JP2004134758A - 検査システムセットアップ技術 - Google Patents

Abstract

【課題】　半導体ウェーハについて動作する検査、計測、およびレビューするシステムを効率的にセットアップする技術を提供する。
【解決手段】　本技術は、それぞれのシステムが正確に半導体ウェーハを検査できるようにするレシピをセットアップすることを含む。本発明は、これらのツールからの関連情報を集め、レシピを完成させるのに必要な時間を大幅に削減するように情報をユーザに提示する。あるシステムの実施形態は、検査システム、およびレビューステーションが検査システムに記憶されたデータセットの全体から読み出し、かつ書き込みができるように通信可能にリンクされたレビューステーションを含む。このデータセットには、検査システムによって検出された特徴の画像ファイルが含まれる。
【選択図】　図１

Description

　本発明は、広くは半導体検査技術に関し、より具体的には検査装置をセットアップする技術に関する。

　一般に半導体製造業界においては、回路を半導体材料に集積化する非常に複雑な技術を伴う。大規模な回路集積および半導体デバイスのますます小さくなるサイズのために、半導体製造プロセスは、プロセス欠陥を受けやすい。テストプロシージャは、そのため品質管理を維持するために重要である。このテストプロシージャは製造プロセスのうちで不可欠で、かつ大部分を占めるために、半導体産業はより正確で効率的なテストプロシージャを常に求めている。

　典型的な検査プロセスは、ウェーハ上の同様の半導体デバイス領域を比較することによって欠陥を検出する。二つのデバイス領域間で検出された差異は、デバイスを適切に動作させない欠陥であるか、またはシステム動作に影響を与えないニュイサンス（nuisance）であるかのいずれかでありえる。これらの差異は、特徴差異と呼ばれえる。そして半導体ウェーハ検査の必要不可欠なフェーズは、検査装置の「レシピ」と一般に呼ばれる、セッティングを最適化することによって、正確に欠陥をニュイサンスと区別することにあることが明らかになる。

　典型的には半導体検査装置は、補助レビューステーションを用いてチューニングされる。図１は、データベース１０６を通してレビューステーション１０４にリンクされた検査装置１０２を含む、例示的な半導体検査システム１００を示す。図１の円で囲まれた参照番号は、検査装置１０２で用いられるレシピを最適化するルーチンの基本的なステップを記述する。ルーチンはステップ１から始まり、ここで検査装置１０２、例えば光学検査装置は、半導体ウェーハをスキャンし、欠陥またはニュイサンスのいずれかになりえる特徴差異を検出し、これらの差異に関する大量のデータを生成し、このセットアップを実行する者は、カテゴライズするために、どの差異がより高い解像度の検査を必要とするかをそれから書きとめる。さらに検査装置１０２は、差異のそれぞれについて「パッチ」と呼ばれる画像を生成する。パッチはピクセルサイズの範囲を持ちえる。例えば、あるパッチは３２×３２または６４×６４ピクセルの大きさである。ステップ２において、レビューステーション１０４によってカテゴライズされなければならない特徴差異に関するデータのサブセットが構成される。このデータのサブセットは、レビューステーション１０４に送られる必要があるが、検査装置１０２およびレビューステーション１０４は典型的にはスムーズに協働できないので、２つの装置間でのデータ転送は、データベース１０６を介して送られなければならない。

　よってステップ３において、データのサブセットはデータベース１０６に送信され、それからステップ４においてデータはレビューステーション１０４にリレーされる。レビューステーション１０４は例えば、走査電子顕微鏡でありえる。ステップ５において、レビューステーション１０４は、検査装置１０２上で分類されえない差異をカテゴライズするために用いられる、より高い解像度の画像能力を有する。ステップ６において、カテゴライズされたデータは、データベース１０６に戻され、その後、ステップ７においてカテゴライズされたデータは検査装置１０２に中継されて戻される。ステップ８において、検査装置１０２は、新しくカテゴライズされた情報を用いて、検査装置１０２のレシピをチューニングする。さらなるカテゴライズを必要とする特徴差異に関するデータのサブセットだけがレビューステーション１０４にステップ３で送られているので、さらなるカテゴライズが必要なデータの第２サブセットが、ステップ２〜８を繰り返すことによって構成される。所望の信頼度水準をもつ検査結果が得られる点まで検査装置１０２のレシピが最適化されるときまで、この反復プロセスは繰り返される。いったんレシピが最適化されると、検査装置１０２は製造環境で用いられる準備が整う。一般に信頼度水準は、レシピを最適化するのに費やされる時間が増すほど向上する。しかし最適化のためにより多くの時間を費やすことは、半導体製造プロセスのスループットを低下させる。

