JP2004047575A - 多層配線半導体集積回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】有機系層間膜より透水性・吸水性が小さい無機系層間膜で有機系層間膜を覆うようにして多層化するとともに、更に、耐水性に優れた配線金属で層間膜全体を覆うことによって、ベアチップ実装に耐える半導体チップを提供する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、GaAsあるいはInP基板に形成した高周波用途の多層配線半導体集積回路チップの多層配線構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の超高速光通信用ICやマイクロ波、ミリ波集積回路は気密封止パッケージに収められ、半導体チップの耐湿性に関しては特に配慮する必要がなかった。しかしながら、近年、チップサイズの縮小化とともに、べアチップ実装によるコスト削減の要求が高まっている。半導体チップの高速動作を実現するため、配線間および配線層間の誘電率を低く抑えるために低誘電率の有機系層間絶縁膜を用いることが提案されている。ところが、有機系層間絶縁膜は耐湿性に乏しい。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来の高周波多層MMIC構造の例を図4に示す。1は半導体基板であり、2はトランジスタ、抵抗、コンデンサなどの機能素子、12、22、32、42は配線、14、24、34は有機系層間絶縁膜である。
である。高周波多層MMICは、半導体基板1上に有機層間絶縁膜としてポリイミド14、24、34と配線12、22、32、42を積層した多層配線構造である。しかし、図4のような構造では、有機系材料が一般的に透水性、吸水性が高く、耐湿性に乏しいために、周囲の環境湿度が高い場合、層間絶縁膜を浸透した水分によって、半導体基板上に形成されたトランジスタの特性を劣化させたり、コンタクト抵抗を上昇させたりする。そこで、ベアチップ実装しても、周囲環境から水分を浸透させない、あるいは、浸透しにくくする低誘電率の多層配線構造を形成することが課題である。
【0004】
【課題を解決するための手段】
一般に、有機材料は透水性、吸水性が高く、無機系材料は小さく、金属は更に小さい。そこで、第1の本発明は、チップ上に形成する層間絶縁膜を有機系材料と無機系材料を交互に積層しながら配線し、層間絶縁膜の端面を配線金属と同じ金属で覆うことを特徴とする。層間絶縁膜として有機系材料と無機系材料を交互に積層する結果、有機系材料の低誘電率の性質を活かした配線容量の低減と、無機系材料の性質を利用した防湿効果を発揮する。更に、積層パターン端部を配線金属で覆うことにより、多層膜の側面からの水の侵入を防ぐ。
【0005】
また、第2の本発明は、有機系材料、無機材料を順次積層するに際して、有機系層間絶縁膜のパターンを順次広げることを特徴とする。即ち、ある層の有機系層間絶縁膜のパターンを次の有機系層間絶縁膜のパターンが覆い被せることによって、ある層の有機系層間絶縁膜の端面が完全に覆われる。
また、第3の本発明は、信号端子および電源端子とそれらの周辺を除くチップ全面を金属で覆うことを特徴とする。この金属によって、水分の侵入経路のほとんどがブロックされる。
【0006】
また、第4の本発明は、有機系材料として、低誘電率、低誘電体損失の材料であるポリイミドまたはBCB(ベンゾシクロブテン)を用いることを特徴とする。
また、第5の本発明は、無機系材料として、SiN、SiO2 、SiONを用いることを特徴とする。
【0007】
【発明の実施の形態】
(第一の実施例)
図1は本発明の多層配線集積回路の作製工程図である。なお、図面右端はチップのスクライブ領域を示す。図中、A〜H、P〜Rは1つの工程を示す。番号は図4と同様に記した。13、23、33、43は無機膜、15、25、35はコンタクトホール部、16、26はレジスト、99はスクライブ領域である。
