CN113944691B - 移动式气浮导向机构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种移动式气浮导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔并平行设置，且均由能够与磁铁配合吸附的金属材质制成，导轨与悬浮装置连接并架设于两基座上；第一悬浮装置设于导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一气悬浮组件和第一磁矩阵，第一悬浮装置的底部设有第二气悬浮组件和第二磁矩阵；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三气悬浮组件和第三磁矩阵。本发明通过设计底部及侧面的气悬浮组件和磁矩阵结构降低导向机构的运动摩擦，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。

Description

移动式气浮导向机构

技术领域

本发明涉及精密机械技术领域，特别是涉及一种移动式气浮导向机构。

背景技术

随着机械电子技术的不断发展，机电一体化结构需求更为多样化，传统的机械导轨结构难以满足高精密传动需求，已逐渐被更为复杂且精密的机构所替代。为实现运动模块在水平面内的复杂运动，可使用滑块与运动导轨结合的方式，分别控制物体X向和Y向移动，并合成为水平面运动。但传统机械导轨与导轨支架的加工精度难以保证，还会在安装时产生难以调节的形位误差，且移动导轨质量较大，其对驱动电机的功率需求增加，控制难度同样也会上升。在现代精密机械设计中，常采用气浮装置减少机械传动中的摩擦力，进而提升部件运动精度。而气浮装置工作时，需要在气浮面上同时产生正负压气体，维持接触面的微小气膜。气浮装置中，两种气体需使用独立气源供气，会造成一定程度的气源浪费，而使用磁预紧方式代替负压吸附气体，能够在保证气浮正常工作的同时，通过调整磁铁排布实现气浮面高度的调节，改善气浮工件的运动误差。在精密机械电子设计领域，亟待设计一种移动精度高、安装误差可调的气浮导向机构，研制高精度移动式气浮导向机构对于进一步提高平面内复杂运动部件精度具有重要意义。

现有移动式导向机构受限于自身质量与加工精度误差，难以保证良好的运动精度与装配精度，无法满足平面内复杂运动部件的精度要求。

发明内容

本发明的目的是：设计一种安装误差可调的移动式高精度气浮导向机构。

为了实现上述目的，本发明提供了一种移动式气浮导向机构，包括：

两个基座，其分别为左基座和右基座，所述右基座与所述左基座相互间隔且平行设置，所述左基座和所述右基座均由能够与磁铁配合吸附的金属材质制成，所述左基座具有朝向所述右基座开口的第一导槽，所述右基座具有朝向所述左基座开口的第二导槽；

导轨，所述导轨的左端悬浮架设于所述第一导槽内，所述导轨的右端悬浮架设于所述第二导槽内；

第一悬浮装置，所述第一悬浮装置设于所述导轨的左侧，所述第一悬浮装置的左侧设有与所述第一导槽的侧槽面相对的第一气悬浮组件和第一磁矩阵，所述第一悬浮装置的底部设有与所述第二导槽的底槽面相对的第二气悬浮组件和第二磁矩阵；

第二悬浮装置，所述第二悬浮装置设于所述导轨的右侧，所述第二悬浮装置的底部设有与所述第二导槽的底槽面相对的第三气悬浮组件和第三磁矩阵。

优选的，所述第一悬浮装置包括第一安装件和第二安装件，所述第一安装件和所述第二安装件转动连接，所述第二安装件安装于所述导轨的左侧，所述第一磁矩阵设于所述第一安装件的左侧面，所述第二磁矩阵设于所述第一安装件的底面，所述第一气悬浮组件包括至少两个分别设于所述第一安装件左侧面两端的气足，所述第二气悬浮组件包括至少两个分别设于所述第二安装件底面两端的气足；所述第二悬浮装置包括第三安装件，所述第三安装件安装于所述导轨的右侧，所述第三磁矩阵设于所述第三安装件的底面，所述第三气悬浮组件包括至少两个分别设于所述第三安装件底面两端的气足。

