JP2004156104A - 成膜方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】W(CO)6のような金属カルボニルガスを用いて被処理基板上に所定の金属膜、例えばW膜を形成するにあたり、真空チャンバーに被処理基板を搬入し(工程1)、被処理基板を金属カルボニルガスの分解可能温度に加熱し(工程2)、被処理基板に対する金属カルボニルガスの供給と金属カルボニルガスが分解して生成したCOガス等の分解ガスの除去とを交互的に行う(工程4)。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体デバイスの製造工程において半導体基板にタングステン(W)等の金属膜を形成する成膜方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程においては、被処理体である半導体ウエハ(以下、単にウエハと記す)上に形成されるコンタクトホールや配線間のビアホールを埋め込むための材料としておよびその相互拡散バリアの材料等としてW(タングステン)が用いられている。
【0003】
Wの成膜処理として、過去には物理的蒸着(PVD)が用いられていたが、Wは高融点金属であること、およびPVDでは近年のデバイスの微細化による高カバレッジに対応することが困難であること等の理由で、高融点のWを溶融する必要がなく、かつデバイスの微細化に十分対応可能な化学的蒸着(CVD)で成膜することが行われている。
【0004】
このようなCVD−W膜は、処理ガスとして例えば六フッ化タングステン(WF6)および還元ガスであるH2ガスを用い、ウエハ上でWF6+3H2→W+6HFと反応させることにより成膜されていたが、近年、デザインルールの微細化が益々進んでおり、このようなF含有ガスを使用するとゲート酸化膜の膜質にFが影響を与えデバイスの故障を生じる。
【0005】
一方、F含有ガスを用いないCVD−W成膜の際の処理ガスとして有機化合物ガスであるタングステンカルボニル(W(CO)6)が知られている(特許文献1、2、3)。また、W(CO)6のような金属カルボニルを用いてCVDにより金属膜を形成することが非特許文献1に記載されている。さらに、特許文献4には、W(CO)6を用いたCVDプロセスにより半導体デバイスにW膜を形成することが開示されている。W(CO)6のような金属カルボニルは、WF6のようなFによるデバイスへの不都合が生じないため、CVDのソースガスとして有望である。
【0006】
【特許文献1】
特開平20225670号公報
【特許文献2】
特開平4−173976号公報
【特許文献3】
特開平4−27136号公報
【特許文献4】
特開2002−124488号公報
【非特許文献1】
J. Vac. Scl. Technol. 14(2), Mar/Apr 1996 415〜424ページ
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記非特許文献1の417ページ右欄にも記載されているように、W(CO)6のような金属カルボニルを用いた場合には、その分解時に発生するCOは金属との親和性が強いため、被成膜表面にCOが吸着されやすく、これによりCOが不純物として膜中に取り込まれてW膜の電気抵抗が高くなってしまう。そのため、W(CO)6のような金属カルボニルはCVDソースガスとして有望視されながらも十分に実用化されているとはいえないのが現状である。
【0008】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、W(CO)6のような金属カルボニルを用いて、CO等の分解ガスによる悪影響を生じさせずに電気抵抗の低い金属膜を成膜することができる成膜方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、金属カルボニルガスを用いて被処理基板上に所定の金属膜を形成する成膜方法であって、真空チャンバーに被処理基板を搬入する工程と、被処理基板を金属カルボニルガスの分解可能温度に加熱する工程と、前記被処理基板に対する前記金属カルボニルガスの供給と金属カルボニルガスが分解して生成した分解ガスの除去とを交互的に行う工程とを具備することを特徴とする成膜方法を提供する。