　ステップ２で説明されたように、検査装置１０２およびレビューステーション１０４間のデータ転送はデータベース１０６を通らなければならない。これは、業界標準のデータ転送フォーマットが、検査装置１０２およびレビューステーション１０４間で送信されるデータの量を制限するからである。例えば送信されるデータは、特徴差異の識別番号、それぞれの特徴差異のｘおよびｙ座標、大きさおよび欠陥クラスコードデータのような基本的な情報しか含まない。残念ながらこの情報は送られるが、検査装置１０２にある大量のデータは、分析目的でレビューステーション１０４には送ることができない。したがって現在の検査システムの構成は、データのアクセス可能性を制限することによって、最適化プロセスの効率を制限している。

　上述のことを鑑みて、容易にかつ迅速に最適化されえる半導体検査システムが望ましい。

　本発明は、半導体ウェーハについて動作する検査、計測、およびレビューするシステムを効率的にセットアップするシステムおよび技術に関する。具体的には本技術は、それぞれのシステムが正確に半導体ウェーハを検査できるようにするレシピをセットアップすることを含む。本発明は、これらのツールからの関連情報を集め、レシピを完成させるのに必要な時間を大幅に削減するように情報をユーザに提示する。

　本発明のある局面は、少なくとも２つの半導体デバイス領域を比較し、デバイス領域の差異を決定し、差異に対応するデータのセットを生成する検査システムと、検査システムメモリユニットと、検査システムに通信可能に結合されることにより、レビューステーションが検査システムに記憶されたデータのセットの全体に、読み出しおよび書き込みができるレビューステーションとを含む。

　本発明の他の局面は、検査装置に記憶された特徴差異データのセット全体に、レビューステーションから直接にアクセスすることを行う半導体検査装置を最適化する方法に関する。この方法はまた特徴を欠陥またはニュイサンスのいずれかとして分類することを含む。この方法のある実現例は、検査装置において記憶された画像の全てにレビューステーションから直接にアクセスすることを含む。

　本発明の他の局面は、ユーザがレビューステーション操作することを可能にするレビューステーショングラフィカルユーザインタフェースと、レビューステーションに位置し、レビューステーションに位置するユーザが、レビューステーションに通信可能に結合された検査装置とコマンドを送受信することを可能にする検査装置グラフィカルユーザインタフェースとを含む半導体レビューステーションに関する。

　本発明のこれらのおよびその他の特徴および利点は、以下の本発明の明細書および添付図面においてより詳細に説明され、そこでは本発明の原理が例示的に示される。

　本発明は、添付の図面に示されたいくつかの好ましい実施形態を参照しつつ以下に詳細に説明される。以下の説明において、多くの具体的な詳細が述べられるが、これは本発明を完全に理解するためである。しかし本発明はいくつかの、または全てのこれら具体的な詳細がなくても実施可能であることが当業者には明らかだろう。あるいはよく知られた動作は詳細には説明されていないが、これは本発明を不必要に不明瞭にしないためである。

　本発明は、半導体ウェーハにはたらく検査、計測、およびレビューシステムを効率的にセットアップするシステムおよび技術に関する。特にこれには、それぞれのシステムが正確に半導体ウェーハを検査できるようにするレシピをセットアップすることが含まれる。本発明は、これらのツールからの関連する情報を集め、レシピを完成するのに必要な時間を大幅に短縮するようにこの情報をユーザに提示する。この情報は、画像、アライメントターゲット、欠陥位置、セットアップパラメータ、および過去のレシピ履歴、例えばセッション情報などの要素を含む。

