JP2004183071A - プラズマ成膜方法及びプラズマ成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理容器2内に成膜性ガスを導入すると共に,ウエハWに対向配置される電極板21に第2の高周波電源31によって高周波電力を供給してプラズマを発生させてウエハWに対して成膜する際に,処理容器内2の圧力を133Pa以上とし,さらに前記高周波より低い周波数の低周波バイアスを低周波電源42によって電極板21に対して,印加する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は,プラズマ成膜方法及びプラズマ成膜装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から,例えば処理容器内に堆積性ガス,例えばSiCH系ガスを導入すると共に,処理容器内にプラズマを発生させて,処理容器内の基板に対して成膜処理をすることが行われており,例えばいわゆる平行平板型プラズマ成膜装置が使用されている(例えば,特許文献1参照。)。
【0003】
【特許文献1】
特開平8−20874号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら,発明者の検証によれば,平行平板型プラズマ成膜装置において基板と対向する側の電極(通常は処理容器内の上部に位置する上部電極)に,13.56MHzの高周波を印加すると,処理容器内の圧力が高圧力(1torr以上:133Pa以上)の場合には,上部電極付近にプラズマの脈動と呼ばれる現象が生ずる。これは,堆積性ガスの解離に伴って上部電極にデポが偏在して発生し,その結果これらデポからの二次電子,二次イオンの放出が電極の他の部分からの放出に比べて多いため,プラズマの濃淡が生じ,時間の経過と共にそれらデポの消滅,発生という現象が場所を変えて次々と起こることによるものだと考えられる。
あるいは上部電極上に堆積され成長した膜が微粒子となって気相(プラズマ)中に放出され,それらがさらに成長,移動しながらプラズマ中の電子を吸収し負イオンになることによってプラズマが不安定になり脈動が生ずるものと考えられる。
【0005】
そのようなプラズマの脈動が発生すると,プラズマの不均一を招いて均一な成膜処理が行えなかったり,また成膜の再現性が劣化するおそれがある。
【0006】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり,プラズマ成膜処理に置いて,高周波が印加されている基板と対向している側の電極にデポが付着するのを抑えて,その結果,微粒子の発生をも抑止してプラズマの脈動を抑えることを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため,請求項1によれば,処理容器内に成膜性ガスを導入すると共に,処理容器内において対向する一対の電極のうちの基板と対向する側の電極,例えば上下に平行に配置された電極の場合には上部電極に高周波電力を供給してプラズマを発生させ,該処理容器内の基板に対して成膜する方法であって,さらに前記基板と対向する側の電極に対して前記高周波より低い低周波バイアス,例えば200kHz〜2MHzを印加して成膜処理を行うことを特徴とする,プラズマ成膜方法が提供される
【0008】
発明者らの検証によれば,基板と対向する側の電極に対して低周波バイアス印加すると,処理容器内に発生したプラズマ中のイオンを,前記電極側に積極的に引き寄せ,それによって前記電極に堆積したデポを削ることができる。これによって前記電極へのデポの付着を抑制してプラズマの脈動を防止することができる。
【0009】
前記処理容器内の圧力を133Pa(1Torr)以上とし,さらに基板と対向する側の電極における少なくともプラズマに曝される表面を200℃以上,好ましくは400℃以上の温度に維持して成膜処理を行うようにすれば,電極表面からデポの脱離を図って電極への堆積を抑え,プラズマの脈動を防止することができる。
【0010】
本発明のプラズマ成膜装置は,処理容器内に成膜性ガスを導入すると共に,処理容器内において対向する一対の電極のうちの基板と対向する側の電極に高周波電力を供給してプラズマを発生させ,該処理容器内の基板に対して成膜する装置であって,前記基板と対向する側の電極内に,プラズマに曝された表面からの熱が,当該電極の支持部側へ伝達するのを抑制する断熱部材が設けられていることを特徴としている。