【0008】
まず、GaAs等の半導体基板1上に金メッキ法により1層目配線12を約1μmの厚みで形成し、次にSiN等の無機膜13をCVD法で0.2μm程度の厚みで堆積する(図1(A))。
次に、スピンコート法でポリイミド等の有機系層間絶縁膜14を約2μmの厚みで堆積する(図1(B))。
次に、コンタクトホール形成およびチップスクライブ用層間膜除去のために、コンタクトホール部15およびチップスクライブ部99のレジス卜16を除去するようにレジストパターニングを行い(図1(C))、次に、酸素ガスを用いてドライエッチングにより有機系層間絶縁膜14を除去し、次にフッ素系ガスを用いてSiN等の無機膜13を除去し、コンタクトホール部15およびチップスクライブ部99を形成し、
次に、レジスト16を剥離する(図1(D))。
次に金メッキ法により、2層目配線22を形成する(図1(E))。
次に、SiN等の無機膜23をCVD法により堆積し、
次に、ポリイミド等の有機系層間絶縁膜24をスピンコート法で塗布する(図1(F))。
次に、コンタクトホール部15およびチップスクライブ部99のレジストを除去するようし、レジストパターニングを行う(図1(G))。この場合、チップスクライブ部99においては1層目有機系層間絶縁膜14よりもチップ外側になるようにレジストパターニングを行う。
次に、酸素ガスを用いてドライエッチングにより有機系層間絶縁膜24を除去し、次にフッ素系ガスを用いてSiN等の無機膜23を除去し、コンタクトホール部25およびスクライブ部99を形成する(図1(H))。
同様にして、D〜Hの工程を繰り返し、2層目、3層目の有機・無機層間絶縁膜および配線層を形成する。(図示せず)
4層目の配線42およびスクライブ領域配線42’を形成する(図1(P))。次に、SiN等の無機膜43をCVD法により堆積し(図1(Q))、
次に、コンタクトホール部45およびチップスクライブ部99のレジストを除去するようし、レジストパターニングを行う(図示せず)。
次に、フッ素系ガスを用いてSiN等の無機膜43を除去し、コンタクトホール部45およびスクライブ部99を形成し(図1(R))、高耐湿高信頼性多層配線集積回路が作製できる。
【0009】
図2はチップの耐湿性を向上できる配線レイアウト図を示している。図中、6は接地導体層、7は電源あるいは信号端子である。チップの最上層を、電源あるいは信号端子7およびその周辺を除いて接地導体層6で覆うことによりチップ表面からの水の侵入を抑制し、トランジスタ2や配線の耐湿性を確保することができる。また、電気的に集積回路から放射される電磁波と外界からくる電磁波を接地導体層6で遮断できるため、安定した高周波特性を有する半導体集積回路を実現できる。
【0010】
本実施の形態では4層配線の場合を示したが、配線層数に制限はない。
(第二の実施例)
図3は本発明の多層配線集積回路のチップ端部の作製工程を示す図である。図中の番号は図1および図4と同様であり、A〜Dは1つの工程を示す。
まず、GaAs等の半導体基板1上に有機系層間絶縁膜14、24、34、無機膜13、23、33、配線12、22、32を積層し、多層配線構造を形成する。(図3(A))
次に、コンタクトホール部35およびチップスクライブ部99のレジストを除去するようし、レジストパターニングを行い( 図示せず) 、
次に、フッ素系ガスを用いてSiN等の無機膜33を除去し、次に、酸素ガスを用いてドライエッチングによりスクライブ領域99の有機系層間絶縁膜34、24、14を除去しコンタクトホール部35およびスクライブ部99を形成する(図3(B))。
次に金メッキ法により、4層目配線をチップ内およびスクライブ領域99にそれぞれ42、42’のように形成する(図3(C))。
次に、SiN等の無機膜43をCVD法により堆積し(図示せず)、
次に、コンタクトホール部45およびチップスクライブ部99のレジストを除去するようし、レジストパターニングを行い(図示せず)、