　図２は、本発明のある実施形態による検査システム２００の概略図を示す。検査システム２００は、レビューステーション２０４に通信チャネル２０６を通して接続された検査装置２０２を含む。検査装置２０２は、光学検査システムまたは電子顕微鏡に基づく検査システムのようなさまざまな装置でありえる。レビューステーション２０４は、走査電子顕微鏡を含むさまざまなシステムでありえる。通信チャネル２０６は、ローカルエリアネットワークおよびワイドエリアネットワークを含むさまざまな通信チャネルでありえる。よって検査装置２０２およびレビューステーション２０４は、互いに近接して位置してもよく、または地理的に離れた位置に置かれてもよい。このことは、サイトから離れた使用者が遠隔地から検査装置２０２にアクセスし、レシピを最適化することを可能にする。この場合、通信チャネル２０６は、機密保護されたリンク、例えば暗号化されたチャネルでありえる。いくつかの実施形態においては、異なる半導体製造プラント間に設けられた通信チャネルは、それぞれのプラントにおけるレシピを一致させることを促進する。これはさらに新しい製造プラントがより迅速にオンライン化されることを可能にする。好ましくは、検査装置２０２およびレビューステーション２０４は、互換性のある、または同じオペレーションシステム上で動作し、それにより装置２０２およびステーション２０４間のインタフェースが実質的にユーザにはシームレスになる。

　検査システム２００は、レビューステーション２０４の使用を通して、検査装置２０２のレシピを効率的に最適化するように構成される。検査システム２００は、レビューステーション２０４に位置するユーザに対して検査ステーション２０２において利用可能なデータおよび機能を提供する。そのようなアクセスは、レビューステーション２０４において利用可能な機能に追加して、さらなるデータおよび機能を提供する。例えばＡｕｔｏＳＡＴおよびＷＩＳＥのような機能がレビューステーション２０４から利用できる。ある実施形態ではユーザは、レビューステーション２０４で提供される検査ステーショングラフィカルユーザインタフェースを通して、検査ステーション２０２においてデータおよび機能にアクセスできる。

　図２において、円で囲まれた参照番号１から３は、本発明のある実施形態による検査装置２０２のレシピを最適化する操作を説明する。操作１において、検査装置２０２は、半導体ウェーハをスキャンし、個々の半導体デバイス領域を比較することで半導体デバイス領域のそれぞれの間の差異を見つける。特徴差異（feature differences）（デバイス領域の２つの間で異なる特徴）のそれぞれに関するデータが集められる。検査装置２０２はまた、ユーザが特徴差異のそれぞれを欠陥またはニュイサンスのいずれかに分類することを可能にすることのような他の機能も果たす。特徴差異に関するデータの完全なセットは、「ネイティブファイル」の中に作られる。このネイティブファイルは、これだけには限定されないが、例えば識別番号、ｘおよびｙ座標、特徴サイズ、分類コード、パッチ、極性、ＳＡＴセグメント、および規模のような情報を含む。検査装置２０２のレビュー解像度限界のために、検出された特徴差異の全てを分類することは不可能である。よってより高い解像度での画像化が可能なレビューステーション２０４は、検査装置２０２によって分類できなかった差異をレビューする必要がある。

　操作２において、レビューステーション２０４は、ネイティブファイル全体に検査装置２０２においてアクセスし、それからデータをネイティブファイルから読み出す。通信チャネル２０６は、レビューステーション２０４がネイティブファイルに完全にアクセスできるようにする。レビューステーション２０４は、複数の半導体デバイス領域間で異なった特定の特徴についてのデータを選択的に読み出すことができる。例えばレビューステーション２０４は、特定のタイプの特徴、または半導体ウェーハの特定の領域内の特徴に関するデータ全てにアクセスできる。ネイティブファイル全体にアクセスできることにより、レビューステーション２０４は、より多くの情報が得られ、それによってより高速で、より徹底的な特徴のレビューがレビューステーションにおいてなされえる。例えば、通信チャネル２０６を通して、レビューステーション２０４は、検査装置２０２に位置するパッチファイルの全てにアクセスできる。検査装置２０２によって位置が特定される特徴のそれぞれについての画像ファイルであるパッチファイルは、レビューを必要とする特徴を、レビューステーション２０４にいる技術者／担当者が特定するのにかかる時間を大きく削減する。ｘおよびｙ座標に加え、特定の特徴の位置をつきとめるプロセスを大幅に促進する情報を画像ファイルが提供するので、一般にこのことがあてはまる。換言すれば、パッチおよび座標情報の両方を与えることで、ウェーハ上の特徴の位置を特定するプロセスを高速化する情報の冗長度が生まれる。