【0011】
かかる装置によれば,プラズマから電極に伝達された熱が電極の支持部側へ伝達するのを抑制することができ,その結果当該電極を高温に維持する事ができ,例えば断熱部材の存在によって,基板と対向する側の電極における少なくともプラズマに曝される表面を200℃以上,好ましくは400℃以上の温度に維持して成膜処理することができる。
【0012】
また前記基板と対向する側の電極内にヒータを設ければ,電極に対して積極的に加熱して,プラズマに曝される表面を200℃以上,好ましくは400℃以上の温度に維持して成膜処理することができる。もちろん前記した断熱材と組み合わせて設ければ,より効率よく電極を高温に維持することが可能である。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下,本発明の好ましい実施の形態について説明する。図1は,本実施の形態にかかるプラズマ成膜装置1の縦断面の様子を示しており,このプラズマ成膜装置1は例えばアルミニウムからなる,接地された円筒状の処理容器2を備えている。前記処理容器2の底部には,基板として例えば半導体ウエハ(以下ウエハという)Wを載置するためのサセプタ3が設けられている。このサセプタ3は平行平板電極のうちの下部電極を兼用している。前記サセプタ3は例えばアルミニウムからなり,ほぼ円柱状に形成され,表面には静電チャック4が設けられている。静電チャック4は,薄い誘電層の中にチャック電極5を埋設して構成され,チャック電極5はスイッチ6を介して直流電圧源7から直流電圧が印加されることによりウエハWを静電吸着する。
【0014】
前記静電チャック4には伝熱ガス用の孔8が複数箇所に開いており,伝熱ガス供給管9からの伝熱ガス例えばヘリウムガスが前記孔8を介してウエハWと静電チャック4との間の微小な隙間に供給されるように構成されている。また図示していないが,静電チャック4及びサセプタ3内を貫通して昇降する,ウエハWの受け渡し用のリフタ−ピンが設けられている。
【0015】
前記サセプタ3内には冷媒流路11が形成され,冷媒供給管12から供給された冷媒が冷媒流路11を通って冷媒排出管13から排出されるようになっている。ウエハWの温度は,例えばこの冷媒による冷熱と前記伝熱ガスによるウエハW,静電チャック4間の伝熱効率とにより調整される。前記サセプタ3の上部周縁部には,絶縁材よりなるリング体14が設けられている。このリング体14によって,反応性イオンをウエハWに効果的に入射させることが可能である。
【0016】
前記サセプタ3は処理容器2に対して絶縁されるように,上面が開口した平型円筒状の絶縁体15の中に配置されている。そして下部電極であるサセプタ3と,基準電位例えばア−スとの間には整合器16及び第1の高周波電源17が接続されている。この第1の高周波電源17の電力は,例えば0.5〜1.0kw,周波数が400〜2000kHzの間の所定の周波数に夫々設定されている。
【0017】
前記処理容器2の天井部には,サセプタ3に対して平行にかつ対向するように上部電極を形成する電極板21が設けられている。この電極板21は例えばSiO2 によりコ−ティングされたアルミニウムにより構成されると共に多数のガス供給孔22を備えており,導電体からなる電極支持体23に支持されている。
【0018】
電極板21と電極支持体23との間にはガス拡散板24が配置されると共に,電極支持体23とガス拡散板24との間に処理ガスを供給するように,前記電極支持体23にガス供給管25が接続されている。ガス供給管25からの処理ガスはガス拡散板24を介して電極板21のガス供給孔22から,処理空間にあるサセプタ3上のウエハWに向けて供給される。前記電極板21及び電極支持体23は絶縁体26によって処理容器2に対して絶縁されている。
【0019】
上部電極である電極板21と基準電位例えばア−スとの間には,整合器31及び第2の高周波電源32が接続されている。この第2の高周波電源32の電力は,例えば0.5〜2.0kw,周波数は13.56MHに夫々設定されている。
【0020】
また電極板21には,さらに整合器41及び低周波電源42が接続されている。この低周波電源42の電力は,例えば0.3〜2.0kw,周波数は400KHに夫々設定されている。
【0021】
