MXPA04011431A - Dispositivo y metodo para el tratamiento de piezas de trabajo. - Google Patents

Dispositivo y metodo para el tratamiento de piezas de trabajo.

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MXPA04011431A
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Abstract

La invencion se relaciona con un dispositivo y un metodo para el recubrimiento de cuerpos huecos, en particular para el recubrimiento interno de botellas de bebidas de plastico mediante un PICVD.Es un objetivo de la invencion asegurar una secuencia de operacion flexible, un volumen alto de paso, una alimentacion mejorada de fluido y un recubrimiento de alta calidad. La invencion propone en particular una maquina rotativa que comprende un dispositivo de tratamiento con reactores dobles para recibir en cada caso al menos una pieza de trabajo, un dispositivo de suministro de fluido y al menos un dispositivo de suministro de fluido y al menos un dispositivo de control de fluido que puede usarse para controlar la alimentacion de fluido a los dispositivos de tratamiento. Es preferible que las bombas de vacio esten dispuesta en el rotor de forma tal que giran con este.

Description

DISPOSITIVO Y MÉTODO PARA EL TRATAMIENTO DE PIEZAS TRABAJO DESCRIPCION Género de la invención La invención se relaciona con un dispositivo y un método para el tratamiento de piezas de trabajo con fluidos en general y para el recubrimiento de cuerpos huecos en particular. Antecedentes de , la invención Materias sintéticas, particularmente materias sintéticas transparentes, están obteniendo cada vez mayor importancia y sustituyen vidrio como precursor preferido en muchas áreas . Un ejemplo de esto son botellas para bebidas, que hace pocos años se fabricaron casi exclusivamente de vidrio y que se fabrican hoy en día ya en su mayor parte de materia sintética PET . La razón de esto es el enorme ahorro en peso. Pero botellas de materia sintética pueden tener también algunas desventajas en comparación con botellas de vidrio, por ejemplo, las materias sintéticas usadas como PET no son suficientemente impermeables al gas, de manera que, particularmente en el caso de bebidas conteniendo dióxido de carbono, la durabilidad es inferior que en el caso de botellas de vidrio, a menos que se tomen medidas especiales . Por esta razón, las botellas de materias sintéticas se proveen en el interior con un recubrimiento, lo que produce un aumento de la durabilidad. Como botellas para bebidas son mercancía fabricadas a gran escala, existe una presión enorme sobre los costos, de manera que se presenta una demanda permanente por perfeccionamientos para los métodos de recubrimiento y dispositivos respectivos. Para un recubrimiento eficiente de botellas PET y de otras piezas de trabajo de material dieléctrico, preferentemente materia sintética, es deseable, por lo tanto, desarrollar un dispositivo y un método que permiten duraciones de ciclo muy breves y con esto una alta velocidad de paso. Velocidades de paso de ensayo típicamente exigidas se hallan en la región de 10,000 botellas por hora. Se conoce una máquina de este tipo con un plato giratorio para el tratamiento de cuerpos huecos de la publicación WO 00/58631, en la que 20 estaciones de tratamiento idénticas están dispuestas en el plato giratorio . La invención definida en la publicación precedentemente mencionada se basa en el problema que, teniendo una gran cantidad de estaciones de tratamiento, existe el peligro de que dos estaciones de tratamiento contiguas estén unidas simultáneamente con la misma fuente de presión. Como solución se propone en la publicación mencionada ofrecer una máquina con una primera y una segunda etapa de bombeo y una etapa de depósito, donde las estaciones se conectan para las diferentes etapas con bombas. Se basa además en la suposición que el peso y el volumen de las bombas evita que estás sean arrastradas por los platas giratorios. Las bombas, por lo tanto, son estacionarias y se emplea una conexión o un distribuidor rotatorios para conectar las bombas con las estaciones. Además, las 20 estaciones están subdivididas en dos grupos, siendo que cada grupo está asociado con una fuente de presión independiente y equivalente, respectivamente, los grupos se diferencian por la bomba, a la que se conectan. Mediante un distribuidor rotatorio se determina en que momento del movimiento rotatorio del plato giratorio, una bomba determinada está en conexión con una estación de tratamiento determinada, siendo que el distribuidor contiene para este fin una corona rotatoria con 20 aberturas y una corona fija con respectivamente 3 aberturas para los ambos grupos . Con el fin de obtener ventajas a partir de este arreglo, la máquina es concebida de forma tal que dos estaciones del mismo grupo no pueden estar- conectadas simultáneamente con la misma bomba. Correspondientemente, la invención descrita define como su objeto una máquina que tenga capacidad para comprender una gran cantidad de estaciones y garantizar simultáneamente que una fuente de presión esté conectada en un en un momento determinado solamente con una estación de tratamiento como máximo. Esta máquina, sin embargo, tiene una serie de desventajas graves. Un primer inconveniente es la conexión en paralelo de varias bombas, ya que se requiere tubería múltiple . Otra desventaja es el arreglo estacionario de las bombas, ya que los recorridos de las estaciones hasta las bombas son relativamente largos, por lo que reduce la potencia de bombeo. Particularmente desventajoso, sin embargo, es el empleo del distribuidor rotatorio. Distribuidores así son extremadamente difíciles de sellar y susceptibles a fallas debido a cuerpos extraños. El distribuidor, además, no permite variación alguna del funcionamiento de proceso debido a su disposición de abertura fijamente predeterminada, de manera que esto representa un concepto inflexible.
Pero no solamente el método aplicado mediante el dispositivo precedentemente mencionado, sino también el recubrimiento empleado de carbono amorfo requiere de mejorías, ya que está coloreado de manera no deseable. Existe además el peligro que la capa de carbono se desprende durante una deformación de la botella. La invención La invención tiene, por lo tanto, por tarea ofrecer un dispositivo y un método para el tratamiento de piezas de trabajo que evitan, o al menos reducen, las desventajas de dispositivos conocidos respectivamente métodos . Otro objetivo de la invención es ofrecer un dispositivo y un método para el tratamiento de piezas de trabajo que funcionan confiablemente y que garantizan una gran velocidad de paso. Otra tarea de la invención es ofrecer un dispositivo y un método para el tratamiento de piezas de trabajo que pueden adaptarse flexiblemente a los requerimientos del usuario o del funcionamiento de proceso deseable . Aún otra tarea de la invención es ofrecer un dispositivo y un método para el tratamiento de piezas de trabajo que garantiza una alimentación de fluido mejorada, que permite en particular una operación con pocas interrupciones . Aún otra tarea de la ' invención es ofrecer un dispositivo y un método para el tratamiento de piezas de trabajo, con la que se puede obtener un cubrimiento mejorado, particularmente respecto a coloración y adhesión. La tarea de la invención se resuelve de manera sorprendentemente sencilla ya por el objeto de las reivindicaciones independientes. Perfeccionamientos ventajosos de la invención son definidos en las reivindicaciones dependientes. Según una modalidad preferida de la invención, se ofrece un dispositivo para el tratamiento de piezas de trabajo, particularmente para el recubrimiento interior de cuerpos huecos. Piezas de trabajo por recubrir son particularmente recipientes de materia sintética, por ejemplo, botellas de bebidas. El dispositivo inventivo comprende al menos un dispositivo de tratamiento, preferentemente una multiplicidad de dispositivos de tratamiento idénticos, que están diseñados para alojar respectivamente una pieza de trabajo o una botella de materia sintética como mínimo y un dispositivo de alimentación de fluido, que alimenta el dispositivo de tratamiento con al menos un fluido de procesamiento para el recubrimiento. El dispositivo comprende además al menos un dispositivo de control de fluido, particularmente un primer arreglo de válvulas con una multiplicidad de válvulas, siendo que el suministro de fluido del dispositivo de tratamiento puede controlarse mediante el primer arreglo de válvulas, particularmente mediante válvulas. De manera ventajosa, el control del suministro de fluido o gas es altamente flexible y programable en forma variable mediante el primer arreglo de válvulas. De esta manera, el control de los tiempos respectivamente el diseño de la operación definido por el dispositivo, son modificables y pueden adecuarse fácilmente a los diferentes requerimientos. La invención facilita además períodos de cambio cortos y con esto una modificación rápida de los parámetros de proceso. Además, el dispositivo inventivo trabaja confiablemente y con gran velocidad de paso. La invención permite además un tratamiento eficiente