　データを検査装置２０２から読んだ後に、レビューステーション２０４は、特徴差異の位置を特定し、高解像度レビューを行う。このレビュープロセスのためには、半導体ウェーハが検査装置２０２からレビューステーション２０４へと搬送されることが必要である。典型的にはレビューステーション２０４は、検査装置２０２が分類できなかった特徴に関するデータにアクセスする。半導体ウェーハ上の選ばれた特徴をレビューした後で、レビューステーション２０４は、特徴を欠陥またはニュイサンスのいずれかに分類する。

　操作３において、レビューステーション２０４からの新しく分類されたデータを、検査装置２０２に位置するネイティブファイルに統合することによって、検査装置２０２のレシピが最適化される。この最適化は、レビューステーション２０４から検査装置２０２のネイティブファイルへと通信チャネル２０４にわたって、アップデートコマンドおよび新しく分類されたデータを送信することによって行われる。レビューステーション２０４は、アクセスする能力を持つので、検査装置２０２に位置するネイティブファイルのどの部分にも書き込みができる。ネイティブファイルのデータのどの部分および分類であってもレビューステーション２０４によってアップデートできるので、これは有利である。対照的に、検査装置およびレビューステーション間のファイル転送の制限のために、既存の最適化プロセスでは、ネイティブファイル内の限られた種類のデータファイルしかアップデートできない。

　検査装置２０２におけるレシピは、動作２および３をそれぞれ１回ずつ実行することによって最適化できる。それぞれの動作を実行するにあたり、じゅうぶんなデータが転送されることによって、検査装置２０２がレシピを用いて正確に半導体ウェーハ上の欠陥を見つけることができる。しかしある実現例では、充分に高い信頼度水準をもつ検査結果を作るために、レシピを最適化するのに動作２および３の繰り返しが追加して行われることが必要になることもある。

　ある実現例では、動作２および３は、互いに並列に実行される。例えばレビューステーション２０４がデータを読み、それから特徴差異のセットについてレビューを行うときに、レビューステーション２０４は、検査装置２０２においての特徴差異の別のセットについてのレシピを同時に最適化できる。さらに他の実現例では、検査装置２０２が動作１において半導体ウェーハのスキャニングを完了する前に、動作２および３を始めることさえできる。

　レビューステーション２０４および検査装置２０２は、レビューステーション２０４に位置するグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）を通して制御される。レビューステーションＧＵＩは、半導体ウェーハ上の特徴をレビューするために、ユーザがレビューステーションを制御することを可能にする。このレビューステーションＧＵＩはまた、さまざまな半導体ウェーハ表面の画像化条件を最適化する目的で用いられえる。

　レビューステーション２０４に位置する他のグラフィカルユーザインタフェースとしては検査装置ＧＵＩがあり、これは検査装置２０２上に格納されたデータにレビューステーション２０４から直接にユーザがアクセスすることを可能にする。図３は、本発明のある実施形態による検査装置ＧＵＩ３００を示す。例えばレビューステーション２０４に位置する検査装置ＧＵＩから、レビューステーション２０４は、ネイティブファイル全体にアクセスし、読み出し、かつ書き込むことができる。ある実施形態においては、レビューステーション２０４における検査装置ＧＵＩは、検査装置２０２に直接に位置する検査装置ＧＵＩと同様または同じである。代替の実施形態においては、検査装置ＧＵＩは、検査装置エミュレータを用いて生成される。この代替の実施形態においては、検査装置ＧＵＩは、検査装置２０２において表示されてもされなくてもよい。検査装置ＧＵＩはまた、分類コードに基づくサンプリング、ウェーハマップズーム、教師なしのグループ分け、インライン自動欠陥分類、およびさまざまな基準によるソーティングおよびフィルタリングなど、そのソフトウェア上で利用可能な他の機能も果たす。

　ある実施形態においては、検査装置およびレビューステーションのそれぞれについてのＧＵＩは、よりユーザフレンドリであるが、これはそれらが同じ「見た目と感覚」を持つようにセットアップされるからである。それぞれのシステムのアクセスおよび制御機能の方法が互いに似ていることをこれは意味する。代替の実施形態においては、単一のＧＵＩが用いられることによって、検査装置およびレビューステーションの両方を制御する。

