JP2004012016A - 空気調和装置及びその運転方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】クリーンルームにおける暖房時の省エネルギを図り、外気温が零下マイナスの場合にも冷却コイルの破裂を回避する。
【解決手段】外気(OA)を第1冷却器14、加熱器16、加湿器18の順に通過させて温湿度を調整した調和空気をクリーンルーム100からの還気(RA)と混合し、第2冷却器20で冷却した後にクリーンルーム100に給気(SA)する空気調和装置10において、第1冷却器14と第2冷却器20とを連通配管50によって接続し、冷却水よりも温度が低い外気の暖房時に、第1冷却器14に通水させた後の冷却水を第2冷却器20に通水する。
【選択図】 図1
【解決手段】外気(OA)を第1冷却器14、加熱器16、加湿器18の順に通過させて温湿度を調整した調和空気をクリーンルーム100からの還気(RA)と混合し、第2冷却器20で冷却した後にクリーンルーム100に給気(SA)する空気調和装置10において、第1冷却器14と第2冷却器20とを連通配管50によって接続し、冷却水よりも温度が低い外気の暖房時に、第1冷却器14に通水させた後の冷却水を第2冷却器20に通水する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は空気調和装置及びその運転方法に係り、特にクリーンルーム用の空気調和装置及びその運転方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
クリーンルーム用の空気調和装置としては、外気を第1冷却器、加熱器、加湿器の順に通過させて温湿度を調整した調和空気をクリーンルームからの還気と混合し、第2冷却器で冷却した後に前記クリーンルームに給気するようにしたものが知られている。すなわち、半導体製造用などのクリーンルームにおいては、内部に設置した製造機器からの発熱が大きいので、年間を通してクリーンルームからの還気を冷却する必要がある。このため、クリーンルームからの還気を第2冷却器によって冷却した後に前記クリーンルームに給気するようにしている。また、換気のための外気については第1冷却器、加熱器、加湿器の順に通過させて予め温湿度を調整した後に前記クリーンルームからの還気と混合することで、第2冷却器に対して外気に起因する熱負荷を極力与えないように配慮している。
【0003】
このような、空気調和装置では、冷房時には第1冷却器に冷却水を通し、高温多湿な外気をこの第1冷却器に通過させることによって冷却減湿してクリーンルームの環境とほぼ同レベルの調和空気とする。その後、この調和した外気をクリーンルームからの還気と混合し、第2冷却器で冷却した後に前記クリーンルームに給気するようにしている。
また、暖房時には最前段の第1冷却器には冷却水を通水せず、外気は第1冷却器を単に通過するだけである。すなわち、暖房時には低温低湿な外気を加熱器で加温した後に、次段の加湿器で加湿してクリーンルームの環境とほぼ同レベルの調和空気とする。その後、冷房時と同様にこの調和した外気をクリーンルームからの還気と混合し、第2冷却器で冷却した後に前記クリーンルームに給気するようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように第1冷却器と第2冷却器とを具備したクリーンルーム用の空気調和装置にあっては、暖房時には第1冷却器が有効に利用されず、かえって、送風抵抗としてのみ作用し、無用の長物化する。また、厳寒期において外気温が零下マイナスの場合には使用されない第1冷却器のコイル内の滞留水が外気によって冷却され凍結することで、冷却コイルの破裂を招く場合がある。
本発明の目的はこのような従来技術の問題点を解消し、暖房時にも第1冷却器を有効に利用することができ、かつ、厳寒期において外気温が零下マイナスの場合にも冷却コイルの破裂を回避することが可能なクリーンルーム用の空気調和装置及びその運転方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明に係る第1の発明は、外気を第1冷却器、加熱器、加湿器の順に通過させて温湿度を調整した調和空気をクリーンルームからの還気と混合し、第2冷却器で冷却した後に前記クリーンルームに給気するようにしたクリーンルーム用の空気調和装置において、前記第1冷却器と第2冷却器とを連通配管によって接続し、前記連通配管を介して前記第1冷却器に通水させた後の冷却水を前記第2冷却器に通水可能とするか、又は前記第2冷却器に通水させた後の冷却水を前記第1冷却器に通水可能としたことを特徴とする。
【0006】
本発明に係る第2の発明は、前記第1の発明の空気調和装置において、前記連通配管に循環ポンプを配置し、冷却水を前記第1冷却器と前記第2冷却器との間で循環可能としたことを特徴とする。
【0007】
本発明に係る第3の発明は、前記第1の発明の空気調和装置を用い、前記冷却水よりも温度が低い外気の暖房時に、前記第1冷却器に通水させた後の冷却水を前記第2冷却器に通水するか、又は前記第2冷却器に通水させた後の冷却水を前記第1冷却器に通水することを特徴とする。
