CN111900896B - 气浮运动台 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种气浮运动台。本发明中，气浮运动台包括：底座；第一直线电机，设置在底座上；第二直线电机，与第一直线电机相对间隔设置在底座上；运动装置，设置在第一直线电机和第二直线电机之间，连接第一直线电机的动子和第二直线电机的动子；第一导轨，沿第一直线电机的定子的长度方向延伸；第一气浮装置，与第一导轨之间形成气浮；第二导轨，沿第二直线电机的定子的长度方向延伸；第二气浮装置，与第二导轨之间形成气浮；第一磁浮组件，与第一导轨之间形成磁预载；第二磁浮组件，与第二导轨之间形成磁预载。与现有技术相比，提高了气浮刚度、动态性能佳、对装调要求相对低，以及结构紧凑、可工程化实现的优势。

Description

气浮运动台

技术领域

本发明实施例涉及半导体技术领域，特别涉及气浮运动台。

背景技术

随着芯片特征尺寸的逐渐减小，高端半导体制造装备已经进入深亚微米甚至纳米级，加上制造中高产率的要求，对相关设备的定位精度及运行速度要求越来越高。更具体地说，高端半导体制造装备对直线运动和多维运动平台的定位精度、运行速度以及稳定性要求越来越严格，比如高端数控工作台、光刻机等。在高端半导体制造领域，大部分的直线导轨和运动平台都已采用气浮装置，气浮导轨无机械接触、无摩擦、无非线性扰动，也不会产生爬行现象，因而能够保证整个运动台系统实现高精度定位和高速度平稳运行。高性能的气浮装置要能够兼顾整个系统的静态特性和动态特性。其中，静态特性要求系统运动的定位精度高，动态特性要求系统的响应快、运行速度高。二者结合即要求二维气浮装置既要保证高刚度，又要保证各自由度之间零耦合，还要尽可能地实现轻量化。这些特性对工程实现来说具有极大的挑战。

专利CN1701925A提出了一种H型气浮工件台，该工件台带有双边直线电机，可以实现高速运动和精密定位。但是，该气浮导轨采用高封闭式的刚性结构，要求加工精度高，气浮刚度可调节能力弱，装调难度大，同时双边导轨导向均采用刚性连接，对导轨与基座以及气浮单元的加工精度要求严格，装调难度极大，因此不利于该发明的工程实现。

专利CN201010508116.8提出的气浮导轨，本质上也是封闭式的气浮结构，刚性高，并且L型气浮导轨和倒U型气浮导轨存在过约束问题，装调精度要求非常高，同时可能产生自激振荡，工程实现难度大。

综上，研制一种高精度高速度大行程的气浮运动台成为诸多科研院所和企业的攻关内容，对高端半导体制造领域及其他精密加工领域来说，具有明显的经济效益，市场前景十分广阔。

发明内容

本发明实施方式的目的在于提供一种气浮运动台，提高了气浮刚度、动态性能佳、对装调要求相对低，以及结构紧凑、可工程化实现的优势。

为解决上述技术问题，本发明的实施方式提供了一种气浮运动台，包括：

底座；

第一直线电机，设置在所述底座上；

第二直线电机，与所述第一直线电机相对间隔设置在所述底座上；

运动装置，设置在所述第一直线电机和所述第二直线电机之间，且连接所述第一直线电机的动子和所述第二直线电机的动子；

第一导轨，设置在所述底座上，且沿所述第一直线电机的定子的长度方向延伸；

第一气浮装置，与所述运动装置相连，与所述第一导轨之间形成气浮；

第二导轨，与所述第一导轨相对间隔设置在所述底座上，且沿所述第二直线电机的定子的长度方向延伸；

第二气浮装置，与所述运动装置相连，与所述第二导轨之间形成气浮；

第一磁浮组件，与所述运动装置相连，与所述第一导轨之间形成磁预载；以及，

第二磁浮组件，与所述运动装置相连，与所述第二导轨之间形成磁预载。

本发明实施方式相对于现有技术而言，第一气浮装置与第一导轨之间形成气浮，第二气浮装置与第二导轨之间形成气浮，让运动装置浮起。第一直线电机的动子和第二直线电机的动子连接运动装置，运动装置被两个直线电机的动子带动运动。由于设有第一磁浮组件和第二磁浮组件，第一磁浮组件与第一导轨之间形成磁预载，第二磁浮组件与第二导轨之间形成磁预载，即通过第一磁浮组件和第二磁浮组件有磁场，产生力。从而第一磁浮组件和第二磁浮组件产生的力与第一气浮装置和第二气浮装置配合，提高了气浮刚度，使得运动台的动态性能佳，减少了真空预载管路的扰动，提高运动装置的精度。且通过磁预载让运动装置浮起后可更稳定的位于固定的位置，运动台也更稳定，便于装调，降低成本，可工程化。

