JP2004006553A - 対象物当接装置、対象物当接方法、電子部品装着装置および電子部品装着方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電子部品装着装置において簡単な構成で電子部品を所定の姿勢に精度よく保持する。
【解決手段】電子部品装着装置において装着ヘッド13に複数の圧電素子31を設ける。事前に装着ヘッド13の吸着ノズル134にダミー部品を保持してダミー部品とステージ11とを当接させて圧電素子31からの出力を検出し、出力値に基づいてステージ11に対する吸着ノズル134の下面134aの傾きを検出する。さらに、圧電素子31に電圧を与えて吸着ノズル134の姿勢を調整する。その後、吸着ノズル134に電子部品92を保持し、ステージ11に基板91を保持して電子部品92を基板91に装着する。これにより、簡単な構成で電子部品を所定の姿勢に精度よく保持して装着を行うことができる。
【選択図】 図2
【解決手段】電子部品装着装置において装着ヘッド13に複数の圧電素子31を設ける。事前に装着ヘッド13の吸着ノズル134にダミー部品を保持してダミー部品とステージ11とを当接させて圧電素子31からの出力を検出し、出力値に基づいてステージ11に対する吸着ノズル134の下面134aの傾きを検出する。さらに、圧電素子31に電圧を与えて吸着ノズル134の姿勢を調整する。その後、吸着ノズル134に電子部品92を保持し、ステージ11に基板91を保持して電子部品92を基板91に装着する。これにより、簡単な構成で電子部品を所定の姿勢に精度よく保持して装着を行うことができる。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、対象物同士を精度よく当接させる技術に関し、好ましくは、電子部品を基板に装着する技術に利用される。
【0002】
【従来の技術】
近年、電子部品の小型化および高性能化に伴い、電子部品を回路基板(以下、「基板」という。)に装着する際に、基板に対する電子部品の水平方向の位置の精度のみならず、基板の表面と電子部品の電極面との間の平行度(以下、単に「基板と電子部品との間の平行度」という。)を高くすることが求められている。
【0003】
従来、基板と電子部品との間の平行度を高めるために、電子部品を保持する装着ヘッドに平行度調整用のねじを複数設け、作業者が測定器具を使用しながら平行度調整用ねじを回すことにより、基板を保持するステージに対して装着ヘッドの吸着ノズルの姿勢の調整を行ってきた。しかしながら、手作業による調整には多くの時間と手間とを要することとなる。
【0004】
そこで、特開平11−26994号公報には、吸着ノズルの調整作業を自動化するために、装着ヘッドに複数の圧電素子を設けるとともに吸着ノズルの姿勢を非接触にて測定する測定機器を設けた電子部品装着装置が開示されている。この電子部品装着装置では、測定結果に基づいて圧電素子に与える電圧を求めて電圧を制御することにより、吸着ノズルの姿勢を自動的に調整するようになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、特開平11−26994号公報に係る電子部品装着装置では、非接触で吸着ノズルの姿勢を測定することが前提となっているため、測定を行うための機器が別途設けられる。一方、圧電素子は外部からの力に応じて電圧を発生するという特徴を有している。そこで、本発明は圧電素子等の歪み部材の特徴を有効に利用するために接触式にて吸着ノズル等の保持部の姿勢を検出するという新たな手法を提供することを主たる目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、第1対象物を第2対象物に当接させる対象物当接装置であって、第1対象物を保持する第1保持部と、第2対象物を保持する第2保持部と、前記第1保持部と前記第2保持部との相対的位置関係を変更することにより第1対象物を第2対象物に当接させる位置変更機構と、電気的に歪みが制御されることにより前記第1保持部の姿勢を変更する複数の歪み部材と、前記位置変更機構により前記第1保持部と前記第2保持部とを直接または間接的に当接させて前記複数の歪み部材からの出力を検出し、前記出力に基づいて前記複数の歪み部材の歪みを電気的に制御する制御部とを備える。
【0007】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の対象物当接装置であって、前記複数の歪み部材の個数が3である。
【0008】
請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の対象物当接装置であって、前記複数の歪み部材のそれぞれが圧電素子である。
【0009】
請求項4に記載の発明は、第1対象物を第2対象物に当接させる対象物当接方法であって、a) 第1保持部と第2保持部とを直接または間接的に当接させる工程と、b) 前記第1保持部に設けられた複数の歪み部材からの出力を検出する工程と、c) 前記出力に基づいて前記複数の歪み部材の歪みを電気的に制御して前記第1保持部の姿勢を調整する工程と、d) 第1対象物を保持する前記第1保持部を第2対象物を保持する前記第2保持部に対して相対的に移動して前記第1対象物を前記第2対象物に当接させる工程とを有する。
