JP2004143484A - 高濃度酸化スズitoターゲットとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】比表面積値が3〜15m2/gであって、平均粒径が0.5μm以下である酸化インジウム粉末と、比表面積値が10〜15m2/gで、平均粒径が1.5μm以下、好ましくは1μm以下である酸化スズ粉末とを、酸化スズの含有量が20質量%を超え、かつ、50質量%以下となるように混合・粉砕して原料粉末を得た後、98MPa以上の圧力で加圧成形して得た成形体を常圧酸素雰囲気中で1400〜1600℃の温度で焼結することにより、平均密度が7.0g/cm3以上である高濃度酸化スズITOターゲットを得る。
【選択図】 なし
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ディスプレイ、エレクトロ・ルミネッセンス(EL)ディスプレイ、タッチパネル等に用いる透明導電膜をスパッタリング法にて形成する際に用いる透明導電膜用スパッタリングターゲットおよびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、表示素子の発達に伴い、透明導電膜が広く用いられるようになってきている。特に、低抵抗、高透過率などの長所から、酸化インジウム−酸化スズからなるITO薄膜を用いることが主流となっている。ITO薄膜を大面積に均一に得る手段としては、酸化インジウム−酸化スズからなるITOターゲットを用いたスパッタリング法が優れており、現在主流となっている。
【0003】
また、フィルム基板などの各種基板への成膜要望から、ITO膜の非晶質化、高曲げ性能などの特性が求められている。その要求を満たすために、高濃度酸化スズITOターゲットが要望されている。
【0004】
しかし、酸化スズは、酸化インジウムに比べて蒸気圧が高いため、焼結性において劣る。したがって、酸化スズ濃度が高くなるとともに、焼結性が悪くなり、ITO焼結体の密度が低下してしまう。ITO焼結体の密度が低いと、空孔が多くなり、スパッタリングによる成膜時にノジュールの発生が多く、成膜速度の低下、異常放電の発生が起こり、そのため、膜厚分布の悪化、パーティクルの生成による膜質の悪化が生じてしまう。
【0005】
特開平2001−73123号公報では、平均粒径が0.5μm以下で、粒径0.1μm以上0.8μm以下の粒子が85重量%以上を占める酸化インジウム粉末および酸化インジウム酸化スズ合成粉末からなる群より選ばれる1以上の粉末と、平均粒径2.5μm以下で、粒径が7.0μm以上の粉末が10重量%以下を占める酸化スズ粉末とを、所望比率で混合した原料粉末、あるいはその原料粉末を顆粒状に整粒した粉末を用いて、高濃度酸化スズITOターゲットを製造する方法が提案されている。
【0006】
しかし、この方法では、高濃度酸化スズITOターゲットを高密度にできるが、酸化スズが20重量%を超える組成範囲では、安定的に平均密度7.0g/cm3以上とすることが困難である。
【0007】
【先行文献1】
特開平2001−72123号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、成膜時に安定した成膜速度が得られ、かつ、異常放電が少なくなり、その結果として欠陥の少ないITO膜を得ることができる、高密度化させた高濃度酸化スズITOターゲットを提供する。
【0009】
また、本発明は、高密度化させた高濃度酸化スズITOターゲットを、安定的に、かつ安価に製造できる方法を提供する。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明による高濃度酸化スズITOターゲットは、酸化インジウム−酸化スズからなり、酸化スズの含有量が20質量%を超えて、かつ、50質量%以下であって、平均密度が7.0g/cm3以上であることを特徴とする。
【0011】
原料粉末は、比表面積値が3〜15m2/gであって、平均粒径が0.5μm以下である酸化インジウム粉末と、比表面積値が10〜15m2/gで、平均粒径が1.5μm以下である酸化スズ粉末を、酸化スズの含有量が20質量%を超えて、かつ50質量%以下となるように、混合・粉砕して得る。該原料粉末を98MPa以上の圧力で成形体を得て、該成形体を1400〜1600℃の温度で焼結することにより、本発明による高濃度酸化スズITOターゲットを得る。
【0012】
なお、酸化スズ粉末の平均粒径は1μm以下であることが好ましい。
【0013】
一方、本発明による高濃度酸化スズITOターゲットの製造方法は、比表面積値が3〜15m2/gであって、平均粒径が0.5μm以下である酸化インジウム粉末と、比表面積値が10〜15m2/gで、平均粒径が1.5μm以下である酸化スズ粉末とを、酸化スズの含有量が10〜50質量%となるように混合・粉砕して原料粉末を得た後、98MPa以上の圧力で加圧成形して成形体を得て、該成形体を常圧の酸素雰囲気中で1400〜1600℃の温度で焼結することを特徴とする。
