JP2003525745A

JP2003525745A - 中空体塗装用機械

Info

Publication number: JP2003525745A
Application number: JP2001565419A
Authority: JP
Inventors: モーア，ロドニィ; スミス，ヒュージ; リュトリンガウス−ヘンケル，アンドレアス
Original assignee: テトララバルホールディングスアンドファイナンスエスエイ
Priority date: 2000-03-03
Filing date: 2001-03-01
Publication date: 2003-09-02
Also published as: EP1261753A1; PT1261753E; ATE434673T1; AU2001250345A1; US20040025785A1; ES2327388T3; DE50114950D1; WO2001066818A1; DE10010642B4; BR0108863A; CN1226449C; CN1408030A; DE10010642A1; EP1261753B1; US6849126B2

Abstract

(57)【要約】【課題】数個の中空体（１）の内面を同時に塗装するための機械を提供する。【解決手段】機械の性能向上のため、中空体運搬板（２）が、マトリクスの形で互いに隣り合って置かれた装着点（２２）を有し、管支持板（３）が、装着点（２２）に対応して垂直に並べられたガス供給管を有し、垂直に並べられ互いに隣接してマトリクス形に置かれ対応するガラス窓の付いた孔を有する隔離壁（１５）が機械の枠（１６）に固定されていて、運搬板（２）及び支持板（３）には、機械への水平移動及び前記機械に装着及び撤去のための駆動機構（２３）が設けられている。隔離壁（１５）、中空体運搬板（２）、管支持板（３）及び機能付属品（１０、１１、２３−２５）で第１モジュールを形成し、第１モジュールの鏡像である第二モジュールを有する構造体が、機械の枠（１６）に装着されている。マトリクスの形に並べられたマイクロ波装置（１２）が、第１及び第２モジュールの間に配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】

本発明は、複数の中空体の内面を同時に塗装するための機械に関わる。中空体
はほぼ平坦な中空体運搬板の上に保持されており、ほぼ平坦な管支持板の上に固
定されたそれぞれの処理ガス用ガス供給管が中空体内部に導入され、運搬板及び
それと平行に配置された支持板を含むユニットが動いて、それぞれの真空処理チ
ャンバに出入することが出来るようになっており、各中空体のための処理チャン
バには共振器付きマイクロ波装置を具えている。

【０００２】

【従来の技術】

ペットボトルなどのプラスチック中空体を、酸素などの低分子量ガスに関して
不透過にするためには、ペットボトルの内面にＳｉＯｘ層などの被膜を作ること
が知られている。これが低分子量ガスに対し良好な阻止特性を有するからである
。その内部塗装作業のため、ガス供給管を用いて処理ガス混合物をあらかじめ真
空にしたペットボトルの内面に吹き付ける。マイクロ波エネルギを用いるとその
プラズマに点火してボトル内面を塗装することが出来る。

【０００３】実験室においても、また既に大規模生産においても、ペットボトルはマイクロ
波エネルギを用いる方法により塗装されて来た。本明細書の始めの部分に述べた
種類と同様の機械を用いて、複数の中空体を同時に内部塗装することも既に知ら
れている。この既知機械の場合は、プラスチック瓶はその口を下向きにして、平
坦な中空体運搬板上にそれぞれの首を運搬板が保持するよう取り付ける。運搬板
自体は盆のように水平に並べられており、瓶の列は、これもまた水平に配置され
た平坦な管支持板から垂直に立ったガス供給管を瓶の口を通じて下から上向きに
導入することが出来るよう、底を上にして縦に伸びている。ガス供給管もまた、
塗装すべき瓶の列と同様、列を作って縦に水平の管支持板上に配置されている。
作業の手続は、運搬板を最初の水平位置から第２の水平位置に動かし、第２位置
において管支持板を運搬板に対し縦方向に動かして合接させこれら２つの板を単
体にする。これらが一体に纏まった後、さらに縦方向に動かせて真空処理チャン
バに入れ、処理の済んだ後、そこから出す。その後、運搬板を再度水平に撤収す
る。塗装済み瓶を運搬板から解放して引き離すには特殊装置が必要である。運搬
板と管支持板が水平に配置されているため、このような塗装機械は大きいスペー
スを必要とする。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】

