JP2004022987A - 縦型拡散炉および拡散方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ボ−ト1に収納すべき複数の半導体基板を所定枚数ごとにオリフラ10aの向きを変えることによって、ボ−トの外周にオリフラが分散されオリフラによるガスの巻き込みが無くなり、ガスは一様に流れるようになる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造における半導体基板に酸化膜を形成したり、不純物を拡散する縦型拡散炉および拡散方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体装置の製造においては、半導体基板に多結晶シリコン膜、シリコン窒化膜や酸化膜を形成したり、不純物を拡散するのに縦型拡散炉が用いられていた。近年、半導体基板であるウェハの大型化に伴い成膜される膜厚が均一になるように種々の工夫および改善がなされてきた。
【0003】
図5は従来の一例を示す縦型拡散炉を示す図である。従来、この種の縦型拡散炉は、図5に示すように、結晶方位を示すオリエテ−ションフラット(以下オリフラと記す)がある半導体基板10をオリフラの向き揃えて積載する石英製のボ−ト1と、このボ−ト1を収納する炉心管2と、炉心管2内を加熱するヒ−タ3と、ボ−ト昇降装置4の上のボ−ト受け6に載せられたボ−ト1を回転させるボ−ト回転装置5と、炉心管2内に反応ガスを供給するガス導入管7と、炉心管2内の未反応ガスを排気する排気口6とを備えている。
【0004】
図6(a)および(b)は図5のボ−トを示す斜視図および縦断面図である。また、半導体基板を石英製のボ−トに装填する際に、図6に示すように、キャリア(図示せず)に予めオリフラ10aの向きを一方向に揃えた状態で収納されている。そして、付設の移載機(図示せず)によりキャリアから所定枚数の半導体基板10を例えば5枚づつ抜きとり、ボ−ト1のロッド1aの溝に収納しボ−ト1に半導体基板10を満載する。その結果、ボ−ト1に積載された半導体基板10のオリフラ10aの向きが一方向に揃った状態になる。
【0005】
図7は図5の拡散炉の動作状態を示す図である。図6のように、オリフラ10aを一定方向に向け半導体基板を積載したボ−ト1を炉心管2に収納し、図7に示すように、ヒ−タ3により半導体基板を加熱し、ガス導入管8から酸素ガスを含むプロセガスを導入する。
【0006】
そして、プロセスガスを炉心管2の上部から下方に流し、ボ−ト回転装置7によりボ−ト1を回転させながらプロセスガスを半導体基板に接触させ半導体基板に酸化膜を形成させる。一方、下方に流てくる未反応のプロセスガスは炉心管2の下方の排気口8から炉心管2外に排出される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、半導体基板に均一に酸化膜を形成するために、ボ−ト2を回転させるものの、酸化処理中にオリフラがある半導体基板を積載するボ−ト1を回転させると、半導体基板の外周縁にオリフラがなす窪みがあると同じ状態になり、この窪みをなすオリフラに反応ガスが巻き込まれる。その結果、オリフラ付近に反応ガスが停留し、オリフラ付近の半導体基板の酸化膜に厚さのばらつきが生じるという問題がある。
【0008】
従って、本発明の目的は、オリフラのある複数の半導体基板をボ−トに積載しても反応ガスの流れを一様にし半導体基板に形成される不純物膜を均一にすることができる縦型拡散炉および拡散方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の特徴は、上下のいずれかの端から上下方向に並べて積載されるべき半導体基板の所定枚数毎に前記半導体基板のオリエンテ−ションフラットの向きをなす角度を変えて複数の前記半導体基板を収納するボ−トと、このボ−トを収納する炉心管と、炉心管内の前記半導体基板を加熱するヒ−タと、前記ボ−トを回転させる回転装置と、前記炉心管内に反応ガスを供給するガス供給管とを備える縦型拡散炉である。
【0010】
また、前記所定枚数毎の半導体基板のオリエテ−ションフラットの向きをなす角度は一定の角度で変化することが望ましい。そして、好ましくは、前記半導体基板は、前記ボ−ドの内壁から突出する4個の突起物に支持されることである。
【0011】
本発明の第2の特徴は、オリエンテ−ションの向きが同じの複数の半導体基板を収納する複数のボ−トユニットと、それぞれのボ−トユニットに収納される前記半導体基板の前記オリエンテ−ションフラット向きを変えた状態で前記複数のボ−トユニットを積み重ねてなるボ−トと、このボ−トを収納する炉心管と、炉心管内の前記半導体基板を加熱するヒ−タと、前記ボ−トを回転させる回転装置と、前記炉心管内に反応ガスを供給するガス供給管とを備える縦型拡散炉である。
【0012】