y con esto tratamiento respectivamente recubrimiento económico, a largo plazo de las piezas de trabajo de excelente calidad. Preferentemente se está previendo una multiplicidad de dispositivos de tratamiento, particularmente idénticos y el primer arreglo de válvulas comprende una multiplicidad de grupos de válvulas particularmente idénticas, siendo que cada grupo de válvulas por separado está asociado con. un dispositivo de tratamiento. Preferentemente, grupos de válvulas comprenden respectivamente una multiplicidad de válvulas eventualmente idénticas . Gracias a esto es posible ventajosamente controlar cada dispositivo de tratamiento respectivamente su alimentación con fluido a través del grupo de válvula asociado con ella, independientemente de los demás dispositivos de tratamiento. Según un perfeccionamiento preferido del dispositivo inventivo, esta define una multiplicidad de etapas de operación particularmente diferentes, siendo que los dispositivos de tratamientos pasan por cada una de ellas. Más precisamente, cada dispositivo de tratamiento pasa, una tras otra, por todas las etapas de operación, de manera que particularmente al menos dos o todos los dispositivos se encuentran al menos en un o en todo momento en etapas de operación diferentes. Para esto, cada etapa de operación es asociada con un estado predeterminado del primer arreglo de válvula, siendo que el estado para cada etapa es ajustable de forma variable mediante una receta. Por receta se entiende un desarrollo - particularmente predeterminado - de la operación a través del control. Ventajosamente se obtiene, gracias a parámetros de ajuste libres, por ejemplo intervalos de cambio, ángulo de cambio y/o duración de cambio etc., una flexibilidad mayor. Preferentemente, la receta, la asociación con las etapas de operación y/o la duración de las etapas de operación para diferentes piezas de trabajo, por ejemplo, diferentes volúmenes y geometrías de botellas, se ajustan de manera diferente, lo que vuelve la invención aún más flexible . Particularmente para cada etapa de la operación está correlacionada con un estado predeterminado del grupo de válvulas asociado permanentemente con el respectivo dispositivo de tratamiento. En otras palabras, las etapas de operación de cada dispositivo de tratamiento se controlan mediante el grupo de válvula asociado, o se define la respectiva etapa de operación de cada dispositivo de tratamiento mediante el estado del grupo de válvula asociado. Con esto se mejoran aún más la precisión, velocidad y flexibilidad del dispositivo. Preferentemente, el primer arreglo de válvulas, particularmente cada grupo de válvulas o las válvulas, son controlables mediante señales de mando, preferentemente independientemente entre si . El arreglo de válvulas o el bloque de válvulas, respectivamente las válvulas se controlan en particular eléctricamente, neumáticamente y/o hidráulicamente, etc., lo que tiene un efecto favorable sobre los períodos de mando y con esto sobre la velocidad de la operación. Según una modalidad preferida de la invención, el dispositivo define al menos dos o más etapas de operación, siendo que durante al menos una primera y segunda etapa de operación o de recubrimiento, la pieza de trabajo se recubre con una primera respectivamente segunda capa. La primera y segunda capas comprenden particularmente diferentes materias. Preferentemente, además a uno de los dispositivos de tratamiento, particularmente a cada uno, , es asociado respectivamente un obturador como mínimo con diámetro preferentemente idéntico, para reducir la presión en la tubería de alimentación. El obturador define en esto un volumen de paso predeterminado a una presión previa definida. Esto representa una manera de reducción de presión extremadamente sencilla y económica. Según un perfeccionamiento de la invención, ventajoso y por lo tanto preferido, el dispositivo comprende un dispositivo distribuidor de fluido, mediante el cual el fluido se distribuye a los dispositivos de tratamiento y/o un medio para ajustar el volumen de paso, por ejemplo un regulador de volumen de flujo, que está dispuesto en dirección del flujo antes del dispositivo distribuidor de fluido. Por lo tanto, el flujo de fluido o gas puede ajustarse de manera central para todos los dispositivos de tratamiento. Esto es muy ventajoso desde el punto de vista del costo, ya que, no obstante la gran cantidad de reactores, no es necesario regular el flujo de gas de cada uno de los reactores respectivamente mediante un regulador de flujo de volumen o regulador de flujo de moléculas por separado, sino para cada gas de la proceso se está previendo solamente un regulador de flujo de volumen. Aún así, la invención permite un cambio rápido de al menos uno de los siguientes parámetros del proceso: composición del fluido de proceso respectivamente de un precursor - concentración del precursor - alimentación total de gas y - presión en los dispositivos de tratamiento. Además puede ajustarse un cambio en al menos uno o varios de los parámetros de la operación en los dispositivos de tratamiento independientemente entre si y/o en un momento discrecional . Preferentemente, el dispositivo de alimentación de fluido suministra varios fluidos diferentes, particularmente gases de proceso, siendo que particularmente aquel grupo de distribuidores tiene una válvula separada para cada fluido y/o un obturador separado para cada dispositivo de tratamiento. Esto quiere decir en particular, que fluidos diferentes se alimentan a los dispositivos de tratamiento en tubería separada y los flujo de fluido pueden controlarse de manera independiente entre si . Para el recubrimiento de materias sintéticas, sistemas de dos o más capas son convenientes para cumplir con los requerimientos respecto a la unión de capa sustrato. Por ejemplo, se segrega una primera capa de agente de adhesión orgánico, sobre la cual se aplican en una o varias etapas adicionales otras capas funcionales, particularmente una capa de barrera, que se diferencian en al menos un atributo físico o químico como, por ejemplo, composición, densidad, rugosidad, morfología, manera de crecimiento, reflexión/transmisión, formación de barrera. La capa de agente de adhesión aumenta la adhesión e impide o al menos dificulta un desprendimiento indeseable de las capas. Además, la combinación de ambas capas tiene el efecto sinergético de que la capa de agente de adhesión refuerza aún más el efecto de barrera. Un recubrimiento con dos o más componentes, tal como lo ofrece la invención es, por lo tanto, sumamente ventajoso sobre todo con piezas de trabajo en forma de botellas de bebidas de materia sintética, ya que se puede prolongar la durabilidad de la bebida y se evita simultáneamente una penetración indeseable del material de las capas en la bebida. Para un recubrimiento rápido de envases de materia sintética, al usar un método CVC, particularmente PECVD, preferido PICVD, un método de generación de gas es conveniente con el método de recubrimiento, que ofrece al menos dos gases o mezclas de gases diferentes. En una modalidad particularmente ventajosa de la invención, al menos uno, pero aún mejor cada uno de los dispositivos de tratamiento tiene al menos dos o más estaciones de tratamiento o reactores, que están diseñados para el alojamiento de una pieza de trabajo y que en particular tienen construcción paralela y simétrica y que se conectan simultáneamente en la etapas de operación y se ajustan parámetros de proceso idénticos en las estaciones de tratamiento. En otras palabras, las estaciones de tratamiento, y con esto las piezas de trabajo respectivamente alojadas de un dispositivo de tratamiento, pasan las etapas de operación de manera tal que las respectivas estaciones de tratamiento al menos en un momento, particularmente en todo momento se encuentren en la misma etapa de operación. Preferentemente, las estaciones de tratamiento están subdivididas , por lo tanto, en dos o más grupos, siendo que cada grupo está asociado precisamente con un dispositivo de tratamiento y las estaciones de tratamiento están sincronizadas de„ manera tal que al menos la evacuación de las estaciones de tratamiento del mismo grupo o dispositivo de tratamiento se realiza de manera sincronizada, de modo que al menos dos estaciones de tratamiento, particularmente las estaciones de tratamiento del mismo grupo, están conectadas a la misma bomba al menos por períodos . Las estaciones de trabajo, en esto están asociadas con un respectivo dispositivo de tratamiento del mismo grupo de válvulas. En particular ha comprobado su efectividad una cantidad de dos, un múltiple de dos, particularmente cuatro, seis, ocho o más estaciones de trabajo o reactores por dispositivo de tratamiento. Gracias a la conexión combinatoria de una multiplicidad de estaciones de tratamiento sincronizadas en un dispositivo de tratamiento es posible incrementar la velocidad de paso del dispositivo considerable con una inversión adicional reducida. En esto se distribuyen los gases del proceso de manera uniforme particularmente a varios o a todos los reactores, preferentemente 10 a 100 piezas.