【0010】
このように、被処理基板に対する前記金属カルボニルガスの供給と金属カルボニルガスが分解して生成した分解ガスの除去とを交互的に行うので、CO等の分解ガスが金属膜に吸着しても速やかに除去され、CO等の分解ガスの膜中への取り込みを低減することができる。これにより、低抵抗の金属膜を得ることができる。
【0011】
この場合に、前記分解ガスの除去は、前記金属カルボニルガスの供給を停止して前記真空チャンバーを排気することにより行うことができるし、また、前記金属カルボニルガスの供給を停止し、前記真空チャンバー内にパージガスを供給して前記分解ガスをパージしつつ排気することにより行うこともできる。
【0012】
また、前記金属カルボニルガスの1回の供給量が金属膜の厚さ2nm以下に相当することが好ましく、1.1nm以下に相当することがより好ましい。前記分解ガスの除去の1回あたりの時間が2秒以上であることが好ましく、3秒以上がより好ましい。分解ガスの除去を上記のように真空チャンバーを排気することにより行う場合やパージガスを供給する場合のように排気を伴う場合には、1回あたりの排気量は30L以上であることが好ましく、40L以上、さらには45L以上であることがより好ましい。
【0013】
さらに、前記金属カルボニルガスの供給を相対的に低温で行い、前記分解ガスの除去を相対的に高温で行うことが好ましい。さらにまた、前記分解ガスの除去の際に還元ガスを導入することができる。
【0014】
前記金属カルボニルとしては、W(CO)6、Ni(CO)4、Mo(CO)6、Co2(CO)8、Rh4(CO)12、Re2(CO)10、Cr(CO)6、Ru3(CO)12から選択される少なくとも1種を用いることができる。
【0015】
本発明はまた、W(CO)6ガスを用いて被処理基板上にタングステン(W)膜を形成する成膜方法であって、真空チャンバーに被処理基板を搬入する工程と、被処理基板を300〜600℃に加熱する工程と、前記被処理基板に対するW(CO)6ガスの供給とW(CO)6ガスが分解して生成した分解ガスの除去とを交互的に行う工程とを具備することを特徴とする成膜方法を提供する。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について具体的に説明する。
まず、第1の実施形態について説明する。図1は、本発明の成膜方法を実施するためのCVD−W成膜装置の一例を模式的に示す断面図である。
【0017】
この成膜装置100は、気密に構成された略円筒状のチャンバー1を有しており、その中には被処理体であるウエハWを水平に支持するためのサセプタ2がその中央下部に設けられた円筒状の支持部材3により支持された状態で配置されている。サセプタ2の外縁部にはウエハWをガイドするためのガイドリング4が設けられている。また、サセプタ2には抵抗加熱型のヒーター5が埋め込まれており、このヒーター5はヒーター電源6から給電されることによりサセプタ2が加熱されて、その熱で被処理体であるウエハWを加熱する。この熱によりW(CO)6ガスが熱分解される。この際に、サセプタ2は成膜に都合の良い300〜600℃の間の所定の温度に加熱される。ヒーター電源6にはコントローラー(図示せず)が接続されており、これにより図示しない温度センサーの信号に応じてヒーター5の出力が制御される。また、チャンバー1の壁にもヒーター(図示せず)が埋め込まれており、チャンバー1の壁を40〜80℃程度に加熱するようになっている。
【0018】
チャンバー1の天壁1aには、シャワーヘッド10が設けられている。このシャワーヘッド10の下部のシャワープレート10aにはサセプタ2に向けてガスを吐出するための多数のガス吐出孔11が形成されており、その上端にはW(CO)6ガスを供給する配管12が接続されている。また、シャワープレート10aには、シャワーヘッド10内でのW(CO)6ガスの分解を防止するために、例えば同心円状の冷媒流路10bが設けられており、図示しない冷媒供給源からこの冷媒流路10bに冷却水等の冷媒が供給され、20〜100℃に制御することができるようになっている。
【0019】
