JP2004031466A - プラズマ処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反応性ガスをプラズマ化するとともに試料に高周波電圧を印加して、試料に形成された絶縁膜をエッチングする際に、エッチングガスとして反応性ガスにAr+CH4 ガスを添加したガスを用いる。また、エッチングガスをプラズマ化するUHF出力を変えてテーパ形状となるホール加工の形状を制御する。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はプラズマ処理方法に係り、特にプラズマを用いて半導体素子などの試料をエッチング処理するのに好適なプラズマ処理方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
プラズマを用いてエッチング処理する場合、処理ガスを電離し活性化することで処理の高速化を図り、また被処理材に高周波バイアス電力を供給してプラズマ中のイオンを被処理材に垂直に入射させることで、異方性形状などの高精度エッチング処理を実現している。従来のプラズマ処理方法は、特に高アスペクト比のホール加工を行う際、H. Hayashi:1996 DPS p135に記載のように、エッチングガスとしてのAr,O2,CxFy(例えばC4F8,C5F8,C3F8,C4F6等)にCOを添加し、エッチング処理を行う方法が知られていた。
【0003】
なお、この種の技術に関連するものとして、例えば、特開2001−77084号公報が挙げられる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の処理条件では、COガス流量の増加に伴いプラズマ密度が減少し、高エッチングレートおよび高マスク選択比を維持することが困難になるという問題があった。すなわち、本発明等の実験によれば、図2に示すように、CO流量を増加させると、PRレートが低下し選択比が増加するが、CO流量の増加に伴い酸化膜であるTEOSのレートも低下し、高エッチングレートおよび高マスク選択比を両立させることができなかった。
【0005】
本発明の目的は、高アスペクト比のエッチングにおいて、高エッチングレートで、高いマスク選択比を実現可能なプラズマ処理方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、絶縁膜をエッチングするための反応性ガスにCH4(Ar希釈)を添加ガスとして用いることにより達成される。これにより、添加ガス流量増加に対するプラズマ密度の減少が抑制され、かつデポラジカルを効率的に生成できるので、高エッチングレートで高いマスク選択比を得ることが可能となる。
【0007】
また、本発明は、低電力で解離するデポ性の添加ガスを用い、プラズマ化用の電力の出力を制御してエッチャントである反応性ガスによるラジカルの解離度を調整することを特徴とし、マスクの高選択性を維持してエッチング速度を制御する、また、マスクの高選択性を維持してエッチング形状を制御する。
【0008】
また、本発明は、デポ膜の付着を一定にし、プラズマ中のイオンの試料への入射エネルギを制御する、またはエッチングガスのラジカル量を制御する、またはプラズマ中のイオンの試料への入射エネルギ及びエッチングガスのラジカル量を制御することを特徴とし、マスクの高選択性を維持してエッチング速度を制御する、また、マスクの高選択性を維持してエッチング形状を制御する。
【0009】
【発明の実施の形態】
[実施例1]
以下、本発明の一実施例を図1から図7を用いて説明する。図1は、本発明を適用するプラズマ処理装置の一例であるエッチング装置の縦断面図である。真空容器101の上部には、導電体でなる平板上のアンテナ電極103,電磁波を透過可能な誘電体窓104が気密に設けられ、真空容器101内部に処理室が形成される。真空容器101の外周部には、磁場発生コイル105が設けてある。アンテナ電極103はエッチングガスを流すため、多孔構造となっており、ガス供給装置107が接続されている。また、真空容器101の下部には真空排気口
106を介して真空排気装置(図示省略)が接続されている。
【0010】
アンテナ電極103上部には同軸線路108が設けられ、フィルタ109,整合器110を介してプラズマ生成用の高周波電源111(例えば、周波数450MHz)が接続されている。またアンテナ電極103には、同軸線路108,フィルタ112,整合器113を介してアンテナバイアス電源114(例えば、周波数800kHz)が接続されている。ここでフィルタ109は、高周波電源
111からの高周波電力を通過させ、アンテナバイアス電源114からのバイアス電力を効果的にカットする。フィルタ112はアンテナバイアス電源114からのバイアス電力を通過させ、高周波電源111からの高周波電力を効果的にカットする。
【0011】
真空容器101内の下部には、被処理材116を配置可能な基板電極115が設けられている。基板電極115にはフィルタ117,整合器118を介して基板バイアス電源119(例えば、周波数800kHz)が接続されている。また、基板電極115にはフィルタ120を介して被処理材116を静電吸着させるための静電チャック電源121が接続されている。ここでフィルタ117は、基板バイアス電源119からのバイアス電力を通過させ、高周波電源111からの高周波電力を効果的にカットする。通常、高周波電力はプラズマ中で吸収されるため基板電極115側へ流れることはないが、電源動作の安全のためフィルタ