Preferentemente, los reactores individuales tienen o bien respectivamente una alimentación de gas por separado o se alimentan los grupos de reactores, por ejemplo reactores dobles, juntos con los gases de proceso. Preferentemente, el dispositivo define un ciclo de tratamiento con una multiplicidad de etapas de operación, siendo que el ciclo de tratamiento de al menos uno o de cada uno de los dispositivos de tratamiento es pasado de manera asincrona respecto a los demás dispositivos de tratamiento. Igualmente para al menos uno o cada uno de los grupos de válvula por un ciclo de estado predeterminado, siendo que cada etapa de operación está correlacionada con un estado determinado, pero controlable del grupo de válvulas asociado. Preferentemente, cada dispositivo de tratamiento pasa particularmente al menos respecto a secuencia, período, duración y/o intervalo temporal de las fases por el ciclo de tratamiento idéntico. El dispositivo inventivo es particularmente una instalación continua o rotativa y comprende una' sección estacionaria y una sección móvil o un rotor. Los dispositivos de tratamiento están dispuestos preferentemente en la sección móvil o el rotor y se mueven respectivamente giran con este. Cada dispositivo de tratamiento toma en esto, durante el ciclo de tratamiento, una multiplicidad de posiciones respectivamente posiciones a ángulo, siendo que cada posición está correlacionada con una etapa de la operación predeterminada. En otras palabras, las fases de proceso están sincronizadas con las posiciones respectivamente posiciones de ángulo, siendo que también esta sincronización es controlable. Para esto se controlan preferentemente los grupos de válvula de manera sincronizada con la posición angular del rotor. De manera particularmente preferida, el primer arreglo de válvulas está dispuesto en la sección móvil respectivamente el rotor, de manera que este se mueve o gire junto con aquella. Gracias a esto es posible usar una tubería de fluido sencilla. Particularmente ventajoso es un ejemplo de ejecución de la invención, donde se está previendo un dispositivo de bombeo para evacuar el dispositivo de tratamiento al menos temporalmente con al menos una bomba, por ejemplo una bomba Roots. Gracias a esto, el dispositivo de bombeo puede estar conectado en forma fijo o sin distribuidor rotatorio con los dispositivos de tratamiento y la evacuación por etapas de los dispositivos de tratamiento, más precisamente el principio y/o al fin de las etapas de evacuación, se controla respec ivamente regula mediante el dispositivo de mando de evacuación. Esto es sumamente ventajoso, particularmente en el caso de la instalación rotatoria. El dispositivo de mando de evacuación controla la asociación entre los dispositivos de tratamiento y el dispositivo de bombeo y comprende preferentemente un segundo arreglo de válvulas, de manera que el mando de evacuación se realiza mediante válvulas. Preferentemente, también el segundo arreglo de válvulas, o del lado de las bombas, está subdividido en grupos de válvulas de manera tal que cada dispositivo de tratamiento está asociado con un grupo de válvula, siendo que particularmente que respectivamente una válvula de los grupos de válvulas está asociada con un dispositivo de transporte o una bomba de vacío, para lograr un control independiente de la asociación de las individuales bombas de vacío. Las válvulas son preferentemente del mismo tipo constructivo como las válvulas del primer arreglo de válvulas o del lado de alimentación de fluido. Mediante un dispositivo de bombeos se evacúan, preferentemente de manera cíclica, y el control mediante el dispositivo de mando de evacuación se realiza preferentemente, por ejemplo, por señales de mando cambiables. De esta manera, la evacuación y/o el suministro con fluido son individualmente controlables preferentemente de manera variable y/o en relación con el respectivo dispositivo de tratamiento. Preferentemente, el dispositivo de bombeo comprende al menos dos bombas que están asociadas con diferentes áreas de presión y que producen una evacuación ¦en cascado o etapas. Particularmente cada dispositivo de tratamiento se conecta primeramente a una primera bomba y se evacúa a un primer valor de presión para ser separado a continuación de la primera bomba y conectado con una segunda bomba y evacuado por la segunda bomba a un segundo valor de presión más bajo. Según una modalidad preferida, cada dispositivo de tratamiento pasa durante la rotación del rotor por varias etapas de operación diferentes, siendo que el dispositivo de bombeo comprende al menos una primera y segunda etapa de bombeo, que están asociadas con diferentes áreas de presión y el dispositivo de tratamiento correspondiente es evacuado mediante la primera y la segunda etapa de bombeo una tras otra en etapas. Además, al menos cada tercera y/o cuarta de las etapas de operación es una etapa de recubrimiento, durante la cual el dispositivo de tratamiento correspondiente es evacuado mediante el dispositivo de bombeo, particularmente mediante una tercera respectivamente cuarta etapa de bombeo, mientras que se le alimenta simultáneamente un gas de proceso para el recubrimiento con plasma. Es particularmente ventajoso, si la primera y segunda etapa de bombeo consiste respectivamente exactamente de una primera respectivamente segunda bomba de vacío, de manera que todos los dispositivos de tratamiento se conectan y evacúan en su primera etapa de bombeo con la primera bomba de vacío y en su segunda etapa de bombeo con la segunda bomba de vacío. Gracias a esto se mantiene, de manera ventajosa, la cantidad de bombas de vacío de alto costo, respectivamente de bombas Roots de gran volumen, tan baja como sea posible. Además, el dispositivo de bombeo se dispone o fija preferentemente en o sobre el rotor de manera que gire con el . A primera vista podría parecer ser una desventaja fijar las bombas pesadas en el rotor. Pero justamente gracias a la combinación de una cantidad reducida de bombas de vacío se transforma esta desventaja aparente, a causa del peso relativamente reducido, de manera sorprendente y sinergética hasta en una ventaja, ya que de esta manera es posible prescindir de una conexión obturada rotatoria o un diseño de distribuidor giratorio en el lado de la bomba, que conecta el dispositivo de tratamiento con el dispositivo de bombeo, ya que conexiones de esta naturaleza son difíciles de obturar. Además de esto, preferentemente la primera y segunda estación de tratamiento del respectivo dispositivo de tratamiento es conectado y evacuado con la etapa de bomba asociada con la etapa correspondiente de operación o de bombeo. Es que los inventores han notado que es ventajoso evacuar varias estaciones o puntos de tratamiento simultáneamente con la misma bomba, ya que de esta forma puede mejorarse el desarrollo del proceso y lograrse un mayor volumen de paso. Preferentemente, los cambios de parámetros respecto a los dispositivos de tratamiento tienen lugar en diferentes momentos y/o simultáneamente respecto a las estaciones de tratamiento de un dispositivo de tratamiento determinado. Los cambios de parámetros; cambian particularmente en forma cíclica respecto a la rotación del rotor o a intervalos uniformes. Además, al menos dos reactores son ajustados, simultáneamente, a parámetros de proceso diferentes. También, al menos respectivamente un dispositivo de tratamiento se encuentra en esencialmente cada posición de rotor en la primera y segunda etapa de recubrimiento, de manera que en cada momento los dispositivos de tratamiento se encuentran subdivididos en un primer y un segundo grupo de operación con una primera respectivamente segunda regulación de parámetros. Preferentemente, la cantidad de reactores con la primera regulación de parámetros es menor o igual a la cantidad de reactores con la segunda regulación de parámetros, de manera que la segunda etapa de recubrimiento es de duración idéntica o mayor que la primera . Este concepto es ventajoso particularmente para dispositivos rotatorios, pero puede aplicarse también a instalaciones por lotes, donde grupos de reactores individuales se alimentan con gas de proceso de manera escalonada temporalmente. La ventaja para instalaciones por lotes consiste en que se requiere un flujo total menor para el dispositivo completo y con esto también una capacidad de succión menor para · las bombas de vacío de lo que se presenta al introducir los gases a todos los dispositivos de tratamiento o en un método completamente sincronizado. De manera también preferida, las dos etapas de recubrimiento en secuencia inmediata se diferencian al menos en uno de los siguientes parámetros: concentraciones diferentes de los fluidos de proceso, - presiones diferentes de los fluidos de proceso, diferente volumen de flujo del fluido de proceso, - diferente precursor para los recubrimientos. Es particularmente ventajoso iniciar y terminar simultáneamente la etapa de bombeo para la primera y segunda estación de tratamiento de un dispositivo de tratamiento, ya que también esto contribuye a la economía de la operación. En contraste con el dispositivo de bombeo, el dispositivo de alimentación con fluido se dispone preferentemente en la sección estacionaria del dispositivo, de modo que es posible, de manera ventajosa, cambiar depósitos o botellas de fluido sin tener que parar el rotor . Preferentemente, el dispositivo de alimentación con fluido comprende al menos dos dispositivos de depósito de fluido con diferentes materias primas de fluido para la producción de al menos dos recubrimientos, de manera que la primera y segunda capa son aplicadas con el primero respectivamente segundo fluido durante dos diferentes etapas de operación o recubrimiento. Las piezas de trabajo se recubren en esto mediante depósito de vapor químico (CVD, por sus siglas en inglés: "chemical vapor deposition" ) , particularmente CVD reforzado con plasma ("plasma enhanced CVD", PECVD, por sus siglas en inglés) o CVD con impulso de plasma ("plasma impulse CVD", PICVD por sus siglas en inglés) . Preferentemente, el