JPH08509166A - プラズマ補助表面反応又は表面上の重合による不活性又は不浸透性内部表面を有する中空容器 - Google Patents
プラズマ補助表面反応又は表面上の重合による不活性又は不浸透性内部表面を有する中空容器Info
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1. (a)容器を囲いの中に位置付けるステップ、 (b)容器中に反応物ガスを供給するための手段を挿入するステップ、 (c)囲いの内側及び容器の内側の圧力を選択的に制御するステップ、 (d)その場でコートされるべき容器の表面を清掃するステップ、 (e)コートされるべき表面を前処理して、引き続いてその上に堆積されるポ リマーコーティングがコーティング材料と容器材料の間の適切な接着を獲得する ことを可能にするステップ、 (f)所定のコンスティチェエンシのそして障壁特性を有する反応物ガスを容 器中に供給するステップ、 (g)前記反応物ガスのプラズマを発生させそしてコートされるべき表面の上 に比較的薄いポリマーコーティングを堆積させるステップ、並びに (h)前記ポリマーコーティングの堆積に続いてその場で残留モノマー及びそ の他のポリマー抽出可能物を排除するために前記ポリマーコーティングに対して 重合後の処理を施すステップ を含んで成る、容器表面温度の望ましくない上昇なしで容器の表面の上にポリマ ーコーティングを生成させる方法。 2. 前記清掃ステップ(d)が、所定のコンスティチェエンシのそして清掃特 性を有する反応物ガスを前記容器中に供給すること、及びそのプラズマを発生さ せることを含んで成る、請求の範囲第1項に記載の方法。 3. 前記前処理ステップ(e)が、所定のコンスティチェエンシのそして表面 活性化特性を有する反応物ガスを前記容器中に供給すること、 及びそのプラズマを発生させてコートされるべき表面へのコーティングの接着を 増進させるためにフリーラジカルを生成させることを含んで成る、請求の範囲第 1項に記載の方法。 4. プラズマを発生させる前記ステップ(g)が、マイクロ波の、比較的高周 波数のACエネルギー又はDC放電の使用を含む、請求の範囲第1項に記載の方 法。 5. 前記重合後の処理ステップ(h)が、比較的高いエネルギーのソースから 前記ポリマーコーティングに電磁エネルギーを付与することを含んで成る、請求 の範囲第1項に記載の方法。 6. 前記重合後の処理ステップ(h)が、所定のコンスティチェエンシの反応 物ガスを前記容器中に供給すること及びプラズマを発生させることを含んで成る 、請求の範囲第1項に記載の方法。 7. 前記堆積ステップ(g)が、それによって透明性、柔軟性並びに残留モノ マー及びポリマー抽出可能物の排除の比較的な容易性が与えられる、25nm〜 1500nmの範囲の厚さを有するポリマーコーティングを堆積させることを含 んで成る、請求の範囲第1項に記載の方法。 8. 前記のコートされるべき表面が前記容器の内側表面から成る、請求の範囲 第1項に記載の方法。 9. 前記容器がプラスチック容器から成る、請求の範囲第1項に記載の方法。 10. 前記容器が狭い口のプラスチック容器から成る、請求の範囲第1項に記 載の方法。 11. 前記容器がポリエチレンテレフタレートから成形された狭い口の容器か ら成る、請求の範囲第1項に記載の方法。 