JP2004158866A - 半導体集積回路 - Google Patents
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Abstract
【目的】
アクティブマトリクス回路とそれを駆動する周辺論理回路を同一基板上に一体形成される半導体集積回路を提供する。
【構成】
絶縁基板上に第1の薄膜トランジスタを有するアクティブマトリクス回路と薄膜トランジスタを有しアクティブマトリクス回路を駆動するための周辺論理回路とを有する半導体集積回路において、薄膜トランジスタを覆う酸化珪素膜と、酸化珪素膜上に形成され第1の薄膜トランジスタに接続される電極と、酸化珪素膜及び電極上に形成された窒化珪素膜と、窒化珪素膜上に形成され電極と接続される透明電極とを有し、第1の薄膜トランジスタのチャネル領域と低濃度不純物領域の境界はゲート電極の端部と一致しており、第1の薄膜トランジスタの低濃度不純物領域はゲート電極と重なっておらず、酸化珪素膜に形成されたコンタクトホールと窒化珪素膜に形成されたコンタクトホールは重なっていないことを特徴とする半導体集積回路を提供する。
【選択図】 図1
アクティブマトリクス回路とそれを駆動する周辺論理回路を同一基板上に一体形成される半導体集積回路を提供する。
【構成】
絶縁基板上に第1の薄膜トランジスタを有するアクティブマトリクス回路と薄膜トランジスタを有しアクティブマトリクス回路を駆動するための周辺論理回路とを有する半導体集積回路において、薄膜トランジスタを覆う酸化珪素膜と、酸化珪素膜上に形成され第1の薄膜トランジスタに接続される電極と、酸化珪素膜及び電極上に形成された窒化珪素膜と、窒化珪素膜上に形成され電極と接続される透明電極とを有し、第1の薄膜トランジスタのチャネル領域と低濃度不純物領域の境界はゲート電極の端部と一致しており、第1の薄膜トランジスタの低濃度不純物領域はゲート電極と重なっておらず、酸化珪素膜に形成されたコンタクトホールと窒化珪素膜に形成されたコンタクトホールは重なっていないことを特徴とする半導体集積回路を提供する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、絶縁基板上に絶縁ゲイト型半導体装置が多数形成された集積回路を歩留りよく形成する方法に関する。特に、本発明は、広い意味でのアクティブマトリクス(配線がマトリクス状に配置され、その交点に信号の選択のための1つ以上のスイッチングトランジスタが設けられている回路)とそれを駆動するための周辺回路を同一基板上に有する集積化された半導体集積回路(モノリシック型アクティブマトリクス回路)に関する。本発明の応用例は、具体的には、モノリシック型アクティブマトリクス液晶ディスプレー(AM−LCD)や、DRAM、SRAM、EPROM、EEPROM、マスクROM等の半導体集積回路で、絶縁基板上に形成されたものである。
近年、絶縁基板上に絶縁ゲイト型半導体装置(MISFET)を形成する研究が盛んに成されている。このように絶縁基板上に半導体集積回路を形成することは回路の高速駆動の上で有利である。なぜなら、従来の半導体集積回路の速度は主として配線と基板との容量(浮遊容量)によって制限されていたのに対し、絶縁基板上ではこのような浮遊容量が存在しないからである。このように絶縁基板上に形成され、薄膜状の活性層を有するMISFETを薄膜トランジスタ(TFT)という。
特に、最近になって、透明な基板上に半導体集積回路を形成する必要のある製品が出現した。例えば、液晶ディスプレーのような光デバイスである。ここにもTFTが用いられている。特に、これらの回路は大面積に形成することが要求されるのでTFT作製プロセスの低温化が求められている。さらに、アクティブマトリクス回路を駆動するための周辺論理回路をも同じ絶縁基板上にモノリシックに形成することも提案されている。
しかしながら、通常のTFTにおいては、オフ状態での大きなリーク電流のため、アクティブマトリクス回路のスイッチングトランジスタや、モノリシック型アクティブマトリクス回路において、周辺論理回路とアクティブマトリクス回路とを接続するために設けられるドライバーTFT(スイッチングトランジスタ)として利用するには信頼性の点で問題があることが指摘されていた。このような背景のもと、特許文献1に示されるように、ソース/ドレインに隣接して低濃度な領域を設けるとリーク電流が低減できることが報告された。これは、半導体集積回路技術に用いられるLDDに相当するものとして記述されていた。
しかしながら、TFTでは、単結晶半導体よりもはるかに欠陥の多い非単結晶半導体を用いるのであるから、半導体集積回路のLDDをそのまま援用することは適切でない。その点、上記の発明においては、低濃度不純物領域の最適な幅が記述されていない。また、特にモノリシック型アクティブマトリクス回路を作製する上で、全体的な工程は何ら示されていず、また、周辺論理回路をどのような構造のTFTで構成すると好ましいかというような記述も欠けていた。