【0010】
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の対象物当接方法であって、前記d)工程の前に、前記a)工程ないし前記c)工程を繰り返す工程をさらに有する。
【0011】
請求項6に記載の発明は、請求項4または5に記載の対象物当接方法であって、前記d)工程の後に、前記第1保持部が前記第1対象物の保持を解除する工程をさらに有する。
【0012】
請求項7に記載の発明は、電子部品を基板に装着する電子部品装着装置であって、電子部品を保持する部品保持部と、基板を保持するステージと、前記部品保持部と前記ステージとの相対的位置関係を変更することにより電子部品を基板に装着させる位置変更機構と、電気的に歪みが制御されることにより前記部品保持部の姿勢を変更する複数の歪み部材と、前記位置変更機構により前記部品保持部と前記ステージとを直接または間接的に当接させて前記複数の歪み部材からの出力を検出し、前記出力に基づいて前記複数の歪み部材の歪みを電気的に制御する制御部とを備える。
【0013】
請求項8に記載の発明は、請求項7に記載の電子部品装着装置であって、前記部品保持部が、電子部品を吸引吸着する吸着面を有する。
【0014】
請求項9に記載の発明は、電子部品を基板に装着する電子部品装着方法であって、a)部品保持部とステージとを直接または間接的に当接させる工程と、b) 前記部品保持部に設けられた複数の歪み部材からの出力を検出する工程と、c) 前記出力に基づいて前記複数の歪み部材の歪みを電気的に制御して前記部品保持部の姿勢を調整する工程と、d) 電子部品を保持する前記部品保持部を基板を保持する前記ステージに対して相対的に移動して前記電子部品を前記基板に当接させる工程と、e) 前記部品保持部による前記電子部品の保持を解除する工程とを有する。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一の実施の形態に係る電子部品装着装置1の概略構成を示す図である。電子部品装着装置1は基板91を吸引吸着により保持するステージ11、ステージ11を水平面内にて移動させるステージ移動機構12、電子部品92を吸引吸着により保持する装着ヘッド13、および、装着ヘッド13を昇降移動させるヘッド昇降機構14を有する。ステージ11および装着ヘッド13はそれぞれエジェクタ15a,15bに接続され、エジェクタ15a,15bによるステージ11および装着ヘッド13の吸引動作が全体制御部2により制御される。
【0016】
また、全体制御部2はステージ移動機構12、装着ヘッド13およびヘッド昇降機構14にも接続され、ステージ11の位置、装着ヘッド13の姿勢(正確には、装着ヘッド13の下部の姿勢)、および、装着ヘッド13の上下移動を制御する。
【0017】
図2は装着ヘッド13およびステージ11を示す斜視図であり、図3は断面図である。以下、これらの図を参照しながら装着ヘッド13の構造について説明する。装着ヘッド13は、大きく分けて上から順に、支持部材141に連結される連結部131、電圧と歪とを相互変換する圧電素子(ピエゾ)31が取り付けられた圧電素子取付部132、ノズル取付部133、および、ノズル取付部133に取り付けられる吸着ノズル134を有する。
【0018】
支持部材141はエジェクタ15b(図1参照)へと連絡する配管を兼ねており、装着ヘッド13の内部には吸着ノズル134の下面134aの吸引口134H(図3に図示)から支持部材141へと連絡する流路が形成されている。連結部131と圧電素子取付部132との間は、図3に示すようにくびれ部13Nとなっており、連結部131に対して圧電素子取付部132から下方の部位が矢印Aにて示すようにくびれ部13Nを中心として僅かに回動可能とされる。ノズル取付部133内には、吸着する電子部品92の種類に応じて吸着ノズル134を交換するための着脱機構が設けられる。
【0019】
図4はくびれ部13Nの位置における装着ヘッド13の断面を示す図である。図4に示すようにくびれ部13Nを中心として3つの圧電素子31が圧電素子取付部132に設けられ、各圧電素子31は全体制御部2に電気的に接続される。各圧電素子31の上端は図3に示すように連結部131の下面に当接する状態とされ、全体制御部2が各圧電素子31に電圧を付与して連結部131と圧電素子取付部132との間の3カ所の距離が決定されると、吸着ノズル134の吸着面である下面134aとステージ11の上面11aとの間の平行度(すなわち、電子部品92と基板91との間の平行度)が高精度に調整される。
【0020】
図5は3つの圧電素子31に与えられる電圧を設定する際の電子部品装着装置1の動作の流れを示す図である。電圧設定は電子部品92を基板91に装着する前の準備作業として行われる。
【0021】
電圧設定では、まず、全体制御部2の電圧付与回路23(図4参照)によりデフォルトの設定電圧が各圧電素子31に与えられる(ステップS11)。一方、予め吸着ノズル134にはダミー部品が保持されており、装着ヘッド13がヘッド昇降機構14により下降してダミー部品がステージ11に当接する(ステップS12)。
【0022】