配管12の他端は、成膜原料である固体状のW(CO)6原料Sが収容された成膜原料容器13に挿入されている。容器13には、キャリアガス配管14が挿入され、キャリアガス供給源15から配管14を介してキャリアガスとして例えばArガスを成膜原料容器13に吹き込むことにより、原料容器13内の固体状のW(CO)6原料Sが昇華してW(CO)6ガスとなり、キャリアガスにキャリアされて配管12を介してシャワーヘッド10へ供給され、さらにはチャンバー1へ供給される。なお、配管14にはマスフローコントローラ16とその前後のバルブ17とが設けられている。また、配管12には例えばW(CO)6ガスの量に基づいてその流量を把握するための流量計45とその前後バルブ17が設けられている。さらに、配管12,14の周囲にはヒーター(図示せず)が設けられており、W(CO)6ガスの固化しない温度、例えば20〜100℃、好ましくは25〜60℃に制御される。また、配管12の流量計45の下流側には、プリフローライン41が接続され、このプリフローライン41は後述する排気管24に接続されている。さらに、プリフローライン41には、W(CO)6ガス配管12との分岐部の直下流にバルブ42が設けられている。
【0020】
一方、配管12にパージガス配管18が接続され、このパージガス配管18の他端はパージガス供給源19に接続されている。パージガス供給源19は、パージガスとして、例えばArガス、Heガス、N2ガス等の不活性ガスやH2ガス等を供給するようになっている。なお、パージガス配管18にはマスフローコントローラ20およびその前後のバルブ21が設けられている。
【0021】
マスフローコントローラ16,20、バルブ17,21,42はコントローラ40によって制御され、キャリアガス、W(CO)6ガスおよびパージガスの供給・停止およびこれらの流量が制御されるようになっている。W(CO)6ガス流量を把握するための流量計45もコントローラ40に接続されており、コントローラ40は、所望のW(CO)6ガス流量値が得られるように、流量計45の値に基づいてキャリアガスのマスフローコントローラ16を制御する。
【0022】
チャンバー1の底壁1bの中央部には円形の開口部22が形成されており、底壁1bにはこの開口部22と連通し、下方に向けて突出する排気室23が設けられている。排気室23の側面には排気管24が接続されており、この排気管24には高速真空ポンプを含む排気装置25が接続されている。そしてこの排気装置25を作動させることによりチャンバー1内を所定の真空度まで高速に減圧することが可能となっている。
【0023】
サセプタ2には、ウエハWを支持して昇降させるための3本(2本のみ図示)のウエハ支持ピン26がサセプタ2の表面に対して突没可能に設けられ、これらウエハ支持ピン26は支持板27に固定されている。そして、ウエハ支持ピン26は、エアシリンダ等の駆動機構28により支持板27を介して昇降される。
【0024】
チャンバー1の側壁には、成膜装置100に隣接する搬送室(図示せず)との間でウエハWの搬入出を行うための搬入出口29と、この搬入出口29を開閉するゲートバルブ30とが設けられている。
【0025】
次に、このような成膜装置を用いてW膜を成膜する動作について説明する。
図2は、この際の工程を示すフローチャートである。まず、ゲートバルブ30を開にして搬入出口29からウエハWをチャンバー1内に搬入し、サセプタ2上に載置する(工程1)。次いで、ヒーター5によりサセプタを加熱してその熱によりウエハWを300〜600℃に加熱し(工程2)、排気装置25の真空ポンプによりチャンバー1内を排気して、チャンバー1内の圧力を6.7Pa以下に真空排気する(工程3)。
【0026】
その後、ウエハW上に形成された所定の膜の表面にW膜を成膜する(工程4)。この成膜工程は、(1)成膜原料容器13に収容された固体状のW(CO)6原料Sにキャリアガス、例えばArガスを吹き込み、W(CO)6原料Sを昇華させ、生成したW(CO)6ガスをキャリアガスによりキャリアさせて配管12およびシャワーヘッド10を経てチャンバー1内に導入し、ウエハW表面に所定時間W(CO)6ガスを供給した後、(2)W(CO)6ガスの供給を止めて排気装置25の高速真空ポンプによって所定時間高速排気することにより、W(CO)6ガスの分解により生じたCOガスを除去する、という(1)、(2)を複数回繰り返す。この際のW(CO)6ガスの供給・停止および流量はコントローラ40により行われる。