【0008】
本発明に係る第4の発明は、前記第2の発明の空気調和装置を用い、前記冷却水よりも温度が低い外気の暖房時に、前記第2冷却器に通水させた後の冷却水の少なくとも一部を前記第1冷却器と前記第2冷却器との間で循環させることを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1は本発明に係る空気調和装置の第1実施形態を示す装置構成図である。空気調和装置10は外気(OA)を導入する外気ダクト12と、調和した給気(SA)を送風機22によってクリーンルーム100に供給するための給気ダクト24と、クリーンルーム100からの還気(RA)を第2冷却器20の手前に導入するための還気ダクト26とを備える。空気調和装置10では外気ダクト12から導入した外気(OA)を第1冷却器14、加熱器16、加湿器18の順に通過させて温湿度を調整した空気をクリーンルーム100からの還気(RA)と混合し、第2冷却器20で冷却した後に、クリーンルーム100に給気(SA)として供給する。外気(OA)を予め給気(SA)とほぼ近似した温湿度に調和するので、第2冷却器20の冷却負荷は外気負荷をさほど考慮する必要がなく、主にクリーンルーム100での内部負荷に限られる。このため、第2冷却器20容量を小さくすることができ、かつ、システム全体の運転の安定化を図ることができる。なお、空気調和装置10に導入する外気(OA)の量が、クリーンルーム100から漏出又は強制排出される排気(EX)の量とバランスすることによって、クリーンルーム100での換気が図られる。
【0010】
第1冷却器14の冷却水入口には開閉弁30を備えた管路32が接続しており、冷熱源34から加圧された冷却水が供給可能とされる。また、第2冷却器の冷却水入口にも開閉弁36を備えた管路38が接続しており、冷熱源34の冷却水が供給可能とされる。第1冷却器14と第2冷却器20の冷却水出口には管路40,42が接続しており、熱交換後の冷却水をこれらの管路を介して冷熱源34に戻すようにされている。管路40には流量調節弁44が、管路42には流量調節弁46が設けられている。さらに、管路40と管路38とは開閉弁48を備えた連通配管50によって連通しており、第1冷却器14に通水させた後の冷却水を管路40、連通配管50、管路38の順に通して第2冷却器20に通水可能とされている。
【0011】
加熱器16には図示しない加熱源から温水又は蒸気が供給可能とされ、通過する外気を必要に応じて所望の温度に間接的に加熱することができる。また、加湿器18では適量の蒸気又は噴霧水を通過する外気に対して直接に吹き出し、外気の湿度が所望値となるように加湿することができる。加湿器18と第2冷却器20の中間には温度センサ52が、給気ダクト24には温度センサ54がそれぞれ設けられ、これらの温度センサの指示値が目標値となるように流量調節弁44と流量調節弁46の開度が制御可能とされる。
【0012】
次に、上記装置の運転方法について説明する。冷房時には主に2通りの方法が可能である。第1の方法は従来技術と同一の方法であり、開閉弁48を閉として連通配管50に冷却水を通さない方法である。すなわち、開閉弁30と開閉弁36の双方を開として、冷熱源34からの冷却水を第1冷却器14と第2冷却器20にそれぞれ独立に供給し、温度センサ52と温度センサ54の指示値がそれぞれ目標値となるように流量調節弁44と流量調節弁46の開度をそれぞれ制御する。この方法は第1冷却器14の冷却負荷が第2冷却器20に比べて小さいか、又は近似している時に有効である。第2の方法は開閉弁30を開、開閉弁36を閉、開閉弁48を開として、第1冷却器14に通水した冷却水の一部を連通配管50を介して第2冷却器20に通水する方法である。流量調節弁44と流量調節弁46の開度は、第1の方法と同様に温度センサ52と温度センサ54の指示値がそれぞれ目標値となるように制御される。この方法は第1冷却器14の冷却負荷が第2冷却器20に比べて十分に大きい時に有効である。すなわち、酷暑時など高温な外気の冷却のために第1冷却器14で多量に通水した熱交換後の冷却水の一部を冷却負荷が比較的小さい第2冷却器20に通水する。この方法によれば、第2冷却器20に流入する冷却水の温度が高くなるので冷却コイルの表面に結露が生じ難く、給気(SA)の湿度コントロールが容易となる。
【0013】
また、暖房時にも主に2通りの方法が可能である。第1の方法は従来技術と同一の方法であり、第1冷却器14には冷却水を通水せず、連通配管50の開閉弁48を閉として運転する。すなわち、低温な外気を加熱器16で加温し、必要に応じて加湿器18で加湿する。この温湿度を調整した外気をクリーンルーム100からの還気(RA)と混合し、第2冷却器20で冷却した後に、クリーンルーム100に給気(SA)として供給する。この方法は外気の温度が冷却水の供給温度(通常は7℃程度)よりも高いか、やや低い時に有効である。第2の方法は外気の温度が冷却水の入口温度よりも十分に低い時に有効な方法であり、第1冷却器14に通水した冷却水の全部を連通配管50を介して第2冷却器20に通水する方法である。