JP2004153055A - フリップチップ実装方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】フリップチップ実装方法において、金と異なる材料をコアとした金めっきバンプを使用して金属間接合による実装を可能とする。
【解決手段】微小金ボール8を仮付けステージ9上に敷き詰め、チップ1のバンプ3を微小金ボール8に押圧する。さらに押圧に加えて熱又は超音波振動あるいはこれらを合わせて付与することで、微小金ボール8をバンプ3の接合面に仮付けする。微小金ボール8が仮付けされた状態のチップ1をコレット4で保持し、一方でワークステージ5上に回路基板6を載置して位置ずれしないように保持する。ここでバンプ3と電極7とを位置合わせし、コレット4を矢印アの方向に移動させる。バンプ3上に仮付けされた微小金ボール8が電極7に当接した後さらに熱圧着又は超音波接合あるいは超音波併用熱圧着でフリップチップ実装する。
【選択図】 図1
【解決手段】微小金ボール8を仮付けステージ9上に敷き詰め、チップ1のバンプ3を微小金ボール8に押圧する。さらに押圧に加えて熱又は超音波振動あるいはこれらを合わせて付与することで、微小金ボール8をバンプ3の接合面に仮付けする。微小金ボール8が仮付けされた状態のチップ1をコレット4で保持し、一方でワークステージ5上に回路基板6を載置して位置ずれしないように保持する。ここでバンプ3と電極7とを位置合わせし、コレット4を矢印アの方向に移動させる。バンプ3上に仮付けされた微小金ボール8が電極7に当接した後さらに熱圧着又は超音波接合あるいは超音波併用熱圧着でフリップチップ実装する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
ICチップ等のベアチップを回路基板に実装する場合に、チップの電極あるいは回路基板の電極に形成したバンプを介してチップと回路基板をフェイスダウン状態で挟持し、前記両電極を電気的および機械的に接合するフリップチップ実装方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、モバイル情報通信関連商品等においては、回路実装基板のよりいっそうの小型、軽量、高周波化による高性能化と、コストダウンとが切望されている。そのため、チップと回路基板の直接実装が可能なフリップチップ実装が有効となる。このフリップチップ実装は伝送経路の短縮によるディレイの減少と耐ノイズ性の強化、さらには高密度接続や短時間接合等の特徴があり、ますます注目を集めている。
【0003】
ここで従来のフリップチップ実装方法を説明する。まず第1の従来技術として超音波を利用したフリップチップ実装方法がある。これは特許文献1でも開示されているように、チップを回路基板に実装するときに、チップに形成したバンプと回路基板の電極との接合面に押圧力と超音波を付与してフェイスダウン接合を実現するものである。
【0004】
この第1の従来技術を図3に基づいて詳細に説明する。まず図3(a)で示すように、チップ51にある電極52に金を主成分とするバンプ53を形成し、このチップ51の背面をコレット54により保持する一方ワークステージ55上に回路基板56を載置する。
【0005】
次にバンプ53と回路基板56の電極57とを位置合わせしたのち図3(b)に示すように、コレット54によりチップ51を超音波振動カを加えながら押圧する。
【0006】
これによりバンプ53がつぶれ、その塑性変形と超音波振動により接合界面の酸化皮膜や汚れの中から新生面が現れる。更にこの界面に超音波振動カと押圧力キとを加えることで界面が強固に金属間接合する。
【0007】
ここで紹介したバンプ53は、金ワイヤのボールボンディング法を利用して金ボールをチップの電極に形成したのちワイヤを引きちぎるスタッドバンプや、めっき法でバンプを析出するめっきバンプがあるが、何れも十数μmから数十μmのバンプ高さが必要となる。
【0008】
またこれらのバンプは金を主成分とした(純金に近い)材料で形成するのが一般的であり、さらに最近の傾向として狭ピッチ配列による多ピン化、エリア配列による多ピン化が著しく、大量生産においては貴金属で膨大な数量のバンプを形成するのに材料コストの問題を無視することができなくなってきた。
【0009】