ダミー部品がステージ11に当接した瞬間に各圧電素子31が出力する電圧は全体制御部2の検出回路21(図4参照)にて検出される(ステップS13)。当接により各圧電素子31に作用する力を示す出力値はダミー部品の下面がステージ11の上面11aに対して傾斜している方向および傾斜の程度に依存することから、全体制御部2は演算回路22にて出力値を演算処理してダミー部品のおよその傾きを求め、さらに、ダミー部品の傾きを補正するために各圧電素子31に与えられるべき設定電圧を算出する(ステップS14)。
【0023】
そして、求められた設定電圧と現在の(当接前の)設定電圧とが比較され、いずれかの圧電素子31に対して求められた設定電圧が現在の設定電圧に対して所定のしきい値以上異なる場合には、各圧電素子31に対する設定電圧が求められた設定電圧へと変更される(ステップS15,S16)。
【0024】
設定電圧の変更が行われた場合、電圧付与回路23により各圧電素子31に設定電圧が再度付与され(ステップS11)、ダミー部品の当接動作および設定電圧の算出が再度行われる(ステップS12〜S14)。以上の動作が設定電圧の変更が不要となるまで繰り返されることにより(ステップS15)、ステージ11に対して吸着ノズル134を適正な姿勢とするための設定電圧が求められる。すなわち、装着ヘッド13に保持される電子部品92の下面とステージ11に保持される基板91の上面との間の平行度を高精度に調整するための設定電圧が求められる。
【0025】
図6は電圧設定後に電子部品装着装置1が電子部品92を基板91に装着する動作の流れを示す図である。装着動作では、まず、事前に求められた設定電圧が各圧電素子31に付与され(ステップS21)、吸着ノズル134が適正な姿勢へと変更(調整)される。その後、電子部品92および基板91が電子部品装着装置1に搬入され、電子部品92が吸着ノズル134の下面134aに吸引吸着され、基板91がステージ11の上面11aに吸引吸着される(ステップS22)。
【0026】
ここで、図示を省略するカメラにより電子部品92の下面の電極パターンおよび基板91上の回路パターンが撮像され、ステージ移動機構12により基板91上の装着領域が電子部品92の真下に位置するようにステージ11の移動(すなわち、電子部品92と基板91との位置合わせ)が行われる(ステップS23)。なお、位置合わせにおいて装着ヘッド13を支持部材141を中心に回動させて電子部品92の向きの調整がさらに行われてもよい。
【0027】
位置合わせが完了すると、装着ヘッド13がヘッド昇降機構14により下降し、電子部品92が基板91に当接する(ステップS24)。このとき、装着ヘッド13に設けられた超音波発振部が能動化され、電子部品92の電極に形成されたバンプと基板91上の電極とが固着される。その後、全体制御部2がエジェクタ15bを制御することにより吸着ノズル134の吸引口134Hからの吸引が停止して装着ヘッド13による電子部品92の保持が解除され、装着ヘッド13が上昇する(ステップS25)。
【0028】
全体制御部2がエジェクタ15aを制御することによりステージ11による吸引吸着も解除され、装着済みの基板91は装置外のアーム等により電子部品装着装置1から搬出される(ステップS26)。そして、電子部品92の装着を行う次の基板91が存在する場合にはステップS22〜S26が繰り返されて電子部品92の装着が実行され、最後の基板91への電子部品92の装着が完了すると、電子部品装着装置1の装着動作が終了する(ステップS27)。
【0029】
以上のように、電子部品装着装置1では圧電素子31の出力に基づいてステージ11に対する吸着ノズル134の相対的姿勢(すなわち、ステージ11の上面11aと吸着ノズル134の下面134aとの間の平行度)が検出されるとともに圧電素子31に電圧を付与することにより吸着ノズル134の姿勢が高い精度にて調整される。換言すれば、圧電素子31は吸着ノズル134の姿勢を測定する機器としての機能と吸着ノズル134の姿勢を調整するアクチュエータとしての機能とを実現する。したがって、これらの2つの機能を実現するために測定機器とアクチュエータとを個別に設ける必要がなく、電子部品装着装置1の構造を簡素化することができる。
【0030】
また、電子部品装着装置1では圧電素子31の個数(取り付け箇所)を3とすることにより(正確には、同一直線状には並ばない3カ所とすることにより)、圧電素子31の制御の簡素化も実現される。なぜならば、圧電素子31をくびれ部13Nの周囲に4つ以上設けることも可能であるが、この場合、圧電素子31間の相互作用を考慮しつつ圧電素子31に付与すべき電圧を求める必要が生じるからである。
【0031】
なお、吸着ノズル134の姿勢を自動調整することにより、吸着ノズル134が交換された場合であっても速やかに装着動作を開始することも実現される。
【0032】
以上、本発明に係る一の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
【0033】
例えば、上記実施の形態において吸着ノズル134の姿勢を調整する技術は、2つの対象物を2つの保持部にて保持して当接させる際に、装置構造を簡素化しつつ一方の保持部に対する他方の保持部の相対的姿勢の精度を高める技術に利用することができる。