すなわち、開閉弁30を開、開閉弁36を閉、流量調節弁44を全閉に固定して、第1冷却器14に通水した冷却水の全部を連通配管50を介して第2冷却器20に通水する。流量調節弁46の開度は、温度センサ54の指示値が目標値となるように制御される。この方法によれば、第1冷却器14では低温の外気が冷却水によって予備的に加熱され、逆に冷却水は低温の外気によって冷却される。このため、次段の加熱器16では予備的に加熱された外気を加熱すればよく、加熱負荷が低減し、省エネルギに寄与する。また、第2冷却器20では第1冷却器14で例えば供給温度(通常は7℃程度)に対して3℃程度までに冷却された冷却水が通水されるので、同一の冷却負荷に対する冷却水の通水量を少なくすることができ、省エネルギに寄与する。また、外気の温度が零下マイナスの場合にも、第1冷却器14には冷却水が常時流れているので、冷却水が凍結することがない。このため、厳寒時においても第1冷却器14での冷却コイルの破裂を確実に回避することができる。
【0014】
図2は本発明に係る空気調和装置の第2実施形態を示す要部構成図である。図2において、図1と同一の符号を付した要素は図1に示したものと同一の要素であり、同一の機能を有するものとする。また、図2は説明の便宜上、要部のみを示しており、第1冷却器14や第2冷却器20は図1に示された加熱器16やクリーンルーム100などと同一の位置関係にあるものとする。この第2実施形態では、前記第1実施形態の連通配管50に替えて、管路42と管路32とを連通させる連通配管60を設けたものである。連通配管60は開閉弁62を備える。
【0015】
この実施形態では、冷房時には開閉弁30を閉、開閉弁36、開閉弁72を開として、第2冷却器20に通水させた後の冷却水を管路42、連通配管60、管路32の順に通して第1冷却器14に通水にする運転が可能である。この運転方法によれば、第2冷却器20に通水させた後のやや暖かい冷却水が第1冷却器14に通水されるので、第1冷却器14の冷却コイル表面には結露が生じ難い。このため、外気を除湿したくない状況では有効な方法となる。
また、外気の温度が冷却水の入口温度よりも低い暖房時にも、第2冷却器20に通水した冷却水の全部を連通配管60を介して第1冷却器14に通水する方法が有効である。すなわち、開閉弁30を閉、開閉弁36と開閉弁62を開とし、流量調節弁46を全閉に固定して、第2冷却器20に通水した冷却水の全部を連通配管60を介して第1冷却器14に通水する。この場合、流量調節弁44の開度は、温度センサ54の指示値が目標値となるように制御される。この方法によれば、第1冷却器14では低温の外気が第2冷却器20を経てやや暖められた冷却水によって予備的に加熱される。このため、次段の加熱器16では予備的に加熱された外気を加熱すればよく、加熱負荷が低減し、省エネルギに大きく寄与する。また、第1冷却器14では冷却水が低温の外気によって冷却されて冷熱源34に戻されるので、冷熱源34の冷熱負荷が低減し、省エネルギに大きく寄与する。さらに、外気の温度が零下マイナスの場合にも、第1冷却器14にはやや暖められた冷却水が常時流れているので、冷却水が凍結することがない。このため、厳寒時においても第1冷却器14での冷却コイルの破裂を確実に回避することができる。
【0016】
図3は本発明に係る空気調和装置の第3実施形態を示す要部構成図である。図3において、図1と同一の符号を付した要素は図1に示したものと同一の要素であり、同一の機能を有するものとする。また、図3は説明の便宜上、要部のみを示しており、第1冷却器14や第2冷却器20は図1に示された加熱器16やクリーンルーム100などと同一の位置関係にあるものとする。この第3実施形態では、前記第1実施形態の連通配管50や第2実施形態の連通配管60に替えて、管路42と管路40とを連通させる連通配管70を設けたものである。連通配管70は開閉弁72と流量調節可能な循環ポンプ74を備える。
【0017】
この実施形態でも外気条件に対応して種々の好ましい運転形態が選択できる。しかしながら、外気の温度が冷却水の入口温度よりも低い暖房時に最も有効な作用効果を達成することができるので、以下、この時の運転方法についてのみ説明する。
まず、開閉弁30、開閉弁36、開閉弁72を開とし、流量調節弁44を全閉に固定する。流量調節弁46の開度は、温度センサ54の指示値が目標値となるように制御される。また、循環ポンプ74は必要に応じて、その流量調節機構(例えば回転数)が制御される。このような状況において、冷熱源28からの7℃程度の冷却水は、後述する管路32からの循環水と合流し、管路38から第2冷却器20に通水され、第2冷却器20を通過する空気(外気と還気との混合空気)を間接的に冷却する。第2冷却器20を出た冷却水の温度は熱交換によって例えば12℃程度に昇温しており、その一部は管路42から分岐した連通配管70から循環ポンプ74によって第1冷却器14に送られる。また、第2冷却器20を出た冷却水の残部は流量調節弁46を介して、冷熱源34に戻される。この流量調節弁46によって制御される冷却水の冷熱源34への戻り量が、前記冷熱源28から供給される冷却水の量と一致する。第1冷却器14では冷却水とこの冷却水よりも低い温度の外気とが熱交換するので、外気は冷却水によって加熱されて暖かくなる。このため、次段の加熱器16では予備的に加熱された外気を加熱すればよく、加熱負荷が低減し、省エネルギに寄与する。一方、12℃程度に昇温している冷却水は第1冷却器14で外気によって例えば7℃程度に冷却され、冷却水として十分に利用価値がある。この第1冷却器14からの冷却水は循環水として管路32を介し前記冷熱源28から供給される7℃程度の冷却水と合流し、再び管路38から第2冷却器20に通水される。このため、第2冷却器20に必要な冷却負荷の内の相当量を循環水が保有する冷熱で賄うことができ、その分、冷熱源28から供給する冷却水の量を節減することができる。