例えば、本発明人の研究によると、高速応答性が要求される周辺論理回路においては、ソース/ドレイン間に挿入された直列抵抗として機能する低濃度不純物領域を設けると、動作速度の点で障害が生じた。本発明は上記の問題点を解決せんがためになされたものであり、好ましい回路構成を得るための、作製方法を提供することを課題とする。
本発明は、基本的に以下の工程を有するものである。すなわち、
(1) アクティブマトリクス回路用および周辺論理回路用の複数の島状の半導体領域を形成する工程、
(2) 前記半導体領域上にゲイト絶縁膜およびゲイト電極を形成する工程、
(3) 全ての前記半導体領域に第1の導電型の不純物を低濃度にドーピングする工程、
(4) 前記半導体領域のうち、第2の導電型のTFTを構成する部分と、アクティブマトリクス回路を構成するTFT(AM−LCDにあっては画素TFT)およびドライバーTFTのチャネルに隣接する部分とを覆って、マスクを形成し、第1の導電型の不純物をドーピングする工程、
(5) 前記半導体領域のうち、第1の導電型のTFTを構成する部分を覆って、マスクを形成し、第2(第1の導電型がN型であれば、P型、P型であればN型)の導電型の不純物をドーピングする工程、
である。
(1) アクティブマトリクス回路用および周辺論理回路用の複数の島状の半導体領域を形成する工程、
(2) 前記半導体領域上にゲイト絶縁膜およびゲイト電極を形成する工程、
(3) 全ての前記半導体領域に第1の導電型の不純物を低濃度にドーピングする工程、
(4) 前記半導体領域のうち、第2の導電型のTFTを構成する部分と、アクティブマトリクス回路を構成するTFT(AM−LCDにあっては画素TFT)およびドライバーTFTのチャネルに隣接する部分とを覆って、マスクを形成し、第1の導電型の不純物をドーピングする工程、
(5) 前記半導体領域のうち、第1の導電型のTFTを構成する部分を覆って、マスクを形成し、第2(第1の導電型がN型であれば、P型、P型であればN型)の導電型の不純物をドーピングする工程、
である。
ここで、工程(3)〜(5)はスルドーピング(ゲイト絶縁膜によって半導体領域を覆った状態でドーピングをおこなう方法)でもベアドーピング(半導体領域を露出させて、ドーピングをおこなう方法)でもよい。
さらに、工程(4)において、アクティブマトリクス回路を構成するTFTおよびドライバーTFTのゲイト電極に隣接する部分とを覆って形成されるマスクの幅は1〜5μmが好ましい。
また、工程(3)で形成される第1の導電型の領域の不純物濃度は、工程(4)で形成される第1の導電型の領域の不純物濃度よりも小さくなるように、また、工程(3)で形成される第1の導電型の領域の不純物濃度は、工程(5)で形成される第2の導電型の領域の不純物濃度よりも小さくなるようにおこなうことが望ましい。工程(4)と(5)はその順序が入れ代わってもよい。
工程(1)および(2)は、一般的なトップゲイト型TFTの作製工程である。工程(3)によって、ゲイト電極をマスクとして、全ての半導体領域に自己整合的に低濃度不純物領域が形成される。
工程(4)では、第1の導電型のTFTのソース/ドレインが形成されるが、その際、アクティブマトリクス回路を構成するTFTおよびドライバーTFTにおいては、ソース/ドレインとチャネルとの間のマスクの施された領域においてはドーピングされないので、工程(3)で形成された低濃度不純物領域が維持される。すなわち、ソース/ドレインに隣接して低濃度不純物領域を設けることができ、これらのTFTではリーク電流を低減できる。
本発明人の研究によると、この低濃度不純物領域の幅は1〜5μm、典型的には3μmであると、十分なリーク電流抑制効果を得ることができた。それ以下では、リーク電流が大きく、また、それ以上では、オン状態での電流が小さく、TFT動作に障害をきたした。
一方、その他のTFT、すなわち、周辺論理回路を構成するTFTは低濃度不純物領域が形成されない。そのため、これらのTFTではリーク電流も多いが、オン電流も多く、高速動作に適していた。これらのTFTはデジタル動作が主であるので、オフ状態となることがなく、したがって、オフ状態でのリーク電流は全く問題ではない。
工程(5)では、第1の導電型とは逆の第2の導電型の不純物がドーピングされる。この際、第2の導電型のドーピング量(ドーズ量)を、工程(3)における第1の導電型のドーズ量よりも大きくすることにより、導電型を第1から第2に反転させる。第2の導電型のTFTは周辺論理回路領域のTFTに限定される。また、第2の導電型のTFTは、低濃度不純物領域を有しない。この結果、リーク電流が大きいが、周辺論理回路に使用されるという場合には問題がないことは先に述べた通りである。
本発明によって、アクティブマトリクス回路やドライバー回路のスイッチング特性を高め、周辺論理回路の高速動作を両立させたモノリシック型アクティブマトリクス回路を形成することができる。このように本発明は工業上、有益である。
[実施の形態1]
