JP2003347179A - 遠隔保守システムおよび遠隔保守方法 - Google Patents

遠隔保守システムおよび遠隔保守方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】産業用機器の使用者が許可する範囲内で個々の
産業用機器に蓄積された機器情報を保守員に対して安全
に公開できる遠隔保守システム，遠隔保守方法を提供す
る。 【解決手段】産業用機器と産業用機器を保守する作業装
置とがインターネットを介して接続された遠隔保守シス
テムであって、産業用機器の状態を表す機器情報を特定
の共通鍵を用いて暗号化し、暗号化された暗号化機器情
報を作業装置からの要求に応じて送信し、産業用機器が
作業装置に共通鍵を送信したことを出力し、送信された
暗号化機器情報と共通鍵とを受信し、共通鍵を用いて暗
号化機器情報を復号化し、復号化された機器情報を出力
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、産業用機器の遠隔
保守システム，遠隔保守方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】製造装置，検査装置，分析装置などの産
業用機器はメーカで製作された後、これらの産業用機器
を供給する会社（以下、装置供給ベンダという）を経て
顧客へ納入されるが、納入後の性能を維持するための保
守が必須である。
【０００３】従来、これらの産業用機器と装置供給ベン
ダの保守センタをインターネットを介して接続し、保守
センタから遠隔で産業用機器を保守することが行われて
いる。特開平１１−１５５２０号公報には、インターネ
ットを用いた遠隔保守システムが提案されており、この
システムを利用すれば産業用機器の設置地域を問わずに
産業用機器の保守を行うことができる。
【０００４】計算機を内蔵した産業用機器では、産業用
機器の使用履歴を表す機器情報を個々の産業用機器で蓄
積することが可能である。このようは機器情報は、トラ
ブルの原因を特定するために使用できることから保守を
行う上で非常に価値のある情報となる。例えば、どのよ
うなプログラムをいつ実行し、産業用機器の各部位がど
のように状態遷移し、どのような処理結果を得たかとい
う機器情報を参照することができれば、トラブルの原因
がプログラムの内容にあるのか否か、プログラムの実行
順序にあるのか否か、装置の特定部位にあるのか否かと
いったことや、処理の結果が所望のものであるのか否か
といったことを把握することができると期待できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこれまで
は、機器情報には産業用機器が製造する製品の製造計画
や製品の仕様に関する機密情報が含まれることが多いた
め、第三者も利用できるインターネットを介して保守セ
ンタの保守員に機器情報が公開されることは少なく、迅
速にトラブルに対処することは必ずしも容易なことでは
なかった。
【０００６】このため、インターネットを用いた遠隔保
守システムでは、いかに機器情報を安全に管理して保守
に活用するかが大きな課題となっていた。前述の特開平
１１−１５５２０号公報で示されている遠隔保守システ
ムにおいても、このような機器情報を積極的に活用する
方法については触れられていない。
【０００７】本発明は、産業用機器の使用者が許可する
範囲内で個々の産業用機器に蓄積された機器情報を保守
員に対して安全に公開できる遠隔保守システム，遠隔保
守方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の実施形態におい
ては、上記目的を達成するために、産業用機器と産業用
機器を保守する作業装置とがインターネットを介して接
続された遠隔保守方法であって、産業用機器の状態を表
す機器情報を特定の共通鍵を用いて暗号化し、暗号化さ
れた暗号化機器情報を作業装置からの要求に応じて送信
し、産業用機器が作業装置に共通鍵を送信したことを出
力し、送信された暗号化機器情報と共通鍵とを受信し、
共通鍵を用いて暗号化機器情報を復号化し、復号化され
た機器情報を出力するものである。
【０００９】また、産業用機器と産業用機器を保守する
作業装置とがインターネットを介して接続された遠隔保
守システムであって、産業用機器は暗号化ユニットと通
信ユニットと入出力ユニットとを備え、暗号化ユニット
は産業用機器の状態を表す機器情報を特定の共通鍵を用
いて暗号化し、通信ユニットは暗号化ユニットが暗号化
した機器情報である暗号化機器情報を作業装置からの要
求に応じて作業装置に送信し、入出力ユニットは産業用
機器が作業装置に共通鍵を送信したことを出力し、作業
装置は通信ユニットと復号化ユニットと入出力ユニット
とを備え、通信ユニットは産業用機器の通信ユニットが
送信した暗号化機器情報と共通鍵を受信し、復号化ユニ
ットは共通鍵を用いて暗号化機器情報を復号化し、入出
力ユニットは復号化ユニットが復号化した機器情報を出
力するものである。
【００１０】また、作業装置により機器情報に基づいて
実施した産業用機器の保守の内容に応じた対価を演算
し、演算された対価を送信するものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施形態を詳細に
説明する。本実施形態は、本発明を適用した半導体製造
検査装置の遠隔保守システムである。本システムは、産
業用機器の使用者が許可する範囲内で、個々の産業用機
器に蓄積された機器情報を保守員に対して安全に公開す
ることを可能とするものである。本発明が扱える産業用
機器には計算機を内蔵していること以外に制限はない
が、本実施形態の説明では産業用機器として半導体製造
工場で使用する露光装置，塗布現像装置，熱処理装置，
組立装置，検査装置などの半導体製造に用いられる各種
装置やシステムを想定する。以下では、これらの装置や
システムを半導体製造検査装置と総称する。また、本発
明が扱える機器情報には産業用機器の状態を表すデータ
であること以外には制限がないが、本実施形態の説明で
はプログラム，プログラムの実行履歴，センサの状態履
歴，ウェーハの処理結果を機器情報として想定する。以
下では、これらの情報を表すデータを機器データと総称
する。
【００１２】図１は、本発明を適用した半導体製造検査
装置の遠隔保守システムの構成の一例を示すブロック図
である。１１０は、半導体製造検査装置を供給する会社
（以下、装置供給ベンダと記す）の保守センタである。
１２０は、半導体製造検査装置を使用して半導体デバイ
スを製造する会社(以下、半導体製造メーカと記す)の製
造工場である。図１に示したシステムでは２つの製造工
場１２０が示されているが、実際には２つ以上の製造工
場１２０があってもよい。また製造工場１２０は、互い
に異なる半導体製造メーカに属する工場であっても同一
の半導体製造メーカに属する工場であってもよい。
【００１３】保守センタ１１０には、半導体製造検査装
置の保守を行う１つ以上の作業装置１１３と、保守セン
タ１１０への通信を管理する管理装置１１２とが設けら
れている。各作業装置１１３と管理装置１１２は、イン
トラネット１１１を介して接続されている。
【００１４】各製造工場１２０には、半導体デバイスを
製造する１つ以上の半導体製造検査装置１２３と、製造
工場１２０への通信を管理する管理装置１２２とが設け
られている。各半導体製造検査装置１２３と管理装置１
２２は、イントラネット121を介して接続されている。
保守センタ１１０に設けられた管理装置１１２は、各製
造工場１２０に設けられた管理装置１２２とインターネ
ット１００を介して接続されている。
【００１５】図１の各装置はいずれも単一の計算機を利
用した装置であるが、実際には単一の装置を複数台の計
算機で構成しても複数の装置を単一の計算機を利用して
構成してもよい。また、これらの計算機は、中央処理装
置（以下、ＣＵＰと記す），主記憶装置（以下、メモリ
と記す），ハードディスクなどの固定型の記憶媒体を用
いる補助記憶装置と、コンパクトディスク，光磁気ディ
スクなどの可搬型の記憶媒体を用いる補助記憶装置と、
キーボードやマウスなどの入力装置と、ディプレイなど
の表示装置などの出力装置を備えるものとする。
【００１６】保守センタ１１０に設けられた作業装置１
１３は、保守センタ１１０の保守員が遠隔で半導体製造
検査装置１２３の保守を行う装置である。作業装置１１
３は、トラブルが発生した半導体製造検査装置１２３か
ら保守の依頼を表すメッセージ（以下、保守依頼と記
す）を受信すると、保守依頼に格納されているデータを
出力装置に出力する機能を有する。
【００１７】保守依頼に格納されているデータには、半
導体製造検査装置の識別子を表す装置ＩＤと、トラブル
の症状を表すエラーコードとがある。出力装置に出力さ
れたデータは、トラブルへの対処がオンラインで必要で
あるか否かを判断するために保守員により使用される。
なお保守依頼には、トラブルが発生した日時を表すデー
タ，半導体製造工場の識別子を表すデータ，当該半導体
製造検査装置の種別を表すデータなどを格納してもよ
い。
【００１８】作業装置１１３は、プログラムの識別子を
表すプログラムＩＤと、このプログラムに与えるパラメ
ータとを格納したメッセージ（以下、保守操作と記す）
を保守依頼を送信してきた半導体製造検査装置１２３に
送信する機能も有する。なお保守操作には、読出操作と
解決操作の種別があるものとする。読出操作は、機器デ
ータを読み出すプログラムの識別子を保守操作のプログ
ラムＩＤに指定しているものであり、解決操作は、半導
体製造検査装置が保持するプログラムを生成，編集，削
除するプログラムの識別子や、管理データを生成，編
集，削除するプログラムの識別子や、半導体製造検査装
置の動作をテストするプログラムの識別子を保守操作の
プログラムＩＤに指定しているものである。以下の説明
では、機器データを読み出すプログラムとこれ以外のプ
ログラムをそれぞれ読出プログラムと解決プログラムと
総称する。
【００１９】作業装置１１３は、保守操作に応答して半
導体製造検査装置１２３から送信されるメッセージ（以
下、保守操作応答と記す）を受信すると、保守操作応答
に格納されているデータを保守員が指定した外部記憶装
置のファイルに格納し、データをファイルに格納したこ
とを出力装置に出力する機能も有する。なお保守操作応
答には、読出操作応答と解決操作応答の種別があるもの
とする。
【００２０】読出操作応答は、読出操作に対する応答で
あり機器データパッケージを格納している。ここで機器
データパッケージは、機器データＩＤ，暗号化機器デー
タ，イベント送信規則の各データから構成される。なお
イベント送信規則は、機器データを暗号化した共通鍵を
用いて暗号化されていてもよい。解決操作応答は、解決
操作に対する応答でありメッセージデータを格納してい
る。ここでメッセージデータは、解決プログラムが出力
したデータである。
【００２１】作業装置１１３は、保守員の識別子を表す
保守員ＩＤ，保守員のパスワードを表す保守員パスワー
ド，分析対象の機器データパッケージにある機器データ
ＩＤを格納したメッセージ（以下、分析着手通知と記
す）を、保守依頼を送信してきた半導体製造検査装置１
２３に送信する機能も有する。なお分析対象となる暗号
化機器パッケージは、可搬型の記憶媒体を介して外部記
憶装置のファイルに格納されたものであってもよい。
【００２２】作業装置１１３は、分析着手通知に応答し
て半導体製造検査装置１２３から送信されるメッセージ
（以下、分析着手通知応答と記す）を受信すると、分析
着手通知応答に格納されている共通鍵を主記憶装置に記
憶する機能も有する。記憶された共通鍵は、分析着手通
知に格納した機器データＩＤにより識別される機器デー
タを復号化するために保守員により使用される。作業装
置１１３は、主記憶装置に記憶した共通鍵への操作を制
限する規則を記憶し、記憶した規則に従って共通鍵への
操作を制限する機能も有する。記憶した共通鍵への操作
としては、例えば主記憶装置内での複写や、主記憶装置
から外部記憶装置への複写がある。
【００２３】作業装置１１３は、分析着手通知応答を受
信したときに記憶した共通鍵を用いて暗号化機器データ
を復号化し、復号化した機器データを主記憶装置に記憶
する機能も有する。復号化された機器データは、トラブ
ルの原因がプログラムの内容にあるのか否か，プログラ
ムの実行順序にあるのか否か，制御部の通信にあるのか
否か，装置の特定部位にあるのか否かといったことや、
処理の結果が所望のものであるのか否かといったことを
分析するために保守員により使用される。
【００２４】作業装置１１３は、主記憶装置に記憶した
機器データへの操作を制限する規則を記憶し、記憶した
規則に従って、機器データへの操作を制限する機能も有
する。記憶した機器データへの操作としては、例えば主
記憶装置内での複写や、主記憶装置から外部記憶装置へ
の複写がある。
【００２５】作業装置１１３は、復号化した機器データ
に対して保守員が行った操作の履歴を表すイベントデー
タを生成し、分析対象の機器データパッケージにあるイ
ベント送信規則を用いて、生成したイベントデータを格
納するメッセージ（以下、分析操作通知と記す）を、保
守依頼を送信してきた半導体製造検査装置１２３に送信
する機能も有する。イベントデータは、機器データに対
していつ、どの保守員が、どのような操作を行ったのか
ということを把握するために半導体製造検査装置１２３
の使用者により使用される。
【００２６】作業装置１１３は、復号化した機器データ
を動画を用いて出力装置に出力（以下、アニメーション
表示と記す）する機能も有する。表示された動画は、直
接肉眼で見ることができない半導体製造検査装置１２３
の動作を視覚的に分析するために保守員により使用され
る。
【００２７】また、作業装置１１３は、復号化した機器
データをタイミングチャートを用いて出力装置に出力
（以下、タイミングチャート表示と記す）する機能も有
する。表示されたタイミングチャートは、直接肉眼で見
ることができない半導体製造検査装置１２３の動作を動
作のタイミングの観点から分析するために保守員により
使用される。
【００２８】また、作業装置１１３は、復号化した機器
データと予め記録しておいた他の機器データをタイミン
グチャートの上で重ね合わせて出力装置に出力（以下、
オーバレイ表示と記す）する機能も有する。表示された
タイミングチャートは、複数の産業用機器の動作を比較
や、同一産業用機器の異なる時刻の動作の比較を行って
分析するために保守員により使用される。
【００２９】また、作業装置１１３は、特定したトラブ
ルの原因を該当トラブルの原因として判断した理由を表
す判断理由を入力する機能も有する。入力された判断理
由は、分析作業の正当性を確認するために、半導体製造
検査装置の使用者や他の保守員により使用される。
【００３０】作業装置１１３は、保守員の操作に応じて
機器データと共通鍵を主記憶装置から削除し、これらの
データを削除したことを表すデータを格納したメッセー
ジ（以下、分析完了通知と記す）を、保守依頼を送信し
てきた半導体製造検査装置１２３に送信する機能も有す
る。分析完了通知は、復号化された機器データと配布し
た共通鍵が作業装置１１３で確かに削除されたことを把
握するために半導体製造検査装置１２３の使用者により
使用される。なお本実施形態では、分析着手通知を送信
してから分析完了通知を送信するまでが１回の分析作業
である。保守員は、トラブルの原因を特定するまで分析
作業を繰り返す。
【００３１】作業装置１１３は、保守作業が完了した半
導体製造検査装置１２３の装置ＩＤ、当該トラブルのエ
ラーコード、当該トラブルの原因を特定するために使用
した暗号化機器パッケージ、当該トラブルの原因を分析
した履歴（以下保守実績と記す）から構成されるメッセ
ージ（以下、登録操作と記す）を保守センタ１１０に設
けられた管理装置１１２に送信する機能も有する。
【００３２】作業装置１１３は、装置ＩＤとエラーコー
ドの少なくとも一方を格納するメッセージ（以下、検索
操作と記す）を保守センタ１１０に設けられた管理装置
112に送信する機能も有する。作業装置１１３は、検索
操作に応答して管理装置112から送信されるメッセージ
（以下、検索操作応答と記す）を受信すると、検索操作
応答に格納されているデータを出力装置に出力する機能
も有する。出力されたデータは、保守依頼を送信してき
た半導体製造検査装置１２３に関して、トラブルへの対
処がオンラインで必要であるか否か、同一の症状が過去
に発生したことがあるか否か、症状にとられた対処方法
はどのようなもかといったことを確認するために保守員
により使用される。検索操作応答に格納されている暗号
化機器データの表示方法は、半導体製造検査装置１２３
から読み出した暗号化機器データの表示方法と同様であ
るので説明を省略する。
【００３３】保守センタ１１０に設けられた管理装置１
１２は、保守センタ１１０へ送受信される通信を管理す
るとともに保守に関する知識を管理する装置である。管
理装置１１２は、各製造工場１２０に設けられた管理装
置１２２から保守依頼を受信しているか否かを定期的に
監視し、保守依頼を受信していることを検出した場合に
は、特定の保守員が使用している管理装置１１２に所定
の規則に従って保守依頼を送信する機能を有する。
【００３４】管理装置１１２は、保守依頼に応答して作
業装置１１３から送信される保守操作，分析着手通知，
分析操作通知，分析完了通知の各メッセージを、保守依
頼を送信してきた製造工場１２０の管理装置１２２に送
信する機能も有する。管理装置１１２は、作業装置１１
３から送信される登録操作を受信すると、登録操作に格
納されている装置ＩＤ，エラーコード，機器データパッ
ケージ，分析実績を互いに関連付けて知識管理テーブル
に登録する機能も有する。管理装置１１２は、作業装置
１１３から送信される検索操作を受信すると、検索操作
に格納されているデータをキーとして知識管理テーブル
を検索し、検索されたデータを格納する検索操作応答を
検索操作を送信してきた作業装置１１３に送信する機能
