JP2003340272A - プラズマ反応装置 - Google Patents
プラズマ反応装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】強誘電体充填型プラズマ反応装置において、強
誘電体の空間占有率を低減させることにより電気容量を
減少させ、消費電力を削減する。 【解決手段】強誘電体４をハニカム状若しくはフォーム
状のモノリスとし、空隙率を５０％以上に設定する。強
誘電体４には、有害副生成物を処理するための触媒を担
持させる。
誘電体の空間占有率を低減させることにより電気容量を
減少させ、消費電力を削減する。 【解決手段】強誘電体４をハニカム状若しくはフォーム
状のモノリスとし、空隙率を５０％以上に設定する。強
誘電体４には、有害副生成物を処理するための触媒を担
持させる。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、プラズマ反応装置
に関し、詳細には、強誘電体充填型プラズマ反応装置の
省電力化に関する。
に関し、詳細には、強誘電体充填型プラズマ反応装置の
省電力化に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的な強誘電体充填型プラズマ反応装
置は、向かい合う一対の電極と、これらの電極で挟まれ
た強誘電体とからなる。具体的には、特開２００１−０
７４８８５号公報にあるように、強誘電性セラミックス
をペレット状に成形し、これを電極間に充填して構成さ
れる。
置は、向かい合う一対の電極と、これらの電極で挟まれ
た強誘電体とからなる。具体的には、特開２００１−０
７４８８５号公報にあるように、強誘電性セラミックス
をペレット状に成形し、これを電極間に充填して構成さ
れる。
【０００３】強誘電体充填型プラズマ反応装置により得
られる非平衡プラズマの発生場を利用して、オゾンを生
成し、メタノール等の燃料を改質し、あるいはエンジン
の排気ガスを処理する研究が進められている。
られる非平衡プラズマの発生場を利用して、オゾンを生
成し、メタノール等の燃料を改質し、あるいはエンジン
の排気ガスを処理する研究が進められている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに構成されるプラズマ反応装置には次のような問題が
ある。強誘電体充填型プラズマ反応装置の構成はコンデ
ンサのものと近似することができるので、その消費電力
（実効電力）Ｐｅｆｆはコンデンサにおけると同様に次
式で表される。
うに構成されるプラズマ反応装置には次のような問題が
ある。強誘電体充填型プラズマ反応装置の構成はコンデ
ンサのものと近似することができるので、その消費電力
（実効電力）Ｐｅｆｆはコンデンサにおけると同様に次
式で表される。
【０００５】
Ｐｅｆｆ＝Ｃ・ω・Ｖｅｆｆ2 ／（√２） ・・・（１）
Ｃ：コンデンサの電気容量
ω：交流電源の角周波数
Ｖｅｆｆ：実効電圧
ここで、電気容量Ｃは、強誘電体の比誘電率が充分に高
い場合に、強誘電体が電極間で占める空間占有率をｘと
して概ね次式で表される。
い場合に、強誘電体が電極間で占める空間占有率をｘと
して概ね次式で表される。
【０００６】
Ｃ＝ε・Ｓ／｛（１−ｘ）・ｄ｝ ・・・（２）
ε：反応ガスの誘電率
Ｓ：電極の面積
ｄ：電極間の距離
（１）及び（２）式から分かるように、強誘電体充填型
プラズマ反応装置の消費電力は強誘電体の空間占有率ｘ
に依存しており、同占有率ｘが高くなるほど電気容量Ｃ
が増大し、その結果消費電力も増大する。従来の強誘電
体充填型プラズマ反応装置では、強誘電体がペレット状
であり、電極間に極めて密に充填されていたため、強誘
電体の空間占有率ｘが５０〜７５％と高く、消費電力が
大きいという問題があった。
プラズマ反応装置の消費電力は強誘電体の空間占有率ｘ
に依存しており、同占有率ｘが高くなるほど電気容量Ｃ
が増大し、その結果消費電力も増大する。従来の強誘電
体充填型プラズマ反応装置では、強誘電体がペレット状
であり、電極間に極めて密に充填されていたため、強誘