fluido se alimenta a través de una conexión rotativa obturada en la línea de suministro de fluido, mediante la cual el dispositivo de alimentación de fluido está conectado con los dispositivos de tratamiento, eventualmente conectando otros dispositivos en medio, particularmente el primer arreglo de válvulas, siendo que particularmente en la operación del dispositivo el fluido puede tomarse en forma continua en la salida de la conexión para los dispositivos de tratamiento. Con respecto a la dirección de flujo del fluido, los medios para ajusfar el volumen de fluido están dispuestos río abajo del dispositivo de depósito de fluido, río abajo de los medios para ajusfar el volumen de fluido existe un dispositivo de mezcla separado para cada dispositivo de depósito de fluido, para mezclar el fluido del dispositivo de depósito con respectivamente al menos otro fluido, la conexión está dispuesta río abajo del dispositivo de mezcla, el dispositivo distribuidor de fluido está dispuesto río abajo de la conexión, los obturadores están dispuestas río abajo del dispositivo distribuidor de fluido y/o los grupos de válvulas están dispuestos respectivamente río abajo de los obturadores asociados. Preferentemente, los obturadores y/o las válvulas se encuentran cerca del respectivo reactor, por ejemplo a una distancia de < 50 cm, < 30 cm o < de 15 cm y/o dispuestos en el rotor. El desarrollo de la operación según una modalidad preferida es como sigue, siendo que cada dispositivo de tratamiento, respectivamente sus estaciones de tratamiento, pasa por un ciclo de tratamiento que comprende al menos las siguientes etapas de operación, preferentemente en este orden : - montaje de la pieza de trabajo y cierre del dispositivo de tratamiento - evacuación del dispositivo de tratamiento con una primera etapa de bombeo hasta un primer valor de presión, - evacuación del dispositivo de tratamiento con una segunda etapa de bombeo hasta un segundo valor de presión que es inferior al primer valor de presión, recubrimiento de la pieza de trabajo en el dispositivo de tratamiento con una primera materia de recubrimiento, recubrimiento de la pieza de trabajo en el dispositivo de tratamiento con una segunda materia de recubrimiento , - ventilado del dispositivo de tratamiento abertura del dispositivo de tratamiento y retiro de la pieza de trabajo. A continuación se explican modalidades ventajosas de la alimentación con fluido del dispositivo. Según un perfeccionamiento preferido de la invención, el dispositivo comprende un dispositivo de alimentación con fluido que comprende un primer depósito para fluido para una primera materia prima, una alimentación de fluido para un primer fluido mezclado, un dispositivo mezclador mediante el cual se mezclan la primera materia prima y el primer fluido de mezcla, una primera tubería estanca al fluido que conecta el primer dispositivo de depósito con el dispositivo mezclador, una segunda tubería estanca a fluido que conecta la alimentación para el primer fluido de mezcla con el dispositivo mezclador, y un primer medio de ajuste para el volumen de flujo en la primera tubería, particularmente río arriba del dispositivo mezclador, mediante el cual se puede ajustar el volumen de flujo de la primera materia prima fluida . De manera particularmente preferida, la primera materia prima fluida en el dispositivo de depósito de fluido es líquida. En este caso, la primera tubería es calentada para evaporar la primera materia prima fluida, de modo que en el dispositivo mezclador la primera materia prima y el primer fluido de mezcla ambos sean mezclables en estado gaseoso. Con esto se suministra en la salida del dispositivo mezclador un fluido de proceso que es gaseoso a temperatura ambiente. Preferentemente, el dispositivo de alimentación de fluido tiene todavía un segundo medio de ajuste para el volumen de flujo, que está dispuesto particularmente río arriba del dispositivo mezclador y mediante el cual se ajusta el volumen de flujo del primer fluido de mezcla. Preferentemente, el dispositivo de alimentación con fluido tiene un segundo dispositivo de alimentación de fluido que está construido como el primer dispositivo de alimentación de fluido, siendo que el primer y segundo dispositivo de alimentación de fluido contiene diferentes sustancias básicas fluidos. Gracias a esto se suministra para los dispositivos de tratamiento, por ejemplo para el recubrimiento con dos diferentes materias, simultáneamente por de tuberías separadas dos gases de proceso diferentes. Los gases de proceso son preferentemente mezclas de, primeramente, un fluido conteniendo metal o silicio y/o hidrocarburo, y en segundo lugar de al menos otro fluido que contiene oxígeno, nitrógeno, argón y/o helio. Particularmente preferidas son una mezcla de HMDS0/02 del primero y una mezcla HMDSN/02 del segundo dispositivo de alimentación de fluido. Preferentemente también, el primero y/o segundo dispositivo de depósito de fluido comprende respectivamente dos recipientes redundantes con la misma materia prima fluida. Gracias a esto es posible intercambiar los depósitos de reserva aún sin detener la operación del dispositivo, de manera que es posible evitar un paro de producción. Los recipientes redundantes están conectados entre si particularmente río arriba del primer medio de ajuste de volumen de fluido y pueden separarse de este con respectivamente una válvula. Preferentemente, el dispositivo comprende también un dispositivo de lavado para enjuagar los dispositivos de tratamiento o los reactores con un gas de lavado, preferentemente oxígeno, nitrógeno y/o aire secado. Preferentemente se enjuaga después de la aplicación de la segunda capa, antes o después y/o continuamente después de ventilar. En forma ventajosa se elimina así gas no utilizado, de manera que se pueden evitar o reducir reacciones indeseables con la humedad del aire. Además se reduce así la .absorción de los gases de proceso en una superficie de la pieza de trabajo. En una ejecución preferida, el lavado de todos los dispositivos de tratamiento se realiza en momentos diferentes, preferentemente de manera cíclica o a intervalos regulares. A continuación se explica la invención mediante ejemplos de ejecución y con referencia a los dibujos, siendo que elementos idénticos o similares están provistos con el mismo símbolo de referencia y las características de diferentes modalidades pueden combinarse entre si. Breve descripción de las figuras Muestran : Fig. la-lh una representación esquemática de una primera modalidad del dispositivo inventivo en diferentes posiciones de rotor según un desarrollo ejemplar de operación, Fig. 2a-2b un resumen en forma de tabla de las etapas de operación del dispositivo según Fig. la - lh, Fig. 3 una representación esquemática del dispositivo según Fig. la - lh Fig. 4 una sección X aumentada de Fig. 3 y Fig. 5 otra sección aumentada de Fig. 3 con el dispositivo 80 de alimentación de fluido. Detalles de la invención Fig. la muestra una representación esquemática de un rotor 32 de un dispositivo 30 inventivo. En el rotor 32 se encuentran doce dispositivos de tratamiento que están simbolizados con círculos. Cada dispositivo de tratamiento comprende dos estaciones de tratamiento o reactores, los cuales están numerados en secuencia de 1 a 24. Los dispositivos de tratamiento están distribuidos uniformemente, es decir con una distancia angular de 30°. Además se representan 8 etapas de operación, a saber : - una etapa de arranque S, - una primera etapa de bombeo PI, - una segunda etapa de bombeo PII, - una primera etapa de recubrimiento BI, - una segunda etapa de recubrimiento BII, - una etapa de ventilado V, - una etapa terminal E, y - una etapa auxiliar A. Fig. la muestra un estado temporal donde las estaciones 1 y 2 de tratamiento se encuentran en su etapa S de arranque. Con esto quedan también determinados las respectivas etapas de operación o pasos de operación de los demás dispositivos de tratamiento respectivamente estaciones de tratamiento. Las estaciones 3 , y 4 de tratamiento se encuentran en la primera etapa PI de bombeo, las estaciones 5 y 6 de tratamiento en la segunda etapa PII de bombeo, las estaciones 7 y 8 de tratamiento en la primera etapa BI de recubrimiento, las estaciones 9 a 16 en la segunda etapa BII de recubrimiento, las estaciones 17 a 20 en la etapa V de ventilado, las estaciones 21 y 22 de tratamiento en la etapa E terminal y las estaciones 23 y 24 in la etapa A auxiliar. Durante la operación, el rotor está rotando, de manera que cada dispositivo de tratamiento para por el ciclo completo de la etapa de operación estacionaria. Fig. Ib muestra el rotor en una etapa 30° después de Fig. la. Correspondientemente, las estaciones 1 y 2 de tratamiento se encuentran ahora en la etapa 1 PI de bombeo. Con referencia a las figuras le a lh, se muestra respectivamente un estado de rotación subsiguiente del rotor, siendo que los reactores 1 y 2 se encuentran en una siguiente etapa de operación. Las figuras la a lh muestran, por lo tanto, un ciclo de tratamiento completo, siendo que no se muestra la representación de los estados, en los que no hay cambio de la etapa de operación de los reactores 1 y 2. A continuación se explican las etapas de operación individuales mediante la Fig. la. En este estado del rotor, el dispositivo de tratamiento con los reactores 1 y 2 se encuentra en la etapa de arranque S, donde se abre el dispositivo de tratamiento. Además se coloca en un paso de dotación respectivamente una botella PET en ambos reactores 1 y 2 de manera simultánea e idéntica y estos se cierran nuevamente. En la primera etapa PI de bombeo, los dos reactores 3 y 4 están conectados simultáneamente con una primera etapa de bombeo, para ser evacuados a un primer valor de presión. En la segunda etapa PII de bombeo, ambos reactores 5 y 6 se conectan simultáneamente con una segunda etapa de bombeo para ser evacuados a un segundo valor inferior. De esta manera, los dispositivos de tratamiento son evacuados efectivamente mediante la primera y segunda etapa de bombeo.