【0034】
電子部品92や基板91は電子部品装着装置1において機械的に保持されてもよく、静電吸着等の他の手法により保持されてもよい。また、電子部品92を基板91に装着して固着させる手法は他の手法であってもよい。例えば、基板91に予め異方性導電樹脂を付与し、電子部品92が装着されるとともに基板91に向けて押圧され、さらに、装着ヘッド13に設けられたヒータにより加熱されて樹脂が硬化されるという装着(および固定)手法に電子部品装着装置1が使用されてもよい。
【0035】
上記実施の形態ではヘッド昇降機構14により装着ヘッド13をステージ11に対して移動させて電子部品92が基板91上に装着されるが、装着ヘッド13とステージ11との相対的位置関係が他の機構(例えば、ステージ11を昇降させる機構)を用いて変更されることにより、装着(すなわち、当接)が行われてもよい。
【0036】
また、上記実施の形態では、吸着ノズル134がダミー部品を保持した状態で間接的にステージ11に当接させて圧電素子31への設定電圧の算出が行われるが、上記実施の形態のように吸着ノズル134の先端が平らな吸着面である場合には吸着ノズル134をステージ11に直接当接させてもよい。逆に、吸着ノズル134がダミー部品(または、電子部品92)を保持し、ステージ11がダミー基板(または、基板91)を保持した状態で、吸着ノズル134とステージ11との間接的な当接が行われてもよい。
【0037】
上記実施の形態では、電圧と歪とを互いに変換する圧電素子により簡単な構造で吸着ノズル134の姿勢の変更が行われるが、電気的に歪みを制御することができ、かつ、歪みに応じて電気的な出力が得られる他の部材が利用されてもよい。例えば、超磁歪素子にコイルを巻き付けたものを圧電素子31に代えて使用することも可能である。この場合、コイルへの電流が制御されることにより吸着ノズル134の姿勢の変更が実現される。また、装着ヘッド13とステージ11とが直接または間接的に当接した際には超磁歪素子の歪みによりコイルに電気的信号が発生し、この出力に基づいてコイルに流すべき電流を求めることも可能となる。
【0038】
上記実施の形態では電圧設定において吸着ノズル134とステージ11とを間接的に当接させる工程が繰り返されるが、吸着ノズル134の傾きを精度よく算出することができるのであるならば、吸着ノズル134とステージ11との当接は1回のみであってもよい。
【0039】
【発明の効果】
本発明によれば、第2対象物に対して第1対象物を高い精度にて所定の姿勢とした上で第1対象物と第2対象物とを当接させることができる。また、相対的姿勢の検出および調整を複数の歪み部材により実現することができるため、装置の構造を簡素化することができる。特に、電子部品を高い精度にて基板に装着する電子部品装着装置において装置構造の簡素化が実現される。
【図面の簡単な説明】
【図1】電子部品装着装置の概略構成を示す図
【図2】装着ヘッドおよびステージを示す斜視図
【図3】装着ヘッドおよびステージを示す断面図
【図4】装着ヘッドの断面図
【図5】圧電素子に与えられる電圧を設定する際の電子部品装着装置の動作の流れを示す図
【図6】電子部品装着装置が電子部品を基板に装着する動作の流れを示す図
【符号の説明】
1 電子部品装着装置
2 全体制御部
11 ステージ
14 ヘッド昇降機構
31 圧電素子
91 基板
92 電子部品
134 吸着ノズル
134a 下面
S11〜S16,S21,S24,S25 ステップ
【発明の属する技術分野】
本発明は、対象物同士を精度よく当接させる技術に関し、好ましくは、電子部品を基板に装着する技術に利用される。
【0002】
【従来の技術】
近年、電子部品の小型化および高性能化に伴い、電子部品を回路基板(以下、「基板」という。)に装着する際に、基板に対する電子部品の水平方向の位置の精度のみならず、基板の表面と電子部品の電極面との間の平行度(以下、単に「基板と電子部品との間の平行度」という。)を高くすることが求められている。
【0003】
従来、基板と電子部品との間の平行度を高めるために、電子部品を保持する装着ヘッドに平行度調整用のねじを複数設け、作業者が測定器具を使用しながら平行度調整用ねじを回すことにより、基板を保持するステージに対して装着ヘッドの吸着ノズルの姿勢の調整を行ってきた。しかしながら、手作業による調整には多くの時間と手間とを要することとなる。
【0004】
そこで、特開平11−26994号公報には、吸着ノズルの調整作業を自動化するために、装着ヘッドに複数の圧電素子を設けるとともに吸着ノズルの姿勢を非接触にて測定する測定機器を設けた電子部品装着装置が開示されている。この電子部品装着装置では、測定結果に基づいて圧電素子に与える電圧を求めて電圧を制御することにより、吸着ノズルの姿勢を自動的に調整するようになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、特開平11−26994号公報に係る電子部品装着装置では、非接触で吸着ノズルの姿勢を測定することが前提となっているため、測定を行うための機器が別途設けられる。一方、圧電素子は外部からの力に応じて電圧を発生するという特徴を有している。