このような次第で、本発明の目的は、本明細書の初めの部分に述べた機械の生
産量を増加しながら然も全体構造を小型にして必要なスペースを小さくすること
にある。この観点で、本発明は、一作業サイクルにおいて１台の機械で一層多く
の瓶が塗装されることを特に追求する。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本発明にしたがうと、この目的は次により達成される。１．互いに近接してマトリクス状に配置された装着場所を有する中空体運搬板と、前記装着場所のそれぞれ１つに対応する関係で配置されたガス供給管を有する管支持板とが、垂直方向を向いていること、２．対応して一致するマトリクス状の近接関係で配置されガラス窓を有する孔があり、これもまた垂直方向を向く隔離壁が、機械枠に装着されていること、３．運搬板と支持板には、積み込み及び取り外しのため機械に出し入れする水平運動のための駆動装置が設けられていること、４．隔離壁、中空体運搬板及び管支持板は、それらの機能付属品とともに第１モジュールを形成すること、５．機械枠には、第１モジュールと鏡像関係で、構造の一致する第２モジュールが装着されていること、及び６．マトリクス状構成で配置されたマイクロ波装置が、モジュールの間に配置されていること、

【０００６】スペース節約の目的で、機械は上に向かって構築されることが多い。本発明に
したがう塗装機械の場合は、すべてのポンプなどが、縦に機械の頂上で機械に装
着されている。中空体運搬板と管支持板の双方が垂直になっているお陰で、水平
に必要なスペースが節約されると、ポンプから個々の装置に到る管路も短くなる
。機械の水平構造面積が小さくなったため利用することの出来る機械枠頂上のス
ペースは、真空組立体を取り付けるに十分である。しかし供給を受ける個々のス
ペースとチャンバは互いに近くなり、関連する供給ラインが短くなる結果となる
。

【０００７】運搬板の上の中空体及び管支持板の上のガス供給管は、列の隣り合ったマトリ
クス状構成に配置することが出来る。こうして小さいスペースの中に多数の処理
場所を得ることが出来る。

【０００８】各モジュールに加えて、同じスペース節約の理由で垂直に配置した静止隔離板
を設けると、この場合もまたガラス窓の付いた孔を表面積当たりもっと多く設け
ることが出来る。ガラス窓により、一方の真空空間を大気圧下にある他方の空間
から分離することが可能になる。しかし同時に、ガラス窓はマイクロ波エネルギ
を透過する。このようにして、電線とアンテナを供給空間から真空処理空間に気
密で通過させることが出来る。このような隔離壁は頑丈な重厚構造体にすること
が出来、比較的大きい力を持たせることが出来る。これは、外界の大気圧と処理
チャンバ内部の真空に耐える。

【０００９】スピンドル、滑走レール、ローラー装置及びボールベアリング組立体を、運搬
板及び支持板の駆動に使用することが出来る。中空体運搬板の積み込み及び取り
外しの目的で、運搬板は機械から引き出して、中空体を有する単体を装着するた
め容易に近付くことが出来なければならない。運搬板及び支持板をユニットとし
て固定隔離壁に対して動かし、気密に閉鎖された処理チャンバを形成するため追
加駆動装置を設けるか、又は同一装置を利用することが出来るのが好適である。
これら閉鎖チャンバには中空体を装着しないことは理解されるであろう。その目
的のため、これを最初に開けなければならない。この場合、板を水平方向に引き
出すための駆動装置もまた起動しなければならない。

【００１０】本発明にしたがって、隔離壁、中空体運搬板、及び管支持板がその機能付属品
とともに第１モジュールを形成する設計構成であると、本発明の教示にしたがっ
て、機械枠内に第２モジュールを鏡像関係で保持することが可能となり、双方の
モジュールに出来るだけ多くの供給装置を付けることが出来る。これら供給装置
は１個だけ設ければよい。この点で、本発明にしたがって、マトリククス構成で
配置されたマイクロ波装置は、モジュールの中間に配置するのが好適である。

【００１１】各モジュールを構築するための機能付属品には、装着要素、供給ライン、移動
及び固定機械要素及び類似のものが含まれる。本発明にしたがう塗装機械を構築
するためには、これら付属品を各モジュールについて同一構成のものとし、各モ
ジュールについて適切な位置に同じ方法で取り付けることが出来る。これにより
、製造及び保守の費用を著しく節減することが出来る。