优选的，还包括气浮系统，所述气浮系统分别连通至所述第一气悬浮组件、所述第二气悬浮组件及所述第三气悬浮组件，所述气浮系统用于调整流通至各所述气足的气流大小，实现对气浮推力的调整。

优选的，所述第一悬浮装置还包括两个距离传感器，所述距离传感器安装于所述第一安装件上或所述第二安装件上，所述距离传感器与所述气浮系统电连接，所述气浮系统被配置为用于：

获取两个距离传感器检测到的距离值；

判断所述第一安装件与所述第二安装件之间是否平行；

若否，则调整所述第一气悬浮组件中的各气足的气流大小，使所述第一安装件与所述第二安装件平行。

优选的，所述第一安装件与所述第二安装件通过磁性吸附连接。

优选的，所述第一安装件和所述第二安装件通过连接件连接，所述连接件呈圆柱状且具有磁性，所述第一安装件和所安装件均吸附于所述连接件的外壁上并可贴合于所述连接件的外壁相对转动。

优选的，所述第一安装件包括第一基板，所述第一气悬浮组件的至少两个气足分别设于所述第一基板的两边，且所述第一气悬浮组件的至少两个气足的排气孔均朝向左侧，所述第一磁矩阵粘设于所述第一基板的左侧面，所述第一基板的右侧面开设有与所述连接件相适配的弧面凹槽，所述第一基板的下端连接有朝向右侧延伸的第二基板，所述第二磁矩阵粘设于所述第二基板的下表面；所述第二安装件包括第二基板，所述第二基板的左侧面开设有与所述连接件相适配的弧面凹槽，所述第二气悬浮组件的至少两个气足分设于所述第二基板的底部的两端，且所述第二气悬浮组件的至少两个气足的排气孔均朝向下方。

优选的，所述左基座包括竖直设置的左侧板，所述左侧板底端连接有向右侧延伸的第一支撑板，所述左侧板和所述第一支撑板之间限定形成所述第一导槽；所述右基座包括竖直设置的右侧板，所述右侧板底端连接有向左侧延伸的第二支撑板，所述右侧板和所述第二支撑板之间限定形成所述第二导槽；所述导轨的左端悬浮架设于所述第一支撑板上，所述导轨的右端悬浮架设于所述第二支撑板上，所述左侧板位于所述第一悬浮装置的左边且不与所述第一悬浮装置接触，所述右侧板位于所述第二悬浮装置的右边且不与所述第二悬浮装置接触。

优选的，所述左基座及所述右基座的横截面均呈“L”形。

优选的，所述导轨为陶瓷导轨，所述导轨上表面设有用于容置电机的矩形凹槽，所述导轨的下表面设有十字横梁。

本发明实施例一种移动式气浮导向机构与现有技术相比，其有益效果在于：

本发明实施例的移动式气浮导向机构，通过设计底部及侧面的气悬浮组件以及磁矩阵结构降低导向机构的运动摩擦，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。

附图说明

图1是本发明实施例移动式气浮导向机构的轴测图；

图2是本发明实施例移动式气浮导向机构去掉第一支撑板和第二支撑板的仰视图；

图3是本发明实施例移动式气浮导向机构的第一安装件的轴测图；

图4是本发明实施例移动式气浮导向机构的第一安装件的左视图；

图5是本发明实施例移动式气浮导向机构的第二悬浮装置的轴测图；

图6是本发明实施例移动式气浮导向机构的的第一悬浮装置的轴测图。

图中，1、基座；11、左基座；111、左侧板；112、第一支撑板；12、右基座；121、右侧板；122、第二支撑板；2、导轨；3、第一悬浮装置；31、第一气悬浮组件；32、第一磁矩阵；33、第二气悬浮组件；34、第二磁矩阵；35、第一安装件；351、第一基板；36、第二安装件；361、第二基板；37、距离传感器；38、连接件；4、第二悬浮装置；41、第三气悬浮组件；42、第三磁矩阵；43、第三安装件。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