117を設けてある。フィルタ120は静電チャック電源121からのDC電力を通過させ、高周波電源111,アンテナバイアス電源114,基板バイアス電源119からの電力を効果的にカットする。
【0012】
アンテナバイアス電源114と基板バイアス電源119は位相制御器122に接続されており、アンテナバイアス電源114および基板バイアス電源119から出力する高周波の位相を制御可能となっている。この場合アンテナバイアス電源114と基板バイアス電源119の周波数は同一周波数とした。
【0013】
位相制御器122は、アンテナバイアス電源114側のフィルタ112と整合器113との間および基板バイアス電源119側のフィルタ117と整合器118との間からそれぞれ電圧波形を取り込み、それぞれの電圧波形の位相が180°±45°以内の所望の位相差になるように、アンテナバイアス電源114と基板バイアス電源119とに位相をずらした小振幅の信号を出力する。この場合のアンテナバイアス電源114および基板バイアス電源119はアンプ機能を有するのみで良い。
【0014】
上記のように構成された装置において、処理室内部を真空排気装置(図示省略)により減圧した後、ガス供給装置107によりエッチングガスを処理室内に導入し、所望の圧力に調整する。高周波電源111より発振された、例えば、周波数450MHzの高周波電力は同軸線路108を伝播し、アンテナ電極103および誘電体窓104を介して処理室内に導入される。処理室内に導入された高周波電力による電界は、磁場発生コイル105(例えば、ソレノイドコイル)により処理室内に形成された磁場との相互作用により、処理室内に高密度プラズマを生成する。また、アンテナバイアス電源114より高周波電力(例えば、周波数
800kHz)が、同軸線路108を介してアンテナ電極103に供給される。
また基板電極115に載置された被処理材116は、基板バイアス電源119より高周波電力(例えば、周波数800kHz)が供給され、表面処理(例えばエッチング処理)される。この場合、アンテナバイアス電源と基板バイアス電源との位相差は180°とした。
【0015】
アンテナバイアス電源114によってアンテナ電極103に高周波電圧を印加することにより、アンテナ電極に所望の材料を用いた場合、該材料とプラズマ中のラジカルとが反応し、生成されるプラズマの組成を制御できる。例えば、酸化膜エッチングの場合、アンテナ電極103の材料にSiを用いることによって、酸化膜のエッチング特性、特にSiO2 /PR(フォトレジスト)選択比等に影響するプラズマ中のFラジカル量を減少させることが可能になる。
【0016】
本構成の装置では、主として450MHzの高周波電源111によってプラズマを生成し、アンテナバイアス電源114によってプラズマ組成を制御し、基板バイアス電源119によってプラズマ中のイオンの被処理材116への入射エネルギを制御している。このような装置では、プラズマ生成(イオン量)とプラズマ組成(ラジカル濃度比)を独立に制御できるというメリットがある。
【0017】
従来SiO2 の薄膜にコンタクトホールを形成する場合、マスクであるフォトレジスト(PR)に対し選択的にエッチングを行うため、エッチングガスであるAr,O2 ,CxFy(例えばC4F8,C5F8,C3F6,C4F6等)にCOを添加しエッチングを行っていた。M. Izawa et.al.:1999 DPS p291に記載のように、コンタクトホールのようにアスペクト比が高い穴加工では、付着係数の低いラジカル例えばCF2 が穴底部まで到達するが、付着係数の高いCやC2 はマスク上に選択的に堆積する。COを添加することによりこれらCや
C2 を供給することが可能であり、マスク上に選択的に保護膜を形成し、フォトレジストのエッチレートを低減することが可能である。図2は供給するCO流量と酸化膜(TEOS膜),PR膜エッチングレートおよびマスク選択比との関係を示す。ここでエッチングガスはC5F8を使用した。図2の左縦軸はエッチングレートを、右縦軸は選択比をそれぞれ示し、横軸はCO流量を示す。図2によればCO流量を増加させると、PRレートは低下し、選択比が増加している。しかし、CO流量の増加に伴いTEOSレートも低下している。
【0018】
次に添加ガスとしてCH4(Ar希釈)を用いた場合のAr+CH4 流量と酸化膜(TEOS膜),PR膜エッチングレートおよび選択比との関係を図3に示す。図3の左縦軸はエッチングレートを、右縦軸は選択比をそれぞれ示し、横軸はAr+CH4 流量を示す。ここでCH4 のArに対する希釈率は4%(NRガス)とした。図3によれば、Ar+CH4 流量を増加させると、PRレートが低下し選択比が増加する。ここで全ガス流量は1000ml/minであり、Ar+CH4流量を全流量の10%以上とすることにより、効果的にPRレートを低減させることができることがわかる。高エッチングレート及び高選択比を両立させる点からは、20%程度が好まししい。
【0019】
図4は、添加ガスとしてCOとAr+CH4 を用いた場合の電極のピーク・トゥ・ピーク(Vpp)電圧と添加ガス流量との関係を示す。図4の縦軸は電極