電体の空間占有率ｘが５０〜７５％と高く、消費電力が
大きいという問題があった。
【０００７】 そこで、本発明は、強誘電体充填型プラズ
マ反応装置において、強誘電体の空間占有率ｘを低減さ
せることにより電気容量Ｃを減少させ、消費電力を削減
することを目的とする。
マ反応装置において、強誘電体の空間占有率ｘを低減さ
せることにより電気容量Ｃを減少させ、消費電力を削減
することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】 このため、請求項１に記
載の発明では、プラズマ反応装置を、一対の電極と、こ
れらの電極の間でプラズマを発生させるためにこれらの
電極の間に配置された、空隙率が５０％以上の強誘電体
とを含んで構成した。請求項２に記載の発明では、プラ
ズマ反応装置を、一対の電極と、これらの電極の間でプ
ラズマを発生させるためにこれらの電極の間に配置され
た、通気性があるモノリス強誘電体とを含んで構成し
た。
載の発明では、プラズマ反応装置を、一対の電極と、こ
れらの電極の間でプラズマを発生させるためにこれらの
電極の間に配置された、空隙率が５０％以上の強誘電体
とを含んで構成した。請求項２に記載の発明では、プラ
ズマ反応装置を、一対の電極と、これらの電極の間でプ
ラズマを発生させるためにこれらの電極の間に配置され
た、通気性があるモノリス強誘電体とを含んで構成し
た。
【０００９】請求項３に記載の発明では、モノリス強誘
電体の空隙率を５０％以上に設定した。請求項４に記載
の発明では、前記強誘電体をハニカム状とした。請求項
５に記載の発明では、前記強誘電体をフォーム状とし
た。請求項６に記載の発明では、前記電極を反応ガスの
流れに対して平行に配置した。
電体の空隙率を５０％以上に設定した。請求項４に記載
の発明では、前記強誘電体をハニカム状とした。請求項
５に記載の発明では、前記強誘電体をフォーム状とし
た。請求項６に記載の発明では、前記電極を反応ガスの
流れに対して平行に配置した。
【００１０】請求項７に記載の発明では、前記電極を反
応ガスの流れに対して垂直に配置した。請求項８に記載
の発明では、前記強誘電体に触媒を担持させた
応ガスの流れに対して垂直に配置した。請求項８に記載
の発明では、前記強誘電体に触媒を担持させた
【００１１】
【発明の効果】 請求項１に係る発明によれば、強誘電体
の空隙率を５０％以上とすることで、強誘電体が電極間
で占める空間占有率を低減させ、プラズマ反応装置の消
費電力を削減することができる。請求項２，３に係る発
明によれば、電極間にモノリス強誘電体を配置すること
で、ペレット状の粒を充填した場合と比較して、強誘電
体の空間占有率を格段に低減することができる。
の空隙率を５０％以上とすることで、強誘電体が電極間
で占める空間占有率を低減させ、プラズマ反応装置の消
費電力を削減することができる。請求項２，３に係る発
明によれば、電極間にモノリス強誘電体を配置すること
で、ペレット状の粒を充填した場合と比較して、強誘電
体の空間占有率を格段に低減することができる。
【００１２】請求項４，５に係る発明によれば、強誘電
体をハニカム状若しくはフォーム状とすることで、強誘
電体の空間占有率を良好に設定し、プラズマ反応装置の
更なる省電力化を図ることができる。請求項６に係る発
明によれば、電極を反応ガスの流れに対して平行に配置
することで、電極間の距離を狭めることができるととも
に、反応ガスとの接触による電極の劣化を抑制すること
ができる。
体をハニカム状若しくはフォーム状とすることで、強誘
電体の空間占有率を良好に設定し、プラズマ反応装置の
更なる省電力化を図ることができる。請求項６に係る発
明によれば、電極を反応ガスの流れに対して平行に配置
することで、電極間の距離を狭めることができるととも
に、反応ガスとの接触による電極の劣化を抑制すること
ができる。
【００１３】請求項７に係る発明によれば、電極を反応
ガスの流れに対して垂直に配置することで、電極の面積
を小さくすることができる。請求項８に係る発明によれ
ば、強誘電体に触媒を担持させることで、生成ガスに含