在一实施例中，所述第一磁浮组件包括：位于所述第一导轨上方的第一垂向磁浮件；

所述第二磁浮组件包括：位于所述第二导轨上方的第二垂向磁浮件。

在一实施例中，所述第一磁浮组件还包括：第一侧向磁浮件，与所述第一导轨朝向所述第二导轨的一侧相对设置。

在一实施例中，所述第一垂向磁浮件包括：设置在所述运动装置上的第一安装面板、排列设置在所述第一安装面板上的若干个第一垂向永磁铁；且各所述第一垂向永磁铁朝向所述第一导轨的上表面；

所述第二垂向磁浮件包括：设置在所述运动装置上的第二安装面板、排列设置在所述第二安装面板上的若干个第二垂向永磁铁；且各所述第二垂向永磁铁朝向所述第二导轨的上表面；

所述第一侧向磁浮件包括：设置在所述运动装置上的第三安装面板、排列设置在所述第三安装面板上的若干个第一侧向永磁铁；且各所述第一侧向永磁铁朝向所述第一导轨相对于所述第二导轨的一侧。

在一实施例中，所述第一气浮装置包括：

若干个第一正向气浮垫，与所述运动装置相连，且与所述第一导轨的上表面相对设置；以及，

若干个第一侧向气浮垫，与所述运动装置相连，且与所述第一导轨朝向所述第二导轨的一侧相对设置。

在一实施例中，所述第一垂向磁浮件和所述第一侧向磁浮件均沿所述第一直线电机的定子的长度方向延伸；

所述第一正向气浮垫至少设有两个，且所述第一垂向磁浮件的延伸方向的两端均至少设有一个；

所述第一侧向气浮垫至少设有两个，且所述第一侧向磁浮件的延伸方向的两端均至少设有一个。

在一实施例中，所述第二气浮装置包括：

若干个第二正向气浮垫，与所述运动装置相连，且与所述第二导轨的上表面相对设置。

在一实施例中，所述第二垂向磁浮件沿所述第二直线电机的定子的长度方向延伸；

所述第二正向气浮垫至少设有两个，且所述第二垂向磁浮件的延伸方向的两端均至少设有一个。

在一实施例中，所述气浮运动台还包括：

第一栅尺，沿所述第一直线电机的定子的长度方向延伸；

第一读数头，设置在所述运动装置上，读取所述第一栅尺上的数据；

第二栅尺，沿所述第二直线电机的定子的长度方向延伸；以及，

第二读数头，设置在所述运动装置上，读取所述第二栅尺上的数据。

在一实施例中，所述运动装置包括：

横梁，连接所述第一直线电机的动子和所述第二直线电机的动子；

第三直线电机，所述第三直线电机的定子沿所述横梁的长度方向排列设置在所述横梁上；

连接板，可滑动的设置在所述横梁上；且所述第三直线电机的动子设置在所述连接板上；以及，

第三气浮装置，设置在所述连接板上，且与所述底座和所述横梁的侧面之间形成气浮

附图说明

一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

图1是本发明一实施例中气浮运动台的立体图；

图2是图1中A的局部放大图；

图3是本发明一实施例图1中运动装置及其两端底部翻转的结构示意图；

图4是本发明一实施例中气浮运动台的主视图；

图5是图4中B的局部放大图；

图6是图4中D-D的剖视图的；

图7是图6中C的局部放大图；

图8是本发明一实施例中气浮运动台的顶部被移除后的俯视图；

图9是图8中D的局部放大图；

其中，1、底座；11、第一导轨；12、第二导轨；13、第一防护板；14、第二防护板；110、缓冲机械限位；21、第一直线电机的动子；22、第一直线电机的定子；31、第二直线电机的动子；32、第二直线电机的定子；42、第一读数头；43、第二栅尺；44、第二读数头；5、第一气浮装置；51、第一正向气浮垫；52、第一侧向气浮垫；61、第二正向气浮垫；7、第一磁浮组件；71、第一垂向磁浮件；711、第一安装面板；712、第一垂向永磁铁；72、第一侧向磁浮件；721、第三安装面板；722、第一侧向永磁铁；81、第二垂向磁浮件；811、第二安装面板；812、第二垂向永磁铁；91、横梁；911、第一连接板；912、第二连接板；931、横梁本体；921、第三直线电机的定子；922、第三直线电机的动子；93、连接板；941、气足；95、第三光栅；96、第三读数头；942、第三侧向气浮垫；943、第三侧向气浮垫；9311、横梁的侧壁；9312、横梁的侧壁。