JP2004031511A - 大気圧下での基板の連続処理装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】プラズマ処理から改質処理までの一連の基板処理を大気圧下で効率良く連続して実施できる大気圧下での基板の連続処理装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明による大気圧下での基板の連続処理装置は、大気圧プラズマヘッドに印加される電力の励起周波数が100kHz〜2.45GHzであり、また大気圧プラズマヘッドが平面状プラズマを形成できるように複数ヘッド型に構成され、さらに、大気圧プラズマヘッドに並置してプラズマ処理にした基板にレーザー光を照射する固体レーザー装置を設けたことを特徴としている。また本発明による大気圧下での基板の連続処理方法は、大気圧チャンバ内において、複数ヘッド型の大気圧プラズマヘッドを用い放電ガスと処理ガスを供給して大気圧プラズマを発生させ、基板をプラズマ処理し、引き続いて固体レーザー装置を用い、プラズマ処理した基板にレーザー光を照射して表面のアニールを行うことを特徴としている。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明による大気圧下での基板の連続処理装置は、大気圧プラズマヘッドに印加される電力の励起周波数が100kHz〜2.45GHzであり、また大気圧プラズマヘッドが平面状プラズマを形成できるように複数ヘッド型に構成され、さらに、大気圧プラズマヘッドに並置してプラズマ処理にした基板にレーザー光を照射する固体レーザー装置を設けたことを特徴としている。また本発明による大気圧下での基板の連続処理方法は、大気圧チャンバ内において、複数ヘッド型の大気圧プラズマヘッドを用い放電ガスと処理ガスを供給して大気圧プラズマを発生させ、基板をプラズマ処理し、引き続いて固体レーザー装置を用い、プラズマ処理した基板にレーザー光を照射して表面のアニールを行うことを特徴としている。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ディスプレイの製造や半導体の製造を含む電子素子の製造に用いられ得る大気圧下での基板の連続処理装置及び方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
大気圧プラズマ処理装置は、一般的には、大気圧チャンバ内に大気圧プラズマヘッドを処理すべき基板に対向して配置し、大気圧チャンバ内に放電ガス及び処理ガスを供給して大気圧プラズマを発生させ、基板をプラズマ処理するように構成されている。
【0003】
従来の大気圧プラズマ処理装置では、通常単一のプラズマヘッドが設けられ、線状のプラズマを発生させ、被処理物を何回も往復させることにより処理している。そのため、処理時間が非常に長くなり、処理の効率が悪く、しかも処理コストが高くつくという問題がある。
【0004】
また、このようなプラズマ処理した基板は通常改質処理が必要なため、別個に用意したアニ−ル処理装置に入れ、処理している。しかし、プラズマ処理した基板を別個のアニ−ル処理装置で処理することは、それに使用する装置が大掛かりとなるだけでなく、作業に手間がかかり、処理効率及び作業効率の上で問題がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は、プラズマ処理から改質処理までの一連の基板処理を大気圧下で効率良く連続して実施できる大気圧下での基板の連続処理装置及び方法を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明による大気圧下での基板の連続処理装置は、大気圧チャンバ内に大気圧プラズマヘッドを処理すべき基板に対向して配置し、大気圧チャンバ内に放電ガスと処理ガスを供給して安定した大気圧プラズマを発生させ、基板をプラズマ処理し、大気圧プラズマヘッドに印加される電力の励起周波数が100kHz〜2.45GHzであり、また大気圧プラズマヘッドが平面状プラズマを形成できるように複数ヘッド型に構成され、さらに、大気圧プラズマヘッドに並置してプラズマ処理にした基板にレーザー光を照射する固体レーザー装置を設けたことを特徴としている。
【0007】
本発明による装置においては、好ましくは、大気圧プラズマヘッド及び固体レーザー装置に対して処理すべき基板を連続して移動できるように構成され得る。
【0008】