も有する。
【００３５】管理装置１１２は、作業装置１１３から送
信される保守操作，分析着手通知，分析操作通知，分析
完了通知の各メッセージに基づいて、対価を演算する機
能も有する。管理装置１１２は、作業装置１１３から送
信される登録操作を受信すると、演算した結果を保守内
容に関連付けて知識管理テーブルに登録する機能も有す
る。管理装置１１２は、知識管理テーブルに登録された
保守内容に関連付けられた対価のメッセージを製造工場
１２０に設けられた管理装置１２２に送信する機能も有
する。
【００３６】製造工場１２０に設けられた管理装置１２
２は、製造工場１２０への通信を管理する装置である。
管理装置１２２は、各半導体製造検査装置１２３から保
守依頼を受信しているか否かを定期的に監視し、保守依
頼を受信していることを検出した場合には、この保守依
頼を保守センタ１１０の管理装置１２２に送信する機能
を有する。管理装置１２２は、保守依頼に応答して保守
センタ１１０の管理装置１１２から送信される保守操
作，分析着手通知，分析操作通知，分析完了通知の各メ
ッセージを、保守依頼を送信してきた半導体製造検査装
置１２３に送信する機能も有する。
【００３７】製造工場１２０に設けられた半導体製造検
査装置１２３は、製造工場１２０の使用者が半導体デバ
イスを製造する装置である。図２は、半導体製造検査装
置１２３の構成を示すブロック図である。半導体製造検
査装置１２３は、使用者が半導体デバイスの製造に必要
なデータ（以下、製造操作と記す）を入力する入出力部
１３０と、管理装置１２２との間で保守依頼，保守操
作，分析着手通知，分析操作通知，分析完了通知の各メ
ッセージを送受信する通信部１３１と、保守操作や製造
操作に応じてプログラムを実行する制御部１３２と、制
御部１３２によって制御される部位１３３とから構成さ
れる。
【００３８】入出力部１３０は、使用者が入力する製造
操作を受け付けると、入力された製造操作で指定された
プログラムＩＤと、このプログラムに与えられるパラメ
ータとを格納したデータ（以下、コマンドと記す）を制
御部１３２に送信し、制御部１３２からプログラムの実
行結果を格納したデータ(以下、コマンド応答と記す)を
受信すると、受信したコマンド応答からプログラムの実
行結果を取り出して出力装置に出力する機能を有する。
【００３９】入出力部１３０は、通信部１３１からの要
求に応じて、分析着手通知を受信してから分析完了通知
を受信するまでの間に記録したデータを出力装置に出力
する機能も有する。通信部１３１は、半導体製造検査装
置１２３の稼動状況を定期的に監視し、トラブルが発生
していることを検知した場合には、当該半導体製造検査
装置１２３の装置ＩＤと当該トラブルのエラーコードと
を格納した保守依頼を生成し、生成した保守依頼を管理
装置１２２を介して保守センタ１１０の管理装置１２２
に送信する機能を有する。通信部１３１は、保守依頼に
応答して作業装置１１３から送信される保守操作を受信
すると、受信した保守操作に格納されているプログラム
ＩＤとパラメータとを格納するコマンドを生成し、生成
したコマンドを制御部１３２に送信する機能も有する。
【００４０】なおコマンドには、読出コマンドと解決コ
マンドの種別があるものとする。読出コマンドは、読出
プログラムの識別子をコマンドのプログラムＩＤに指定
しているものであり、解決コマンドは、解決プログラム
の識別子をコマンドのプログラムＩＤに指定しているも
のである。
【００４１】通信部１３１は、コマンドに応答して制御
部１３２から送信されるコマンド応答を受信すると、受
信したコマンド応答に格納されているデータを用いて保
守操作応答に格納するデータを生成し、生成したデータ
を格納した保守操作応答を、保守操作を送信してきた作
業装置１１３に送信する機能も有する。通信部１３１
は、制御部１３２から送信されるコマンド応答が読出コ
マンドに対する応答の場合には、コマンド応答に格納さ
れている機器データに対して、機器データを識別する機
器データＩＤと、機器データを暗号化するときに使用す
る共通鍵と、共通鍵の公開に必要な条件を表す共通鍵公
開条件と、操作の履歴を半導体製造検査装置１２３に送
信する規則を表すイベント送信規則とを生成し、これら
のデータを互いに関連付けて共通鍵管理テーブルに登録
し、登録した共通鍵を用いてコマンド応答に格納されて
いる機器データを暗号化し、生成した機器データＩＤ，
暗号化機器データ，イベント送信規則から構成される機
器データパッケージを保守操作応答に格納するデータと
する機能も有する。なおイベント送信規則は、暗号化機
器データを暗号化した共通鍵を用いて暗号化してもよ
い。
【００４２】通信部１３１は、制御部１３２から送信さ
れるコマンド応答が解決コマンドに対する応答の場合に
は、コマンド応答に格納されているメッセージデータを
保守操作応答に格納するデータとする機能も有する。通
信部１３１は、保守員の属性を表す保守員属性を保守員
属性管理テーブルに登録する機能も有する。保守員属性
に格納されているデータには、保守員パスワードと保守
員種別がある。保守員属性は、使用者により予め入力さ
れる。通信部１３１は、作業装置１１３から分析着手通
知を受信すると、分析着手通知に格納されている保守員
パスワードと保守員属性管理テーブルに格納されている
保守員パスワードを比較して保守員を認証する機能も有
する。この認証により保守員はユニークな識別子で識別
される。
【００４３】通信部１３１は、作業装置１１３から分析
着手通知を受信すると、この通知に格納されている機器
データＩＤをキーにして共通鍵管理テーブルから共通鍵
公開条件を検索し、この共通鍵公開条件にある条件を保
守員の属性が満たしている場合に限って、分析着手通知
に格納されている機器データＩＤをキーにして共通鍵管
理テーブルから共通鍵を検索し、この共通鍵を格納した
分析着手通知応答を、分析着手通知を送信してきた作業
装置１１３に送信する機能も有する。
【００４４】通信部１３１は、作業装置１１３から分析
着手通知，分析操作通知，分析完了通知の各メッセージ
を受信すると、各メッセージに格納されているデータを
分析状況管理テーブルに記録する機能も有する。通信部
１３１は、作業装置１１３から分析完了通知を受信する
と、分析着手通知を受信してから分析完了通知を受信す
るまでの間に記録したデータを分析状況管理テーブルか
ら参照し、このデータを出力装置に出力するよう制御部
１３２を介して入出力部１３０に要求する機能も有す
る。
【００４５】制御部１３２は、読出プログラムと解決プ
ログラムをプログラム管理テーブルに記憶する機能を有
する。制御部１３２は、通信部１３１からコマンドを受
信すると、コマンドで指定されているプログラムをこれ
に対応付けられているパラメータを用い実行し、プログ
ラムの実行結果を格納したコマンド応答を通信部131に
送信する機能も有する。制御部１３２は、通信部１３１
から受信したコマンドが読出コマンドである場合には、
読み出した機器データをプログラムの実行結果とする機
能も有する。制御部１３２は、通信部１３１から受信し
たコマンドが解決コマンドである場合には、解決プログ
ラムが出力したメッセージデータをプログラムの実行結
果とする機能も有する。制御部１３２は、入出力部１３
０が送信したコマンドの履歴を表すデータ（以下、プロ
グラム実行履歴と記す）をプログラム実行履歴管理テー
ブルに記録する機能も有する。プログラム実行履歴に
は、いつ，どの使用者が，どのプログラムを，どのパラ
メータを用いて実行したかという情報を格納する。
【００４６】制御部１３２は、各部位１３３の状態がど
のように遷移したかを表すデータ（以下、センサ状態履
歴と記す）をセンサ状態履歴管理テーブルに記録する機
能も有する。センサ状態履歴には、いつ，どの部位が，
どの状態に遷移したかという情報を格納する。制御部１
３２は、各部位１３３によって処理されたウェーハの状
態を表すデータ（以下、処理結果と記す）を処理結果管
理テーブルに記録する機能も有する。処理結果には、ど
のウェーハが、どのような状態になったかという情報を
格納する。
【００４７】続いて、作業装置１１３と管理装置１１２
で記憶される機器データパッケージの構造について説明
する。図３は、機器データパッケージの例を示してい
る。機器データパッケージ１４０は、機器データＩＤ１
４１，暗号化機器データ１４２，イベント送信規則１４
３から構成される。機器データＩＤ１４１には、暗号化
機器データ１４２に暗号化されて格納されている機器デ
ータの識別子を表すデータを格納する。暗号化機器デー
タ１４２には、読み出した機器データを共通鍵で暗号化
したデータを格納する。イベント送信規則１４３には、
暗号化機器データ１４２に暗号化されて格納されている
機器データに対して保守員が行う操作の履歴を半導体製
造検査装置１２３に送信する規則を表すデータを格納す
る。
【００４８】続いて、半導体製造検査装置１２３が管理
するテーブルの構造について説明する。図４は、半導体
製造検査装置１２３の通信部１３１が管理する共通鍵管
理テーブルの例を示している。共通鍵管理テーブル１５
０の各行は、各機器データの共通鍵と共通鍵公開条件を
格納するものであり、機器データＩＤ１５１，共通鍵１
５２，共通鍵公開条件１５３から構成される。機器デー
タＩＤ１５１には、機器データの識別子を表すデータを
格納する。共通鍵１５２には、機器データＩＤ１５１に
格納されている値によって識別される機器データを復号
化するときに使用する共通鍵を表すデータを格納する。
共通鍵公開条件１５３には、共通鍵152に格納された値
を公開するために必要な保守員の属性の条件を表すデー
タを格納する。この例では、機器データＤ１の共通鍵
は、ＡＢＣ・・・であり上級保守員にのみ公開されるこ
とを、機器データＤ２の共通鍵は、ＣＢＡ・・・であり
上級保守員と中級保守員にのみ公開されることを表して
いる。
【００４９】図５は、半導体製造検査装置１２３の通信
部１３１が管理する保守員属性管理テーブルの例を示し
ている。保守員属性管理テーブル１６０の各行は、各保
守員の保守員属性を格納するものであり、保守員ＩＤ１
６１，保守員パスワード162,保守員種別１６３から構成
される。保守員ＩＤ１６１には、保守員の識別子を表す
データを格納する。保守員パスワード１６２には、保守
員のパスワードを表すデータを格納する。保守員種別１
６３には、保守員の種別を表すデータを格納する。この
例では、保守員Ｄ１のパスワードは１２３４であり、保
守員Ｄ１の種別は上級保守員であること、保守員Ｄ２の
パスワードは５６７８であり、保守員Ｄ２の種別は中級
保守員であることを表している。
【００５０】図６は、半導体製造検査装置１２３の通信
部１３１が管理する分析状況管理テーブルの例を示して
いる。分析状況管理テーブル１７０の各行は、当該トラ
ブルに関して半導体製造検査装置１２３の通信部１３１
が受信した分析着手通知，分析操作，分析完了通知の内
容を格納するものであり、分析作業ＩＤ１７１，機器デ
ータＩＤ１７２，記録日時１７３，会社ＩＤ１７４，保
守員ＩＤ１７５，内容１７６から構成される。分析作業
ＩＤ１７１には、分析作業の識別子を表すデータを格納
する。機器データＩＤ１７２には、分析の対象となった
機器データの識別子を表すデータを格納する。記録日時
１７３には、履歴が記録された日時を表すデータを格納
する。保守員種別１７４には、分析作業を行った保守員
の種別を表すデータを格納する。保守員ＩＤ１７５に
は、分析作業を行った分析員の識別子を表すデータを格
納する。内容１７６には、分析着手通知，分析操作，分
析完了通知の内容を表すデータを格納する。
【００５１】この例では、この分析作業は分析作業１０
１であり、分析の対象となった暗号化データは暗号化デ
ータＤ１であり、分析を行った保守員は上級保守員の保
守員Ａ１であることを示している。また、分析作業１０
１では、２００１年０１月０３日１１時１０分００秒に
共通鍵を半導体製造検査装置１２３から取得し、２００
１年０１月０３日１１時１０分３０秒に取得した共通鍵
を用いて暗号化機器データを復号化し、２００１年０１
月０３日１１時１１分００秒に搬送系の動作をアニメー
ション表示し、２００１年０１月０３日１１時１０分３
０秒に排気系の動作をアニメーション表示し、２００１
年０１月０３日１１時１２分００秒に光学系の動作をア
ニメーション表示し、２００１年０１月０３日１１時１
０分３０秒に光学系の動作をタイミングチャート表示
し、２００１年０１月０３日１１時１３分００秒に光学
系の動作をオーバレイ表示し、２００１年０１月０３日
１１時１０分３０秒に光学系に原因があることを特定
し、２００１年０１月０３日１１時１４分００秒に復号
化した機器データを削除し、２００１年０１月０３日１
１時１０分３０秒に取得した共通鍵を削除したことを表
している。
【００５２】図７は、半導体製造検査装置１２３の制御
部１３２が管理するプログラム管理テーブルの例を示し
ている。プログラム管理テーブル１８０の各行は、制御
部１３２が実行する各プログラムを格納するものであ
り、プログラムＩＤ１８１，プログラム種別１８２，名
称１８３，処理条件１８４，処理手続１８５から構成さ
れる。プログラムＩＤ１８１には、個々のプログラムご
とに割り当てられるユニークな識別子を表すデータを格
納する。プログラム種別１８２には、プログラムの種別
を表すデータを格納する。名称１８３には、プログラム
の名称を表すデータである。処理条件１８４には、制御
部１３２が行う処理の条件を表すデータを格納する。処
理手続１８５には、制御部１３２が行う処理の手続を表
すデータを格納する。なお処理条件の設定を必要としな
いプログラムが存在してもよい。
【００５３】この例では、プログラムＰ１は、プログラ
ムを読み出すためのプログラムであり、読出プログラム
の種別をもち、プログラムリードという名称の手続きを
実行することを表している。プログラムＰ２は、プログ
ラム実行履歴を読み出すためのプログラムであり、読出
プログラムの種別をもち、プログラム実行履歴リードと
いう名称の手続きを実行することを表している。プログ
ラムＰ３は、センサ状態履歴を読み出すためのプログラ
ムであり、読出プログラムの種別をもち、センサ状態履
歴リードという名称の手続きを実行することを表してい
る。プログラムＰ４は、処理結果を読み出すためのプロ
グラムであり、読出プログラムの種別をもち、処理結果
リードという名称の手続きを実行することを表してい
る。プログラムＰ５は、プログラムを生成するためのプ
ログラムであり、解決プログラムの種別をもち、プログ
ラムクリエートという名称の手続きを実行することを表
している。プログラムＰ６は、プログラムを編集するた
めのプログラムであり、解決プログラムの種別をもち、
プログラムエディットという名称の手続きを実行するこ
とを表している。プログラムＰ７は、プログラムを削除
するためのプログラムであり、解決プログラムの種別を
もち、プログラムデリートという名称の手続きを実行す
ることを表している。プログラムＰ８は、自動モードで
ウェーハを処理するためのプログラムであり、解決プロ
グラムの種別をもち、自動でウェーハの処理を行い、番
号１のスロットを使用し、ウェーハ単位で処理を行い、
測定したウェーハ画像は画像１に格納することを処理条
件とし、ウェーハロード，ウェーハアラインメント，ア
ドレッシング，測定，ウェーハアンロードという名称の
手続きを順に実行することを表している。プログラムＰ
９は、手動モードでウェーハを処理するためのプログラ
ムであり、解決プログラムの種別をもち、番号２のスロ
ットを使用し、カセット単位で処理を行い、測定したウ
ェーハ画像は画像２に格納することを処理条件とし、プ
ログラムＰ８と同じ手続きを実行することを表してい
る。
【００５４】図８は、半導体製造検査装置１２３の制御
部１３２が管理するプログラム実行履歴管理テーブル，
センサ状態履歴管理テーブル，処理結果管理テーブルの
例を示している。プログラム実行履歴管理テーブル１９
０の各行は、実行されたプログラムの各履歴を格納する
ものであり、実行日時１９１，使用者ＩＤ１９２，プロ
グラムＩＤ１９３，パラメータ１９４から構成される。
実行日時１９１には、プログラムが実行された日時を表
すデータを格納する。使用者ＩＤ１９２には、プログラ
ムを実行した半導体製造検査装置１２３の使用者の識別
子を表すデータを格納する。プログラムＩＤ１９３に
は、実行されたプログラムの識別子を表すデータを格納
する。パラメータ１９４には、実行されたプログラムに
与えたパラメータを表すデータを格納する。
【００５５】この例では、２００１年０１月０２日１０
時１０分１０秒に使用者Ｕ１がプログラムＰ８を実行
し、２００１年０１月０２日１０時１５分１０秒に使用
者Ｕ１がプログラムＰ９を実行したことを表している。
センサ状態履歴管理テーブル２００の各行は、各時刻に
おける各部位１３３の状態の履歴を格納するものであ
り、記録日時２０１，センサＳ１２０２，センサＳ２２
０３，・・・の各項目から構成される。記録日時２０１
には、各部位１２７の状態値が記録された日時を表すデ
ータを格納する。センサＳ１２０２，センサＳ２２０
３，・・・には、それぞれセンサを用いて測定した各部
位１３３の状態を表すデータを格納する。この例では、
２００１年０１月０２日１０時１０分１０秒に各部位１
３３の状態値がそれぞれ０.０１，０.１０，・・・であ
り、２００１年０１月０２日１０時１０分１１秒に各部
位１３３の状態値がそれぞれ０.０２，０.２０，・・・
であったことを表している。
【００５６】処理結果管理テーブル２１０の各行は、各
ウェーハの処理結果を格納するものであり、ウェーハＩ
Ｄ２１１とウェーハ画像２１２から構成される。ウェー
ハＩＤ２１１には、個々のウェーハごとに割り当てられ
るユニークな識別子を表すデータを格納する。ウェーハ
画像２１２には、ウェーハの表面の状態を表す画像デー
タを格納する。この例では、ウェーハＷ１の表面の状態
は正常なパターンであり、ウェーハＷ２の表面の状態は
異常なパターンであることを表している。