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本发明各实施方式中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。

在下文的描述中，出于说明各种公开的实施例的目的阐述了某些具体细节以提供对各种公开实施例的透彻理解。但是，相关领域技术人员将认识到可在无这些具体细节中的一个或多个细节的情况来实践实施例。在其它情形下，与本申请相关联的熟知的装置、结构和技术可能并未详细地示出或描述从而避免不必要地混淆实施例的描述。

除非语境有其它需要，在整个说明书和权利要求中，词语“包括”和其变型，诸如“包含”和“具有”应被理解为开放的、包含的含义，即应解释为“包括，但不限于”。

以下将结合附图对本发明的各实施例进行详细说明，以便更清楚理解本发明的目的、特点和优点。应理解的是，附图所示的实施例并不是对本发明范围的限制，而只是为了说明本发明技术方案的实质精神。

在整个说明书中对“一个实施例”或“一实施例”的提及表示结合实施例所描述的特定特点、结构或特征包括于至少一个实施例中。因此，在整个说明书的各个位置“在一个实施例中”或“在一实施例”中的出现无需全都指相同实施例。另外，特定特点、结构或特征可在一个或多个实施例中以任何方式组合。

如该说明书和所附权利要求中所用的单数形式“一”和“所述”包括复数指代物，除非文中清楚地另外规定。应当指出的是术语“或”通常以其包括“和/或”的含义使用，除非文中清楚地另外规定。

在以下描述中，为了清楚展示本发明的结构及工作方式，将借助诸多方向性词语进行描述，但是应当将“前”、“后”、“左”、“右”、“外”、“内”、“向外”、“向内”、“上”、“下”等词语理解为方便用语，而不应当理解为限定性词语。

下文参照附图描述本发明的实施例。如图1、图2和图3所示，本发明的实施例涉及一种气浮运动台，包括：底座1、第一直线电机、第二直线电机、运动装置、第一导轨11、第一气浮装置5、第二导轨12、第二气浮装置、第一磁浮组件7和第二磁浮组件。第一直线电机和第二直线电机设置在底座1上，且相对间隔开，运动装置设置在第一直线电机和第二直线电机之间，且连接第一直线电机的动子21和第二直线电机的动子31。第一直线电机的定子22和第二直线电机的定子32都是沿X轴方向延伸，第一直线电机的动子21和第二直线电机的动子31带动运动装置沿X轴方向延伸。第一导轨11和第二导轨12相对间隔设置在底座1上，且第一导轨11沿第一直线电机的定子22的长度方向延伸，第二导轨12沿第二直线电机的定子32的长度方向延伸，即第一导轨11和第二导轨12的延伸方向一致，且都沿X轴方向延伸。第一气浮装置5和第二气浮装置与运动装置相连，且分别设置在运动装置的两端，第一气浮装置5与第一导轨11之间形成气浮，第二气浮装置与第二导轨12之间形成气浮。第一磁浮组件7和第二磁浮组件与运动装置相连，且分别设置在运动装置的两端。第一导轨11和第二导轨12为金属导轨，也可以是第一导轨11和第二导轨12上均贴设有金属条，第一磁浮组件7与第一导轨11之间形成磁预载，第二磁浮组件与第二导轨12之间形成磁预载。第一气浮装置5和第二气浮装置随运动装置被第一直线电机的动子21和第二直线电机的动子31带动运动；第一磁浮组件7和第二磁浮组件随运动装置被第一直线电机的动子21和第二直线电机的动子31带动运动。