【0027】
従来は、連続的にW(CO)6ガスを供給するが、その場合には、図3に示すように、まず、ウエハW上の所定の膜の表面にW(CO)6ガスが到達し(図3(a))、そこでW(CO)6ガスが分解し、分解したCOが短時間でWが吸着すべきサイトに吸着する(図3(b))。これにより、W膜にCOが取り込まれて電気抵抗が高くなり、膜質が劣化してしまう。これに対して、上記工程4においては、ウエハWに対するW(CO)6ガスの供給とW(CO)6ガスが分解して生成したCOガスの高速排気による除去とを交互的に行うので、図4(a)、(b)に示すように、ウエハW上の所定の膜の表面にW(CO)6ガスが到達し、分解したCOが短時間でWが吸着すべきサイトに吸着しても、図4(c)に示すように高速排気により速やかに除去され、図4(d)に示すように、次のW(CO)6ガスの供給によりCOが除去された吸着サイトにW(CO)6が吸着し、それを繰り返して所定の膜厚のW膜を形成することができるので、CO取り込みによる膜質の低下を防ぐことができる。
【0028】
この工程4の際のチャンバー1内の圧力は0.10〜666.7Paであることが望ましい。圧力が666.7Paを超えるとW膜の膜質が低下するおそれがあり、一方、0.10Pa未満では成膜レートが低くなりすぎる。また、W(CO)6ガスのレジデンスタイムは、100sec以下であることが好ましい。W(CO)6ガス流量は、0.01〜5L/min程度が好ましい。
【0029】
COガスの除去の際には、上記のような高速排気を行う代わりに、パージガス供給源19からパージガスを導入するようにしてもよい。パージガス導入の際は、チャンバー1内の圧力が成膜ガス導入時と同じ程度の圧力になるように排気を行うことが好ましいが、排気装置25のバルブをフルオープンにして真空ポンプを引き切りで行うことでもCOガスの除去が効果的に行われる。このようにパージガスを導入することにより、吸着したCOをより速やかに追い出すことが可能となる。また、一定時間高速排気を行った後、パージガスを導入するようにしてもよい。
【0030】
また、W(CO)6の吸着は相対的に低温のほうが生じやすく、COの脱離は相対的に高温のほうが生じやすいので、W(CO)6ガス供給の際にはウエハWを相対的に低温にし、CO除去の際にはウエハWを相対的に高温にすることが好ましい。例えば、W(CO)6ガス供給の際のウエハ温度を100〜400℃程度にし、CO除去の際のウエハ温度を300〜600℃程度とする。この場合には、ウエハ温度を短時間で切り替える必要があるため、サセプタ2としては熱伝導性の高いAlN等を用い、かつ極力薄くすることが好ましい。また、加熱源として抵抗加熱型のヒーター5の代わりにランプ加熱式の加熱源を用いればウエハ温度を短時間で変化させやすい。
【0031】
この工程4において、W(CO)6ガスの1回の供給量は、W膜の厚さ2nm以下に相当することが好ましい。1回に成膜する厚さがこの程度であれば生成したCOが取り込まれる量が少ない。より好ましくはW膜の厚さ1.1nm以下に相当することである。また、分解ガスであるCOガスの除去の1回あたりの時間は2秒以上であることが好ましい。この時間が2秒以上であれば、ウエハW上からCOを有効に除去することができる。より好ましくは3秒以上である。3秒以上であればウエハW上からCOをほぼ除去することができる。この時の分解ガスの除去1回あたりの排気量は30L以上が好ましく、40L、さらには45L以上がより好ましい。
【0032】
なお、キャリアガスはArガスに限らず他のガスを用いてもよいが、Arガスを含めてガス温度を低く抑制することができるガスが好ましく、このようなガスとしては、Arガスの他、N2ガス、H2ガス、Heガスが例示される。
【0033】
このようにして、W膜の成膜が終了後、W(CO)6ガスの供給を停止し(工程5)、パージガス供給源19からパージガスを流してチャンバー1内のW(CO)6ガスを追い出す(工程6)。そして、ゲートバルブ30を開にして搬入出口29からウエハWを搬出する(工程7)。
【0034】