【0018】
前記循環ポンプ74による冷却水の循環流量の制御は、例えば第1冷却器14出口側の冷却水の温度を温度センサ76で検出し、この検出温度が冷熱源28からの冷却水と同程度の7℃となるように、循環ポンプ74の回転数を変化させることによって行う。したがって、外気の温度が零下マイナスとなる厳寒期には、第1冷却器14での熱交換量が大きくなることが期待でき、循環水量をその分、増加させることができる。一方、厳寒期ではクリーンルーム100の顕熱負荷が低下し、還気(SA)の温度が低くなるので、通常は第2冷却器20における冷却負荷が小さい。このため、第2冷却器20の冷却負荷を循環水の冷熱だけで賄うことも可能となり、このようなケースでは冷熱源28から冷却水を供給する必要がない。
また、外気の温度が零下マイナスの場合にも、第1冷却器14には7℃以上の冷却水(循環水)が常時流れているので、冷却水が凍結することがない。このため、厳寒時においても第1冷却器14での冷却コイルの破裂を確実に回避することができる。
【0019】
図4は本発明に係る空気調和装置の第4実施形態を示す要部構成図である。図4において、図1と同一の符号を付した要素は図1に示したものと同一の要素であり、同一の機能を有するものとする。また、図4は説明の便宜上、要部のみを示しており、第1冷却器14や第2冷却器20は図1に示された加熱器16やクリーンルーム100などと同一の位置関係にあるものとする。この第4実施形態では、前記第1実施形態の連通配管50に加えて、管路42と管路32とを連通させる第2の連通配管80を設けたものである。連通配管80は開閉弁82と流量調節可能な循環ポンプ84を備える。
【0020】
この実施形態において、外気の温度が冷却水の入口温度よりも低い暖房時には、まず、開閉弁30を閉、開閉弁36、開閉弁48、開閉弁82を開とし、流量調節弁44を全閉に固定する。流量調節弁46の開度は、温度センサ54の指示値が目標値となるように制御される。
このような状況において、冷熱源28からの冷却水は、連通配管50からの循環水と合流し、管路38から第2冷却器20に通水され、第2冷却器20を通過する空気を間接的に冷却する。第2冷却器20を出た冷却水の一部は管路42から分岐した連通配管80から循環ポンプ84によって第1冷却器14に送られる。また、第2冷却器20を出た冷却水の残部は流量調節弁46を介して、冷熱源34に戻される。第1冷却器14を出た冷却水は循環水として連通配管50を介し前記冷熱源28から供給される冷却水と合流し、再び管路38から第2冷却器20に通水される。この実施形態の運転方法は、前記第3実施形態とは第1冷却器14における冷却水(循環水)の流れ方向が逆である以外は、第3実施形態とまったく同一の作用効果を奏する。
【0021】
図5は本発明に係る空気調和装置の第5実施形態の説明図である。この実施形態では空気調和装置10が外気専用の調和装置10Aと還気の冷却を主目的とする調和装置10Bとに分割されている。調和装置10Aで調和された外気はダクト90から調和装置10Bに流入し、ここでクリーンルーム100からの還気と混合され、所定の処理を受ける。このような構成においても前記各実施形態と同様に第1冷却器14と第2冷却器20とを連通配管で接続することによって、前記各実施形態と同様の作用効果を達成することができる。
【0022】
【発明の効果】
本発明の空気調和装置及びその運転方法によれば、クリーンルームを空調する際に、暖房時にも第1冷却器を有効に利用することができ、省エネルギに大きく寄与する。また、厳寒期において外気温が零下マイナスの場合にも冷却コイルの破裂を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る空気調和装置の第1実施形態を示す装置構成図である。
【図2】本発明に係る空気調和装置の第2実施形態を示す要部構成図である。
【図3】本発明に係る空気調和装置の第3実施形態を示す要部構成図である。
【図4】本発明に係る空気調和装置の第4実施形態を示す要部構成図である。
【図5】本発明に係る空気調和装置の第5実施形態の説明図である。
【符号の説明】
10……空気調和装置
12……外気ダクト
14……第1冷却器
16……加熱器
18……加湿器
20……第2冷却器
24……給気ダクト
26……還気ダクト
34……冷熱源
44,46……流量調節弁
50、60,70,80……連通配管
74,84……循環ポンプ
100……クリーンルーム
【発明の属する技術分野】