まれる有害成分をプラズマ反応装置内で処理することが
できる。
ガスの流れに対して垂直に配置することで、電極の面積
を小さくすることができる。請求項８に係る発明によれ
ば、強誘電体に触媒を担持させることで、生成ガスに含
まれる有害成分をプラズマ反応装置内で処理することが
できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して、本発明
の実施の形態について説明する。 図１（ａ）は、本発明
の一実施形態に係る強誘電体充填型プラズマ反応装置
（以下「リアクタ」という。）１の、反応ガスの流れに
沿う断面を示している。リアクタ１は、前後部において
断面を縮小させた略直方体の筐体２の内部に、一対の電
極３Ａ，３Ｂを設置するとともに、これらの電極間でプ
ラズマを発生させるために強誘電体４を配置して構成さ
れる。
の実施の形態について説明する。 図１（ａ）は、本発明
の一実施形態に係る強誘電体充填型プラズマ反応装置
（以下「リアクタ」という。）１の、反応ガスの流れに
沿う断面を示している。リアクタ１は、前後部において
断面を縮小させた略直方体の筐体２の内部に、一対の電
極３Ａ，３Ｂを設置するとともに、これらの電極間でプ
ラズマを発生させるために強誘電体４を配置して構成さ
れる。
【００１５】電極３Ａ，３Ｂは、板状であり、筐体２の
内部において反応ガスの流れに沿わせて対向させて配置
し、均一断面の胴部を構成する上壁２１及び下壁２２に
隣接させて固定している。電極３Ａ，３Ｂを反応ガスの
流れと平行に配置することで、反応ガスとの接触による
電極の劣化を抑制することができる。ここで、電極３
Ａ，３Ｂが反応ガスの流路に設置されていると、その前
後端で反応ガスが流れずによどみが形成されるが、両電
極を筐体２に埋め込むことで、このような領域をなくす
ことができる。また、筐体２を円筒状に成形し、電極３
Ａ，３Ｂをこの筐体２の内部に同心円筒状に配置するこ
ととしてもよい。
内部において反応ガスの流れに沿わせて対向させて配置
し、均一断面の胴部を構成する上壁２１及び下壁２２に
隣接させて固定している。電極３Ａ，３Ｂを反応ガスの
流れと平行に配置することで、反応ガスとの接触による
電極の劣化を抑制することができる。ここで、電極３
Ａ，３Ｂが反応ガスの流路に設置されていると、その前
後端で反応ガスが流れずによどみが形成されるが、両電
極を筐体２に埋め込むことで、このような領域をなくす
ことができる。また、筐体２を円筒状に成形し、電極３
Ａ，３Ｂをこの筐体２の内部に同心円筒状に配置するこ
ととしてもよい。
【００１６】本実施形態では、強誘電体４をハニカム状
のモノリスに成形している。そして、このモノリス強誘
電体４を上下から電極３Ａ，３Ｂで挟み込んで固定して
いる。従って、ペレット状の粒を充填するリアクタと異
なり、強誘電体４を電極間に保持するための封入部材を
設置する必要がない。強誘電体４の材料には、チタン酸
バリウム（ＢａＴｉＯ3 ）を用いることができる。
のモノリスに成形している。そして、このモノリス強誘
電体４を上下から電極３Ａ，３Ｂで挟み込んで固定して
いる。従って、ペレット状の粒を充填するリアクタと異
なり、強誘電体４を電極間に保持するための封入部材を
設置する必要がない。強誘電体４の材料には、チタン酸
バリウム（ＢａＴｉＯ3 ）を用いることができる。
【００１７】図１（ｂ）は、本実施形態に係る強誘電体
４の、同図（ａ）の直線ｂ−ｂに沿う断面を示してい
る。 このように構成されるリアクタ１によれば、電源５
により数ｋＨｚほどの交流電圧（電圧＝数ｋＶ）を電極
３Ａ，３Ｂに印加することで、筐体２の内部において強
誘電体４の向かい合う壁の間に高い電界強度を発生させ
ることができる。そして、この電界強度が一定値以上と
なると、パルス状のマイクロディスチャージが引き起こ
される。こうして発生したプラズマは、気体温度が数千
〜数万℃に及ぶいわゆる熱プラズマとは異なり、電子温
度のみが高く、中性分子やイオンは常温に保たれる非平
衡プラズマ（低温プラズマ）であり、発生場は、筐体２
の内部全体に及ぶ。