通过上述内容可知，第一气浮装置5与第一导轨11之间形成气浮，第二气浮装置与第二导轨12之间形成气浮，让运动装置浮起。第一直线电机的动子21和第二直线电机的动子31连接运动装置，运动装置被两个直线电机的动子带动运动。由于设有第一磁浮组件7和第二磁浮组件，第一磁浮组件7与第一导轨11之间形成磁预载，第二磁浮组件与第二导轨12之间形成磁预载，即通过第一磁浮组件7和第二磁浮组件有磁场，产生力。从而第一磁浮组件7和第二磁浮组件产生的力与第一气浮装置5和第二气浮装置配合，提高了气浮刚度，使得运动台的动态性能佳，减少了真空预载管路的扰动，提高运动装置的精度。且通过磁预载让运动装置浮起后可更稳定的位于固定的位置，运动台也更稳定，便于装调，降低成本，可工程化。

具体的说，如图1、图2和图3所示，第一磁浮组件7包括：第一垂向磁浮件71和第一侧向磁浮件72，第一垂向磁浮件71位于第一导轨11上方，第一侧向磁浮件72与第一导轨11的朝向第二导轨12的一侧相对设置。第二磁浮组件包括：位于第二导轨12上方的第二垂向磁浮件81。第一垂向磁浮件71包括：设置在运动装置上的第一安装面板711、排列设置在第一安装面板711上的若干个第一垂向永磁铁712，各第一垂向永磁铁712的排列方向沿第一导轨11的延长方向延伸，且各第一垂向永磁铁712朝向第一导轨11的上表面。第一侧向磁浮件72包括：设置在运动装置上的第三安装面板721、排列设置在第三安装面板721上的若干个第一侧向永磁铁722，各第一侧向永磁铁722的排列方向沿第一导轨11的延长方向延伸，且各第一侧向永磁铁722朝向第一导轨11相对于第二导轨12的一侧。第二垂向磁浮件81包括：设置在运动装置上的第二安装面板811、排列设置在第二安装面板811上的若干个第二垂向永磁铁812，各第二垂向永磁铁812的排列方向沿第二导轨12的延长方向延伸，且各第二垂向永磁铁812朝向第二导轨12的上表面。使得运动装置整体实现无机械接触、无摩擦、高刚度预载及运行。可以理解的，第二磁浮组件也可包括第二侧向磁浮件，第二侧向磁浮件与第一侧向磁浮件72的结构可相同。

应当理解，永磁铁是磁浮件的优选方式。磁预载可通过多种方式实现。例如，第一种方式是利用永磁体的同极相斥而产生悬浮，可以长期维持且不受任何影响。第二种方式是利用电磁铁通电产生磁力，使之与永磁体的同极相斥，适用于可自动化地控制，例如通过实时所需的磁预载进行自动化控制。第三种方式是利用电磁感应现象，通过变化的磁场产生电流，电流产生同极磁场继而实现悬浮。基于本发明的精神本质而利用上述的或其他的方式替代本实施例所提供的磁预载构置，均属于本发明的范畴。

进一步的，如图1、图2和图3所示，第一气浮装置5包括：若干个第一正向气浮垫51和若干个第一侧向气浮垫52，第一正向气浮垫51与运动装置相连，且与第一导轨11的上表面相对设置。第一侧向气浮垫52与运动装置相连，且与第一导轨11的朝向第二导轨12的一侧相对设置。第二气浮装置包括：若干个第二正向气浮垫61，与运动装置相连，且与第二导轨12的上表面相对设置。如图，第一正向气浮垫51设有两个，第一垂向磁浮件71的延伸方向的两端均设有一个。第一侧向气浮垫52设有两个，且第一侧向磁浮件72的延伸方向的两端均设有一个。第二正向气浮垫61也设有两个，且第二垂向磁浮件81的延伸方向的两端均设有一个。可以理解的，第一正向气浮垫51、第一侧向气浮垫52、第二正向气浮垫61也可设有1个、3个或4个，第一正向气浮垫51、第一侧向气浮垫52、第二正向气浮垫61均设置多个时，第一垂向磁浮件71的延伸方向的两端均至少设有一个第一正向气浮，第二垂向磁浮件81的延伸方向的两端均至少设有一个第二正向气浮，第一侧向磁浮件72的延伸方向的两端均至少设有一个第一侧向气浮。从而运动装置的两端与第一导轨11和第二导轨12之间形成高刚度气膜，第一直线电机的动子21和第二直线电机的动子31在沿X轴运动时运动装置垂向悬浮。第一侧向气浮垫52的设置让运动装置与第一导轨11的侧面形成高刚度气膜，用来保持运动装置与第一导轨11的侧面之间的无接触。