En la primera etapa BI de recubrimiento, las botellas PET en ambos reactores 7 y 8 son recubiertas desde adentro con una primera capa, más precisamente con una capa de agente de adhesión SiOxCy. Para esto se emplea como gas de proceso una mezcla de hexametil disiloxano (HMDSO) y oxígeno. Esta mezcla se aplica simul áneamente en ambos reactores 7 y 8. Los reactores 7 y 8 se alimentan en la primera etapa BI de recubrimiento con un primer gas de proceso y se evacúan al paso mediante una tercera bomba de vacío. La segunda etapa BII de recubrimiento ocupa 4 sectores de 30° del ciclo de tratamiento, ya que el recubrimiento debe realizarse por un período cuatro veces más largo que la primera etapa BI de recubrimiento. Consecuentemente, los cuatro dispositivos de tratamiento o estaciones de plasma, más precisamente los reactores 9 a 16, se encuentran simultáneamente in la segunda etapa BII de recubrimiento, donde son alimentados con un segundo gas de proceso y se evacúan al paso juntos por una cuarta bomba de vacío. Es decir, se encuentran particularmente en todo momento una cantidad diferente de instalaciones de tratamiento en las etapas primera y segunda de recubrimiento . En la segunda etapa BII de recubrimiento, se deposita una capa de barrera vidriosa de óxido de silicio o SiOx. Esta es incolora transparente. Para producir la capa de barrera se introduce una mezcla de gas de hexametil disilazano (HMDSN) y oxígeno en los reactores. Respecto a la composición de la capa se hace referencia a la solicitud DE 102 58 681.0, presentada el 13.12.2002 del mismo solicitante, cuyo contenido se integra mediante referencia en su totalidad como objeto en la presente manifestación. La capa de la primera y segunda etapa BI , BII de recubrimiento se realiza mediante PICVD. En el ejemplo de ejecución presente, el método PICVD se aplica sólo para el recubrimiento interior de las botellas, pero puede emplearse también para un recubrimiento exterior. Una ventaja grande del método PICVD es una flexibilidad operativa adicional que permite adaptar la capa de barrera aún con mayor determinación a los requerimientos del cliente. Además, gracias a la pulsación del plasma, se presenta una transformación óptima del gas de proceso empleado, ya que productos secundarios gaseosos generados durante la reacción son retirados en las pausas de pulsación en forma efectiva mediante bombeo. Adem s, las capas depositadas se distinguen por gran homogeneidad y alta pureza química. Además, la exposición térmica de las botellas PET es reducida. Mediante el recubrimiento doble se logra simultáneamente una adhesión excelente del sistema de recubrimiento y un alto valor de mejora de barrera (BIF) . Para 02, se logra un BIF de aproximadamente 10 a 30, y para C02 de aproximadamente 4 a 7. Además de la salida de C02 de la botella, se puede reducir también la entrada dé 02 a la botella, así como la salida de acetaldehído del PET hacia la botella. En la etapa V de ventilación se ventilan los reactores 17 a 20. A continuación se abren los reactores 21 y 22 en la etapa E terminal y se retiran las botellas recubiertas . La etapa A auxiliar, donde se encuentran los reactores 23 y 24, ya no se necesita en esta modalidad para la operación de recubrimiento. Las figuras 2a a 2b muestran, en un resumen en forma de tabla separado en pasos de 5o, el desarrollo de las etapas S, PI, PII, BI, BII, V y A de operación de todos los 24 reactores. Con referencia a Fig. 3 se muestra una representación esquemática de la construcción del dispositivo 30 inventivo. El dispositivo 30 de recubrimiento comprende el rotor 32 y un dispositivo 80 de alimentación de fluido estacionario. La línea interrumpida L representa esquemáticamente el rotor o la rueda 32 de plasma, de manera que aquel elemento constructivo que está representado adentro de la línea L interrumpida está dispuesto junto a o en el rotor 32 y gira junto con este. En el rotor 32, doce dispositivos 101 a 112 están dispuestos, de los cuales en Fig. 3, sin embargo, se representan solo cuatro dispositivos 101, 102, 111, 112 por razones de mayor claridad. Cada dispositivo 101 a 112 comprende respectivamente dos estaciones de tratamiento o reactores para alojar respectivamente una botella de PET por recubrir. El dispositivo 10G de .tratamiento comprende en esto las estaciones 1 y 2 de tratamiento, el dispositivo 102 las estaciones 3 y 4, etc. hasta el dispositivo 112 de tratamiento que comprende las estaciones 23 y 24 de-tratamiento. El recubrimiento interior de las botellas PET se realiza mediante la técnica PICVD, conocida en principio para el experto. Para esto, respectivamente dos reactores de un dispositivo de tratamiento están asociados . con la misma fuente de alta frecuencia y el recubrimiento se realiza simultáneamente en ambos reactores y de manera idéntica, siendo que ambos reactores comprenden respec ivamente cámaras separadas o cámaras de vacío. Es decir que preferentemente, los respectivos primeros reactores 1, 3, 5, 23 de los dispositivos 101 a 112 de tratamiento forman un primer grupo de estaciones de tratamiento y los respectivos segundos reactores 2, 4, 6, 24 de los dispositivos 101 a 112 de tratamiento un segundo grupo de estaciones de tratamiento, siendo que respectivamente un reactor del primero y del segundo grupo están asociados el uno con el otro por pares (1 y 2; 3 y 4; 5 y 6; ... 23 y 24) y los dos reactores de cada par están asociados a la misma bomba de vacío y/o pasan por la operación de tratamiento en forma sincronizada. Los dispositivos 101 a 112 de tratamiento están asociados con un dispositivo 40 de control de fluido o gas que comprende, por ejemplo, una multiplicidad de válvulas y obturadores . Mediante el dispositivo 40 de control de gas, se controla temporalmente el suministro de gas a los dispositivos de tratamiento. El dispositivo 40 de control de gas comprende un primer arreglo 50 de válvulas con respectivamente un grupo 501 a 512 de válvulas para cada dispositivo 101 a 112 de tratamiento. Los grupos 501 a 512 de válvulas comprenden respectivamente tres válvulas 501a a 512a, 501b a 512b, respectivamente 501c a 512c controladas eléctricamente, siendo que estas son precedidas por un obturador fijo. Por lo tanto, la distribución o asignación de gases de proceso a los dispositivos de tratamiento se realiza mediante las válvulas 501a/b a 512a/b.