４の、同図（ａ）の直線ｂ−ｂに沿う断面を示してい
る。 このように構成されるリアクタ１によれば、電源５
により数ｋＨｚほどの交流電圧（電圧＝数ｋＶ）を電極
３Ａ，３Ｂに印加することで、筐体２の内部において強
誘電体４の向かい合う壁の間に高い電界強度を発生させ
ることができる。そして、この電界強度が一定値以上と
なると、パルス状のマイクロディスチャージが引き起こ
される。こうして発生したプラズマは、気体温度が数千
〜数万℃に及ぶいわゆる熱プラズマとは異なり、電子温
度のみが高く、中性分子やイオンは常温に保たれる非平
衡プラズマ（低温プラズマ）であり、発生場は、筐体２
の内部全体に及ぶ。
【００１８】 ここで、リアクタ１にメタノールや天然ガ
ス等の炭化水素系原燃料を供給すると、電子のエネルギ
ーにより原燃料の改質が促進され、水素を多く含む改質
ガスが生成される。メタノールは分子中に酸素原子を含
んでいるため、改質反応において固体炭素が発生するこ
とは殆どない。しかしながら、天然ガス、ガソリン及び
軽油等の非含酸素分子が主成分である原燃料では、原燃
料のみを供給すると固体炭素が発生するので、水や酸素
を同時に供給することが必要である。リアクタ１から得
られた水素は、燃料電池の燃料として使用することがで
きる。
ス等の炭化水素系原燃料を供給すると、電子のエネルギ
ーにより原燃料の改質が促進され、水素を多く含む改質
ガスが生成される。メタノールは分子中に酸素原子を含
んでいるため、改質反応において固体炭素が発生するこ
とは殆どない。しかしながら、天然ガス、ガソリン及び
軽油等の非含酸素分子が主成分である原燃料では、原燃
料のみを供給すると固体炭素が発生するので、水や酸素
を同時に供給することが必要である。リアクタ１から得
られた水素は、燃料電池の燃料として使用することがで
きる。
【００１９】 本実施形態では、強誘電体４をモノリスと
し、壁部構造をハニカム状としたことで、電極３Ａ，３
Ｂの間で強誘電体４が占める空間占有率を低減させ、リ
アクタ１の消費電力を削減することができる。それは、
次の理由による。 本実施形態に係るリアクタ１の消費電
力（実効電力）Ｐｅｆｆはコンデンサにおけると同様に
次式で表される。
し、壁部構造をハニカム状としたことで、電極３Ａ，３
Ｂの間で強誘電体４が占める空間占有率を低減させ、リ
アクタ１の消費電力を削減することができる。それは、
次の理由による。 本実施形態に係るリアクタ１の消費電
力（実効電力）Ｐｅｆｆはコンデンサにおけると同様に
次式で表される。
【００２０】
Ｐｅｆｆ＝Ｃ・ω・Ｖｅｆｆ2 ／（√２） ・・・（３）
Ｃ：コンデンサの電気容量
ω：交流電源の角周波数
Ｖｅｆｆ：実効電圧
ここで、電気容量Ｃは、強誘電体の比誘電率が充分に高
い場合に、この素材が電極間で占める空間占有率をｘと
して概ね次式で表される。
い場合に、この素材が電極間で占める空間占有率をｘと
して概ね次式で表される。
【００２１】
Ｃ＝ε・Ｓ／｛（１−ｘ）・ｄ｝ ・・・（４）
ε：反応ガスの誘電率
Ｓ：電極の面積
ｄ：電極間の距離
（４）式は、一対の電極（電極間の距離ｄ）の間に厚さ
ｘ・ｄ及び誘電率ε１の強誘電体を直列に配置するとと
もに、残された空間を反応ガスで満たして構成されるコ
ンデンサの電気容量Ｃ（＝Ｓ／｛（１−ｘ）・ｄ／ε＋
ｘ・ｄ／ε１｝）として算出される。
ｘ・ｄ及び誘電率ε１の強誘電体を直列に配置するとと
もに、残された空間を反応ガスで満たして構成されるコ
ンデンサの電気容量Ｃ（＝Ｓ／｛（１−ｘ）・ｄ／ε＋
ｘ・ｄ／ε１｝）として算出される。
【００２２】 本実施形態に係るリアクタ１では、（４）
式において強誘電体の空間占有率ｘが低減され、電気容
量Ｃが減少する結果、（３）式において消費電力Ｐｅｆ
ｆが削減されるのである。強誘電体４をハニカム状のモ
ノリスとすることで、空間占有率ｘを１０〜３０％（空
隙率で７０〜９０％）にまで低減することができ、強誘
電体をペレット状とした場合の空間占有率ｘが５０〜７
５％（空隙率で２５〜５０％）であることと比較する
と、最大で６５％の空間占有率の低減が可能である。