また、上下に積み重ねられる前記ボ−トユニットにおいて、前記半導体基板が収納される溝を有する上側の2本のボ−トユニットのロッドの先端部が入り込む孔を有するリング状枠を下側のボ−トユニットに備え、前記上側のボ−トユニットに収納される半導体基板の前記オリエンテ−ションの向きと前記下側のボ−トユニットに収納される半導体基板のオリエンテ−ションの向きを互いに異なることが望ましい。
【0013】
本発明の第3の特徴は、前記第1の特徴の縦型拡散炉および前記第2の特徴の縦型拡散炉のいずれかの縦型拡散炉を用いて、半導体基板に酸素ガスを反応させ前記半導体基板に酸化膜を形成する拡散方法である。
【0014】
【発明の実施の形態】
次に、本発明について図面を参照して説明する。
【0015】
図1は本発明の一実施の形態の縦型拡散炉を説明するためのボ−トを示す図である。この縦型拡散炉におけるボ−ト1は、図1に示すように、上端から下方向に並べて積載されるべき半導体基板10の所定枚数毎に半導体基板10のオリフラ10aの向きをなす角度を変えて複数の半導体基板10を収納している。
【0016】
具体的には、半導体基板の所定枚数を、同じオリフラの向きを、例えば5枚とすれば、図1(b)に示すように、ボ−ト1の4本のロッド1aの最も上の溝1cから5番目の溝1cに入り込むA部の半導体基板10は5枚となる。そして、次段の5枚の半導体基板10のオリフラ10aはその向きを変えてボ−ト1に積載する。さらに、3段目の5枚の半導体基板10(B部)は次段のオリフラの向きと変えてボ−ト1に積載する。このように、所定枚数毎に、オリフラ10aの向きを変えてボ−ト1に半導体基板10を積載する。
【0017】
図2はボ−トに半導体基板を積載の一実施例を説明するためのボ−トの上面図である。ここで、オリフラの向きの変化について述べる。例えば、図2に示すように、オリフラ10aの向きが水平方向に対して0度に揃えた半導体基板10の5枚をボ−ト1の最も上の5つの溝1cに積載する。次に、オリフラ10aの向きが水平方向に対して45度に揃えた半導体基板10の5枚をボ−ト1の次の溝1cに積載する。同様にして、オリフラ10aの向きと水平方向となす角度が45度づつ変化する5枚置き毎に順次半導体基板10をボ−ト1に積載する。
【0018】
実際の半導体基板の装填方法は、半導体基板10のオリフラ10aを一方向に揃えた状態でボ−ト1に積載してから、オリフラを揃えた5枚置きにオリフラ10aの向きを一定の角度にマニアルで修正する。
【0019】
また、ボ−ト1に積載された半導体基板10は、ボ−ド1のロッド1aから突出する4個の突起部1bに支持されることが望ましい。特に、半導体基板10を回転させるとき半導体基板10が安定するために必要となる。さらに、突起部1bがオリフラ10aに対応する突起部1bは長くし、オリフラ10aの部分を支えることが望ましい。
【0020】
図3(a)および(b)は拡散炉内のガスの流れの状態を示す図である。次に、拡散炉による酸化処理の手順を説明する。まず、炉芯管内を窒素などの不活性ガスを充満させ、ヒ−タ3により所望の待機温度(700〜800度C)に保つ。次に、上述したオリフラの向き5枚置きに変えて半導体基板10を積載したボ−ト1をボ−ト受け6に載せ、ボ−ト1を炉芯管内に搬入する。
【0021】
その後、炉芯管内に酸素等のガスを供給し、炉内を処理温度に昇温する。この状態で、ボ−ト回転装置5によりボ−ト1を3乃至10rpmで回転させながら所定時間酸化処理を行う。半導体基板に酸化膜が形成された後、供給ガスを窒素等の不活性ガスに切替え、10分程度の熱処理の後、待機温度まで降温する。待機温度まで下がったらボ−ト2を炉芯管より搬出させ、ボ−トから半導体基板を取り出し一連の処理を終了する。
【0022】
ここで、オリフラを同一方向に向け半導体基板をボ−トに積載して処理する従来方法に比べると、この方法は、オリフラがボ−ト1の外周に分散されており、上下に積載される半導体基板がほぼ円筒形に形成されている。このことにより、図3(b)に示すように、オリフラで形成される窪みにガスが巻き込まれることなくガスの流れは一様となり、半導体基板の酸化濃度が均一となり、良好な膜厚均一性を得ることができる。
【0023】
図4(a)および(b)は本発明の他の実施の形態の縦型拡散炉を説明するためのボ−トを示す図である。この縦型拡散炉におけるボ−トは、図4に示すように、複数のボ−トユニット12a,12b,12cから構成されている。すなわち、背の高いボ−トを複数に等分に分割したことである。そして、それぞれのボ−トユニット12a,12b,12cに積載されている半導体基板10のオリフラ10aの向きが異なっている。
【0024】