このことからバンプ表層を金で形成し、内部はニッケルや銅、又は樹脂など安価な材料とすることが考えられるが、前述したようなバンプの塑性変形を得ることが非常に困難となる。
【0010】
そこで従来より採用されているACF工法(ACFは異方性導電フィルムの略称)で実装することが考えられる。これを第2の従来技術として図4に基づいて説明する。
【0011】
まず図4(a)で示すようにチップ61の電極62にバンプ63を形成し、このチップ61の背面をコレット64により保持する一方ワークステージ65上に回路基板66を載置する。ここでバンプ63は表層63Aが金、コア63Bがニッケルあるいは銅等の異種金属で構成されている。
【0012】
次に図4(b)で示すようにACF68を接合面に介在させ、コレット64を矢印サの方向に移動させる。そして加熱すると同時に押圧力を加えることによりACF68中の接着剤68Aが溶融しながらチップ61と回路基板66との間を満たし、チップ61と回路基板66とを接着させる。
【0013】
またこのときACF68中に分散されている導電粒子68Bがバンプ63と回路基板66上の電極67との間に捕獲され、この導電粒子68Bを介して電極間の電気的接続が得られる(図4(c))。
【0014】
ここでの接合はACF68の接着剤68Aが硬化収縮することで導電粒子68Bはバンプ63と電極67の表面に食い込んで電気的接続を得る言わばメカニカル接合である。
【0015】
この第2の従来技術の一例として特許文献2が開示している実装方法を図5に基づいて説明する。図5において71はチップ、72はチップ71の電極、76は回路基板、77Aは回路基板76に形成された樹脂製の突起、77は突起77Aの表層部に形成された電極、78はACFである。
【0016】
したがってこの接続構造は突起77Aと電極77で構成された突起電極、換言すると樹脂コアのバンプを回路基板76上に形成し、ACF工法によりチップを実装する技術である。ここで突起77Aが樹脂でなくニッケルや銅等の金属であっても構わない。また、ACF工法でなくACP(異方性導電ペースト)工法、NCP(無導電樹脂ペースト)工法であっても構わない。
【0017】
【特許文献1】特開平10−107078号公報
【特許文献2】特開平11−16950号公報
【0018】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら第2の従来技術においてはバンプのコアを表面と異なる材料で形成でき、バンプの材料コストをコントロールすることが可能となるが、接合が接着剤の硬化収縮を利用したメカニカル接続に止まり、第1の従来技術で述べた強固な金属間接合が得られない。
【0019】
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、ニッケルや銅等の安価な材料をコアとしたバンプを用いてバンプの材料コストを低減可能とし、接合にはACF工法やNCP工法を適用せず、塑性変形困難なバンプに対しても超音波や熱圧着による信頼性の高い金属間接合を実現可能とすることを目的とする。
【0020】
【課題を解決するための手段】
本発明は第1の態様として、チップを回路基板の所定の位置に位置合わせし、前記チップの電極と前記回路基板の電極とを、金以外の金属を主成分とする金属をコアとした金めっきバンプを介してフェイスダウン接合するフリップチップ実装方法であって、フェイスダウン接合の際事前に前記金めっきバンプの接合面に微小金ボールを仮付けしておくことを特徴とするフリップチップ実装方法を提供する。
【0021】
また第2の態様として、前記フェイスダウン接合が、熱圧着接合又は超音波接合あるいは超音波併用熱圧着接合であることを特徴とする第1の態様として記載のフリップチップ実装方法を提供する。
【0022】
さらに第3の態様として、前記金めっきバンプが、ニッケルあるいは銅を主成分とする金属をコアとした金めっきバンプであることを特徴とする第1あるいは第2の態様として記載のフリップチップ実装方法を提供する。
【0023】
加えて第4の態様として、前記微小金ボールの仮付けが、熱圧着接合又は超音波接合あるいは超音波併用熱圧着接合により行われることを特徴とする第1から第3のいずれかの態様として記載のフリップチップ実装方法を提供する。