次に、本発明の他の実施形態について説明する。図5は、本実施形態の成膜方法に用いられるCVD−W成膜装置を模式的に示す断面図である。この成膜装置100′は、基本構造は図1と同じであるが、還元ガスが供給可能な点のみが図1の装置とは異なっている。すなわち、配管12に還元ガス配管31が接続され、この還元ガス配管31の他端は還元ガス供給源32に接続されている。還元ガス供給源32は、還元ガスとして、例えばH2ガス、SiH4ガス等を供給するようになっている。なお、還元ガス配管31にはマスフローコントローラ33およびその前後のバルブ34が設けられている。また、マスフローコントローラ33の下流側にはプリフローライン43が接続されており、このプリフローライン43はプリフローライン41に接続されている。プリフローライン43には、還元ガス配管31との分岐部の直下流にバルブ44が設けられている。マスフローコントローラ33、バルブ34,44もコントローラ40により制御され、還元ガスの供給・停止および流量がコントローラ40により制御される。
【0035】
このような図5に示す成膜装置を用いてW膜を成膜する場合には、成膜工程において、CO除去の際に還元ガス供給源32から還元ガスを供給する。これにより、吸着したW(CO)6の分解およびCOの除去が促進され、より一層成膜レートを上昇させることができる。
【0036】
次に、本発明の効果を確認した実験について説明する。
ここでは、図1の装置を用い、チャンバー1内の圧力を66.7Paとし、ウエハ温度を440℃に設定し、以下の6つの成膜条件で厚さ30nm程度のW膜を成膜した。
【0037】
[条件1]
ガス流量0.5L/minで連続的にW(CO)6ガスを供給して35nmのWを成膜。
[条件2]
ガス流量0.5L/minで1.5秒間W(CO)6ガスを供給し(厚さ0.16nm相当)、その後W(CO)6ガスを停止して、5秒間の150L/secの排気速度での高速真空排気を行い、これらを190回繰り返して30nmのW膜を成膜。
[条件3]
ガス流量0.5L/minで1.5秒間W(CO)6ガスを供給し(厚さ0.16nm相当)、その後W(CO)6ガスを停止して、3秒間のArガス流量0.5L/minでのパージを行い(排気速度15.3L/sec)、これらを190回繰り返して30nmのW膜を成膜。
[条件4]
ガス流量0.5L/minで1.5秒間W(CO)6ガスを供給し(厚さ0.17nm相当)、その後W(CO)6ガスを停止して、5秒間のArガス流量0.5L/minでのパージを行い(排気速度15.3L/sec)、これらを190回繰り返して32nmのW膜を成膜。
[条件5]
ガス流量0.5L/minで1.5秒間W(CO)6ガスを供給し(厚さ0.16nm相当)、その後W(CO)6ガスを停止して、10秒間のArガス流量0.5L/minでのパージを行い(排気速度15.3L/sec)、これらを190回繰り返して30nmのW膜を成膜。
[条件6]
ガス流量0.5L/minで1.5秒間W(CO)6ガスを供給し(厚さ0.16nm相当)、その後W(CO)6ガスを停止して5秒間の150L/secの排気速度での高速真空排気およびその後の5秒間のArガス流量0.5L/minでのパージを行い(排気速度15.3L/sec)、これらを190回繰り返して30nmのW膜を成膜。
【0038】
これら条件で成膜したW膜の比抵抗を測定した結果を図6に示す。この図に示すように、本発明によらずに連続的にW膜を成膜する条件1ではW膜の比抵抗が300μΩ・cmであるのに対し、本発明に従った条件2,3,4,5,6はいずれもW膜の比抵抗が条件1よりも十分に低く、比抵抗の低い良好な膜質が得られることが確認された。本発明による条件3,4,5では、ArパージによるCO除去の時間をそれぞれ3,5,10秒としているが、その時間が長いほどW膜の比抵抗が低いことがわかる。また、CO除去時間が同じ10秒でもパージのみの条件5よりも、真空排気の後にパージを行った条件6のほうがW膜の抵抗が低かった。
【0039】
なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、金属カルボニルとしてW(CO)6を用いてW膜を形成する場合について説明したが、これに限定することなく、W(CO)6、Ni(CO)4、Mo(CO)6、Co2(CO)8、Rh4(CO)12、Re2(CO)10、Cr(CO)6、Ru3(CO)12から選択された少なくとも1種を採用することが可能であり、これらによって、W、Ni、Mo、Co、Rh、Re、Cr、Ru等の金属を成膜することができる。
