JP2003346825A

JP2003346825A - 燃料電池用セパレータ、それを備えた燃料電池集積体、及び燃料電池用セパレータの製造方法

Info

Publication number: JP2003346825A
Application number: JP2002151431A
Authority: JP
Inventors: Yukio Kasahara; 幸雄笠原; Yuji Fujimori; 裕司藤森; Tsutomu Miyamoto; 勉宮本
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-05-24
Filing date: 2002-05-24
Publication date: 2003-12-05

Abstract

(57)【要約】【課題】小型燃料電池を構成するためのセパレータの
提供。【解決手段】導電性基板１８上に電鋳からなる凸部２
０を形成する。基板１８の上にフォトリソグラフィ法に
よって電鋳を通気溝のパターンに合わせて構成する。凸
部の先端は固体電解質及び電極からなる単電池２４に接
触している。凸部の先端には貴金属鍍金層２２が形成さ
れている。前記凸部は導電性基板に導電性接着剤層を介
して接触され、又は、導電性基板上に直接電鋳鍍金され
ても良い。また、前記基板の両面に前記凸部が形成され
ても良い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、燃料電池用セパレ
ータ、その製造方法、並びに当該燃料電池用セパレータ
を積層した燃料電池積層体に係わり、より詳細には、燃
料電池用セパレータにおける反応ガスの流路を改良し、
燃料電池の小型化に適した技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】固体電解質型燃料電池は、薄膜状の固体
電解質を挟んだ両側に電極を設けて単電池（単セル）を
構成し、その単セルを多数積層して燃料電池スタック集
積体を構成させる。そして、必要とする電圧及び電流で
電力を取り出す構成となっている。

【０００３】上記の場合、各電極に通電して電力を取り
出し、また各電極を通じて電解質の表面に水素ガスのよ
うな燃料ガスや空気のような酸化性ガス等の反応ガスを
供給するために、電極の表面側、つまり各単セルの間に
セパレータを配設させる。

【０００４】このセパレータは、電力を取り出すために
導電性材料からなり、かつ、電極に導通可能に接触する
とともに、電極の表面との間に反応ガスを流通させるた
めの流路を備えた構造が要求される。

【０００５】かかる要求を充足させるため、金属等の導
電性部材に多数の凹凸を形成し、そのうちの凸部を電極
に接触させ、凸部間の凹部を互いに連通させてガス通気
溝（流路）としたセパレータを用いることが行われてい
る。

【０００６】従来からの燃料電池用セパレータ製造方法
は、セルロースにフェノール樹脂を染み込ませて燒結し
たガラスカーボンと流路を作り込んだ多孔性カーボン或
いは半導体坩堝でμｍオーダの気孔にして、フェノール
樹脂を含浸させた等方性カーボン一枚一枚ＮＣ工作機
で、切削加工していた（特開２００１−３５１６４５号
に開示）。かかる場合は、多大の工数とコストが必要で
あるという問題点が指摘されている（２００１年６月２
６日発行：日経メカニカル別冊「燃料電池最前線」）。

【０００７】上記の場合の対策として、前記材料の流路
以外にマスクをして流路部分をアルミナ、炭化珪素等の
研磨剤と高圧で吹き付けることで、ショットブラスト法
による流路形成法があったが、コスト上その低減は困難
であった。また、燃料電池の小型化を狙う場合には、薄
型化しなければならないので、材料が薄型になると、高
圧のためソリの問題が発生する。

【０００８】さらに、予め流路を形成した型を用いて、
前記材料を射出形成する技術が公表されているが、いま
だ実用化に至っていない。

【０００９】一方、導電性材料からなる金属セパレータ
として、ステンレス材、ニッケル合金材、アルミ材を用
いて、流路をプレス成形する方法が知られているが、流
路形成の型が必要なため、コスト上昇を招来する。ま
た、金属セパレータを小型化することができない。