在本发明的描述中，应当理解的是，本发明中采用术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，应当理解的是，本发明中采用术语“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是焊接连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明中采用术语“第一”、“第二”等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语，这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本发明范围的情况下，“第一”信息也可以被称为“第二”信息，类似的，“第二”信息也可以被称为“第一”信息。

如图1和图2所示，本发明实施例优选实施例的一种移动式气浮导向机构，包括：

两个基座，其分别为左基座11和右基座12，所述右基座12与所述左基座11相互间隔且平行设置，所述左基座11和所述右基座12均由能够与磁铁配合吸附的金属材质制成，所述左基座11具有朝向所述右基座12开口的第一导槽，所述右基座12具有朝向所述左基座11开口的第二导槽；

导轨2，所述导轨2的左端悬浮架设于所述第一导槽内，所述导轨2的右端悬浮架设于所述第二导槽内；

第一悬浮装置3，所述第一悬浮装置3设于所述导轨2的左侧，所述第一悬浮装置3的左侧设有与所述第一导槽的侧槽面相对的第一气悬浮组件31和第一磁矩阵32，所述第一悬浮装置3的底部设有与所述第二导槽的底槽面相对的第二气悬浮组件33和第二磁矩阵34；

第二悬浮装置4，所述第二悬浮装置4设于所述导轨2的右侧，所述第二悬浮装置4的底部设有与所述第二导槽的底槽面相对的第三气悬浮组件41和第三磁矩阵42。

其中，导轨2是本发明的运动目标，该导轨2属于普通直线运动导轨2，左基座11和右基座12为本发明的承载机构，主要提供本发明的放置与运动空间，各气悬浮组件和各磁矩阵均靠近各对应基座但不接触。

导轨2底面悬浮工作过程如下：由于导轨2在水平方向过长，因此移动方向的气浮需要通过左右两边的第二气悬浮组件33和第三气悬浮组件41共同实现，第二气悬浮组件33与第三气悬浮组件41均产生正压气体为导轨2提供垂直向上的推力，使其悬浮。同时，各磁矩阵产生磁力使得导轨2处于固定状态，即导轨2受到重力以及第二磁矩阵34和第三磁矩阵42分别与基座互相吸附产生的磁力，限制导轨2的悬浮高度，防止导轨2产生失稳现象。导轨2左侧面工作过程同理：第一气悬浮组件31产生正压气体为导轨2提供水平向右的推力使导轨2不与左基座11直接接触，同时第一磁矩阵32与金属基座相互吸附产生水平向左的磁力，控制导轨2的悬浮距离，气体推力与磁力保持相互抵消的平衡的状态，导轨2与右基座12不接触，使导轨2在左右两基座间存在可调整余量。

各气悬浮组件通过气流能使导轨2与基座之间产生气膜，抵消重力的影响同时减少运动接触面之间的摩擦力，还能对导轨2与基座之间的装配误差进行调整，提高部件的可控性能与运动准确性。

进一步的，如图3、图4和图5所示，所述第一悬浮装置3包括第一安装件35和第二安装件36，所述第一安装件35和所述第二安装件36转动连接，所述第二安装件36安装于所述导轨2的左侧，所述第一磁矩阵32设于所述第一安装件35的左侧面，所述第二磁矩阵34设于所述第一安装件35的底面，所述第一气悬浮组件31包括至少两个分别设于所述第一安装件35左侧面的两端的气足，所述第二气悬浮组件33包括至少两个分别设于所述第二安装件36底面的两端的气足；所述第二悬浮装置4包括第三安装件43，所述第三安装件43安装于所述导轨2的右侧，所述第三磁矩阵42设于所述第三安装件43的底面，所述第三气悬浮组件41包括至少两个分别设于所述第三安装件43底面的两端的气足。

各气悬浮组件均包括至少两个气足使得导轨2在多个平面内转动方向可调，有助于优化机械加工所带来的装配误差，进一步提高运动精确度。

进一步的，还包括气浮系统，所述气浮系统分别连通至所述第一气悬浮组件31、所述第二气悬浮组件33及所述第三气悬浮组件41，所述气浮系统用于调整流通至各所述气足的气流大小，使导轨2保持水平状态。