【００５７】図９は、保守センタ１１０に設けられた管
理装置１１２が管理する知識管理テーブルの例を示して
いる。知識管理テーブル２２０の各行は、各分析作業で
トラブルの原因を分析した履歴を格納するものであり、
装置ＩＤ２２１，エラーコード２２２，機器データパッ
ケージ２２３，分析実績２２４から構成される。装置Ｉ
Ｄ２２１には、当該トラブルが発生した半導体製造検査
装置１２３の識別子を表すデータを格納する。エラーコ
ード２２２には、当該トラブルが発生した半導体製造検
査装置１２３の識別子を表すデータを格納する。機器デ
ータパッケージ２２３には、当該トラブルの原因を特定
するときに使用した暗号化機器データパッケージを格納
する。分析実績２２４には、当該トラブルの原因の分析
した履歴を表すデータを格納する。
【００５８】この例では、半導体製造検査装置Ｔ１で発
生したエラーコードＥ０１２３のトラブルの原因は、機
器データパッケージＰ１を分析実績Ｒ１にあるように分
析することで特定し、半導体製造検査装置Ｔ１で発生し
たエラーコードＥ０１２４のトラブルの原因は、機器デ
ータパッケージＰ２を分析実績Ｒ２にあるように分析す
ることで特定したことを表している。
【００５９】続いて、作業装置１１３と半導体製造検査
装置１２３および管理装置１１２の間で送受信するメッ
セージの構造について説明する。図１０は、作業装置１
１３と半導体製造検査装置１２３との間で送受信する保
守依頼，分析着手通知，分析着手通知応答，分析操作通
知，分析完了通知の各メッセージの例と、作業装置１１
３と管理装置１１２との間で送受信する登録操作，検索
操作，検索操作応答の各メッセージの例を示している。
【００６０】保守依頼２３０は、保守を依頼するために
半導体製造検査装置１２３が作業装置１１３に送信する
メッセージであり、装置ＩＤ２３１とエラーコード２３
２から構成される。装置ＩＤ２３１には、トラブルの発
生を検出した半導体製造検査装置の識別子を表すデータ
を格納する。エラーコード２３２には、トラブルの症状
を表すデータを格納する。なお保守依頼には、トラブル
検知日時，半導体製造工場ＩＤ，半導体製造検査装置種
別などの項目を付加してもよい。
【００６１】分析着手通知２４０は、分析作業に着手す
ることを通知するために作業装置１１３が半導体製造検
査装置１２３に送信するメッセージであり、保守員ＩＤ
２４１，パスワード２４２，機器データＩＤ２４３から
構成される。保守員ＩＤ２４１には、分析作業を行う保
守員の識別子を表すデータを格納する。パスワード２４
２には、分析作業を行う保守員のパスワードを表すデー
タを格納する。機器データＩＤ２４３には、分析作業を
行う暗号化機器データの識別子を表すデータを格納す
る。
【００６２】分析着手通知応答２５０は、暗号化機器デ
ータを復号化するときに用いる共通鍵を渡すために半導
体製造検査装置１２３が作業装置１１３に送信するメッ
セージであり、共通鍵２５１から構成される。共通鍵２
５１には、分析する暗号化機器データを復号化するとき
に用いる共通鍵を表すデータを格納する。
【００６３】分析操作通知２６０は、分析員が機器デー
タに対して行った操作の履歴を伝えるために作業装置１
１３が半導体製造検査装置１２３に送信するメッセージ
であり、イベント２６１から構成される。イベント２６
１には、保守員が機器データに対して行った操作の履歴
を表すデータを格納する。
【００６４】分析完了通知２７０は、分析作業を完了す
ることを伝えるために作業装置113が半導体製造検査装
置１２３に送信するメッセージであり、機器データ削除
フラグ２７１と共通鍵削除フラグ２７２から構成され
る。機器データ削除フラグ271には、復号化した機器デ
ータを削除したことを表すデータを格納する。共通鍵削
除フラグ２７２には、共通鍵を削除したことを表すデー
タを格納する。登録操作２８０は、保守に関する知識を
登録するために作業装置１１３が半導体製造検査装置１
２３に送信するメッセージであり、装置ＩＤ２８１，エ
ラーコード２８２，機器データパッケージ２８３，分析
実績２８４から構成される。
【００６５】装置ＩＤ２８１には、分析を行った半導体
製造検査装置の識別子を表すデータを格納する。エラー
コード２８２には、分析を行った半導体製造検査装置の
トラブルの症状を表すデータを格納する。機器データパ
ッケージ２８３には、トラブルの原因を特定するときに
使用した機器データパッケージを格納する。分析実績２
８４には、当該トラブルの原因を分析した履歴を表すデ
ータを格納する。
【００６６】検索操作２９０は、保守に関する知識を検
索するために作業装置１１３が半導体製造検査装置１２
３に送信するメッセージであり、検索キー２９１から構
成される。検索キー２９１には、半導体製造検査装置の
識別子を表すデータや、トラブルの症状を特定するデー
タを格納する。
【００６７】検索操作応答３００は、検索した保守に関
する知識を返信するために半導体製造検査装置１２３が
作業装置１１３に送信するメッセージであり、検索結果
301の項目から構成される。検索結果３０１の項目は、
検索キーを用いて検索されたデータを検索する。
【００６８】続いて、図１の作業装置１１３，半導体製
造検査装置１２３，管理装置１１２の処理フローについ
て説明する。図１１は、作業装置１１３が分析着手通知
240と分析着手通知応答２５０を送受信する場合の動作
を示すフローチャートである。
【００６９】まず、作業装置１１３は、分析着手通知２
４０を送信する指示を保守員から受け付ける（ステップ
３１１）。次に、作業装置１１３は、保守員の保守員Ｉ
Ｄ，保守員の保守員パスワード，機器データパッケージ
１４０の機器データＩＤを格納した分析着手通知２４０
を保守依頼２３０を送信してきた半導体製造検査装置１
２３に送信する（ステップ３１２）。次に、作業装置１
１３は、分析着手通知２４０に応答して半導体製造検査
装置１２３から送信される分析着手通知応答２５０を受
信する（ステップ３１３）。次に、作業装置１１３は、
分析着手通知応答２５０に格納されている共通鍵を主記
憶装置に記憶する(ステップ３１４)。次に、作業装置１
１３は、記憶した共通鍵を用いて機器データパッケージ
１４０に格納されている暗号化機器データを復号化する
（ステップ３１５）。次に、作業装置１１３は、復号化
した機器データを主記憶装置に記憶する（ステップ31
6)。次に、作業装置１１３は、機器データパッケージ１
４０に格納されているイベント送信規則を主記憶装置に
記憶する(ステップ３１７)。次に、作業装置１１３は、
復号化した機器データを出力装置に出力し（ステップ３
１８）、処理を終了する（ステップ３１９）。
【００７０】図１２は、半導体製造検査装置１２３の通
信部１３１が分析着手通知２４０と分析着手通知応答２
５０を送受信する場合の動作を示すフローチャートであ
る。まず、通信部１３１は、作業装置１１３から分析着
手通知２４０を受信する（ステップ３２１）。次に、通
信部１３１は、分析着手通知２４０に格納されている保
守員パスワードと、保守員属性管理テーブルに格納され
ている保守員パスワードを比較して保守員を認証する
（ステップ３２２）。次に、通信部１３１は、分析着手
通知２４０に格納されている機器データＩＤをキーとし
て共通鍵管理テーブルから共通鍵公開条件を検索し、検
索した共通鍵公開条件にある条件を保守員の属性が満た
しているか否かを確認し（ステップ３２３）、満たして
いる場合に限って、分析着手通知２４０に格納されてい
る機器データＩＤをキーとして共通鍵管理テーブルから
共通鍵を検索し（ステップ３２５）、満たしていない場
合には、処理を終了する（ステップ３２８）。次に、通
信部１３１は、検索した共通鍵を格納した分析着手通知
応答２５０を分析着手通知２４０を送信してきた作業装
置１１３に送信し（ステップ３２６）、送信した分析着
手通知応答２５０の内容を分析状況管理テーブルに記録
し（ステップ３２７）、処理を終了する（ステップ３２
７）。
【００７１】図１３は、作業装置１１３が分析操作通知
を送信する場合の動作を示すフローチャートである。ま
ず、作業装置１１３は、出力装置に出力した機器データ
に対する操作指示を保守員から受け付ける(ステップ３
３１)。次に、作業装置１１３は、受け付けた操作の内
容を表すイベントデータを生成する（ステップ３３
２）。次に、作業装置１１３は、記憶したイベント送信
規則に従って、生成したイベントデータを格納する分析
操作通知を保守依頼を送信してきた半導体製造検査装置
１２３に送信し（ステップ３３３）、処理を終了する
（ステップ３３４）。
【００７２】図１４は、半導体製造検査装置１２３の通
信部１３１が分析操作通知を受信する場合の動作を示す
フローチャートである。まず、通信部１３１は、作業装
置１１３から分析操作通知２６０を受信する（ステップ
３４１）。次に、通信部１３１は、分析操作通知２６０
に格納されているデータを分析状況テーブルに記録し
（ステップ３４２）、処理を終了する（ステップ３４
３）。
【００７３】図１５は、作業装置１１３が分析完了通知
を送信する場合の動作を示すフローチャートである。ま
ず、作業装置１１３は、分析完了通知を送信する指示を
保守員から受け付ける（ステップ２５１）。次に、作業
装置１１３は、主記憶装置に記憶されている機器データ
を削除する(ステップ２５２)。次に、作業装置１１３
は、主記憶装置に記憶されている共通鍵を削除する（ス
テップ２５３）。次に、作業装置１１３は、主記憶装置
に記憶されていた機器データと共通鍵を削除したことを
表すデータを格納した分析完了通知を保守依頼２３０を
送信してきた半導体製造検査装置１２３に送信する（ス
テップ２５４）、処理を終了する（ステップ２５５）。
【００７４】図１６は、半導体製造検査装置１２３の通
信部１３１が分析完了通知を受信する場合の動作を示す
フローチャートである。まず、通信部１３１は、作業装
置１１３から分析完了通知を受信する（ステップ３６
１）。次に、通信部１３１は、受信した分析完了通知の
内容を分析状況管理テーブルに記録する（ステップ３６
２）。次に、通信部１３１は、分析状況管理テーブルか
ら該当分析作業に関するデータを読み出し、読み出した
データを出力装置に出力し(ステップ３６３)、処理を終
了する（ステップ３６４）。
【００７５】続いて、図１の半導体製造検査装置１２３
と作業装置１１３の出力装置に出力する画面について説
明する。図１７は、図１１に示した処理フローのステッ
プ３１１，３１８と、図１３に示した処理フローのステ
ップ３３１と、図１５に示した処理フローのステップ３
５１とで、作業装置１１３の出力装置に出力する分析作
業画面の例を示している。
【００７６】保守作業画面３７０は、保守員が指定した
機器データパッケージ１４０に格納されている機器デー
タＩＤを表示し、分析着手通知２４０の送信指示，分析
操作通知２６０の送信指示，分析完了通知２７０の送信
指示を保守員から受け付ける画面であり、機器データパ
ッケージ格納ファイルフィールド３７１，機器データＩ
Ｄパネル３７２，アクションパネル３７３、分析着手通
知パネル３８１，機器データ表示パネル３８３，コメン
トフィールド３８９から構成される。
【００７７】機器データパッケージ格納ファイルフィー
ルド３７１は、分析する機器データパッケージ１４０が
格納されているファイル名を保守員が入力するフィール
ドである。この例では、分析する機器データパッケージ
１４０は、Ｃ：￥results￥ｒｅｓｕｌｔ０１２３に格
納されていることを示している。
【００７８】機器データＩＤパネル３７２は、機器デー
タパッケージ格納ファイルフィールド３７１で指定され
た機器データパッケージ１４０に格納されている機器デ
ータＩＤの値を分析員に示すパネルである。この例で
は、機器データＩＤの値は、Ｄ１であることを示してい
る。
【００７９】アクションパネル３７３は、分析着手通知
２４０の送信指示，分析操作通知２６０の送信指示，分
析完了通知２７０の送信指示を保守員が指示するパネル
であり、分析着手通知送信ボタン３７４，分析操作通知
送信ボタン３７５，３７６，３７７，３７８，分析完了
通知送信ボタン３７９から構成される。
【００８０】分析着手通知送信ボタン３７４は、保守員
が分析着手通知２４０の送信を指示するボタンであり、
保守員がマウスを用いてこのボタンを押下すると、保守
員が分析着手通知パネル３７８で入力した保守員ＩＤお
よび保守員パスワードと、機器データＩＤパネル２７２
に表示された機器データＩＤとを格納した分析着手通知
２４０を保守依頼２３０を送信してきた半導体製造検査
装置１２３に送信する。
【００８１】分析操作通知送信ボタン３７５，３７６，
３７７，３７８は、保守員が保守操作通知２７０の送信
を指示するボタンであり、保守員がマウスを用いてこの
ボタンを押下すると、各分析操作通知送信ボタン３７
５，３７６，３７７，３７８に関連づけられている操作
の履歴を表すイベントデータを生成し、記憶しているイ
ベント送信規則に従って、生成したイベントデータを格
納する分析操作通知260を保守依頼２３０を送信してき
た半導体製造検査装置１２３に送信する。この例では、
分析操作通知送信ボタン３７５は、機器データをアニメ
ーション表示（Ａ表示）し、アニメーション表示をした
ことを表すイベントデータを生成して送信することを示
している。
【００８２】また、分析操作通知送信ボタン３７６は、
機器データをタイミングチャート表示（Ｔ表示）し、タ
イミングチャート表示をしたことを表すイベントデータ
を生成して送信することを示している。
【００８３】また、分析操作通知送信ボタン３７７は、
機器データをオーバレイ表示（Ｏ表示）し、オーバレイ
表示をしたことを表すイベントデータを生成して送信す
ることを示している。
【００８４】また、分析操作通知送信ボタン３７８は、
トラブルの原因を特定したことを表すイベントデータを
生成して送信することを示している。トラブルの原因を
特定したことを表すイベントデータには、保守員がコメ
ントフィールド３８９で入力した判断理由も格納され
る。
【００８５】分析完了通知ボタン３７９は、保守員が分
析完了通知２７０の送信を指示するボタンであり、保守
員がマウスを用いてこのボタンを押下すると、主記憶装
置に記憶している機器データと共通鍵とを削除し、削除
したことを表すデータを格納した分析完了通知を保守依
頼２３０を送信してきた半導体製造検査装置１２３に送
信する。
【００８６】分析着手通知パネル３８０は、分析着手通
知２４０に格納する分析員の識別子と保守員パスワード
を分析員が入力するパネルであり、保守員ＩＤフィール
ド３８１と保守員パスワードフィールド３８２から構成
される。
【００８７】保守員ＩＤフィールド３８１は、保守員が
自分の保守員ＩＤをキーボードを用いて入力するフィー
ルドであり、この例では、保守員ＩＤはＡ１であること
を示している。保守員パスワードフィールド３８２は、
保守員が自分の保守員パスワードをキーボードを用いて
入力するフィールドである。この例では、保守員パスワ
ードは１２３４であることを示している。機器データ表
示パネル３８３は、復号化した機器データを保守員に表
示するパネルである。
【００８８】この例は、保守員が分析操作通知ボタン３
７５を押下した場合の表示であり、レール３８４の上に
備えられているロボットアーム３８５がカセット３８６
からウェーハ３８７を取り出す動作を動画で表示してい
る。保守員が分析操作通知送信ボタン３７６，３７７を
押下した場合には、機器データをタイミングチャートを
用いて表示することや、機器データと予め記録しておい
た他の機器データをタイミングチャートの上で重ね合わ
せて表示することが可能である。
【００８９】コメントフィールド３８９は、トラブルの
原因を特定した場合に、保守員が判断した理由をキーボ
ードを用いて入力するフィールドである。この例では、
モータの電流値が急に変動することからレールにガタが
あると保守員が判断したことを示している。
【００９０】図１８は、図１６に示した処理フローのス
テップ３６３で半導体製造検査装置１２３の出力装置に
出力する分析状況出力画面の例を示している。分析状況
出力画面３９０は、分析着手通知２４０を受信してから
分析完了通知２７０を受信するまでに記録した分析の履
歴を半導体製造検査装置１２３の使用者に表示する画面
であり、分析状況リスト３９１から構成される。分析状
況リスト３９１の各行は、当該トラブルに関して半導体
製造検査装置１２３の通信部１３１が受信した分析着手
通知２４０，分析操作２６０，分析完了通知２７０の内
容を表示するものであり、分析作業ＩＤフィールド３９
２，機器データＩＤフィールド３９３，記録日時フィー
ルド３９４，保守員種別フィールド３９５，保守員ＩＤ
フィールド３９６，内容フィールド３９７から構成され
る。各フィールドが表示する内容は、分析状況管理テー
ブル１７０の各項目が格納するデータと同じであるので
説明を省略する。
【００９１】以上のように、本実施形態のシステムにお
いては、特定の処理を実行する１つ以上の産業用機器と
産業用機器を保守する作業装置とをインターネットを介
して接続する。産業用機器は、暗号化ユニットと通信ユ
ニットと入出力ユニットとを備える。暗号化ユニット
は、産業用機器の状態を表す機器情報を特定の共通鍵を
用いて暗号化する。通信ユニットは、暗号化ユニットが
暗号化した機器情報である暗号化機器情報を作業装置か
らの要求に応じて作業装置に送信し、暗号化機器情報を
暗号化するときに用いた共通鍵を暗号化機器情報を受信
した作業装置からの要求に応じて送信する。入出力ユニ
ットは、産業用機器が作業装置に共通鍵を送信したこと
を表す履歴の全部または一部を出力する。作業装置は、
通信ユニットと復号化ユニットと入出力ユニットとを備
える。通信ユニットは、産業用機器の通信ユニットが送
信した暗号化機器情報を受信し、暗号化機器情報を暗号
化するときに用いた共通鍵を産業用機器に要求して受信
する。復号化ユニットは、作業装置の通信ユニットが受
信した共通鍵を記憶し、記憶した共通鍵を用いて暗号化
機器情報を復号化する。入出力ユニットは、復号化ユニ
ットが復号化した機器情報を記憶し、記憶した機器情報