【００１０】なお、燃料電池用セパレータの製造方法と
して、その他、特開２００１−３６１６４３、同２００
１−３３８６５，同２００１−１６２４７８，同２００
１−３５１６４５，同２００１−２６６９１３に開示さ
れたものが存在する。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記課題を解
決するために、燃料電池の小型化に適した燃料電池用セ
パレータを提供することを目的とする。本発明の他の目
的は、燃料電池用セパレータの製造の過程で、反りが発
生し難く、かつ型を必要とすることなく、小型化に適し
た構造の燃料電池用セパレータを提供することにある。
本発明の他の目的は、燃料電池用セパレータを型抜きす
る際の位置決め性に優れた燃料電池用セパレータの製造
方法を提供することにある。本発明の更に他の目的は、
上記セパレータと単電池が組み合わされた燃料電池スタ
ック集積体を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、反応用流体の流路を備えた燃料電池用セ
パレータにおいて、前記流路の部分をこれ以外の部分に
対して電鋳から成る別部材としたことを特徴とするもの
である。

【００１３】本発明によれば、燃料電池用セパレータの
流路部分をこれ以外の部分に対して別部材とし、かつ、
この別部材を電鋳から構成することにより、流路部分を
例えばフォトリソグラフィ法を用いた微細加工法によっ
て構成することができる。その結果、燃料電池用セパレ
ータを薄く小型にできる。このセパレータを利用して燃
料電池積層体を作れば、燃料電池積層体を小型化するこ
とができる。例えば、セパレータを含む単位電池セルを
０．５ｍｍ以下にすることができる。本発明の好適な態
様においては、セパレータを導電性基板と、この導電性
基板の表面に設けられた複数の凸部とから構成する。こ
こで、当該凸部間を前記流路とし、当該凸部の先端が電
極又は集電体に当接するようにし、さらに、当該凸部を
前記別部材から構成する。この構成によれば、セパレー
タ本体と流路形成のための凸部とが別部材となっている
ために、ＮＣ切削機による、切削法及び高価な型転写
法、高圧研磨剤によるブラスト法を必要としないため
に、セパレータ基板に掛かる、加工応力による反り等の
問題を避けることができる。後述のとおり、凸部の流路
部をフォトリソグラフィ法によって形成することができ
るために、流路の最低幅を５０ミクロンまでにすること
が可能となり、（超）小型で薄型のセパレータを提供可
能である。

【００１４】本発明の好適な態様においては、前記凸部
の素材がニッケル、又はニッケル合金からなる。少なく
とも前記凸部の最表面に貴金属仕上げ鍍金がなされてな
る。鍍金する範囲や鍍金層の厚みを自由に変更可能であ
る。したがって、凸部と電極又は集電体との接触部の電
気抵抗を低減し、かつ、貴金属層は電気化学的腐食に抵
抗性を持っている。さらに、耐食性を高めるため等に、
基板及び凸部の全面に貴金属鍍金を施すことも可能であ
る。貴金属としては、Ａｕ、Ｒｈ、Ｐｔ、Ｐｄが適用可
能である。

【００１５】また、前記凸部が前記導電性基板に導電性
接着剤層を介して接続或いは接触されてなる。したがっ
て、電鋳が困難な基板を利用することができる。例え
ば、電鋳が困難なアルミニウム材、アルマイト、チタニ
ウム材、チタニウム合金、カーボン入りの導電性樹脂な
ど広く基板として利用或いは適用可能である。また、前
記凸部が前記導電性基板上に直接電鋳鍍金されても良
い。また、既述のように、写真法によるレジスト作成を
行うことなどにより、前記基板の両面に、前記別部材か
らなる、空気極側流路パターン及び燃料極側流路パター
ンをそれぞれ形成可能である。