　検査装置２００の構成は、レビューステーション２０４が、検査装置２０２上のネイティブファイル全体からのデータを用いてさまざまな機能を実行することを可能にする。これらの機能には、例えば、ソーティング、分類、フィルタリング、サンプリング、分類コードに基づくサンプリング、および教師なしのグループ分けが含まれる。これらの機能のそれぞれからの結果は、検査装置２０２のレシピを最適化するのにより効果的であるが、これはこれら機能が動作するデータセットがより大きいからである。

　図４および５は、本発明の実施形態を実現するのに適したコンピュータシステム９００を示す。図４は、コンピュータの一つの可能な物理的形態を示す。もちろんコンピュータシステムは、集積回路、プリント基板、および小型携帯機器から、大型のスーパーコンピュータに至るまで多くの物理的形態をとりえる。コンピュータシステム９００は、モニタ９０２、ディスプレイ９０４、筐体９０６、ディスクドライブ９０８、キーボード９１０、およびマウス９１２を含む。ディスク９１４は、データをコンピュータシステム９００に転送し、かつデータをコンピュータシステム９００から転送するために用いられるコンピュータ読み取り可能な媒体である。

　図５は、コンピュータ９００のブロック図の例である。システムバス９２０に接続されているのは、さまざまなサブシステムである。単一または複数のプロセッサ９２２（中央処理装置、すなわちＣＰＵ）は、メモリ９２４を含む記憶装置に結合されている。メモリ９２４は、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）および読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）を含む。この技術ではよく知られるようにＲＯＭは、データおよび命令を単一方向にＣＰＵおよびＲＡＭに転送するようにはたらき、ＲＡＭは、典型的にはデータおよび命令を双方向に転送するのに用いられる。メモリのこれら両方のタイプは、以下に述べるコンピュータ読み出し可能な適当な媒体を含みえる。固定ディスク９２６はまた、双方向でＣＰＵ９２２に結合され、追加のデータ記憶容量を提供し、また以下に述べるコンピュータ読み出し可能な適当な媒体を含みえる。固定ディスク９２６は、プログラム、データなどを記憶するのに用いられえて、典型的には一次記憶よりも低速な二次記憶媒体（ハードディスクのような）である。固定ディスク９２６内に保持された情報は、適切な場合においては、メモリ９２４の仮想メモリとして標準的なかたちで統合されえることが理解されよう。取り外し可能なディスク９１４は、以下に説明するコンピュータ読み出し可能な媒体のいかなる形態をも取りえる。

　ＣＰＵ９２２はまた、ディスプレイ９０４、キーボード９１０、マウス９１２およびスピーカ９３０のようなさまざまな入力／出力装置に結合される。一般に入力／出力装置は、ビデオディスプレイ、トラックボール、マウス、キーボード、マイク、タッチパネルディスプレイ、トランスデューサカードリーダ、磁気または紙テープリーダ、タブレット、スタイラス、音声または手書き認識機、生体情報読み取り機、または他のコンピュータのいずれでもよい。ＣＰＵ９２２は追加で、ネットワークインタフェース９４０を用いて他のコンピュータまたは通信ネットワークに結合されてもよい。そのようなネットワークインタフェースによりＣＰＵは、上述の方法ステップを実行する過程で、ネットワークから情報を受け取り、または情報をネットワークに出力してもよい。さらに本発明の方法の実施形態は、ＣＰＵ９２２上だけで実行されてもよく、またはインターネットのようなネットワーク上で、処理の一部を担当する遠隔地にあるＣＰＵと協働して実行されてもよい。

　さらに本発明の実施形態は、コンピュータによって実現できるさまざまな操作を実行するコンピュータコードを格納した、コンピュータによって読み出し可能な媒体を持つコンピュータ記憶製品に関する。媒体およびコンピュータコードは、本発明の目的のために特別に設計され構築されたものでもよく、またはコンピュータソフトウェア技術の当業者に既知の利用可能なものであってもよい。コンピュータ読み出し可能な媒体の例としては、これらに限定はされないが、ハードディスク、フロッピー（登録商標）ディスク、および磁気テープのような磁気媒体、ＣＤ−ＲＯＭおよびホログラフィックデバイスのような光媒体、フロプティカルディスクのような光磁気媒体、特定アプリケーション向け集積回路（ＡＳＩＣ）、プログラム可能な論理デバイス（ＰＬＤ）、およびＲＯＭおよびＲＡＭデバイスのように、プログラムコードを記憶し実行するために特別に構成されたハードウェアデバイスが挙げられる。コンピュータコードの例としては、コンパイラによって生成される機械語、およびインタープリタを用いてコンピュータによって実行可能なより高いレベルのコードを含むファイルが挙げられる。