Pero en principio puede emplearse, en lugar del arreglo 40 de válvulas, también una guía rotatoria o un acoplamiento rotatorio, donde se están previendo en particular unos canales, mediante los cuales se realizan cambios cíclicos de gas. Sin embargo, el control mediante válvulas es más flexible y hasta es posible un mando de los dispositivos de tratamiento por separado y/o diferenciado. Con relación a Fig. 4, que muestra secciones del control de fluido a mayor detalle que Fig. 3, se explica a continuación el control de válvulas en el lado de la conducción de gas mediante el ejemplo del primer grupo 501 de válvulas. Los demás grupos 502 a 512 de válvulas y los demás elementos constructivos conectados antes o después de cada grupo de válvulas . son de construcción idéntica. El primer grupo 501 de válvula comprende tres válvulas 501a, 501b, 501c electro-neumáticas conectadas en paralelo. La primera válvula 501a alimenta el dispositivo 101 con el primer gas de proceso, la segunda válvula 501b con el segundo gas de proceso y la tercera- válvula 501c con un gas de lavado SG. La alimentación con los medios de operación o gases (gas de lavado, primero y/o segundo gas de proceso) puede seleccionarse o controlarse independientemente entre si y libremente o variablemente respecto a los tiempos. Las válvulas tienen respectivamente un tiempo breve de cambio de < 500 ms, preferentemente < 100 ms . Además, las válvulas están inmediatamente contiguas a los dispositivos de tratamiento, con una distancia preferentemente < a 50 cm. Gracias a esto es posible controlar o cambiar muy rápidamente parámetros de recubrimiento como, por ejemplo, la concentración de precursores, el flujo total, la presión y/o el gas de procesos respectivamente el precursor. Se puede lograr al menos un cambio de mezcla de 95 por ciento en menos de 200 ms . Las válvulas 501a, 501b, 501c son precedidas respectivamente un obturador 601a, 601b, 601c fijo, de manera que cada dispositivo de tratamiento está asociado con una pareja de válvula-obturador para cada gas de proceso . El diámetro de agujero de los obturadores es pequeño en comparación con el diámetro de la tubería, de manera que la resistencia de la tubería de alimentación puede pasarse por alto y el flujo de gas es determinado esencialmente por los obturadores. El diámetro de agujero es, para esto, aproximadamente de 0.1 mm a 5 mm, preferentemente 0.2 mm a 2 mm, particularmente preferido en el área de 1 mm. De esta manera, en ambos lados de los obturadores, se establece una presión predeterminada en estado de equilibrio. Esta solución con obturadores es considerablemente más económica que el empleo de una multiplicidad de regulares de flujo de volumen o molecular en su lugar. Gracias a los obturadores, los fluidos se distribuyen uniformemente o simétricamente por todos los reactores. Por ejemplo, un flujo total de 9600 cm3s en el caso de 24 reactores es distribuido uni ormemente a 400 cm3s por reactor. Los obturadores tienen, además, una desviación relativa de < 20%, preferentemente < 10%, de manera que los gases de proceso se distribuyen uniformemente entre los dispositivos de tratamiento. El suministro de gas es procurado por el dispositivo 80 de alimentación de fluido o gas, que hace disponibles ambos gases de proceso distintos mediante dos tuberías de alimentación o tuberías 42a, 42b de medios de operación separadas. Ambos gases de proceso y el gas SG de lavado son transportados de manera continua a través de un paso 82 rotatorio al rotor 32. El dispositivo 80 de alimentación de gas, que se muestra en Fig. 5 en detalle, comprende un primer dispositivo 80a, 80b de alimentación de fluido o gas de construcción idéntica. Los dos dispositivos 80a, 80b, de alimentación de gas se diferencian solamente porque ofrecen dos materias primas (precursores) fluidos diferentes. A través de los dos dispositivos 80a, 80b de alimentación de gas se suministran, entonces, al menos dos gases de proceso o mezclas de gas con composiciones, flujos y/o presiones diferentes para al menos dos etapas BI y BU de recubrimiento en secuencia o haciendo transición la una a la otra, siendo que el primer recubrimiento se realiza con el primer gas de proceso y el segundo con el segundo gas de proceso. Ventajosamente, el cambio de gas puede controlarse rápidamente entre los dos gases de proceso o mezclas de gases, lo que permite, entre otras cosas, un control preciso de la concentración de las mezclas de gas. El primer dispositivo 80a de gas comprende un dispositivo 81a de depósito de fluido con dos recipientes de fluido o barriles 84a, 85a, siendo que se encuentra en ambos un primer precursor idéntico, en este ejemplo HMDSO. El diseño redundante de los dos recipientes 84a, 85a permite el intercambio de uno de los dos recipientes con tratamiento desarrollándose continuamente. El HMDSO de uno de los dos recipientes 84a, 85a es transportado a través de una primera sección 86a o 87a a un primer medio de ajuste de volumen de flujo o regulador 88a de flujo de volumen (un así llamado Mass Flow Controller) . El volumen de flujo se controla mediante el regulador 88a de flujo de volumen preferentemente térmico o basado en presión.
El primer dispositivo de alimentación de gas comprende además una tubería 90a de alimentación, a través de la cual se suministra oxígeno (02) gaseoso. El volumen de flujo del oxígeno se controla mediante un segundo medio de ajuste de volumen de flujo o regulador 92a de flujo de volumen. De esta manera se requiere solamente un regulador de volumen de flujo por cada componente de gas de proceso. Proporciones de mezcla, flujos y/o concentraciones de los gases de proceso pueden ajustarse independientemente entre si a través de los reguladores 88a, 88b, 92a, 92b de volumen de flujo. La primera materia prima fluida y el oxígeno son alimentados a través de dos secciones 94a respectivamente 96a a un primer dispositivo 98a mezclador y se mezclan para producir el primer gas de proceso, mismo que está disponible entonces, a través de la tubería 42a, en el paso 82 rotatorio y se alimenta a los dispositivos de tratamiento'. Las secciones de tubería se calientan entre los dos recipientes 84a, 85a de fluido y el primer dispositivo 98a de mezcla a aproximadamente 40°C, para evaporar la primera materia prima fluida que se encuentra en los dos recipientes 84a, 85a. Después de la mezcla con oxígeno, río abajo, del primer dispositivo 98a mezclador, la mezcla de gas o el primer gas de proceso tiene forma gaseosa aún a temperatura ambiente. Ventajosamente se calienta, de esta manera, sólo una sección relativamente corta de la tubería de fluido. Particularmente no es necesario calentar la tubería en el rotor, ya que el primer gas de proceso es gaseoso a temperatura ambiente, lo que simplifica económicamente el dispositivo evitando simultáneamente la condensación . Con referencia a Fig. 5, las secciones 86a, 87a, 94a, 86b, 87b y 94b están sombreadas. Particularmente se está previendo respectivamente un dispositivo 186a y 187a de calentamiento, controlable independientemente, para las secciones 86a y 87a de tubería de los recipientes 84a y 85a redundantes, de manera que se evita una condensación aún durante un cambio de recipiente de fluido. Además se está previendo un dispositivo 194a independiente para la sección 94a común de tubería. El segundo dispositivo 80b de alimentación de gas es idéntico estructuralmente con el primer dispositivo 80a de alimentación de fluido. Elementos constructivos correspondientes están provistos con los mismos números de referencia" con el sufijo "b" en lugar de "a" . Los dos contenedores 84b y 85b contienen HMDSN como segundo precursor . A través de ambos o eventualmente adicionales dispositivos 81a, 81b de depósito de fluido se ajustan preferentemente, mediante los reguladores 88a, 92a, 88b, 92b, se ajustan diferentes proporciones de mezcla. Por ejemplo, se pueden también ajustar diferentes concentraciones de HMDSO con la misma materia prima fluida, lo que puede ser de ventaja, por ejemplo, para un sistema de dos componentes. En el lado de las bombas, un dispositivo de control de evacuación, con un segundo arreglo 70 de válvulas, está asociado a los dispositivos 101 a 112 de tratamiento, a través del cual se controla la evacuación por etapas de los dispositivos de tratamiento 101 a 112, respectivamente de los reactores 1 a 24. El segundo arreglo 70 de válvulas comprende para cada dispositivo 101 a 112 de tratamiento respectivamente un grupo de válvulas 701 a 712 con respectivamente una primera y una segunda válvula controlada electrónicamente, para la evacuación sucesiva en dos etapas mediante una primera respectivamente una segunda bomba 72, 74 de vacío. Las bombas 72, 74 de vacío están configuradas como bombas Roots y están montadas en el rotor 32. Con esto se suprime venta osamente, en el lado de la bomba, un paso rotatorio. Las dos bombas 72, 74 Roots que forman el dispositivo 71 de bombeo anteceden respectivamente una válvula 76, 78 reguladora, por ejemplo una válvula de aleta. Mediante las válvulas de aleta, se controla o regula la presión para el respectivo gas de proceso. A continuación se explica con más detalle el mando de válvulas del dispositivo en el lado dé alimentación de gas y el lado de bombas con referencia a las figuras la a lh, 2a, 2b y 3. En la fase de arranque S, todas las válvulas del primero y segundo arreglo 50, 70 de válvulas están cerradas, mientras se insertan respectivamente dos botellas PET en los dispositivos 101 a 112 de tratamiento y estos se cierran a continuación. Al empezar la primera etapa PI de bombeo, se abre respectivamente la primera válvula 701a a 712a del grupo de válvulas 701 a 712, de manera que cada dispositivo de tratamiento está conectado con la primera bomba 72 Roots y es evacuado. En la transición de la primera etapa PI de bombeo hacia la segunda etapa PII de bombeo, se cierra la respectiva primera válvula 701a a 712a de los grupos de válvula 701 a 712 y se abre esencialmente en forma simultánea la segunda válvula 701b a 712b del grupo de válvulas 701 a 712, para conectar los dispositivos 101 a 112 de tratamiento con la segunda bomba 74 Roots, para que los dispositivos de tratamiento se evac en en la segunda etapa PII de bombeo. Respectivamente una válvula 73 respectivamente 75 de lastre de gas antecede las bombas 72, 74 oots (mostrada solamente en Fig. 4) , mediante la cual se puede reducir la concentración de gas de proceso en el gas de escape. Esto es ventajoso particularmente en el caso de mezclas de gases explosivas, ya que se diluye particularmente gas de proceso no consumido y se puede pasar con seguridad por debajo del límite explosivo. Al iniciar la primer etapa BI de recubrimiento, se abren las válvulas 501a a 512a de del primer arreglo 50 de válvulas, de manera que el primer gas de proceso de HMDSO y -02 entra en los dispositivos 101 a 112 de tratamiento y las botellas PET son recubiertos correspondientemente con una capa de agente de adhesión orgánico PICVD. En el cambio de la primera etapa BI de recubrimiento a la segunda etapa BII de recubrimiento, se cierran las válvulas 501a a 512a y esencialmente simultáneamente se abren las válvulas 501b a 512b para alimentar los dispositivos de tratamiento con el segundo gas de proceso de H DSN y 02, siendo que las botellas PET • son recubiertas con una capa de barrera PICVD inorgánica. De manera particularmente preferida, al menos dos grupos 501 a 512 de válvulas se ajustan en forma sincronizada, siendo que los dispositivos de tratamiento asociados cambian de una etapa de operación y de esta manera que un dispositivo de tratamiento cambie a la etapa de operación previa de otro dispositivo de tratamiento. Por ejemplo, el dispositivo 101 de tratamiento con las estaciones 1 y 2 cambie de la segunda etapa BII de recubrimiento a la etapa V de ventilación y en forma sincronizada, es decir, simultáneamente, el dispositivo 109 de tratamiento con las estaciones 17 y 18 cambia a la segunda etapa BII de ventilación. Durante las primeras y segundas etapas BI y BII de recubrimiento, los dispositivos de tratamiento, preferentemente, permanecen conectados con la segunda bomba 74 Roots para permitir el recubrimiento PICVD en operación continua . En la siguiente etapa V de ventilación, todas las válvulas del dispositivo 50, 70 de válvulas se cierran y los dispositivos 101 a 112 son ventilados, eventualmente con nitrógeno o con aire secada. Es obvio para el experto que las modalidades precedentemente descritas deben entenderse a modo de ejemplo y que la invención no está limitada a estas, sino que puede variar de manera múltiple sin salirse del espíritu de la invención.