前記ガス供給管25はバルブVを介して例えば複数に分岐され,各分岐路は処理ガスのガス供給源に接続されている。この例ではSiCH系の絶縁膜を成膜するために,2本の分岐路51,52には,マスフロ−コントロ−ラ53,54を介して,成膜性の処理ガスとして,例えばSiH2(CH3)2(ジメチルシランガス)と,希釈に使用されるAr(アルゴンガス)供給源55,56が接続されている。
【0022】
処理容器2の排気系について説明すると,処理容器2の底部には排気管61が接続され,真空ポンプ62により真空排気が行われるようになっており,例えば処理容器2内を,例えば133Pa(1Torr)以上の圧力まで減圧することが可能になっている。
【0023】
本実施の形態にかかるプラズマ成膜装置1は,以上の構成を有しており,被処理体であるウエハWは処理容器2に隣接している図示しないロ−ドロック室から,予め所定の真空度に維持された処理容器2内に搬入され,図示しない既述のリフトピンの昇降動作を介して,予め所定の温度に調整されているサセプタ3上に載置される。そしてスイッチ6をオンにして直流電圧をチャック電極5に印加することにより静電チャック4により吸着保持される。
【0024】
一方,バルブVが開かれ,処理容器2内にはSiH2(CH3)2(ジメチルシランガス)と,希釈に使用されるAr(アルゴンガス)Arガスとが,各々ガス供給源55,56からマスフローコントローラ53,54を介して所定の流量に調整されて,ガス供給管25を介してガス供給孔22から処理容器2内に供給される。このとき処理容器2内の圧力は,例えば133Pa(1Torr)に維持される。
【0025】
そして上部電極としての電極板21に対して,第2の高周波電源32から,電力値が1.0kw,周波数が13.56MHzの高周波電力が印加され,同時に低周波電源42から,例えば電力値0.5kw,周波数が400kHz低周波電力が,重畳して印加される。
【0026】
次いでサセプタ3に第1の高周波電源17から,例えば電力値0.5kw,周波数が2MHzの高周波電力が印加される。
【0027】
そうすると,処理容器2内におけるウエハWの上方空間には,プラズマが発生し,成膜ガスとしてのSiH2(CH3)2(ジメチルシランガス)がプラズマ化され,ウエハW上に絶縁性のSiCxHy(x,yは正の実数)膜が成膜される。
【0028】
そしてそのような成膜処理がなされている間,電極板21には,低周波電源42からの低周波が印加されているので,プラズマ中のイオンが電極板21に引き寄せられ,電極板21の表面に対して衝撃を与える。これによって,解離した成膜種が上部電極21に付着してデポとなろうとしても,該衝撃によって除去される。したがって,上部電極としての電極板21の表面にSiCH系のデポが付着するのを抑えて,既述したプラズマ脈動の原因となるデポによる表面の凹凸の形成が防止されるのである。特に本実施の形態では,成膜処理の間に同時に電極板21の表面に対していわばクリーニングを実行することができ,装置を停止して電極板21の表面のデポを別途行う専用のクリーニング処理を行う必要がない。
【0029】
前記した霊では,使用した成膜ガスは,SiH2(CH3)2(ジメチルシランガス)であったが,もちろんこれに限らず,例えばアルキルシランガス[Si(CnH2n+1)mH4−m]と酸素ガスとの混合ガス(n,2n+1,m,4−mは化学式では下付きであるが,便宜上並べて記載してある)や,モノメチルシランガス[SiH3CH3],トリメチルシランガス[SiH(CH3)3]及びテトラシランガス[Si(CH3)]4などのメチルシランガスや,エチルシランガスなどを用いることができる。あるいはアルキルシランガスの代りに,CH3Si(OCH3)3などのアルコキシシランガスを用いてもよいし,これらを混合して用いてもよい。
【0030】
上記実施の形態では,上部電極としての電極板21に対して低周波のバイアスを印加するようにして,成膜処理の間に,同時にイオンによるいわばクリーニングを実施するようにしていたが,これに代えて,あるいは併用して,電極板21を温度を200℃以上に維持して成膜処理を実施しても良い。
【0031】
この場合,例えば図2に示したように,電極板21の内部に,電源71からの電力の供給によってによって発熱するヒータ,例えばセラミックヒータ72を埋設すればよい。これによって,電極板21におけるプラズマに曝される表面側を200℃,好ましくは400℃以上に維持して,プロセスを実行することができる。そしてこのように電極板21の表面をそのような高温に維持することにより,堆積種が電極表面に付着しても,これを脱離させることができる。したがって,プラズマ脈動の原因となる上部電極へのデポの付着を成膜処理中に実行することができ,安定したプラズマ成膜処理を行うことができる。