　この発明は、いくつかの好ましい実施形態について説明されてきたが、本発明の範囲に入る改変、組み合わせおよび等価物が存在する。本発明の方法および装置を実現する多くの代替の方法が存在することにも注意されたい。したがって添付の特許請求の範囲は、そのような、本発明の真の精神および範囲に入る改変、組み合わせ、および等価物を全て包含するように解釈されるよう意図されている。

レビューステーションにデータベースを通して結合された検査装置を含む例示的な半導体検査システムを示す図である。 本発明のある実施形態による検査システムの概略図である。 本発明のある実施形態による検査システムＧＵＩを示す図である。 本発明の実施形態を実現するのに適したコンピュータシステムを示す図である。 本発明の実施形態を実現するのに適したコンピュータシステムを示す図である。

符号の説明

　　１００…半導体検査システム
　　１０２…検査装置
　　１０４…レビューステーション
　　１０６…データベース
　　２００…検査システム
　　２０２…検査ステーション
　　２０４…レビューステーション
　　２０６…通信チャネル
　　９００…コンピュータシステム
　　９０２…モニタ
　　９０４…ディスプレイ
　　９０６…筐体
　　９０８…ディスクドライブ
　　９１０…キーボード
　　９１２…マウス
　　９１４…ディスク
　　９２０…システムバス
　　９２４…メモリ
　　９２６…固定ディスク
　　９３０…スピーカ
　　９４０…ネットワークインタフェース

Claims (17)

