモータと時計の歯付きホイールとを機械的に接続させるための装置およびこの装置を備える時計 |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4316856A1 (de) * | 1993-05-19 | 1994-11-24 | Siemens Ag | Mikromechanisches Bauteil und Verfahren zu seiner Herstellung |
| US6768610B1 (en) * | 1997-08-27 | 2004-07-27 | Seagate Technology Llc | Microactuator servo system in a disc drive |
| DE69735806D1 (de) * | 1997-10-29 | 2006-06-08 | St Microelectronics Srl | Verfahren zur Herstellung einer Halbleiter Microantrieb, insbesondere für Lese-Schreibekopf einem Festplattengerät, und so hergestellter Microantrieb |
| US6195227B1 (en) * | 1997-12-30 | 2001-02-27 | International Business Machines, Inc. | Integrated 3D limiters for microactuators |
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