Vpp電圧を示し、横軸は添加ガス流量を示す。また図中○印は添加ガスとしてCOを用いた場合を示し、●印はAr+CH4 を用いた場合を示す。このとき電極に供給する基板バイアス電力は一定とした。この場合、電極Vpp電圧は、プラズマのインピーダンスおよびプラズマ密度に反比例する。つまり、COガスを用いた場合には、CO流量を増加させると共にプラズマ密度が減少する。このため図2に示したように、TEOSエッチングレートが減少する。一方Ar+CH4を用いた場合には、Ar+CH4 流量増加に伴うプラズマ密度への影響が少ないため、TEOSエッチングレートもほぼ一定である。
【0020】
したがって添加ガスとして、COを用いた場合よりも、Ar+CH4 を用いた場合の方が、高レートで高選択比と両立するエッチング加工が可能である。
【0021】
また一般に、T. Sakai:1993 DPS p193記載のように、エッチングガスにCxFyを使用した高アスペクト比のホール加工において、高選択比を実現するにはCF2 密度を増加することが望ましい。図5に、エッチングガス
Ar,O2 ,C5F8,添加ガスCOを用いた場合の、CF2 発光強度とUHF出力との関係を示す。図5の縦軸はCF2 発光強度でありCF2 密度と相関する。横軸はUHF出力を示す。図5によれば、UHF出力の増加に伴いCF2密度が減少する。UHF出力を増加させることにより、図2に示したTEOSレートの減少分を補うことが可能であるが、高選択なエッチングを行う上で必要なCF2 密度が低下してしまうことが分かる。このため、より低UHF出力でPRレートを抑制することができるAr+CH4 を添加ガスとして用いた方が有利である。
【0022】
Ar+CH4 を用いた場合には、ホール内にもデポが付着するため、ホール加工形状は図6に示すようなテーパ形状となる。図6においてマスク601は例えば、フォトレジスト膜、被処理材602は例えば、TEOS膜とする。この時加工形状のテーパ度を示すa/b比(底部穴径/マスク境界穴径比)とUHF出力の関係を図7に示す。図7によればUHF出力を増加させると、a/b比が増加する(ホール形状が垂直化する)ことがわかる。これは高出力UHFを投入することによりエッチングガスの解離が進み、Fラジカルが多く発生するためと考えられる。このように添加ガスとしてAr+CH4 を用いた場合には、ホール形状がテーパ化し、そのテーパの程度をUHF出力を増減させることにより制御することが可能である。これらの特性はセルフアラインコンタクト(SAC)等の加工を行う際のマスク選択比向上に有効である。すなわち、CH4 ガスは、結合エネルギがCOに比べ小さいので小エネルギで解離でき、低UHF出力でもCH4 ガスを解離することができる。これにより、デポ膜を低UHF出力の範囲から形成でき、UHF出力の増減でエッチャントだけのラジカルの解離度を調整できるので、エッチング形状の制御が容易になる。
【0023】
また、COガスを添加した場合、処理室内に多量のC原子が供給されるため、処理室内壁にC系のデポ膜が形成され、異物が発生する可能性があった。Ar+CH4 を用いた場合には、COガスを用いた場合に比べて、レジスト表面にデポ膜が効率よく形成されるため、投入するC原子数が少なく、処理室内壁に過剰なC系デポが付着しない。そのためAr+CH4 を用いた場合の方が異物低減に対しても有効である。
【0024】
上記実施例では基板へのイオンの引き込み効率の高い方法である、アンテナバイアス電源114(例えば、周波数800kHz)が基板バイアス電源119
(例えば、周波数800kHz)が位相制御された場合について述べたが、上下バイアス電源の位相制御を行わず、例えばアンテナバイアス電源114の周波数13.56MHz の場合でも同様の効果がある。また、上記実施例ではUHF−ECRエッチング装置について述べたが、2周波放電,マグネトロン放電,誘導結合型放電(ICP,TCP),磁気中性線放電(NLD),RIE等の、他のプラズマ処理装置においても同様の効果がある。
【0025】
【発明の効果】
高アスペクト比のホール加工プロセスにおいて、添加ガスとしてAr+CH4 を用いることにより、高エッチングレートと高マスク選択比を両立する効果がある。また、ホール加工形状がテーパ形状となるが、UHF出力により容易にホール形状を制御できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のプラズマ処理方法を適用するエッチング装置の一実施例を示す縦断面図である。
【図2】従来のプロセスを図1の装置で実施したときのエッチングレートとCO添加量との関係を示す特性図である。
【図3】本発明のプロセスを図1の装置で実施したときのエッチングレートとAr+
CH4 添加量との関係を示す特性図である。
【図4】図1の装置において、添加ガスとしてCOを用いた場合とAr+CH4 を用いた場合の電極Vppとその添加ガス流量との関係を示す特性図である。
【図5】図1の装置において、CF2 発光強度とUHF出力との関係を示す特性図である。
【図6】ホール加工形状を示す縦断面図である。
【図7】本発明におけるホールテーパ度合(底部穴径/マスク境界部穴径)とUHF出力との関係を示す特性図である。
【符号の説明】