の全部または一部を出力する。
【００９２】したがって、産業用機器の使用者が許可す
る範囲内で、個々の産業用機器に蓄積された機器情報を
保守員に対して安全に公開することが可能となる。ま
た、産業用機器の入出力ユニットは、暗号化機器情報を
記憶媒体に出力し、作業装置の入出力ユニットは、産業
用機器の入出力ユニットが出力した暗号化機器情報を記
憶媒体から入力するようにしたので、暗号化した機器情
報を任意の媒体を用いて作業装置に入力することが可能
となる。
【００９３】また、産業用機器の通信ユニットは、共通
鍵を作業装置に関連付けられている公開鍵を用いて暗号
化して送信し、作業装置の通信ユニットは、産業用機器
の通信ユニットから受信した共通鍵を公開鍵に関連付け
られている秘密鍵を用いて復号化するようにしたので、
共通鍵を安全に作業装置に送信することが可能となる。
【００９４】また、産業用機器の通信ユニットは、作業
装置の使用者の属性を表す属性情報と、共通鍵を送信す
るために必要な作業装置の使用者の属性の条件を表す条
件情報とを保持し、作業装置から共通鍵を要求された場
合には、使用者の属性情報と共通鍵の条件情報とを読み
出し、読み出した条件情報にある条件を読み出した属性
情報にある属性が満たしている場合に限って共通鍵を作
業装置に送信するようにしたので、特定の保守員に限定
して共通鍵を送信することが可能となる。
【００９５】また、作業装置の復号化ユニットは、作業
装置の通信ユニットが受信した共通鍵への操作を制限す
る規則を記憶し、記憶した規則に従って、作業装置の通
信ユニットが受信した共通鍵への操作を制限するように
したので、共通鍵を作業装置で安全に管理することが可
能となる。
【００９６】また、作業装置の入出力ユニットは、作業
装置の復号化ユニットが復号化した機器情報への操作を
制限する規則を記憶し、記憶した規則に従って、作業装
置の復号化ユニットが復号化した機器情報への操作を制
限するようにしたので、復号化した機器情報を作業装置
で安全に管理することが可能となる。また、作業装置の
入出力ユニットは、記憶した機器情報を動画を用いて出
力するようにしたので、直接肉眼で見ることができない
産業用機器の動作を視覚的に分析することが可能とな
る。また、作業装置の入出力ユニットは、記憶した機器
情報をタイミングチャートを用いて出力するようにした
ので、直接肉眼で見ることができない産業用機器の動作
を動作のタイミングの観点から分析することが可能とな
る。また、作業装置の入出力ユニットは、記憶した複数
の機器データをタイミングチャートの上で重ね合わせて
出力装置に出力するようにしたので、複数の産業用機器
の動作の比較や、同一産業用機器の異なる時刻の動作の
比較を行って分析することが可能となる。
【００９７】また、作業装置の入出力ユニットは、作業
装置の入出力ユニットが出力した機器情報に対して作業
装置の使用者が行った操作の内容を表すイベント情報を
生成し、作業装置の通信ユニットは、作業装置の入出力
ユニットが生成したイベント情報を共通鍵を送信した産
業用機器に送信し、産業用機器の通信ユニットは、共通
鍵を送信した作業装置が送信したイベント情報を受信
し、産業用機器の入出力ユニットは、産業用機器の通信
ユニットが受信したイベント情報の全部または一部を出
力するようにしたので、復号化した機器情報に対して作
業装置の使用者が行った操作の内容を産業用機器の使用
者が把握することが可能となる。
【００９８】また、作業装置の入出力ユニットは、作業
装置の使用者がトラブルの原因を特定したことを表すイ
ベント情報を生成するようにしたので、分析の結果トラ
ブルの結果を特定できたのか否かを産業用機器の使用者
が把握することが可能となる。また、作業装置の入出力
ユニットは、作業装置の使用者が特定の事象をトラブル
の原因として判断した理由を受け付け、受け付けた理由
をイベント情報に格納するようにしたので、トラブルの
原因の判断理由を産業用機器の使用者が把握することが
可能となる。また、作業装置の入出力ユニットは、作業
装置の復号化ユニットが記憶している共通鍵を作業装置
の使用者が削除したことを表すイベント情報を生成する
ようにしたので、作業装置に送信した共通鍵が削除され
たことを産業用機器の使用者が把握することが可能とな
る。また、作業装置の入出力ユニットは、作業装置の入
出力ユニットが記憶している機器情報を作業装置の使用
者が削除したことを表すイベント情報を生成するように
したので、作業装置で復号化された機器情報が削除され
たことを産業用機器の使用者が把握することが可能とな
る。
【００９９】また、作業装置の通信ユニットは、作業装
置の入出力ユニットが生成したイベント情報を産業用機
器に送信する規則を表すイベント送信規則を記憶し、記
憶したイベント送信規則に従って、作業装置の入出力ユ
ニットが生成したイベント情報を産業用機器に送信する
ようにしたので、特定のイベント情報を送信する規則を
柔軟に変更することが可能となる。また、作業装置の通
信ユニットは、作業装置の使用者がトラブルの原因を特
定したことを表すイベント情報を共通鍵を送信した産業
用機器に送信する規則を表すイベント送信規則を記憶す
るようにしたので、分析の結果トラブルの結果を特定で
きたのか否かを産業用機器の使用者が把握することが可
能となる。また、作業装置の通信ユニットは、特定の事
象をトラブルの原因として判断した理由を表すイベント
情報を共通鍵を送信した産業用機器に送信する規則を表
すイベント送信規則を記憶するようにしたので、トラブ
ルの原因の判断理由を産業用機器の使用者が把握するこ
とが可能となる。また、作業装置の通信ユニットは、作
業装置の復号化ユニットが記憶している共通鍵を作業装
置の使用者が削除したことを表すイベント情報を共通鍵
を送信した産業用機器に送信する規則を表すイベント送
信規則を記憶するようにしたので、作業装置に送信した
共通鍵が削除されたことを産業用機器の使用者が把握す
ることが可能となる。
【０１００】また、作業装置の入出力ユニットは、作業
装置の入出力ユニットが記憶している機器情報を作業装
置の使用者が削除したことを表すイベント情報を共通鍵
を送信した産業用機器に送信する規則を表すイベント送
信規則を記憶するようにしたので、作業装置で復号化さ
れた機器情報が削除されたことを産業用機器の使用者が
把握することが可能となる。
【０１０１】また、作業装置は、産業用機器を識別する
情報と、トラブルの原因を特定するために使用した暗号
化機器情報と、トラブルに対する対処方法とを関連付け
て登録する登録ユニットを有し、作業装置の入出力ユニ
ットは、登録ユニットを参照して該当するトラブルに対
する対処法を出力するようにしたので、トラブルの原因
を分析する方法に関する知識を作業装置の使用者同士で
共有することが可能となる。
【０１０２】以上、第１の実施形態を説明したが、これ
以外にも本発明は変形が可能である。第２の実施形態
は、第１の実施形態の変形例である。第１の実施形態
は、産業用機器の使用者が許可する範囲内で、個々の産
業用機器に蓄積された機器情報を保守員に対して安全に
公開することを可能とするというものであったが、第２
の実施形態は、個々の産業用機器に蓄積された機器情報
の公開と、機器情報の安全性の管理とを管理装置で一元
的に行うことを可能とするというものである。本発明を
適用したシステムでは、製造工場１２０に設けられた半
導体製造検査装置１２３と管理装置１２２の構成を変更
しているが、保守センタ１１０に設けられた作業装置１
１３と管理装置１１２の構成は第１の実施形態で説明し
たものと同様である。
【０１０３】図１９は、製造工場１２０に設けられた管
理装置１２２の構成を示すブロック図である。管理装置
１２２は、製造工場１２０に設けられた個々の半導体製
造検査装置１２３で蓄積された機器データを一元的に管
理する装置であり、管理装置１２２の使用者に分析の状
況に関するデータを出力する入出力部４００と、管理装
置１１２および半導体製造検査装置１２３との間でメッ
セージを送受信する通信部４０１と、入出力部４００と
通信部４０１とを制御する制御部４０２とから構成され
る。
【０１０４】入出力部４００は、分析着手通知を受信し
てから分析完了通知を受信するまでの間に記録したデー
タを出力装置に出力する機能を有する。
【０１０５】通信部４０１は、半導体製造検査装置１２
３の稼動状況を定期的に監視し、トラブルが発生してい
ることを検知した場合には、当該半導体製造検査装置１
２３の装置ＩＤと、当該トラブルのエラーコードを格納
した保守依頼を生成し、生成した保守依頼を保守センタ
１１０の管理装置１２２に送信する機能を有する。
【０１０６】通信部４０１は、保守依頼に応答して作業
装置１１３から送信される保守操作を受信すると、トラ
ブルが発生している半導体製造検査装置１２３に送信す
る機能も有する。通信部４０１は、保守操作に応答して
半導体製造検査装置１２３から送信される保守操作応答
を受信すると、受信した保守操作応答に格納されている
データを用いて保守操作を送信してきた半導体製造検査
装置１２３に送信するデータを生成し、このデータを格
納した保守操作応答を保守操作を送信してきた作業装置
１１３に送信する機能も有する。
【０１０７】通信部４０１は、半導体製造検査装置１２
３から送信された保守操作応答が読出操作応答である場
合には、保守操作応答に格納されている機器データに対
して、機器データＩＤ，共通鍵，共通鍵公開条件，イベ
ント送信規則とを生成し、これらのデータを互いに関連
付けて共通鍵管理テーブルに登録し、登録した共通鍵を
用いて保守操作応答に格納されている機器データを暗号
化し、生成した機器データＩＤ，暗号化機器データ，イ
ベント送信規則から構成される機器データパッケージを
保守操作応答に格納するデータとする機能も有する。な
おイベント送信規則は、暗号化機器データを暗号化した
共通鍵を用いて暗号化してもよい。
【０１０８】通信部４０１は、半導体製造検査装置１２
３から送信される保守操作応答が解決操作応答である場
合には、保守操作応答に格納されているメッセージデー
タを保守操作応答に格納するデータとする機能を有す
る。通信部４０１は、保守員の属性を表す保守員属性を
保守員属性管理テーブルに登録する機能も有する。保守
員属性に格納されているデータには、保守員パスワード
と保守員種別がある。保守員属性は、使用者により予め
入力される。
【０１０９】通信部４０１は、作業装置１１３から分析
着手通知を受信すると、分析着手通知に格納されている
パスワードと保守員属性管理テーブルに格納されている
パスワードを比較して保守員を認証する機能も有する。
この認証により保守員はユニークな識別子で識別され
る。
【０１１０】通信部４０１は、作業装置１１３から分析
着手通知を受信すると、分析着手通知に格納されている
機器データＩＤをキーにして共通鍵管理テーブルから共
通鍵公開条件を検索し、この共通鍵公開条件にある条件
を保守員の属性が満たしている場合に限って分析着手通
知に格納されている機器データＩＤをキーとして共通鍵
管理テーブルから共通鍵を検索し、検索した共通鍵を格
納した分析着手通知応答を、分析着手通知を送信してき
た作業装置１１３に送信する機能も有する。
【０１１１】通信部４０１は、作業装置１１３から分析
着手通知，分析操作通知，分析完了通知の各メッセージ
を受信すると、各メッセージに格納されているデータを
分析状況管理テーブルに記録する機能も有する。通信部
４０１は、作業装置１１３から分析完了通知を受信する
と、分析着手通知を受信してから分析完了通知を受信す
るまでの間に記録したデータを分析状況管理テーブルか
ら参照し、参照したデータを出力装置に出力するよう制
御部４０２を介して入出力部４００に要求する機能も有
する。
【０１１２】製造工場１２０に設けられた半導体製造検
査装置１２３は、使用者が製造操作を入力する入出力部
１３０と、管理装置１２２から保守操作を受信する通信
部１３１と、受信した保守操作に応じてプログラムを実
行する制御部１３２と、制御部１３２によって制御され
る部位１３４とから構成される。制御部１３２と部位１
３４は第１の実施形態で説明したものと同様であるの
で、以下では入出力部１３０と通信部１３１について詳
細に説明する。
【０１１３】入出力部１３０は、使用者が入力する製造
操作を受け付けると、入力された製造操作で指定された
プログラムＩＤと、このプログラムに与えられるパラメ
ータを格納したコマンドを制御部１３２に送信し、制御
部１３２からプログラムの実行結果を格納したコマンド
応答を受信すると、受信したコマンド応答からプログラ
ムの実行結果を取り出して出力装置に出力する機能を有
する。
【０１１４】通信部１３１は、半導体製造検査装置１２
３の稼動状況を定期的に監視し、トラブルが発生してい
ることを検知した場合には、当該半導体製造検査装置１
２３の装置ＩＤと、当該トラブルのエラーコードを格納
した保守依頼を生成し、この保守依頼を管理装置１２２
を介して保守センタ１１０の管理装置１２２に送信する
機能を有する。通信部１３１は、保守依頼に応答して作
業装置１１３から送信される保守操作を受信すると、受
信した保守操作に格納されているプログラムＩＤとパラ
メータとを格納するコマンドを生成し、生成したコマン
ドを制御部１３２に送信する機能も有する。通信部１３
１は、コマンドに応答して制御部１３２から送信される
コマンド応答を受信すると、受信したコマンド応答を格
納した保守操作応答を管理装置１２２に送信する機能を
有する。
【０１１５】機器データパッケージの構造と、管理テー
ブルの構造，メッセージの構造，出力画面は、第１の実
施形態で説明したものと同様であるので説明を省略す
る。
【０１１６】管理装置１２２が分析着手通知，分析着手
通知応答，分析操作通知，分析完了通知を送受信する場
合の処理フローは、第１の実施形態で説明した半導体製
造検査装置１２３のものと同様であるので説明を省略す
る。
【０１１７】以上のように、本実施形態のシステムにお
いては、特定の処理を実行する１つ以上の産業用機器
と、産業用機器から送信される情報を管理する管理装置
と、産業用機器を保守する作業装置とがインターネット
を介して接続された遠隔保守システムであって、産業用
機器は、産業用機器の状態を表す機器情報を管理装置に
送信する通信ユニットを備える。そして、管理装置は、
暗号化ユニットと通信ユニットと入出力ユニットとを備
える。暗号化ユニットは、産業用機器が送信した機器情
報を特定の共通鍵を用いて暗号化する。通信ユニット
は、暗号化ユニットが暗号化した機器情報である暗号化
機器情報を作業装置からの要求に応じて作業装置に送信
し、暗号化機器情報を暗号化するときに用いた共通鍵を
暗号化機器情報を受信した作業装置からの要求に応じて
送信する。入出力ユニットは、管理装置が作業装置に共
通鍵を送信したことを表す履歴の全部または一部を出力
する。作業装置は、通信ユニットと復号化ユニットと入
出力ユニットとを備える。通信ユニットは、管理装置の
通信ユニットが送信した暗号化機器情報を受信し、暗号
化機器情報を暗号化するときに用いた共通鍵を管理装置
に要求して受信する。復号化ユニットは、作業装置の通
信ユニットが受信した共通鍵を記憶し、記憶した共通鍵
を用いて暗号化機器情報を復号化する。入出力ユニット
は、復号化ユニットが復号化した機器情報を記憶し、記
憶した機器情報の全部または一部を出力する。
【０１１８】したがって、個々の産業用機器に蓄積され
た機器情報の公開と、機器情報の安全性の管理とを管理
装置で一元的に行うことが可能となる。
【０１１９】また、管理装置の入出力ユニットは、暗号
化機器情報を記憶媒体に出力し、作業装置の入出力ユニ
ットは、管理装置の入出力ユニットが出力した暗号化機
器情報を記憶媒体から入力するようにしたので、暗号化
した機器情報を任意の媒体を用いて作業装置に入力する
ことが可能となる。
【０１２０】また、管理装置の通信ユニットは、共通鍵
を作業装置に関連付けられている公開鍵を用いて暗号化
して送信し、作業装置の通信ユニットは、産業用機器の
通信ユニットから受信した共通鍵を公開鍵に関連付けら
れている秘密鍵を用いて復号化するようにしたので、共
通鍵を安全に作業装置に送信することが可能となる。ま
た、管理装置の通信ユニットは、作業装置の使用者の属
性を表す属性情報と、共通鍵を送信するために必要な作
業装置の使用者の属性の条件を表す条件情報とを保持
し、作業装置から共通鍵を要求された場合には、使用者
の属性情報と共通鍵の条件情報とを読み出し、読み出し
た条件情報にある条件を読み出した属性情報にある属性
が満たしている場合に限って共通鍵を作業装置に送信す
るようにしたので、作業装置の特定の使用者に限定して
共通鍵を送信することが可能となる。
【０１２１】また、作業装置の復号化ユニットは、作業
装置の通信ユニットが受信した共通鍵の使用を制限する
規則を記憶し、記憶した規則に従って、作業装置の通信
ユニットが受信した共通鍵の使用を制限するようにした
ので、共通鍵を作業装置で安全に管理することが可能と
なる。
【０１２２】また、作業装置の入出力ユニットは、作業
装置の復号化ユニットが復号化した機器情報の使用を制
限する規則を記憶し、記憶した規則に従って、作業装置
の復号化ユニットが復号化した機器情報の使用を制限す
るようにしたので、復号化した機器情報を作業装置で安
全に管理することが可能となる。また、作業装置の入出
力ユニットは、記憶した機器情報を動画を用いて出力す
るようにしたので、直接肉眼で見ることができない産業
用機器の動作を視覚的に分析することが可能となる。ま
た、作業装置の入出力ユニットは、記憶した機器情報を
タイミングチャートを用いて出力するようにしたので、
直接肉眼で見ることができない産業用機器の動作を動作
のタイミングの観点から分析することが可能となる。ま
た、作業装置の入出力ユニットは、記憶した複数の機器
データをタイミングチャートの上で重ね合わせて出力装
置に出力するようにしたので、複数の産業用機器の動作
の比較や、同一産業用機器の異なる時刻の動作の比較を
行って分析することが可能となる。