また、本発明による大気圧下での基板の連続処理方法は、大気圧チャンバ内において、複数ヘッド型の大気圧プラズマヘッドを用い放電ガスと処理ガスを供給して大気圧プラズマを発生させ、基板をプラズマ処理し、引き続いて固体レーザー装置を用い、プラズマ処理した基板にレーザー光を照射して表面のアニールを行うことを特徴としている。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下添付図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1は本発明の一実施の形態による大気圧下での基板の連続処理装置を示している。図示装置において、1は大気圧チャンバで、この大気圧チャンバ1内には、大気圧プラズマヘッド2が処理すべき基板3の通過領域に対向して配置されている。処理すべき基板3は搬送系4上を所定の方向に連続して搬送され得る。大気圧プラズマヘッド2はマッチング回路装置5を介して高周波交番電源6に接続されている。高周波交番電源6は励起周波数100kHz〜2.45GHz(マイクロ波)の電力を大気圧プラズマヘッド2に印加するようにされている。また大気圧プラズマヘッド2には、導管7、マスフローメーター8、9及びバルブ10、11を介して放電ガス源12及び処理ガス源13がそれぞれ接続されている。なお、大気圧チャンバ1は図示していない適当なガス排出手段に接続されるポート14を備えている。
【0010】
また、大気圧チャンバ1には、固体レーザー装置15が大気圧プラズマヘッド2に並置して設けられている。この固体レーザー装置15はエキシマレーザ発生装置16で発生されたエキシマレーザを搬送系4上の基板3の表面に照射してアニ−ル処理するようにされている。
【0011】
大気圧プラズマヘッド2は、図2及び図3に詳細に示すように、ヘッド本体17を有し、このヘッド本体17に10本の互いに隣接して平行にのびる断面円形の通路18が設けられ、各通路18内には棒状電極19が同軸に配置されている。各棒状電極19は導線20及びマッチング回路装置5を介して高周波交番電源6に接続されている。なおヘッド本体17はアースされている。
【0012】
また、各通路5には、その軸線方向に沿って開口部すなわちノズル21が形成されている。そして各通路5には放電ガス源12及び処理ガス源13からバルブ10、11、マスフローメーター8、9及び導管7を介して放電ガス及び処理ガスが供給される。これにより棒状電極19と各通路18を画定しているヘッド本体17との間の放電によってプラズマが生成され、図2に符号22で示すようにそれぞれのノズル21を介して大気圧チャンバ1内の処理すべき基板3に向って放出され、基板3の通過領域に平面状の一様なプラズマ領域が形成される。
【0013】
このように構成した図示装置の動作について説明する。
大気圧プラズマヘッド2における電極に高周波交番電源6から13.56MHz、1kWの交番電力を印加し、放電ガス源12及び処理ガス源13からバルブ10、11及びマスフローメーター8、9を介してHeガス、SiH4をそれぞれ流量150slm、3slmに調整して混合し、導管6を通って大気圧プラズマヘッド2に導入し、複数のガスノズル21から吹出させ、石英基板3に作用するガスをプラズマで解離させ、水素化シリコン膜を厚さ240μmまで処理した。直径300mmの石英基板4枚の処理に要した時間は4分であった。
【0014】
比較例として、単一ヘッドを用いて、上記と同じ条件で処理した場合には 基板3を厚さ240μmまで処理するのに要した時間は60分であった。その比較結果を表1に示す。
【0015】
表1
この表からわかるように図示構造の装置はプラズマ処理に関して従来方式のものに比べて15倍の処理速度が得らる。
【0016】
次に、大気圧プラズマヘッド2を用いてプラズマ処理した基板に対して連続してアニ−ル処理する実施例について説明する。
基板温度400℃で膜厚1500オングストロームのアモルファスシリコン膜に固体レーザー装置15を用いてエネルギー密度300mJ/cm2のエキシマレーザー(波長193nm、パルス幅17msec、レーザービームサイズ150X3mm)を照射した。その結果、最大粒径約5000オングストロームのポリシリコン膜ができた。nチャネルのキャリア移動度は210〜180cm2/Vsecであり、pチャネルののキャリア移動度は105〜80cm2/Vsecであった。
【0017】
ところで、図示処理装置においては大気圧プラズマヘッド2はヘッド本体17に10本の互いに隣接して平行にのびる断面円形の通路18を設けた構成としているが、平面状プラズマを形成できる構造であれば任意の他の形式のものを使用することができる。
