JP2004132435A5 - 軸受装置、テーブル装置、露光装置並びに半導体製造方法 - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】 磁性体からなるガイド面を有するガイドと、
前記ガイド面に沿って移動する移動体の前記ガイド面との対向部に設けられた流体軸受と、
前記ガイド面と前記移動体との間に磁気吸引力を付与するべく該移動体に設けられた永久磁石とを備え、
前記永久磁石の少なくとも一部が前記ガイド面を逸脱したときに発生する該ガイド面に平行な方向の磁気吸引力を用いて、前記ガイド面における前記移動体の移動方向に直交する方向への該移動体の変位が規制されるように前記ガイド面の大きさ及び前記永久磁石の配置位置が規定されていることを特徴とする軸受装置。
【請求項２】 前記ガイド面の前記直交する方向の幅が、前記ガイド上に前記移動方向と平行に設けられた溝によって規定されることを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
【請求項３】 前記ガイド面の前記直交方向の幅が、前記ガイド上に前記移動方向と平行に設けられた溝と、該ガイドの該移動方向に沿った終端部とで規定されることを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
【請求項４】 前記ガイド面の前記直交方向の幅が、前記永久磁石の幅と同一もしくは、それよりも小さいことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の軸受装置。
【請求項５】 前記永久磁石を、前記移動体の前記移動方向に沿って離間した複数箇所に設けたことを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
【請求項６】 前記ガイドに前記永久磁石と対向する凸部を設け、該凸部の該永久磁石と対向する面を前記ガイド面とすることを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
【請求項７】 前記ガイド面は、前記ガイドの両側部に、前記移動方向に沿って延びる方向に形成され、前記移動体は前記両側部の前記ガイド面にまたがって設けられ、前記ガイド面に対向する位置の各々に永久磁石が設けられており、
前記永久磁石の各々の外側の端部と前記ガイド面の外側の端部とが一致するように設けられ、前記移動体が前記移動方向と直交する方向に変位した場合に、少なくとも一つの永久磁石の少なくとも一部が前記ガイド面から逸脱することを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
【請求項８】 前記ガイド面は、前記ガイドの両側部に、前記移動方向に沿って延びる方向に形成され、前記移動体は前記両側部の前記ガイド面にまたがって設けられ、前記ガイド面に対向する位置の各々に永久磁石が設けられており、
前記永久磁石の各々の外側の端部は、前記ガイド面の外側の端部より突出して設けられ、前記移動体が前記移動方向と直交する方向に変位した場合に、前記永久磁石と前記ガイド面との間の水平方向の吸引力の均衡が崩れることを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
【請求項９】 前記ガイド面の前記移動方向に直交する方向の幅が前記永久磁石の対向面よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
【請求項１０】 さらに、前記移動方向に対する前記移動体の変位を規制するべく前記ガイド面の大きさ及び前記永久磁石の配置位置が規定されることを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
【請求項１１】 前記ガイド面は、前記ガイドの両側部に、前記移動方向に沿って延びる方向に形成され、前記移動体は前記が両側部のガイド面に跨って設けられ、前記ガイド面に対向する位置の各々に永久磁石が設けられており、
前記移動体の一方の側には、前記移動体の回転方向の変位を規制するための流体パッドが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
【請求項１２】 磁性体からなるガイド面を有するガイドと、
前記ガイド面に沿って移動可能な移動体と、
前記移動体の前記ガイド面との対向部に設けられた流体軸受と、
前記ガイド面と前記移動体との間に磁気吸引力を付与するべく該移動体に設けられた永久磁石とを備え、
前記永久磁石の少なくとも一部が前記ガイド面を逸脱したときに発生する該ガイド面に平行な方向の磁気吸引力を用いて、前記移動体の移動方向に直交する方向への該移動体の変位が規制されるように前記ガイド面の大きさ及び前記永久磁石の配置位置が規定されていることを特徴とするテーブル装置。
【請求項１３】 原版のパターンの一部を投影光学系を介して基板上に投影し、前記原版のパターンの一部の露光領域を前記基板上に露光する露光手段と、
前記露光のための前記原版及び／または基板を移動させるための、請求項１２に記載のテーブル装置とを備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項１４】 請求項１３に記載の露光装置を用いたことを特徴とする半導体製造方法。

【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するための本発明による軸受装置は以下の構成を備える。すなわち、
磁性体からなるガイド面を有するガイドと、
前記ガイド面に沿って移動する移動体の前記ガイド面との対向部に設けられた流体軸受と、
前記ガイド面と前記移動体との間に磁気吸引力を付与するべく該移動体に設けられた永久磁石とを備え、
前記永久磁石の少なくとも一部が前記ガイド面を逸脱したときに発生する該ガイド面に平行な方向の磁気吸引力を用いて、前記ガイド面における前記移動体の移動方向に直交する方向への該移動体の変位が規制されるように前記ガイド面の大きさ及び前記永久磁石の配置位置が規定されている。