【０１２３】また、作業装置の入出力ユニットは、作業
装置の入出力ユニットが出力した機器情報に対して作業
装置の使用者が行った操作の内容を表すイベント情報を
生成し、作業装置の通信ユニットは、作業装置の入出力
ユニットが生成したイベント情報を共通鍵を送信した管
理装置に送信し、管理装置の通信ユニットは、共通鍵を
送信した作業装置が送信したイベント情報を受信し、管
理装置の入出力ユニットは、管理装置の通信ユニットが
受信したイベント情報の全部または一部を出力するよう
にしたので、復号化した機器情報に対して作業装置の使
用者が行った操作の内容を管理装置の使用者が把握する
ことが可能となる。また、作業装置の入出力ユニット
は、作業装置の使用者がトラブルの原因を特定したこと
を表すイベント情報を生成するようにしたので、分析の
結果トラブルの結果を特定できたのか否かを管理装置の
使用者が把握することが可能となる。
【０１２４】また、作業装置の入出力ユニットは、作業
装置の使用者が特定の事象をトラブルの原因として判断
した理由を受け付け、受け付けた理由をイベント情報に
格納するようにしたので、トラブルの原因の判断理由を
管理装置の使用者が把握することが可能となる。また、
作業装置の入出力ユニットは、作業装置の復号化ユニッ
トが記憶している共通鍵を作業装置の使用者が削除した
ことを表すイベント情報を生成するようにしたので、作
業装置に送信した共通鍵が削除されたことを管理装置の
使用者が把握することが可能となる。また、作業装置の
入出力ユニットは、作業装置の入出力ユニットが記憶し
ている機器情報を作業装置の使用者が削除したことを表
すイベント情報を生成するようにしたので、作業装置で
復号化された機器情報が削除されたことを管理装置の使
用者が把握することが可能となる。
【０１２５】また、作業装置の通信ユニットは、作業装
置の入出力ユニットが生成したイベント情報を管理装置
に送信する規則を記憶し、記憶した規則に従って、作業
装置の入出力ユニットが生成したイベント情報を管理装
置に送信するようにしたので、特定のイベント情報を送
信する規則を柔軟に変更することが可能となる。また、
作業装置の通信ユニットは、作業装置の使用者がトラブ
ルの原因を特定したことを表すイベント情報を共通鍵を
送信した管理装置に送信する規則を表すイベント送信規
則を記憶するようにしたので、分析の結果トラブルの結
果を特定できたのか否かを管理装置の使用者が把握する
ことが可能となる。また、作業装置の通信ユニットは、
特定の事象をトラブルの原因として判断した理由を表す
イベント情報を共通鍵を送信した管理装置に送信する規
則を表すイベント送信規則を記憶するようにしたので、
トラブルの原因の判断理由を管理装置の使用者が把握す
ることが可能となる。また、作業装置の通信ユニット
は、作業装置の復号化ユニットが記憶している共通鍵を
作業装置の使用者が削除したことを表すイベント情報を
共通鍵を送信した管理装置に送信する規則を表すイベン
ト送信規則を記憶するようにしたので、作業装置に送信
した共通鍵が削除されたことを管理装置の使用者が把握
することが可能となる。
【０１２６】また、作業装置の入出力ユニットは、作業
装置の入出力ユニットが記憶している機器情報を作業装
置の使用者が削除したことを表すイベント情報を共通鍵
を送信した管理装置に送信する規則を表すイベント送信
規則を記憶するようにしたので、作業装置で復号化され
た機器情報が削除されたことを管理装置の使用者が把握
することが可能となる。
【０１２７】また、作業装置は、産業用機器を識別する
情報と、トラブルの原因を特定するために使用した暗号
化機器情報と、トラブルに対する対処方法とを関連付け
て登録する登録ユニットを有するようにし、作業装置の
入出力ユニットは、登録ユニットを参照して該当するト
ラブルに対する対処法を出力するようにしたので、トラ
ブルの原因を分析する方法に関する知識を作業装置の使
用者同士で共有することが可能となる。
【０１２８】本発明の第３の実施形態を詳細に説明す
る。図２０は、本発明を適用した半導体製造検査装置の
遠隔保守システムの構成を示すブロック図である。第１
の実施形態は、半導体製造検査装置を設置した複数の製
造工場と、作業装置を設置した保守センタをインターネ
ットを介して接続し、産業用機器の使用者が許可する範
囲内で、個々の産業用機器に蓄積された機器情報を保守
員に安全に公開することを可能とするものであったが、
第３の実施形態は、さらに加えて、半導体製造検査装置
を設置した製造工場と、作業装置を設置した複数の保守
センタをインターネットを介して接続し、半導体製造検
査装置の使用者が許可する範囲内で、個々の半導体製造
検査装置に蓄積された機器情報をトラブルが発生した半
導体製造検査装置に対応する保守員に対して安全に公開
することを可能とするものである。
【０１２９】図２０に示したシステムではそれぞれ２つ
の保守センタ１１０が示されているが、実際には２つ以
上の保守センタ１１０があってもよい。また、保守セン
タ１１０は互いに異なる保守ベンダに属する保守センタ
であっても同一の保守ベンダに属する保守センタであっ
てもよい。
【０１３０】本発明を適用したシステムは、製造工場１
２０に設けられた半導体製造検査装置１２３の通信部１
３１に次に説明する新たな機能を追加しているが、これ
以外の各装置の構成については第１の実施形態で説明し
たものと同様である。
【０１３１】半導体製造検査装置１２３の通信部１３１
は、半導体製造検査装置１２３の稼動状況を定期的に監
視し、トラブルが発生していることを検知した場合に
は、所定の規則に従って半導体製造検査装置１２３から
読み出す１つ以上の機器データを選定し、選定した機器
データを読み出す機能を有する。通信部１３１は、読み
出した各機器データに対して、機器データＩＤ，共通
鍵，共通鍵公開条件を生成し、これらのデータを互いに
関連付けて共通鍵管理テーブルに登録する機能も有す
る。通信部１３１は、読み出した各機器データを、生成
した共通鍵を用いて暗号化し、生成した機器データＩ
Ｄ，暗号化機器データ，イベント送信規則から構成され
る機器データパッケージを生成する機能も有する。通信
部１３１は、半導体製造検査装置１２３の装置ＩＤ，当
該トラブルのエラーコード，生成した１つ以上の機器デ
ータパッケージを格納した保守依頼を生成する機能も有
する。通信部１３１は、生成した保守依頼を送信する保
守センタ１１０を所定の規則に従って決定し、決定した
保守センタ１１０の管理装置１１２に保守依頼を送信す
る機能も有する。
【０１３２】なお通信部１３１が保守依頼を送信する作
業装置を決定する規則には様々なものが考えられる。例
えば、予め前記各作業装置が提供し得る保守作業の品質
を表す品質情報を記憶し、記憶した品質情報に基づき保
守依頼を送信する作業装置を決定する規則や、品質情報
に基づき保守依頼を送信する作業装置の候補を選定し、
この候補の中から半導体製造検査装置の使用者が選択し
た作業装置を保守依頼を送信する作業装置として決定す
る規則などがある。
【０１３３】通信部１３１から保守依頼を受信した作業
装置１１３は、読出操作応答を受信した場合と同様に、
保守員が指定した外部記憶装置のファイルに保守依頼を
格納し、格納した保守依頼に格納されている各機器デー
タパッケージについて表示を行う。
【０１３４】続いて、半導体製造検査装置１２３から作
業装置１１３に送信される保守依頼の構造について説明
する。図２１は、保守依頼のデータ構成例を示してい
る。保守依頼４１０は、保守を依頼するために半導体製
造検査装置１２３から作業装置１１３に送信されるメッ
セージであり、装置ＩＤ４１１，エラーコード４１２，
機器データパッケージ４１３，・・・等から構成され
る。機器データパッケージ４１３の項目は複数あっても
よい。
【０１３５】装置ＩＤ４１１には、トラブルの発生を検
出した半導体製造検査装置１２３の識別子を表すデータ
を格納する。エラーコード４１２には、トラブルの症状
を表すデータを格納する。機器データパッケージ４１３
には、トラブルの原因を分析するためにし使用する機器
データパッケージを格納する。なお保守依頼には、トラ
ブル検知日時，半導体製造工場ＩＤ，半導体製造検査装
置種別などの項目を付加してもよい。
【０１３６】図２２は、図６に示した分析状況管理テー
ブルに保守内容に基づいて演算された対価の金額を追加
したもので、保守センタ１１０の管理装置１１２から半
導体製造工場１２０の管理装置１２２へ送信され、確認
の上対価が支払われることになる。
【０１３７】分析状況管理テーブル４２０の各行は、分
析作業ＩＤ４２１，機器データＩＤ４２２，記録日時４
２３，保守員種別４２４，保守員ＩＤ４２５，内容４２
６，金額４２７から構成される。分析作業ＩＤ４２１に
は、分析作業の識別子を表すデータを格納する。機器デ
ータＩＤ４２２には、分析の対象となった機器データの
識別子を表すデータを格納する。記録日時４２３には、
履歴が記録された日時を表すデータを格納する。保守員
種別４２４には、分析作業を行った保守員の種別を表す
データを格納する。保守員ＩＤ４２５には、分析作業を
行った分析員の識別子を表すデータを格納する。内容４
２６には、分析着手通知，分析操作，分析完了通知の内
容を表すデータを格納する。金額４２７には、分析内容
に応じて演算された対価の金額を格納する。
【０１３８】続いて、図２０に示した半導体製造検査装
置１２３の保守に関する処理フローについて説明する。
図２３は、半導体製造検査装置１２３が保守依頼を作業
装置１１３に送信する場合の動作を示すフローチャート
である。通信部１３１は、このフローチャートに示す処
理を定期的に実行することにより、半導体製造検査装置
１２３の稼動状況を定期的に監視する。
【０１３９】まず、通信部１３１は、半導体製造検査装
置１２３でトラブルが発生していることを検出したか否
かを確認し(ステップ４３１，４３２)、トラブルが発生
していることを検出した場合には、所定の規則に従っ
て、半導体製造検査装置１２３から読み出す機器データ
を選定し（ステップ４３３）、トラブルが発生している
ことを検出しなかった場合には処理を終了する（ステッ
プ４３９）。
【０１４０】トラブルが発生していることを検出した場
合には、通信部１３１は、選定した１つ以上の機器デー
タを読み出す（ステップ４３４）。次に、通信部１３１
は、読み出した各機器データに対して、機器データＩ
Ｄ，共通鍵，共通鍵公開条件を生成し、これらのデータ
を互いに関連付けて共通鍵管理テーブルに登録する（ス
テップ４３５）。次に、通信部１３１は、半導体製造検
査装置１２３の装置ＩＤ，当該トラブルのエラーコー
ド，生成した１つ以上の機器データパッケージを格納し
た保守依頼を生成する(ステップ４３６)。通信部１３１
は、生成した保守依頼を送信する保守センタ１１０を所
定の規則に従って決定する(ステップ４３７)。決定した
保守センタ１１０の管理装置１１２に保守依頼を送信し
（ステップ４３８）、処理を終了する（ステップ４３
９）。
【０１４１】以上のように、本実施形態のシステムにお
いては、特定の処理を実行する１つ以上の産業用機器
と、産業用機器を保守する１つ以上の作業装置とがイン
ターネットを介して接続された遠隔保守システムであっ
て、産業用機器は、暗号化ユニットと決定ユニットと通
信ユニットと入出力ユニットとを備える。暗号化ユニッ
トは、産業用機器の状態を表す機器情報を特定の共通鍵
を用いて暗号化する。決定ユニットは、暗号化ユニット
が暗号化した機器情報である暗号化機器情報を送信する
作業装置を決定する。通信ユニットは、暗号化ユニット
が暗号化した暗号化機器情報を決定ユニットが決定した
作業装置に送信し、暗号化機器情報を受信した作業装置
からの要求に応じて、暗号化機器情報を暗号化するとき
に用いた共通鍵を送信する。入出力ユニットは、産業用
機器が作業装置に共通鍵を送信したことを表す履歴の全
部または一部を出力する。作業装置は、通信ユニットと
復号化ユニットと入出力ユニットとを備える。通信ユニ
ットは、産業用機器の通信ユニットが送信した暗号化機
器情報を受信し、暗号化機器情報を暗号化するときに用
いた共通鍵を産業用機器に要求して受信する。復号化ユ
ニットは、作業装置の通信ユニットが受信した共通鍵を
記憶し、記憶した共通鍵を用いて暗号化機器情報を復号
化する。入出力ユニットは、復号化ユニットが復号化し
た機器情報を記憶し、記憶した機器情報の全部または一
部を出力する。
【０１４２】したがって、産業用機器の使用者が許可す
る範囲内で、個々の産業用機器に蓄積された機器情報を
トラブルが発生した産業用機器に対応する保守員に対し
て安全に公開することが可能となる。
【０１４３】また、産業用機器の決定ユニットは、各作
業装置が提供し得る保守作業の品質を表す品質情報を記
憶し、記憶した品質情報に基づき、保守を依頼すること
を表す保守依頼を送信する少なくとも１つ以上の作業装
置を決定し、産業用機器の通信ユニットは、産業用機器
の決定ユニットが決定した作業装置に保守依頼と暗号化
機器情報とを送信するようにしたので、各作業装置が提
供し得る保守作業の品質に応じて保守を依頼することが
可能となる。
【０１４４】また、産業用機器の決定ユニットは、保守
依頼を送信する少なくとも１つの作業装置の候補を生成
し、産業用機器の入出力ユニットは、産業用機器の決定
ユニットが生成した候補を出力し、産業用機器の決定ユ
ニットは、産業用機器の入出力ユニットが出力した候補
の中から産業用機器の使用者が選択した作業装置を保守
依頼を送信する作業装置として決定するようにしたの
で、産業用機器の使用者の判断に応じて柔軟に保守を依
頼することが可能となる。
【０１４５】以上、第３の実施形態を説明したが、これ
以外にも本発明は変形が可能である。第４の実施形態
は、第３の実施形態を変形したものである。第３の実施
形態は、産業用機器の使用者が許可する範囲内で、個々
の産業用機器に蓄積された機器情報をトラブルが発生し
た産業用機器に対応する保守員に対して安全に公開する
ことを可能とするものであったが、第４の実施形態は、
個々の産業用機器に蓄積された機器情報の対応する保守
員への公開と、機器情報の安全性の管理とを管理装置で
一元的に行うことを可能とするものである。本発明を適
用したシステムは、製造工場１２０に設けられた管理装
置１２２に次に説明する新たな機能を追加しているが、
これ以外の各装置の構成については第３の実施形態で説
明したものと同様である。
【０１４６】図１９において、管理装置１２２の通信部
４０１は、半導体製造検査装置123の稼動状況を定期的
に監視し、トラブルが発生していることを検知した場合
には、所定の規則に従って、該当半導体製造検査装置１
２３から読み出す機器データを選定し、この機器データ
を読み出す読出操作を半導体製造検査装置１２３に送信
する機能を有する。
【０１４７】通信部４０１は、読出操作に応答して半導
体製造検査装置１２３から送信される各読出操作応答を
受信すると、受信した読出操作応答に格納されている機
器データに対して、機器データＩＤ，共通鍵，共通鍵公
開条件を生成し、これらのデータを互いに関連付けて共
通鍵管理テーブルに登録する機能も有する。
【０１４８】通信部４０１は、生成した共通鍵を用いて
読出操作応答に格納されている機器データを暗号化し、
生成した機器データＩＤ，暗号化機器データ，イベント
送信規則から構成される機器データパッケージを生成
し、当該半導体製造検査装置１２３の装置ＩＤ，当該ト
ラブルのエラーコード，１つ以上の機器データパッケー
ジを格納した保守依頼を生成する機能も有する。
【０１４９】通信部４０１は、所定の規則に従って、生
成した保守依頼を送信する装置ベンダを決定し、決定し
た装置ベンダの管理装置１１２に保守依頼を送信する機
能も有する。
【０１５０】なお通信部４０１が保守依頼を送信する作
業装置を選定する規則には様々なものが考えられる。例
えば、予め前記各作業装置が提供し得る保守作業の品質
を表す品質情報を記憶し、記憶した品質情報に基づき保
守依頼を送信する作業装置を決定する規則や、品質情報
に基づき保守依頼を送信する作業装置の候補を選定し、
この候補の中から管理装置の使用者が選択した作業装置
を保守依頼を送信する作業装置として決定する規則など
が考えられる。
【０１５１】通信部１３１から保守依頼を受信した作業
装置１１３は、読出操作応答を受信した場合と同様に、
保守員が指定した外部記憶装置のファイルに保守依頼を
格納し、格納した保守依頼に格納されている各機器デー
タパッケージについて表示を行う。
【０１５２】管理装置１２２から作業装置１１３に送信
される保守依頼の構造は、第３の実施形態で説明したも
のと同様であるので説明を省略する。
【０１５３】管理装置１２２が保守依頼を作業装置１１
３に送信する場合の動作は、第３の実施形態で説明した
半導体製造検査装置１２３のものと同様であるので説明
を省略する。
【０１５４】以上のように、本実施形態のシステムにお
いては、特定の処理を実行する１つ以上の産業用機器
と、産業用機器から送信される情報を管理する管理装置
と、産業用機器を保守する１つ以上の作業装置とがイン
ターネットを介して接続された遠隔保守システムであっ
て、産業用機器は、産業用機器の状態を表す機器情報を
管理装置に送信する通信ユニットを備える。管理装置
は、暗号化ユニットと決定ユニットと通信ユニットと入
出力ユニットとを備える。暗号化ユニットは、産業用機
器の通信ユニットが送信した機器情報を特定の共通鍵を
用いて暗号化する。決定ユニットは、暗号化ユニットが
暗号化した機器情報である暗号化機器情報を送信する作
業装置を決定する。通信ユニットは、暗号化ユニットが
暗号化した暗号化機器情報を決定ユニットが決定した作
業装置に送信し、暗号化機器情報を受信した作業装置か
らの要求に応じて、暗号化機器情報を暗号化するときに
用いた共通鍵を送信する。入出力ユニットは、管理装置
が作業装置に共通鍵を送信したことを表す履歴の全部ま
たは一部を出力する。作業装置は、通信ユニットと復号
化ユニットと入出力ユニットとを備える。通信ユニット
