JP2004139712A5 - - Google Patents
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- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 claims 2
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Claims (13)
- Biを 0.005〜0.40％（以下、特記しない限り原子％を表す）含有するAg基合金であることを特徴とする光情報記録媒体用Ag基合金反射膜または半透過反射膜。
- 上記Ag基合金は、希土類金属元素の少なくとも１種を含有するものである請求項１に記載の光情報記録媒体用Ag基合金反射膜または半透過反射膜。
- 上記希土類金属元素は、Ndおよび／またはYである請求項２に記載の光情報記録媒体用Ag基合金反射膜または半透過反射膜。
- 上記希土類金属元素としてNdおよび／またはYを合計で0.1〜2%含有するものである請求項３に記載の光情報記録用Ag基合金反射膜または半透過反射膜。
- 上記Ag基合金は、Cu,Au,Rh,Pd,Ptから選ばれる少なくとも１種を合計で0.1〜3%含有するものである請求項１〜４のいずれかに記載の光情報記録媒体用Ag基合金反射膜または半透過反射膜。
- Biを0.05〜4.5％含有するAg基合金であることを特徴とする光情報記録媒体用Ag基合金スパッタリングターゲット。
- Sb を 0.005 〜 0.40 ％含有し、更に希土類金属元素の少なくとも１種を含有する Ag 基合金であることを特徴とする光情報記録媒体用 Ag 基合金反射膜または半透過反射膜。
- 上記希土類金属元素は、 Nd および／または Y である請求項７に記載の光情報記録媒体用 Ag 基合金反射膜または半透過反射膜。
- 上記希土類金属元素として Nd および／または Y を合計で 0.1 〜 2 ％含有するものである請求項８に記載の光情報記録媒体用 Ag 基合金反射膜または半透過反射膜。
- 上記 Ag 基合金は、 Cu,Au,Rh,Pd,Pt から選ばれる少なくとも１種を合計で 0.1 〜 3% 含有するものである請求項７〜９のいずれかに記載の光情報記録媒体用 Ag 基合金反射膜または半透過反射膜。
- Sbを0.005〜0.40％含有し、更に希土類金属元素の少なくとも１種を含有するAg基合金であることを特徴とする光情報記録媒体用Ag基合金スパッタリングターゲット。
- 請求項１〜５、７〜１０のいずれかに記載のAg基合金反射膜を備えることを特徴とする光情報記録媒体。
- 請求項１〜５、７〜１０のいずれかに記載のAg基合金半透過反射膜を備えることを特徴とする光情報記録媒体。
Priority Applications (21)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002361117A JP3655907B2 (ja) | 2002-08-20 | 2002-12-12 | 光情報記録媒体用反射膜と半透過反射膜、および光情報記録媒体 |
| US10/633,550 US7514037B2 (en) | 2002-08-08 | 2003-08-05 | AG base alloy thin film and sputtering target for forming AG base alloy thin film |
| SG200304812A SG103935A1 (en) | 2002-08-08 | 2003-08-06 | Ag base alloy thin film and sputtering target for forming ag base alloy thin film |
| TW92121689A TWI263689B (en) | 2002-08-08 | 2003-08-07 | Ag base alloy thin film and sputtering target for forming Ag base alloy thin film |
| DE10362302.7A DE10362302B4 (de) | 2002-08-08 | 2003-08-07 | Produkt mit zur elektromagnetischen Abschirmung dienendem Film und Herstellungsverfahren dafür |
| CNB031274617A CN1256461C (zh) | 2002-08-08 | 2003-08-07 | Ag基合金薄膜及Ag基合金薄膜形成用溅射靶 |
| TW94121903A TWI265976B (en) | 2002-08-08 | 2003-08-07 | Ag base alloy thin film and sputtering target for forming Ag base alloy thin film |
| DE10362283.7A DE10362283B4 (de) | 2002-08-08 | 2003-08-07 | Herstellungsverfahren für einen Film auf Ag-Legierungsbasis und Sputtertarget |
| DE10336228A DE10336228B4 (de) | 2002-08-08 | 2003-08-07 | Dünner Film auf Ag-Legierungsbasis, Verwendung dieses Films und Herstellungsverfahren für diesen Film |
| KR1020030055105A KR100605840B1 (ko) | 2002-08-08 | 2003-08-08 | Ａｇ계 합금 박막, 및 Ａｇ계 합금 박막 형성용 스퍼터링 타겟 |