【００１６】また、本願の他の発明は、反応性流体の流
路を基板に形成してなる燃料電池用セパレータの製造方
法において、前記基板上に複数の前記流路に対応したパ
ターンを持った薄膜を形成する工程と、前記薄膜のパタ
ーンに基づいて選択的に電鋳を行い、流路に対応したパ
ターンを持った電鋳層を形成する工程と、を備え、当該
電鋳層間の溝を前記流路としたことを特徴とする。

【００１７】本願の好適な形態に係わる発明は、前記基
板上に前記薄膜としてのレジスト膜を形成した後、前記
パターンになるように当該レジストを露光現像し、前記
レジスト膜の開口部に前記電鋳層を形成した後、当該レ
ジスト膜を剥離するように構成されてなる。また、前記
電鋳層を前記基板から剥離させ、次いで、他の基板に当
該電鋳層を接着させてなる。

【００１８】本願に係わる他の発明は、フォトリソグラ
フィ法を利用した燃料電池用セパレータの製造方法であ
って、（１）基板にレジスト膜を形成する工程と、
（２）所定のパターンを有するマスクを用いて、露光
する工程と、（３）前記基板の表面が露出した底面を
有する開口部を形成するように、現像する工程と、
（４）前記開口部に所定の厚さを持った凸部を形成す
る工程と、（５）前記レジスト膜を剥離する工程と、
を備え、前記凸部のパターンを燃料電池セパレータの流
路パターンしとしたことを特徴とする。

【００１９】また、前記基板が導電性基板であり、前記
凸部を当該導電性基板の上に電鋳によって形成するよう
にした。前記凸部のアスペクト比は好適には、０．５〜
２．５である。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明によるセパレータの
実施形態について説明する。図１は、燃料電池用セパレ
ータ１の斜視図を示すものであり、セパレータの両面に
反応ガスが流通するための流路、すなわち、通気溝２が
形成されている。符号１０は燃料極に供給される燃料ガ
スの通気溝であり、符号１２は空気極に供給される酸化
ガスの通気溝である。符号１４はセパレータと単電池と
を組み付けるためのロッドを貫通させるための穴であ
る。符号１６は燃料ガスを通気溝１０に導入するための
マニホールドである。

【００２１】図２はこのセパレータを空気極側から見た
斜視図である。図３は、前記セパレータの一部の拡大図
である。セパレータを構成する導電性基板１８の上に通
気溝を構成する複数の凸部２０が形成されている。この
凸部はセパレータの幅方向に沿ってライン状に複数互い
に平行になるように存在する。セパレータの表裏面で互
いに直交する方向に凸部が形成されている。

【００２２】図４（１）は、前記セパレータの構造を模
式的に示す側面図である。導電性基板１８の表裏面にあ
る前記凸部２０は導電性基板１８とは別部材からなる電
鋳層から構成されている。符号２２は電鋳層２０の最表
面に積層された貴金属層である。電鋳層の耐食性を向上
させるために、貴金属層が電鋳層にめっきされている。

【００２３】符号２４は凸部と接触される単電池（固体
高分子膜及び電極）である。単電池と前記凸部によって
区切られた凹部が反応ガスが流通すべき通気溝となる。
符号１０は燃料ガスの流路であり、１２は空気（酸化ガ
ス）の流路である。

【００２４】（２）は他の形態を示すものであり、
（１）の形態と異なるのは、電鋳層（凸部）２０の最表
面の他、電鋳層２０の側面及び基板１８の凹部１０の表
面にも貴金属層２２がメッキされている点である。
（３）は、更に他の実施形態を示すものであり、他の形
態と異なるのは、電鋳層２０が導電性接着剤３０を用い
て基板１８に接続されている点である。