【0014】
加圧成形前に前記原料粉末を平均粒径10μm以上の顆粒状に造粒することが好ましい。
【0015】
【発明の実施の形態】
本発明の高濃度酸化スズITOターゲットの原料粉末は、比表面積値が3〜15m2/g、平均粒径が0.5μm以下である酸化インジウム粉末と、比表面積値が10〜15m2/g、平均粒径が1.5μm以下である酸化スズ粉末である。
【0016】
酸化インジウム粉末は、比表面積値が3m2/g未満であると、一次粒子径が大きくなり、粒子間に生じる空孔も大きくなるため、焼結時にも空孔を除くことが困難となる。また、15m2/gを超えると、一次粒子が小さすぎるために、凝集を生じやすく、成形体中に粗大空孔が生じやすく、焼結で空孔を除きがたくなる。一方、平均粒径が0.5μmを超えると、粒子間に発生している凝集が多いために、粗大空孔が多く存在する。いずれの場合も、ITO焼結体の密度低下を引き起こすことになる。
【0017】
酸化スズ粉末についても、比表面積値が10m2/g未満、もしくは15m2/gを超える場合には、酸化インジウム粉末の場合と同様の理由により、ITO焼結体の密度低下を引き起こす。また、平均粒径が1.5μmを超える場合には、粒子間に発生している凝集が多いために、粗大空孔が多く存在し、同様にITO焼結体の密度低下を引き起こす。
【0018】
なお、さらに安定して高密度のターゲットを得るためには、平均粒径が1μm以下であることが望ましい。
【0019】
また、酸化スズ濃度が50質量%を超えると、焼結時に酸化スズの揮発が激しくなり、体積拡散が生じにくくなるため、焼結密度を安定的に7.0g/cm3以上とすることが困難である。
【0020】
原料粉末を混合・粉砕する方法としては、粒子間に存在する空孔を除去できる粉砕方法が望ましく、微粒子化が可能であるボールミル、ビーズミルが望ましい。
【0021】
原料粉末を平均粒径10μm以上に造粒することが望ましい。造粒する場合には、混合・粉砕時に、分散剤、PVAなどのバインダーを加えた上で行い、また、スプレードライヤーなどの乾燥設備を用いて行い、顆粒状の造粒粉を得ることが望ましい。これにより、流動性がよくなり、成形型への充填が容易となる。造粒粉の水分量を調整し、造粒粉が固くなりすぎないようにすることが望ましい。
【0022】
原料粉末および造粒粉末を、98MPa以上の圧力で加圧成形して、成形体を得る。98MPa以下であると、粒子間に存在する空孔を除去することが困難となり、ITO焼結体の密度低下をもたらす。また、成形体強度も低くなるため、安定した製造が困難となる。高圧力が得られるCIP(Cold Isostatic Press)を用いることが望ましい。
【0023】
前記成形体を常圧雰囲気中で、焼結保持温度を1400〜1600℃として焼結する。酸素雰囲気とは、純酸素雰囲気または高濃度酸素雰囲気である。焼結温度が1400℃未満では、体積拡散・表面拡散が進まず、ITO焼結体が高密度とならない。焼結温度が1600℃を超えると、炉床板との反応が激しくなる。
【0024】
【実施例】
[実施例1]
比表面積値11.4m2/g、平均粒径0.37μmの酸化インジウム粉末を80質量%、比表面積値11.3m2/g、平均粒径1.3μmの酸化スズ粉末20質量%となるように秤量し、これにポリビニルアルコールと分散剤を原料粉末に対し各々1.25質量%となるように加え、さらに純水を所定量加え、濃度60質量%のスラリーを作製し、ボールミルにて20時間程度混合・粉砕を行った。
【0025】
混合・粉砕後のスラリーを熱風温度150℃でスプレードライヤーで乾燥し、粒径10〜100μm、タップ密度1.56g/cm3の造粒粉を作製した。
【0026】
この造粒粉を常温にて196MPaの圧力で成形体を作製した。得られた成形体を、1500℃で20時間焼結し、280×130×10mmの焼結体を得た。得られた焼結体の密度は、7.12g/cm3であった。
【0027】
[実施例2]
比表面積値11.3m2/g、平均粒径0.39μmの酸化インジウム粉末を64質量%、比表面積値11.7m2/g、平均粒径1.2μmの酸化スズ粉末を36質量%となるようにした以外は、実施例1と同様に、造粒粉を作製した。この造粒粉の粒径は10〜100μm、タップ密度は1.51g/cm3であった。この造粒粉から、実施例1と同様に、焼結体を得た。得られた焼結体の密度は、7.07g/cm3であった。
【0028】
[実施例3]
比表面積値11.3m2/g、平均粒径0.34μmの酸化インジウム粉末を90質量%、比表面積値11.1m2/g、平均粒径1.2μmの酸化スズ粉末10質量%となるように秤量し、これにバインダー、分散剤を原料粉末に対し各々1.25質量%となるように加え、さらに純水を所定量加え、濃度60質量%のスラリーを作製し、ビーズミルにて所定時間混合・粉砕を行った。
【0029】