本発明は空気調和装置及びその運転方法に係り、特にクリーンルーム用の空気調和装置及びその運転方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
クリーンルーム用の空気調和装置としては、外気を第1冷却器、加熱器、加湿器の順に通過させて温湿度を調整した調和空気をクリーンルームからの還気と混合し、第2冷却器で冷却した後に前記クリーンルームに給気するようにしたものが知られている。すなわち、半導体製造用などのクリーンルームにおいては、内部に設置した製造機器からの発熱が大きいので、年間を通してクリーンルームからの還気を冷却する必要がある。このため、クリーンルームからの還気を第2冷却器によって冷却した後に前記クリーンルームに給気するようにしている。また、換気のための外気については第1冷却器、加熱器、加湿器の順に通過させて予め温湿度を調整した後に前記クリーンルームからの還気と混合することで、第2冷却器に対して外気に起因する熱負荷を極力与えないように配慮している。
【0003】
このような、空気調和装置では、冷房時には第1冷却器に冷却水を通し、高温多湿な外気をこの第1冷却器に通過させることによって冷却減湿してクリーンルームの環境とほぼ同レベルの調和空気とする。その後、この調和した外気をクリーンルームからの還気と混合し、第2冷却器で冷却した後に前記クリーンルームに給気するようにしている。
また、暖房時には最前段の第1冷却器には冷却水を通水せず、外気は第1冷却器を単に通過するだけである。すなわち、暖房時には低温低湿な外気を加熱器で加温した後に、次段の加湿器で加湿してクリーンルームの環境とほぼ同レベルの調和空気とする。その後、冷房時と同様にこの調和した外気をクリーンルームからの還気と混合し、第2冷却器で冷却した後に前記クリーンルームに給気するようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように第1冷却器と第2冷却器とを具備したクリーンルーム用の空気調和装置にあっては、暖房時には第1冷却器が有効に利用されず、かえって、送風抵抗としてのみ作用し、無用の長物化する。また、厳寒期において外気温が零下マイナスの場合には使用されない第1冷却器のコイル内の滞留水が外気によって冷却され凍結することで、冷却コイルの破裂を招く場合がある。
本発明の目的はこのような従来技術の問題点を解消し、暖房時にも第1冷却器を有効に利用することができ、かつ、厳寒期において外気温が零下マイナスの場合にも冷却コイルの破裂を回避することが可能なクリーンルーム用の空気調和装置及びその運転方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明に係る第1の発明は、外気を第1冷却器、加熱器、加湿器の順に通過させて温湿度を調整した調和空気をクリーンルームからの還気と混合し、第2冷却器で冷却した後に前記クリーンルームに給気するようにしたクリーンルーム用の空気調和装置において、前記第1冷却器と第2冷却器とを連通配管によって接続し、前記連通配管を介して前記第1冷却器に通水させた後の冷却水を前記第2冷却器に通水可能とするか、又は前記第2冷却器に通水させた後の冷却水を前記第1冷却器に通水可能としたことを特徴とする。
【0006】
本発明に係る第2の発明は、前記第1の発明の空気調和装置において、前記連通配管に循環ポンプを配置し、冷却水を前記第1冷却器と前記第2冷却器との間で循環可能としたことを特徴とする。
【0007】
本発明に係る第3の発明は、前記第1の発明の空気調和装置を用い、前記冷却水よりも温度が低い外気の暖房時に、前記第1冷却器に通水させた後の冷却水を前記第2冷却器に通水するか、又は前記第2冷却器に通水させた後の冷却水を前記第1冷却器に通水することを特徴とする。
【0008】
本発明に係る第4の発明は、前記第2の発明の空気調和装置を用い、前記冷却水よりも温度が低い外気の暖房時に、前記第2冷却器に通水させた後の冷却水の少なくとも一部を前記第1冷却器と前記第2冷却器との間で循環させることを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1は本発明に係る空気調和装置の第1実施形態を示す装置構成図である。空気調和装置10は外気(OA)を導入する外気ダクト12と、調和した給気(SA)を送風機22によってクリーンルーム100に供給するための給気ダクト24と、クリーンルーム100からの還気(RA)を第2冷却器20の手前に導入するための還気ダクト26とを備える。空気調和装置10では外気ダクト12から導入した外気(OA)を第1冷却器14、加熱器16、加湿器18の順に通過させて温湿度を調整した空気をクリーンルーム100からの還気(RA)と混合し、第2冷却器20で冷却した後に、クリーンルーム100に給気(SA)として供給する。外気(OA)を予め給気(SA)とほぼ近似した温湿度に調和するので、第2冷却器20の冷却負荷は外気負荷をさほど考慮する必要がなく、主にクリーンルーム100での内部負荷に限られる。このため、第2冷却器20容量を小さくすることができ、かつ、システム全体の運転の安定化を図ることができる。なお、空気調和装置10に導入する外気(OA)の量が、クリーンルーム100から漏出又は強制排出される排気(EX)の量とバランスすることによって、クリーンルーム100での換気が図られる。