【0024】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の1実施形態を示すフリップチップ実装方法の工程図である。また図2は本発明の1実施形態を示す微小金ボールの仮付け方法の工程図である。図2において1はチップ、2はチップ1にある電極、3は電極2上に形成したニッケルコアの金めっきバンプ、8は微小金ボール、9は仮付けステージである。
【0025】
まず、図2(a)で示すように微小金ボール8を仮付けステージ9上に敷き詰める。ここでは微小金ボール8の直径は5μm程度としている。微小金ボール8の最適直径は、バンプ3の大きさやバンプ3と回路基板の電極の表面粗さに影響されるが、本実施例ではバンプ3の接合面がφ50μm、前記表面粗さがRaで1μm以下の比較的滑らかな表面なのでこの直径とした。
【0026】
微小金ボール8の直径は、バンプ3あるいは回路基板の電極の接合面にある凹凸に埋もれてしまわない程度に大きく、且つ前記接合面に安定して供給できる程度に小さいのが望ましい。前記接合面に対して微小金ボールが大きい場合、最後の1個が付着するかどうかで供給量のばらつきが大きくなるからである。
【0027】
次にチップ1を矢印ウの方向に移動させバンプ3を微小金ボール8に押圧する。さらに押圧に加えて熱又は超音波振動あるいはこれらを合わせて付与することで、微小金ボール8をバンプ3の接合面に仮付けする(図2(B))。
【0028】
図1において4はコレット、5はワークステージ、6は回路基板、7は回路基板6上に形成した金めっきの電極である。ここで符号1〜3、8は図2における符号と共通である。
【0029】
図1(a)において微小金ボール8が仮付けされた状態のチップ1をコレット4で保持し、一方でワークステージ5上に回路基板6を載置して位置ずれしないように保持する。ここでバンプ3と電極7とを位置合わせし、コレット4を矢印アの方向に移動させる。
【0030】
バンプ3上に仮付けされた微小金ボール8が電極7に当接した後さらに熱圧着又は超音波接合あるいは超音波併用熱圧着でフリップチップ実装する。熱圧着による場合は温度を350℃程度にして数秒間で接合可能であり、超音波接合の場合には温度を150℃程度、コレットの矢印イ方向の振動振幅(P−P)が0.5〜2μmにして0.5秒間程度で良好な接合が得られる(図1(b))。
【0031】
このようにバンプ3のコアとしてニッケルのような硬い材料を採用しても、微小金ボール8がつぶれて塑性変形し接合に寄与するため信頼性の高い金属間接合を得ることができる。
【0032】
ここでバンプ3のコア材料はニッケルではなく銅等別の金属あるいは樹脂であってもよい。また、バンプ3がチップ1の電極2上に形成されるのではなく回路基板6上に形成されてもよい。この場合はチップ1の電極2に金めっきを施し、回路基板6に形成したバンプに図2で示した方法で微小金ボール8を仮付けすればよい。
【0033】
【発明の効果】
本発明によれば、高価な貴金属でバンプ全体を形成する必要がないので低コストで大量のバンプが製造可能となり、フリップチップ実装の需要の増大と多ピン化に対応することが容易となる。
【0034】
また、バンプのコア部分が接合時に塑性変形し難い材料であっても金属間接合させることができるので、短時間で信頼性の高い接合が実現できる。したがって歩留まりがよく大量生産に向いたフリップチップ実装方法を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施形態を示すフリップチップ実装方法の工程図
【図2】本発明の1実施形態を示す微小金ボールの仮付け方法の工程図
【図3】第1の従来技術を示すフリップチップ実装方法の断面図
【図4】第2の従来技術を示すフリップチップ実装方法の断面図
【図5】第2の従来技術の一実施形態を示すフリップチップ実装構造の断面図
【符号の説明】
1 チップ
2 電極
3 バンプ
4 コレット
5 ワークステージ
6 回路基板
7 電極
8 微小金ボール
9 仮付けステージ
【発明の属する技術分野】
ICチップ等のベアチップを回路基板に実装する場合に、チップの電極あるいは回路基板の電極に形成したバンプを介してチップと回路基板をフェイスダウン状態で挟持し、前記両電極を電気的および機械的に接合するフリップチップ実装方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、モバイル情報通信関連商品等においては、回路実装基板のよりいっそうの小型、軽量、高周波化による高性能化と、コストダウンとが切望されている。そのため、チップと回路基板の直接実装が可能なフリップチップ実装が有効となる。このフリップチップ実装は伝送経路の短縮によるディレイの減少と耐ノイズ性の強化、さらには高密度接続や短時間接合等の特徴があり、ますます注目を集めている。