混合・粉砕後のスラリーを熱風温度140℃でスプレードライヤーで乾燥し、粒径10〜100μm、タップ密度1.54g/cm3の造粒粉を作製した。
【0030】
この造粒粉を常温にて294MPaの圧力で成形体を作製した。得られた成形体を、1550℃で25時間焼結し、280×130×10mmの焼結体を得た。得られた焼結体の密度は、7.140g/cm3であった。
【0031】
[実施例4]
比表面積値11.2m2/g、平均粒径0.35μmの酸化インジウム粉末を50質量%、比表面積値12.5m2/g、平均粒径1.2μmの酸化スズ粉末を50質量%となるようにした以外は、実施例1と同様に、造粒粉を作製した。この造粒粉の粒径は10〜100μm、タップ密度は1.49g/cm3であった。この造粒粉から、実施例1と同様に、焼結体を得た。得られた焼結体の密度は、7.010g/cm3であった。
【0032】
[実施例5]
比表面積値11.3m2/g、平均粒径0.39μmの酸化インジウム粉末を64質量%、比表面積値11.8m2/g、平均粒径0.9μmの酸化スズ粉末36質量%となるようにした以外は、実施例1と同様に、造粒粉を作製した。この造粒粉の粒径は10〜100μm、タップ密度は1.45g/cm3であった。この造粒粉から、実施例1と同様に、焼結体を得た。得られた焼結体の密度は、7.090g/cm3であり、実施例2と比較し、密度上昇が確認された。
【0033】
また、媒体からの不純物量が、40ppm以下となり、実施例2では50ppmを超えるのに対し、低減されることが確認された。
【0034】
[比較例1]
比表面積値11.4m2/g、平均粒径0.37μmの酸化インジウム粉末を80質量%、比表面積値6.2m2/g、平均粒径3.1μmの酸化スズ粉末を20質量%となるようにした以外は、実施例1と同様に、造粒粉を作製した。この造粒粉の粒径は10〜100μm、タップ密度は1.56g/cm3であった。この造粒粉から、実施例1と同様に、焼結体を得た。得られた焼結体の密度は、6.90g/cm3であった。
【0035】
[比較例2]
比表面積値11.3m2/g、平均粒径0.39μmの酸化インジウム粉末を64質量%、比表面積値6.2m2/g、平均粒径3.0μmの酸化スズ粉末を36質量%となるようにした以外は、実施例1と同様に、造粒粉を作製した。この造粒粉の粒径は10〜100μm、タップ密度は1.56g/cm3であった。この造粒粉から、実施例1と同様に、焼結体を得た。得られた焼結体の密度は、6.62g/cm3であった。
【0036】
[比較例3]
比表面積値11.1m2/g、平均粒径0.35μmの酸化インジウム粉末を45質量%、比表面積値6.2m2/g、平均粒径3.0μmの酸化スズ粉末を55質量%となるようにした以外は、実施例1と同様に、造粒粉を作製した。この造粒粉の粒径は10〜100μm、タップ密度は1.65g/cm3であった。この造粒粉から、実施例1と同様に、焼結体を得た。得られた焼結体の密度は、6.520g/cm3であった。
【0037】
比表面積値12.0m2/g、平均粒径1.3μmの酸化スズ粉末を用いた場合、焼結体の密度は、6.850g/cm3であった。
【0038】
[比較例4]
比表面積値11.0m2/g、平均粒径0.38μmの酸化インジウム粉末を64質量%、比表面積値20.2m2/g、平均粒径2.5μmの酸化スズ粉末を36質量%となるようにした以外は、実施例1と同様に、造粒粉を作製した。この造粒粉の粒径は10〜100μm、タップ密度は1.49g/cm3であった。この造粒粉から、実施例1と同様に、焼結体を得た。得られた焼結体の密度は、6.750g/cm3であった。
【0039】
[比較例5]
比表面積値11.3m2/g、平均粒径0.39μmの酸化インジウム粉末を64質量%、比表面積値11.7m2/g、平均粒径1.2μmの酸化スズ粉末を36質量%となるようにした以外は、実施例1と同様に、造粒粉を作製した。この造粒粉をフルイにかけて、平均粒径が10μm以下となるようにした。この造粒粉のタップ密度は1.75g/cm3であった。この造粒粉から、実施例1と同様に、焼結体を得た。得られた焼結体の密度は、6.900g/cm3であった。
【0040】
【発明の効果】
本発明により、原料粉末スラリーを粉砕・混合する時に、媒体等の摩耗から入る不純物を減少させることが可能となる。原料粉末が99.99%以上の純度を有すれば、本発明によるITOターゲットの純度は99.99%以上を十分に満たすことができる。
【0041】
また、密度分布が少ない高密度ITOターゲットが得られるために、成膜中にノジュールの発生を抑えることができ、成膜の末期まで成膜密度の変化が小さくなるため、成膜段階での高収率が得られる。
Claims (5)
- 酸化インジウム−酸化スズからなり、酸化スズの含有量が20質量%を超え、かつ50質量%以下であって、平均密度が7.0g/cm3以上である高濃度酸化スズITOターゲット。
