JP2004111487A5 - - Google Patents
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Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002269075A JP4078163B2 (ja) | 2002-09-13 | 2002-09-13 | 基板処理装置 |
| US10/659,213 US7584760B2 (en) | 2002-09-13 | 2003-09-10 | Substrate processing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002269075A JP4078163B2 (ja) | 2002-09-13 | 2002-09-13 | 基板処理装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004111487A JP2004111487A (ja) | 2004-04-08 |
| JP2004111487A5 true JP2004111487A5 (enExample) | 2005-10-27 |
| JP4078163B2 JP4078163B2 (ja) | 2008-04-23 |
Family
ID=32267117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002269075A Expired - Lifetime JP4078163B2 (ja) | 2002-09-13 | 2002-09-13 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4078163B2 (enExample) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7584760B2 (en) | 2002-09-13 | 2009-09-08 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing apparatus |
| JP4146709B2 (ja) * | 2002-10-31 | 2008-09-10 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP4488506B2 (ja) | 2004-08-30 | 2010-06-23 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
| JP2006114884A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-04-27 | Ebara Corp | 基板洗浄処理装置及び基板処理ユニット |
| KR100752246B1 (ko) | 2005-03-31 | 2007-08-29 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
| KR100637719B1 (ko) | 2005-10-05 | 2006-10-25 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
| KR100637720B1 (ko) | 2005-10-26 | 2006-10-25 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
| KR100727703B1 (ko) | 2005-12-06 | 2007-06-13 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 소자 제조용 케미컬 공급장치 |
| JP4763567B2 (ja) | 2006-10-03 | 2011-08-31 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP2008153521A (ja) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 回収カップ洗浄方法および基板処理装置 |
| DE202010015018U1 (de) * | 2010-11-07 | 2011-04-14 | Bohnet, Hans | Anordnung zur Herstellung von strukturierten Substraten |
| JP5890108B2 (ja) * | 2011-04-27 | 2016-03-22 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 洗浄処理方法 |
| US20130255724A1 (en) * | 2012-03-30 | 2013-10-03 | Semes Co., Ltd. | Apparatus for treating substrate |
| JP6961362B2 (ja) * | 2017-03-03 | 2021-11-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
| JP6782185B2 (ja) * | 2017-03-21 | 2020-11-11 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
| JP7337633B2 (ja) * | 2019-09-30 | 2023-09-04 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
| CN112201593B (zh) * | 2020-09-23 | 2024-06-21 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 晶圆清洗设备 |
| KR102615758B1 (ko) * | 2021-05-10 | 2023-12-19 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
| JP7702831B2 (ja) * | 2021-08-18 | 2025-07-04 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
| KR102616061B1 (ko) * | 2021-08-24 | 2023-12-20 | (주)디바이스이엔지 | 바울 조립체를 포함하는 기판 처리장치 |
| CN115050643A (zh) * | 2022-08-15 | 2022-09-13 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 | 一种湿法刻蚀装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0434902Y2 (enExample) * | 1987-01-13 | 1992-08-19 | ||
| JPH05243202A (ja) * | 1992-01-07 | 1993-09-21 | Nec Corp | 枚葉式半導体製造ウェット処理装置 |
| JPH10137664A (ja) * | 1996-11-15 | 1998-05-26 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 回転式基板処理装置および処理方法 |
| JP3731995B2 (ja) * | 1997-12-04 | 2006-01-05 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP3739225B2 (ja) * | 1998-12-22 | 2006-01-25 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
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2002
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