Claims (49)

REIVINDICACIONES
1. Dispositivo para el tratamiento de piezas de trabajo, particularmente de cuerpos huecos, comprendiendo al menos un dispositivo de tratamiento para alojar al menos una pieza de trabajo, un dispositivo de alimentación de fluido que alimenta el dispositivo de tratamiento con fluido y al menos un dispositivo de control de fluido mediante el cual se puede controlar la alimentación con fluido del dispositivo de tratamiento.
2. Dispositivo según la reivindicación 1, caracterizado porque el dispositivo de control de fluido comprende un primer arreglo de válvulas .
3. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, comprendiendo una multiplicidad de dispositivos de tratamiento, caracterizado porque el dispositivo de control de fluido comprende varios grupos de válvulas y cada dispositivo de tratamiento está asociado con un grupo de válvulas .
4. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes que define una multiplicidad de etapas de operación y cada etapa de operación está asociada con un estado predeterminado del dispositivo de control de fluido que puede ajustarse de forma variable para cada etapa mediante una receta.
5. Dispositivo según la reivindicación 4, caracterizado porque cada dispositivo de tratamiento pasa por las etapas de operación y cada etapa de operación está correlacionada con un estado predeterminado del grupo de válvula perteneciente al respectivo dispositivo de tratamiento .
6. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque el dispositivo de control de fluido puede controlarse mediante señales de mando.
7. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque el dispositivo define al menos una primera y una segunda etapa de operación, siendo que durante la primera y segunda etapa de operación, la pieza de trabajo es recubierta con un primer respectivamente segundo revestimiento.
8. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque cada dispositivo de tratamiento está asociado con respectivamente un obturador con abertura de mismo tamaño predeterminado.
9. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque comprende al menos una válvula reguladora mediante la cual se puede ajustar y regular la presión de operación.
10. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque comprende un dispositivo distribuidor de fluido mediante el cual se puede distribuir el fluido a los dispositivos de tratamiento y un medio de ajuste de volumen de flujo, preferentemente un regulador de volumen de flujo térmico o basado en presión, el que está dispuesto, o los cuales están dispuestos en .dirección de flujo del fluido antes del dispositivo distribuidor de fluido .
11. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque el dispositivo de alimentación con fluido suministra varios fluidos, preferentemente mezclas de primeramente un fluido conteniendo metal o silicio o hidrocarburos y segundamente al menos otro fluido que contiene oxígeno, nitrógeno, argón o helio, particularmente preferido HMDS0/02, HMDSN/02, y cada grupo de válvula tiene una válvula para cada fluido.
12. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque al menos uno de los dispositivos de tratamiento comprende al menos dos estaciones de tratamiento que están construidos de manera paralela y simétrica y que son controladas simultáneamente con las etapas de operación.
13. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque uno de los ciclos de tratamiento está definido por una multiplicidad de etapas de operación, siendo que el ciclo de tratamiento de cada dispositivo de tratamiento pasa en forma desfasada temporalmente y preferentemente periódicamente respecto a los demás dispositivos de tratamiento.
14. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque un -ciclo de tratamiento está definido por una multiplicidad de etapas de operación, siendo que cada dispositivo de tratamiento pasa por el ciclo de tratamiento idéntico.
15. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes definiendo una instalación continua que define un ciclo de tratamiento con una multiplicidad de etapas de operación, caracterizado porque el dispositivo comprende una sección estacionaria y una sección móvil, los dispositivos están dispuestos en las sección móvil y cada dispositivo de tratamiento adopta durante el ciclo de tratamiento una multiplicidad de posiciones, siendo que cada posición está asociada con una etapa de operación predeterminada que puede ajustarse variablemente para cada respectiva etapa mediante una receta.
16. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque la asignación a las etapas de operación y la duración de las etapas de operación son ajustables de manera diferenciada.
17. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes definiendo una instalación rotativa, caracterizado porque la sección móvil comprende un rotor.
18. Dispositivo según la reivindicación 17, caracterizado porque cada área de ángulo del rotor está asociado con una etapa de operación predeterminada, definible de manera variable respectivamente mediante una receta .
19. Dispositivo según la reivindicación 17 o 18, caracterizado porque el dispositivo de control de fluido está dispuesto al menos parcialmente en el rotor y está girando junto con este.
20. Dispositivo según una de las reivindicaciones 17 a 19, caracterizado porque los grupos de válvula son controlables en forma sincronizada respecto a la posición angular del rotor.
21. Dispositivo según una de las reivindicaciones 17 a 20, caracterizado porque comprende un dispositivo de bombeo con al menos una bomba que está dispuesto en el rotor .
22. Dispositivo según la reivindicación 21, caracterizado porque los dispositivos de tratamiento pueden ser evacuados cíclicamente mediante un dispositivo de bombeo y la evacuación es controlada mediante válvulas.
23. ' Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque el- dispositivo de alimentación con fluido comprende al menos dos dispositivos de depósito de fluido con materias primas fluidas iguales o diferentes .
24. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque se pueden ajustar diferentes, proporciones de mezcla para, las materias primas fluidas iguales o diferentes.
25. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque el fluido es suministrado a los dispositivos de tratamiento a través de una conexión de obturación rotatoria.
26. Dispositivo según la -reivindicación 25, caracterizado porque la conexión de obturación rotatoria está formada de manera tal que el fluido está disponible durante la operación del dispositivo en la salida de la conexión en forma continua para los dispositivos de tratamiento.
27. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque las piezas de trabajo puede recubrirse mediante CVD, particularmente PECVD o PICVD.
28. Dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque al menos uno de los siguientes puntos es aplicable con relación a la dirección de flujo de fluido: - los medios de ajuste de volumen de flujo están dispuestos río abajo del dispositivo de depósito de fluido, - río abajo de los medios de ajuste de volumen de flujo está dispuesto un dispositivo mezclador para cada dispositivo de depósito de fluido para mezclar el fluido del dispositivo de depósito de fluido con respectivamente otro fluido, - la conexión está dispuesta río abajo del dispositivo mezclador, - el dispositivo distribuidor de fluido está dispuesto río abajo de la conexión, - los obturadores estás dispuestos río abajo del dispositivo distribuidor de fluido, - los grupos de válvula están dispuestos, respectivamente, río abajo del obturador correspondiente .
29. Dispositivo para el tratamiento de piezas de trabajo, particularmente de cuerpos huecos, particularmente según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque comprende al menos un dispositivo de tratamiento para el alojamiento de al menos una pieza de trabajo, un dispositivo de bombeo para la evacuación al menos en etapas del dispositivo de tratamiento y al menos un dispositivo de control de evacuación mediante el cual se puede controlar la evacuación del dispositivo de tratamiento.