式において強誘電体の空間占有率ｘが低減され、電気容
量Ｃが減少する結果、（３）式において消費電力Ｐｅｆ
ｆが削減されるのである。強誘電体４をハニカム状のモ
ノリスとすることで、空間占有率ｘを１０〜３０％（空
隙率で７０〜９０％）にまで低減することができ、強誘
電体をペレット状とした場合の空間占有率ｘが５０〜７
５％（空隙率で２５〜５０％）であることと比較する
と、最大で６５％の空間占有率の低減が可能である。
【００２３】 強誘電体４は、ハニカム状に限らず、フォ
ーム状としてもよい。強誘電体４をフォーム状とした場
合にも、チタン酸バリウムを材料として用いることがで
きる。強誘電体４をフォーム状のモノリスとすること
で、強誘電体４が電極３Ａ，３Ｂの間で占める空間占有
率ｘを５〜１５％（空隙率で８５〜９５％）にまで低減
することができるので、リアクタ１の一層の省電力化を
図ることができる。ただし、ハニカム状の強誘電体４に
よれば、フォーム状のものよりも反応ガスの流路抵抗が
低いので、より大量の反応ガスを処理することができ
る。
ーム状としてもよい。強誘電体４をフォーム状とした場
合にも、チタン酸バリウムを材料として用いることがで
きる。強誘電体４をフォーム状のモノリスとすること
で、強誘電体４が電極３Ａ，３Ｂの間で占める空間占有
率ｘを５〜１５％（空隙率で８５〜９５％）にまで低減
することができるので、リアクタ１の一層の省電力化を
図ることができる。ただし、ハニカム状の強誘電体４に
よれば、フォーム状のものよりも反応ガスの流路抵抗が
低いので、より大量の反応ガスを処理することができ
る。
【００２４】 図２は、電極配置を変更したリアクタ１０
１の、反応ガスの流れに沿う断面を示している。リアク
タ１０１では、網状とするなどして通気性を持たせた電
極１０３Ａ，１０３Ｂを、反応ガスの流れに対して垂直
に配置している。このような電極配置とすれば、電極１
０３Ａ，１０３Ｂの面積を小さくすることができ、また
反応ガスをよどませずに筐体１０２の内部全体で流通さ
せることができるので、より小型なリアクタ１０１を実
現することができる。なお、強誘電体１０４は、ハニカ
ム状及びフォーム状のいずれの形状であってもよい。
１の、反応ガスの流れに沿う断面を示している。リアク
タ１０１では、網状とするなどして通気性を持たせた電
極１０３Ａ，１０３Ｂを、反応ガスの流れに対して垂直
に配置している。このような電極配置とすれば、電極１
０３Ａ，１０３Ｂの面積を小さくすることができ、また
反応ガスをよどませずに筐体１０２の内部全体で流通さ
せることができるので、より小型なリアクタ１０１を実
現することができる。なお、強誘電体１０４は、ハニカ
ム状及びフォーム状のいずれの形状であってもよい。
【００２５】 図３は、触媒を担体させたハニカム状のモ
ノリス強誘電体４０１の断面を示している。この強誘電
体４０１は、チタン酸バリウム等をハニカム状に成形し
た基材４１１の壁面に触媒４１２を担持させて構成して
いる。触媒は、フォーム状の強誘電体に担持させること
もできる。このような触媒付き強誘電体４０１によれ
ば、有害副生成物をリアクタ内で処理することが可能と
なる。例えば、リアクタを用いた燃料改質では、燃料電
池の電極触媒を劣化させる一酸化炭素や、改質における
水素選択率を低下させるメタン等の副生成物が発生す
る。強誘電体４０１を用いることで、一酸化炭素をリア
クタ内で減少させた改質ガスを燃料電池に供給し、また
発生したメタンを減少させながら改質を行うことができ
る。
ノリス強誘電体４０１の断面を示している。この強誘電
体４０１は、チタン酸バリウム等をハニカム状に成形し
た基材４１１の壁面に触媒４１２を担持させて構成して
いる。触媒は、フォーム状の強誘電体に担持させること
もできる。このような触媒付き強誘電体４０１によれ
ば、有害副生成物をリアクタ内で処理することが可能と
なる。例えば、リアクタを用いた燃料改質では、燃料電
池の電極触媒を劣化させる一酸化炭素や、改質における
水素選択率を低下させるメタン等の副生成物が発生す
る。強誘電体４０１を用いることで、一酸化炭素をリア