【0018】
ところで、本発明は、エッチング、CVD、ドーピング、酸化・窒化、クリーニング、アッシング、表面改質、接合等に応用できる。
【0019】
また図1〜図3に示す実施の形態では、単一ヘッド本体に10本のガス放出ノズルを設けているが、複数のヘッド本体に別個にヘッドを設けることも可能である。
【0020】
さらに、図示実施の形態では、大気圧プラズマヘッド及び固体レーザー装置を固定配置し、プラズマ処理すべき基板を移動するように構成しているが、代わりに、大気圧プラズマヘッド及び固体レーザー装置を移動可能にし、基板を静止配置するようにすることもできる。
【0021】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明によれば、大気圧チャンバ内に大気圧プラズマヘッドを処理すべき基板に対向して配置し、大気圧チャンバ内に放電ガスと処理ガスを供給して安定した大気圧プラズマを発生させ、基板をプラズマ処理し、大気圧プラズマヘッドに印加される電力の励起周波数が100kHz〜2.45GHzであり、また大気圧プラズマヘッドが平面状プラズマを形成できるように複数ヘッド型に構成され、さらに、大気圧プラズマヘッドに並置してプラズマ処理にした基板にレーザー光を照射する固体レーザー装置を設けているので、基板のプラズマ処理及び改質処理を効率的にしかも連続して行うことができ、その結果、基板の処理コストを大幅に低減できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態による大気圧下での基板の連続処理装置の構成を示す概略線図。
【図2】図1に示す装置における大気圧プラズマへツドの構造を示す概略横断面図。
【図3】図2の矢印A−Aに沿った概略縦断面図。
【符号の説明】
1:大気圧チャンバ
2:大気圧プラズマヘッド
3:処理すべき基板
4:搬送系
5:マッチング回路装置
6:高周波交番電源
7:導管
8:マスフローメーター
9:マスフローメーター
10:バルブ
11:バルブ
12:放電ガス源
13:処理ガス源
14:ポート
15:固体レーザー装置
16:エキシマレーザ発生装置
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ディスプレイの製造や半導体の製造を含む電子素子の製造に用いられ得る大気圧下での基板の連続処理装置及び方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
大気圧プラズマ処理装置は、一般的には、大気圧チャンバ内に大気圧プラズマヘッドを処理すべき基板に対向して配置し、大気圧チャンバ内に放電ガス及び処理ガスを供給して大気圧プラズマを発生させ、基板をプラズマ処理するように構成されている。
【0003】
従来の大気圧プラズマ処理装置では、通常単一のプラズマヘッドが設けられ、線状のプラズマを発生させ、被処理物を何回も往復させることにより処理している。そのため、処理時間が非常に長くなり、処理の効率が悪く、しかも処理コストが高くつくという問題がある。
【0004】
また、このようなプラズマ処理した基板は通常改質処理が必要なため、別個に用意したアニ−ル処理装置に入れ、処理している。しかし、プラズマ処理した基板を別個のアニ−ル処理装置で処理することは、それに使用する装置が大掛かりとなるだけでなく、作業に手間がかかり、処理効率及び作業効率の上で問題がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は、プラズマ処理から改質処理までの一連の基板処理を大気圧下で効率良く連続して実施できる大気圧下での基板の連続処理装置及び方法を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明による大気圧下での基板の連続処理装置は、大気圧チャンバ内に大気圧プラズマヘッドを処理すべき基板に対向して配置し、大気圧チャンバ内に放電ガスと処理ガスを供給して安定した大気圧プラズマを発生させ、基板をプラズマ処理し、大気圧プラズマヘッドに印加される電力の励起周波数が100kHz〜2.45GHzであり、また大気圧プラズマヘッドが平面状プラズマを形成できるように複数ヘッド型に構成され、さらに、大気圧プラズマヘッドに並置してプラズマ処理にした基板にレーザー光を照射する固体レーザー装置を設けたことを特徴としている。
【0007】