【0010】
第1冷却器14の冷却水入口には開閉弁30を備えた管路32が接続しており、冷熱源34から加圧された冷却水が供給可能とされる。また、第2冷却器の冷却水入口にも開閉弁36を備えた管路38が接続しており、冷熱源34の冷却水が供給可能とされる。第1冷却器14と第2冷却器20の冷却水出口には管路40,42が接続しており、熱交換後の冷却水をこれらの管路を介して冷熱源34に戻すようにされている。管路40には流量調節弁44が、管路42には流量調節弁46が設けられている。さらに、管路40と管路38とは開閉弁48を備えた連通配管50によって連通しており、第1冷却器14に通水させた後の冷却水を管路40、連通配管50、管路38の順に通して第2冷却器20に通水可能とされている。
【0011】
加熱器16には図示しない加熱源から温水又は蒸気が供給可能とされ、通過する外気を必要に応じて所望の温度に間接的に加熱することができる。また、加湿器18では適量の蒸気又は噴霧水を通過する外気に対して直接に吹き出し、外気の湿度が所望値となるように加湿することができる。加湿器18と第2冷却器20の中間には温度センサ52が、給気ダクト24には温度センサ54がそれぞれ設けられ、これらの温度センサの指示値が目標値となるように流量調節弁44と流量調節弁46の開度が制御可能とされる。
【0012】
次に、上記装置の運転方法について説明する。冷房時には主に2通りの方法が可能である。第1の方法は従来技術と同一の方法であり、開閉弁48を閉として連通配管50に冷却水を通さない方法である。すなわち、開閉弁30と開閉弁36の双方を開として、冷熱源34からの冷却水を第1冷却器14と第2冷却器20にそれぞれ独立に供給し、温度センサ52と温度センサ54の指示値がそれぞれ目標値となるように流量調節弁44と流量調節弁46の開度をそれぞれ制御する。この方法は第1冷却器14の冷却負荷が第2冷却器20に比べて小さいか、又は近似している時に有効である。第2の方法は開閉弁30を開、開閉弁36を閉、開閉弁48を開として、第1冷却器14に通水した冷却水の一部を連通配管50を介して第2冷却器20に通水する方法である。流量調節弁44と流量調節弁46の開度は、第1の方法と同様に温度センサ52と温度センサ54の指示値がそれぞれ目標値となるように制御される。この方法は第1冷却器14の冷却負荷が第2冷却器20に比べて十分に大きい時に有効である。すなわち、酷暑時など高温な外気の冷却のために第1冷却器14で多量に通水した熱交換後の冷却水の一部を冷却負荷が比較的小さい第2冷却器20に通水する。この方法によれば、第2冷却器20に流入する冷却水の温度が高くなるので冷却コイルの表面に結露が生じ難く、給気(SA)の湿度コントロールが容易となる。
【0013】
また、暖房時にも主に2通りの方法が可能である。第1の方法は従来技術と同一の方法であり、第1冷却器14には冷却水を通水せず、連通配管50の開閉弁48を閉として運転する。すなわち、低温な外気を加熱器16で加温し、必要に応じて加湿器18で加湿する。この温湿度を調整した外気をクリーンルーム100からの還気(RA)と混合し、第2冷却器20で冷却した後に、クリーンルーム100に給気(SA)として供給する。この方法は外気の温度が冷却水の供給温度(通常は7℃程度)よりも高いか、やや低い時に有効である。第2の方法は外気の温度が冷却水の入口温度よりも十分に低い時に有効な方法であり、第1冷却器14に通水した冷却水の全部を連通配管50を介して第2冷却器20に通水する方法である。すなわち、開閉弁30を開、開閉弁36を閉、流量調節弁44を全閉に固定して、第1冷却器14に通水した冷却水の全部を連通配管50を介して第2冷却器20に通水する。流量調節弁46の開度は、温度センサ54の指示値が目標値となるように制御される。この方法によれば、第1冷却器14では低温の外気が冷却水によって予備的に加熱され、逆に冷却水は低温の外気によって冷却される。このため、次段の加熱器16では予備的に加熱された外気を加熱すればよく、加熱負荷が低減し、省エネルギに寄与する。また、第2冷却器20では第1冷却器14で例えば供給温度(通常は7℃程度)に対して3℃程度までに冷却された冷却水が通水されるので、同一の冷却負荷に対する冷却水の通水量を少なくすることができ、省エネルギに寄与する。また、外気の温度が零下マイナスの場合にも、第1冷却器14には冷却水が常時流れているので、冷却水が凍結することがない。このため、厳寒時においても第1冷却器14での冷却コイルの破裂を確実に回避することができる。
【0014】
図2は本発明に係る空気調和装置の第2実施形態を示す要部構成図である。図2において、図1と同一の符号を付した要素は図1に示したものと同一の要素であり、同一の機能を有するものとする。また、図2は説明の便宜上、要部のみを示しており、第1冷却器14や第2冷却器20は図1に示された加熱器16やクリーンルーム100などと同一の位置関係にあるものとする。この第2実施形態では、前記第1実施形態の連通配管50に替えて、管路42と管路32とを連通させる連通配管60を設けたものである。連通配管60は開閉弁62を備える。