30. Dispositivo para el tratamiento de piezas de trabajo, particularmente de cuerpos huecos, particularmente según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque comprende al menos un dispositivo de tratamiento para alojar al menos una pieza de trabajo, un dispositivo de alimentación con fluido que alimenta el dispositivo de tratamiento con fluido, siendo que el dispositivo define en la operación al menos una primera y una segunda etapa -de recubrimiento y la pieza de trabajo puede recubrirse en la primera y la segunda etapa de recubrimiento con una primera respectivamente una segunda materia .
31. Dispositivo para el tratamiento de piezas de trabajo, particularmente de cuerpos huecos, particularmente según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque comprende al menos un dispositivo de tratamiento para alojar al menos una pieza de trabajo, y un dispositivo de bombeo para la evacuación al menos por etapas del dispositivo de tratamiento, siendo que el dispositivo define un ciclo de tratamiento con una multiplicidad de etapas de operación, el dispositivo comprende una sección estacionaria y una móvil, el dispositivo de tratamiento está dispuesto en la sección móvil y el dispositivo de bombeo está dispuesto en la sección móvil.
32. Dispositivo para el tratamiento de piezas de trabajo, particularmente de cuerpos huecos, particularmente según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque comprende una multiplicidad de dispositivos de tratamiento para el alojamiento de al menos una pieza de trabajo, siendo que el dispositivo define un ciclo de tratamiento con una multiplicidad de etapas de operación y porque cada dispositivo de tratamiento pasa por ,5 un ciclo, de- tratamiento idéntico al menos respecto el desarrollo temporal.
33. Dispositivo para el tratamiento de piezas de trabajo, particularmente de cuerpos huecos, particularmente según una de las reivindicaciones precedentes, 10 caracterizado porque comprende una multiplicidad de dispositivos de tratamiento, siendo que el dispositivo define un ciclo de tratamiento con una multiplicidad de etapas de operación, al menos una etapa de operación comprende una etapa de evacuación y los dispositivos de 15 tratamiento tienen respectivamente al menos dos estaciones de tratamiento para el alojamiento de respectivamente una- pieza de trabajo.
34. Dispositivo para el tratamiento de piezas de trabajo, particularmente de cuerpos huecos, particularmente 20 según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque comprende el menos un dispositivo de tratamiento para el alojamiento de al menos una pieza de trabajo, un dispositivo de bombeo para la evacuación al menos en etapas del dispositivo de tratamiento y un 25 dispositivo de lavado para enjuagar al menos un dispositivo con un fluido de lavado.
35. Dispositivo de alimentación con fluido para un dispositivo para el tratamiento de piezas de trabajo, particularmente según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque comprende un primer dispositivo de alimentación con fluido, siendo que el primer dispositivo de alimentación con fluido comprende un primer dispositivo de depósito de fluido para una primera materia prima fluida, una alimentación de fluido para un primer fluido de mezcla (02) , un dispositivo mezclador mediante el que se mezclan la primera materia prima fluida y el primer fluido de mezcla, una primera tubería estanca a fluido que conecta el primer dispositivo de depósito de fluido con el dispositivo mezclador, una segunda tubería-estanca a fluido que conecta la alimentación de fluido para el primer fluido de mezcla con el dispositivo de mezcla y un primer medio de ajuste de volumen de flujo con el cual es ajustable el volumen de flujo de la primera materia prima fluida.
36. Dispositivo de alimentación con fluido según la reivindicación 35, caracterizado porque la primera materia prima fluida es líquida en el primer dispositivo de depósito de fluido, la primera tubería puede calentarse para evaporar la primera materia prima fluida de forma tal que en el primer dispositivo mezclador la primera materia prima fluida y el primer fluido de mezcla son mezclables ambos en estado gaseoso, siendo que en la salida del dispositivo de mezcla un fluido de proceso está disponible que es gaseoso a temperatura ambiente.
37. . Dispositivo de alimentación con fluido" según una' de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque comprende un segundo medio de ajuste para volumen de flujo con el cual es ajustable el volumen de flujo del primero fluido de mezcla.
38. Dispositivo de alimentación con fluido según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque el primer dispositivo de depósito de fluido comprende dos recipientes con la misma materia prima fluida.
39. Dispositivo de alimentación con fluido según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque comprende un segundo dispositivo de alimentación con fluido que es construido como el primer dispositivo de alimentación con fluido, y siendo que el primero y segundo dispositivo de alimentación con fluido contienen las mismas o diferentes materias primas fluidas y que suministran simultáneamente a través de dos tuberías separadas dos diferentes gases de proceso, es decir, particularmente gases de diferentes materias primas y/o gases con diferentes concentraciones a los dispositivos de tratamiento.
40. Uso del dispositivo de alimentación con fluido según una de las reivindicaciones precedentes para la alimentación con fluido de un dispositivo de recubrimiento, particularmente un dispositivo según una de las reivindicaciones precedentes.
41. Método para operar un dispositivo para el tratamiento de piezas de trabajo, particularmente según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque una multiplicidad de dispositivos de tratamiento es dotado con respectivamente al menos una pieza de trabajo por tratar, los dispositivos de tratamiento son alimentados con fluido mediante un dispositivo de alimentación con fluido y la alimentación con fluido de los dispositivos de tratamiento es controlada mediante al menos un dispositivo de control de fluido.
42. Método según la reivindicación 41, caracterizado porque cada dispositivo de tratamiento pasa por un ciclo de tratamiento comprendiendo al menos las siguientes etapas de operación: dotar y cerrar el dispositivo de tratamiento, evacuar el dispositivo de tratamiento con una primera etapa de bombeo hasta un primer valor de presión, evacuar el dispositivo de tratamiento con una segunda etapa de bombeo hasta un segundo valor de presión que es inferior al primer valor de .presión, recubrir la primera pieza de trabajo en el primer dispositivo de tratamiento con una primera materia de recubrimiento, recubrir la pieza de trabajo en el dispositivo de tratamiento con una segunda materia de recubrimiento, ventilar el dispositivo de tratamiento, abrir el dispositivo de tratamiento y retirar la pieza de trabajo.
43. Método según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque se encuentran al menos dos de los dispositivos de tratamiento permanentemente en diferentes etapas de operación y/o porque al menos uno de los parámetros de operación, presión, flujo total y concentración, tienen un ajuste diferente entre estos dos dispositivos de tratamiento.
44. Método según una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque al menos dos de los grupos de válvula se controlan de manera sincronizada, siendo que los dispositivos de tratamiento asociados cambian de una etapa de operación a otra y siendo que par icularmente un dispositivo de tratamiento cambia a la etapa previa de operación de otro dispositivo de tratamiento.
45. Pieza de trabajo, particularmente cuerpo hueco, producible mediante el dispositivo y/o con el método según una de las reivindicaciones precedentes.
46. Dispositivo rotativo para el recubrimiento de piezas de trabajo, particularmente de cuerpos huecos de materia sintética, particularmente según una de las reivindicaciones precedentes, siendo que comprende un rotor con una multiplicidad de dispositivos de tratamiento que están equipados respectivamente para alojar una pieza de trabajo, siendo que cada dispositivo de tratamiento pasa durante la rotación del rotor por diferentes etapas de operación y siendo que la pieza de trabajo es recubierta durante al menos una etapa de operación, un dispositivo de bombeo con el cual los dispositivos de tratamiento pueden ser evacuados para la etapa de operación de recubrimiento, siendo que el dispositivo de bombeo comprende al menos una primera y segunda etapa de bombeo que están asociadas con diferentes áreas de presión y siendo que los dispositivos de tratamiento son conectados en una primera etapa de bombeo con la primera etapa de bombeo y durante la subsiguiente segunda etapa de bombeo con la segunda etapa de bombeo, por lo que se permite una evacuación por etapas, caracterizado porque la primera etapa de bombeo consiste sólo exactamente de una primera bomba de vacío y la segunda etapa de bombeo sólo exactamente de una segunda bomba de vacío, de forma que todos los dispositivos de tratamiento están conectados en su primera etapa de bombeo con la primera bomba de vacío y en su segunda etapa de bombeo con la segunda bomba de vacío y son evacuados.
47. Dispositivo rotativo según la reivindicación 46, caracterizado porque el dispositivo de bombeo está dispuesto en el rotor de forma que gira con este.
48. Dispositivo rotativo según la reivindicación 46 o 47, caracterizado porque cada dispositivo de tratamiento comprende al" menos una primera . y una segunda estación de tratamiento para el alojamiento de un primer respectivamente segundo cuerpo hueco de materia sintética, siendo que la primera y segunda estación de tratamiento están conectadas simultáneamente con el nivel de bombeo correspondiente a la respectiva etapa de bombeo y son evacuadas .
49. Dispositivo rotativo según la reivindicación 48, caracterizado porque la etapa de bombeo o las etapas de bombeo empieza respectivamente empiezan simultáneamente y termina respectivamente terminan simultáneamente.
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