- 比表面積値が3〜15m2/gであって、平均粒径が0.5μm以下である酸化インジウム粉末と、比表面積値が10〜15m2/gで、平均粒径が1.5μm以下である酸化スズ粉末を混合・粉砕した後、98MPa以上の圧力で成形体を得て、該成形体を1400〜1600℃の温度で焼結して得られる請求項1に記載の高濃度酸化スズITOターゲット。
- 酸化スズ粉末の平均粒径が1μm以下である請求項2に記載の高濃度酸化スズITOターゲット。
- 比表面積値が3〜15m2/gであって、平均粒径が0.5μm以下である酸化インジウム粉末と、比表面積値が10〜15m2/gで、平均粒径が1.5μm以下である酸化スズ粉末とを、酸化スズの含有量が10〜50質量%となるように混合・粉砕して原料粉末を得た後、98MPa以上の圧力で加圧成形して成形体を得て、該成形体を常圧の酸素雰囲気中で1400〜1600℃の温度で焼結することを特徴とする高濃度スズITOターゲットの製造方法。
- 加圧成形前に前記原料粉末を平均粒径10μm以上の顆粒状に造粒する請求項4に記載の高濃度スズITOターゲットの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002307326A JP4120351B2 (ja) | 2002-10-22 | 2002-10-22 | 高濃度酸化スズitoターゲットとその製造方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004143484A true JP2004143484A (ja) | 2004-05-20 |
JP2004143484A5 JP2004143484A5 (ja) | 2005-09-02 |
JP4120351B2 JP4120351B2 (ja) | 2008-07-16 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4120351B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009173469A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 高濃度酸化錫ito焼結体およびその製造方法 |
JP2010100484A (ja) * | 2008-10-24 | 2010-05-06 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 酸化スズ粉末 |
KR101240167B1 (ko) | 2008-02-13 | 2013-03-07 | 삼성코닝정밀소재 주식회사 | 산화인듐주석 소결체 및 타겟 |
JP2013256425A (ja) * | 2012-06-14 | 2013-12-26 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Itoスパッタリングターゲット用酸化スズ粉末、itoスパッタリングターゲット用酸化スズおよび酸化インジウムの混合粉末の製造方法、および、itoスパッタリングターゲット用焼結体 |
CN115482965A (zh) * | 2022-09-16 | 2022-12-16 | 北京高压科学研究中心 | 一种提升透明导电氧化物电导率和蓝光过滤效率的方法 |
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---|---|---|---|---|
JP2009173469A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 高濃度酸化錫ito焼結体およびその製造方法 |
KR101240167B1 (ko) | 2008-02-13 | 2013-03-07 | 삼성코닝정밀소재 주식회사 | 산화인듐주석 소결체 및 타겟 |
JP2010100484A (ja) * | 2008-10-24 | 2010-05-06 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 酸化スズ粉末 |
JP2013256425A (ja) * | 2012-06-14 | 2013-12-26 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Itoスパッタリングターゲット用酸化スズ粉末、itoスパッタリングターゲット用酸化スズおよび酸化インジウムの混合粉末の製造方法、および、itoスパッタリングターゲット用焼結体 |
CN115482965A (zh) * | 2022-09-16 | 2022-12-16 | 北京高压科学研究中心 | 一种提升透明导电氧化物电导率和蓝光过滤效率的方法 |
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