【００１２】塗装機械は、本発明にしたがう特性のお陰で、非常に小さく、極めて狭い空間
に構築することが出来る。作業位置に水平移動して処理手順実行の後、再度水平
に引き出される水平配置中空体運搬板を有する既知の機械に比較して、機械全体
は少量のスペースしか必要としない。板の上には、比較的少量の垂直空間内に多
数の処理場を並べて配置することが出来るので、高生産量塗装機械が得られる。

【００１３】投下資本量もまた、ポンプの配置及び構造に関し大きい影響を有する。大きい
表面積を占める機械の場合より近接が容易な構成において、真空組立体を機械枠
上に装着することが出来るので、上述のように、２つのモジュールに１台の真空
装置で十分となりポンプの作業負荷は実質上２倍となる。その意味で、マイクロ
波発生源を囲んで６個のモジュールを星型に配置するなど、適切な設計構成の機
械枠上に比較的多数のモジュールを並べることも不可能ではない。

【００１４】マイクロ波装置は、隣接して結合出力要素と導波管を有する互いに間隔を開け
た筐体のパケットになっているので、単位表面積当たりもっと多くを、垂直板の
上にマトリクス状に取り付けることが出来る。重要な特徴は、２つのモジュール
を適切に近付けて組み立てると、発生器からのマイクロ波エネルギを選択により
一方のモジュールに（例えば左に向かって）渡し、その後で他方のモジュールに
（例えば右に向かって）渡すことが出来ることである。こうすると、（ほぼ鏡像
関係で配置された）２つの対応作業場場所に対し関連マイクロ波装置は１台だけ
で済む。

【００１５】その縦方向中心線がほぼ水平に伸びるよう中空体を配置した垂直の向きの中空
体運搬板、及び管支持板はこのとき、塗装作業の後、中空体運搬板が積み込み及
び取り外し位置に動かされた後、取り外し作業を容易に行うことが出来るような
配置になっている。塗装済み中空体を運搬板から外すため、イジェクタを持ち込
むことのみが必要である。外した中空体は自動的に下に並べた収集容器内に落ち
る。

【００１６】モジュール当たり１つの代わりに全部で２つの中空体運搬板を使用することが
特に望ましい。そのうち１つが真空チャンバ内にある間に、他の１つを外側で積
み込み及び取り外しをすることが出来る。真空チャンバへの挿入（又は排出）の
途中で、中空体を塗装作業用の正しい位置に動かすため、板をその垂直軸の周り
で回転する。

【００１７】両モジュールのため共通冷却源を作ることが出来るのもまた本発明にしたがう
利点である。マイクロ波装置及び特に電源のある筐体の温度制御の目的で、これ
らは冷却チャンバの中に置くのが望ましい。ここで個々の装置の筐体がマトリク
ス構成で隣り合った列の間に互いに間隔をあけて置かれおり、冷却ギャップとス
ロットが十分な量とサイズで設けてあると、マイクロ波装置の全体パケットを２
つのモジュールの間で空調チャンバの中に組み立てることが出来る。これは、驚
いたことに共通冷却源となる。所望であれば、このチャンバ内の温度を精密に測
定して任意の点に制御することが出来る。

【００１８】本発明にしたがうモジュラー構造を、両モジュール（比較的多数のモジュール
を含むことも可能）のため共通ガス供給源を作るため使うのも同様に有利である
。その供給源とは、処理ガスの供給源の意味である。プラズマ発生のためには、
本来知られた方法で処理ガスを供給導管の外からガス供給管の中に送り込み、そ
こから塗装すべき中空体に処理ガスが渡される。ここに記述した種類の塗装機械
の製造及び運転双方のため、設けたすべてのモジュールのための共通ガス供給源
の可能性には、経済的見地（投資費用）及び技術的見地から関心のあることは明
らかである。