【0015】
この実施形態では、冷房時には開閉弁30を閉、開閉弁36、開閉弁72を開として、第2冷却器20に通水させた後の冷却水を管路42、連通配管60、管路32の順に通して第1冷却器14に通水にする運転が可能である。この運転方法によれば、第2冷却器20に通水させた後のやや暖かい冷却水が第1冷却器14に通水されるので、第1冷却器14の冷却コイル表面には結露が生じ難い。このため、外気を除湿したくない状況では有効な方法となる。
また、外気の温度が冷却水の入口温度よりも低い暖房時にも、第2冷却器20に通水した冷却水の全部を連通配管60を介して第1冷却器14に通水する方法が有効である。すなわち、開閉弁30を閉、開閉弁36と開閉弁62を開とし、流量調節弁46を全閉に固定して、第2冷却器20に通水した冷却水の全部を連通配管60を介して第1冷却器14に通水する。この場合、流量調節弁44の開度は、温度センサ54の指示値が目標値となるように制御される。この方法によれば、第1冷却器14では低温の外気が第2冷却器20を経てやや暖められた冷却水によって予備的に加熱される。このため、次段の加熱器16では予備的に加熱された外気を加熱すればよく、加熱負荷が低減し、省エネルギに大きく寄与する。また、第1冷却器14では冷却水が低温の外気によって冷却されて冷熱源34に戻されるので、冷熱源34の冷熱負荷が低減し、省エネルギに大きく寄与する。さらに、外気の温度が零下マイナスの場合にも、第1冷却器14にはやや暖められた冷却水が常時流れているので、冷却水が凍結することがない。このため、厳寒時においても第1冷却器14での冷却コイルの破裂を確実に回避することができる。
【0016】
図3は本発明に係る空気調和装置の第3実施形態を示す要部構成図である。図3において、図1と同一の符号を付した要素は図1に示したものと同一の要素であり、同一の機能を有するものとする。また、図3は説明の便宜上、要部のみを示しており、第1冷却器14や第2冷却器20は図1に示された加熱器16やクリーンルーム100などと同一の位置関係にあるものとする。この第3実施形態では、前記第1実施形態の連通配管50や第2実施形態の連通配管60に替えて、管路42と管路40とを連通させる連通配管70を設けたものである。連通配管70は開閉弁72と流量調節可能な循環ポンプ74を備える。
【0017】
この実施形態でも外気条件に対応して種々の好ましい運転形態が選択できる。しかしながら、外気の温度が冷却水の入口温度よりも低い暖房時に最も有効な作用効果を達成することができるので、以下、この時の運転方法についてのみ説明する。
まず、開閉弁30、開閉弁36、開閉弁72を開とし、流量調節弁44を全閉に固定する。流量調節弁46の開度は、温度センサ54の指示値が目標値となるように制御される。また、循環ポンプ74は必要に応じて、その流量調節機構(例えば回転数)が制御される。このような状況において、冷熱源28からの7℃程度の冷却水は、後述する管路32からの循環水と合流し、管路38から第2冷却器20に通水され、第2冷却器20を通過する空気(外気と還気との混合空気)を間接的に冷却する。第2冷却器20を出た冷却水の温度は熱交換によって例えば12℃程度に昇温しており、その一部は管路42から分岐した連通配管70から循環ポンプ74によって第1冷却器14に送られる。また、第2冷却器20を出た冷却水の残部は流量調節弁46を介して、冷熱源34に戻される。この流量調節弁46によって制御される冷却水の冷熱源34への戻り量が、前記冷熱源28から供給される冷却水の量と一致する。第1冷却器14では冷却水とこの冷却水よりも低い温度の外気とが熱交換するので、外気は冷却水によって加熱されて暖かくなる。このため、次段の加熱器16では予備的に加熱された外気を加熱すればよく、加熱負荷が低減し、省エネルギに寄与する。一方、12℃程度に昇温している冷却水は第1冷却器14で外気によって例えば7℃程度に冷却され、冷却水として十分に利用価値がある。この第1冷却器14からの冷却水は循環水として管路32を介し前記冷熱源28から供給される7℃程度の冷却水と合流し、再び管路38から第2冷却器20に通水される。このため、第2冷却器20に必要な冷却負荷の内の相当量を循環水が保有する冷熱で賄うことができ、その分、冷熱源28から供給する冷却水の量を節減することができる。
【0018】
前記循環ポンプ74による冷却水の循環流量の制御は、例えば第1冷却器14出口側の冷却水の温度を温度センサ76で検出し、この検出温度が冷熱源28からの冷却水と同程度の7℃となるように、循環ポンプ74の回転数を変化させることによって行う。したがって、外気の温度が零下マイナスとなる厳寒期には、第1冷却器14での熱交換量が大きくなることが期待でき、循環水量をその分、増加させることができる。一方、厳寒期ではクリーンルーム100の顕熱負荷が低下し、還気(SA)の温度が低くなるので、通常は第2冷却器20における冷却負荷が小さい。このため、第2冷却器20の冷却負荷を循環水の冷熱だけで賄うことも可能となり、このようなケースでは冷熱源28から冷却水を供給する必要がない。
