JP2004119016A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 第１の電極、前記第１の電極上に形成された電界発光膜、及び前記電界発光膜上に形成された第２の電極からなる発光素子を有する発光装置であって、
   前記第２の電極上に接して形成された無機絶縁膜と、
   前記無機絶縁膜上に接して形成されたフッ素系樹脂を含む膜とを有することを特徴とする発光装置。
2. 第１の電極、前記第１の電極上に形成された電界発光膜、及び前記電界発光膜上に形成された第２の電極からなる発光素子を有する発光装置であって、
   前記第２の電極上に接して形成された無機絶縁膜と、
   前記無機絶縁膜上に接して形成された有機絶縁膜と、
   前記有機絶縁膜上に接して形成されたフッ素系樹脂を含む膜とを有することを特徴とする発光装置。
3. 第１の電極、前記第１の電極上に形成された電界発光膜、及び前記電界発光膜上に形成された第２の電極からなる発光素子を有する発光装置であって、
   前記第２の電極上に接して形成された第１の無機絶縁膜と、
   前記第１の無機絶縁膜上に接して形成された有機絶縁膜と、
   前記有機絶縁膜上に接して形成された第２の無機絶縁膜と、
   前記第２の無機絶縁膜上に接して形成されたフッ素系樹脂を含む膜とを有することを特徴とする発光装置。
4. 基板上に形成されたＴＦＴと絶縁膜を介して電気的に接続された第１の電極、前記第１の電極上に形成された電界発光膜、および前記電界発光膜上に形成された第２の電極からなる発光素子を有する発光装置であって、
   前記第２の電極上に接して形成された無機絶縁膜と、
   前記無機絶縁膜上に接して形成されたフッ素系樹脂を含む膜とを有することを特徴とする発光装置。
5. 基板上に形成されたＴＦＴと絶縁膜を介して電気的に接続された第１の電極、前記第１の電極上に形成された電界発光膜、および前記電界発光膜上に形成された第２の電極からなる発光素子を有する発光装置であって、
   前記第２の電極上に接して形成された無機絶縁膜と、
   前記無機絶縁膜上に接して形成された有機絶縁膜と、
   前記有機絶縁膜上に接して形成されたフッ素系樹脂を含む膜とを有することを特徴とする発光装置。
6. 基板上に形成されたＴＦＴと絶縁膜を介して電気的に接続された第１の電極、前記第１の電極上に形成された電界発光膜、および前記電界発光膜上に形成された第２の電極からなる発光素子を有する発光装置であって、
   前記第２の電極上に接して形成された第１の無機絶縁膜と、
   前記第１の無機絶縁膜上に接して形成された有機絶縁膜と、
   前記有機絶縁膜上に接して形成された第２の無機絶縁膜と、
   前記第２の無機絶縁膜上に接して形成されたフッ素系樹脂を含む膜とを有することを特徴とする発光装置。
7. 請求項１乃至６のいずれか一において、
   前記フッ素系樹脂を含む膜はスパッタリング法により成膜されることを特徴とする発光装置。
8. 請求項２、３、５または６のいずれか一において、
   前記有機絶縁膜は、アクリル、ポリアミド、ポリイミドのいずれか一で形成されることを特徴とする発光装置。
9. 請求項１乃至６のいずれか一において、
   前記フッ素系樹脂を含む膜は、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ポリクロロトリフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体、ポリビニルフルオライド、ポリビニリデンフルオライドから選ばれた一種であることを特徴とする発光装置。
10. 請求項１、２、４、または５のいずれか一において、
    前記無機絶縁膜は、窒化珪素、酸化窒化珪素、窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウムから選ばれた一種であることを特徴とする発光装置。
11. 請求項３、または６において、
    前記第１の無機絶縁膜、および前記第２の無機絶縁膜は、それぞれ、窒化珪素、酸化窒化珪素、窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウムから選ばれた一種であることを特徴とする発光装置。