【００２５】図５（１）は、基板１８の一部に燃料電池
用セパレータの凸部のパターン（流路パターン）が形成
されている状態を、燃料極側から見た斜視図である。燃
料電池用セパレータのパターン１が電鋳によって基板１
８表面に形成された後、セパレータの凸部のパターンの
外形領域をプレス等の切断手段によって基板とともに、
凸部以外領域から正確に切り出す（外形抜きする）必要
がある。その際に基板を切断手段に対して位置合わせす
る必要がある。符号３２は、位置合わせ用のパイロット
ピンに挿入されるパイロットホールである。このパイロ
ットホールは、セパレータの凸部のパターンに対する位
置合わせ手段の一例となるものである。

【００２６】基板１８にパイロットホール３２を形成す
るには、パイロットホールの位置を所定の方法よって特
定し、この特定位置にパンチ、化学的エッチングの方法
等を提供すれば良い。（２）は基板上のセパレータを空
気極側からみた斜視図である。

【００２７】次に前記燃料電池用セパレータの製造方法
について説明する。図６は、基板上にセパレータの凸部
パターンを電鋳によって形成するための感光材を露光・
現像するネガである。符号６１は、一つのセパレータに
向けられた凸部パターンが形成された領域を示し、各セ
パレータの領域の中心６０には流路のパターン（凸部パ
ターン）に対応するパターンがあり、符号６２は既述の
パイロットホールに対応するパターンである。一つのネ
ガには複数のセパレータのパターンが縦横均等に配置さ
れている。符号６４はネガを感光材上に正確に位置決め
するための、案内ピンが挿入されるべき開口である。

【００２８】図７はフォトリソグラフィ法によって基板
上に別部材からなる前記凸部を形成する工程を示したも
のである。（１）及び（２）に示すように、基板１８上
に感光剤（フォトレジスト７０）を塗布する。基板とし
ては、電鋳が可能な導電性のものであれば、特に限定さ
れるものではないが、好ましくはＳＵＳ、洋白材（ニッ
ケルと亜鉛の合金）、黄銅材を例示できる。基板の厚さ
としては薄型のセパレータを得る観点から０．１乃至
０．５ｍｍ程度のものを使用できる。レジストとして
は、光分解性又は光硬化性のものであり、感光性ドライ
フィルム又は液状レジストを使用できる。レジストの膜
厚は５０−５００ミクロンであり、塗布後乾燥させる。

【００２９】（３）は、レジスト７０の上に図６に示す
マスク７２が置かれた状態を示す断面図である。次い
で、露光後、現像・焼き付け乾燥させて、露光されたレ
ジストを剥離する。この結果、（４）に示すように、基
板１８上に凸部を形成するための開口７４のパターンに
対応するレジスト膜７０が残る。開口の幅７４Ａが前記
凸部の幅に相当する。

【００３０】（５）は、（３）の基板に電鋳を施し、前
記開口７４に前記凸部２０を形成した状態を示してい
る。電鋳の条件は例えば次のようなものである。

【００３１】材質：Ｎｉ、又はＮｉ−Ｃｏ系厚さ：５０−５００ミクロン電鋳鍍金液組成及び条件：硫酸ニッケル２００−３８０
ｇ／ｌ、塩化ニッケル３０−６０ｇ／ｌ、ホウ酸３０
−５０ｇ／ｌ、光沢剤適量、温度；摂氏４０−７０度、
電流密度０．５−１０Ａ／ｄｍ^２次いで（６）の工程に示すように、電鋳層からなる凸部
２０の上に貴金属鍍金２２が形成される。貴金属鍍金層
の膜厚は０．１−１ミクロンである。次いで（７）のよ
うに基板１８上に残ったレジストを除去すると、流路が
凸部２０によって形成され、凸部２０と基板１８からな
る燃料電池用セパレータ（図５）を得ることができる。
次いで、基板１８の反対側にも既述の工程と同様な工程
により空気極側の流路パターンを形成すれば良い。