そこで、本発明は圧電素子等の歪み部材の特徴を有効に利用するために接触式にて吸着ノズル等の保持部の姿勢を検出するという新たな手法を提供することを主たる目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、第1対象物を第2対象物に当接させる対象物当接装置であって、第1対象物を保持する第1保持部と、第2対象物を保持する第2保持部と、前記第1保持部と前記第2保持部との相対的位置関係を変更することにより第1対象物を第2対象物に当接させる位置変更機構と、電気的に歪みが制御されることにより前記第1保持部の姿勢を変更する複数の歪み部材と、前記位置変更機構により前記第1保持部と前記第2保持部とを直接または間接的に当接させて前記複数の歪み部材からの出力を検出し、前記出力に基づいて前記複数の歪み部材の歪みを電気的に制御する制御部とを備える。
【0007】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の対象物当接装置であって、前記複数の歪み部材の個数が3である。
【0008】
請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の対象物当接装置であって、前記複数の歪み部材のそれぞれが圧電素子である。
【0009】
請求項4に記載の発明は、第1対象物を第2対象物に当接させる対象物当接方法であって、a) 第1保持部と第2保持部とを直接または間接的に当接させる工程と、b) 前記第1保持部に設けられた複数の歪み部材からの出力を検出する工程と、c) 前記出力に基づいて前記複数の歪み部材の歪みを電気的に制御して前記第1保持部の姿勢を調整する工程と、d) 第1対象物を保持する前記第1保持部を第2対象物を保持する前記第2保持部に対して相対的に移動して前記第1対象物を前記第2対象物に当接させる工程とを有する。
【0010】
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の対象物当接方法であって、前記d)工程の前に、前記a)工程ないし前記c)工程を繰り返す工程をさらに有する。
【0011】
請求項6に記載の発明は、請求項4または5に記載の対象物当接方法であって、前記d)工程の後に、前記第1保持部が前記第1対象物の保持を解除する工程をさらに有する。
【0012】
請求項7に記載の発明は、電子部品を基板に装着する電子部品装着装置であって、電子部品を保持する部品保持部と、基板を保持するステージと、前記部品保持部と前記ステージとの相対的位置関係を変更することにより電子部品を基板に装着させる位置変更機構と、電気的に歪みが制御されることにより前記部品保持部の姿勢を変更する複数の歪み部材と、前記位置変更機構により前記部品保持部と前記ステージとを直接または間接的に当接させて前記複数の歪み部材からの出力を検出し、前記出力に基づいて前記複数の歪み部材の歪みを電気的に制御する制御部とを備える。
【0013】
請求項8に記載の発明は、請求項7に記載の電子部品装着装置であって、前記部品保持部が、電子部品を吸引吸着する吸着面を有する。
【0014】
請求項9に記載の発明は、電子部品を基板に装着する電子部品装着方法であって、a)部品保持部とステージとを直接または間接的に当接させる工程と、b) 前記部品保持部に設けられた複数の歪み部材からの出力を検出する工程と、c) 前記出力に基づいて前記複数の歪み部材の歪みを電気的に制御して前記部品保持部の姿勢を調整する工程と、d) 電子部品を保持する前記部品保持部を基板を保持する前記ステージに対して相対的に移動して前記電子部品を前記基板に当接させる工程と、e) 前記部品保持部による前記電子部品の保持を解除する工程とを有する。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一の実施の形態に係る電子部品装着装置1の概略構成を示す図である。電子部品装着装置1は基板91を吸引吸着により保持するステージ11、ステージ11を水平面内にて移動させるステージ移動機構12、電子部品92を吸引吸着により保持する装着ヘッド13、および、装着ヘッド13を昇降移動させるヘッド昇降機構14を有する。ステージ11および装着ヘッド13はそれぞれエジェクタ15a,15bに接続され、エジェクタ15a,15bによるステージ11および装着ヘッド13の吸引動作が全体制御部2により制御される。
【0016】
また、全体制御部2はステージ移動機構12、装着ヘッド13およびヘッド昇降機構14にも接続され、ステージ11の位置、装着ヘッド13の姿勢(正確には、装着ヘッド13の下部の姿勢)、および、装着ヘッド13の上下移動を制御する。
【0017】
図2は装着ヘッド13およびステージ11を示す斜視図であり、図3は断面図である。以下、これらの図を参照しながら装着ヘッド13の構造について説明する。装着ヘッド13は、大きく分けて上から順に、支持部材141に連結される連結部131、電圧と歪とを相互変換する圧電素子(ピエゾ)31が取り付けられた圧電素子取付部132、ノズル取付部133、および、ノズル取付部133に取り付けられる吸着ノズル134を有する。
【0018】