【0003】
ここで従来のフリップチップ実装方法を説明する。まず第1の従来技術として超音波を利用したフリップチップ実装方法がある。これは特許文献1でも開示されているように、チップを回路基板に実装するときに、チップに形成したバンプと回路基板の電極との接合面に押圧力と超音波を付与してフェイスダウン接合を実現するものである。
【0004】
この第1の従来技術を図3に基づいて詳細に説明する。まず図3(a)で示すように、チップ51にある電極52に金を主成分とするバンプ53を形成し、このチップ51の背面をコレット54により保持する一方ワークステージ55上に回路基板56を載置する。
【0005】
次にバンプ53と回路基板56の電極57とを位置合わせしたのち図3(b)に示すように、コレット54によりチップ51を超音波振動カを加えながら押圧する。
【0006】
これによりバンプ53がつぶれ、その塑性変形と超音波振動により接合界面の酸化皮膜や汚れの中から新生面が現れる。更にこの界面に超音波振動カと押圧力キとを加えることで界面が強固に金属間接合する。
【0007】
ここで紹介したバンプ53は、金ワイヤのボールボンディング法を利用して金ボールをチップの電極に形成したのちワイヤを引きちぎるスタッドバンプや、めっき法でバンプを析出するめっきバンプがあるが、何れも十数μmから数十μmのバンプ高さが必要となる。
【0008】
またこれらのバンプは金を主成分とした(純金に近い)材料で形成するのが一般的であり、さらに最近の傾向として狭ピッチ配列による多ピン化、エリア配列による多ピン化が著しく、大量生産においては貴金属で膨大な数量のバンプを形成するのに材料コストの問題を無視することができなくなってきた。
【0009】
このことからバンプ表層を金で形成し、内部はニッケルや銅、又は樹脂など安価な材料とすることが考えられるが、前述したようなバンプの塑性変形を得ることが非常に困難となる。
【0010】
そこで従来より採用されているACF工法(ACFは異方性導電フィルムの略称)で実装することが考えられる。これを第2の従来技術として図4に基づいて説明する。
【0011】
まず図4(a)で示すようにチップ61の電極62にバンプ63を形成し、このチップ61の背面をコレット64により保持する一方ワークステージ65上に回路基板66を載置する。ここでバンプ63は表層63Aが金、コア63Bがニッケルあるいは銅等の異種金属で構成されている。
【0012】
次に図4(b)で示すようにACF68を接合面に介在させ、コレット64を矢印サの方向に移動させる。そして加熱すると同時に押圧力を加えることによりACF68中の接着剤68Aが溶融しながらチップ61と回路基板66との間を満たし、チップ61と回路基板66とを接着させる。
【0013】
またこのときACF68中に分散されている導電粒子68Bがバンプ63と回路基板66上の電極67との間に捕獲され、この導電粒子68Bを介して電極間の電気的接続が得られる(図4(c))。
【0014】
ここでの接合はACF68の接着剤68Aが硬化収縮することで導電粒子68Bはバンプ63と電極67の表面に食い込んで電気的接続を得る言わばメカニカル接合である。
【0015】
この第2の従来技術の一例として特許文献2が開示している実装方法を図5に基づいて説明する。図5において71はチップ、72はチップ71の電極、76は回路基板、77Aは回路基板76に形成された樹脂製の突起、77は突起77Aの表層部に形成された電極、78はACFである。
【0016】
したがってこの接続構造は突起77Aと電極77で構成された突起電極、換言すると樹脂コアのバンプを回路基板76上に形成し、ACF工法によりチップを実装する技術である。ここで突起77Aが樹脂でなくニッケルや銅等の金属であっても構わない。また、ACF工法でなくACP(異方性導電ペースト)工法、NCP(無導電樹脂ペースト)工法であっても構わない。
【0017】
【特許文献1】特開平10−107078号公報
【特許文献2】特開平11−16950号公報