本実施の形態はモノリシック型アクティブマトリクス回路を用いた液晶ディスプレー基板の作成方法に関する。以下、本実施の形態のモノリシック型アクティブマトリクス回路を得る作製工程について、図1を用いて説明する。図の左側に周辺論理回路のTFTの作製工程を、右側にアクティブマトリクス回路のTFTの作製工程を、それぞれ示す。まず、石英基板101上に下地酸化膜102として厚さ100〜300nmの酸化珪素膜を形成した。この酸化珪素膜の形成方法としては、酸素雰囲気中でのスパッタ法やプラズマCVD法を用いればよい。
本実施の形態はモノリシック型アクティブマトリクス回路を用いた液晶ディスプレー基板の作成方法に関する。以下、本実施の形態のモノリシック型アクティブマトリクス回路を得る作製工程について、図1を用いて説明する。図の左側に周辺論理回路のTFTの作製工程を、右側にアクティブマトリクス回路のTFTの作製工程を、それぞれ示す。まず、石英基板101上に下地酸化膜102として厚さ100〜300nmの酸化珪素膜を形成した。この酸化珪素膜の形成方法としては、酸素雰囲気中でのスパッタ法やプラズマCVD法を用いればよい。
その後、プラズマCVD法やLPCVD法によってアモルファスもしくは多結晶のシリコン膜を30〜150nm、好ましくは50〜100nm形成した。そして、500℃以上、好ましくは、800〜950℃の温度で熱アニールをおこない、シリコン膜を結晶化させた、もしくは、結晶性を高めた。熱アニールによって結晶化させたのち、光アニールをおこなって、さらに結晶性を高めてもよい。また、熱アニールによる結晶化の際に、 特許文献2や特許文献3に記述されているように、ニッケル等のシリコンの結晶化を促進させる元素(触媒元素)を添加してもよい。
次にシリコン膜をエッチングして、島状の周辺駆動回路のTFTの活性層103(Pチャネル型TFT用)、104(Nチャネル型TFT用)とマトリクス回路のTFT(画素TFT)の活性層105を形成した。さらに、酸素雰囲気中でのスパッタ法によって、厚さ50〜200nmの酸化珪素のゲイト絶縁膜106を形成した。ゲイト絶縁膜の形成方法としては、プラズマCVD法を用いてもよい。プラズマCVD法によって酸化珪素膜を形成する場合には、原料ガスとして、一酸化二窒素(N2O)もしくは酸素(O2)とモノシラン(SiH4)を用いることが好ましかった。
その後、厚さ200nm〜5μm、好ましくは200〜600nmの多結晶シリコン膜(導電性を高めるため微量の燐を含有する)をLPCVD法によって基板全面に形成した。そして、これをエッチングして、ゲイト電極107、108、109を形成した。(図1(A))
その後、イオンドーピング法によって、全ての島状活性層に、ゲイト電極をマスクとして自己整合的にフォスフィン(PH3)をドーピングガスとして燐を注入した。ドーズ量は1×1012〜5×1013原子/cm2とした。この結果、弱いN型領域110、111、112が形成された。(図1(B))
次に、Pチャネル型TFTの活性層103を覆うフォトレジストのマスク113、および、画素TFTの活性層105のうち、ゲイト電極に平行にゲイト電極109の端から3μm離れた部分までを覆うフォトレジストのマスク114を形成した。そして、再び、イオンドーピング法によって、フォスフィンをドーピングガスとして燐を注入した。ドーズ量は1×1014〜5×1015原子/cm2とした。この結果、強いN型領域(ソース/ドレイン)115、116が形成された。画素TFTの活性層105の弱いN型領域112のうち、マスク114に覆われていた領域117は今回のドーピングでは燐が注入されなかったので、弱いN型のままであった。(図1(C))
次に、Nチャネル型TFTの活性層104、105をフォトレジストのマスク118で覆い、ジボラン(B2H6)をドーピングガスとして、イオンドーピング法により、島状領域103に硼素を注入した。ドーズ量は5×1014〜8×1015原子/cm2とした。このドーピングでは、硼素のドーズ量が図1(C)における燐のドーズ量を上回るため、先に形成されていた弱いN型領域110は強いP型領域119に反転した。以上のドーピングにより、強いN型領域(ソース/ドレイン)115、116、強いP型領域(ソース/ドレイン)119、弱いN型領域(低濃度不純物領域)117が形成され、本実施の形態では、低濃度不純物領域117の幅xは、フォトレジストのマスク114の大きさより約3μmであった。(図1(D))
その後、450〜850℃で0.5〜3時間の熱アニールを施すことにより、ドーピングによるダメージを回復せしめ、ドーピング不純物を活性化、シリコンの結晶性を回復させた。その後、全面に層間絶縁物120として、プラズマCVD法によって酸化珪素膜を厚さ300〜600nm形成した。これは、窒化珪素膜あるいは酸化珪素膜と窒化珪素膜の多層膜であってもよい。そして、層間絶縁物120をウェットエッチング法によってエッチングして、ソース/ドレインにコンタクトホールを形成した。