12. (a)容器を真空室の中に位置付けるステップ、 (b)容器中に反応物ガスを供給するための手段を挿入するステップ、 (c)真空室の内側及び容器の内側の圧力を選択的に制御するステップ、 (d)所定のコンスティチェエンシのそして清掃特性を有する反応物ガスを前 記容器中に供給しそしてそのプラズマを発生させることによって、その場でコー トされるべき容器の表面を清掃するステップ、 (e)所定のコンスティチェエンシのそして表面活性化特性を有する反応物ガ スを前記容器中に供給し、そしてそのプラズマを発生させてコートされるべき表 面と容器の間のコーティングの接着を増進させるためにフリーラジカルを生成さ せることによって、コートされるべき表面を前処理するステップ、 (f)所定のコンスティチェエンシのそして障壁特性を有する反応物ガスを容 器中に供給するステップ、 (g)障壁特性を有する前記反応物ガスのプラズマを発生させそしてコートさ れるべき表面の上に比較的薄いポリマーコーティングを堆積させるステップ、並 びに (h)比較的高いエネルギーのソースから前記ポリマーコーティングに電磁エ ネルギーを付与するか又は所定のコンスティチェエンシの反応物ガスを前記容器 中に供給しそしてそのプラズマを発生させることによって、前記ポリマーコーテ ィングの堆積に続いてその場で残留モノマー及びその他のポリマー抽出可能物を 排除するために前記ポリマーコーティングに対して重合後の処理を施すステップ を含んで成る、容器表面温度の望ましくない上昇なしで容器の表面の上 にポリマーコーティングを生成させる方法。 13. (a)容器を囲いの中に位置付けるための手段、 (b)容器中に反応物ガスを供給するための手段、 (c)囲いの内側の圧力を制御するための手段、及び (d)容器の内側の圧力を制御するための手段、 (e)その場でコートされるべき容器の表面を清掃するための手段、 (f)コートされるべき表面を前処理して、引き続いてその上に堆積されるポ リマーコーティングがコーティング材料と容器材料の間の適切な接着を獲得する ことを可能にするための手段、 (g)所定のコンスティチェエンシのそして障 壁特性を有する反応物ガスを容器中に供給するための手段、 (h)障壁特性を有する前記反応物ガスのプラズマを発生させそしてコートさ れるべき表面の上に比較的薄いポリマーコーティングを堆積させるための手段、 並びに (i)前記ポリマーコーティングの堆積に続いてその場で残留モノマー及びそ の他のポリマー抽出可能物を排除するために前記ポリマーコーティングに対して 重合後の処理を施すための手段 を含んで成る、容器表面温度の望ましくない上昇なしで容器の表面の上にポリマ ーコーティングを生成させるシステム。 14. 前記囲いが真空室から成る、請求の範囲第13項に記載のシステム。 15. 清掃のための前記手段が、所定のコンスティチェエンシのそして清掃特 性を有する反応物ガスを前記容器中に供給するための手段、及びそのプラズマを 発生させるための手段を含んで成る、請求の範囲第1 3項に記載のシステム。 16. 前処理のための前記手段が、所定のコンスティチェエンシのそして表面 活性化特性を有する反応物ガスを前記容器中に供給するための手段、及びそのプ ラズマを発生させてコートされるべき表面へのコーティングの接着を増進させる ためにフリーラジカルを生成させるための手段を含んで成る、請求の範囲第13 項に記載のシステム。 17. 前記重合後の処理手段が、比較的高いエネルギーのソースから前記ポリ マーコーティングに電磁エネルギーを付与するための手段を含んで成る、請求の 範囲第13項に記載のシステム。 18. 前記重合後の処理手段が、所定のコンスティチェエンシの反応物ガスを 前記容器中に供給するための手段及びプラズマを発生させるための手段を含んで 成る、請求の範囲第13項に記載のシステム。 19. 前記堆積手段が、それによって透明性、柔軟性並びに残留モノマー及び ポリマー抽出可能物の排除の比較的な容易性が与えられる、25nm〜1500 nmの範囲の厚さを有するポリマーコーティングを堆積させるための手段を含ん で成る、請求の範囲第13項に記載のシステム。 20. 前記のコートされるべき表面が前記容器の内側表面から成る、請求の範 囲第13項に記載のシステム。 21. 前記容器が狭い口のプラスチック容器から成る、請求の範囲第13項に 記載のシステム。 