【0040】
また、被処理基板として半導体ウエハを用いた場合について示したが、これに限らず他の基板、例えば液晶表示装置(LCD)用のガラス基板にも適用することが可能である。
【0041】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、被処理基板に対する金属カルボニルガスの供給と金属カルボニルガスが分解して生成したCO等の分解ガスの除去とを交互的に行うので、CO等の分解ガスが金属膜に吸着しても速やかに除去され、CO等の分解ガスの膜中への取り込みを低減し、電気抵抗の低い良質な金属膜を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の成膜方法に用いられるCVD−W成膜装置の一例を模式的に示す断面図。
【図2】本発明の一実施形態の工程を示すフローチャート。
【図3】従来の成膜状態を説明するための模式図。
【図4】本発明の一実施形態の成膜状態を説明するための模式図。
【図5】本発明の成膜方法に用いられるCVD−W成膜装置の他の例を模式的に示す断面図。
【図6】本発明の効果を把握した実験結果を示すグラフ。
【符号の説明】
1;チャンバー
2;サセプタ
5;ヒーター
10;シャワーヘッド
12;配管
13;成膜原料容器
25;排気装置
30;コントローラ
W……半導体ウエハ
Claims (10)
- 金属カルボニルガスを用いて被処理基板上に所定の金属膜を形成する成膜方法であって、
真空チャンバーに被処理基板を搬入する工程と、
被処理基板を金属カルボニルガスの分解可能温度に加熱する工程と、
前記被処理基板に対する前記金属カルボニルガスの供給と金属カルボニルガスが分解して生成した分解ガスの除去とを交互的に行う工程と
を具備することを特徴とする成膜方法。 - 前記分解ガスの除去は、前記金属カルボニルガスの供給を停止して前記真空チャンバーを排気することにより行われることを特徴とする請求項1に記載の成膜方法。
- 前記分解ガスの除去は、前記金属カルボニルガスの供給を停止し、前記真空チャンバー内にパージガスを供給して前記分解ガスをパージすることにより行われることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の成膜方法。
- 前記分解ガスの除去の際の1回当たりの排気量が30L以上であることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の成膜方法。
- 前記金属カルボニルガスの1回の供給量が金属膜の厚さ2nm以下に相当することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の成膜方法。
- 前記分解ガスの除去の1回あたりの時間が2秒以上であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の成膜方法。
- 前記金属カルボニルガスの供給を相対的に低温で行い、前記分解ガスの除去を相対的に高温で行うことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の成膜方法。
- 前記分解ガスの除去の際に還元ガスを導入することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の成膜方法。
- 前記金属カルボニルは、W(CO)6、Ni(CO)4、Mo(CO)6、Co2(CO)8、Rh4(CO)12、Re2(CO)10、Cr(CO)6、Ru3(CO)12から選択される少なくとも1種であることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の成膜方法。
- W(CO)6ガスを用いて被処理基板上にタングステン(W)膜を形成する成膜方法であって、
真空チャンバーに被処理基板を搬入する工程と、
被処理基板を300〜600℃に加熱する工程と、
前記被処理基板に対するW(CO)6ガスの供給とW(CO)6ガスが分解して生成した分解ガスの除去とを交互的に行う工程と
を具備することを特徴とする成膜方法。
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