【００１９】本発明にしたがって、各中空体のため働くマイクロ波共振器が、隔離壁に装着
された中空円筒の形であると、特に望ましいこともまたまた見出された。運搬板
及び支持板を一方とし隔離壁を他方として一緒に纏め、気密処理チャンバを形成
した後で、その排気を完了した後、重厚構造体で共振器として働く中空円筒を用
いて板をうまく支えることが出来る。中空円筒が適切に強力で安定な性質のもの
であると、撓み現象を起こさないで、もっと大きい運搬板、支持板及び隔離壁を
使用することが出来る。これにより、各種寸法の処理チャンバを構築することが
可能になる。該当する真空チャンバは、比較的軽量の構造体のものとすることが
出来る。この見地から、１バールの空気圧を用いると、処理場所百カ所などの比
較的大きい隔離壁は、重量１８トンの力に相当する荷重を受けることが注目され
る。マイクロ波共振器は、いずれの場合にも必要である。これらを、厚さ２−８
ｍｍの薄板金属壁などを用いて頑丈な中空円筒に仕上げると、外側の板に対し有
用な支持となる。

【００２０】本発明にしたがって、中空体運搬板はまた、垂直回転軸の周りで回転する板回
転体の片側に取り付け、反対側に第２中空体運搬板を取り付けることが出来る。
これらの手段により機械の生産量がさらに増加する。詳細に説明すると、中空体
運搬板が既に真空チャンバ内にあるとき、他の中空体運搬板は機械の外側で容易
に近付くことが出来る。そこで快適且つ便利に積み込み及び取り外しをすること
が出来る。上述の板回転体の上に取り付けることが出来るとの事実のお陰で、積
み込み処理（積み込み及び／又は取り外し）が常に同じ側から出来るよう、運搬
板を垂直軸の周りに回転させることが出来る。板回転体とともに、運搬板は例え
ば１８０°回転する。このようにして、中空体が塗装作業のため正しい位置に動
かされる。

【００２１】

【発明を実施するための形態】

本発明に関するこれ以上の特徴及び可能な用法は、添付図面を参照する好適実
施例に関する以下の記述により明らかであろう。図１に図式的に示した機械は、ここでは瓶の形で示した複数の中空体１の内面
を同時に塗装するのに有用である。機械１は平面図で示してあるため、垂直方向
を向く平坦な中空体運搬板２は上側の狭い縦縁に対する図になっており、積み込
み及び取り外しのためには右又は左に水平方向に動くと考えなければならない。
これもまた垂直方向を向く平坦な管支持板３の上には、平行関係で配置され水平
に突き出る３本のガス供給管４が示されている。これらは、一般的に参照番号５
で示し図９の透視図に明確に示したレバー機構により、対応して配置された中空
体１に対し運動方向６（水平両方向矢印）の方向で出入りさせることが出来る。

【００２２】互いに平行関係にあり一緒に動いて図２ではユニットとなる運搬板２と管支持
板３を含むユニット７もまた、一般的に参照番号８で示した処理チャンバに、矢
印６で示した運動方向で動かして、出入りさせることが出来る。ここに示した機
械の構造は、二重式になっており、垂直に伸びると仮想される中心面９（図１の
破線）に関して事実上対称で、今までに記述したと同一の機械要素が鏡像関係で
繰り返し生じるようになっている。したがって、図１の下半分では、参照数字１
−８で示される要素が同様に示されているが、プライム符号を付けてある。した
がって、参照番号１′は中空体、参照番号４′はガス供給管、で以下同様である
。簡単のため、以下の記述は機械１の半分だけに限定する。

【００２３】各処理チャンバ８、８′は、一般的に参照番号１０で示す導管及び一般的に参
照番号１１で示す真空組立体を用いて真空にすることが出来る。バルブ及び類似
の品を用いる各真空の設定、監視及び制御は、当業者には既知なので、ここで詳
しくは記述しない。各中空体１のため、処理チャンバ８には、共振器１３の付いたマイクロ波装置
１２が装備されている。電源１４（図１）が、マイクロ波装置１２のパケット全
体を受け持って給電する。機械枠１６に固定された隔離壁１５もまた垂直方向を向いている。この静止隔
離壁１５は、図８の右側などで明確に見ることが出来る。隔離壁１５には、互い
に近接して並びマトリクス状に配置されたガラス窓１８のある孔１７が設けられ
ている。この隔離壁１５は、処理チャンバ１８を（真空処理のため）仕切る役を
果たし、ガラス窓１８で閉じられたその孔１７により、マイクロ波エネルギが装
置１２から処理チャンバ８の各中空体１に入ることが出来る。