【００３２】なお、基板１８とマスク７０との位置合わ
せのために、図８に示すように、マスク７２に形成され
た位置合わせ穴６４（図６参照）に基板に形成された位
置合わせ用穴８０を合わせ、両方の穴に案内ピン８4を
係合させる。図８は、この状態を示した断面図である。
図８に示すように、基板の両面に凸部を同時に形成する
ようにしても良い。基板には、図５に示す開口１４及び
１６に相当する開口が形成されているために、基板の開
口と凸部に形成される図５の開口１４及び１６とを整合
させる必要がある。よって、ネガと基板とを正確に位置
合わせするために前記案内ピン８4が使用される。

【００３３】図９は、第２の実施形態に係わる製造方法
を示す工程図である。図９の工程が図7の工程と異なる
点は、レジストを剥離した後（（５）→（６））、基板
１８と凸部２０の全面に貴金属鍍金層２０を形成した点
である。

【００３４】図１０は燃料極側から見た、基板上にある
凸部、すなわち燃料電池用セパレータの斜視図である。
凸部２０のパターンを形成する際に、基板１８上にはパ
イロット穴に相当するレジストのパターンが形成され
る。パイロット穴に対するレジストのパターンが基板１
８上に形成される。このパイロット穴に相当するレジス
トのパターンを光検出し、この部分を既述の切断手段に
よって開放することにより、パイロットホールを正確に
基板に形成することが可能となる。

【００３５】図１１は、本発明に係わる第３の実施形態
を示すものである。図７の実施例と比較して（１）乃至
（４）は同じである。（５）以降が異なる。（５）の工
程において、基板１８を重クロム酸カリウム５％溶液に
浸漬して、開口部７４にクロム酸化物からなる膜１１０
を形成する。

【００３６】次いで、（６）の工程にあるように、この
開口部７４の基板表面に電鋳鍍金を行い、電鋳層からな
る前記凸部２０を形成し、さらに、凸部表面に貴金属鍍
金層２２を形成する。次いで（７）に示すように、レジ
スト７０を剥離し、次いで転写粘着フィルム１１１を基
板１８側に押圧する。この時、好適には基板１８に適度
な曲げ応力を印加すると、凸部２０は前記クロム酸化物
からなる剥離層において基板より剥離し、転写粘着フィ
ルム１１１側に凸部のパターン（セパレータ）及びパイ
ロットホールのパターンに相当する電鋳層が転写され
る。なお、電鋳層の膜厚が薄い場合には（７）の工程に
おいてレジストを剥離する必要は必ずしも無い。

【００３７】次いで（８）の工程に示すように、転写フ
ィルム１１１に転写された電鋳層（凸部）の転写フィル
ムとは反対側の表面にスクリーン印刷によって、導電性
接着剤１１２を選択的に塗布する。導電性接着剤として
は、例えば、水溶性アクリルエマルジョンの組成からな
る銀ペースト系のものが使用される。

【００３８】次いで、導線性接着剤が塗布された側を第
２の基板１１４に向けて押圧すると、基板１１４に凸部
からなる電鋳層（すなわち、流路のパターン）が接着さ
れる。一方、上記工程を繰り返して、基板１１４の反対
側にセパレータの他方の通気溝パターンが転写される。

【００３９】図１２は転写粘着フィルムを基板１１４に
押圧する際の斜視図を示す。この時、基板１１４に電鋳
層のパターンを貼り付けるための専用の冶具１１６が用
いられる。この冶具は、中心に基板１１４を載置する台
座１１６Ａが存在する。符号１２０はパイロットピンで
ある。符号１１８は、パイロットピンに嵌入されるパイ
ロットホールに相当する電鋳層である。