支持部材141はエジェクタ15b(図1参照)へと連絡する配管を兼ねており、装着ヘッド13の内部には吸着ノズル134の下面134aの吸引口134H(図3に図示)から支持部材141へと連絡する流路が形成されている。連結部131と圧電素子取付部132との間は、図3に示すようにくびれ部13Nとなっており、連結部131に対して圧電素子取付部132から下方の部位が矢印Aにて示すようにくびれ部13Nを中心として僅かに回動可能とされる。ノズル取付部133内には、吸着する電子部品92の種類に応じて吸着ノズル134を交換するための着脱機構が設けられる。
【0019】
図4はくびれ部13Nの位置における装着ヘッド13の断面を示す図である。図4に示すようにくびれ部13Nを中心として3つの圧電素子31が圧電素子取付部132に設けられ、各圧電素子31は全体制御部2に電気的に接続される。各圧電素子31の上端は図3に示すように連結部131の下面に当接する状態とされ、全体制御部2が各圧電素子31に電圧を付与して連結部131と圧電素子取付部132との間の3カ所の距離が決定されると、吸着ノズル134の吸着面である下面134aとステージ11の上面11aとの間の平行度(すなわち、電子部品92と基板91との間の平行度)が高精度に調整される。
【0020】
図5は3つの圧電素子31に与えられる電圧を設定する際の電子部品装着装置1の動作の流れを示す図である。電圧設定は電子部品92を基板91に装着する前の準備作業として行われる。
【0021】
電圧設定では、まず、全体制御部2の電圧付与回路23(図4参照)によりデフォルトの設定電圧が各圧電素子31に与えられる(ステップS11)。一方、予め吸着ノズル134にはダミー部品が保持されており、装着ヘッド13がヘッド昇降機構14により下降してダミー部品がステージ11に当接する(ステップS12)。
【0022】
ダミー部品がステージ11に当接した瞬間に各圧電素子31が出力する電圧は全体制御部2の検出回路21(図4参照)にて検出される(ステップS13)。当接により各圧電素子31に作用する力を示す出力値はダミー部品の下面がステージ11の上面11aに対して傾斜している方向および傾斜の程度に依存することから、全体制御部2は演算回路22にて出力値を演算処理してダミー部品のおよその傾きを求め、さらに、ダミー部品の傾きを補正するために各圧電素子31に与えられるべき設定電圧を算出する(ステップS14)。
【0023】
そして、求められた設定電圧と現在の(当接前の)設定電圧とが比較され、いずれかの圧電素子31に対して求められた設定電圧が現在の設定電圧に対して所定のしきい値以上異なる場合には、各圧電素子31に対する設定電圧が求められた設定電圧へと変更される(ステップS15,S16)。
【0024】
設定電圧の変更が行われた場合、電圧付与回路23により各圧電素子31に設定電圧が再度付与され(ステップS11)、ダミー部品の当接動作および設定電圧の算出が再度行われる(ステップS12〜S14)。以上の動作が設定電圧の変更が不要となるまで繰り返されることにより(ステップS15)、ステージ11に対して吸着ノズル134を適正な姿勢とするための設定電圧が求められる。すなわち、装着ヘッド13に保持される電子部品92の下面とステージ11に保持される基板91の上面との間の平行度を高精度に調整するための設定電圧が求められる。
【0025】
図6は電圧設定後に電子部品装着装置1が電子部品92を基板91に装着する動作の流れを示す図である。装着動作では、まず、事前に求められた設定電圧が各圧電素子31に付与され(ステップS21)、吸着ノズル134が適正な姿勢へと変更(調整)される。その後、電子部品92および基板91が電子部品装着装置1に搬入され、電子部品92が吸着ノズル134の下面134aに吸引吸着され、基板91がステージ11の上面11aに吸引吸着される(ステップS22)。
【0026】
ここで、図示を省略するカメラにより電子部品92の下面の電極パターンおよび基板91上の回路パターンが撮像され、ステージ移動機構12により基板91上の装着領域が電子部品92の真下に位置するようにステージ11の移動(すなわち、電子部品92と基板91との位置合わせ)が行われる(ステップS23)。なお、位置合わせにおいて装着ヘッド13を支持部材141を中心に回動させて電子部品92の向きの調整がさらに行われてもよい。
【0027】
位置合わせが完了すると、装着ヘッド13がヘッド昇降機構14により下降し、電子部品92が基板91に当接する(ステップS24)。このとき、装着ヘッド13に設けられた超音波発振部が能動化され、電子部品92の電極に形成されたバンプと基板91上の電極とが固着される。その後、全体制御部2がエジェクタ15bを制御することにより吸着ノズル134の吸引口134Hからの吸引が停止して装着ヘッド13による電子部品92の保持が解除され、装着ヘッド13が上昇する(ステップS25)。
【0028】
全体制御部2がエジェクタ15aを制御することによりステージ11による吸引吸着も解除され、装着済みの基板91は装置外のアーム等により電子部品装着装置1から搬出される(ステップS26)。そして、電子部品92の装着を行う次の基板91が存在する場合にはステップS22〜S26が繰り返されて電子部品92の装着が実行され、最後の基板91への電子部品92の装着が完了すると、電子部品装着装置1の装着動作が終了する(ステップS27)。