そして、スパッタ法によって、厚さ200〜600nmのチタン膜を形成し、これをエッチングして、周辺回路の電極・配線121、122、123および画素TFTの電極・配線124、125を形成した。さらに、プラズマCVD法によって、厚さ100〜300nmの窒化珪素膜126をパッシベーション膜として形成し、これをエッチングして、画素TFTの電極125に達するコンタクトホールを形成した。最後に、スパッタ法で成膜した厚さ50〜150nmのITO(インディウム錫酸化物)膜をエッチングして、画素電極127を形成した。このようにして、周辺論理回路とアクティブマトリクス回路を一体化して形成できた。(図1(E))
[実施の形態2]
本実施の形態もモノリシック型アクティブマトリクス回路を用いた液晶ディスプレー基板に関する。以下、本実施の形態のモノリシック型アクティブマトリクス回路を得る作製工程について、図2を用いて説明する。まず、基板(コーニング7059)101上に下地酸化膜102として厚さ200nmの酸化珪素膜と厚さ50nmのアモルファスシリコン膜を、いずれもプラズマCVD法によって連続的に形成した。そして、レーザーもしくはそれと同等な強光を照射する方法(光アニール法)によって、シリコン膜を結晶化させた。本実施の形態では、KrFエキシマレーザー(波長248nm)を用いた。レーザーの最適なエネルギー密度は350〜550mJ/cm2であった。
本実施の形態もモノリシック型アクティブマトリクス回路を用いた液晶ディスプレー基板に関する。以下、本実施の形態のモノリシック型アクティブマトリクス回路を得る作製工程について、図2を用いて説明する。まず、基板(コーニング7059)101上に下地酸化膜102として厚さ200nmの酸化珪素膜と厚さ50nmのアモルファスシリコン膜を、いずれもプラズマCVD法によって連続的に形成した。そして、レーザーもしくはそれと同等な強光を照射する方法(光アニール法)によって、シリコン膜を結晶化させた。本実施の形態では、KrFエキシマレーザー(波長248nm)を用いた。レーザーの最適なエネルギー密度は350〜550mJ/cm2であった。
次にシリコン膜をエッチングして、周辺駆動回路のTFTの活性層203(Pチャネル型TFT)、204(Nチャネル型TFT)とマトリクス回路の画素TFTの活性層205を形成した。さらに、原料ガスとして、一酸化二窒素(N2O)もしくは酸素(O2)とモンシラン(SiH4)を用いるプラズマCVD法もしくは熱CVD法により、ゲイト絶縁膜206を形成した。
その後、厚さ200nm〜5μm、好ましくは200〜600nmのアルミニウム膜(0.1〜0.5重量%のスカンジウムを含有する)をスパッタ法によって基板全面に形成した。そして、これをエッチングして、ゲイト電極207、208、209を形成した。(図2(A))
その後、基板を電解溶液中に置き、各ゲイト電極に電流を通じてゲイト電極の陽極酸化をおこなった。陽極酸化の条件は特許文献4に示される条件を使用した。この結果、ゲイト電極207〜209の上面および側面に陽極酸化物被膜210、211、212が得られた。陽極酸化物の厚さは印加する電圧に依存するが、本実施の形態では200nmとした。
このようにほぼ中性の溶液での陽極酸化によって得られる陽極酸化物は緻密で硬く、耐圧も高い。耐圧は陽極酸化時に印加した最高電圧の70%以上である。このような陽極酸化物はバリヤ型陽極酸化物と呼ばれる。
その後、イオンドーピング法によって、全ての島状活性層に、ゲイト電極部(すなわち、ゲイト電極とその周囲の陽極酸化物被膜)をマスクとして自己整合的にフォスフィンをドーピングガスとして燐を注入した。ドーズ量は1×1013原子/cm2とした。この結果、弱いN型領域213、214、215が形成された。(図2(B))
次に、Pチャネル型TFTの活性層203を覆うフォトレジストのマスク216、および、画素TFTの活性層205のうち、ゲイト電極に平行にゲイト電極209の端から2μm離れた部分までを覆うフォトレジストのマスク217を形成した。そして、再び、イオンドーピング法によって、フォスフィンをドーピングガスとして燐を注入した。ドーズ量は5×1014原子/cm2とした。この結果、強いN型領域(ソース/ドレイン)218、219が形成された。画素TFTの活性層205の弱いN型領域215のうち、マスク217に覆われていた領域220は今回のドーピングでは燐が注入されなかったので、弱いN型のままであった。(図2(C))
次に、Nチャネル型TFTの活性層204、205をフォトレジストのマスク221で覆い、ジボランをドーピングガスとして、イオンドーピング法により、島状領域203に硼素を注入した。ドーズ量は1×1015原子/cm2とした。このドーピングでは、硼素のドーズ量が図2(C)における燐のドーズ量を上回るため、先に形成されていた弱いN型領域213は強いP型領域222に反転した。