本発明による装置においては、好ましくは、大気圧プラズマヘッド及び固体レーザー装置に対して処理すべき基板を連続して移動できるように構成され得る。
【0008】
また、本発明による大気圧下での基板の連続処理方法は、大気圧チャンバ内において、複数ヘッド型の大気圧プラズマヘッドを用い放電ガスと処理ガスを供給して大気圧プラズマを発生させ、基板をプラズマ処理し、引き続いて固体レーザー装置を用い、プラズマ処理した基板にレーザー光を照射して表面のアニールを行うことを特徴としている。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下添付図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1は本発明の一実施の形態による大気圧下での基板の連続処理装置を示している。図示装置において、1は大気圧チャンバで、この大気圧チャンバ1内には、大気圧プラズマヘッド2が処理すべき基板3の通過領域に対向して配置されている。処理すべき基板3は搬送系4上を所定の方向に連続して搬送され得る。大気圧プラズマヘッド2はマッチング回路装置5を介して高周波交番電源6に接続されている。高周波交番電源6は励起周波数100kHz〜2.45GHz(マイクロ波)の電力を大気圧プラズマヘッド2に印加するようにされている。また大気圧プラズマヘッド2には、導管7、マスフローメーター8、9及びバルブ10、11を介して放電ガス源12及び処理ガス源13がそれぞれ接続されている。なお、大気圧チャンバ1は図示していない適当なガス排出手段に接続されるポート14を備えている。
【0010】
また、大気圧チャンバ1には、固体レーザー装置15が大気圧プラズマヘッド2に並置して設けられている。この固体レーザー装置15はエキシマレーザ発生装置16で発生されたエキシマレーザを搬送系4上の基板3の表面に照射してアニ−ル処理するようにされている。
【0011】
大気圧プラズマヘッド2は、図2及び図3に詳細に示すように、ヘッド本体17を有し、このヘッド本体17に10本の互いに隣接して平行にのびる断面円形の通路18が設けられ、各通路18内には棒状電極19が同軸に配置されている。各棒状電極19は導線20及びマッチング回路装置5を介して高周波交番電源6に接続されている。なおヘッド本体17はアースされている。
【0012】
また、各通路5には、その軸線方向に沿って開口部すなわちノズル21が形成されている。そして各通路5には放電ガス源12及び処理ガス源13からバルブ10、11、マスフローメーター8、9及び導管7を介して放電ガス及び処理ガスが供給される。これにより棒状電極19と各通路18を画定しているヘッド本体17との間の放電によってプラズマが生成され、図2に符号22で示すようにそれぞれのノズル21を介して大気圧チャンバ1内の処理すべき基板3に向って放出され、基板3の通過領域に平面状の一様なプラズマ領域が形成される。
【0013】
このように構成した図示装置の動作について説明する。
大気圧プラズマヘッド2における電極に高周波交番電源6から13.56MHz、1kWの交番電力を印加し、放電ガス源12及び処理ガス源13からバルブ10、11及びマスフローメーター8、9を介してHeガス、SiH4をそれぞれ流量150slm、3slmに調整して混合し、導管6を通って大気圧プラズマヘッド2に導入し、複数のガスノズル21から吹出させ、石英基板3に作用するガスをプラズマで解離させ、水素化シリコン膜を厚さ240μmまで処理した。直径300mmの石英基板4枚の処理に要した時間は4分であった。
【0014】
比較例として、単一ヘッドを用いて、上記と同じ条件で処理した場合には 基板3を厚さ240μmまで処理するのに要した時間は60分であった。その比較結果を表1に示す。
【0015】
表1
この表からわかるように図示構造の装置はプラズマ処理に関して従来方式のものに比べて15倍の処理速度が得らる。
【0016】
次に、大気圧プラズマヘッド2を用いてプラズマ処理した基板に対して連続してアニ−ル処理する実施例について説明する。
基板温度400℃で膜厚1500オングストロームのアモルファスシリコン膜に固体レーザー装置15を用いてエネルギー密度300mJ/cm2のエキシマレーザー(波長193nm、パルス幅17msec、レーザービームサイズ150X3mm)を照射した。その結果、最大粒径約5000オングストロームのポリシリコン膜ができた。nチャネルのキャリア移動度は210〜180cm2/Vsecであり、pチャネルののキャリア移動度は105〜80cm2/Vsecであった。