【0018】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら第2の従来技術においてはバンプのコアを表面と異なる材料で形成でき、バンプの材料コストをコントロールすることが可能となるが、接合が接着剤の硬化収縮を利用したメカニカル接続に止まり、第1の従来技術で述べた強固な金属間接合が得られない。
【0019】
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、ニッケルや銅等の安価な材料をコアとしたバンプを用いてバンプの材料コストを低減可能とし、接合にはACF工法やNCP工法を適用せず、塑性変形困難なバンプに対しても超音波や熱圧着による信頼性の高い金属間接合を実現可能とすることを目的とする。
【0020】
【課題を解決するための手段】
本発明は第1の態様として、チップを回路基板の所定の位置に位置合わせし、前記チップの電極と前記回路基板の電極とを、金以外の金属を主成分とする金属をコアとした金めっきバンプを介してフェイスダウン接合するフリップチップ実装方法であって、フェイスダウン接合の際事前に前記金めっきバンプの接合面に微小金ボールを仮付けしておくことを特徴とするフリップチップ実装方法を提供する。
【0021】
また第2の態様として、前記フェイスダウン接合が、熱圧着接合又は超音波接合あるいは超音波併用熱圧着接合であることを特徴とする第1の態様として記載のフリップチップ実装方法を提供する。
【0022】
さらに第3の態様として、前記金めっきバンプが、ニッケルあるいは銅を主成分とする金属をコアとした金めっきバンプであることを特徴とする第1あるいは第2の態様として記載のフリップチップ実装方法を提供する。
【0023】
加えて第4の態様として、前記微小金ボールの仮付けが、熱圧着接合又は超音波接合あるいは超音波併用熱圧着接合により行われることを特徴とする第1から第3のいずれかの態様として記載のフリップチップ実装方法を提供する。
【0024】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の1実施形態を示すフリップチップ実装方法の工程図である。また図2は本発明の1実施形態を示す微小金ボールの仮付け方法の工程図である。図2において1はチップ、2はチップ1にある電極、3は電極2上に形成したニッケルコアの金めっきバンプ、8は微小金ボール、9は仮付けステージである。
【0025】
まず、図2(a)で示すように微小金ボール8を仮付けステージ9上に敷き詰める。ここでは微小金ボール8の直径は5μm程度としている。微小金ボール8の最適直径は、バンプ3の大きさやバンプ3と回路基板の電極の表面粗さに影響されるが、本実施例ではバンプ3の接合面がφ50μm、前記表面粗さがRaで1μm以下の比較的滑らかな表面なのでこの直径とした。
【0026】
微小金ボール8の直径は、バンプ3あるいは回路基板の電極の接合面にある凹凸に埋もれてしまわない程度に大きく、且つ前記接合面に安定して供給できる程度に小さいのが望ましい。前記接合面に対して微小金ボールが大きい場合、最後の1個が付着するかどうかで供給量のばらつきが大きくなるからである。
【0027】
次にチップ1を矢印ウの方向に移動させバンプ3を微小金ボール8に押圧する。さらに押圧に加えて熱又は超音波振動あるいはこれらを合わせて付与することで、微小金ボール8をバンプ3の接合面に仮付けする(図2(B))。
【0028】
図1において4はコレット、5はワークステージ、6は回路基板、7は回路基板6上に形成した金めっきの電極である。ここで符号1〜3、8は図2における符号と共通である。
【0029】
図1(a)において微小金ボール8が仮付けされた状態のチップ1をコレット4で保持し、一方でワークステージ5上に回路基板6を載置して位置ずれしないように保持する。ここでバンプ3と電極7とを位置合わせし、コレット4を矢印アの方向に移動させる。
【0030】
バンプ3上に仮付けされた微小金ボール8が電極7に当接した後さらに熱圧着又は超音波接合あるいは超音波併用熱圧着でフリップチップ実装する。熱圧着による場合は温度を350℃程度にして数秒間で接合可能であり、超音波接合の場合には温度を150℃程度、コレットの矢印イ方向の振動振幅(P−P)が0.5〜2μmにして0.5秒間程度で良好な接合が得られる(図1(b))。
【0031】