は、管理装置の通信ユニットが送信した暗号化機器情報
を受信し、暗号化機器情報を暗号化した共通鍵を管理装
置に要求して受信する。復号化ユニットは、作業装置の
通信ユニットが受信した共通鍵を記憶し、記憶した共通
鍵を用いて暗号化機器情報を復号化する。入出力ユニッ
トは、復号化ユニットが復号化した機器情報を記憶し、
記憶した機器情報の全部または一部を出力する。
【０１５５】したがって、個々の産業用機器に蓄積され
た機器情報の対応する保守員への公開と、機器情報の安
全性の管理とを管理装置で一元的に行うことが可能とな
る。
【０１５６】また、管理装置の決定ユニットは、各作業
装置が提供し得る保守作業の品質を表す品質情報を記憶
し、記憶した品質情報に基づき、保守を依頼することを
表す保守依頼を送信する少なくとも１つ以上の作業装置
を決定し、管理装置の通信ユニットは、管理装置の決定
ユニットが決定した作業装置に保守依頼と暗号化機器情
報とを送信するようにしたので、各作業装置が提供し得
る保守作業の属性に応じて保守を依頼することが可能と
なる。
【０１５７】また、管理装置の決定ユニットは、保守依
頼を送信する少なくとも１つの作業装置の候補を生成
し、管理装置の入出力ユニットは、管理装置の決定ユニ
ットが生成した候補を出力し、管理装置の決定ユニット
は、管理装置の入出力ユニットが出力した候補の中から
管理装置の使用者が選択した作業装置を保守依頼を送信
する作業装置として決定するようにしたので、管理装置
の使用者の判断に応じて柔軟に保守を依頼することが可
能となる。
【０１５８】本発明の各実施態様の特徴を以下に示す。
【０１５９】（１）特定の処理を実行する１つ以上の産
業用機器と、産業用機器を保守する作業装置とがインタ
ーネットを介して接続された遠隔保守システムであっ
て、前記産業用機器は、産業用機器の状態を表す機器情
報を特定の共通鍵を用いて暗号化する暗号化ユニット
と、前記暗号化ユニットが暗号化した機器情報である暗
号化機器情報を前記作業装置からの要求に応じて前記作
業装置に送信し、前記暗号化機器情報を暗号化するとき
に用いた共通鍵を暗号化機器情報を受信した前記作業装
置からの要求に応じて送信する通信ユニットと、前記産
業用機器が前記作業装置に共通鍵を送信したことを表す
履歴の全部または一部を出力する入出力ユニットとを有
し、前記作業装置は、前記産業用機器の通信ユニットが
送信した暗号化機器情報を受信し、前記暗号化機器情報
を暗号化するときに用いた共通鍵を前記産業用機器に要
求して受信する通信ユニットと、前記作業装置の通信ユ
ニットが受信した共通鍵を記憶し、記憶した共通鍵を用
いて暗号化機器情報を復号化する復号化ユニットと、前
記復号化ユニットが復号化した機器情報を記憶し、記憶
した機器情報の全部または一部を出力する入出力ユニッ
トとを有することを特徴とする遠隔保守システム。
【０１６０】（２）（１）に記載の遠隔保守システムで
あって、前記産業用機器の入出力ユニットは、前記暗号
化機器情報を記憶媒体に出力し、前記作業装置の入出力
ユニットは、前記産業用機器の入出力ユニットが出力し
た暗号化機器情報を記憶媒体から入力することを特徴と
する遠隔保守システム。
【０１６１】（３）（１）に記載の遠隔保守システムで
あって、前記産業用機器の通信ユニットは、共通鍵を前
記作業装置に関連付けられている公開鍵を用いて暗号化
して送信し、前記作業装置の通信ユニットは、前記産業
用機器の通信ユニットから受信した共通鍵を前記公開鍵
に関連付けられている秘密鍵を用いて復号化することを
特徴とする遠隔保守システム。
【０１６２】（４）（１）に記載の遠隔保守システムで
あって、前記産業用機器の通信ユニットは、前記作業装
置の使用者の属性を表す属性情報と、共通鍵を送信する
ために必要な前記作業装置の使用者の属性の条件を表す
条件情報とを保持し、前記作業装置から共通鍵を要求さ
れた場合には、前記使用者の属性情報と共通鍵の条件情
報とを読み出し、読み出した条件情報にある条件を読み
出した属性情報にある属性が満たしている場合に限って
共通鍵を前記作業装置に送信することを特徴とする遠隔
保守システム。
【０１６３】（５）（１）に記載の遠隔保守システムで
あって、前記作業装置の復号化ユニットは、前記作業装
置の通信ユニットが受信した共通鍵への操作を制限する
規則を記憶し、記憶した規則に従って、前記作業装置の
通信ユニットが受信した共通鍵への操作を制限すること
を特徴とする遠隔保守システム。
【０１６４】（６）（１）に記載の遠隔保守システムで
あって、前記作業装置の入出力ユニットは、前記作業装
置の復号化ユニットが復号化した機器情報への操作を制
限する規則を記憶し、記憶した規則に従って、前記作業
装置の復号化ユニットが復号化した機器情報への操作を
制限することを特徴とする遠隔保守システム。
【０１６５】（７）（１）に記載の遠隔保守システムで
あって、前記作業装置の入出力ユニットは、記憶した前
記機器情報を動画を用いて出力することを特徴とする遠
隔保守システム。
【０１６６】（８）（１）に記載の遠隔保守システムで
あって、前記作業装置の入出力ユニットは、記憶した前
記機器情報をタイミングチャートを用いて出力すること
を特徴とする遠隔保守システム。
【０１６７】（９）（１）に記載の遠隔保守システムで
あって、前記作業装置の入出力ユニットは、記憶した複
数の前記機器データをタイミングチャートの上で重ね合
わせて出力装置に出力することを特徴とする遠隔保守シ
ステム。
【０１６８】（１０）（１）に記載の遠隔保守システム
であって、前記作業装置の入出力ユニットは、前記作業
装置の入出力ユニットが出力した機器情報に対して前記
作業装置の使用者が行った操作の内容を表すイベント情
報を生成し、前記作業装置の通信ユニットは、前記作業
装置の入出力ユニットが生成したイベント情報を共通鍵
を送信した産業用機器に送信し、前記産業用機器の通信
ユニットは、共通鍵を送信した作業装置が送信したイベ
ント情報を受信し、前記産業用機器の入出力ユニット
は、前記産業用機器の通信ユニットが受信したイベント
情報の全部または一部を出力することを特徴とする遠隔
保守システム。
【０１６９】（１１）（１０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の入出力ユニットは、前記作
業装置の使用者がトラブルの原因を特定したことを表す
イベント情報を生成することを特徴とする遠隔保守シス
テム。
【０１７０】（１２）（１１）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の入出力ユニットは、前記作
業装置の使用者が特定の事象をトラブルの原因として判
断した理由を受け付け、受け付けた理由をイベント情報
に格納することを特徴とする遠隔保守システム。
【０１７１】（１３）（１１）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の入出力ユニットは、前記作
業装置の復号化ユニットが記憶している共通鍵を前記作
業装置の使用者が削除したことを表すイベント情報を生
成することを特徴とする遠隔保守システム。
【０１７２】（１４）（１１）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の入出力ユニットは、前記作
業装置の入出力ユニットが記憶している機器情報を前記
作業装置の使用者が削除したことを表すイベント情報を
生成することを特徴とする遠隔保守システム。
【０１７３】（１５）（１０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の通信ユニットは、前記作業
装置の入出力ユニットが生成したイベント情報を産業用
機器に送信する規則を表すイベント送信規則を記憶し、
記憶したイベント送信規則に従って、前記作業装置の入
出力ユニットが生成したイベント情報を産業用機器に送
信することを特徴とする遠隔保守システム。
【０１７４】（１６）（１５）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の通信ユニットは、前記作業
装置の使用者がトラブルの原因を特定したことを表すイ
ベント情報を前記共通鍵を送信した産業用機器に送信す
る規則を表すイベント送信規則を記憶することを特徴と
する遠隔保守システム。
【０１７５】（１７）（１６）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の通信ユニットは、特定の事
象をトラブルの原因として判断した理由を表すイベント
情報を前記共通鍵を送信した産業用機器に送信する規則
を表すイベント送信規則を記憶することを特徴とする遠
隔保守システム。
【０１７６】（１８）（１５）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の通信ユニットは、前記作業
装置の復号化ユニットが記憶している共通鍵を前記作業
装置の使用者が削除したことを表すイベント情報を前記
共通鍵を送信した産業用機器に送信する規則を表すイベ
ント送信規則を記憶することを特徴とする遠隔保守シス
テム。
【０１７７】（１９）（１５）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の入出力ユニットは、前記作
業装置の入出力ユニットが記憶している機器情報を前記
作業装置の使用者が削除したことを表すイベント情報を
前記共通鍵を送信した産業用機器に送信する規則を表す
イベント送信規則を記憶することを特徴とする遠隔保守
システム。
【０１７８】（２０）（１）に記載の遠隔保守システム
であって、前記作業装置は、産業用機器を識別する情報
と、トラブルの原因を特定するために使用した暗号化機
器情報と、トラブルに対する対処方法とを関連付けて登
録する登録ユニットを有し、前記作業装置の入出力ユニ
ットは、登録ユニットを参照して該当するトラブルに対
する対処法を出力することを特徴とする遠隔保守システ
ム。
【０１７９】（２１）（１）に記載の遠隔保守システム
であって、前記産業用機器は、半導体製造検査装置であ
ることを特徴とする遠隔保守システム。
【０１８０】（２２）インターネットを介して接続され
た作業装置から遠隔で保守作業を受ける産業用機器であ
って、産業用機器の状態を表す機器情報を特定の共通鍵
を用いて暗号化する暗号化ユニットと、前記暗号化ユニ
ットが暗号化した機器情報である暗号化機器情報を前記
作業装置からの要求に応じて前記作業装置に送信し、前
記暗号化機器情報を暗号化するときに用いた共通鍵を暗
号化機器情報を受信した前記作業装置からの要求に応じ
て送信する通信ユニットと、前記産業用機器が前記作業
装置に共通鍵を送信したことを表す履歴の全部または一
部を出力する入出力ユニットとを有することを特徴とす
る産業用機器。
【０１８１】（２３）（２２）に記載の産業用機器であ
って、前記入出力ユニットは、前記作業装置に入力させ
る暗号化機器情報を記憶媒体に出力することを特徴とす
る産業用機器。
【０１８２】（２４）（２２）に記載の産業用機器であ
って、前記通信ユニットは、前記共通鍵を前記作業装置
に関連付けられている公開鍵を用いて暗号化して送信す
ることを特徴とする産業用機器。
【０１８３】（２５）（２２）に記載の産業用機器であ
って、前記通信ユニットは、前記作業装置の使用者の属
性を表す属性情報と、共通鍵を送信するために必要な前
記作業装置の使用者の属性の条件を表す条件情報とを保
持し、前記作業装置から共通鍵を要求された場合には、
前記使用者の属性情報と共通鍵の条件情報とを読み出
し、読み出した条件情報にある条件を読み出した属性情
報にある属性が満たしている場合に限って共通鍵を前記
作業装置に送信することを特徴とする産業用機器。
【０１８４】（２６）（２２）に記載の産業用機器であ
って、前記通信ユニットは、前記作業装置の使用者が機
器情報に対して行った操作の内容を表すイベント情報を
共通鍵を送信した作業装置から受信し、前記入出力ユニ
ットは、前記通信ユニットが受信したイベント情報の全
部または一部を出力することを特徴とする産業用機器。
【０１８５】（２７）（２６）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記通信ユニットは、前記作業装置の使用
者がトラブルの原因を特定したことを表すイベント情報
を受信することを特徴とする産業用機器。
【０１８６】（２８）（２７）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記通信ユニットは、前記作業装置の使用
者が特定の事象をトラブルの原因として判断した理由を
表すイベント情報を受信することを特徴とする産業用機
器。
【０１８７】（２９）（２６）に記載の産業用機器であ
って、前記通信ユニットは、前記作業装置が記憶してい
る共通鍵を前記作業装置の使用者が削除したことを表す
イベント情報を受信することを特徴とする産業用機器。
【０１８８】（３０）（２６）に記載の産業用機器であ
って、前記通信ユニットは、前記作業装置が記憶してい
る機器情報を前記作業装置の使用者が削除したことを表
すイベント情報を受信することを特徴とする産業用機
器。
【０１８９】（３１）インターネットを介して接続され
た産業用機器を遠隔で保守する作業装置であって、前記
産業用機器の状態を表す機器情報を特定の共通鍵を用い
て暗号化した情報である暗号化機器情報を前記産業用機
器から受信し、前記暗号化機器情報を暗号化するときに
用いた共通鍵を前記産業用機器に要求して受信する通信
ユニットと、前記通信ユニットが受信した共通鍵を記憶
し、記憶した共通鍵を用いて暗号化機器情報を復号化す
る復号化ユニットと、前記復号化ユニットが復号化した
機器情報を記憶し、記憶した機器情報の全部または一部
を出力する入出力ユニットとを有することを特徴とする
作業装置。
【０１９０】（３２）（３１）に記載の作業装置であっ
て、前記入出力ユニットは、前記産業用機器が出力した
暗号化機器情報を記憶媒体から入力することを特徴とす
る作業装置。
【０１９１】（３３）（３１）に記載の作業装置であっ
て、前記通信ユニットは、前記産業用機器から受信した
共通鍵を作業装置に関連付けられている秘密鍵を用いて
復号化することを特徴とする作業装置。
【０１９２】（３４）（３１）に記載の作業装置であっ
て、前記復号化ユニットは、前記通信ユニットが受信し
た共通鍵への操作を制限する規則を記憶し、記憶した規
則に従って、前記通信ユニットが受信した共通鍵への操
作を制限することを特徴とする作業装置。
【０１９３】（３５）（３１）に記載の作業装置であっ
て、前記入出力ユニットは、前記復号化ユニットが復号
化した機器情報への操作を制限する規則を記憶し、記憶
した規則に従って、前記復号化ユニットが復号化した機
器情報への操作を制限することを特徴とする作業装置。
【０１９４】（３６）（３１）に記載の作業装置であっ
て、前記入出力ユニットは、記憶した前記機器情報を動
画を用いて出力することを特徴とする作業装置。
【０１９５】（３７）（３１）に記載の作業装置であっ
て、前記入出力ユニットは、記憶した前記機器情報をタ
イミングチャートを用いて出力することを特徴とする作
業装置。
【０１９６】（３８）（３１）に記載の作業装置であっ
て、前記入出力ユニットは、記憶した複数の前記機器デ
ータをタイミングチャートの上で重ね合わせて出力装置
に出力することを特徴とする作業装置。
【０１９７】（３９）（３１）に記載の作業装置であっ
て、前記入出力ユニットは、前記入出力ユニットが出力
した機器情報に対して前記作業装置の使用者が行った操
作の内容を表すイベント情報を生成し、前記通信ユニッ
トは、前記入出力ユニットが生成したイベント情報を共
通鍵を送信した産業用機器に送信することを特徴とする
作業装置。
【０１９８】（４０）（３１）に記載の作業装置であっ
て、前記入出力ユニットは、前記作業装置の使用者がト
ラブルの原因を特定したことを表すイベント情報を生成
することを特徴とする作業装置。
【０１９９】（４１）（４０）に記載の作業装置であっ
て、前記入出力ユニットは、前記作業装置の使用者が特
定の事象をトラブルの原因として判断した理由を受け付
け、受け付けた理由をイベント情報に格納することを特
徴とする作業装置。
【０２００】（４２）（３１）に記載の作業装置であっ
て、前記入出力ユニットは、前記作業装置の復号化ユニ
ットが記憶している共通鍵を前記作業装置の使用者が削
除したことを表すイベント情報を生成することを特徴と
する作業装置。
【０２０１】（４３）（３１）に記載の作業装置であっ
て、前記入出力ユニットは、前記作業装置の入出力ユニ
ットが記憶している機器情報を前記作業装置の使用者が
削除したことを表すイベント情報を生成することを特徴
とする作業装置。
【０２０２】（４４）（３１）に記載の作業装置であっ
て、前記通信ユニットは、前記入出力ユニットが生成し
たイベント情報を産業用機器に送信する規則を記憶し、
記憶した規則に従って、前記作業装置の入出力ユニット
が生成したイベント情報を産業用機器に送信することを
特徴とする作業装置。
【０２０３】（４５）（４４）に記載の作業装置であっ
て、前記通信ユニットは、前記作業装置の使用者がトラ
ブルの原因を特定したことを表すイベント情報を前記共
通鍵を送信した産業用機器に送信する規則を表すイベン
ト送信規則を記憶することを特徴とする作業装置。
【０２０４】（４６）（４５）に記載の作業装置であっ
て、前記通信ユニットは、特定の事象をトラブルの原因
として判断した理由を表すイベント情報を前記共通鍵を
送信した産業用機器に送信する規則を表すイベント送信
規則を記憶することを特徴とする作業装置。
【０２０５】（４７）（４５）に記載の作業装置であっ
て、前記通信ユニットは、前記復号化ユニットが記憶し
ている共通鍵を前記作業装置の使用者が削除したことを
表すイベント情報を前記共通鍵を送信した産業用機器に
送信する規則を表すイベント送信規則を記憶することを
特徴とする作業装置。
【０２０６】（４８）（４５）に記載の作業装置であっ