【0032】
さらにまた図3に示したように,電極板21と拡散板24との間における電極板21の上面側に,断熱材,例えばセラミックス板73を配置してもよい。この場合,セラミックス板73には,電極板21に設けられているガス供給孔22に対応して,孔73aを形成しておくとよい。このような断熱材としてのセラミックス板73を設けることで,プラズマからの熱が電極板21に伝達されても,当該セラミックス板73によって,該熱が電極の支持側に逃げていくのを抑えることができ,その結果電極板21におけるプラズマに曝される表面側の温度を,200℃以上に維持することが可能である。これによって,堆積種が電極板21表面に付着しても,これを脱離させることができる。
【0033】
なお図3,4に示した例ではセラミックス板73は,電極板21の上面に密着して設けていたが,拡散板24の下面側に配置してもよい。この場合拡散板24の拡散孔24aに対応して,孔73aをセラミックス板73に形成すればよい。
【0034】
もちろん前記したヒータ72とセラミックス板73とを併用すれば,さらに効率よく,また所望の高温に,電極板21におけるプラズマに曝される表面側の温度を維持することが可能である。
【0035】
【発明の効果】
本発明によれば,いわゆる平行平板型のプラズマ成膜装置を用いて,基板と対向する側の電極付近にプラズマの脈動が発生するのを防止して,均一でかつ安定したプラズマ成膜処理を実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態にかかるプラズマ成膜装置の断面説明図である。
【図2】電極板内にヒータを有する上部電極周りの構成を示す断面説明図である。
【図3】電極板の上部にセラミックス板を有する上部電極周りの構成を示す断面説明図である。
【図4】図3の電極板構造の拡大断面図である。
【符号の説明】
1 プラズマ成膜装置
2 処理容器
3 サセプタ
17 第1の高周波電源
21 電極板
32 第2の高周波電源
42 低周波電源
61 排気管
62 真空ポンプ
72 セラミックヒータ
73 セラミックス板
W ウエハ
Claims (6)
- 処理容器内に成膜性ガスを導入すると共に,処理容器内において対向する一対の電極のうちの基板と対向する側の電極に高周波電力を供給してプラズマを発生させ,該処理容器内の基板に対して成膜する方法であって,
さらに前記基板と対向する側の電極に対して,前記高周波より低い低周波バイアスを印加して成膜処理を行うことを特徴とする,プラズマ成膜方法。 - 処理容器内に成膜性ガスを導入すると共に,処理容器内において対向する一対の電極のうちの基板と対向する側の電極に高周波電力を供給してプラズマを発生させ,該処理容器内の基板に対して成膜する方法であって,
前記処理容器内の圧力を133Pa以上とし,
前記基板と対向する側の電極における少なくともプラズマに曝される表面を200℃以上の温度に維持して成膜処理を行うことを特徴とする,プラズマ成膜方法。 - 処理容器内に成膜性ガスを導入すると共に,処理容器内において対向する一対の電極のうちの基板と対向する側の電極に高周波電力を供給してプラズマを発生させ,該処理容器内の基板に対して成膜する装置であって,
前記基板と対向する側の電極内に,プラズマに曝された表面からの熱が,当該電極の支持部側へ伝達するのを抑制する断熱部材が設けられていることを特徴とする,プラズマ成膜装置。 - 前記断熱部材は,前記基板と対向する側の電極の上面に密着して設けられていることを特徴とする,請求項3に記載のプラズマ成膜装置。
- 前記基板と対向する側の電極内にヒータが設けられていることを特徴とする,請求項4に記載のプラズマ成膜装置。
- 処理容器内に成膜性ガスを導入すると共に,処理容器内において対向する一対の電極のうちの基板と対向する側の電極に高周波電力を供給してプラズマを発生させ,該処理容器内の基板に対して成膜する装置であって,
前記基板と対向する側の電極内にヒータが設けられていることを特徴とする,プラズマ成膜装置。
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