次に、フッ素系ガスを用いてSiN等の無機膜43を除去し、コンタクトホール部45およびスクライブ部99を形成し(図3(D))、高耐湿高信頼性多層配線集積回路が作製できる。
【0011】
本発明に於いては、前記実施例一、二に限るものではなく、多くの改変を実施することができる。
以上、本発明をまとめると以下の通りである。
(付記1) 半導体基板上に形成された複数の回路機能素子間を接続するために、前記半導体基板上に有機系層間絶縁膜を用いて積層配線された多層配線半導体集積回路において、前記有機系層間絶縁膜の上にシリコン無機膜が形成され、かつ前記有機系層間絶縁膜の端部が配線層で覆われていることを特徴とする多層配線半導体集積回路。
【0012】
(付記2) 多層配線半導体集積回路において、下層の前記有機系層間絶縁膜のパターン端部を上層の前記有機系層間絶縁膜パターンで覆れていることを特徴とする付記1記載の多層配線半導体集積回路。
(付記3) 多層配線半導体集積回路において、信号端子および電源端子の周辺部を除いて前記有機系層間絶縁膜の最上層全体を接地導体層で覆ってなることを特徴とする付記1記載の多層配線半導体集積回路。
【0013】
(付記4) 多層配線半導体集積回路において、前記有機系層間絶縁膜がポリイミドあるいはBCB(ベンゾシクロブテン)であることを特徴とする付記1記載の多層配線半導体集積回路。
(付記5) 多層配線半導体集積回路において、前記シリコン無機膜はSiN、またはSiO2 、またはSiONであることを特徴とする付記1記載の多層配線半導体集積回路。
【0014】
(付記6) 多層配線半導体集積回路において、半導体が化合物半導体であることを特徴とする付記1記載の多層配線半導体集積回路。
【0015】
【発明の効果】
本発明により、従来構造のものより、無機膜を有機膜と交互に用いることにより水分の浸透を抑える効果がある。更に、層間絶縁膜膜全体を金属膜で覆うことによって、その効果を高める。
【図面の簡単な説明】
【図1】第一の実施例による多層配線集積回路の作製工程を示す図
【図2】配線レイアウトを示す図
【図3】第二の実施例による多層配線集積回路の作製工程を示す図
【図4】従来の高周波多層MMIC構造の例を示す図
【符号の説明】
1 半導体基板
2 トランジスタ、抵抗、コンデンサなどの機能素子
12、22、32、42 配線
13、23、33、43 無機膜
14、24、34 有機系層間絶縁膜
15、25、35、45 コンタクトホール部
6 接地導体層
7 電源あるいは信号端子
99 スクライブ領域
Claims (5)
- 半導体基板上に形成された複数の回路機能素子間を接続するために前記半導体基板上に複数の有機系層間絶縁膜と複数の配線層を用いて積層配線された多層配線半導体集積回路において、前記複数の有機系層間絶縁膜の各膜上にシリコン無機膜が形成され、かつ前記有機系層間絶縁膜の端部が前記配線層と同一材料で覆われていることを特徴とする多層配線半導体集積回路。
- 多層配線半導体集積回路において、前記複数の有機系層間絶縁膜の下層絶縁膜のパターンの端部が前記下層絶縁膜より上層の絶縁膜パターンで覆れていることを特徴とする請求項1記載の多層配線半導体集積回路。
- 多層配線半導体集積回路において、前記有機系層間絶縁膜の最上層全体を外部入出力用の信号端子パターンおよび電源端子パターンの周辺部を除いて接地導体層パターンで覆ってなることを特徴とする請求項1記載の多層配線半導体集積回路。
- 多層配線半導体集積回路において、前記有機系層間絶縁膜がポリイミドあるいはBCB(ベンゾシクロブテン)であることを特徴とする請求項1記載の多層配線半導体集積回路。
- 多層配線半導体集積回路において、前記シリコン無機膜はSiN、またはSiO2 、またはSiONであることを特徴とする請求項1記載の多層配線半導体集積回路。
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2002
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