て、前記入出力ユニットは、前記入出力ユニットが記憶
している機器情報を前記作業装置の使用者が削除したこ
とを表すイベント情報を前記共通鍵を送信した産業用機
器に送信する規則を表すイベント送信規則を記憶するこ
とを特徴とする作業装置。
【０２０７】（４９）（３１）に記載の作業装置であっ
て、前記作業装置は、産業用機器を識別する情報と、ト
ラブルの原因を特定するために使用した暗号化機器情報
と、トラブルに対する対処方法とを関連付けて登録する
登録ユニットを有し、前記入出力ユニットは、登録ユニ
ットを参照して該当するトラブルに対する対処法を出力
することを特徴とする作業装置。
【０２０８】（５０）特定の処理を実行する１つ以上の
産業用機器と、産業用機器から送信される情報を管理す
る管理装置と、産業用機器を保守する作業装置とがイン
ターネットを介して接続された遠隔保守システムであっ
て、前記産業用機器は、産業用機器の状態を表す機器情
報を前記管理装置に送信する通信ユニットを有し、前記
管理装置は、前記産業用機器が送信した機器情報を特定
の共通鍵を用いて暗号化する暗号化ユニットと、前記暗
号化ユニットが暗号化した機器情報である暗号化機器情
報を前記作業装置からの要求に応じて前記作業装置に送
信し、前記暗号化機器情報を暗号化するときに用いた共
通鍵を暗号化機器情報を受信した前記作業装置からの要
求に応じて送信する通信ユニットと、前記管理装置が前
記作業装置に共通鍵を送信したことを表す履歴の全部ま
たは一部を出力する入出力ユニットとを有し、前記作業
装置は、前記管理装置の通信ユニットが送信した暗号化
機器情報を受信し、前記暗号化機器情報を暗号化すると
きに用いた共通鍵を前記管理装置に要求して受信する通
信ユニットと、前記作業装置の通信ユニットが受信した
共通鍵を記憶し、記憶した共通鍵を用いて暗号化機器情
報を復号化する復号化ユニットと、前記復号化ユニット
が復号化した機器情報を記憶し、記憶した機器情報の全
部または一部を出力する入出力ユニットとを有すること
を特徴とする遠隔保守システム。
【０２０９】（５１）（５０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記管理装置の入出力ユニットは、前記暗
号化機器情報を記憶媒体に出力し、前記作業装置の入出
力ユニットは、前記管理装置の入出力ユニットが出力し
た暗号化機器情報を記憶媒体から入力することを特徴と
する遠隔保守システム。
【０２１０】（５２）（５０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記管理装置の通信ユニットは、共通鍵を
前記作業装置に関連付けられている公開鍵を用いて暗号
化して送信し、前記作業装置の通信ユニットは、前記産
業用機器の通信ユニットから受信した共通鍵を前記公開
鍵に関連付けられている秘密鍵を用いて復号化すること
を特徴とする遠隔保守システム。
【０２１１】（５３）（５０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記管理装置の通信ユニットは、前記作業
装置の使用者の属性を表す属性情報と、共通鍵を送信す
るために必要な前記作業装置の使用者の属性の条件を表
す条件情報とを保持し、前記作業装置から共通鍵を要求
された場合には、前記使用者の属性情報と共通鍵の条件
情報とを読み出し、読み出した条件情報にある条件を読
み出した属性情報にある属性が満たしている場合に限っ
て共通鍵を前記作業装置に送信することを特徴とする遠
隔保守システム。
【０２１２】（５４）（５０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の復号化ユニットは、前記作
業装置の通信ユニットが受信した共通鍵への操作を制限
する規則を記憶し、記憶した規則に従って、前記作業装
置の通信ユニットが受信した共通鍵への操作を制限する
ことを特徴とする遠隔保守システム。
【０２１３】（５５）（５０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の入出力ユニットは、前記作
業装置の復号化ユニットが復号化した機器情報への操作
を制限する規則を記憶し、記憶した規則に従って、前記
作業装置の復号化ユニットが復号化した機器情報への操
作を制限することを特徴とする遠隔保守システム。
【０２１４】（５６）（５０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の入出力ユニットは、記憶し
た前記機器情報を動画を用いて出力することを特徴とす
る遠隔保守システム。
【０２１５】（５７）（５０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の入出力ユニットは、記憶し
た前記機器情報をタイミングチャートを用いて出力する
ことを特徴とする遠隔保守システム。
【０２１６】（５８）（５０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の入出力ユニットは、記憶し
た複数の前記機器データをタイミングチャートの上で重
ね合わせて出力装置に出力することを特徴とする遠隔保
守システム。
【０２１７】（５９）（５０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の入出力ユニットは、前記作
業装置の入出力ユニットが出力した機器情報に対して前
記作業装置の使用者が行った操作の内容を表すイベント
情報を生成し、前記作業装置の通信ユニットは、前記作
業装置の入出力ユニットが生成したイベント情報を共通
鍵を送信した管理装置に送信し、前記管理装置の通信ユ
ニットは、共通鍵を送信した作業装置が送信したイベン
ト情報を受信し、前記管理装置の入出力ユニットは、前
記管理装置の通信ユニットが受信したイベント情報の全
部または一部を出力することを特徴とする遠隔保守シス
テム。
【０２１８】（６０）（５９）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の入出力ユニットは、前記作
業装置の使用者がトラブルの原因を特定したことを表す
イベント情報を生成することを特徴とする遠隔保守シス
テム。
【０２１９】（６１）（５９）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の入出力ユニットは、前記作
業装置の使用者が特定の事象をトラブルの原因として判
断した理由を受け付け、受け付けた理由をイベント情報
に格納することを特徴とする遠隔保守システム。
【０２２０】（６２）（５９）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の入出力ユニットは、前記作
業装置の復号化ユニットが記憶している共通鍵を前記作
業装置の使用者が削除したことを表すイベント情報を生
成することを特徴とする遠隔保守システム。
【０２２１】（６３）（５９）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の入出力ユニットは、前記作
業装置の入出力ユニットが記憶している機器情報を前記
作業装置の使用者が削除したことを表すイベント情報を
生成することを特徴とする遠隔保守システム。
【０２２２】（６４）（５０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の通信ユニットは、前記作業
装置の入出力ユニットが生成したイベント情報を前記管
理装置に送信する規則を記憶し、記憶した規則に従っ
て、前記作業装置の入出力ユニットが生成したイベント
情報を管理装置に送信することを特徴とする遠隔保守シ
ステム。
【０２２３】（６５）（６４）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の通信ユニットは、前記作業
装置の使用者がトラブルの原因を特定したことを表すイ
ベント情報を前記共通鍵を送信した管理装置に送信する
規則を表すイベント送信規則を記憶することを特徴とす
る遠隔保守システム。
【０２２４】（６６）（６４）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の通信ユニットは、特定の事
象をトラブルの原因として判断した理由を表すイベント
情報を前記共通鍵を送信した管理装置に送信する規則を
表すイベント送信規則を記憶することを特徴とする遠隔
保守システム。
【０２２５】（６７）（６４）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の通信ユニットは、前記作業
装置の復号化ユニットが記憶している共通鍵を前記作業
装置の使用者が削除したことを表すイベント情報を前記
共通鍵を送信した管理装置に送信する規則を表すイベン
ト送信規則を記憶することを特徴とする遠隔保守システ
ム。
【０２２６】（６８）（６４）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置の入出力ユニットは、前記作
業装置の入出力ユニットが記憶している機器情報を前記
作業装置の使用者が削除したことを表すイベント情報を
前記共通鍵を送信した管理装置に送信する規則を表すイ
ベント送信規則を記憶することを特徴とする遠隔保守シ
ステム。
【０２２７】（６９）（５０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記作業装置は、産業用機器を識別する情
報と、トラブルの原因を特定するために使用した暗号化
機器情報と、トラブルに対する対処方法とを関連付けて
登録する登録ユニットを有し、前記作業装置の入出力ユ
ニットは、登録ユニットを参照して該当するトラブルに
対する対処法を出力することを特徴とする遠隔保守シス
テム。
【０２２８】（７０）（５０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記産業用機器は、半導体製造検査装置で
あることを特徴とする遠隔保守システム。
【０２２９】（７１）特定の処理を実行する１つ以上の
産業用機器から送信される情報を管理する管理装置であ
って、産業用機器の状態を表す機器情報を特定の共通鍵
を用いて暗号化する暗号化ユニットと、インターネット
を介して接続された作業装置からの要求に応じて、前記
暗号化ユニットが暗号化した機器情報である暗号化機器
情報を前記作業装置に送信し、前記暗号化機器情報を暗
号化するときに用いた共通鍵を暗号化機器情報を受信し
た前記作業装置からの要求に応じて送信する通信ユニッ
トと、前記作業装置に共通鍵を送信したことを表す履歴
の全部または一部を出力する入出力ユニットとを有する
ことを特徴とする管理装置。
【０２３０】（７２）（７１）に記載の管理装置であっ
て、前記入出力ユニットは、前記作業装置に入力させる
暗号化機器情報を記憶媒体に出力することを特徴とする
管理装置。
【０２３１】（７３）（７１）に記載の管理装置であっ
て、前記通信ユニットは、共通鍵を前記作業装置に関連
付けられている公開鍵を用いて暗号化して送信すること
を特徴とする管理装置。
【０２３２】（７４）（７１）に記載の管理装置であっ
て、前記通信ユニットは、前記作業装置の使用者の属性
を表す属性情報と、共通鍵を送信するために必要な前記
作業装置の使用者の属性の条件を表す条件情報とを保持
し、前記作業装置から共通鍵を要求された場合には、前
記使用者の属性情報と共通鍵の条件情報とを読み出し、
読み出した条件情報にある条件を読み出した属性情報に
ある属性が満たしている場合に限って共通鍵を前記作業
装置に送信することを特徴とする管理装置。
【０２３３】（７５）（７１）に記載の管理装置であっ
て、前記通信ユニットは、前記作業装置の使用者が機器
情報に対して行った操作の内容を表すイベント情報を共
通鍵を送信した作業装置から受信し、前記入出力ユニッ
トは、前記通信ユニットが受信したイベント情報の全部
または一部を出力することを特徴とする管理装置。
【０２３４】（７６）（７５）に記載の管理装置であっ
て、前記通信ユニットは、前記作業装置の使用者がトラ
ブルの原因を特定したことを表すイベント情報を受信す
ることを特徴とする管理装置。
【０２３５】（７７）（７５）に記載の管理装置であっ
て、前記通信ユニットは、前記作業装置の使用者が特定
の事象をトラブルの原因として判断した理由を表すイベ
ント情報を受信することを特徴とする管理装置。
【０２３６】（７８）（７５）に記載の管理装置であっ
て、前記通信ユニットは、前記作業装置が記憶している
共通鍵を前記作業装置の使用者が削除したことを表すイ
ベント情報を受信することを特徴とする管理装置。
【０２３７】（７９）（７５）に記載の管理装置であっ
て、前記通信ユニットは、前記作業装置が記憶している
機器情報を前記作業装置の使用者が削除したことを表す
イベント情報を受信することを特徴とする管理装置。
【０２３８】（８０）特定の処理を実行する１つ以上の
産業用機器と、産業用機器を保守する１つ以上の作業装
置とがインターネットを介して接続された遠隔保守シス
テムであって、前記産業用機器は、産業用機器の状態を
表す機器情報を特定の共通鍵を用いて暗号化する暗号化
ユニットと、前記暗号化ユニットが暗号化した機器情報
である暗号化機器情報を送信する作業装置を決定する決
定ユニットと、暗号化ユニットが暗号化した暗号化機器
情報を前記決定ユニットが決定した作業装置に送信し、
前記暗号化機器情報を受信した前記作業装置からの要求
に応じて、前記暗号化機器情報を暗号化するときに用い
た共通鍵を送信する通信ユニットと、前記産業用機器が
前記作業装置に共通鍵を送信したことを表す履歴の全部
または一部を出力する入出力ユニットとを有し、前記作
業装置は、前記産業用機器の通信ユニットが送信した暗
号化機器情報を受信し、前記暗号化機器情報を暗号化す
るときに用いた共通鍵を前記産業用機器に要求して受信
する通信ユニットと、前記作業装置の通信ユニットが受
信した共通鍵を記憶し、記憶した共通鍵を用いて暗号化
機器情報を復号化する復号化ユニットと、前記復号化ユ
ニットが復号化した機器情報を記憶し、記憶した機器情
報の全部または一部を出力する入出力ユニットとを有す
ることを特徴とする遠隔保守システム。
【０２３９】（８１）（８０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記産業用機器の決定ユニットは、前記各
作業装置が提供し得る保守作業の品質を表す品質情報を
記憶し、記憶した品質情報に基づき、保守を依頼するこ
とを表す保守依頼を送信する少なくとも１つ以上の作業
装置を決定し、前記産業用機器の通信ユニットは、前記
産業用機器の決定ユニットが決定した作業装置に保守依
頼と前記暗号化機器情報とを送信することを特徴とする
遠隔保守システム。
【０２４０】（８２）（８０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記産業用機器の決定ユニットは、保守依
頼を送信する少なくとも１つの作業装置の候補を生成
し、前記産業用機器の入出力ユニットは、前記産業用機
器の決定ユニットが生成した候補を出力し、前記産業用
機器の決定ユニットは、前記産業用機器の入出力ユニッ
トが出力した候補の中から前記産業用機器の使用者が選
択した作業装置を保守依頼を送信する作業装置として決
定することを特徴とする遠隔保守システム。
【０２４１】（８３）（８０）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記産業用機器は、半導体製造検査装置で
あることを特徴とする遠隔保守システム。
【０２４２】（８４）インターネットを介して接続され
た１つ以上の作業装置から遠隔で保守作業を受ける産業
用機器であって、前記産業用機器は、産業用機器の状態
を表す機器情報を特定の共通鍵を用いて暗号化する暗号
化ユニットと、前記暗号化ユニットが暗号化した機器情
報である暗号化機器情報を送信する作業装置を決定する
決定ユニットと、暗号化ユニットが暗号化した暗号化機
器情報を前記決定ユニットが決定した作業装置に送信
し、暗号化機器情報を受信した前記作業装置からの要求
に応じて、前記暗号化機器情報を暗号化するときに用い
た共通鍵を送信する通信ユニットと、前記産業用機器が
前記作業装置に共通鍵を送信したことを表す履歴の全部
または一部を出力する入出力ユニットとを有することを
特徴とする産業用機器。
【０２４３】（８５）（８４）に記載の産業用機器であ
って、前記決定ユニットは、前記各作業装置が提供し得
る保守作業の品質を表す品質情報を記憶し、前記産業用
機器の通信ユニットが受信した品質情報に基づき、保守
を依頼することを表す保守依頼を送信する少なくとも１
つ以上の作業装置を決定し、前記通信ユニットは、前記
産業用機器の決定ユニットが決定した作業装置に保守依
頼と前記暗号化機器情報とを送信することを特徴とする
産業用機器。
【０２４４】（８６）（８４）に記載の産業用機器であ
って、前記決定ユニットは、保守依頼を送信する少なく
とも１つの作業装置の候補を生成し、前記産業用機器の
入出力ユニットは、前記決定ユニットが生成した候補を
出力し、前記決定ユニットは、前記入出力ユニットが出
力した候補の中から前記産業用機器の使用者が選択した
産業用機器を保守依頼を送信する作業装置として決定す
ることを特徴とする産業用機器。
【０２４５】（８７）特定の処理を実行する１つ以上の
産業用機器と、産業用機器から送信される情報を管理す
る管理装置と、産業用機器を保守する１つ以上の作業装
置とがインターネットを介して接続された遠隔保守シス
テムであって、前記産業用機器は、産業用機器の状態を
表す機器情報を前記管理装置に送信する通信ユニットを
有し、前記管理装置は、前記産業用機器の通信ユニット
が送信した機器情報を特定の共通鍵を用いて暗号化する
暗号化ユニットと、前記暗号化ユニットが暗号化した機
器情報である暗号化機器情報を送信する作業装置を決定
する決定ユニットと、前記暗号化ユニットが暗号化した