| US11/313,815 US7419711B2 (en) | 2002-08-08 | 2005-12-22 | Ag base alloy thin film and sputtering target for forming Ag base alloy thin film |
| US11/353,168 US7566417B2 (en) | 2002-08-08 | 2006-02-14 | Ag base alloy thin film and sputtering target for forming Ag base alloy thin film |
| KR1020060017733A KR20060021939A (ko) | 2002-08-08 | 2006-02-23 | Ａｇ계 합금 박막, 및 Ａｇ계 합금 박막 형성용 스퍼터링타겟 |
| US11/395,227 US20060171842A1 (en) | 2002-08-08 | 2006-04-03 | Ag base alloy thin film and sputtering target for forming Ag base alloy thin film |
| US11/401,853 US7722942B2 (en) | 2002-08-08 | 2006-04-12 | Ag base alloy thin film and sputtering target for forming Ag base alloy thin film |
| US12/100,823 US7758942B2 (en) | 2002-08-08 | 2008-04-10 | Ag base alloy thin film and sputtering target for forming Ag base alloy thin film |
| KR1020080066739A KR100895759B1 (ko) | 2002-08-08 | 2008-07-09 | Ａｇ계 합금으로 이루어진 광반사막을 구비한 액정표시 소자 |
| US12/183,700 US7871686B2 (en) | 2002-08-08 | 2008-07-31 | Ag base alloy thin film and sputtering target for forming Ag base alloy thin film |
| US12/342,507 US7776420B2 (en) | 2002-08-08 | 2008-12-23 | Ag base alloy thin film and sputtering target for forming Ag base alloy thin film |
| US12/915,138 US8178174B2 (en) | 2002-08-08 | 2010-10-29 | Ag base alloy thin film and sputtering target for forming Ag base alloy thin film |
| US13/437,350 US8936856B2 (en) | 2002-08-08 | 2012-04-02 | AG base alloy thin film and sputtering target for forming AG base alloy thin film |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002239972 | 2002-08-20 | ||
| JP2002361117A JP3655907B2 (ja) | 2002-08-20 | 2002-12-12 | 光情報記録媒体用反射膜と半透過反射膜、および光情報記録媒体 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004367547A Division JP4153484B2 (ja) | 2002-08-20 | 2004-12-20 | 光情報記録媒体用Ａｇ基合金スパッタリングターゲット |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004139712A JP2004139712A (ja) | 2004-05-13 |
| JP2004139712A5 true JP2004139712A5 (ja) | 2005-04-07 |
| JP3655907B2 JP3655907B2 (ja) | 2005-06-02 |
Family
ID=32472536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002361117A Expired - Lifetime JP3655907B2 (ja) | 2002-08-08 | 2002-12-12 | 光情報記録媒体用反射膜と半透過反射膜、および光情報記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3655907B2 (ja) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3993530B2 (ja) * | 2003-05-16 | 2007-10-17 | 株式会社神戸製鋼所 | Ａｇ−Ｂｉ系合金スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
| JP3907666B2 (ja) | 2004-07-15 | 2007-04-18 | 株式会社神戸製鋼所 | レーザーマーキング用再生専用光情報記録媒体 |
| JP4575211B2 (ja) | 2005-03-31 | 2010-11-04 | 株式会社東芝 | 記憶媒体、再生方法及び記録方法 |