【００４０】基板１１４にはセパレータの燃料極側のガ
スマニホールド１６に対応する開口１６Ａが形成されて
いる。また、基板１１４にはセパレータのロッド貫通穴
１４に対応する穴１４Ａが設けられている。図１２に
は、粘着シートに転写された燃料極のガス流路パターン
が示されている。、パイロットホール１１８をパイロッ
トピン１２０に嵌入させながら、凸部（流路パターン）
１を基板１１４に押圧するとセパレータの外形パターン
１が基板１１４に導電性接着剤１１２によって接着し、
次いで、粘着シート１１１を引き剥がすと、基板１１４
の一面に電鋳パターンからなる燃料極側流露パターンを
（９）に示すように接着することができる。この際、既
述の開口や穴が互いに正確に整合して、すなわち流路パ
ターンと基板とが正確に位置決めされて貼り合わされ
る。

【００４１】基板１１４としては、電鋳を適用し難いも
のであっても良い。この基板としては、ＳＵＳ、Ａｌ、
アルマイト、チタニウム材、チタニウム合金、洋白材、
ＢＳ材に鍍金（Ｎｉ、Ａｕ）を施したものでも良い。

【００４２】なお、以上説明するセパレータの製造方法
は好適な実施形態であるが、本発明はこれらに限定され
るものではない。

【００４３】

【発明の効果】本発明によれば、燃料電池の小型化に適
した燃料電池用セパレータを提供することができる。ま
た、燃料電池用セパレータの製造の過程で、反りが発生
し難く、かつ型を必要とすることなく、小型化に適した
構造の燃料電池用セパレータを提供することができる。
また、燃料電池用セパレータを外形抜きする際の位置決
め性に優れた燃料電池用セパレータの製造方法を提供す
ることができる。また、上記セパレータと単電池が組み
合わされた燃料電池スタック集積体を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】燃料電池用セパレータを燃料極側からみた全体
斜視図である。

【図２】燃料電池用セパレータを空気極側からみた全体
斜視図である。

【図３】燃料電池用セパレータの一部拡大図であり、セ
パレータの両面に形成された凸部のパターン（反応ガス
流路の通気溝）を示している。

【図４】燃料電池用セパレータの詳細を示す断面図であ
る。

【図５】（１）は基板上に形成された凸部パターン（燃
料極側の通気溝パターン）を示す平面図であり、（２）
は、基板上に形成された凸部パターン（空気極側の通気
溝パターン）を示す平面図である。