暗号化機器情報を決定ユニットが決定した前記作業装置
に送信し、暗号化機器情報を受信した前記作業装置から
の要求に応じて、前記暗号化機器情報を暗号化するとき
に用いた共通鍵を送信する通信ユニットと、前記管理装
置が前記作業装置に共通鍵を送信したことを表す履歴の
全部または一部を出力する入出力ユニットとを有し、前
記作業装置は、前記管理装置の通信ユニットが送信した
暗号化機器情報を受信し、前記暗号化機器情報を暗号化
した共通鍵を前記管理装置に要求して受信する通信ユニ
ットと、前記作業装置の通信ユニットが受信した共通鍵
を記憶し、記憶した共通鍵を用いて暗号化機器情報を復
号化する復号化ユニットと、前記復号化ユニットが復号
化した機器情報を記憶し、記憶した機器情報の全部また
は一部を出力する入出力ユニットとを有することを特徴
とする遠隔保守システム。
【０２４６】（８８）（８７）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記管理装置の決定ユニットは、前記各作
業装置が提供し得る保守作業の品質を表す品質情報を記
憶し、記憶した品質情報に基づき、保守を依頼すること
を表す保守依頼を送信する少なくとも１つ以上の作業装
置を決定し、前記管理装置の通信ユニットは、前記管理
装置の決定ユニットが決定した作業装置に保守依頼と前
記暗号化機器情報とを送信することを特徴とする遠隔保
守システム。
【０２４７】（８９）（８７）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記管理装置の決定ユニットは、保守依頼
を送信する少なくとも１つの作業装置の候補を生成し、
前記管理装置の入出力ユニットは、前記管理装置の決定
ユニットが生成した候補を出力し、前記管理装置の決定
ユニットは、前記管理装置の入出力ユニットが出力した
候補の中から前記管理装置の使用者が選択した作業装置
を保守依頼を送信する作業装置として決定することを特
徴とする遠隔保守システム。
【０２４８】（９０）（８７）に記載の遠隔保守システ
ムであって、前記産業用機器は、半導体製造検査装置で
あることを特徴とする遠隔保守システム。
【０２４９】（９１）特定の処理を実行する１つ以上の
産業用機器から送信される情報を管理する管理装置であ
って、前記産業用機器から受信した機器情報を特定の共
通鍵を用いて暗号化する暗号化ユニットと、前記暗号化
ユニットが暗号化した機器情報である暗号化機器情報を
送信する作業装置を決定する決定ユニットと、前記暗号
化ユニットが暗号化した暗号化機器情報を前記決定ユニ
ットが決定した作業装置に送信し、前記暗号化機器情報
を受信した前記作業装置からの要求に応じて、前記暗号
化機器情報を暗号化するときに用いた共通鍵を送信する
通信ユニットと、前記通信ユニットが前記作業装置に共
通鍵を送信したことを表す履歴の全部または一部を出力
する入出力ユニットとを有することを特徴とする管理装
置。
【０２５０】（９２）（９１）に記載の管理装置であっ
て、前記決定ユニットは、前記各作業装置が提供し得る
保守作業の品質を表す品質情報を記憶し、記憶した品質
情報に基づき、保守を依頼することを表す保守依頼を送
信する少なくとも１つ以上の作業装置を決定し、前記通
信ユニットは、前記決定ユニットが決定した作業装置に
保守依頼と前記暗号化機器情報とを送信することを特徴
とする管理装置。
【０２５１】（９３）（９１）に記載の管理装置であっ
て、前記決定ユニットは、保守依頼を送信する少なくと
も１つの作業装置の候補を生成し、前記入出力ユニット
は、前記管理装置の決定ユニットが生成した候補を出力
し、前記決定ユニットは、前記入出力ユニットが出力し
た候補の中から前記管理装置の使用者が選択した作業装
置を保守依頼を送信する作業装置として決定することを
特徴とする管理装置。
【０２５２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、産
業用機器の使用者が許可する範囲内で、個々の産業用機
器に蓄積された機器情報を保守員に対して安全に公開す
ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態のシステムの構成を示
すブロック図。
【図２】半導体製造検査装置の構成を示すブロック図。
【図３】暗号化機器データパッケージの構成を示す図。
【図４】共通鍵管理テーブルの構成を示す図。
【図５】保守員属性管理テーブルの構成を示す図。
【図６】分析状況管理テーブルの構成を示す図。
【図７】プログラム実行履歴管理テーブルの構成を示す
図。
【図８】実行権限管理テーブルとプログラム実行履歴管
理テーブルとセンサ状態履歴管理テーブルの構成を示す
図。
【図９】知識管理テーブルの構成を示す図。
【図１０】半導体製造検査装置と作業装置の間で送受信
するメッセージデータの構成を示す図。
【図１１】作業装置が分析着手通知と分析着手応答を送
受信する場合の動作を示すフローチャート。
【図１２】半導体製造検査装置の通信部が分析着手通知
と分析着手応答を送受信する場合の動作を示すフローチ
ャート。
【図１３】作業装置が分析操作通知を送信する場合の動
作を示すフローチャート。
【図１４】半導体製造検査装置の通信部が分析操作通知
を受信する場合の動作を示すフローチャート。
【図１５】作業装置が分析完了通知を送信する場合の動
作を示すフローチャート。
【図１６】半導体製造検査装置の通信部が分析完了通知
を受信する場合の動作を示すフローチャート。
【図１７】作業装置に表示される分析作業画面を示す
図。
【図１８】半導体製造検査装置に表示される分析実績出
力画面を示す図。
【図１９】製造工場に設置された管理装置の構成ブロッ
ク図。
【図２０】本発明の第３の実施形態を示すシステム構成
ブロック図。
【図２１】半導体製造工場に設置された管理装置と保守
センタの作業装置の間で送受信する保守依頼データの構
成を示す図。
【図２２】分析状況管理テーブルの構成を示す図。
【図２３】半導体製造検査装置の通信部が保守依頼を受
信する場合の動作を示すフローチャート。
【符号の説明】
１００…インターネット、１１０…保守センタ、１１
１，１２１…イントラネット、１１２，１２２…管理装
置、１１３…作業装置、１２０…半導体製造工場、１２
３…半導体製造検査装置、１３０…入出力部、１３１…
通信部、１３２…制御部、１３３…部位。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０４Ｌ 12/22 Ｈ０４Ｌ 12/22 // Ｈ０４Ｌ 9/08 9/00 ６０１Ｅ (72)発明者 飯泉 孝 茨城県ひたちなか市大字市毛882番地 株 式会社日立ハイテクノロジーズ設計・製造 統括本部那珂事業所内 (72)発明者 稲葉 雅章 神奈川県川崎市麻生区王禅寺1099番地 株 式会社日立製作所システム開発研究所内 Ｆターム(参考） 5B085 AA08 AE15 AE29 BA07 BE01 BG01 BG07 5J104 AA12 EA16 EA18 PA07 5K030 GA15 HB06 HC01 JA07 JA10 LE07

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】産業用機器と該産業用機器を保守する作業
    装置とがインターネットを介して接続された遠隔保守シ
    ステムであって、前記産業用機器はその状態を表す機器
    情報を特定の共通鍵を用いて暗号化する暗号化ユニット
    と、該暗号化ユニットが暗号化した機器情報である暗号
    化機器情報を前記作業装置からの要求に応じて送信する
    通信ユニットと、前記産業用機器が前記作業装置に共通
    鍵を送信したことを出力する入出力ユニットとを備えた
    ことを特徴とする遠隔保守システム。
  2. 【請求項２】産業用機器と該産業用機器を保守する作業
    装置とがインターネットを介して接続された遠隔保守シ
    ステムであって、前記作業装置は、前記産業用機器の状
    態を表す機器情報が暗号化された暗号化機器情報と共通
    鍵とを受信する通信ユニットと、該共通鍵を用いて前記
    暗号化機器情報を復号化する復号化ユニットと、該復号
    化ユニットが復号化した機器情報を出力する入出力ユニ
    ットとを備えたことを特徴とする遠隔保守システム。
  3. 【請求項３】産業用機器と該産業用機器を保守する作業
    装置とがインターネットを介して接続された遠隔保守シ
    ステムであって、前記産業用機器はその状態を表す機器
    情報を特定の共通鍵を用いて暗号化する暗号化ユニット
    と、該暗号化ユニットが暗号化した機器情報である暗号
    化機器情報を前記作業装置からの要求に応じて送信する
    通信ユニットと、前記産業用機器が前記作業装置に共通
    鍵を送信したことを出力する入出力ユニットとを備え、
    前記作業装置は、前記産業用機器の通信ユニットが送信
    した暗号化機器情報と共通鍵を受信する通信ユニット
    と、該共通鍵を用いて前記暗号化機器情報を復号化する
    復号化ユニットと、該復号化ユニットが復号化した機器
    情報を出力する入出力ユニットとを備えたことを特徴と
    する遠隔保守システム。
  4. 【請求項４】特定の処理を実行する１つ以上の産業用機
    器と、産業用機器を保守する作業装置とがインターネッ
    トを介して接続された遠隔保守システムであって、産業
    用機器は、産業用機器の状態を表す機器情報を特定の共
    通鍵を用いて暗号化する暗号化ユニットと、暗号化ユニ
    ットが暗号化した機器情報である暗号化機器情報を作業
    装置からの要求に応じて作業装置に送信し、暗号化機器
    情報を暗号化するときに用いた共通鍵を暗号化機器情報
    を受信した作業装置からの要求に応じて送信する通信ユ
    ニットと、産業用機器が作業装置に共通鍵を送信したこ
    とを表す履歴の全部または一部を出力する入出力ユニッ
    トとを備え、作業装置は、産業用機器の通信ユニットが
    送信した暗号化機器情報を受信し、暗号化機器情報を暗
    号化するときに用いた共通鍵を産業用機器に要求して受
    信する通信ユニットと、作業装置の通信ユニットが受信
    した共通鍵を記憶し、記憶した共通鍵を用いて暗号化機
    器情報を復号化する復号化ユニットと、復号化ユニット
    が復号化した機器情報を記憶し、記憶した機器情報の全
    部または一部を出力する入出力ユニットとを備えたこと
    を特徴とする遠隔保守システム。
  5. 【請求項５】特定の処理を実行する１つ以上の産業用機
    器と、産業用機器から送信される情報を管理する管理装
    置と、産業用機器を保守する作業装置とがインターネッ
    トを介して接続された遠隔保守システムであって、産業
    用機器は、産業用機器の状態を表す機器情報を管理装置
    に送信する通信ユニットを備え、管理装置は、産業用機
    器が送信した機器情報を特定の共通鍵を用いて暗号化す
    る暗号化ユニットと、暗号化ユニットが暗号化した機器
    情報である暗号化機器情報を作業装置からの要求に応じ
    て作業装置に送信し、暗号化機器情報を暗号化するとき
    に用いた共通鍵を暗号化機器情報を受信した作業装置か
    らの要求に応じて送信する通信ユニットと、管理装置が
    作業装置に共通鍵を送信したことを表す履歴の全部また
    は一部を出力する入出力ユニットとを備え、作業装置
    は、管理装置の通信ユニットが送信した暗号化機器情報
    を受信し、暗号化機器情報を暗号化するときに用いた共
    通鍵を管理装置に要求して受信する通信ユニットと、作
    業装置の通信ユニットが受信した共通鍵を記憶し、記憶
    した共通鍵を用いて暗号化機器情報を復号化する復号化
    ユニットと、復号化ユニットが復号化した機器情報を記
    憶し、記憶した機器情報の全部または一部を出力する入
    出力ユニットとを備えたことを特徴とする遠隔保守シス
    テム。
  6. 【請求項６】特定の処理を実行する１つ以上の産業用機
    器と、産業用機器を保守する１つ以上の作業装置とがイ
    ンターネットを介して接続された遠隔保守システムであ
    って、産業用機器は、産業用機器の状態を表す機器情報
    を特定の共通鍵を用いて暗号化する暗号化ユニットと、
    暗号化ユニットが暗号化した機器情報である暗号化機器
    情報を送信する作業装置を決定する決定ユニットと、暗
    号化ユニットが暗号化した暗号化機器情報を決定ユニッ
    トが決定した作業装置に送信し、暗号化機器情報を受信
    した作業装置からの要求に応じて、暗号化機器情報を暗
    号化するときに用いた共通鍵を送信する通信ユニット
    と、産業用機器が作業装置に共通鍵を送信したことを表
    す履歴の全部または一部を出力する入出力ユニットとを
    備え、作業装置は、産業用機器の通信ユニットが送信し
    た暗号化機器情報を受信し、暗号化機器情報を暗号化す
    るときに用いた共通鍵を産業用機器に要求して受信する
    通信ユニットと、作業装置の通信ユニットが受信した共
    通鍵を記憶し、記憶した共通鍵を用いて暗号化機器情報
    を復号化する復号化ユニットと、復号化ユニットが復号
    化した機器情報を記憶し、記憶した機器情報の全部また
    は一部を出力する入出力ユニットとを備えたことを特徴
    とする遠隔保守システム。
  7. 【請求項７】特定の処理を実行する１つ以上の産業用機
    器と、産業用機器から送信される情報を管理する管理装
    置と、産業用機器を保守する１つ以上の作業装置とがイ
    ンターネットを介して接続された遠隔保守システムであ
    って、産業用機器は、産業用機器の状態を表す機器情報
    を管理装置に送信する通信ユニットを備え、管理装置
    は、産業用機器の通信ユニットが送信した機器情報を特
    定の共通鍵を用いて暗号化する暗号化ユニットと、暗号
    化ユニットが暗号化した機器情報である暗号化機器情報
    を送信する作業装置を決定する決定ユニットと、暗号化
    ユニットが暗号化した暗号化機器情報を決定ユニットが
    決定した作業装置に送信し、暗号化機器情報を受信した
    作業装置からの要求に応じて、暗号化機器情報を暗号化
    するときに用いた共通鍵を送信する通信ユニットと、管
    理装置が作業装置に共通鍵を送信したことを表す履歴の
    全部または一部を出力する入出力ユニットとを備え、作
    業装置は、前記管理装置の通信ユニットが送信した暗号
    化機器情報を受信し、暗号化機器情報を暗号化した共通
    鍵を管理装置に要求して受信する通信ユニットと、作業
    装置の通信ユニットが受信した共通鍵を記憶し、記憶し
    た共通鍵を用いて暗号化機器情報を復号化する復号化ユ
    ニットと、復号化ユニットが復号化した機器情報を記憶
    し、記憶した機器情報の全部または一部を出力する入出
    力ユニットとを備えたことを特徴とする遠隔保守システ
    ム。
  8. 【請求項８】請求項１から７のいずれかにおいて、前記
    産業用機器は、半導体製造検査装置であることを特徴と
    する遠隔保守システム。
  9. 【請求項９】請求項１から７のいずれかにおいて、前記
    作業装置は、前記機器情報に基づいて実施した前記産業
    用機器の保守の内容に応じた対価を演算する演算ユニッ
    トを備え、該作業装置の入出力ユニットは該演算された
    対価を送信することを特徴とする遠隔保守システム。
  10. 【請求項１０】産業用機器と該産業用機器を保守する作
    業装置とがインターネットを介して接続され、前記産業
    用機器の状態を表す機器情報を特定の共通鍵を用いて暗
    号化するステップと、暗号化された暗号化機器情報を前
    記作業装置からの要求に応じて送信するステップと、前
    記産業用機器から前記作業装置に共通鍵が送信されたこ
    とを出力するステップとを備えたことを特徴とする遠隔
    保守方法。
  11. 【請求項１１】産業用機器と該産業用機器を保守する作
    業装置とがインターネットを介して接続され、前記産業
    用機器の状態を表す機器情報が暗号化された暗号化機器
    情報と共通鍵とを受信するステップと、該共通鍵を用い
    て前記暗号化機器情報を復号化するステップと、復号化
    された機器情報を出力するステップとを備えたことを特
    徴とする遠隔保守方法。
  12. 【請求項１２】産業用機器と該産業用機器を保守する作
    業装置とがインターネットを介して接続され、前記産業
    用機器の状態を表す機器情報を特定の共通鍵を用いて暗
    号化するステップと、暗号化された暗号化機器情報を前
    記作業装置からの要求に応じて送信するステップと、前
    記産業用機器が前記作業装置に共通鍵を送信したことを
    出力するステップと、送信された暗号化機器情報と共通
    鍵とを受信するステップと、該共通鍵を用いて前記暗号
    化機器情報を復号化するステップと、復号化された機器
    情報を出力するステップとを備えたことを特徴とする遠
    隔保守方法。
  13. 【請求項１３】請求項１０から１２のいずれかにおい
    て、前記産業用機器は、半導体製造検査装置であること
    を特徴とする遠隔保守方法。
  14. 【請求項１４】請求項１０から１２のいずれかにおい
    て、前記作業装置により前記機器情報に基づいて実施し
    た前記産業用機器の保守の内容に応じた対価を演算し、
    該演算された対価を送信することを特徴とする遠隔保守
    方法。
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