また、外気の温度が零下マイナスの場合にも、第1冷却器14には7℃以上の冷却水(循環水)が常時流れているので、冷却水が凍結することがない。このため、厳寒時においても第1冷却器14での冷却コイルの破裂を確実に回避することができる。
【0019】
図4は本発明に係る空気調和装置の第4実施形態を示す要部構成図である。図4において、図1と同一の符号を付した要素は図1に示したものと同一の要素であり、同一の機能を有するものとする。また、図4は説明の便宜上、要部のみを示しており、第1冷却器14や第2冷却器20は図1に示された加熱器16やクリーンルーム100などと同一の位置関係にあるものとする。この第4実施形態では、前記第1実施形態の連通配管50に加えて、管路42と管路32とを連通させる第2の連通配管80を設けたものである。連通配管80は開閉弁82と流量調節可能な循環ポンプ84を備える。
【0020】
この実施形態において、外気の温度が冷却水の入口温度よりも低い暖房時には、まず、開閉弁30を閉、開閉弁36、開閉弁48、開閉弁82を開とし、流量調節弁44を全閉に固定する。流量調節弁46の開度は、温度センサ54の指示値が目標値となるように制御される。
このような状況において、冷熱源28からの冷却水は、連通配管50からの循環水と合流し、管路38から第2冷却器20に通水され、第2冷却器20を通過する空気を間接的に冷却する。第2冷却器20を出た冷却水の一部は管路42から分岐した連通配管80から循環ポンプ84によって第1冷却器14に送られる。また、第2冷却器20を出た冷却水の残部は流量調節弁46を介して、冷熱源34に戻される。第1冷却器14を出た冷却水は循環水として連通配管50を介し前記冷熱源28から供給される冷却水と合流し、再び管路38から第2冷却器20に通水される。この実施形態の運転方法は、前記第3実施形態とは第1冷却器14における冷却水(循環水)の流れ方向が逆である以外は、第3実施形態とまったく同一の作用効果を奏する。
【0021】
図5は本発明に係る空気調和装置の第5実施形態の説明図である。この実施形態では空気調和装置10が外気専用の調和装置10Aと還気の冷却を主目的とする調和装置10Bとに分割されている。調和装置10Aで調和された外気はダクト90から調和装置10Bに流入し、ここでクリーンルーム100からの還気と混合され、所定の処理を受ける。このような構成においても前記各実施形態と同様に第1冷却器14と第2冷却器20とを連通配管で接続することによって、前記各実施形態と同様の作用効果を達成することができる。
【0022】
【発明の効果】
本発明の空気調和装置及びその運転方法によれば、クリーンルームを空調する際に、暖房時にも第1冷却器を有効に利用することができ、省エネルギに大きく寄与する。また、厳寒期において外気温が零下マイナスの場合にも冷却コイルの破裂を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る空気調和装置の第1実施形態を示す装置構成図である。
【図2】本発明に係る空気調和装置の第2実施形態を示す要部構成図である。
【図3】本発明に係る空気調和装置の第3実施形態を示す要部構成図である。
【図4】本発明に係る空気調和装置の第4実施形態を示す要部構成図である。
【図5】本発明に係る空気調和装置の第5実施形態の説明図である。
【符号の説明】
10……空気調和装置
12……外気ダクト
14……第1冷却器
16……加熱器
18……加湿器
20……第2冷却器
24……給気ダクト
26……還気ダクト
34……冷熱源
44,46……流量調節弁
50、60,70,80……連通配管
74,84……循環ポンプ
100……クリーンルーム
Claims (4)
- 外気を第1冷却器、加熱器、加湿器の順に通過させて温湿度を調整した調和空気をクリーンルームからの還気と混合し、第2冷却器で冷却した後に前記クリーンルームに給気するようにしたクリーンルーム用の空気調和装置において、前記第1冷却器と第2冷却器とを連通配管によって接続し、前記連通配管を介して前記第1冷却器に通水させた後の冷却水を前記第2冷却器に通水可能とするか、又は前記第2冷却器に通水させた後の冷却水を前記第1冷却器に通水可能としたことを特徴とする空気調和装置。
- 前記連通配管に循環ポンプを配置し、冷却水を前記第1冷却器と前記第2冷却器との間で循環可能としたことを特徴とする請求項1に記載の空気調和装置。
- 請求項1に記載の空気調和装置を用い、前記冷却水よりも温度が低い外気の暖房時に、前記第1冷却器に通水させた後の冷却水を前記第2冷却器に通水するか、又は前記第2冷却器に通水させた後の冷却水を前記第1冷却器に通水することを特徴とする空気調和装置の運転方法。
- 請求項2に記載の空気調和装置を用い、前記冷却水よりも温度が低い外気の暖房時に、前記第2冷却器に通水させた後の冷却水の少なくとも一部を前記第1冷却器と前記第2冷却器との間で循環させることを特徴とする空気調和装置の運転方法。
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