以上のドーピングにより、強いN型領域(ソース/ドレイン)218、219、強いP型領域(ソース/ドレイン)222、弱いN型領域(低濃度不純物領域)220が形成され、本実施の形態では、低濃度不純物領域220の幅yは、フォトレジストのマスク114の大きさより約2μmであった。また、本実施の形態では、陽極酸化物の厚さz(≒200nm)だけ、ソース/ドレイン(画素TFTの場合は低濃度不純物領域220)とゲイト電極が離れたオフセット構造となっている。(図2(D))
その後、KrFエキシマーレーザー(波長248nm、パルス幅20nsec)を照射して、上記不純物領域の導入によって、結晶性の劣化した部分の結晶性を改善させた。レーザーのエネルギー密度は200〜400mJ/cm2、好ましくは250〜300mJ/cm2とした。この結果、N型およびP型領域が活性化された。これらの領域のシート抵抗は200〜800Ω/□であった。
そして、全面に層間絶縁物223として、プラズマCVD法によって酸化珪素膜を厚さ300〜600nm形成した。そして、層間絶縁物223をウェットエッチング法によってエッチングして、ソース/ドレインにコンタクトホールを形成した。
そして、スパッタ法によって、厚さ200〜600nmのクロム膜を形成し、これをエッチングして、周辺回路の電極・配線224、225、226および画素TFTの電極・配線227、228を形成した。さらに、プラズマCVD法によって、厚さ100〜300nmの窒化珪素膜229をパッシベーション膜として形成し、これをエッチングして、画素TFTの電極228に達するコンタクトホールを形成した。最後に、スパッタ法で成膜した厚さ50〜150nmのITO(インディウム錫酸化物)膜をエッチングして、画素電極230を形成した。このようにして、周辺論理回路とアクティブマトリクス回路を一体化して形成できた。(図2(E))
本実施の形態のTFTは、ゲイト電極、および図には示されていないが、ゲイト電極と同じ面内の配線において、その上面および側面に陽極酸化物が形成されている。このような構造を有せしめると、ゲイト電極とソース/ドレインとをオフセットゲイト構造とすることができ、ソース/ドレイン間のリーク電流を低減できる。(特許文献4、特許文献5)
また、陽極酸化物(特にバリヤ型陽極酸化物)をゲイト電極の上面に形成することによって層間の絶縁が強化され、配線交差部分でのショートを著しく減少せしめることも可能となった。すなわち、バリヤ型陽極酸化物の被膜はピンホールが少なく、また、耐圧性も非常に高い(7MV/cm以上)ので、ゲイト配線とその上の配線との層間を確実に絶縁できる。実際に特許文献4もしくは特許文献5の技術を採用することによって、配線間ショートによる不良を著しく低減させることができた。アクティブマトリクス領域では、配線が交差する箇所が非常に多いので特に重要であった。
本実施の形態のごとくゲイト電極を陽極酸化する場合には、その材料としては、アルミニウム以外にも、タンタル、チタン等を主成分とするものが利用できる。また、ゲイト電極材料として、アルミニウムを用いる場合には、本実施の形態のようにスカンジウムを含有させるか、もしくは、0.1〜0.5重量%のイットリウムを含有させると、陽極酸化が穏やかに進行するので望ましい。
[実施の形態3]
本実施の形態も液晶ディスプレー用のモノリシック型アクティブマトリクス回路である。本実施の形態の作製工程を図3および図4に示す。まず、基板(コーニング1737)301にプラズマCVD法によって厚さ200nmの下地酸化珪素膜302を成膜した。その後、プラズマCVD法によって厚さ50nmのアモルファスシリコン膜を成膜した。さらに、酸化雰囲気において550℃で1時間熱アニールすることにより、アモルファスシリコン膜の表面に極めて薄い(4〜10nmと推定される)酸化珪素膜を形成した。そして、スピンコーティング法によって酢酸ニッケルの極めて薄い膜を形成した。ここでは、1〜100ppmの酢酸ニッケル水溶液を用いた。先にアモルファスシリコン膜表面に薄い酸化珪素膜を形成したのは,水溶液がアモルファスシリコン表面に均一にゆきわたるようにするためである。
本実施の形態も液晶ディスプレー用のモノリシック型アクティブマトリクス回路である。本実施の形態の作製工程を図3および図4に示す。まず、基板(コーニング1737)301にプラズマCVD法によって厚さ200nmの下地酸化珪素膜302を成膜した。その後、プラズマCVD法によって厚さ50nmのアモルファスシリコン膜を成膜した。さらに、酸化雰囲気において550℃で1時間熱アニールすることにより、アモルファスシリコン膜の表面に極めて薄い(4〜10nmと推定される)酸化珪素膜を形成した。そして、スピンコーティング法によって酢酸ニッケルの極めて薄い膜を形成した。ここでは、1〜100ppmの酢酸ニッケル水溶液を用いた。先にアモルファスシリコン膜表面に薄い酸化珪素膜を形成したのは,水溶液がアモルファスシリコン表面に均一にゆきわたるようにするためである。
次に、窒素雰囲気中、550℃、4時間の熱アニールをおこなった。酢酸ニッケルは400℃程度で分解してニッケルとなるが、酢酸ニッケル薄膜がアモルファスシリコン膜に実質的に密着しているため、ニッケルがこの熱アニール工程によってアモルファスシリコンに侵入して、これを結晶化せしめ、結晶性シリコン領域となった。