另外，如图1、图2、图4和图5所示，气浮运动台还包括：第一栅尺(图中未示出)、第一读数头42、第二栅尺43和第二读数头44，第一栅尺和第二栅尺43沿X轴方向延伸，底座1上设有第一防护板13和第二防护板14，第一栅尺固定在第一防护板13上，第二栅尺43固定在第二防护板14上。运动装置的两端设有第一连接板911和第二连接板912，第一读数头42和第一直线电机的动子21均固定在第一连接板911上，第二读数头44和第二直线电机的动子31均固定在第二连接板912上。第一读数头42和第二读数头44跟随着运动装置一起运动，第一读数头42读取第一栅尺上的数据，从而获取述第一直线电机的动子21的实时位置。第二读数头44读取第二栅尺43上的数据，从而获取述第二直线电机的动子31的实时位置。

进一步的，如图1所示，在第一导轨11的两端均设有缓冲机械限位110，缓冲机械限位110件可为向X轴方向伸缩的弹簧，也可以是塑胶弹性件。从而第一直线电机的动子21运动到第一导轨11的端部时，缓冲机械限位110件对第一直线电机的动子21形成限位。同样的，第二导轨12的两端也设有缓冲机械限位110，缓冲机械限位110件可为向X轴方向伸缩的弹簧，也可以是塑胶弹性件。

另外，如图1、图2、图4、图6和图7所示，运动装置包括：横梁91、第三直线电机、连接板93和第三气浮装置。横梁91沿Y轴方向延伸，连接第一直线电机的动子21和第二直线电机的动子31。横梁91具有横梁本体931、连接在横梁本体931的两端的第一连接板911和第二连接板912，第一直线电机的动子21在第一连接板911上，第二直线电机的动子31在第二连接板912上。第三直线电机的定子921排列设置在横梁91上，沿横梁91的长度方向延伸。连接板93可滑动设置在横梁91上，第三直线电机的动子922设置在连接板93上，第三直线电机的动子922沿第三直线电机的定子921运动，连接板93一起运动，即连接板93与第三直线电机的动子922一起沿Y轴方向运动。进一步地，设置一第三气浮装置在连接板93上，且与底座1和横梁91的侧面之间形成气浮。第三气浮装置包括：设置在连接板93底面的气足941、第三侧向气浮垫942、第三侧向气浮垫943，连接板93两端连接有竖直设置的侧板，第三侧向气浮垫942和第三侧向气浮垫943安装在侧板上，气足941安装在侧板的底端。气足941为矩形，气足941底部的中心设有真空预载腔(图中未示出)，气足941底部的四个角端设有气浮区(图中未示出)。真空预载腔四周设有与气足941内部相通的排气孔(图中未示出)，气足941的侧壁上连接有真空预载抽气管(图中未示出)，真空预载抽气管与排气孔连通，将真空预载腔内的气体抽走形成负压，提供真空预载。气浮区上开设有与气足941内部连通的出气孔(图中未示出)，气足941的侧壁上连接有通气管(图中未示出)，通气管与出气孔连通，让气浮区有气体排出，从而气足941与底座1的上表面形成正压，提供高刚度气膜，将二者气压调至平衡，既能保证连接板93和第三直线电机的动子922运动时有一定的预载，又能保证气膜有较大的刚度，因此连接板93和第三直线电机的动子922在运动过程中就能实现高速高加速，进一步可实现高精度大行程平稳运行。第三侧向气浮垫设有四个，两个第三侧向气浮垫942与横梁91的侧壁9311相对设置，另两个第三侧向气浮垫943与横梁91的侧壁9312相对设置，从而让横梁91的侧壁与连接板93之间形成气浮，使得整个连接板93与横梁91的侧壁之间实现无机械接触、无摩擦、高刚度运行。

进一步的，如图1、图4、图6、图7、图8和图9所示，在横梁91上还设有第三光栅95，第三光栅95沿横梁91的长度方向延伸，即沿Y轴方向延伸。在连接板93上设有第三读数头96，连接板93运动时，第三读数头96与连接板93一起运动，读取第三光栅95的数据，从而可知第三直线电机的动子922沿Y轴运动过程中所在的位置。