【００２４】最後に、図１では参照番号１９がガス供給源を示しており、これは給気用管接
続２０を用いて管支持板３及びそれに装着された多数のガス供給管４に処理ガス
を給気する。処理ガスは、別の排気用管接続２１を用いて排気される。図１乃至３を参照して説明することが出来る範囲の機械の運転は、先ず中空体
運搬板２を運動方向６に直交する水平方向に左又は右に動かし、そこで複数の固
定位置２２に中空体１を装着する。次に、図４に示す駆動装置２３が中空体運搬
板２を運搬板２の面に平行な方向に動かし、図１及び２に示す位置に置く。中空
体１は、運搬板２の上の固定位置２２に直立した姿勢で列を隣り合わせてマトリ
クス状構成で装着される。次いで、駆動装置が、管支持板３をガス供給管ととも
に両方向矢印６の方向に動かし運搬板２と支持板３を、図２に示すように近づけ
る。こうしてガス供給管が、図２に破線で示すように、中空体１の中に突き出る
。その後、運搬板２と支持板３とを含むユニット７が静止処理チャンバ８の中に
入り、図３に示す状態になる。ここで管接続２０を用いて中空体１に処理ガスが
供給される一方で、中にあった空気及びその後では処理ガスもまた排気用管接続
２１を用いて引き抜かれる。それと平行して、中空体外側に必要な低圧を生じる
ため、処理チャンバ８は、真空組立体１１を用い導管１０を通って真空にされる
。電源１４のスイッチを入れて、マイクロ波共振器１３の付いたマイクロ波装置
を起動すると、中空体の中のガス混合物が（処理ガスとともに）プラズマ状態に
なる。プラズマ形成を通じて、塗装処理が、本質的に既知の方法で実行される。
その後、ユニット７をもう１度矢印の上方向に水平に動かして処理チャンバ８の
外に出し、もう１度図２の状態にする。管支持板３をガス供給管４とともに解放
し図１に示す状態にする。その後、中空体運搬板２を運動方向６に直交して左又
は右に向かって水平に動かして出すことが出来るので、振動装置（示さず）で個
々の中空体１を運搬板２から取り外す。中空体１は、収集箱の中に落ち、これが
塗装済み中空体を受け取って、後の充填作業などに送り込む。

【００２５】塗装機械の詳細は、図４乃至９にもっと完全に示す。そこで、図４と５は、一
般的に参照番号１１で示す真空組立体、中心に配置された主ポンプ装置２４及び
その横に配置された二つの処理ポンプ装置２５に関して示す。これらのポンプ２
４、２５の運転による真空の効果を受ける処理チャンバ８は、個々の機械要素を
明確に示すため、全部を筐体無しの開いた状態で示した。

【００２６】図４の全体透視図は、駆動装置２３を用いて機械枠１６から水平に引き出され
た中空体運搬板２を前から示す。運搬板の各々は１０×１０本の水平方向の中空
体１を運ぶ。この図はまた、既に機械中に運び込まれた中空体運搬板２^＊をも示
す。機械枠１６の中心には、マイクロ波装置１２のパケットがある。これは数及
び配置の点で、図示したマトリクス状の１０×１０本の中空体に対応している。
各マイクロ波装置１２は四角断面の長い平行管の形で示してある。これにはマグ
ネトロン（示さず）用電源があるので運転中に発熱する筐体が含まれる。その理
由で、個々のマイクロ波装置１２は、図で明らかなように、互いに間隔をあけて
配置してある。

【００２７】機械全体は、それぞれがいわゆるモジュール２６を形成するニつの端部分とと
もに、概ね３つの部分に分けることが出来る。これは、隔離壁１５，中空体運搬
板２及び管支持板３が、端部分ニつのそれぞれに設けてあり、互いに鏡像関係で
並んでいることを意味する。それによって形成されたモジュール２６はまた、前
に記述し説明した不可欠要素の機能付属品をも含むことは理解されるであろう。
これらの要素は機械枠１６装着しなければならないことは明らかだからである。
それらの部分は、動かすことが出来なければならず、すべての要素を働かせるた
めには供給源が必要である。これはまた、処理チャンバ８を開閉することの出来
るレバー機構５をも含む。真ん中の第３部分には、マトリクス構成で配置され、
冷却源（示さず）を有する共通の空調チャンバ内にならべられたマイクロ波装置
１２がある。冷却チャンバは、図９で立方形機械枠１６の左に始まり、マイクロ
波装置１２のパケット全体を囲んで冷却流体の流れを作ることを想像することが
出来る。