【0017】
ところで、図示処理装置においては大気圧プラズマヘッド2はヘッド本体17に10本の互いに隣接して平行にのびる断面円形の通路18を設けた構成としているが、平面状プラズマを形成できる構造であれば任意の他の形式のものを使用することができる。
【0018】
ところで、本発明は、エッチング、CVD、ドーピング、酸化・窒化、クリーニング、アッシング、表面改質、接合等に応用できる。
【0019】
また図1〜図3に示す実施の形態では、単一ヘッド本体に10本のガス放出ノズルを設けているが、複数のヘッド本体に別個にヘッドを設けることも可能である。
【0020】
さらに、図示実施の形態では、大気圧プラズマヘッド及び固体レーザー装置を固定配置し、プラズマ処理すべき基板を移動するように構成しているが、代わりに、大気圧プラズマヘッド及び固体レーザー装置を移動可能にし、基板を静止配置するようにすることもできる。
【0021】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明によれば、大気圧チャンバ内に大気圧プラズマヘッドを処理すべき基板に対向して配置し、大気圧チャンバ内に放電ガスと処理ガスを供給して安定した大気圧プラズマを発生させ、基板をプラズマ処理し、大気圧プラズマヘッドに印加される電力の励起周波数が100kHz〜2.45GHzであり、また大気圧プラズマヘッドが平面状プラズマを形成できるように複数ヘッド型に構成され、さらに、大気圧プラズマヘッドに並置してプラズマ処理にした基板にレーザー光を照射する固体レーザー装置を設けているので、基板のプラズマ処理及び改質処理を効率的にしかも連続して行うことができ、その結果、基板の処理コストを大幅に低減できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態による大気圧下での基板の連続処理装置の構成を示す概略線図。
【図2】図1に示す装置における大気圧プラズマへツドの構造を示す概略横断面図。
【図3】図2の矢印A−Aに沿った概略縦断面図。
【符号の説明】
1:大気圧チャンバ
2:大気圧プラズマヘッド
3:処理すべき基板
4:搬送系
5:マッチング回路装置
6:高周波交番電源
7:導管
8:マスフローメーター
9:マスフローメーター
10:バルブ
11:バルブ
12:放電ガス源
13:処理ガス源
14:ポート
15:固体レーザー装置
16:エキシマレーザ発生装置
Claims (3)
- 大気圧チャンバ内に大気圧プラズマヘッドを処理すべき基板に対向して配置し、大気圧チャンバ内に放電ガスと処理ガスを供給して安定した大気圧プラズマを発生させ、基板をプラズマ処理するように構成した装置において、大気圧プラズマヘッドに印加される電力の励起周波数が100kHz〜2.45GHzであり、また大気圧プラズマヘッドが平面状プラズマを形成できるように複数ヘッド型に構成され、さらに、大気圧プラズマヘッドに並置してプラズマ処理にした基板にレーザー光を照射する固体レーザー装置を設けたことを特徴とする大気圧下での基板の連続処理装置。
- 大気圧プラズマヘッド及び固体レーザー装置に対して処理すべき基板を連続して移動できるように構成したことを特徴とする請求項1に記載の大気圧下での基板の連続処理装置。
- 大気圧チャンバ内において、複数ヘッド型の大気圧プラズマヘッドを用い放電ガスと処理ガスを供給して大気圧プラズマを発生させ、基板をプラズマ処理し、引き続いて固体レーザー装置を用い、プラズマ処理した基板にレーザー光を照射して表面のアニールを行うことを特徴とする大気圧下での基板の連続処理方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002183285A JP2004031511A (ja) | 2002-06-24 | 2002-06-24 | 大気圧下での基板の連続処理装置及び方法 |
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JP2004031511A true JP2004031511A (ja) | 2004-01-29 |
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2002
- 2002-06-24 JP JP2002183285A patent/JP2004031511A/ja active Pending
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