1. 　少なくとも２つの半導体デバイス領域を比較し、前記デバイス領域の差異を決定し、前記差異に対応するデータのセットを生成する検査システムと、
   　前記差異に対応する前記データのセットを記憶する検査システムメモリユニットと、
   　レビューステーションであって、前記検査システムに通信可能に結合されることにより、前記レビューステーションが前記検査システムに記憶されたデータのセットの全体に、読み出しおよび書き込みができるレビューステーションと、
   を備える半導体検査システム。
2. 　請求項１に記載の半導体検査システムであって、前記検査システムが構成されるセッティングを含むレシピをさらに備える半導体検査システム。
3. 　請求項１〜２のいずれかに記載の半導体検査システムであって、前記検査システムは光学検査システムであり、前記レビューステーションは走査電子顕微鏡である半導体検査システム。
4. 　半導体検査装置を最適化する方法であって、
   　同様に構成された複数のデバイス領域を有する半導体ウェーハを検査装置でスキャンすることと、
   　前記デバイス領域のそれぞれの間の特徴差異を検出することと、
   　特徴差異データのセットを生成することと、
   　前記特徴差異データのセットを前記検査装置において記憶することと、
   　前記特徴差異データのセット全体に、前記レビューステーションから直接にアクセスすることと、
   　前記特徴差異データのセット全体内の前記特徴差異のうちの第１特徴差異に関するデータを前記レビューステーションから直接に読み出すことと、
   　前記レビューステーションにおいて、前記第１特徴差異を特定し、レビューすることと、
   　前記第１特徴差異を欠陥またはニュイサンスのいずれかとして分類することと、
   を備える方法。
5. 　請求項４に記載の方法であって、
   　前記特徴差異データのセット全体に前記レビューステーションから直接にアクセスすることと、
   　前記検査装置に記憶された前記特徴差異データのセット全体に前記レビューステーションから書き込むことと、
   　その後、前記第１特徴差異が欠陥またはニュイサンスのいずれかとして示されるように前記特徴差異データのセットをアップデートし、それにより前記アップデートされた特徴差異データのセットは、前記検査装置がより正確に欠陥およびニュイサンスを区別することを可能にすることと、
   をさらに備える方法。
6. 　請求項５に記載の方法であって、
   　前記特徴差異データのセット全体に前記レビューステーションから直接にアクセスすることと、
   　前記特徴差異データのセット全体内の前記特徴差異のうちの第２特徴差異に関するデータを前記レビューステーションから直接に読み出すことと、
   　前記レビューステーションにおいて、前記第２特徴差異を特定し、レビューすることと、
   　前記第２特徴差異を欠陥またはニュイサンスのいずれかとして分類することと、
   をさらに備える方法。
7. 　請求項６に記載の方法であって、
   　前記特徴差異データのセット全体に前記レビューステーションから直接にアクセスすることと、
   　前記検査装置に記憶された前記特徴差異データのセット全体に前記レビューステーションから書き込むことと、
   　その後、前記第２特徴差異が欠陥またはニュイサンスのいずれかとして示されるように前記特徴差異データのセットをアップデートし、それにより前記アップデートされた特徴差異データのセットは、前記検査装置がより正確に欠陥およびニュイサンスを区別することを可能にすることと、
   をさらに備える方法。
8. 　請求項４〜７のいずれかに記載の方法であって、
   　前記検出された特徴差異のそれぞれについての画像を前記検査装置において生成することと、
   　前記検査装置において前記画像のそれぞれを記憶することと、
   　前記レビューステーションから前記画像の全てに直接にアクセスすることと、
   　関連する特徴差異を迅速に特定するために、前記画像のうちの一つを前記レビューステーションから直接にレビューすることと、
   をさらに備える方法。
9. 　請求項４〜８のいずれかに記載の方法であって、
   　前記検査装置において前記特徴差異データのセットの全体を利用しながら、前記レビューステーションにおいては分類コードに基づくサンプリングを実行すること
   をさらに備える方法。
10. 　請求項４〜９のいずれかに記載の方法であって、
    　前記検査装置において前記特徴差異データのセットの全体を利用しながら、前記レビューステーションにおいてはインライン自動欠陥分類を実行し、それにより前記インライン自動欠陥分類が前記半導体検査装置のパフォーマンスを最適化すること
    をさらに備える方法。
11. 　請求項４〜１０のいずれかに記載の方法であって、
    　前記検査装置において前記特徴差異データのセットの全体を利用しながら、前記レビューステーションにおいては教師なしのグループ分けを実行すること
    をさらに備える方法。
12. 　請求項４〜１１のいずれかに記載の方法であって、前記読み出し操作は、極性、ＳＡＴセグメント、および規模からなるグループから選択されたタイプのデータを読み出すことを含む方法。
13. 　半導体検査装置を最適化する方法であって、
    　同様に構成された複数のデバイス領域を有する半導体ウェーハを検査装置でスキャンすることと、
    　前記デバイス領域のそれぞれの間の特徴差異を検出することと、
    　前記検出された特徴差異のそれぞれについての少なくとも一つの画像を生成することと、
    　前記画像のそれぞれを前記検査装置において記憶することと、
    　前記画像の全体に、前記レビューステーションから直接にアクセスすることと、
    　前記特徴差異のうちの第１特徴差異に関する画像を前記レビューステーションから直接に見ることと、
    　前記レビューステーションにおいて、前記第１特徴差異を特定し、レビューすることと、
    　前記第１特徴差異を欠陥またはニュイサンスのいずれかとして分類することと、
    を備える方法。
14. 　請求項１３に記載の方法であって、
    　特徴差異のうち第１タイプに関する前記画像の選択されたセットを見ることと、
    　前記レビューステーションにおいて、前記第１タイプの前記特徴差異のそれぞれを特定し、レビューすることと、
    　前記第１タイプの前記特徴差異のそれぞれを欠陥またはニュイサンスのいずれかとして分類することと、
    をさらに備える方法。
15. 　レビューステーションに位置し、ユーザがレビューステーションを操作できるようにするレビューステーショングラフィカルユーザインタフェースと、
    　前記レビューステーションに位置し、前記レビューステーションに位置するユーザが、前記レビューステーションに通信可能に結合された検査装置とコマンドを送受信することを可能にする第１検査装置グラフィカルユーザインタフェースと、
    　前記検査装置からのデータを利用することによって、前記第１検査装置グラフィカルユーザインタフェースを生成するグラフィカルユーザインタフェース生成モジュールと、
    を備える半導体レビューステーション。
16. 　請求項１５に記載の半導体レビューステーションであって、前記レビューステーションは走査電子顕微鏡であり、前記検査装置は光学検査システムである半導体レビューステーション。
17. 　請求項１５〜１６のいずれかに記載の半導体レビューステーションであって、
    　前記検査装置に位置する第２検査装置グラフィカルユーザインタフェースをさらに備え、前記第１および第２検査装置グラフィカルユーザインタフェースは実質的に同じである半導体レビューステーション。

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