【0029】
以上のように、電子部品装着装置1では圧電素子31の出力に基づいてステージ11に対する吸着ノズル134の相対的姿勢(すなわち、ステージ11の上面11aと吸着ノズル134の下面134aとの間の平行度)が検出されるとともに圧電素子31に電圧を付与することにより吸着ノズル134の姿勢が高い精度にて調整される。換言すれば、圧電素子31は吸着ノズル134の姿勢を測定する機器としての機能と吸着ノズル134の姿勢を調整するアクチュエータとしての機能とを実現する。したがって、これらの2つの機能を実現するために測定機器とアクチュエータとを個別に設ける必要がなく、電子部品装着装置1の構造を簡素化することができる。
【0030】
また、電子部品装着装置1では圧電素子31の個数(取り付け箇所)を3とすることにより(正確には、同一直線状には並ばない3カ所とすることにより)、圧電素子31の制御の簡素化も実現される。なぜならば、圧電素子31をくびれ部13Nの周囲に4つ以上設けることも可能であるが、この場合、圧電素子31間の相互作用を考慮しつつ圧電素子31に付与すべき電圧を求める必要が生じるからである。
【0031】
なお、吸着ノズル134の姿勢を自動調整することにより、吸着ノズル134が交換された場合であっても速やかに装着動作を開始することも実現される。
【0032】
以上、本発明に係る一の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
【0033】
例えば、上記実施の形態において吸着ノズル134の姿勢を調整する技術は、2つの対象物を2つの保持部にて保持して当接させる際に、装置構造を簡素化しつつ一方の保持部に対する他方の保持部の相対的姿勢の精度を高める技術に利用することができる。
【0034】
電子部品92や基板91は電子部品装着装置1において機械的に保持されてもよく、静電吸着等の他の手法により保持されてもよい。また、電子部品92を基板91に装着して固着させる手法は他の手法であってもよい。例えば、基板91に予め異方性導電樹脂を付与し、電子部品92が装着されるとともに基板91に向けて押圧され、さらに、装着ヘッド13に設けられたヒータにより加熱されて樹脂が硬化されるという装着(および固定)手法に電子部品装着装置1が使用されてもよい。
【0035】
上記実施の形態ではヘッド昇降機構14により装着ヘッド13をステージ11に対して移動させて電子部品92が基板91上に装着されるが、装着ヘッド13とステージ11との相対的位置関係が他の機構(例えば、ステージ11を昇降させる機構)を用いて変更されることにより、装着(すなわち、当接)が行われてもよい。
【0036】
また、上記実施の形態では、吸着ノズル134がダミー部品を保持した状態で間接的にステージ11に当接させて圧電素子31への設定電圧の算出が行われるが、上記実施の形態のように吸着ノズル134の先端が平らな吸着面である場合には吸着ノズル134をステージ11に直接当接させてもよい。逆に、吸着ノズル134がダミー部品(または、電子部品92)を保持し、ステージ11がダミー基板(または、基板91)を保持した状態で、吸着ノズル134とステージ11との間接的な当接が行われてもよい。
【0037】
上記実施の形態では、電圧と歪とを互いに変換する圧電素子により簡単な構造で吸着ノズル134の姿勢の変更が行われるが、電気的に歪みを制御することができ、かつ、歪みに応じて電気的な出力が得られる他の部材が利用されてもよい。例えば、超磁歪素子にコイルを巻き付けたものを圧電素子31に代えて使用することも可能である。この場合、コイルへの電流が制御されることにより吸着ノズル134の姿勢の変更が実現される。また、装着ヘッド13とステージ11とが直接または間接的に当接した際には超磁歪素子の歪みによりコイルに電気的信号が発生し、この出力に基づいてコイルに流すべき電流を求めることも可能となる。
【0038】
上記実施の形態では電圧設定において吸着ノズル134とステージ11とを間接的に当接させる工程が繰り返されるが、吸着ノズル134の傾きを精度よく算出することができるのであるならば、吸着ノズル134とステージ11との当接は1回のみであってもよい。
【0039】
【発明の効果】
本発明によれば、第2対象物に対して第1対象物を高い精度にて所定の姿勢とした上で第1対象物と第2対象物とを当接させることができる。また、相対的姿勢の検出および調整を複数の歪み部材により実現することができるため、装置の構造を簡素化することができる。特に、電子部品を高い精度にて基板に装着する電子部品装着装置において装置構造の簡素化が実現される。
【図面の簡単な説明】
【図1】電子部品装着装置の概略構成を示す図
【図2】装着ヘッドおよびステージを示す斜視図
【図3】装着ヘッドおよびステージを示す断面図
【図4】装着ヘッドの断面図
【図5】圧電素子に与えられる電圧を設定する際の電子部品装着装置の動作の流れを示す図
【図6】電子部品装着装置が電子部品を基板に装着する動作の流れを示す図
【符号の説明】
1 電子部品装着装置
2 全体制御部
11 ステージ
14 ヘッド昇降機構
31 圧電素子
91 基板
92 電子部品
134 吸着ノズル
134a 下面