クタ内で減少させた改質ガスを燃料電池に供給し、また
発生したメタンを減少させながら改質を行うことができ
る。
【図１】本発明の一実施形態に係るプラズマ反応装置及
び同装置において使用される強誘電体の断面
び同装置において使用される強誘電体の断面
【図２】電極配置の変更例
【図３】触媒を担持させた強誘電体の断面
１…リアクタ（強誘電体充填型プラズマ反応装置）
２…筐体
３…電極
４…強誘電体
５…交流電源
Claims (8)
- 【請求項１】一対の電極と、 これらの電極の間でプラズマを発生させるためにこれら
の電極の間に配置された、空隙率が５０％以上の強誘電
体と、を含んで構成されるプラズマ反応装置。 - 【請求項２】一対の電極と、 これらの電極の間でプラズマを発生させるためにこれら
の電極の間に配置された、通気性があるモノリス強誘電
体と、を含んで構成されるプラズマ反応装置。 - 【請求項３】前記強誘電体の空隙率が５０％以上である
請求項２に記載のプラズマ反応装置。 - 【請求項４】前記強誘電体がハニカム状である請求項１
〜３のいずれかに記載のプラズマ反応装置。 - 【請求項５】前記強誘電体がフォーム状である請求項１
〜３のいずれかに記載のプラズマ反応装置。 - 【請求項６】前記電極が反応ガスの流れに対して平行に
配置された請求項１〜５のいずれかに記載のプラズマ反
応装置。 - 【請求項７】前記電極が反応ガスの流れに対して垂直に
配置された請求項１〜５のいずれかに記載のプラズマ反
応装置。 - 【請求項８】前記強誘電体に触媒を担持させた請求項１
〜７のいずれかに記載のプラズマ反応装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002148568A JP2003340272A (ja) | 2002-05-23 | 2002-05-23 | プラズマ反応装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002148568A JP2003340272A (ja) | 2002-05-23 | 2002-05-23 | プラズマ反応装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003340272A true JP2003340272A (ja) | 2003-12-02 |
Family
ID=29767064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002148568A Pending JP2003340272A (ja) | 2002-05-23 | 2002-05-23 | プラズマ反応装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003340272A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7863540B2 (en) | 2006-03-30 | 2011-01-04 | Ngk Insulators, Ltd. | Plasma reactor |
| JP2012011380A (ja) * | 2010-07-05 | 2012-01-19 | Kun-Liang Hong | 均一電場誘電体放電反応器 |
-
2002
- 2002-05-23 JP JP2002148568A patent/JP2003340272A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7863540B2 (en) | 2006-03-30 | 2011-01-04 | Ngk Insulators, Ltd. | Plasma reactor |
| JP2012011380A (ja) * | 2010-07-05 | 2012-01-19 | Kun-Liang Hong | 均一電場誘電体放電反応器 |
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