【００２８】図６及び７では、３つの部分を有する装置全体の鏡像構造に関する多くの詳細
を省略し、簡単のため実際には中空体１のための中空体運搬板２二つだけを付け
た機械枠１６のみを示した。鏡像構造は、一見して明らかである。加えて、中空
体１のための各装荷装置２１を二つの運搬板２のそれぞれに見ることが出来る。
中空体１は、それぞれの運搬板２に正に積み込み中である。図７は、図６に示し
た配置の前面図と全く同じ縮尺の図を示す。レバー機構５のための油圧ラム２８
二つを、左右両端に見ることが出来る。これらは、処理チャンバ二つの開閉に備
えている。

【００２９】図８は、左側に第１モジュール２６を、右側にこれもまた参照数字２６で識別
した第二モジュールを示す。図を明瞭にするため、（立方形の）機械枠１６の一
部だけを示す。それぞれの処理チャンバ８は、開けた状態で示してある。そのた
め、排気及び真空発生用の導管１０もまた引き離した状態で示されている。言わ
ば空中に浮かんだ曲管二つも見ることが出来る。しかし、運転に当たって、処理
チャンバ８を閉鎖した際に、これらの導管もまた互いに近付いて閉じることは、
容易に想像することが出来るであろう。図８の右半分は、マトリクス構成で配置
された１０×１０個の円孔１７を有する静止隔離壁１５を明瞭に示す。これらの
孔にはガラス窓１８が置かれており、これがマイクロ波結合効果を実際の真空処
理チャンバ８から機械的に分離する。図８の右側部分を取り外し、中空体運搬板２を作動状態に動かすと、マイクロ
波装置１２のブロックが前面で静止隔離壁１５に装着され、図９に示す右側モジ
ュール２６の透視図になる。図９は、処理チャンバ８の開閉用レバー機構５を、
明瞭に示す。ここでは、運動駆動装置用油圧ラム２８を省略している。

【００３０】図１０ａは、中空体運搬板２が中空体１の塗装のため処理チャンバ８の中に動
かされた作動位置を示す。板回転体３０が、処理チャンバ８の外側（図１０ａの
下側）に、回転軸３１の周りで回転するよう配置されており、丁度中空体積み込
最中の状態の、別の中空体運搬板２^＊を保持している。図１０ｂは、運搬板２を用いて、内部塗装済みの中空体１を、下を指す矢印で
示すように、処理チャンバ８の外に動かされ始めた様子を示す。この後、運搬板
２は、板回転体３０の右側に向き合って並び、そこに係止される。図１０ｃは、板回転体３０がその回転軸３１の周りで曲線矢印の方向に回転し
て、未塗装中空体が図１０ｄの位置に動く作動状態を示す。板回転体３に対する
平面図において、中空体運搬板２^＊は右側にあって、板回転体３０から解放する
ことが出来るようになっており、図１０ｅに示す作動状態において、上を指す矢
印の方向に処理チャンバ８の中に移動する。一方、板回転体３０は、そのまま外
側に止まるので、塗装済み中空体１を取り外し未塗装中空体と交換することが出
来る。運搬板２^＊の上で運ばれた中空体の塗装作業を終えた後は、図１０ａ）に
示す位置に戻る。そして、作業手順が繰り返される。