また、前記ガイド面は、前記ガイドの両側部に、前記移動方向に沿って延びる方向に形成され、前記移動体は前記両側部の前記ガイド面にまたがって設けられ、前記ガイド面に対向する位置の各々に永久磁石が設けられており、
前記永久磁石の各々の外側の端部は、前記ガイド面の外側の端部より突出して設けられ、前記移動体が前記移動方向と直交する方向に変位した場合に、前記永久磁石と前記ガイド面との間の水平方向の吸引力の均衡が崩れることを特徴とする構成としてもよい。

更に、本発明によれば、原版のパターンの一部を投影光学系を介して基板上に投影し、前記原版のパターンの一部の露光領域を前記基板上に露光する露光手段と、
前記露光のための前記原版及び／または基板を移動させるための、上記いずれかのテーブル装置を備えた露光装置が提供される。

Claims (14)

1. 磁性体からなるガイド面を有するガイドと、
   前記ガイド面に沿って移動する移動体の前記ガイド面との対向部に設けられた流体軸受と、
   前記ガイド面と前記移動体との間に磁気吸引力を付与するべく該移動体に設けられた永久磁石とを備え、
   前記永久磁石の少なくとも一部が前記ガイド面を逸脱したときに発生する該ガイド面に平行な方向の磁気吸引力を用いて、前記移動体の移動方向に直交する方向への該移動体の変位が規制されるように前記ガイド面の大きさ及び前記永久磁石の配置位置が規定されていることを特徴とする軸受装置。
2. 前記ガイド面の前記直交する方向の幅が、前記ガイド上に前記移動方向と平行に設けられた溝によって規定されることを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
3. 前記ガイド面の前記直交方向の幅が、前記ガイド上に前記移動方向と平行に設けられた溝と、該ガイドの該移動方向に沿った終端部とで規定されることを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
4. 前記ガイド面の前記直交方向の幅が、前記永久磁石の幅と同一もしくは、それよりも小さいことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の軸受装置。
5. 前記永久磁石を、前記移動体の前記移動方向に沿って離間した複数箇所に設けたことを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
6. 前記ガイドに前記永久磁石と対向する凸部を設け、該凸部の該永久磁石と対向する面を前記ガイド面とすることを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
7. 前記ガイド面は、前記ガイドの両側部に、前記移動方向に沿って延びる方向に形成され、前記移動体は前記両側部の前記ガイド面にまたがって設けられ、前記ガイド面に対向する位置の各々に永久磁石が設けられており、
   前記永久磁石の各々の外側の端部と前記ガイド面の外側の端部とが一致するように設けられ、前記移動体が前記移動方向と直交する方向に変位した場合に、少なくとも一つの永久磁石の少なくとも一部が前記ガイド面から逸脱することを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
8. 前記ガイド面は、前記ガイドの両側部に、前記移動方向に沿って延びる方向に形成され、前記移動体は前記両側部の前記ガイド面にまたがって設けられ、前記ガイド面に対向する位置の各々に永久磁石が設けられており、
   前記永久磁石の各々の外側の端部は、前記ガイド面の外側の端部より所定量だけ突出して設けられ、前記移動体が前記移動方向と直交する方向に変位した場合に、前記永久磁石と前記ガイド面との間の水平方向の吸引力の均衡が崩れることを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
9. 前記ガイド面の前記移動方向に直交する方向の幅が前記永久磁石の対向面よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
10. さらに、前記移動方向に対する前記移動体の変位を規制するべく前記ガイド面の大きさ及び前記永久磁石の配置位置が規定されることを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
11. 前記ガイド面は、前記ガイドの両側部に、前記移動方向に沿って延びる方向に形成され、前記移動体は前記が両側部のガイド面に跨って設けられ、前記ガイド面に対向する位置の各々に永久磁石が設けられており、
    前記移動体の一方の側には、前記移動体の回転方向の変位を規制するための流体パッドが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
12. 磁性体からなるガイド面を有するガイドと、
    前記ガイド面に沿って移動可能な移動体と、
    前記移動体の前記ガイド面との対向部に設けられた流体軸受と、
    前記ガイド面と前記移動体との間に磁気吸引力を付与するべく該移動体に設けられた永久磁石とを備え、
    前記永久磁石の少なくとも一部が前記ガイド面を逸脱したときに発生する該ガイド面に平行な方向の磁気吸引力を用いて、前記移動体の移動方向に直交する向への該移動体の変位が規制されるように前記ガイド面の大きさ及び前記永久磁石の配置位置が規定されていることを特徴とするテーブル装置。
13. 原版のパターンの一部を投影光学系を介して基板上に投影し、前記原版のパターンの所定の露光領域を前記基板上に露光する露光手段と、
    前記露光のための前記原版及び／または基板を移動させるための、請求項１３に記載のテーブル装置とを備えたことを特徴とする露光装置。
14. 請求項１３に記載の露光装置を用いた半導体製造方法。