その後、シリコン膜にXeClエキシマーレーザー光(波長308nm)を照射した。本実施の形態では、レーザーのエネルギー密度は250〜300mJ/cm2とした。この結果、結晶性シリコンの結晶性はさらに向上した。
さらに、レーザー照射による応力歪みを緩和するために、再び、熱アニールをおこなった。本実施の形態では、550℃、4時間の熱アニールとした。
その後、シリコン膜をエッチングして島状の活性層303(周辺回路Pチャネル型TFT用)、304(周辺回路Nチャネル型TFT用)、305(画素TFT用)を形成した。そして、スパッタ法によって,厚さ120nmの酸化珪素膜306をゲイト絶縁膜として形成した。
さらに、スパッタ法によって厚さ400nmのアルミニウム膜(0.2〜0.3重量%のスカンジウムを含有する)を形成した。そして、その表面を陽極酸化することにより、厚さ10〜300nmの酸化アルミニウム膜(図示せず)を形成した。酸化アルミニウム膜の存在により、フォトレジストとの密着性が良く、また、フォトレジストからの電流のリークを抑制することにより、後の陽極酸化工程において、多孔質陽極酸化物を側面のみに形成するうえで有効であった。そして、フォトレジスト(例えば、東京応化製、OFPR800/30cp)をスピンコート法によって形成した。これをパターニング、エッチングして、ゲイト電極307、308、309を形成した。エッチングに用いたフォトレジストのマスク310、311、312はそのまま残した。(図3(A))
次に、フォトレジストのマスクを付けたまま画素TFTのゲイト電極309のみに電流を通じ、多孔質陽極酸化をおこない、ゲイト電極309の側面に多孔質陽極酸化物313を形成した。陽極酸化は、3〜20%のクエン酸もしくはシュウ酸、燐酸、クロム酸、硫酸等の酸性水溶液を用いておこない、10〜30Vの一定電流をゲイト電極に印加すればよい。本実施の形態ではpH=0.9〜1.0のシュウ酸溶液(30℃)中で電圧を10Vとし、20〜40分、陽極酸化した。陽極酸化物の厚さは陽極酸化時間によって制御した。このような酸性溶液において陽極酸化をおこなうと多孔質の陽極酸化物が生成する。本実施の形態では多孔質陽極酸化物の厚さは300nm〜5μm、例えば、1μmとした。(図3(B))
さらに、今度はフォトレジストのマスクを剥離して、実施の形態2と同様にゲイト電極307〜309に電流を流し、バリヤ型陽極酸化をおこない、ゲイト電極の側面と上面に緻密なバリヤ型陽極酸化物被膜314、315、316を厚さ120nm形成した。(図3(C))
次に、多孔質陽極酸化物313、およびバリヤ型陽極酸化物314〜316をマスクとしてドライエッチング法によって酸化珪素膜306をエッチングし、ゲイト絶縁膜317、318、319を形成した。このエッチングにおいては、等方性エッチングのプラズマモードでも、あるいは異方性エッチングの反応性イオンエッチングモードでもよい。ただし、シリコンと酸化珪素の選択比を十分に大きくすることによって、活性層を過剰にエッチングしないようにすることが重要である。例えば、エッチングガスとしてCF4 を使用すれば陽極酸化物はエッチングされず、酸化珪素膜306のみがエッチングされる。(図3(D))
さらに、燐酸、酢酸、硝酸の混合溶液(アルミ混酸)を用いて多孔質陽極酸化物313のみをエッチングした。アルミ混酸は多孔質陽極酸化物はエッチングするが、バリヤ型陽極酸化物被膜314〜316はほとんどエッチングしない。多孔質陽極酸化物は電気的な信頼性に問題があるので、除去することが必要である。上記のようにアルミ混酸によって容易にエッチングできるのであるが、アルミ混酸はアルミニウムのエッチャントでもあるので、バリヤ型陽極酸化物被膜を形成し、アルミニウム配線を被覆しておくことが効果的である。
そして、このゲイト絶縁膜を用いてイオンドーピング法によって活性層に燐を導入した。本実施の形態では、以下のように2段階のドーピングをおこなった。まず、10〜30keVの比較的低い加速電圧で5×1012〜5×1013原子/cm2の低程度のドーズ量で燐イオンを注入した。この際には、加速電圧が低いため、イオンの侵入深さが浅く、シリコンが露出している領域320、321、322を中心として燐が注入された。
次に、60〜95keVの比較的高い加速電圧で1×1012〜5×1012原子/cm2の極めて低いドーズ量で燐イオンを注入した。この際には、加速電圧が高いため、イオンが深くまで侵入し、ゲイト絶縁膜で覆われている領域323にも燐が注入された。
この結果、低濃度の燐がドーピングされた領域(低濃度不純物領域)320〜322と低濃度の燐がドーピングされた領域(極低濃度不純物領域)323が形成された。すなわち、画素TFTに関しては、いわゆる2重ドレイン構造とすることができた。(図3(E))