22. (a)真空室、 (b)容器を真空室へそしてそこから輸送するための手段、 (c)真空室の内側及び容器の内側の圧力を選択的に制御するための 手段、 (d)所定のコンスティチェエンシのそして清掃特性を有する第一反応物ガス を前記容器中に供給するための手段を含んで成る、コートされるべき容器の表面 をその場で清掃するための手段、 (e)前記第一反応物ガスのプラズマを発生させるための手段、 (f)所定のコンスティチェエンシのそして表面活性化特性を有する第二反応 物ガスを前記容器中に供給し、そしてコートされるべき表面と容器の間のコーテ ィングの接着を増進させるためのフリーラジカルを生成させるためにそのプラズ マを発生させるための手段を含んで成る、コートされるべき表面を前処理するた めの手段、 (g)所定のコンスティチェエンシのそして障壁特性を有する第三反応物ガス を容器中に供給するための手段、 (h)前記第三反応物ガスのプラズマを発生させそしてコートされるベき表面 の上に比較的薄いポリマーコーティングを堆積させるための手段、並びに (i)比較的高いエネルギーのソースから前記ポリマーコーティングに電磁エ ネルギーを付与するための手段又は所定のコンスティチェエンシの第四反応物ガ スを前記容器中に供給しそしてそのプラズマを発生させるための手段を含んで成 る、前記ポリマーコーティングの堆積に続いてその場で残留モノマー及びその他 のポリマー抽出可能物を排除するために前記ポリマーコーティングに対して重合 後の処理を施すための手段を含んで成る、プラスチックの飲料容器の表面の上に ポリマーコーティングを生成させるためのシステム。 23. (a)成形された容器を真空室中に位置付けるステップ、 (b)容器中に反応物ガスを供給するための手段を挿入するステップ、 (c)真空室を排気するステップ、 (d)所定のタイプの反応物ガスを容器中に供給するステップ、並びに (e)前記容器の内部表面の表面組成の変化を引き起こすために前記反応物ガ スのプラズマを発生させるステップ を含んで成る、容器表面温度の望ましくない上昇なしで、プラスチック内部表面 を有する容器の不活性/不浸透性内部表面を生成させる方法。 24. 前記反応物ガスが、前記プラスチック内部表面の表面特性の直接の変化 を引き起こしその結果前記表面を不活性/不浸透性にするタイプのものである、 請求の範囲第23項に記載の方法。 25. 前記反応物ガスが、プラスチック内部表面を活性化してプラスチック表 面と無機物質との反応を可能にしその結果内部プラスチック表面を不活性/不浸 透性にするタイプのものである、請求の範囲第23項に記載の方法。 26. 所定の無機物質を容器の内部表面に導入するステップを付加的に含む、 請求の範囲第25項に記載の方法。 27. 金属イオンの溶液を容器の内部表面に導入するステップを付加的に含む 、請求の範囲第25項に記載の方法。 28. (a)真空室、 (b)成形された容器を前記真空室へそしてそこから輸送するための手段、 (c)真空室中の圧力又は真空を制御するための手段、 (d)所定のタイプの反応物ガスを容器中に供給するための手段、並びに (e)前記容器の内部表面の表面組成の変化を引き起こすために前記反応物ガ スのプラズマを発生させるための手段 を含んで成る、容器表面温度の望ましくない上昇なしで、プラスチック内部表面 を有する容器の不活性/不浸透性内部表面を生成させるためのシステム。 29. 前記反応物ガスが、前記プラスチック内部表面の表面特性の直接の変化 を引き起こしその結果前記表面を不活性/不浸透性にするガスを含んで成る、請 求の範囲第28項に記載のシステム。 30. 前記反応物ガスが、プラスチック内部表面を活性化してプラスチック表 面と無機物質との反応を可能にしその結果内部プラスチック表面を不活性/不浸 透性にするためのガスを含んで成る、請求の範囲第28項に記載のシステム。 31. 前記ガスが所定の無機物質を含む、請求の範囲第30項に記載のシステ ム。
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