| JP2006294195A (ja) | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Kobe Steel Ltd | 光情報記録用Ａｇ合金反射膜、光情報記録媒体および光情報記録用Ａｇ合金反射膜の形成用のＡｇ合金スパッタリングターゲット |
| JP2007003624A (ja) * | 2005-06-21 | 2007-01-11 | Ishifuku Metal Ind Co Ltd | 半反射型半透過膜 |
| JP4527624B2 (ja) * | 2005-07-22 | 2010-08-18 | 株式会社神戸製鋼所 | Ａｇ合金反射膜を有する光情報媒体 |
| JP2007035104A (ja) | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Kobe Steel Ltd | 光情報記録媒体用Ａｇ合金反射膜、光情報記録媒体および光情報記録媒体用Ａｇ合金反射膜の形成用のＡｇ合金スパッタリングターゲット |
| US7790064B2 (en) | 2005-12-22 | 2010-09-07 | Pioneer Corporation | Polycrystalline aluminum thin film and optical recording medium |
| JP4864586B2 (ja) * | 2006-08-01 | 2012-02-01 | 新明和工業株式会社 | 真空成膜装置および真空成膜方法 |
| US8092889B2 (en) | 2006-08-28 | 2012-01-10 | Kobe Steel, Ltd. | Silver alloy reflective film for optical information storage media, optical information storage medium, and sputtering target for the deposition of silver alloy reflective film for optical information storage media |
| JP2008066068A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Ichikoh Ind Ltd | 車両用ランプ装置 |
| JP2008066069A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Ichikoh Ind Ltd | 車両用ランプ装置 |
| JP4176136B2 (ja) * | 2006-09-21 | 2008-11-05 | 株式会社神戸製鋼所 | Ａｇ合金薄膜 |
| WO2008035617A1 (fr) * | 2006-09-21 | 2008-03-27 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | FILM MINCE D'ALLIAGE Ag ET CIBLE DE PULVÉRISATION D'ALLIAGE Ag POUR LA FORMATION DU FILM MINCE D'ALLIAGE Ag |
| JP2008117470A (ja) | 2006-11-02 | 2008-05-22 | Sony Corp | 光情報記録媒体および光情報記録媒体の製造方法、ＢＣＡ（ＢｕｒｓｔＣｕｔｔｉｎｇＡｒｅａ）マーキング方法 |
| JP2008156753A (ja) | 2006-12-01 | 2008-07-10 | Kobe Steel Ltd | 光情報記録媒体用Ａｇ合金反射膜、光情報記録媒体および光情報記録媒体用Ａｇ合金反射膜の形成用のスパッタリングターゲット |
| JP4540687B2 (ja) | 2007-04-13 | 2010-09-08 | 株式会社ソニー・ディスクアンドデジタルソリューションズ | 読み出し専用の光情報記録媒体 |
| CN101809467B (zh) | 2007-09-25 | 2012-12-12 | 株式会社神户制钢所 | 反射膜、反射膜层叠体、led、有机el显示器及有机el照明器具 |
| JP5103462B2 (ja) * | 2009-11-18 | 2012-12-19 | 株式会社神戸製鋼所 | Ａｇ合金熱拡散制御膜およびこれを備えた熱アシスト記録用磁気記録媒体 |
| JP2012108440A (ja) * | 2010-11-19 | 2012-06-07 | Seiko Epson Corp | 干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 |
| JP5742615B2 (ja) * | 2011-09-15 | 2015-07-01 | 三菱マテリアル株式会社 | 導電性膜及びその製造方法並びに導電性膜形成用銀合金スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
| JP5910099B2 (ja) | 2012-01-18 | 2016-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルター、光学モジュールおよび電子機器 |
| WO2014208341A1 (ja) | 2013-06-26 | 2014-12-31 | 株式会社神戸製鋼所 | 反射電極用または配線電極用Ａｇ合金膜、反射電極または配線電極、およびＡｇ合金スパッタリングターゲット |
-
2002
- 2002-12-12 JP JP2002361117A patent/JP3655907B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP2004133979A5 (ja) | ||
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