次に、Pチャネル型TFTの活性層303を覆うフォトレジストのマスク324、および、画素TFTの活性層305のうち、ゲイト電極に平行にゲイト電極309の端から4μm離れた部分までを覆うフォトレジストのマスク325を形成した。そして、再び、イオンドーピング法によって、フォスフィンをドーピングガスとして燐を注入した。ドーズ量は5×1014原子/cm2とした。この結果、周辺論理回路のTFTでは、低濃度不純物領域321は強いN型領域(ソース/ドレイン)326になった。画素TFTの活性層305の低濃度不純物領域322においても、マスク325で覆われていなかった領域は今回のドーピングで、強いN型領域327となった。(図4(A))
次に、Nチャネル型TFTの活性層304、305をフォトレジストのマスク328で覆い、ジボランをドーピングガスとして、イオンドーピング法により、島状領域303に硼素を注入した。ドーズ量は1×1015原子/cm2とした。このドーピングでP型領域329が形成された。
以上のドーピングにより、強いN型領域(ソース/ドレイン)326、327、強いP型領域(ソース/ドレイン)329、低濃度不純物領域322、極低濃度不純物領域323が形成された。画素TFTの不純物領域の拡大図を図4(D)に示す。本実施の形態では、低濃度不純物領域322の幅wは、フォトレジストのマスク325および多孔質陽極酸化物の幅より約3μmであった。同じく、極低濃度不純物領域の幅は多孔質陽極酸化物の幅によって主に決定され、約1μmであった。また、本実施の形態では、陽極酸化物の厚さz(≒120nm)だけオフセットゲイト構造となっているはずであるが、この程度の幅ではドーピング時の回り込みもあり、厳密には不明である。(図4(B))
その後、第1の層間絶縁物として、プラズマCVD法によって厚さ20nmの窒化珪素膜と厚さ400nmの酸化珪素膜の多層膜330を堆積し、これをドライエッチング法によってエッチングして、コンタクトホールを形成した。
そして、スパッタ法によって、チタン50nm/アルミニウム400nm/チタン50nmの3層金属膜を堆積し、これをエッチングして、電極・配線331、332、333、334、335を形成した。
さらに、第2の層間絶縁物として、プラズマCVD法によって厚さ200nmの酸化珪素膜336を堆積し、画素TFTのドレイン側電極335にコンタクトホールを形成して、ITOによる画素電極337を形成した。このようにして、モノリシック型アクティブマトリクス回路を形成することができた。(図4(C))
101 基板
102 下地膜(酸化珪素)
103〜105 活性層(シリコン)
106 ゲイト絶縁膜(酸化珪素)
107〜109 ゲイト電極・ゲイト線
110〜112 弱いN型領域
113、114 フォトレジストのマスク
115、116 強いN型領域(ソース/ドレイン)
117 低濃度不純物領域
118 フォトレジストのマスク
119 強いP型領域(ソース/ドレイン)
120 層間絶縁物(酸化珪素)
121〜125 金属配線・電極
126 パッシベーション膜(窒化珪素)
127 画素電極(ITO)
102 下地膜(酸化珪素)
103〜105 活性層(シリコン)
106 ゲイト絶縁膜(酸化珪素)
107〜109 ゲイト電極・ゲイト線
110〜112 弱いN型領域
113、114 フォトレジストのマスク
115、116 強いN型領域(ソース/ドレイン)
117 低濃度不純物領域
118 フォトレジストのマスク
119 強いP型領域(ソース/ドレイン)
120 層間絶縁物(酸化珪素)
121〜125 金属配線・電極
126 パッシベーション膜(窒化珪素)
127 画素電極(ITO)
Claims (9)
- 絶縁基板上に、
第1薄膜トランジスタを有するアクティブマトリクス回路と、
第2の薄膜トランジスタ及び第3の導電型の薄膜トランジスタを有し、前記アクティブマトリクス回路を駆動するための周辺論理回路と、
を有し、
前記第1の薄膜トランジスタは、
前記絶縁基板上の島状半導体領域と、
前記島状半導体領域上にゲイト絶縁膜およびゲイト電極と、
前記島状半導体領域中に、高濃度不純物領域、チャネル領域及び前記チャネル領域に隣接した低濃度不純物領域と、
を有し、
前記第1乃至第3の薄膜トランジスタを覆う酸化珪素膜と、
前記酸化珪素膜に形成された第1のコンタクトホールと、
前記酸化珪素膜上に形成され、前記第1のコンタクトホールを介して前記第1薄膜トランジスタの島状半導体領域と接続される電極と、
前記酸化珪素膜及び前記電極上に形成された窒化珪素膜と、
前記窒化珪素膜に形成された第2のコンタクトホールと、
前記窒化珪素膜上に形成され、前記第2のコンタクトホールを介して前記電極と接続される透明電極と、
を有し、
前記第1の薄膜トランジスタの、前記第1のチャネル領域と前記低濃度不純物領域の境界は、前記第1のゲート電極の端部と一致しており、
前記第1の薄膜トランジスタの、前記低濃度不純物領域は前記第1のゲート電極と重なっておらず、
前記第1のコンタクトホールと前記第2のコンタクトホールは重なっていないことを特徴とする半導体集積回路。 - 絶縁基板上に、
第1薄膜トランジスタを有するアクティブマトリクス回路と、