S11〜S16,S21,S24,S25 ステップ
Claims (9)
- 第1対象物を第2対象物に当接させる対象物当接装置であって、
第1対象物を保持する第1保持部と、
第2対象物を保持する第2保持部と、
前記第1保持部と前記第2保持部との相対的位置関係を変更することにより第1対象物を第2対象物に当接させる位置変更機構と、
電気的に歪みが制御されることにより前記第1保持部の姿勢を変更する複数の歪み部材と、
前記位置変更機構により前記第1保持部と前記第2保持部とを直接または間接的に当接させて前記複数の歪み部材からの出力を検出し、前記出力に基づいて前記複数の歪み部材の歪みを電気的に制御する制御部と、
を備えることを特徴とする対象物当接装置。 - 請求項1に記載の対象物当接装置であって、
前記複数の歪み部材の個数が3であることを特徴とする対象物当接装置。 - 請求項1または2に記載の対象物当接装置であって、
前記複数の歪み部材のそれぞれが圧電素子であることを特徴とする対象物当接装置。 - 第1対象物を第2対象物に当接させる対象物当接方法であって、
a) 第1保持部と第2保持部とを直接または間接的に当接させる工程と、
b) 前記第1保持部に設けられた複数の歪み部材からの出力を検出する工程と、
c) 前記出力に基づいて前記複数の歪み部材の歪みを電気的に制御して前記第1保持部の姿勢を調整する工程と、
d) 第1対象物を保持する前記第1保持部を第2対象物を保持する前記第2保持部に対して相対的に移動して前記第1対象物を前記第2対象物に当接させる工程と、
を有することを特徴とする対象物当接方法。 - 請求項4に記載の対象物当接方法であって、
前記d)工程の前に、前記a)工程ないし前記c)工程を繰り返す工程をさらに有することを特徴とする対象物当接方法。 - 請求項4または5に記載の対象物当接方法であって、
前記d)工程の後に、前記第1保持部が前記第1対象物の保持を解除する工程をさらに有することを特徴とする対象物当接方法。 - 電子部品を基板に装着する電子部品装着装置であって、
電子部品を保持する部品保持部と、
基板を保持するステージと、
前記部品保持部と前記ステージとの相対的位置関係を変更することにより電子部品を基板に装着させる位置変更機構と、
電気的に歪みが制御されることにより前記部品保持部の姿勢を変更する複数の歪み部材と、
前記位置変更機構により前記部品保持部と前記ステージとを直接または間接的に当接させて前記複数の歪み部材からの出力を検出し、前記出力に基づいて前記複数の歪み部材の歪みを電気的に制御する制御部と、
を備えることを特徴とする電子部品装着装置。 - 請求項7に記載の電子部品装着装置であって、
前記部品保持部が、電子部品を吸引吸着する吸着面を有することを特徴とする電子部品装着装置。 - 電子部品を基板に装着する電子部品装着方法であって、
a) 部品保持部とステージとを直接または間接的に当接させる工程と、
b) 前記部品保持部に設けられた複数の歪み部材からの出力を検出する工程と、
c) 前記出力に基づいて前記複数の歪み部材の歪みを電気的に制御して前記部品保持部の姿勢を調整する工程と、
d) 電子部品を保持する前記部品保持部を基板を保持する前記ステージに対して相対的に移動して前記電子部品を前記基板に当接させる工程と、
e) 前記部品保持部による前記電子部品の保持を解除する工程と、
を有することを特徴とする電子部品装着方法。
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JP2002161192A JP2004006553A (ja) | 2002-06-03 | 2002-06-03 | 対象物当接装置、対象物当接方法、電子部品装着装置および電子部品装着方法 |
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JP2002161192A Withdrawn JP2004006553A (ja) | 2002-06-03 | 2002-06-03 | 対象物当接装置、対象物当接方法、電子部品装着装置および電子部品装着方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN101925294A (zh) * | 2009-06-10 | 2010-12-22 | Juki株式会社 | 电子部件安装装置 |
JP2016018957A (ja) * | 2014-07-10 | 2016-02-01 | 富士通株式会社 | 半導体装置の実装方法、及び、半導体装置の実装装置 |
-
2002
- 2002-06-03 JP JP2002161192A patent/JP2004006553A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
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CN101925294B (zh) * | 2009-06-10 | 2015-05-20 | Juki株式会社 | 电子部件安装装置 |
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