气浮系统包括控制组件、气控箱、调压气阀、分流阀，气控箱、调压气阀、分流阀和各气足通过气管依次连接，气控箱产生的压缩空气经调压气阀调压后由分流阀将气体通入各气足，控制组件与各部件电连接，可以调整流通至各气足的气流大小，从而控制推力大小，使导轨2在各平面内保持平稳。

进一步的，所述第一悬浮装置3还包括两个距离传感器37，所述距离传感器37安装于所述第一安装件35上或所述第二安装件36上，所述距离传感器37与所述气浮系统电连接，所述气浮系统被配置为用于：

获取两个距离传感器37检测到的距离值；

判断所述第一安装件35与所述第二安装件36之间是否平行；

若否，则调整所述第一气悬浮组件31中的各气足的气流大小，使所述第一安装件35与所述第二安装件36平行。

如图6所示，该实施例中，距离传感器37安装于第一安装件35的左侧面且不与第二安装件36接触，距离传感器37用于检测导轨2安装后在水平面内转动的误差，距离传感器37为红外检测传感器，能将信号发送至气浮系统。当距离传感器37对称分布时，如检测到的距离信号不同，则说明第一安装件35和第二安装件36不平行，导轨2在水平面内转动方向的姿态误差较大；如检测到的距离信号相同，则说明第一安装件35和第二安装件36接近于水平状态，导轨2在水平面内转动方向的姿态误差较小。

进一步的，所述第一安装件35与所述第二安装件36通过磁性吸附连接。

进一步的，所述第一安装件35和所述第二安装件36通过连接件38连接，所述连接件38呈圆柱状且具有磁性，所述第一安装件35和所安装件均吸附于所述连接件38的外周壁上且可贴合于所述连接件38的外周壁相对转动。可实现第一安装件35与第二安装件36之间水平距离的调整。

进一步的，所述第一安装件35包括第一基板351，所述第一气悬浮组件31的至少两个气足分别设于所述第一基板351的两边，且所述第一气悬浮组件31的至少两个气足的排气孔均朝向左侧，所述第一磁矩阵32粘设于所述第一基板351的左侧面，所述第一基板351的右侧面开设有与所述连接件38相适配的弧面凹槽，所述第一基板351的下端连接有朝向右侧延伸的第二基板361，所述第二磁矩阵34粘设于所述第二基板361的下表面；所述第二安装件36包括第二基板361，所述第二基板361的左侧面开设有与所述连接件38相适配的弧面凹槽，所述第二气悬浮组件33的至少两个气足分设于所述第二基板361的底部的两端，且所述第二气悬浮组件33的至少两个气足的排气孔均朝向下方。

各气足均为矩形结构，气足的工作表面有产生正压气体的排气孔。各磁矩阵均由多个矩形磁铁紧密对称排列组成，通过改变矩形磁铁的数量及排列方式可以改变磁力大小从而进行调整。

进一步的，所述左基座11包括竖直设置的左侧板111，所述左侧板111底端连接有向右侧延伸的第一支撑板112，所述左侧板111和所述第一支撑板112之间限定形成所述第一导槽；所述右基座12包括竖直设置的右侧板121，所述右侧板121底端连接有向左侧延伸的第二支撑板122，所述右侧板121和所述第二支撑板122之间限定形成所述第二导槽；所述导轨2的左端悬浮架设于所述第一支撑板112上，所述导轨2的右端悬浮架设于所述第二支撑板122上，所述左侧板111位于所述第一悬浮装置3的左边且不与所述第一悬浮装置3接触，所述右侧板121位于所述第二悬浮装置4的右边且不与所述第二悬浮装置4接触。

进一步的，所述左基座11及所述右基座12的横截面均呈“L”形。

进一步的，所述导轨2为陶瓷导轨2，所述导轨2上表面设有用于容置电机的矩形凹槽，所述导轨2的下表面设有十字横梁，防止导轨2弯曲。导轨2分别通过连接片与第二安装件36和第三安装件43连接，连接片为矩形薄板结构，连接件38上有螺纹孔，通过螺栓将连接片与安装件连接。