101…真空容器、103…アンテナ電極、104…誘電体窓、105…磁場発生コイル、106…真空排気口、107…ガス供給装置、108…同軸線路、109,112,117,120…フィルタ、110,113,118…整合器、111…高周波電源、114…アンテナバイアス電源、115…基板電極、
116…被処理材、119…基板バイアス電源、121…静電チャック電源、
122…位相制御器、601…フォトレジスト膜、602…TEOS膜、603…Si基板。
Claims (11)
- 反応性ガスをプラズマ化するとともに試料に高周波電圧を印加して、前記試料に形成された絶縁膜をエッチング処理するプラズマ処理方法において、前記反応性ガスにCH4 ガスを添加した混合ガスをエッチングガスとして用いることを特徴とするプラズマ処理方法。
- 請求項1記載のプラズマ処理方法において、該絶縁膜が酸化膜であり、フォトレジストをマスクとして用いるプラズマ処理方法。
- 請求項1記載のプラズマ処理方法において、前記CH4 ガスにHe,Ar,
Ne,Xe等の希ガスで希釈されたガスを用いるプラズマ処理方法。 - 請求項3記載のプラズマ処理方法において、前記CH4 ガスをArで希釈し、前記Arに対するCH4 ガス濃度を4%または10%にするプラズマ処理方法。
- 請求項1記載のプラズマ処理方法において、前記CH4 ガスをArで希釈し、該希釈されたCH4 ガスの流量を全エッチングガス流量の10%以上にするプラズマ処理方法。
- 請求項2記載のプラズマ処理方法において、前記酸化膜のエッチングはHARC
(High Aspect Ratio Contact)エッチングであるプラズマ処理方法。 - 請求項2記載のプラズマ処理方法において、前記酸化膜エッチングはセルフアラインコンタクトエッチングであるプラズマ処理方法。
- 請求項2記載のプラズマ処理方法において、前記試料に対向する電極にプラズマ生成用の高周波電力を印加し、前記プラズマ生成用の高周波電力よりも周波数が低い高周波電力を前記試料に供給し、前記プラズマ生成用の高周波電力出力を増減して、前記酸化膜の穴形状のテーパ度合を制御するプラズマ処理方法。
- 請求項8記載のプラズマ処理方法において、前記対向する電極に逆位相であって、前記試料への高周波電力と同一周波数の高周波電力を印加するプラズマ処理方法。
- 反応性ガスをプラズマ化するとともに試料に高周波電圧を印加して、前記試料をエッチング処理するプラズマ処理方法において、低電力で解離するデポ性のガスを添加し、プラズマ化用の電力の出力を制御して前記反応性ガスの解離を制御して、プラズマ中のラジカル量を調整することを特徴とするプラズマ処理方法。
- 反応性ガスをプラズマ化するとともに試料に高周波電圧を印加して、前記試料をエッチング処理するプラズマ処理方法において、前記反応性ガスにデポ性のガスを添加し、該添加ガスによるデポ膜の付着量を一定にし、前記試料へのプラズマ中のイオンの入射エネルギを制御することを特徴とするプラズマ処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002182322A JP2004031466A (ja) | 2002-06-24 | 2002-06-24 | プラズマ処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2004031466A true JP2004031466A (ja) | 2004-01-29 |
Family
ID=31178864
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2002182322A Pending JP2004031466A (ja) | 2002-06-24 | 2002-06-24 | プラズマ処理方法 |
Country Status (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006032908A (ja) * | 2004-06-16 | 2006-02-02 | Tokyo Electron Ltd | 半導体装置の製造方法 |
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2002
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US9647206B2 (en) | 2013-11-20 | 2017-05-09 | Tokyo Electron Limited | Method for etching layer to be etched |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050610 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20050610 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Effective date: 20060510 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070515 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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