以上已详细描述了本发明的较佳实施例，但应理解到，若需要，能修改实施例的方面来采用各种专利、申请和出版物的方面、特征和构思来提供另外的实施例。

考虑到上文的详细描述，能对实施例做出这些和其它变化。一般而言，在权利要求中，所用的术语不应被认为限制在说明书和权利要求中公开的具体实施例，而是应被理解为包括所有可能的实施例连同这些权利要求所享有的全部等同范围。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本发明的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本发明的精神和范围。

Claims (4)

1.一种气浮运动台，其特征在于，包括：

底座；

第一直线电机，设置在所述底座上；

第二直线电机，与所述第一直线电机相对间隔设置在所述底座上；

运动装置，设置在所述第一直线电机和所述第二直线电机之间，且连接所述第一直线电机的动子和所述第二直线电机的动子；

第一导轨，设置在所述底座上，且沿所述第一直线电机的定子的长度方向延伸；

第一气浮装置，与所述运动装置相连，与所述第一导轨之间形成气浮；

第二导轨，与所述第一导轨相对间隔设置在所述底座上，且沿所述第二直线电机的定子的长度方向延伸；

第二气浮装置，与所述运动装置相连，与所述第二导轨之间形成气浮；

第一磁浮组件，与所述运动装置相连，与所述第一导轨之间形成磁预载；以及，

第二磁浮组件，与所述运动装置相连，与所述第二导轨之间形成磁预载；

所述第一磁浮组件包括：位于所述第一导轨上方的第一垂向磁浮件；

所述第二磁浮组件包括：位于所述第二导轨上方的第二垂向磁浮件；

所述第一磁浮组件还包括：第一侧向磁浮件，与所述第一导轨的朝向所述第二导轨的一侧相对设置；

所述第一气浮装置包括：

若干个第一正向气浮垫，与所述运动装置相连，且与所述第一导轨的上表面相对设置；以及，

若干个第一侧向气浮垫，与所述运动装置相连，且与所述第一导轨的朝向所述第二导轨的一侧相对设置；

所述第一垂向磁浮件和所述第一侧向磁浮件均沿所述第一直线电机的定子的长度方向延伸；

所述第一正向气浮垫至少设有两个，且所述第一垂向磁浮件的延伸方向的两端均至少设有一个；

所述第一侧向气浮垫至少设有两个，且所述第一侧向磁浮件的延伸方向的两端均至少设有一个；

所述第二气浮装置包括：

若干个第二正向气浮垫，与所述运动装置相连，且与所述第二导轨的上表面相对设置；

所述第二垂向磁浮件沿所述第二直线电机的定子的长度方向延伸；

所述第二正向气浮垫至少设有两个，且所述第二垂向磁浮件的延伸方向的两端均至少设有一个。

2.根据权利要求1所述的气浮运动台，其特征在于，所述第一垂向磁浮件包括：设置在所述运动装置上的第一安装面板、排列设置在所述第一安装面板上的若干个第一垂向永磁铁；且各所述第一垂向永磁铁朝向所述第一导轨的上表面；

所述第二垂向磁浮件包括：设置在所述运动装置上的第二安装面板、排列设置在所述第二安装面板上的若干个第二垂向永磁铁；且各所述第二垂向永磁铁朝向所述第二导轨的上表面；

所述第一侧向磁浮件包括：设置在所述运动装置上的第三安装面板、排列设置在所述第三安装面板上的若干个第一侧向永磁铁；且各所述第一侧向永磁铁朝向所述第一导轨相对于所述第二导轨的一侧。

3.根据权利要求1所述的气浮运动台，其特征在于，所述气浮运动台还包括：

第一栅尺，沿所述第一直线电机的定子的长度方向延伸；

第一读数头，设置在所述运动装置上，读取所述第一栅尺上的数据；

第二栅尺，沿所述第二直线电机的定子的长度方向延伸；以及，

第二读数头，设置在所述运动装置上，读取所述第二栅尺上的数据。

4.根据权利要求1所述的气浮运动台，其特征在于，所述运动装置包括：

横梁，连接所述第一直线电机的动子和所述第二直线电机的动子；

第三直线电机，所述第三直线电机的定子沿所述横梁的长度方向排列设置在所述横梁上；

连接板，可滑动的设置在所述横梁上；且所述第三直线电机的动子设置在所述连接板上；以及，

第三气浮装置，设置在所述连接板上，且与所述底座和所述横梁的侧面之间形成气浮。