本发明实施例的安装过程如下：

左基座11和右基座12作为导轨2的主要承载结构，应当首先被组装完成并检测水平姿态误差。将第二气悬浮组件33与第二安装件36通过螺栓螺母连接后，使用连接件38连接第一安装件35与第二安装件36，两接触面保持2厘米间距，并通过距离传感器37检测两接触面是否水平。在第一安装件35上粘接第一磁矩阵32和第二磁矩阵34，并使用螺栓和螺母连接第一气悬浮组件31，并将整体结构放置于L型左基座11的第一导槽处，此时第一气悬浮组件31和第二气悬浮组件33与第一导槽侧槽面接触，并在磁力吸附作用下保持固定。使用连接片连接第二安装件36与导轨2，并调节第一磁矩阵32的磁铁排列方式与第一气悬浮组件31，使得导轨2垂直于左基座11后，使用连接片连接导轨2和第三安装件43。在第三安装件43上通过螺栓螺母固定第三气悬浮组件41并放置于右基座12的第二导槽内，并调节导轨2至水平状态，启动气浮系统使导轨2悬浮架设于基座上。

综上，本发明实施例提供一种移动式气浮导向机构，其结构设计科学合理。通过双基座的方法固定导轨2，并在导轨2两底端分别设置气悬浮组件与磁矩阵组合结构，在节省负压气源，减少运动摩擦力的同时，能够通过调整磁矩阵中磁铁数量及排列方式来控制导轨2水平位姿。通过左侧气悬浮组件与磁矩阵组合结构来实现导轨2水平面内转动误差的动态调整，并通过气浮系统和距离传感器37实现调整闭环，进一步减少导轨2装配误差，提高运动精度。

传统导轨2因其紧密结构设计，在加工装配完成后难以进行动态误差调整，而本发明仅通过第一气悬浮组件31和第一磁矩阵32组合结构限制导轨2一侧的自由度，并可通过第一磁矩阵32中磁铁分布改变限制状态，进而调整导轨2另一端水平面内的转动，同时若加工误差造成气浮面厚度不均匀，可通过气浮系统进行误差调整。

本发明的气悬浮组件与磁矩阵配合设计能够有效减少负压气源的使用。各气悬浮组件均采用正压气足产生推动力，使导轨2悬浮于基座上以此减少运动面间的摩擦，通过磁矩阵产生磁力吸附导轨2，防止悬浮过高产生失稳现象，该设计能够完全代替负压气体的吸附作用，减少负压气源的使用，节约能源。

本发明具有良好的运动姿态与较高的运动精度。导轨2水平放置，第一悬浮组件、第二悬浮组件和第三悬浮组件的设置使得导轨2与其外围结构在重力方向、与第一导槽侧面接触方向产生微小气膜，悬浮于基座表面但紧贴其运动，实现运动姿态的高准确度。气膜的作用基本抵消框架与导轨2间的滑动摩擦，导轨2的运动精度更高，响应速度更快。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种移动式气浮导向机构，其特征在于，包括：

两个基座，其分别为左基座和右基座，所述右基座与所述左基座相互间隔且平行设置，所述左基座和所述右基座均由能够与磁铁配合吸附的金属材质制成，所述左基座具有朝向所述右基座开口的第一导槽，所述右基座具有朝向所述左基座开口的第二导槽；

导轨，所述导轨的左端悬浮架设于所述第一导槽内，所述导轨的右端悬浮架设于所述第二导槽内；

第一悬浮装置，所述第一悬浮装置设于所述导轨的左侧，所述第一悬浮装置的左侧设有与所述第一导槽的侧槽面相对的第一气悬浮组件和第一磁矩阵，所述第一悬浮装置的底部设有与所述第二导槽的底槽面相对的第二气悬浮组件和第二磁矩阵；