第2の薄膜トランジスタ及び第3の導電型の薄膜トランジスタを有し、前記アクティブマトリクス回路を駆動するための周辺論理回路と、
を有し、
前記第1の薄膜トランジスタは、
前記絶縁基板上の第1の島状半導体領域と、
前記第1の島状半導体領域上に第1のゲイト絶縁膜および第1のゲイト電極と、
前記第1の島状半導体領域中に、第1の高濃度不純物領域、第1のチャネル領域及び前記チャネル領域に隣接した低濃度不純物領域と、
を有し、
前記第2の薄膜トランジスタは、
前記絶縁基板上の第2の島状半導体領域と、
前記第2の島状半導体領域上に第2のゲイト絶縁膜および第2のゲイト電極と、
前記第2の島状半導体領域中に、第2の高濃度不純物領域及び第2のチャネル領域と、
を有し、
前記第3の薄膜トランジスタは、
前記絶縁基板上の第3の島状半導体領域と、
前記第3の島状半導体領域上に第3のゲイト絶縁膜および第3のゲイト電極と、
前記第3の島状半導体領域中に、第3の高濃度不純物領域及び第3のチャネル領域と、
を有し、
前記第1乃至第3の島状半導体領域、前記第1乃至第3のゲイト絶縁膜及び前記第1乃至第3のゲイト電極を覆う酸化珪素膜と、
前記酸化珪素膜に形成された第1のコンタクトホールと、
前記酸化珪素膜上に形成され、前記第1のコンタクトホールを介して前記第1の島状半導体領域と接続される電極と、
前記酸化珪素膜及び前記電極上に形成された窒化珪素膜と、
前記窒化珪素膜に形成された第2のコンタクトホールと、
前記窒化珪素膜上に形成され、前記第2のコンタクトホールを介して前記電極と接続される透明電極と、
を有し、
前記第1の薄膜トランジスタの、前記第1のチャネル領域と前記低濃度不純物領域の境界は、前記第1のゲート電極の端部と一致しており、
前記第1の薄膜トランジスタの、前記低濃度不純物領域は前記第1のゲート電極と重なっておらず、
前記第1のコンタクトホールと前記第2のコンタクトホールは重なっていないことを特徴とする半導体集積回路。 - 請求項1又は請求項2において、
前記低濃度不純物領域の幅は1〜5μmであることを特徴とする半導体集積回路。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1項において、
前記低濃度不純物領域は、前記島状半導体領域に不純物を1×1012〜5×1013原子/cm2のドーズ量で導入することにより形成されることを特徴とする半導体集積回路。 - 絶縁基板上に絶縁膜を形成し、
前記絶縁膜上に金属膜を形成し、
前記金属膜上にプラズマCVD法により窒化珪素膜を形成し、
前記窒化珪素膜にコンタクトホールを形成し、
前記窒化珪素膜上に、前記コンタクトホールを介して前記金属膜に直接接続する透明電極を形成することを特徴とする半導体集積回路の作製方法。 - 請求項5において、
前記金属膜は、チタン膜であることを特徴とする半導体集積回路の作製方法。 - 請求項5において、
前記金属膜は、クロム膜であることを特徴とする半導体集積回路の作製方法。 - 請求項5乃至請求項7のいずれか1項において、
前記絶縁膜は、プラズマCVD法によって形成された酸化珪素膜であることを特徴とする半導体集積回路の作製方法。 - 請求項5乃至請求項8のいずれか1項において、
前記金属膜をエッチングして電極又は配線を形成することを特徴とする半導体集積回路の作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003426198A JP2004158866A (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 半導体集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2003426198A JP2004158866A (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 半導体集積回路 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP33317794A Division JPH08167722A (ja) | 1994-12-14 | 1994-12-14 | 半導体集積回路の作製方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
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JP2003426198A Withdrawn JP2004158866A (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 半導体集積回路 |
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Country | Link |
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