【図面の簡単な説明】

【図１】処理チャンバへの装荷前の第１作業状態にある、互いに鏡像関係で配置された
モジュール二つを有する塗装機械の好適実施例を示す略示図。

【図２】図１に図式的に示した機械の上部を、ガス供給管が既に中空体に挿入された状
態で示す部分図。

【図３】作業がさらに進んで、運搬板と支持板とを含むユニットが処理チャンバ内に動
いた状態となった図２と同様な部分図。

【図４】中空体運搬板を有するモジュール二つ、駆動装置及び中央に配置されたマイク
ロ波装置を有する塗装機械の好適実施例の全体斜視図。

【図５】図４の装置の背面斜視図。

【図６】モジュールの鏡像配置を部分的に示す機械枠の等角投影図。

【図７】図６で右前から左後を見たときの機械枠前面図で、それぞれの処理チャンバ閉
鎖用油圧装置を機械枠の右端及び反対側の左端に示す図。

【図８】機械枠の接続部分を除いた二つのモジュールの斜視図。

【図９】図８に示す右側モジュールの斜視図であって、マイクロ波装置がその前面に配
置された状態を示す図。

【図１０】図１０（ａ）乃至図１０（ｅ）は、板回転体を有する実施例の平面図を各種積
み込み状態で図式的に示す図。

【符号の説明】

１中空体２，２′，２^＊中空体運搬板３管支持板４ガス供給管５レバー機構６運動方向７中空体運搬板８処理チャンバ９概念上の垂直面１０導管１１真空組立体１２マイクロ波装置１３マイクロ波共振器１４電源１５静止隔離壁１６機械枠１７隔離壁１５の中の孔１８ガラス窓１９ガス供給源２０給気用管接続２１排気用管接続２２中空体装着場所２３駆動装置２４主ポンプ装置２５処理ポンプ装置２６モジュール２７積み込み装置２８油圧ラム２９曲管３０板回転体３１回転軸

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ，ＴＲ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＢＺ，ＣＡ，ＣＮ，ＣＯ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＫ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ (72)発明者スミス，ヒュージカナダ、オンタリオエル６ズィーアイビー９、ブランプトン、ノッタワサーガクレセント、82 (72)発明者リュトリンガウス−ヘンケル，アンドレアスドイツ連邦共和国、64289 ダルムシュタット、カルソンベーク、49 Ｆターム(参考） 4F042 AA01 AA11 DF01 DF03 DF15 DF28 DF31 DF32 DF34 EA02 EA03 EA04 EA07 EA09 EA20 EA26 EA27 EA31 4K030 CA07 CA15 EA06 FA01 GA12

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ほぼ平坦な管支持板（３）に保持された各処理ガス用ガス供給
管（４）を中空体（１）の中に導入し、互いに平行に配置された搬送板（２）と
支持板（３）とを含むユニット（７）を、真空にすることの出来るそれぞれの処
理チャンバ（８）に出入させることが出来る方法で、ほぼ平坦な中空体運搬板（
２）の上に保持された複数の中空体（１）の内面を同時に塗装するための機械で
あって、各中空体（１）のための処理チャンバ（８）に、共振器（１３）を有す
るマイクロ波装置（１２）を装備しており、１．互いに並接してマトリクス状に配置された固定個所（２２）を有する中空体運搬板（２）と、前記固定個所（２２）のそれぞれ１つに対応する関係で配置されたガス供給管（４）を有する管支持板（３）とが、垂直方向を指向していること、２．対応して一致するマトリクス状の並接関係で配置されガラス窓（１８）を有する孔（１７）があり、これもまた垂直方向を向く隔離壁（２５）が、機械枠（１６）に固定されていること、３．搬送板（２）と支持板（３）とには、積み込み及び取り外しのため機械に出し入れする水平運動のための駆動装置（２３）が設けられていること、４．隔離壁（１５）と中空体運搬板（２）と管支持板（３）とは、それらの機能付属品（５、１０、１１、２３−２５）とともに第１モジュール（２６）を形成すること、５．機械枠（１６）には、第１モジュール（２６）と鏡像関係で、構造の一致する第２モジュール（２６）が装着されていること及び６．マトリクス状構成で配置されたマイクロ波装置（１２）が、モジュール（２６）の間に配設されていること、を特徴とする機械。
【請求項２】両モジュール（２６）のため、共通冷却装置を設けたことを特
徴とする請求項１に記載の機械。
【請求項３】両モジュール（２６）のため、共通ガス供給源（１９）を設け
たことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の機械。
【請求項４】両モジュール（２６）のため、共通電源（１４）を設けたこと
を特徴とする請求項１乃至３の１つに記載の機械。
【請求項５】各中空体（１）に関し、該当するマイクロ波共振器（１３）が
、隔離壁（１５）に装着された中空円筒形状であることを特徴とする請求項１乃
至４の１つに記載の機械。
【請求項６】中空体運搬板（２）を、垂直回転軸（３１）の周りで回転する
ことの出来る平板回転体（３０）の一方側に取り付けることが出来ること及び第
２中空体運搬板（２^＊）を平板回転体（３０）の他方側に取り付けることが出来
ることを特徴とする請求項１乃至５のうち１つに記載の機械。