簡単に説明するために、図面では3個のボ−トユニットで示しているが、従来のボ−トを所定枚数収納する等しい高さのボ−トユニットの数に分割すれば良い。分割されたボ−トユニット12aには、X方向にオリフラ10aの面が垂直になるように5枚の半導体基板10が積載されている。また、ボ−トユニット12bには、オリフラ10aの面がX方向から45度傾いた状態で5枚の半導体基板10が積載されている。さらに、ボ−トユニット12cには、オリフラ10aの面がX方向に対して垂直状態で5枚の半導体基板10が積載されている。
【0025】
このように、オリフラ10aの向きが異なる半導体基板の複数枚を収納するボ−トユニット12a,12b,12cを積み上げてボ−トとして完成する。また、ボ−トユニットが位置ずれしないように、二本のロッド1aの先端のピン部13が、予め開けられたリング状枠11の孔14に挿入されることが望ましい。
【0026】
なお、半導体基板10をそれぞれのボ−トユニット12a,12b,12cに収納する場合、ウェハ移載機を使用して、オリフラが一方向に向け収納されたキャリアから必要枚数を抜き取り、それぞれのボ−トユニット12a,12b,12cに収納し、半導体基板10を満載したボ−トユニット12a,12b,12cを積み重ねればリング状枠11の孔14とロッド1aのピン部13とにより自動的にオリフラの向きが設定される。前述の実施の形態のようにボ−トに積載してから、オリフラの向きを修正する必要がなく、作業が簡単に済むという利点がある。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、ボ−トに収納された複数の半導体基板を所定枚数ごとにオリフラの向きを変えることによって、ボ−トの外周にオリフラが分散されオリフラによるガスの巻き込みが無くなり、ガスは一様に流れ、半導体基板の酸化濃度が均一となり、良好な膜厚均一性を得ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の縦型拡散炉を説明するためのボ−トを示す図である。
【図2】ボ−トに半導体基板を積載の一実施例を説明するためのボ−トの上面図である。
【図3】拡散炉内のガスの流れの状態を示す図である。
【図4】本発明の他の実施の形態の縦型拡散炉を説明するためのボ−トを示す図である。
【図5】従来の一例を示す縦型拡散炉を示す図である。
【図6】図5のボ−トを示す斜視図および縦断面図である。
【図7】図5の拡散炉の動作状態を示す図である。
【符号の説明】
1 ボ−ト
1a ロッド
1b 突起部
1c 溝
2 炉芯管
3 ヒ−タ
4 ボ−ト昇降装置
5 ボ−ト回転装置
6 ボ−ト受け
7 ガス導入管
8 排気口
10 半導体基板
10a オリフラ
11 リング状枠
12a,12b,12c ボ−トユニット
13 ピン部
14 孔
Claims (6)
- 上下のいずれかの端から上下方向に並べて積載されるべき半導体基板の所定枚数毎に前記半導体基板のオリエンテ−ションフラットの向きをなす角度を変えて複数の前記半導体基板を収納するボ−トと、このボ−トを収納する炉心管と、炉心管内の前記半導体基板を加熱するヒ−タと、前記ボ−トを回転させる回転装置と、前記炉心管内に反応ガスを供給するガス供給管とを備えることを特徴とする縦型拡散炉。
- 前記所定枚数毎の半導体基板のオリエテ−ションフラットの向きをなす角度は一定の角度で変化することを特徴とする請求項1記載の縦型拡散炉。
- 前記半導体基板は、前記ボ−ドのロッドから内側に突出する4個の突起物に支持されることを特徴とする請求項1または請求項2記載の縦型拡散炉。
- オリエンテ−ションの向きが同じの複数の半導体基板を収納する複数のボ−トユニットと、それぞれのボ−トユニットに収納される前記半導体基板の前記オリエンテ−ションフラット向きを変えた状態で前記複数のボ−トユニットを積み重ねてなるボ−トと、このボ−トを収納する炉心管と、炉心管内の前記半導体基板を加熱するヒ−タと、前記ボ−トを回転させる回転装置と、前記炉心管内に反応ガスを供給するガス供給管とを備えることを特徴とする縦型拡散炉。
- 上下に積み重ねられる前記ボ−トユニットにおいて、前記半導体基板が収納される溝を有する上側の2本のボ−トユニットのロッドの先端部が入り込む孔を有するリング状枠を下側のボ−トユニットに備え、前記上側のボ−トユニットに収納される半導体基板の前記オリエンテ−ションの向きと前記下側のボ−トユニットに収納される半導体基板のオリエンテ−ションの向きを互いに異なることを特徴とする請求項4記載の縦型拡散炉。
- 請求項1および請求項4のいずれかに記載の縦型拡散炉を用いて、半導体基板に酸素ガスを反応させ前記半導体基板に酸化膜を形成することを特徴とする拡散方法。
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- 2002-06-19 JP JP2002178884A patent/JP3960864B2/ja not_active Expired - Fee Related
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