このようにバンプ3のコアとしてニッケルのような硬い材料を採用しても、微小金ボール8がつぶれて塑性変形し接合に寄与するため信頼性の高い金属間接合を得ることができる。
【0032】
ここでバンプ3のコア材料はニッケルではなく銅等別の金属あるいは樹脂であってもよい。また、バンプ3がチップ1の電極2上に形成されるのではなく回路基板6上に形成されてもよい。この場合はチップ1の電極2に金めっきを施し、回路基板6に形成したバンプに図2で示した方法で微小金ボール8を仮付けすればよい。
【0033】
【発明の効果】
本発明によれば、高価な貴金属でバンプ全体を形成する必要がないので低コストで大量のバンプが製造可能となり、フリップチップ実装の需要の増大と多ピン化に対応することが容易となる。
【0034】
また、バンプのコア部分が接合時に塑性変形し難い材料であっても金属間接合させることができるので、短時間で信頼性の高い接合が実現できる。したがって歩留まりがよく大量生産に向いたフリップチップ実装方法を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施形態を示すフリップチップ実装方法の工程図
【図2】本発明の1実施形態を示す微小金ボールの仮付け方法の工程図
【図3】第1の従来技術を示すフリップチップ実装方法の断面図
【図4】第2の従来技術を示すフリップチップ実装方法の断面図
【図5】第2の従来技術の一実施形態を示すフリップチップ実装構造の断面図
【符号の説明】
1 チップ
2 電極
3 バンプ
4 コレット
5 ワークステージ
6 回路基板
7 電極
8 微小金ボール
9 仮付けステージ
Claims (4)
- チップを回路基板の所定の位置に位置合わせし、前記チップの電極と前記回路基板の電極とを、金以外の金属を主成分とする金属をコアとした金めっきバンプを介してフェイスダウン接合するフリップチップ実装方法であって、フェイスダウン接合の際事前に前記金めっきバンプの接合面に微小金ボールを仮付けしておくことを特徴とするフリップチップ実装方法。
- 前記フェイスダウン接合が、熱圧着接合又は超音波接合あるいは超音波併用熱圧着接合であることを特徴とする請求項1に記載のフリップチップ実装方法。
- 前記金めっきバンプが、ニッケルあるいは銅を主成分とする金属をコアとした金めっきバンプであることを特徴とする請求項1あるいは2に記載のフリップチップ実装方法。
- 前記微小金ボールの仮付けが、熱圧着接合又は超音波接合あるいは超音波併用熱圧着接合により行われることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のフリップチップ実装方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002317277A JP2004153055A (ja) | 2002-10-31 | 2002-10-31 | フリップチップ実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002317277A JP2004153055A (ja) | 2002-10-31 | 2002-10-31 | フリップチップ実装方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006004751A3 (en) * | 2004-06-28 | 2006-12-14 | Honeywell Int Inc | Methods and apparatus for attaching a die to a substrate |
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2002
- 2002-10-31 JP JP2002317277A patent/JP2004153055A/ja active Pending
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WO2006004751A3 (en) * | 2004-06-28 | 2006-12-14 | Honeywell Int Inc | Methods and apparatus for attaching a die to a substrate |
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