【図６】複数のセパレータの凸部のパターンが形成され
た、レジストを露光・現像するためのネガの平面図であ
る。

【図７】本発明の製造方法の一例を示す工程図である。

【図８】この工程の一過程を詳細に示す断面図である。

【図９】第２の製造例を示す工程図である。

【図１０】基板上に形成された凸部のパターン（セパレ
ータのパターン）を示す斜視図である。

【図１１】第３の製造例に係わる工程図である。

【図１２】その一過程を詳細に示す斜視図である。

【符号の説明】

１：セパレータ、２：通気溝、１０：燃料ガス供給溝、
１２：酸化ガス供給溝、１８：基板、２０：凸部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｃ２５Ｄ 1/20 Ｃ２５Ｄ 1/20 Ｇ０３Ｆ 7/004 ５１１Ｇ０３Ｆ 7/004 ５１１ 7/40 ５２１ 7/40 ５２１ (72)発明者宮本勉長野県諏訪市大和３丁目３番５号セイコーエプソン株式会社内Ｆターム(参考） 2H025 AB17 AB20 AC01 AD01 FA39 FA47 2H096 AA27 AA30 BA01 EA02 HA17 HA23 5H026 AA02 BB04 CC03 CC08 CX07 EE02 EE08 HH03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】反応用流体の流路を備えた燃料電池用セ
パレータにおいて、前記流路の部分をこれ以外の部分に
対して電鋳から成る別部材とした燃料電池用セパレー
タ。
【請求項２】導電性基板と、この導電性基板の表面に
設けられた複数の凸部とからなり、当該凸部間を前記流
路とし、当該凸部の先端が電極又は集電体に当接するよ
うになっており、さらに、当該凸部を前記別部材から構
成してなる、請求項１記載の燃料電池用セパレータ。
【請求項３】前記凸部の素材がニッケル、又はニッケ
ル合金からなる請求項２記載の燃料電池用セパレータ。
【請求項４】少なくとも前記凸部の最表面に貴金属仕
上げ鍍金がなされてなる請求項２又は３記載の燃料電池
用セパレータ。
【請求項５】前記基板及び前記凸部の全面に貴金属仕
上げ鍍金がなされてなる請求項４記載の燃料電池用セパ
レータ。
【請求項６】前記凸部が前記導電性基板に導電性接着
剤層を介して接続されてなる請求項２乃至５のいずれか
１項記載の燃料電池用セパレータ。
【請求項７】前記凸部が前記導電性基板上に直接電鋳
鍍金されてなる請求項２乃至５のいずれか１項記載の燃
料電池用セパレータ。
【請求項８】前記基板の両面に前記別部材が形成され
てなる請求項１乃至７のいずれか１項記載の燃料電池用
セパレータ。
【請求項９】反応性流体の流路を基板に形成してなる
燃料電池用セパレータの製造方法において、前記基板上
に複数の前記流路に対応したパターンを持った薄膜を形
成する工程と、前記薄膜のパターンに基づいて選択的に
電鋳を行い、前記流路に対応したパターンを持った電鋳
層を形成する工程と、を備え、当該電鋳層間の溝を前記
流路とした燃料電池用セパレータの製造方法。
【請求項１０】前記基板上に前記薄膜としてのレジス
ト膜を形成した後、前記パターンになるように当該レジ
ストを露光現像し、前記レジスト膜の開口部に前記電鋳
層を形成した後、当該レジスト膜を剥離するように構成
されてなる請求項９記載の燃料電池用セパレータの製造
方法。
【請求項１１】前記電鋳層を前記基板から剥離させ、
次いで、他の基板に当該電鋳層を接着させてなる請求項
９又は１０記載の製造方法。
【請求項１２】フォトリソグラフィ法を利用した燃料
電池用セパレータの製造方法であって、（１）基板にレジスト膜を形成する工程と、（２）所定のパターンを有するマスクを用いて、露光
する工程と、（３）前記基板の表面が露出した底面を有する開口部
を形成するように、現像する工程と、（４）前記開口部に所定の厚さを持った凸部を形成す
る工程と、（５）前記レジスト膜を剥離する工程と、を備え、前
記凸部間を反応流体の流路とした燃料電池用セパレータ
の製造方法。
【請求項１３】前記マスクには、前記凸部のパターン
を前記基板に位置合わせして配置するための位置決め用
パターンが形成されてなる請求項１２記載の燃料電池用
セパレータの製造方法。
【請求項１４】前記基板上に複数の燃料電池用セパレ
ータの前記凸部のパターンが形成され、前記位置決めパ
ターンを利用して、個々のセパレータ毎の前記凸部のパ
ターンが外形抜きされる請求項１２又は１３記載の燃料
電池用セパレータの製造方法。
【請求項１５】前記基板上に形成された前記凸部のパ
ターンを一旦剥離し、これを他の基板に貼り合わせてな
る請求項１２乃至１５のいずれか１項記載の燃料電池用
セパレータの製造方法。
【請求項１６】前記基板が導電性基板であり、前記凸
部を当該導電性基板の上に電鋳によって形成するように
した請求項１２記載の燃料電池用セパレータの製造方
法。
【請求項１７】前記凸部のアスペクト比は、０．５〜
２．５である請求項１１乃至１３のいずれかに記載の燃
料電池用セパレータの製造方法。
【請求項１８】前記基板から前記凸部のパターンを外
形抜きするために、前記基板を位置決めするための手段
が当該基板に設けられてなる請求項１２乃至１７のいず
れか１項記載の燃料電池用セパレータの製造方法。
【請求項１９】請求項１乃至８のいずれか１項記載の
燃料電池用セパレータを単電池と組み合わせて成る燃料
電池積層体。