第二悬浮装置，所述第二悬浮装置设于所述导轨的右侧，所述第二悬浮装置的底部设有与所述第二导槽的底槽面相对的第三气悬浮组件和第三磁矩阵；

所述第一悬浮装置包括第一安装件和第二安装件，所述第一安装件和所述第二安装件转动连接，所述第二安装件安装于所述导轨的左侧，所述第一磁矩阵设于所述第一安装件的左侧面，所述第二磁矩阵设于所述第一安装件的底面，所述第一气悬浮组件包括至少两个分别设于所述第一安装件左侧面两端的气足，所述第二气悬浮组件包括至少两个分别设于所述第二安装件底面两端的气足；所述第二悬浮装置包括第三安装件，所述第三安装件安装于所述导轨的右侧，所述第三磁矩阵设于所述第三安装件的底面，所述第三气悬浮组件包括至少两个分别设于所述第三安装件底面两端的气足。

2.如权利要求1所述的移动式气浮导向机构，其特征在于，还包括气浮系统，所述气浮系统分别连通至所述第一气悬浮组件、所述第二气悬浮组件及所述第三气悬浮组件，所述气浮系统用于调整流通至各所述气足的气流大小，实现对气浮推力的调整。

3.如权利要求2所述的移动式气浮导向机构，其特征在于，所述第一悬浮装置还包括两个距离传感器，所述距离传感器安装于所述第一安装件上或所述第二安装件上，所述距离传感器与所述气浮系统电连接，所述气浮系统被配置为用于：

获取两个距离传感器检测到的距离值；

判断所述第一安装件与所述第二安装件之间是否平行；

若否，则调整所述第一气悬浮组件中的各气足的气流大小，使所述第一安装件与所述第二安装件平行。

4.根据权利要求1所述的移动式气浮导向机构，其特征在于，所述第一安装件与所述第二安装件通过磁性吸附连接。

5.如权利要求4所述的移动式气浮导向机构，其特征在于，所述第一安装件和所述第二安装件通过连接件连接，所述连接件呈圆柱状且具有磁性，所述第一安装件和所安装件均吸附于所述连接件的外壁上并可贴合于所述连接件的外壁相对转动。

6.如权利要求5所述的移动式气浮导向机构，其特征在于，所述第一安装件包括第一基板，所述第一气悬浮组件的至少两个气足分别设于所述第一基板的两边，且所述第一气悬浮组件的至少两个气足的排气孔均朝向左侧，所述第一磁矩阵粘设于所述第一基板的左侧面，所述第一基板的右侧面开设有与所述连接件相适配的弧面凹槽，所述第一基板的下端连接有朝向右侧延伸的第二基板，所述第二磁矩阵粘设于所述第二基板的下表面；所述第二安装件包括第二基板，所述第二基板的左侧面开设有与所述连接件相适配的弧面凹槽，所述第二气悬浮组件的至少两个气足分设于所述第二基板的底部的两端，且所述第二气悬浮组件的至少两个气足的排气孔均朝向下方。

7.如权利要求1所述的移动式气浮导向机构，其特征在于，所述左基座包括竖直设置的左侧板，所述左侧板底端连接有向右侧延伸的第一支撑板，所述左侧板和所述第一支撑板之间限定形成所述第一导槽；所述右基座包括竖直设置的右侧板，所述右侧板底端连接有向左侧延伸的第二支撑板，所述右侧板和所述第二支撑板之间限定形成所述第二导槽；所述导轨的左端悬浮架设于所述第一支撑板上，所述导轨的右端悬浮架设于所述第二支撑板上，所述左侧板位于所述第一悬浮装置的左边且不与所述第一悬浮装置接触，所述右侧板位于所述第二悬浮装置的右边且不与所述第二悬浮装置接触。

8.如权利要求1～7任一项所述的移动式气浮导向机构，其特征在于，所述左基座及所述右基座的横截面均呈“L”形。

9.如权利要求1～7任一项所述的移动式气浮导向机构，其特征在于，所述导轨为陶瓷导轨，所述导轨上表面设有用于容置电机的矩形凹槽，所述导轨的下表面设有十字横梁。

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